JP2005012045A - 半導体集積回路のレイアウト方法及び半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体集積回路において、配線層のみのレイアウト修正を行う際に、非同期のフリップフロップ間での置き換えを可能とし、修正の自由度を高める。
【解決手段】クロックドライバ101及び102による2つのクロック系統を有する半導体集積回路において、その全領域にクロックドライバ101、リピータバッファ1013、1014、1014a、及びクロック配線10からなる1つの系統と、クロックドライバ102、リピータバッファ1023、1024、1024a、及びクロック配線11からなる他の系統とにおいて、各系統のクロック配線10及び11同士を、同一のレイアウト形状、且つ互いに近傍に配する。
【選択図】 図2
【解決手段】クロックドライバ101及び102による2つのクロック系統を有する半導体集積回路において、その全領域にクロックドライバ101、リピータバッファ1013、1014、1014a、及びクロック配線10からなる1つの系統と、クロックドライバ102、リピータバッファ1023、1024、1024a、及びクロック配線11からなる他の系統とにおいて、各系統のクロック配線10及び11同士を、同一のレイアウト形状、且つ互いに近傍に配する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スタンダードセル方式を用いた半導体集積回路において、回路仕様の変更が生じた際に、配線層のマスクのみをレイアウト変更することにより、修正を完結させる場合の半導体集積回路のレイアウト方法及び半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
LSIの設計において、微細化が進むことにより、設計に対するばらつきによる回路機能への影響が大きくなっている。例えば、配線長のばらつきに起因する遅延時間のばらつきが生じた場合、タイミングマージンを確保するためにレイアウトを修正する機会が増加してくる。その際に、マスク費の低減を考慮した修正方法、若しくは、既に下地層の拡散工程にあり、配線層の工程よりも前のレイアウト変更が不可能な状態にあるウエハに対しても可能な修正方法として、配線層のマスクのみをレイアウト変更して回路機能を調整する修正方法をとることがある。
【0003】
従来、スタンダードセルの入れ換えによりタイミング改善をする方法として、例えば、特許文献1に記載されているものがある。このものは、配線修正のみでクリティカルパスの配線長を低減する変更を行うことにより、タイミング改善を行っている。
【0004】
以下、この方法を図7、図8に示す。図7がタイミングの改善前、図8がタイミング改善後を表す。図7及び図8において、1601〜1606はスタンダードセルであり、タイミング的にクリティカルなパスとして、図7中のセル1601、1602、1603を繋ぐパスがある。ここで、セル1602とセル1605とは論理的に等価なセルであり、セル1604、1605、1606を繋ぐパスはタイミングに余裕をもったパスであるとする。
【0005】
ここで、図8にセル1602とセル1605とを入れ換えた後の状態を示す。同図では、3つのセル1601、1605、1603を繋ぐ短いパスを実現することにより、図7ではクリティカルパスであった配線の長さが低減されて、配線のレイアウト修正のみでタイミング改善を図ることができる。
【0006】
【特許文献1】
特開2002―157292号公報(第6−7頁、第18図)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のようにスタンダードセルの入れ換えによりタイミングを改善する方法でだけでは、高密度に集積されたレイアウトにおいてパターンルール等、各種の制約を満たしつつ新たな配線を引くことは困難であり、最適なセルの組み合わせの選択に限界があるため、配線層のみの変更による修正では対処しきれない場合が生ずる。したがって、この場合、短期間での修正は困難となる。
【0008】
本発明では、前記問題を解決するものであり、その目的は、機能修正や仕様変更によりレイアウト変更が必要となる際、前記配線層のみのレイアウト変更による修正において、予め繋ぎ換え可能なクロック配線を2次元的又は3次元的にも構成しておくことにより、タイミング改善を図る場合の修正方法の選択肢を広げ、自由度を高めることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するために、本発明では、予め、冗長なクロック配線を、他の系統のクロックにより駆動されるフリップフロップの近傍に配しておくことにより、タイミング改善の必要性が生じた場合、配線層のみのレイアウト変更で、近傍のクロック配線に繋ぎ換えて修正を完成させる。
【0010】
すなわち、請求項1記載の発明の半導体集積回路のレイアウト方法は、クロックを発生するクロックドライバ、前記クロックドライバの前記クロックを伝送するクロック配線、及び前記クロック配線の前記クロックにより駆動されるフリップフロップを1組として、この組を複数組配置すると共に、特定の組の前記フリップフロップの近傍に、少なくとも1つ、このフリップフロップの属する組以外の他の組のクロック配線を配置することを特徴とする。
【0011】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、自己の組のフリップフロップに接続されるクロック配線を、自己の組のクロック配線から、前記自己の組のフリップフロップの近傍に配置された前記他の組のクロック配線に繋ぎ換え、この繋ぎ換えにより、クロック配線の繋ぎ換えを配線層のみのレイアウト変更によって行うことを特徴とする。
【0012】
請求項3記載の発明は、請求項1記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、互いに近傍に他の組のクロック配線が配置された少なくとも2つの前記特定のフリップフロップであって、自己の組のフリップフロップに接続されたクロック配線を、前記自己の組の近傍に配置された他の組のクロック配線に繋ぎ換え、前記他の組のフリップフロップに接続されたクロック配線を、前記他の組の近傍に配置された前記自己の組のクロック配線に繋ぎ換えることを特徴とする。
【0013】
請求項4記載の発明は、請求項3記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記フリップフロップからデータ配線を介して更に回路素子を配置すると共に、前記自己の組と他の組との間において前記フリップフロップ及びクロック配線を繋ぎ換える際に、前記フリップフロップと前記回路素子との間のデータ配線の配線長の調節も行うことを特徴とする。
【0014】
請求項5記載の発明は、請求項1、2又は3記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記クロック配線の繋ぎ換えは、特定の配線層のみに限定したレイアウト変更により行うことを特徴とする。
【0015】
請求項6記載の発明は、請求項5記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記限定された特定の配線層による前記クロック配線の繋ぎ換えは、少なくとも2層目以上の上層配線層に限定することを特徴とする。
【0016】
請求項7記載の発明は、請求項2、3、5又は6記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記各組において、自己の組のフリップフロップにクロックを伝送するクロック配線、及び他の組のフリップフロップの近傍にまで延びる前記クロック配線を、クロックの伝播遅延時間が各クロック配線間で等しくなるように配置することを特徴とする。
【0017】
請求項8記載の発明は、請求項7記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記クロックドライバから配される前記クロック配線の一部又は全部を各組相互間で同一の形状に配し、且つ、同一の形状に配された複数組の前記クロック配線を、前記同一の形状において等位となる部分が互いに近傍になるように配置することを特徴とする。
【0018】
請求項9記載の発明の半導体集積回路のレイアウト方法は、クロックを発生するクロックドライバ、前記クロックドライバの前記クロックを伝送するクロック配線、及び前記クロック配線の前記クロックにより駆動されるフリップフロップを1組として、この組を複数組配置すると共に、前記自己の組のフリップフロップの近傍に、入力端子を接地電位に固定したリピータバッファを配置することを特徴とする。
【0019】
請求項10記載の発明は、請求項9記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記自己の組以外の他の組のクロック配線と前記自己の組のフリップフロップの近傍に配置される前記リピータバッファとの間に、配線の配置を排除する配線ブロッケージを設けることを特徴とする。
【0020】
請求項11記載の発明の半導体集積回路は、クロックを発生するクロックドライバ、前記クロックドライバの前記クロックを伝送するクロック配線、及び前記クロック配線の前記クロックにより駆動されるフリップフロップを1組として、この組を複数組配置した半導体集積回路であって、自己の組以外の他の組のクロック配線は自己の組のフリップフロップの近傍に配置されることを特徴とする。
【0021】
以上により、請求項1、2及び3記載の発明の半導体集積回路のレイアウト方法では、予め繋ぎ換え可能な他の組のクロック配線をフリップフロップの近傍に配しておく。これにより、配線の繋ぎ換えに伴う他の回路要素から受けるレイアウト設計上のパターンルールの制約を低減することができる。従って、配線層のみのレイアウト変更によりフリップフロップ近傍に配置された他の組のクロック配線を自己の組のクロック配線と繋ぎ換えることができ、配線層よりも下層のレイアウト変更を要する配線のレイアウト修正と比較して、短い工程でのタイミング改善を行うことが可能となる。また同時に、繋ぎ換えのためのクロック配線は近傍に配置されることにより、繋ぎ換え部分の配線長の差による遅延時間のずれを低く抑えることが可能となる。
【0022】
また、請求項4記載の発明では、フリップフロップに更に回路素子が接続されている回路において、配線層のみの変更により遅延時間の調節を行う際、請求項3の方法を用いてレイアウト変更を施しても遅延の修正量の不足が予想される場合、フリップフロップ及びそれに接続される回路素子間のデータ配線の配線長を変更し、データの遅延時間を調節することによってもタイミングを改善することができるので、配線層のみのレイアウト変更による修正方法の選択幅が広がる。
【0023】
続いて、請求項5及び6記載の発明では、修正する配線層を予め特定の層に限定しておくことにより、修正時の配線層のレイアウト変更に伴う工程数を低減することができ、更に少ない工程での修正が可能となる。
【0024】
更に、請求項7記載の発明では、同一クロックを伝送する同一の組から分岐した複数のクロック配線を等遅延設計することにより、タイミング改善を図る際における最適なクロックの選択が容易となる。
【0025】
また、請求項8記載の発明では、各組間でクロック配線の一部又は全部が同一形状に配置され、且つ、その同一形状の配線において等位となる部分を互いに近傍に配置することにより、異なる組の各クロック配線間でフリップフロップを繋ぎ換える際にもスキューを生ずることなく修正することができる。
【0026】
続いて、請求項9記載の発明では、フリップフロップの近傍に、そのフリップフロップが属しているのとは異なる組のリピータバッファを、その入力端子を接地電位に固定した状態で予め配置しておくことにより、使用しないときは無駄な電力を消費せず、必要なときにのみ、配線層のみのレイアウト変更により他の組のクロック配線と接続し、タイミング改善を実現することが可能となる。
【0027】
更に、請求項10記載の発明では、入力端子が接地電位に固定されたリピータバッファをクロック配線に接続すると共に、フリップフロップとの接続を行う際、予めクロック配線を引くことができるスペースを配線ブロッケージ処理により確保してある。これにより、配線層のレイアウト変更を行う場合に、パターンルールにおいて他の回路素子の制約を受けることなく容易に変更を行うことが可能となる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の半導体集積回路のレイアウト方法を図面に基づいて説明する。
【0029】
(第1の実施の形態)
先ず、図1により、本発明の半導体集積回路のレイアウト方法における第1の実施の形態を示す。
【0030】
図1に示した半導体集積回路は、クロックを発生するクロックドライバ101、前記クロックドライバ101の発生したクロックを伝送するクロック配線10、このクロック配線10における伝送途中で劣化したクロックを正規の状態に再生することにより中継するリピータバッファ1011、1012、及びクロック配線10と2個のリピータバッファ1011、1012とにより伝送されてきたクロックにより駆動されるフリップフロップ103とからなる1つのクロック系統の組(自己の組)を備え、また、これとは別に、クロックドライバ102、リピータバッファ1021、フリップフロップ104及びそれらを繋ぐクロック配線11とからなる他の系統の組(自己の組とは別の他の組)を有している。
【0031】
更に、このクロックドライバ102の系統の組は、何れのフリップフロップ103、104にも接続されないリピータバッファ1022へもクロック配線11を伸ばしている。同図に示したように、このリピータバッファ1022は、自己の組のリピータバッファ1021から、自己の組のフリップフロップ104とは反対の方向に分岐され、他の系統のフリップフロップ103の近傍まで引き伸ばされたクロック配線11の末端に配置され、冗長なクロック配線として備えられる。
【0032】
このように、本発明の第1の実施の形態では、クロックドライバ101から供給されるクロックを受けるフリップフロップ103の近傍に、クロックドライバ102のクロックが伝達されるリピータバッファ1022が配置されている。従って、クロックドライバ101のクロックからクロックドライバ102のクロックに変更して、フリップフロップ103に供給されるクロックのタイミング改善を行う際、比較的短い配線の変更であるので、例えば、他の回路素子を移動させなければ配線を引くことができない等の、長い配線を引き回す場合に付随するパターンルールの制約を低減することができる。従って、このような他の組のクロックを利用したタイミング改善を容易に配線層のみのレイアウト変更により修正することが可能となる。また、短いクロック配線の繋ぎ換えを行うので、変更前後の配線長の差も小さく抑えることができ、それによる遅延のずれを生ずることがなく修正することが可能となる。
【0033】
従って、上述の修正を行う場合、図1には示していないが、フリップフロップ103に接続されるクロック配線10は、リピータバッファ1012との間の配線が削除され、代わりにリピータバッファ1022が接続された配線となる。
また、本実施の形態では、自己の組のクロックドライバ101が発生するクロックの供給を受けるフリップフロップ103が、リピータバッファ1012から他の組のリピータバッファ1022へ接続を変更することによりタイミング改善を行う例を示した。
【0034】
ここで更に、前述した他の組の冗長なリピータバッファ1022を配置したのと同様に、クロックドライバ101の組においてもフリップフロップ104の近傍に冗長なリピータバッファを配置しておけば、配線層のみのレイアウト変更によりクロック配線を繋ぎ換えて、フリップフロップ104のタイミング改善を行うことも可能となる。
【0035】
また、このような2組の繋ぎ換えに限らず、他の組の近傍に冗長なクロック配線を配置しておくことにより、複数の組のタイミング改善を同時に行うことが可能となる。
【0036】
(第2の実施の形態)
次に、図2に本発明の半導体集積回路のレイアウト方法における第2の実施の形態を示す。尚、以下の実施の形態において、前記第1の実施の形態と同様の機能を有する構成要素については同一の符号を付して、その説明を省略する。
【0037】
図2の半導体集積回路には、クロックドライバ101、リピータバッファ1013、1014、1014a及びこれらを接続するクロック配線10から構成される組と、クロックドライバ102、リピータバッファ1023、1024、1024a、フリップフロップ103及びこれらを接続するクロック配線11から構成される組との2組を有している場合を示している。ここで、クロックドライバ101が属する組においては、リピータバッファ1013と、クロックが伝達されるクロック配線10の末端に位置するリピータバッファ1014との間の配線距離はそれぞれ等距離に、また、もう一方のクロックドライバ102が属する組も同様にリピータバッファ1023と、クロックが伝達されるクロック配線11の末端に位置するリピータバッファ1024との間の配線もそれぞれ等距離に設計されている。従って、リピータバッファ1013及び1023からそれぞれの組のクロック配線の末端までの遅延は全て等しく設計される。そして、両組の等遅延設計部分については、同一形状において等位となる各部分、具体的には、リピータバッファ1013と1023、1014と1024、また、1014aと1024aとが互いに近傍になるように配置されている。
【0038】
本発明の第2の実施の形態では、第1の実施の形態で示した冗長なクロック配線11、すなわち、繋ぎ換えによりクロック変更をするために予め備えられ、回路機能を有さない各組のクロック配線は、更に、特定の基準部分、例えば図2に示した例では、リピータバッファ1013及び1023から同一形状になるように設計される。従って、各組において、特定の基準部分であるリピータバッファ1013及び1023を基準部分として、この基準部分から、等位に位置するそれぞれの組のリピータバッファ1014及び1024までの遅延は等しく、且つ、互いに近傍に配置されているので、配線繋ぎ換えの際、スキューを生じさせることなく配線層のみのレイアウト変更により容易にタイミング改善を図ることが可能となる。
【0039】
従って、上述のような修正を行うと、例えば、図中のフリップフロップ103とリピータバッファ1024aとを接続しているクロック配線は削除され、代わりにリピータバッファ1014aが接続された配線になる(この様子は同図には示していない)。
【0040】
また、ここでは、リピータバッファ1013及び1023からフリップフロップまでが等遅延に設計されている場合を示したが、クロックドライバ101及び102を基準部分として等遅延になるように設計を行うと、クロックドライバ101及び102の間における遅延に対する相対関係を、対応する各リピータバッファ1014及び1024間において保持させることができ、クロック配線の繋ぎ換えが更に容易になる。
【0041】
また、本実施の形態では、部分的に同一形状、すなわち、リピータバッファ1013及び1023と1014及び1024との間を同一形状に設計したが、クロックドライバ同士が互いに近傍に配置されているときは、全体を同一形状に設計することも可能である。
【0042】
尚、本実施の形態では、異なるクロック系統を同一形状に設計しているが、フリップフロップの総数又は分布に対応した同一形状の引き回しを施すこと、また、クロック周波数別に同一形状を持たせるなど、繋ぎ換えが想定されるフリップフロップに対応したクロック配線を等遅延設計することも考えられる。
【0043】
(第3の実施の形態)
続いて、図3及び図4により、本発明の半導体集積回路のレイアウト方法の第3の実施の形態を示す。
【0044】
図3及び図4は、本発明によりタイミング修正を行う例を示す。図3は、クロックドライバ101、リピータバッファ1013、1014及びフリップフロップ201、及びクロック配線10とからなる組と、クロックドライバ102、リピータバッファ1023、1024、フリップフロップ202、及びクロック配線11からなる組との2組を有する半導体集積回路を示す。また、203はスタンダードセルであり、データ線12によりフリップフロップ202に接続されている。クロックドライバ101及び102に繋がるクロック配線10及び11は、第2の実施の形態に示したのと同様に、それぞれ同一形状、且つ、互いに近傍になるように設計されており、クロックドライバ101が発生するクロックを受けるフリップフロップ201の近傍には、クロックドライバ102を有する組のリピータバッファ1024が、また、クロックドライバ102の組のフリップフロップ202の近傍には、クロックドライバ101を有する組のリピータバッファ1014がそれぞれ冗長なクロック配線として、且つ、対応する組同士が等遅延となるように配置されている。
【0045】
ここで、例えば、スタンダードセル203とフリップフロップ202との間の実デバイス上のデータ配線12において、ホールドマージン不足が見出された場合のクロック繋ぎ換えによる修正について考える。
【0046】
図4は前述のホールドマージン不足を解消するために、配線層のみのレイアウト修正により、スタンダードセル203へデータ配線12により接続されていたフリップフロップ202を、クロックドライバ102の組のフリップフロップ201にデータ配線13を介して繋ぎ換え、タイミング改善を施した後の状態を示している。
【0047】
これにより、本実施の形態では、リピータバッファ101及び102の各系統のクロック配線を等遅延になるように設計しているので、前記データ配線12からデータ配線13への繋ぎ換えによりスキューを発生させることなく、図3におけるフリップフロップ202からスタンダードセル203への配線長を図4におけるフリップフロップ201からスタンダードセル203への配線長となるようにデータ配線を延ばし、データ配線13のデータ伝播遅延を増大させてホールドマージン不足を改善することが可能となる。
【0048】
また、本実施の形態では、配線長を延ばすことにより配線遅延を増大させ、遅延時間を調節する例を示したが、逆に、配線層のみのレイアウト変更により、配線長を縮めて配線遅延を削減する修正を行うことも可能である。
【0049】
(第4の実施の形態)
更に、図5により、本発明の半導体集積回路のレイアウト方法の第4の実施の形態を示す。
【0050】
図5は、クロックドライバ101、リピータバッファ1011、1012、フリップフロップ103及び、クロック配線10とからなる組と、クロックドライバ102、リピータバッファ1021、1022、フリップフロップ104及び、クロック配線11とからなる組との2組を有する半導体集積回路を示す。ここで、301はリピータバッファ1012からフリップフロップ103に供給されるクロックの遅延を変更する必要がある場合に備えて、予めフリップフロップ103の近傍に配置されたリピータバッファであるが、このリピータバッファ301の入力端子は接地され、この入力端子とリピータバッファ1021との間には、配線を排除するように処理を施した配線ブロッケージ302が配置されている。すなわち、第1の実施の形態を示す図1と比較すると、図1の2個のリピータバッファ1021とリピータバッファ1022との間にクロック配線11を施さず、このクロック配線11に代えて配線ブロッケージ302を配置すると共に、リピータバッファ1022の入力端子を接地したものである。
【0051】
ここで、回路機能を考慮すると、図1の2個のリピータバッファ1021、1022間の冗長なクロック配線11及びリピータバッファ1022には、それらがタイミング修正に用いられるまでは、クロックが入力される必要はない。従って、タイミング修正の必要性が生じるまでは冗長なクロック配線11は消費電力を抑えるために配線せず、リピータバッファ1022も動作させない方がよい。しかし、リピータバッファ1022は下地層及び配線層の両工程により形成されるので、タイミング修正の際、配線層のみのレイアウト変更により修正を行いたい場合は、その下地層だけは形成しておかなければならない。
【0052】
そのため、本実施の形態では、初期状態では、リピータバッファ301には無駄な電力を消費させないために、上述のように入力端子を接地電位(固定電位)に固定して動作させないようにし、且つ、上述のような配線ブロッケージ302を施すことにより、クロック配線を施さない状態としている。これにより、本実施の形態では、冗長なリピータバッファ301の消費電力を削減しながらも、タイミング修正が必要となった場合には、配線ブロッケージ302をクロック配線11に変更し、そのクロック配線11をリピータバッファ301の入力に接続することにより、第1〜第3の実施の形態に示したような配線修正を実現することが可能となる。
【0053】
(第5の実施の形態)
次に、図6により、本発明の半導体集積回路のレイアウト方法の第5の実施の形態を示す。
【0054】
本実施の形態では、リピータバッファとフリップフロップとを直接接続するクロック配線の配線層を限定する。
【0055】
図6は、クロックドライバ101、リピータバッファ1011、1012、403a、クロック配線10、401及びフリップフロップ103からなる組と、クロックドライバ102、リピータバッファ1021、1022、403b、クロック配線11、402及びフリップフロップ104からなる組とを有する半導体集積回路を示す。同図において、実線により示したクロック配線10、11は金属配線層の1層目の配線を、また、点線により示したクロック配線401、402は金属配線層の2層目の配線を示している。フリップフロップ103は、クロックドライバ101から1層目のクロック配線10により接続されたリピータバッファ1012を介して、リピータバッファ1012からフリップフロップ103までの間は、2層目のクロック配線401を用いることにより接続される。また、同様に、リピータバッファ1022の出力ピンとフリップフロップ104との間は2層目のクロック配線402により接続される。
【0056】
図中、リピータバッファ403a及び403bはクロックの置き換えに使用するために配された冗長なリピータバッファであり、これらのリピータバッファ403a、403bの出力ピンは、第2の配線層に持ち上げられている。
【0057】
従って、例えば、フリップフロップ104に対するタイミング修正を行う場合に、このフリップフロップ104に供給するクロックをリピータバッファ1022からリピータバッファ403aに繋ぎ換えて供給するに際しては、第2配線層のクロック配線402を削除し、このクロック配線402の元の経路の側方において第2配線層にクロック配線(図示せず)を配置し、このクロック配線の一端を前記リピータバッファ403aの出力ピンに、その他端をフリップフロップ104に接続することになる。よって、クロックを繋ぎ換える修正において、例えば、リピータバッファ403a、1022とフリップフロップ104との間に配置するクロック配線の配線層を第2層目に限定しておくことにより、修正を行うべき配線層の数を少なく抑えることができ、修正にかかるコストを削減することが可能となる。更に、この修正の配線層を少なくとも第2層目以上の上層に限定することにより、マスク適用までの設計期間を多くとることができ、また、修正からデバイス完成までの期間を短縮することが可能となる。
【0058】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1、2及び3記載の発明によれば、フリップフロップに繋がるクロック配線を別の組のクロック配線に繋ぎ換える修正を行う際に、その修正を配線層のみのレイアウト変更により実現できるので、配線層以外の他の層のレイアウト変更を必要とせず、短い工程により修正することが可能となる。
【0059】
また、請求項4記載の発明では、フリップフロップに更に回路素子が接続されている半導体集積回路において、請求項3のようなタイミング改善を試みても、遅延の修正量が不足してしまうような場合、請求項3のクロック配線の入れ換えにより、自己の組のフリップフロップを前記回路素子から遠くに移せることを利用して、その遠くに移動させたフリップフロップと前記回路素子との間のデータ配線長を長くとることができるのでデータ配線遅延を増大させることができ、配線層のみのレイアウト変更により、ホールドバイオレーションを改善することが可能となる。また、本発明では、逆に請求項3のクロック配線の入れ換えにより、自己の組のフリップフロップを前記回路素子に近づけることにより、データ配線長を短くして、データ配線遅延を低減させることも可能である。
【0060】
更に、請求項5及び6記載の発明では、予め修正する配線層を少なくするように限定するので、修正にかかるコストを削減することが可能となり、特に、修正する配線層を上層に限定することにより、マスク適用までの設計期間を多くとることができ、マスク適用からデバイスが出来上がるまでの期間も短くすることが可能となる。また、一般的に配線層マスクは上層に使用するマスクの方が単価は低くなるので、加えて修正コストを低減することが可能となる。
【0061】
続いて、請求項7記載の発明では、冗長なクロック配線も含めて、同一のクロックドライバから等遅延となるクロック配線を複数構成するので、ホールドマージン不足が生じたときにでも、配線遅延を調節しつつ、同一遅延のクロック配線を選択し、繋ぎかえることが容易になる。これにより、スキューの発生を防ぎながらも、ホールドマージンを改善することが可能となる。
【0062】
また、請求項8記載の発明では、複数のクロックドライバからのクロック配線を一箇所に集めて、そこから更に、同一構造で遅延が等しくなるようにクロック配線を各組配置しておくことにより、それらのクロック配線間の繋ぎ換えを行っても、スキューの問題が生ずることがないので遅延の見積もりが容易であり、また、多数配置しておけば、クロック配線の繋ぎ換えの選択が容易となる。
【0063】
更に、請求項9記載の発明では、回路機能に貢献しない、タイミング調整用として冗長に配置されているリピータバッファの入力端子をグランドに固定することにより、余剰な消費電力を低減することが可能となる。
【0064】
続いて、請求項10記載の発明では、使用しないリピータバッファにクロックを供給するクロック配線を外しておく配線予定の領域が、他の配線がレイアウトされないように配線ブロッケージ処理されることにより、更に配線が必要となったときには、下地層の修正を伴うことなく、配線層のみのレイアウト変更により、請求項9の下地層に形成されたリピータバッファと容易に接続し、修正することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図4】本発明の第3の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図5】本発明の第4の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図6】本発明の第5の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図7】従来のレイアウト変更方法における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図8】従来のレイアウト変更方法における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【符号の説明】
10、11 クロック配線
12、13 データ配線
101、102 クロックドライバ
301、403a、403b クロック修正用リピータバッファ
302 配線ブロッケージ
1011、1012
、1013、1014
、1021、1022
、1023、1024 リピータバッファ
103、104
、201、202 フリップフロップ
203 スタンダードセル
【発明の属する技術分野】
本発明は、スタンダードセル方式を用いた半導体集積回路において、回路仕様の変更が生じた際に、配線層のマスクのみをレイアウト変更することにより、修正を完結させる場合の半導体集積回路のレイアウト方法及び半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
LSIの設計において、微細化が進むことにより、設計に対するばらつきによる回路機能への影響が大きくなっている。例えば、配線長のばらつきに起因する遅延時間のばらつきが生じた場合、タイミングマージンを確保するためにレイアウトを修正する機会が増加してくる。その際に、マスク費の低減を考慮した修正方法、若しくは、既に下地層の拡散工程にあり、配線層の工程よりも前のレイアウト変更が不可能な状態にあるウエハに対しても可能な修正方法として、配線層のマスクのみをレイアウト変更して回路機能を調整する修正方法をとることがある。
【0003】
従来、スタンダードセルの入れ換えによりタイミング改善をする方法として、例えば、特許文献1に記載されているものがある。このものは、配線修正のみでクリティカルパスの配線長を低減する変更を行うことにより、タイミング改善を行っている。
【0004】
以下、この方法を図7、図8に示す。図7がタイミングの改善前、図8がタイミング改善後を表す。図7及び図8において、1601〜1606はスタンダードセルであり、タイミング的にクリティカルなパスとして、図7中のセル1601、1602、1603を繋ぐパスがある。ここで、セル1602とセル1605とは論理的に等価なセルであり、セル1604、1605、1606を繋ぐパスはタイミングに余裕をもったパスであるとする。
【0005】
ここで、図8にセル1602とセル1605とを入れ換えた後の状態を示す。同図では、3つのセル1601、1605、1603を繋ぐ短いパスを実現することにより、図7ではクリティカルパスであった配線の長さが低減されて、配線のレイアウト修正のみでタイミング改善を図ることができる。
【0006】
【特許文献1】
特開2002―157292号公報(第6−7頁、第18図)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のようにスタンダードセルの入れ換えによりタイミングを改善する方法でだけでは、高密度に集積されたレイアウトにおいてパターンルール等、各種の制約を満たしつつ新たな配線を引くことは困難であり、最適なセルの組み合わせの選択に限界があるため、配線層のみの変更による修正では対処しきれない場合が生ずる。したがって、この場合、短期間での修正は困難となる。
【0008】
本発明では、前記問題を解決するものであり、その目的は、機能修正や仕様変更によりレイアウト変更が必要となる際、前記配線層のみのレイアウト変更による修正において、予め繋ぎ換え可能なクロック配線を2次元的又は3次元的にも構成しておくことにより、タイミング改善を図る場合の修正方法の選択肢を広げ、自由度を高めることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するために、本発明では、予め、冗長なクロック配線を、他の系統のクロックにより駆動されるフリップフロップの近傍に配しておくことにより、タイミング改善の必要性が生じた場合、配線層のみのレイアウト変更で、近傍のクロック配線に繋ぎ換えて修正を完成させる。
【0010】
すなわち、請求項1記載の発明の半導体集積回路のレイアウト方法は、クロックを発生するクロックドライバ、前記クロックドライバの前記クロックを伝送するクロック配線、及び前記クロック配線の前記クロックにより駆動されるフリップフロップを1組として、この組を複数組配置すると共に、特定の組の前記フリップフロップの近傍に、少なくとも1つ、このフリップフロップの属する組以外の他の組のクロック配線を配置することを特徴とする。
【0011】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、自己の組のフリップフロップに接続されるクロック配線を、自己の組のクロック配線から、前記自己の組のフリップフロップの近傍に配置された前記他の組のクロック配線に繋ぎ換え、この繋ぎ換えにより、クロック配線の繋ぎ換えを配線層のみのレイアウト変更によって行うことを特徴とする。
【0012】
請求項3記載の発明は、請求項1記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、互いに近傍に他の組のクロック配線が配置された少なくとも2つの前記特定のフリップフロップであって、自己の組のフリップフロップに接続されたクロック配線を、前記自己の組の近傍に配置された他の組のクロック配線に繋ぎ換え、前記他の組のフリップフロップに接続されたクロック配線を、前記他の組の近傍に配置された前記自己の組のクロック配線に繋ぎ換えることを特徴とする。
【0013】
請求項4記載の発明は、請求項3記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記フリップフロップからデータ配線を介して更に回路素子を配置すると共に、前記自己の組と他の組との間において前記フリップフロップ及びクロック配線を繋ぎ換える際に、前記フリップフロップと前記回路素子との間のデータ配線の配線長の調節も行うことを特徴とする。
【0014】
請求項5記載の発明は、請求項1、2又は3記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記クロック配線の繋ぎ換えは、特定の配線層のみに限定したレイアウト変更により行うことを特徴とする。
【0015】
請求項6記載の発明は、請求項5記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記限定された特定の配線層による前記クロック配線の繋ぎ換えは、少なくとも2層目以上の上層配線層に限定することを特徴とする。
【0016】
請求項7記載の発明は、請求項2、3、5又は6記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記各組において、自己の組のフリップフロップにクロックを伝送するクロック配線、及び他の組のフリップフロップの近傍にまで延びる前記クロック配線を、クロックの伝播遅延時間が各クロック配線間で等しくなるように配置することを特徴とする。
【0017】
請求項8記載の発明は、請求項7記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記クロックドライバから配される前記クロック配線の一部又は全部を各組相互間で同一の形状に配し、且つ、同一の形状に配された複数組の前記クロック配線を、前記同一の形状において等位となる部分が互いに近傍になるように配置することを特徴とする。
【0018】
請求項9記載の発明の半導体集積回路のレイアウト方法は、クロックを発生するクロックドライバ、前記クロックドライバの前記クロックを伝送するクロック配線、及び前記クロック配線の前記クロックにより駆動されるフリップフロップを1組として、この組を複数組配置すると共に、前記自己の組のフリップフロップの近傍に、入力端子を接地電位に固定したリピータバッファを配置することを特徴とする。
【0019】
請求項10記載の発明は、請求項9記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、前記自己の組以外の他の組のクロック配線と前記自己の組のフリップフロップの近傍に配置される前記リピータバッファとの間に、配線の配置を排除する配線ブロッケージを設けることを特徴とする。
【0020】
請求項11記載の発明の半導体集積回路は、クロックを発生するクロックドライバ、前記クロックドライバの前記クロックを伝送するクロック配線、及び前記クロック配線の前記クロックにより駆動されるフリップフロップを1組として、この組を複数組配置した半導体集積回路であって、自己の組以外の他の組のクロック配線は自己の組のフリップフロップの近傍に配置されることを特徴とする。
【0021】
以上により、請求項1、2及び3記載の発明の半導体集積回路のレイアウト方法では、予め繋ぎ換え可能な他の組のクロック配線をフリップフロップの近傍に配しておく。これにより、配線の繋ぎ換えに伴う他の回路要素から受けるレイアウト設計上のパターンルールの制約を低減することができる。従って、配線層のみのレイアウト変更によりフリップフロップ近傍に配置された他の組のクロック配線を自己の組のクロック配線と繋ぎ換えることができ、配線層よりも下層のレイアウト変更を要する配線のレイアウト修正と比較して、短い工程でのタイミング改善を行うことが可能となる。また同時に、繋ぎ換えのためのクロック配線は近傍に配置されることにより、繋ぎ換え部分の配線長の差による遅延時間のずれを低く抑えることが可能となる。
【0022】
また、請求項4記載の発明では、フリップフロップに更に回路素子が接続されている回路において、配線層のみの変更により遅延時間の調節を行う際、請求項3の方法を用いてレイアウト変更を施しても遅延の修正量の不足が予想される場合、フリップフロップ及びそれに接続される回路素子間のデータ配線の配線長を変更し、データの遅延時間を調節することによってもタイミングを改善することができるので、配線層のみのレイアウト変更による修正方法の選択幅が広がる。
【0023】
続いて、請求項5及び6記載の発明では、修正する配線層を予め特定の層に限定しておくことにより、修正時の配線層のレイアウト変更に伴う工程数を低減することができ、更に少ない工程での修正が可能となる。
【0024】
更に、請求項7記載の発明では、同一クロックを伝送する同一の組から分岐した複数のクロック配線を等遅延設計することにより、タイミング改善を図る際における最適なクロックの選択が容易となる。
【0025】
また、請求項8記載の発明では、各組間でクロック配線の一部又は全部が同一形状に配置され、且つ、その同一形状の配線において等位となる部分を互いに近傍に配置することにより、異なる組の各クロック配線間でフリップフロップを繋ぎ換える際にもスキューを生ずることなく修正することができる。
【0026】
続いて、請求項9記載の発明では、フリップフロップの近傍に、そのフリップフロップが属しているのとは異なる組のリピータバッファを、その入力端子を接地電位に固定した状態で予め配置しておくことにより、使用しないときは無駄な電力を消費せず、必要なときにのみ、配線層のみのレイアウト変更により他の組のクロック配線と接続し、タイミング改善を実現することが可能となる。
【0027】
更に、請求項10記載の発明では、入力端子が接地電位に固定されたリピータバッファをクロック配線に接続すると共に、フリップフロップとの接続を行う際、予めクロック配線を引くことができるスペースを配線ブロッケージ処理により確保してある。これにより、配線層のレイアウト変更を行う場合に、パターンルールにおいて他の回路素子の制約を受けることなく容易に変更を行うことが可能となる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の半導体集積回路のレイアウト方法を図面に基づいて説明する。
【0029】
(第1の実施の形態)
先ず、図1により、本発明の半導体集積回路のレイアウト方法における第1の実施の形態を示す。
【0030】
図1に示した半導体集積回路は、クロックを発生するクロックドライバ101、前記クロックドライバ101の発生したクロックを伝送するクロック配線10、このクロック配線10における伝送途中で劣化したクロックを正規の状態に再生することにより中継するリピータバッファ1011、1012、及びクロック配線10と2個のリピータバッファ1011、1012とにより伝送されてきたクロックにより駆動されるフリップフロップ103とからなる1つのクロック系統の組(自己の組)を備え、また、これとは別に、クロックドライバ102、リピータバッファ1021、フリップフロップ104及びそれらを繋ぐクロック配線11とからなる他の系統の組(自己の組とは別の他の組)を有している。
【0031】
更に、このクロックドライバ102の系統の組は、何れのフリップフロップ103、104にも接続されないリピータバッファ1022へもクロック配線11を伸ばしている。同図に示したように、このリピータバッファ1022は、自己の組のリピータバッファ1021から、自己の組のフリップフロップ104とは反対の方向に分岐され、他の系統のフリップフロップ103の近傍まで引き伸ばされたクロック配線11の末端に配置され、冗長なクロック配線として備えられる。
【0032】
このように、本発明の第1の実施の形態では、クロックドライバ101から供給されるクロックを受けるフリップフロップ103の近傍に、クロックドライバ102のクロックが伝達されるリピータバッファ1022が配置されている。従って、クロックドライバ101のクロックからクロックドライバ102のクロックに変更して、フリップフロップ103に供給されるクロックのタイミング改善を行う際、比較的短い配線の変更であるので、例えば、他の回路素子を移動させなければ配線を引くことができない等の、長い配線を引き回す場合に付随するパターンルールの制約を低減することができる。従って、このような他の組のクロックを利用したタイミング改善を容易に配線層のみのレイアウト変更により修正することが可能となる。また、短いクロック配線の繋ぎ換えを行うので、変更前後の配線長の差も小さく抑えることができ、それによる遅延のずれを生ずることがなく修正することが可能となる。
【0033】
従って、上述の修正を行う場合、図1には示していないが、フリップフロップ103に接続されるクロック配線10は、リピータバッファ1012との間の配線が削除され、代わりにリピータバッファ1022が接続された配線となる。
また、本実施の形態では、自己の組のクロックドライバ101が発生するクロックの供給を受けるフリップフロップ103が、リピータバッファ1012から他の組のリピータバッファ1022へ接続を変更することによりタイミング改善を行う例を示した。
【0034】
ここで更に、前述した他の組の冗長なリピータバッファ1022を配置したのと同様に、クロックドライバ101の組においてもフリップフロップ104の近傍に冗長なリピータバッファを配置しておけば、配線層のみのレイアウト変更によりクロック配線を繋ぎ換えて、フリップフロップ104のタイミング改善を行うことも可能となる。
【0035】
また、このような2組の繋ぎ換えに限らず、他の組の近傍に冗長なクロック配線を配置しておくことにより、複数の組のタイミング改善を同時に行うことが可能となる。
【0036】
(第2の実施の形態)
次に、図2に本発明の半導体集積回路のレイアウト方法における第2の実施の形態を示す。尚、以下の実施の形態において、前記第1の実施の形態と同様の機能を有する構成要素については同一の符号を付して、その説明を省略する。
【0037】
図2の半導体集積回路には、クロックドライバ101、リピータバッファ1013、1014、1014a及びこれらを接続するクロック配線10から構成される組と、クロックドライバ102、リピータバッファ1023、1024、1024a、フリップフロップ103及びこれらを接続するクロック配線11から構成される組との2組を有している場合を示している。ここで、クロックドライバ101が属する組においては、リピータバッファ1013と、クロックが伝達されるクロック配線10の末端に位置するリピータバッファ1014との間の配線距離はそれぞれ等距離に、また、もう一方のクロックドライバ102が属する組も同様にリピータバッファ1023と、クロックが伝達されるクロック配線11の末端に位置するリピータバッファ1024との間の配線もそれぞれ等距離に設計されている。従って、リピータバッファ1013及び1023からそれぞれの組のクロック配線の末端までの遅延は全て等しく設計される。そして、両組の等遅延設計部分については、同一形状において等位となる各部分、具体的には、リピータバッファ1013と1023、1014と1024、また、1014aと1024aとが互いに近傍になるように配置されている。
【0038】
本発明の第2の実施の形態では、第1の実施の形態で示した冗長なクロック配線11、すなわち、繋ぎ換えによりクロック変更をするために予め備えられ、回路機能を有さない各組のクロック配線は、更に、特定の基準部分、例えば図2に示した例では、リピータバッファ1013及び1023から同一形状になるように設計される。従って、各組において、特定の基準部分であるリピータバッファ1013及び1023を基準部分として、この基準部分から、等位に位置するそれぞれの組のリピータバッファ1014及び1024までの遅延は等しく、且つ、互いに近傍に配置されているので、配線繋ぎ換えの際、スキューを生じさせることなく配線層のみのレイアウト変更により容易にタイミング改善を図ることが可能となる。
【0039】
従って、上述のような修正を行うと、例えば、図中のフリップフロップ103とリピータバッファ1024aとを接続しているクロック配線は削除され、代わりにリピータバッファ1014aが接続された配線になる(この様子は同図には示していない)。
【0040】
また、ここでは、リピータバッファ1013及び1023からフリップフロップまでが等遅延に設計されている場合を示したが、クロックドライバ101及び102を基準部分として等遅延になるように設計を行うと、クロックドライバ101及び102の間における遅延に対する相対関係を、対応する各リピータバッファ1014及び1024間において保持させることができ、クロック配線の繋ぎ換えが更に容易になる。
【0041】
また、本実施の形態では、部分的に同一形状、すなわち、リピータバッファ1013及び1023と1014及び1024との間を同一形状に設計したが、クロックドライバ同士が互いに近傍に配置されているときは、全体を同一形状に設計することも可能である。
【0042】
尚、本実施の形態では、異なるクロック系統を同一形状に設計しているが、フリップフロップの総数又は分布に対応した同一形状の引き回しを施すこと、また、クロック周波数別に同一形状を持たせるなど、繋ぎ換えが想定されるフリップフロップに対応したクロック配線を等遅延設計することも考えられる。
【0043】
(第3の実施の形態)
続いて、図3及び図4により、本発明の半導体集積回路のレイアウト方法の第3の実施の形態を示す。
【0044】
図3及び図4は、本発明によりタイミング修正を行う例を示す。図3は、クロックドライバ101、リピータバッファ1013、1014及びフリップフロップ201、及びクロック配線10とからなる組と、クロックドライバ102、リピータバッファ1023、1024、フリップフロップ202、及びクロック配線11からなる組との2組を有する半導体集積回路を示す。また、203はスタンダードセルであり、データ線12によりフリップフロップ202に接続されている。クロックドライバ101及び102に繋がるクロック配線10及び11は、第2の実施の形態に示したのと同様に、それぞれ同一形状、且つ、互いに近傍になるように設計されており、クロックドライバ101が発生するクロックを受けるフリップフロップ201の近傍には、クロックドライバ102を有する組のリピータバッファ1024が、また、クロックドライバ102の組のフリップフロップ202の近傍には、クロックドライバ101を有する組のリピータバッファ1014がそれぞれ冗長なクロック配線として、且つ、対応する組同士が等遅延となるように配置されている。
【0045】
ここで、例えば、スタンダードセル203とフリップフロップ202との間の実デバイス上のデータ配線12において、ホールドマージン不足が見出された場合のクロック繋ぎ換えによる修正について考える。
【0046】
図4は前述のホールドマージン不足を解消するために、配線層のみのレイアウト修正により、スタンダードセル203へデータ配線12により接続されていたフリップフロップ202を、クロックドライバ102の組のフリップフロップ201にデータ配線13を介して繋ぎ換え、タイミング改善を施した後の状態を示している。
【0047】
これにより、本実施の形態では、リピータバッファ101及び102の各系統のクロック配線を等遅延になるように設計しているので、前記データ配線12からデータ配線13への繋ぎ換えによりスキューを発生させることなく、図3におけるフリップフロップ202からスタンダードセル203への配線長を図4におけるフリップフロップ201からスタンダードセル203への配線長となるようにデータ配線を延ばし、データ配線13のデータ伝播遅延を増大させてホールドマージン不足を改善することが可能となる。
【0048】
また、本実施の形態では、配線長を延ばすことにより配線遅延を増大させ、遅延時間を調節する例を示したが、逆に、配線層のみのレイアウト変更により、配線長を縮めて配線遅延を削減する修正を行うことも可能である。
【0049】
(第4の実施の形態)
更に、図5により、本発明の半導体集積回路のレイアウト方法の第4の実施の形態を示す。
【0050】
図5は、クロックドライバ101、リピータバッファ1011、1012、フリップフロップ103及び、クロック配線10とからなる組と、クロックドライバ102、リピータバッファ1021、1022、フリップフロップ104及び、クロック配線11とからなる組との2組を有する半導体集積回路を示す。ここで、301はリピータバッファ1012からフリップフロップ103に供給されるクロックの遅延を変更する必要がある場合に備えて、予めフリップフロップ103の近傍に配置されたリピータバッファであるが、このリピータバッファ301の入力端子は接地され、この入力端子とリピータバッファ1021との間には、配線を排除するように処理を施した配線ブロッケージ302が配置されている。すなわち、第1の実施の形態を示す図1と比較すると、図1の2個のリピータバッファ1021とリピータバッファ1022との間にクロック配線11を施さず、このクロック配線11に代えて配線ブロッケージ302を配置すると共に、リピータバッファ1022の入力端子を接地したものである。
【0051】
ここで、回路機能を考慮すると、図1の2個のリピータバッファ1021、1022間の冗長なクロック配線11及びリピータバッファ1022には、それらがタイミング修正に用いられるまでは、クロックが入力される必要はない。従って、タイミング修正の必要性が生じるまでは冗長なクロック配線11は消費電力を抑えるために配線せず、リピータバッファ1022も動作させない方がよい。しかし、リピータバッファ1022は下地層及び配線層の両工程により形成されるので、タイミング修正の際、配線層のみのレイアウト変更により修正を行いたい場合は、その下地層だけは形成しておかなければならない。
【0052】
そのため、本実施の形態では、初期状態では、リピータバッファ301には無駄な電力を消費させないために、上述のように入力端子を接地電位(固定電位)に固定して動作させないようにし、且つ、上述のような配線ブロッケージ302を施すことにより、クロック配線を施さない状態としている。これにより、本実施の形態では、冗長なリピータバッファ301の消費電力を削減しながらも、タイミング修正が必要となった場合には、配線ブロッケージ302をクロック配線11に変更し、そのクロック配線11をリピータバッファ301の入力に接続することにより、第1〜第3の実施の形態に示したような配線修正を実現することが可能となる。
【0053】
(第5の実施の形態)
次に、図6により、本発明の半導体集積回路のレイアウト方法の第5の実施の形態を示す。
【0054】
本実施の形態では、リピータバッファとフリップフロップとを直接接続するクロック配線の配線層を限定する。
【0055】
図6は、クロックドライバ101、リピータバッファ1011、1012、403a、クロック配線10、401及びフリップフロップ103からなる組と、クロックドライバ102、リピータバッファ1021、1022、403b、クロック配線11、402及びフリップフロップ104からなる組とを有する半導体集積回路を示す。同図において、実線により示したクロック配線10、11は金属配線層の1層目の配線を、また、点線により示したクロック配線401、402は金属配線層の2層目の配線を示している。フリップフロップ103は、クロックドライバ101から1層目のクロック配線10により接続されたリピータバッファ1012を介して、リピータバッファ1012からフリップフロップ103までの間は、2層目のクロック配線401を用いることにより接続される。また、同様に、リピータバッファ1022の出力ピンとフリップフロップ104との間は2層目のクロック配線402により接続される。
【0056】
図中、リピータバッファ403a及び403bはクロックの置き換えに使用するために配された冗長なリピータバッファであり、これらのリピータバッファ403a、403bの出力ピンは、第2の配線層に持ち上げられている。
【0057】
従って、例えば、フリップフロップ104に対するタイミング修正を行う場合に、このフリップフロップ104に供給するクロックをリピータバッファ1022からリピータバッファ403aに繋ぎ換えて供給するに際しては、第2配線層のクロック配線402を削除し、このクロック配線402の元の経路の側方において第2配線層にクロック配線(図示せず)を配置し、このクロック配線の一端を前記リピータバッファ403aの出力ピンに、その他端をフリップフロップ104に接続することになる。よって、クロックを繋ぎ換える修正において、例えば、リピータバッファ403a、1022とフリップフロップ104との間に配置するクロック配線の配線層を第2層目に限定しておくことにより、修正を行うべき配線層の数を少なく抑えることができ、修正にかかるコストを削減することが可能となる。更に、この修正の配線層を少なくとも第2層目以上の上層に限定することにより、マスク適用までの設計期間を多くとることができ、また、修正からデバイス完成までの期間を短縮することが可能となる。
【0058】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1、2及び3記載の発明によれば、フリップフロップに繋がるクロック配線を別の組のクロック配線に繋ぎ換える修正を行う際に、その修正を配線層のみのレイアウト変更により実現できるので、配線層以外の他の層のレイアウト変更を必要とせず、短い工程により修正することが可能となる。
【0059】
また、請求項4記載の発明では、フリップフロップに更に回路素子が接続されている半導体集積回路において、請求項3のようなタイミング改善を試みても、遅延の修正量が不足してしまうような場合、請求項3のクロック配線の入れ換えにより、自己の組のフリップフロップを前記回路素子から遠くに移せることを利用して、その遠くに移動させたフリップフロップと前記回路素子との間のデータ配線長を長くとることができるのでデータ配線遅延を増大させることができ、配線層のみのレイアウト変更により、ホールドバイオレーションを改善することが可能となる。また、本発明では、逆に請求項3のクロック配線の入れ換えにより、自己の組のフリップフロップを前記回路素子に近づけることにより、データ配線長を短くして、データ配線遅延を低減させることも可能である。
【0060】
更に、請求項5及び6記載の発明では、予め修正する配線層を少なくするように限定するので、修正にかかるコストを削減することが可能となり、特に、修正する配線層を上層に限定することにより、マスク適用までの設計期間を多くとることができ、マスク適用からデバイスが出来上がるまでの期間も短くすることが可能となる。また、一般的に配線層マスクは上層に使用するマスクの方が単価は低くなるので、加えて修正コストを低減することが可能となる。
【0061】
続いて、請求項7記載の発明では、冗長なクロック配線も含めて、同一のクロックドライバから等遅延となるクロック配線を複数構成するので、ホールドマージン不足が生じたときにでも、配線遅延を調節しつつ、同一遅延のクロック配線を選択し、繋ぎかえることが容易になる。これにより、スキューの発生を防ぎながらも、ホールドマージンを改善することが可能となる。
【0062】
また、請求項8記載の発明では、複数のクロックドライバからのクロック配線を一箇所に集めて、そこから更に、同一構造で遅延が等しくなるようにクロック配線を各組配置しておくことにより、それらのクロック配線間の繋ぎ換えを行っても、スキューの問題が生ずることがないので遅延の見積もりが容易であり、また、多数配置しておけば、クロック配線の繋ぎ換えの選択が容易となる。
【0063】
更に、請求項9記載の発明では、回路機能に貢献しない、タイミング調整用として冗長に配置されているリピータバッファの入力端子をグランドに固定することにより、余剰な消費電力を低減することが可能となる。
【0064】
続いて、請求項10記載の発明では、使用しないリピータバッファにクロックを供給するクロック配線を外しておく配線予定の領域が、他の配線がレイアウトされないように配線ブロッケージ処理されることにより、更に配線が必要となったときには、下地層の修正を伴うことなく、配線層のみのレイアウト変更により、請求項9の下地層に形成されたリピータバッファと容易に接続し、修正することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図4】本発明の第3の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図5】本発明の第4の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図6】本発明の第5の実施の形態における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図7】従来のレイアウト変更方法における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【図8】従来のレイアウト変更方法における半導体集積回路のレイアウト概略図である。
【符号の説明】
10、11 クロック配線
12、13 データ配線
101、102 クロックドライバ
301、403a、403b クロック修正用リピータバッファ
302 配線ブロッケージ
1011、1012
、1013、1014
、1021、1022
、1023、1024 リピータバッファ
103、104
、201、202 フリップフロップ
203 スタンダードセル
Claims (11)
- クロックを発生するクロックドライバ、前記クロックドライバの前記クロックを伝送するクロック配線、及び前記クロック配線の前記クロックにより駆動されるフリップフロップを1組として、この組を複数組配置すると共に、
特定の組の前記フリップフロップの近傍に、少なくとも1つ、このフリップフロップの属する組以外の他の組のクロック配線を配置する
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - 請求項1記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、
自己の組のフリップフロップに接続されるクロック配線を、自己の組のクロック配線から、前記自己の組のフリップフロップの近傍に配置された前記他の組のクロック配線に繋ぎ換え、この繋ぎ換えにより、クロック配線の繋ぎ換えを配線層のみのレイアウト変更によって行う
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - 請求項1記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、
互いに近傍に他の組のクロック配線が配置された少なくとも2つの前記特定のフリップフロップであって、
自己の組のフリップフロップに接続されたクロック配線を、前記自己の組の近傍に配置された他の組のクロック配線に繋ぎ換え、
前記他の組のフリップフロップに接続されたクロック配線を、前記他の組の近傍に配置された前記自己の組のクロック配線に繋ぎ換える
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - 請求項3記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、
前記フリップフロップからデータ配線を介して更に回路素子を配置すると共に、前記自己の組と他の組との間において前記フリップフロップ及びクロック配線を繋ぎ換える際に、前記フリップフロップと前記回路素子との間のデータ配線の配線長の調節も行う
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - 請求項1、2又は3記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、
前記クロック配線の繋ぎ換えは、特定の配線層のみに限定したレイアウト変更により行う
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - 請求項5記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、
前記限定された特定の配線層による前記クロック配線の繋ぎ換えは、少なくとも2層目以上の上層配線層に限定する
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - 請求項2、3、5又は6記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、
前記各組において、自己の組のフリップフロップにクロックを伝送するクロック配線、及び他の組のフリップフロップの近傍にまで延びる前記クロック配線を、クロックの伝播遅延時間が各クロック配線間で等しくなるように配置する
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - 請求項7記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、
前記クロックドライバから配される前記クロック配線の一部又は全部を各組相互間で同一の形状に配し、且つ、同一の形状に配された複数組の前記クロック配線を、前記同一の形状において等位となる部分が互いに近傍になるように配置する
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - クロックを発生するクロックドライバ、前記クロックドライバの前記クロックを伝送するクロック配線、及び前記クロック配線の前記クロックにより駆動されるフリップフロップを1組として、この組を複数組配置すると共に、
前記自己の組のフリップフロップの近傍に、入力端子を接地電位に固定したリピータバッファを配置する
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - 請求項9記載の半導体集積回路のレイアウト方法において、
前記自己の組以外の他の組のクロック配線と前記自己の組のフリップフロップの近傍に配置される前記リピータバッファとの間に、配線の配置を排除する配線ブロッケージを設ける
ことを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方法。 - クロックを発生するクロックドライバ、前記クロックドライバの前記クロックを伝送するクロック配線、及び前記クロック配線の前記クロックにより駆動されるフリップフロップを1組として、この組を複数組配置した半導体集積回路であって、
自己の組以外の他の組のクロック配線は自己の組のフリップフロップの近傍に配置される
ことを特徴とする半導体集積回路。
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JP2003176019A JP2005012045A (ja) | 2003-06-20 | 2003-06-20 | 半導体集積回路のレイアウト方法及び半導体集積回路 |
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JP2003176019A JP2005012045A (ja) | 2003-06-20 | 2003-06-20 | 半導体集積回路のレイアウト方法及び半導体集積回路 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014186648A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Fujitsu Ltd | 設計支援装置、設計支援方法、および設計支援プログラム |
US11164639B2 (en) | 2018-12-21 | 2021-11-02 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
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2003
- 2003-06-20 JP JP2003176019A patent/JP2005012045A/ja active Pending
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