JP2005007748A - Film sticking device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板にフィルムを貼り付けるための、フィルム貼付装置の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
基板にフィルムを貼り付けるためのフィルム貼付装置としては様々な装置が挙げられる。その中で、液晶パネルに用いられる液晶セル基板(ガラス基板)に偏光板(フィルム)を貼り付けるための偏光板貼付装置について、図8〜図10を参照して説明する。なお、偏光板貼付装置における偏光板の貼付方式には、「ローラ貼付方式」と「プレート貼付方式」とが代表的である。「ローラ貼付方式」は、液晶セル基板を保持する基板セットテーブルと、偏光板を保持する偏光板セットテーブルとを静止させ、液晶セル基板と偏光板とを送りながら液晶セル基板に偏光板を貼付ける方式である。また、「プレート貼付方式」は、偏光板セットテーブルを静止させ、基板セットテーブルを偏光板とともに送りながら液晶セル基板に偏光板を貼付ける方式である。以下の説明においては、一例として「ローラ貼付方式」を採用した偏光板貼付装置1Bについて説明する。
【0003】
<偏光板貼付装置1Bの構成>
図8は、偏光板貼付装置1Bのラインを模式的に示す全体側面図であり、清掃ステージ100、アライメント(位置決め)ステージ200、偏光板貼付ステージ300、基板反転ステージ400、および基板収容ステージ500を備えている。
【0004】
清掃ステージ100には、液晶セル基板10を載置し所定方向に搬送するための搬送ローラ110および清掃ローラ120が設けられている。アライメントステージ200には、搬送ローラ110、仮アライメントローラ220、昇降可能に設けられ液晶セル基板10の吸着固定が可能なアライメントテーブル210、および、CCDカメラ270が設けられている。また、搬送ローラ110の上方には、液晶セル基板10を吸着固定するための複数の吸盤260が設けられた基板搬送セットテーブル250が設けられている。この基板搬送セットテーブル250は、偏光板貼付ステージ300との間を移動可能な搬送機構が設けられている。
【0005】
偏光板貼付ステージ300には、液晶セル基板10を載置し搬送するためのフリーローラ350が設けられ、フリーローラ350の搬送方向上流側(基板反転ステージ400側)には、昇降機構を備える上貼付けローラ320が設けられている。また、フリーローラ350の下方には、偏光板20を位置決め固定するための、吸着ノズル360aを備える偏光板セットテーブル360が設けられている。この偏光板セットテーブル360には、搬送方向上流側(基板反転ステージ400側)がチルトアップする機構が採用されている。また、偏光板セットテーブル360の搬送方向上流側(基板反転ステージ400側)には、昇降機構を備える下貼付けローラ330が設けられている。
【0006】
基板反転ステージ400には、搬送ローラ110、および、液晶セル基板10の上下面を反転させるための反転アーム410が設けられている。また、基板収容ステージ500には、反転アーム410から、液晶セル基板10を受取るためのチャックバー510、搬送ローラ110、および、液晶セル基板10を格納するための基板カセット520が設けられている。
【0007】
<貼付ステップ>
次に、図8〜図10を参照して、上記偏光板貼付装置1Bにおける液晶セル基板10への偏光板20の貼付ステップについて説明する。
【0008】
まず、図8を参照して、清掃ステージ100に搬入された液晶セル基板10は、搬送ローラ110により送られながら、偏光板20が貼付られる面(たとえばCF面)が清掃ローラ120により清掃される。その後、液晶セル基板10は、搬送ローラ110により、アライメントステージ200に搬送される。
【0009】
アライメントステージ200においては、仮アライメントローラ220により、液晶セル基板10が仮アライメントされる。仮アライメントが終了した後、アライメントテーブル210が1段上昇して、このアライメントテーブル210により液晶セル基板10が吸着固定される。その後、CCDカメラ270により液晶セル基板10の位置情報が読取られ、アライメントテーブル210による液晶セル基板10の本アライメントが行なわれる。
【0010】
次に、液晶セル基板10の本アライメントが完了した後、液晶セル基板10を吸着固定したアライメントテーブル210がさらに1段上昇して、基板搬送セットテーブル250に液晶セル基板10を受け渡す。基板搬送セットテーブル250においては、吸盤260を用いて液晶セル基板10が吸着固定される。このとき、液晶セル基板10の先端部が、基板搬送セットテーブル250から偏光板貼付ステージ300側に約50mm程度突出するように、液晶セル基板10を吸着固定する。
【0011】
次に、図9を参照して、基板搬送セットテーブル250が液晶セル基板10を吸着固定した状態で、偏光板貼付ステージ300の所定位置に移動した後、基板搬送セットテーブル250が数ミリ下降して、液晶セル基板10をパネル受けフリーローラ350に載置させる。基板搬送セットテーブル250の下降量は、液晶セル基板10の厚さに応じて調節可能となっている。
【0012】
一方、液晶セル基板10に対して対向配置され、位置決め固定された偏光板20を有する偏光板セットテーブル360の一端側(基板反転ステージ400)をチルトアップすることにより、偏光板20の先端が液晶セル基板10の先端と近接する状態となる。
【0013】
ここで、図10を参照して、液晶セル基板10への偏光板20の貼付けについて詳細に説明する。上貼付けローラ320が下降し、液晶セル基板10の先端部に上貼付けローラ320が当接する。また、下貼付けローラ330が上昇して、偏光板20の先端部に下貼付けローラ330が当接する。これにより、液晶セル基板10の先端部と偏光板20の先端部とが、上貼付けローラ320および下貼付けローラ330により圧接された状態となる。
【0014】
次に、基板搬送セットテーブル250の吸盤260による液晶セル基板10の吸引が解除されるとともに、基板搬送セットテーブル250は退避するため上昇する。また、偏光板セットテーブル360の吸着ノズル360aによる偏光板20の吸引も解除される。
【0015】
次に、上貼付けローラ320および下貼付けローラ330が回転することにより、液晶セル基板10と偏光板20とがともに送られながら、液晶セル基板10の表面に偏光板20が順次貼付られることになる。
【0016】
再び、図9を参照して、偏光板20が貼付られた液晶セル基板10は、基板反転ステージ400の反転アーム410に受取られ、液晶セル基板10の上下面が反転させられる。その後、液晶セル基板10は、基板収容ステージ500のチャックバー510により、基板カセット520内に格納される。その後、カセット520内に格納された液晶セル基板10(一方の表面(CF面)にのみ偏光板20が貼付)は、上記と同様の貼付ステップにより、他方の表面(TFT面)に偏光板20が貼付けられることになる。また、基板反転ステージ400と基板収容ステージ500との間に、液晶セル基板10の他方の表面側に偏光板20を貼付けるため、清掃ステージ100、アライメントステージ200、偏光板貼付ステージ300をさらに設ける構成として、両面に偏光板20が貼付けられた液晶セル基板10をカセット520内に格納させるライン構成を採用することも可能である。
【0017】
なお、以上本願に係る発明についての従来の技術を、出願人の知得した一般的技術情報に基づいて説明したが、出願人の記憶する範囲において、本願の出願前までに先行技術文献情報として開示すべき情報を出願人は有しておらず、かつ、本願に先行する出願人自身の特許出願等についても認識していない。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
上述した偏光板貼付装置1Bにおいては、以下に示す課題を有していると考えられる。
【0019】
第1に、偏光板貼付ステージ300において、上貼付けローラ320および下貼付けローラ330が回転することにより、液晶セル基板10と偏光板20とがともに送られながら、液晶セル基板10の表面に偏光板20が順次貼付られる。このとき、偏光板20は偏光板セットテーブル360に接触した状態で送られるために、偏光板20の表面にスクラッチ(ヘアライン状の擦り傷)が入るおそれがある。
【0020】
第2に、アライメントステージ200および偏光板貼付ステージ300において、液晶セル基板10は基板搬送セットテーブル250に設けられた吸盤260により吸着固定および搬送されるが、液晶セル基板10が大型化し、液晶セル基板10の重量が重くなると(約10kg程度)、吸盤260による吸着力が大きくなるため、液晶セル基板10に与える歪(ストレス)が大きくなり、液晶セル基板10に歪を生じさせる要因となる。
【0021】
第3に、偏光板貼付ステージ300において、液晶セル基板10の表面に偏光板20を貼付る際には、液晶セル基板10と偏光板20との交差角度(図9中θ2)は小さいほうが好ましい。これは、交差角度(θ2)が大きくなると、下貼付けローラ330への偏光板20の巻付き量(偏光板20が下貼付けローラ330に曲げられる量)が多くなる。その結果、偏光板20がカールし、液晶セル基板10への貼付に対して悪影響を与えることになる。
【0022】
上記のような課題は、偏光板貼付装置に限らず、基板とフィルムとを所定方向に送りながら、基板の表面にフィルムを順次貼付るため、上記のような構成を採用するフィルム貼付装置においては、共通の課題として生じるものである。
【0023】
したがって、この発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、第1の目的は、フィルム表面へのスクラッチが入ることを防止可能とする機構を備えるフィルム貼付装置を提供することにある。
【0024】
また、この発明の第2の目的は、基板の支持時における歪付与の低減を可能とする機構を備えるフィルム貼付装置を提供することにある。
【0025】
また、この発明の第3の目的は、フィルムのカールを防止し、フィルムを基板に対して良好に貼付けることを可能とする機構を備えるフィルム貼付装置を提供することにある。
【0026】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に基づいたフィルム貼付装置においては、基板を保持するための基板保持装置と、フィルムを上記基板の表面に対向配置させた状態で上記フィルムを保持するためのフィルム保持装置とを備え、上記基板と上記フィルムとの所定領域を相対的に近接させ、上記基板と上記フィルムとを所定方向に送りながら、上記基板の表面にフィルムを順次貼付るためのフィルム貼付装置であって、以下の構成を備えることを特徴とする。
【0027】
上記フィルム保持装置は、上記フィルムに対向するフィルム対向面と上記フィルムとの間を非接触状態にして、上記フィルムを支持するためのフィルム非接触支持装置と、上記フィルムに吸着し、上記フィルム対向面に対する上記フィルムの初期位置決め状態を保持する吸着状態と、この吸着状態を解除する開放状態との選択が可能なフィルム位置保持装置とを有する。
【0028】
このように、フィルム非接触支持装置を用いて、フィルムをフィルム対向面に接触させることなく支持できるため、フィルム対向面によるフィルム表面へのスクラッチが入ることを回避させることが可能となる。また、フィルムの位置決めにおいては、フィルム位置保持装置によりフィルムを吸着状態により固定することができるため、フィルムの不要な移動も防止することができる。また、フィルムの移動の際には、吸着状態を解除することで、フィルムの搬送に影響を与えることもない。
【0029】
また、上記フィルム貼付装置において好ましくは、上記フィルム非接触支持装置は、上記フィルムと上記フィルム対向面との間隙に気体を吹出すための第1吐出ノズルと、上記フィルムと上記フィルム対向面との間隙にから気体を吸込むための第1吸引ノズルとを含む。たとえば、フィルム保持装置の上面側においてフィルムを支持する場合、第1吐出ノズルからフィルムの下面側に向けて気体が吹出されることにより、フィルムは浮上状態となり、フィルムをフィルム対向面に接触させることなく支持できる。さらに、第1吸引ノズルを用いて、フィルムとフィルム対向面との間の気体を吸込むことにより、フィルムの浮上状態(フィルムとフィルム対向面との間隔(ギャップ))をより安定させることが可能となる。
【0030】
また、上記フィルム貼付装置において好ましくは、上記基板保持装置は、上記基板に対向する基板対向面と上記基板との間を非接触状態にして、上記基板を支持するための基板非接触支持装置と、上記基板に吸着し、上記基板対向面に対する上記基板の初期位置決め状態を保持する吸着状態と、この吸着状態を解除する開放状態との選択が可能な基板位置保持装置とを有する。
【0031】
このように、基板非接触支持装置を用いて、基板を基板対向面に接触させることなく基板の全面にわたって基板を支持できるため、基板の支持時における歪付与の低減を可能とする。
【0032】
また、基板の位置決めにおいては、基板位置保持装置により基板を吸着状態により固定することができるため、基板の不要な移動も防止することができる。また、基板の移動の際には、吸着状態を解除することで、基板の搬送に影響を与えることもない。
【0033】
さらに、たとえば、基板保持装置の下面側において基板を支持する場合、従来のように基板の下面側を支持するためのローラを設ける必要がなくなる。その結果、基板保持装置とフィルム貼付装置との間隔を可能な限り小さくすることができるため、フィルムの基板への貼付け時におけるフィルムのカールを防止し、フィルムを基板に対して良好に貼付けることが可能となる。
【0034】
また、上記フィルム貼付装置において好ましくは、上記基板非接触支持装置は、上記基板と上記基板対向面との間隙に気体を吹出すための第2吐出ノズルと、上記基板と上記基板対向面との間隙から気体を吸込むための第2吸引ノズルとを含む。たとえば、基板非接触支持装置の下面側において基板を支持する場合、第2吸引ノズルから基板の上面側の気体が吸込まれることにより、基板は吸引されて浮遊状態となり、基板を基板対向面に接触させることなく支持できる。さらに、第2吐出ノズルを用いて、基板と基板対向面との間に体を吹出すことにより、基板の浮遊状態(基板と基板対向面との間隔(ギャップ))をより安定させることが可能となる。
【0035】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に基づいた実施の形態におけるフィルム貼付装置としての一例として、偏光板貼付装置について図を参照しながら説明する。
【0036】
本発明に基づいた偏光板貼付装置1Aは、上述した偏光板貼付装置1Bと同様に、「ローラ貼付方式」を採用したものである。また、全体の基本構成は、同じであるため、以下の説明において、偏光板貼付装置1Bと同一または相当部分については同一の参照番号を付して、重複する説明は繰返さないこととする。
【0037】
<偏光板貼付装置1A>
まず、図1および図2を参照して、本実施の形態における偏光板貼付装置1Aの全体構成の概略について説明する。なお、図1および図2は、本実施の形態における偏光板貼付装置1Aの全体構成を示す第1および第2全体側面図である。
【0038】
この偏光板貼付装置1Aは、上記偏光板貼付装置1Bと同様に、清掃ステージ100、アライメント(位置決め)ステージ200、偏光板貼付ステージ300、基板反転ステージ400、および基板収容ステージ500を備えている。
【0039】
本偏光板貼付装置1Aの特徴的構成としては、アライメントステージ200および偏光板貼付ステージ300の間を移動可能に設けられる、基板保持装置としての基板搬送セットテーブル230の構成、および、偏光板貼付ステージ300に設けられるフィルム保持装置としての偏光板セットテーブル310の構成にある。
【0040】
<基板搬送セットテーブル230の構成>
次に、図3〜図5を参照して、基板搬送セットテーブル230の構成について詳細に説明する。なお、図3は、基板搬送セットテーブル230が、偏光板貼付ステージ300に位置する状態を示す側面図である。また、図4は基板搬送セットテーブル230における液晶セル基板10の保持状態を示す横断面図であり、図5は基板搬送セットテーブル230における液晶セル基板10の支持状態を示す横断面図である。
【0041】
基板搬送セットテーブル230は、図4および図5に示すように、液晶セル基板10との間に間隙(C)を設けて、非接触支持状態により液晶セル基板10を支持することを特徴とし、そのために基板非接触支持装置を有している。
【0042】
この基板搬送セットテーブル230は、平板状のテーブルからなり、液晶セル基板10に対向する基板対向面230Sを有している。また、基板非接触支持装置として、基板対向面230Sからエアーを吹出すための吐出ノズル(第2吐出ノズル)230Aと、基板対向面230Sからエアーを吸込むための吸引ノズル(第2吸引ノズル)230Bとが設けられている。なお、吐出ノズル230Aにエアーを送る機構、および、吸引ノズル230Bからエアーを吸引する機構については、公知の技術を適用することが可能であるため、詳細な構造の図示は省略する。
【0043】
基板搬送セットテーブル230の、基板対対向面230Sに設けられる吐出ノズル230Aおよび吸引ノズル230Bの合計数は約2000個/m2〜6000個/m2程度、液晶セル基板10と基板対向面230Sの間隙(C)は約30μm〜約100μm程度、吐出ノズル230Aにおけるエアーの作動正圧は約30mbar〜130mbar程度、吸引ノズル230Bにおけるエアーの作動負圧は約110mbar〜200mbar程度である。なお、各パラメータは、液晶セル基板10の大きさ、重量、間隙(C)の距離に応じて、適宜設定されるものである。
【0044】
ここで、吸引ノズル230Bからの負圧のみで、基板搬送セットテーブル230の下面側に液晶セル基板10を支持することも可能であるが、吸引ノズル230Bからの負圧と、吐出ノズル230Aからの正圧とを適宜組み合わせることにより、液晶セル基板10と基板対向面230Sとの間に存在するエアーに液晶セル基板10の吸引力だけでなく反発力(空気バネ)の作用も生じさせることが可能になり、吸引力と反発力との組み合わせから、基板10と基板対向面230Sの間隙(C)を安定させることを可能としている。
【0045】
また、基板搬送セットテーブル230の基板対向面230Sに対して、液晶セル基板10を支持しつつ、液晶セル基板10のアライメント位置を固定するために、基板搬送セットテーブル230には、基板位置保持装置が設けられている。この基板位置保持装置としては、液晶セル基板10への吸着時(初期位置決め状態を保持する吸着状態時)には、基板対向面230Sから液晶セル基板10側に突出し(図4に示す状態)、液晶セル基板10への吸着の解除時には、液晶セル基板10の移動に伴う液晶セル基板10との干渉を回避するため、基板対向面230Sから内方に収容される(図5に示す状態)吸盤機構240が設けられている。なお、吸盤機構240の基板搬送セットテーブル230からの突出および収納機構、および、基板搬送セットテーブル230のアライメントステージ200と偏光板貼付ステージ300との間の移動機構については、公知の技術を用いることにより実現可能であるため、詳細な構造の図示は省略する。
【0046】
<偏光板セットテーブル310の構成>
次に、図3、図6および図7を参照して、偏光板セットテーブル310の構成について詳細に説明する。なお、図6は偏光板セットテーブル310における偏光板20の保持状態を示す横断面図であり、図7は偏光板セットテーブル310における偏光板20の支持状態を示す横断面図である。
【0047】
偏光板セットテーブル310は、図6および図7に示すように、偏光板20との間に間隙(C)を設けて、非接触支持状態により偏光板20を支持することを特徴とし、そのために偏光板(フィルム)非接触支持装置を有している。
【0048】
この偏光板セットテーブル310は、平板状のテーブルからなり、偏光板20に対向する偏光板対向面310Sを有している。また、基板非接触支持装置として、偏光板対向面310Sからエアーを吹出すための吐出ノズル(第1吐出ノズル)310Aと、偏光板対向面310Sからエアーを吸込むための吸引ノズル(第1吸引ノズル)310Bとが設けられている。なお、吐出ノズル310Aにエアーを送る機構、および、吸引ノズル310Bからエアーを吸引する機構については、公知の技術を適用することが可能であるため、詳細な構造の図示は省略する。
【0049】
偏光板セットテーブル310の偏光板対向面310Sに設けられる吐出ノズル310Aおよび吸引ノズル310Bの合計数は約2000個/m2〜6000個/m2程度、偏光板20と偏光板対向面310Sの間隙(C)は約30μm〜約100μm程度、吐出ノズル3100Aにおけるエアーの作動正圧は約110mbar〜200mbar程度、吸引ノズル230Bにおけるエアーの作動負圧は約30mbar〜130mbar程度である。なお、各パラメータは、偏光板20の大きさ、重量、間隙(C)の距離に応じて、適宜設定されるものである。
【0050】
ここで、吐出ノズル310Aからの正圧のみで、偏光板セットテーブル310の上面側に偏光板20を支持することも可能であるが、吐出ノズル310Aからの正圧と吸引ノズル230Bからの負圧とを適宜組み合わせることにより、偏光板20と偏光板対向面310Sとの間に存在するエアーに偏光板20の浮力だけでなく吸引に伴う反発力(空気バネ)の作用も生じさせることが可能になり、吸引力と反発力(浮力)との組み合わせから、基板10と偏光板対向面310Sの間隙(C)を安定させることを可能としている。
【0051】
また、偏光板セットテーブル310の偏光板対向面310Sに対して、偏光板20を支持しつつ、偏光板20のアライメント位置を固定するために、偏光板セットテーブル310には、偏光板(フィルム)位置保持装置が設けられている。この偏光板位置保持装置としては、偏光板20への吸着時(初期位置決め状態を保持する吸着状態時)には、偏光板対向面310Sから偏光板20側に突出し(図6に示す状態)、偏光板20への吸着を解除する時には、偏光板20の移動に伴う偏光板20との干渉を回避するため、偏光板対向面310Sから内方に収容される(図7に示す状態)吸盤機構37が設けられている。なお、吸盤機構370の偏光板セットテーブル310からの突出・収納機構、および、偏光板セットテーブル310のチルトアップ機構については、公知の技術を用いることにより実現可能であるため、詳細な構造の図示は省略する。
【0052】
<貼付ステップ>
次に、図1〜図3を参照して、上記偏光板貼付装置1Aにおける液晶セル基板10への偏光板20の貼付ステップについて説明する。
【0053】
まず、図1を参照して、清掃ステージ100に搬入された液晶セル基板10は、搬送ローラ110により送られながら、偏光板20が貼付られる面(たとえばCF面)が清掃ローラ120により清掃される。その後、液晶セル基板10は、搬送ローラ110により、アライメントステージ200に搬送される。
【0054】
アライメントステージ200においては、仮アライメントローラ220により、液晶セル基板10が仮アライメントされる。仮アライメントが終了した後、アライメントテーブル210が1段上昇して、このアライメントテーブル210により液晶セル基板10が吸着固定される。その後、CCDカメラ270により液晶セル基板10の位置情報が読取られ、アライメントテーブル210による液晶セル基板10の本アライメントが行なわれる。
【0055】
次に、液晶セル基板10の本アライメントが完了した後、液晶セル基板10を吸着固定したアライメントテーブル210がさらに1段上昇して、基板搬送セットテーブル230に液晶セル基板10を受け渡す。基板搬送セットテーブル230においては、上記したように非接触支持状態により液晶セル基板10を支持する。なお、液晶セル基板10のアライメント位置を崩さないように、基板位置保持装置としての吸盤機構240により液晶セル基板10はその位置が固定される。このとき、液晶セル基板10の先端部が、基板搬送セットテーブル230から偏光板貼付ステージ300側に約50mm程度突出するように、液晶セル基板10を吸着固定する。
【0056】
次に、図2を参照して、基板搬送セットテーブル230が液晶セル基板10を支持固定した状態で偏光板貼付ステージ300の所定位置に移動する。このとき、従来のように、フリーローラ等に液晶セル基板10を載置させる必要はない。
【0057】
一方、液晶セル基板10に対して対向配置され、非接触支持状態により位置決め固定された偏光板20を有する偏光板セットテーブル310の一端側(基板反転ステージ400)をチルトアップすることにより、偏光板20の先端が液晶セル基板10の先端と近接する状態となる。
【0058】
ここで、図3を参照して、液晶セル基板10への偏光板20の貼付けについて詳細に説明する。上貼付けローラ320が下降し、液晶セル基板10の先端部に上貼付けローラ320が当接する。また、下貼付けローラ330が上昇して、偏光板20の先端部に下貼付けローラ330が当接する。これにより、液晶セル基板10の先端部と偏光板20の先端部とが、上貼付けローラ320および下貼付けローラ330により圧接された状態となる。
【0059】
次に、基板搬送セットテーブル250の吸盤機構240による液晶セル基板10の吸引が解除されるとともに、この吸盤機構240は基板搬送セットテーブル250内に収容される。また、偏光板セットテーブル310の吸盤機構370による偏光板20の吸引も解除されるとともに、この吸盤機構370は偏光板セットテーブル310内に収容される。
【0060】
次に、上貼付けローラ320および下貼付けローラ330が回転することにより、基板搬送セットテーブル250および偏光板セットテーブル360に対して非接触状態を保ちながら、液晶セル基板10と偏光板20とがともに送られ、液晶セル基板10の表面に偏光板20が順次貼付られることになる。
【0061】
その後の、基板反転ステージ400および基板収容ステージ500での動作は、上述した偏光板貼付装置1Bの場合と同じである。
【0062】
(作用・効果)
以上、本実施の形態における偏光板貼付装置1Aによれば、偏光板非接触支持装置を用いて、偏光板20を偏光板対向面310Sに接触させることなく支持できるため、偏光板対向面310による偏光板20の表面へのスクラッチが入ることを回避させることが可能となる。
【0063】
また、基板非接触支持装置を用いて、液晶セル基板10を基板対向面230Sに接触させることなく液晶セル基板10の全面にわたって液晶セル基板10を支持できるため、液晶セル基板10の支持時における歪付与の低減を抑えることが可能となる。
【0064】
また、基板搬送セットテーブル230の下面側において液晶セル基板10を支持する構成を採用していることから、従来のように液晶セル基板10の下面側を支持するためのローラを設ける必要がなくなる。その結果、基板搬送セットテーブル230と偏光板セットテーブル310との交差角度(図2中のθ1:本実施の形態においては、約5°)を可能な限り小さくすることができるため、偏光板20の液晶セル基板10への貼付け時における偏光板20のカールを防止し、偏光板20を液晶セル基板10に対して良好に貼付けることが可能となる。
【0065】
なお、基板反転ステージ400と基板収容ステージ500との間に、液晶セル基板10の他方の表面側に偏光板20を貼付けるため、清掃ステージ100、アライメントステージ200、偏光板貼付ステージ300をさらに設ける構成として、両面に偏光板20が貼付けられた液晶セル基板10をカセット520内に格納させるライン構成を採用することも可能である。
【0066】
なお、上記偏光板貼付装置1Aは、液晶セル基板10を保持する基板セットテーブル230と、偏光板20を保持する偏光板セットテーブル310とを静止させ、液晶セル基板10と偏光板20とを送りながら液晶セル基板10に偏光板20を貼付ける「ローラ貼付方式」を採用した場合について説明したが、偏光板セットテーブル310を静止させ、基板セットテーブル230を偏光板20とともに送りながら液晶セル基板10に偏光板20を貼付ける「プレート貼付方式」に上記構成を適用することも可能である。また、偏光板セットテーブル310にのみ、偏光板20の非接触支持機構を採用する構成も可能である。
【0067】
また、上記非接触支持機構の採用において、気体としてエアーを用いる場合について説明したが、エアーに限らず不活性ガスを用いることも可能である。
【0068】
また、偏光板貼付装置に限らず、基板とフィルムとを所定方向に送りながら、基板の表面にフィルムを順次貼付るための偏光板貼付装置に対して、上記構成を採用することも可能である。
【0069】
したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【0070】
【発明の効果】
本発明におけるフィルム貼付装置によれば、フィルム表面へのスクラッチが入ることを防止可能とし、また、基板の支持時における歪付与の低減を可能とし、さらに、フィルムのカールを防止し、フィルムを基板に対して良好に貼付けることを可能とする。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態における偏光板貼付装置の全体構成を示す第1全体側面図である。
【図2】本実施の形態における偏光板貼付装置の全体構成を示す第2全体側面図である。
【図3】本実施の形態における基板搬送セットテーブルが、偏光板貼付ステージに位置する状態を示す側面図である。
【図4】本実施の形態における基板搬送セットテーブルの液晶セル基板の保持状態を示す横断面図である。
【図5】本実施の形態における基板搬送セットテーブルの液晶セル基板の支持状態を示す横断面図である。
【図6】本実施の形態における偏光板セットテーブルの偏光板の保持状態を示す横断面図である。
【図7】本実施の形態における偏光板セットテーブルの偏光板の支持状態を示す横断面図である。
【図8】従来の技術における偏光板貼付装置の全体構成を示す第1全体側面図である。
【図9】従来の技術における偏光板貼付装置の全体構成を示す第2全体側面図である。
【図10】従来の技術における基板搬送セットテーブルが、偏光板貼付ステージに位置する状態を示す側面図である。
【符号の説明】
1A 偏光板貼付装置、100 清掃ステージ、110 搬送ローラ、120清掃ローラ、200 アライメント(位置決め)ステージ、210 アライメントテーブル、220 仮アライメントローラ、230 基板搬送セットテーブル、230A 吐出ノズル(第2吐出ノズル)、230B 吸引ノズル(第2吸引ノズル)、230S 基板対向面、240,370 吸盤機構、270 CCDカメラ、300 偏光板貼付ステージ、310 偏光板セットテーブル、310A 吐出ノズル(第1吐出ノズル)、310B 吸引ノズル(第1吸引ノズル)、310S 偏光板対向面、320 上貼付けローラ、330 下貼付けローラ、400 基板反転ステージ、410 反転アーム、500 基板収容ステージ、510 チャックバー、520 基板カセット。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a structure of a film sticking apparatus for sticking a film to a substrate.
[0002]
[Prior art]
Various apparatuses are mentioned as a film sticking apparatus for sticking a film to a board | substrate. Among them, a polarizing plate attaching apparatus for attaching a polarizing plate (film) to a liquid crystal cell substrate (glass substrate) used for a liquid crystal panel will be described with reference to FIGS. In addition, the “roller sticking method” and the “plate sticking method” are representative of the polarizing plate sticking methods in the polarizing plate sticking apparatus. "Roller sticking method" is a method of attaching a polarizing plate to a liquid crystal cell substrate while feeding the liquid crystal cell substrate and the polarizing plate while holding the substrate set table holding the liquid crystal cell substrate and the polarizing plate set table holding the polarizing plate. This is a method. The “plate sticking method” is a method in which the polarizing plate is attached to the liquid crystal cell substrate while the polarizing plate set table is stationary and the substrate set table is sent together with the polarizing plate. In the following description, a polarizing
[0003]
<Configuration of polarizing
FIG. 8 is an overall side view schematically showing a line of the polarizing
[0004]
The
[0005]
The polarizing
[0006]
The
[0007]
<Paste step>
Next, with reference to FIGS. 8-10, the sticking step of the polarizing
[0008]
First, referring to FIG. 8, liquid
[0009]
In the
[0010]
Next, after the main alignment of the liquid
[0011]
Next, referring to FIG. 9, after the substrate transfer set table 250 is moved to a predetermined position of the polarizing
[0012]
On the other hand, by tilting up one end side (substrate reversing stage 400) of the polarizing plate set table 360 having the polarizing
[0013]
Here, with reference to FIG. 10, the sticking of the polarizing
[0014]
Next, the suction of the liquid
[0015]
Next, when the
[0016]
Referring to FIG. 9 again, the liquid
[0017]
In addition, although the prior art about the invention which concerns on this application was demonstrated based on the general technical information which the applicant knew, in the range which an applicant memorize | stores, as prior art document information before filing this application, The applicant does not have the information to be disclosed, and is not aware of the applicant's own patent application or the like prior to the present application.
[0018]
[Problems to be solved by the invention]
In the polarizing
[0019]
First, in the polarizing
[0020]
Second, in the
[0021]
Thirdly, in the polarizing
[0022]
The problems as described above are not limited to the polarizing plate sticking apparatus, and in order to stick the film to the surface of the substrate sequentially while feeding the substrate and the film in a predetermined direction, It arises as a common problem.
[0023]
Therefore, this invention is made in order to solve the said subject, and the 1st objective is to provide a film sticking apparatus provided with the mechanism which can prevent that the scratch to a film surface enters. .
[0024]
A second object of the present invention is to provide a film sticking apparatus provided with a mechanism that makes it possible to reduce the application of strain when the substrate is supported.
[0025]
A third object of the present invention is to provide a film sticking device having a mechanism that prevents curling of the film and allows the film to be favorably stuck to a substrate.
[0026]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, in the film sticking device according to the present invention, a substrate holding device for holding the substrate, and a film for holding the film in a state where the film is disposed opposite to the surface of the substrate A film sticking device for sequentially sticking the film to the surface of the substrate while holding the substrate and the film relatively close to each other and feeding the substrate and the film in a predetermined direction. And it is characterized by having the following composition.
[0027]
The film holding device is in a non-contact state between the film facing surface facing the film and the film, and a film non-contact support device for supporting the film, adsorbing to the film, and facing the film A film position holding device capable of selecting a suction state in which the initial positioning state of the film with respect to the surface is held and an open state in which the suction state is released;
[0028]
In this way, since the film can be supported without using the film non-contact support device without being brought into contact with the film facing surface, it is possible to prevent the film surface from being scratched by the film facing surface. Moreover, in the positioning of the film, the film can be fixed in the suction state by the film position holding device, so that unnecessary movement of the film can be prevented. Further, when the film is moved, the suction state is canceled, so that the film transport is not affected.
[0029]
In the film sticking apparatus, preferably, the film non-contact support device includes a first discharge nozzle for blowing gas into a gap between the film and the film facing surface, and the film and the film facing surface. And a first suction nozzle for sucking gas from the gap. For example, when the film is supported on the upper surface side of the film holding device, the film is floated by blowing gas from the first discharge nozzle toward the lower surface side of the film, and the film is brought into contact with the film facing surface. It can support without. Furthermore, by using the first suction nozzle to suck in the gas between the film and the film facing surface, it is possible to further stabilize the floating state of the film (the gap (gap) between the film and the film facing surface). Become.
[0030]
Preferably, in the film sticking apparatus, the substrate holding device includes a substrate non-contact support device for supporting the substrate in a non-contact state between a substrate facing surface facing the substrate and the substrate. And a substrate position holding device capable of selecting an adsorption state for adsorbing to the substrate and maintaining the initial positioning state of the substrate with respect to the substrate facing surface and an open state for releasing the adsorption state.
[0031]
As described above, since the substrate can be supported over the entire surface of the substrate without bringing the substrate into contact with the substrate-facing surface by using the substrate non-contact support device, it is possible to reduce the strain applied when the substrate is supported.
[0032]
Further, in the positioning of the substrate, the substrate can be fixed in the suction state by the substrate position holding device, so that unnecessary movement of the substrate can be prevented. Further, when the substrate is moved, the suction state is canceled, so that the substrate transfer is not affected.
[0033]
Furthermore, for example, when the substrate is supported on the lower surface side of the substrate holding device, it is not necessary to provide a roller for supporting the lower surface side of the substrate as in the prior art. As a result, since the distance between the substrate holding device and the film sticking device can be made as small as possible, curling of the film when the film is stuck on the substrate is prevented, and the film is favorably stuck to the substrate. Is possible.
[0034]
In the film sticking device, preferably, the substrate non-contact support device includes a second discharge nozzle for blowing gas into a gap between the substrate and the substrate facing surface, and the substrate and the substrate facing surface. A second suction nozzle for sucking gas from the gap. For example, when the substrate is supported on the lower surface side of the substrate non-contact support device, the substrate is sucked into a floating state by sucking the gas on the upper surface side of the substrate from the second suction nozzle, and the substrate is placed on the substrate facing surface. Can be supported without contact. Furthermore, the floating state of the substrate (the gap (gap) between the substrate and the substrate facing surface) can be further stabilized by blowing the body between the substrate and the substrate facing surface using the second discharge nozzle. It becomes.
[0035]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, as an example of a film sticking apparatus according to an embodiment of the present invention, a polarizing plate sticking apparatus will be described with reference to the drawings.
[0036]
The polarizing
[0037]
<Polarizing
First, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the outline of the whole structure of the polarizing
[0038]
This polarizing
[0039]
The characteristic configuration of the polarizing
[0040]
<Configuration of Substrate Transport Set Table 230>
Next, the configuration of the substrate transfer set table 230 will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 3 is a side view showing a state where the substrate transport set table 230 is positioned on the polarizing
[0041]
As shown in FIGS. 4 and 5, the substrate transport set table 230 is characterized in that a gap (C) is provided between the substrate transport set table 230 and the liquid
[0042]
The substrate transfer set table 230 is a flat table and has a
[0043]
The total number of
[0044]
Here, it is possible to support the liquid
[0045]
Further, in order to fix the alignment position of the liquid
[0046]
<Configuration of Polarizing Plate Set Table 310>
Next, the configuration of the polarizing plate set table 310 will be described in detail with reference to FIG. 3, FIG. 6, and FIG. 6 is a cross-sectional view showing a holding state of the
[0047]
As shown in FIGS. 6 and 7, the polarizing plate set table 310 is characterized by providing a gap (C) between the
[0048]
The polarizing plate set table 310 is formed of a flat table and has a polarizing
[0049]
The total number of
[0050]
Here, it is possible to support the
[0051]
In order to fix the alignment position of the
[0052]
<Paste step>
Next, with reference to FIGS. 1-3, the sticking step of the
[0053]
First, referring to FIG. 1, liquid
[0054]
In the
[0055]
Next, after the main alignment of the liquid
[0056]
Next, referring to FIG. 2, the substrate transport set table 230 moves to a predetermined position of the polarizing
[0057]
On the other hand, by tilting up one end side (substrate reversal stage 400) of the polarizing plate set table 310 having the
[0058]
Here, with reference to FIG. 3, the sticking of the
[0059]
Next, the suction of the liquid
[0060]
Next, by rotating the
[0061]
The subsequent operations on the
[0062]
(Action / Effect)
As described above, according to the polarizing
[0063]
In addition, since the liquid
[0064]
In addition, since the configuration for supporting the liquid
[0065]
In addition, a
[0066]
The polarizing
[0067]
Moreover, in the adoption of the non-contact support mechanism, the case where air is used as the gas has been described. However, not only air but also an inert gas can be used.
[0068]
In addition to the polarizing plate sticking apparatus, the above configuration can also be adopted for the polarizing plate sticking apparatus for sequentially sticking the film to the surface of the substrate while feeding the substrate and the film in a predetermined direction. .
[0069]
Therefore, the technical scope of the present invention is not interpreted only by the above-described embodiments, but is defined based on the description of the claims. Further, all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims are included.
[0070]
【The invention's effect】
According to the film sticking apparatus of the present invention, it is possible to prevent the film surface from being scratched, to reduce the strain imparted when the substrate is supported, to further prevent the film from curling, and to attach the film to the substrate. It is possible to paste well against.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a first overall side view showing an overall configuration of a polarizing plate pasting apparatus according to the present embodiment.
FIG. 2 is a second overall side view showing the overall configuration of the polarizing plate pasting apparatus according to the present embodiment.
FIG. 3 is a side view showing a state in which the substrate transport set table in the present embodiment is positioned on a polarizing plate pasting stage.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a holding state of a liquid crystal cell substrate of a substrate transfer set table in the present embodiment.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a support state of a liquid crystal cell substrate of a substrate transfer set table in the present embodiment.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a holding state of a polarizing plate of a polarizing plate set table in the present embodiment.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a support state of a polarizing plate of a polarizing plate set table in the present embodiment.
FIG. 8 is a first overall side view showing an overall configuration of a polarizing plate pasting apparatus according to a conventional technique.
FIG. 9 is a second overall side view showing the overall configuration of a polarizing plate pasting apparatus according to the prior art.
FIG. 10 is a side view showing a state in which a substrate transfer set table in the conventional technique is positioned on a polarizing plate pasting stage.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記フィルム保持装置(310)は、
前記フィルム(20)に対向するフィルム対向面(310S)と前記フィルム(20)との間を非接触状態にして、前記フィルム(20)を支持するためのフィルム非接触支持装置(310A,310B)と、
前記フィルム(20)に吸着し、前記フィルム対向面(310S)に対する前記フィルム(20)の初期位置決め状態を保持する吸着状態と、この吸着状態を解除する開放状態との選択が可能なフィルム位置保持装置(370)と、
を有するフィルム貼付装置。A substrate holding device (230) for holding the substrate (10) and a film holding device (230) for holding the film (20) in a state where the film (20) is disposed opposite to the surface of the substrate (10). 310), a predetermined region of the substrate (10) and the film (20) are relatively brought close to each other, and the substrate (10) and the film (20) are fed in a predetermined direction while the substrate ( 10) a film sticking device for sequentially sticking the film (20) to the surface of
The film holding device (310)
Film non-contact support device (310A, 310B) for supporting the film (20) by bringing the film facing surface (310S) facing the film (20) and the film (20) into a non-contact state. When,
Film position holding that can be selected between an adsorbing state that adsorbs to the film (20) and holds the initial positioning state of the film (20) with respect to the film facing surface (310S) and an open state that releases the adsorbing state. A device (370);
A film sticking apparatus.
前記フィルム(20)と前記対向面(310S)との間隙に気体を吹出すための第1吐出ノズル(310A)と、
前記フィルム(20)と前記対向面(310S)との間隙から気体を吸込むための第1吸引ノズル(310B)と、
を含む、請求項1に記載のフィルム貼付装置。The film non-contact support device is:
A first discharge nozzle (310A) for blowing gas into a gap between the film (20) and the facing surface (310S);
A first suction nozzle (310B) for sucking gas from a gap between the film (20) and the facing surface (310S);
The film sticking apparatus of Claim 1 containing this.
前記基板(10)に対向する基板対向面(230S)と前記基板(10)との間を非接触状態にして、前記基板(10)を支持するための基板非接触支持装置(230A,230B)と、
前記基板(10)に吸着し、前記基板対向面(230S)に対する前記基板(10)の初期位置決め状態を保持する吸着状態と、この吸着状態を解除する開放状態との選択が可能な基板位置保持装置(240)と、
を有する、請求項2に記載のフィルム貼付装置。The substrate holding device (230)
Substrate non-contact support device (230A, 230B) for supporting the substrate (10) in a non-contact state between the substrate facing surface (230S) facing the substrate (10) and the substrate (10). When,
Substrate position holding that allows selection between an adsorbed state that adsorbs to the substrate (10) and maintains the initial positioning state of the substrate (10) with respect to the substrate facing surface (230S) and an open state that releases the adsorbed state. A device (240);
The film sticking apparatus of Claim 2 which has these.
前記基板(10)と前記基板対向面(230S)との間隙に気体を吹出すための第2吐出ノズル(230A)と、
前記基板(10)と前記基板対向面(230S)との間隙から気体を吸込むための第2吸引ノズル(230)と、
を含む、請求項3に記載のフィルム貼付装置。The substrate non-contact support device is
A second discharge nozzle (230A) for blowing gas into a gap between the substrate (10) and the substrate facing surface (230S);
A second suction nozzle (230) for sucking gas from a gap between the substrate (10) and the substrate facing surface (230S);
The film sticking apparatus of Claim 3 containing this.
前記フィルムは、液晶パネルに用いられる偏光板である、請求項1から4のいずれかに記載のフィルム貼付装置。The substrate (10) is a liquid crystal cell substrate used for a liquid crystal panel,
The film sticking apparatus according to claim 1, wherein the film is a polarizing plate used for a liquid crystal panel.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100903585B1 (en) | 2007-07-13 | 2009-06-23 | 충북대학교 산학협력단 | Vacuum Chuck for Inspecting Apparatus of Polarizing Film |
CN115003051A (en) * | 2022-07-22 | 2022-09-02 | 苏州欧瑞杰智能科技有限公司 | Film pasting equipment |
WO2024084805A1 (en) * | 2022-10-18 | 2024-04-25 | 日東電工株式会社 | Method for producing optical laminate |
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2003
- 2003-06-19 JP JP2003174702A patent/JP2005007748A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060905 |