JP2004361704A - 大型ペリクル用成膜基板及び大型ペリクル膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペリクル面積が1,000cm2以上を有する大型ペリクル膜4を製造する際に用いられる大型ペリクル用成膜基板1であって、大型のガラス板2の裏面に所定の厚さにクロムをコーティングして導電層3を積層した構造である。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ペリクルの面積が1,000cm2以上の大型ペリクル膜を製造する際に用いられる1,600cm2以上の面積を持った成膜基板及びこの成膜基板を用いて大型ペリクルを製造する方法に係り、特に大型ペリクル膜を製造する際に、該成膜基板に静電気が発生して塵埃が付着することを防止可能とした大型ペリクル用成膜基板及び大型ペリクル膜の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のペリクル膜を製造する方法或はペリクル膜の製造に使用される成膜基板に関する技術としては、例えば後述の特許文献1、特許文献2、特許文献3、特許文献4等が知られている。
【0003】
後述の特許文献1には、回転塗布方法を用いて表面が平滑なガラス、プラスチック等の基材上に水溶性のゾル−ゲル変換が可能な材料をゾル状態で塗布しゲル化させてなる分離膜上に、さらに回転塗布方法を用いてフォトマスク用保護膜材料を所望の膜厚となるように塗布した後、該分離膜材料のゲル化温度以上の温水中に浸漬することにより該分離膜のゾル−ゲル変換を促し、最上部のフォトマスク用保護膜を温水中に浮上させ、次いで所望の形状及び厚みを有するフレームにより該フォトマスク用保護膜を温水中からすくい上げ、加熱、乾燥することにより良好な被膜を形成することを特徴とする高精度パターン板用保護膜の製造方法が詳細に記載されている。
【0004】
また、後記特許文献2には、溶液キャスト法によりニトロセルロース薄膜を平滑板上に形成せしめ、該薄膜にフレームを接着せしめた後、水中に浸して薄膜を剥離し、次いで乾燥することを特徴とするフォトマスク用防塵カバーの製造方法が記載されている。
【0005】
かつ、後記特許文献3には、ベースポリマー層に異種のポリマー薄膜にを固着させ、該ポリマー薄膜に枠を接着した後、該薄膜を溶解せず、ベースポリマーを溶解する溶剤を用いて、ベースポリマー層を溶解、除去することを特徴とする枠に接着固定されたポリマー薄膜の製造方法が記載されている。
【0006】
後記特許文献4には、ペリクル膜を製造するに当っては、ペリクル膜の製膜する基板の表側成膜面にクロム又はクロム合金をコーティングすることによって、基板の表面に極めて平滑な面を形成し、その平滑面に成膜したペリクルの薄膜を抵抗を少なくスムーズに剥離することが出来るようにし、ペリクル膜にのび、しわ、きず、破れ等が発生することを防止するようにした技術が記載されている。
【0007】
さらに、後記特許文献5には、特にペリクル膜の成膜用基板に、シリコンまたはSiC−Siを使用し、体積抵抗率が105Ω・cm以上のような体積抵抗率の高いペリクル膜を成膜する際に用いる成膜用基板を、体積抵抗率が103Ω・cm以下のものとし、これによって基板上に成膜された膜を剥離する際に基板と膜との間で発生する静電気を低く抑えることができ、膜が基板に引きつけられる力を弱くし、したがって膜を剥離するときの膜のしわ、破れが発生することを防止するようにした技術である。
【0008】
【特許文献1】
特開昭59−182730号公報
【特許文献2】
特開昭60−35733号公報
【特許文献3】
特開昭60−38130号公報
【特許文献4】
特開平2−134634号公報
【特許文献5】
特許第2938709号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
前述の特許文献1乃至特許文献5の中で、比較的本発明に類似する技術としては、前述の特許文献4及び特許文献5の技術が知られている。即ち、特許文献4の技術に於ては、ペリクル膜を製膜する際に使用される成膜用基板の表面にクロム又はクロム合金をコーティングする点で、本発明にある程度類似している。
【0010】
また、特許文献5に於ては、シリコン等の特定の成膜用基板を用いて、その成膜用基板の表面の体積抵抗率を一定の範囲以下にし、これによって、成膜用基板上に成形されたペリクル膜を剥離するときに両者間に発生する静電気を小さくし、前記成膜用基板にペリクル膜が引きつけられることを防止しているが、前述のように発生する静電気を小さくする点では、本発明にある程度類似している。
【0011】
しかし、前述の特許文献4に於ては、成膜用基板の表面にクロム又はクロム合金のコーティングを施す点で本発明と類似する点はあるが、本発明は成膜用基板の裏面にクロム等をコーティングするのに対し、特許文献4の技術では、成膜用基板の表面にクロム等をコーティングしており、この点で両者は全く異なっている。また、この技術には本発明のように成膜用基板に導電性を与え、かつ、成膜用基板にイオン化エアーを吹き付けて、成膜用基板の静電気を除去して、成膜用基板に塵埃が付着することを防止しようとする技術思想は全く存在乃至開示されていない。さらに、特許文献4に於ては、成膜用基板の表面側にクロム又はクロム合金がコーティングされているので、ペリクル膜を製造した後処理として、この表面を研磨すると、コーティングされたクロム又はクロム合金の表面が徐々に研削されるので、成膜用基板の表面側に再度クロム又はクロム合金のコーティングを施さなければならず、コスト高になる問題があった。
【0012】
また、前述の特許文献5に於ては、成膜用基板上に成形されたペリクル膜を剥離する際に発生する静電気を小さくする点で本発明と類似する点はあるが、この技術に於ては、本発明のように成膜用基板に導電性を与え、イオン化エアーを吹き付けることによって成膜用基板の静電気を除電して、成膜用基板に塵埃が付着することを防止しようとする技術思想は全く存在乃至開示されていない。さらに、特許文献5の技術では、本発明のように成膜用基板の静電気をほぼ完全に除去することは出来ない等の問題があった。
【0013】
大型ペリクルは、半導体用ペリクルに比較して膜厚が厚いため、剥離中にシワが入ったり、破れたりすることは無い。また、膜強度が強いため剥離時に付着した異物も半導体用ペリクルより強いエアーブローを行うことで除去できる。むしろ大型ペリクルで均一な膜をつくる点で問題になるのは、剥離時に発生した静電気によって異物が成膜用基板に付着することである。この成膜用基板に異物が付着した状態で成幕を行うと膜中に異物が埋め込まれ、剥離後のエアーブローではこれ等の異物を大型のペリクル膜から除去できなくなる問題があった。
【0014】
従来の半導体用ペリクル成膜用基板では、サイズが小さいため成膜投入前に基板検査を充分に行うことが出来るが、大型ペリクルの成膜用基板では実質的に無理である。また、この問題を解決するために、大型ペリクル膜の成膜前に成膜用基板を充分に時間を掛けて洗浄することも考えられるが、実際には使用する純水量、洗浄液量、硫酸量等が非常に多くなること、設備がとても大きくなることから現実的ではない問題があった。従って、大型ペリクルでは剥離時に静電気によって成膜用基板上に異物が付着しないことが一番に重要であることが判明した。
【0015】
本発明者等は、前述の従来の多くの問題に鑑み、長年に亘って種々の実験を重ねた結果、大型ペリクルの成膜用基板の剥離帯電を早期に緩和するためには、少なくとも成膜用基板に導電性処理を施すことに効果があることを発見した。かつ、大型ペリクル膜を製造する際に、成膜用基板の表面に剥離環境中のイオン化エアーを吹き付けることによって、該成膜用基板の帯電を緩和しようとしても、成膜用基板の裏面が帯電していると、その成膜用基板の表面側の帯電の緩和速度が遅いことも明らかになった。
【0016】
そして、成膜用基板の裏面にのみ導電性処理を行うことによって、該成膜用基板の表面の帯電が著しく緩和されることも判明した。大型ペリクル膜を製造する際に使用される成膜用基板は、前述のように、連続して大型ペリクル膜を製造するためには、その表面を時々研磨することによって微細な傷を完全に除去する必要があった。
【0017】
しかし、成膜用基板の表面は研磨処理を終了した都度に、導電性の処理を施すことは、作業上実用的でないので、成膜用基板の裏面のみに導電性処理を施すことによって、前述のような効果が得られることは、実務上に於て極めて効果的であることも明らかとなった。また、成膜用基板の材料としては、大型ガラス板を使用することが比較的表面に傷が付きにくく、かつ表面の研磨処理が容易であり、大型ペリクル膜の成膜性に優れていることも判明した。
【0018】
本発明は、以上の多くの解明した新しい技術を総合することによって発明したものであって、特に、大型のペリクル膜を製膜し得る成膜用基板となる大型のガラス板の裏面に導電性処理を施し、これによって成膜用基板に製膜された大型ペリクル膜を剥離する際に発生する静電気を除去するようにした全く新規な技術を提供するものである。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る大型ペリクル用成膜基板及び大型ペリクル膜の製造方法は、前述の従来の問題点を根本的に改善した発明であって、その大型ペリクル用成膜基板の第1発明の要旨は、大型ペリクル膜を製造する際に使用される成膜基板に於て、大型のガラス板の裏面に導電性処理を施して成膜基板を構成することを特徴とした大型ペリクル用成膜基板である。
【0020】
前述の第1発明に於ては、大型のガラス板の裏面に導電性処理をして大型ペリクル用成膜基板を構成したので、この大型ペリクルを製造する際に、成膜基板の表面に発生する帯電を著しく緩和することが出来、これによって大型ペリクル用成膜基板の表面に塵埃が付着することを防止出来る。
【0021】
また、大型ペリクル用成膜基板の材質を大型ガラス板としたので、表面に傷が簡単に付くことを防止し、かつ研磨作業も容易で、しかも大型ペリクル膜の成膜性能が良い。さらに、大型ペリクル用成膜基板の裏面のみに導電性処理が施されているので、導電性処理を行った面は、研磨する必要がなく、そのまま長く使用することが出来る。
【0022】
本発明に係る大型ペリクル用成膜基板の第2発明の要旨は、前記大型ガラス板の裏面全面に、クロム、クロム酸化物、或はクロム合金による導電性処理を施して構成することを特徴とした請求項1の大型ペリクル用成膜基板である。
【0023】
前述の第2発明に於ては、大型ガラス板の裏面全面に、クロム、クロム酸化物或はクロム合金により導電性処理を施すようにしたので、クロム、クロム酸化物或はクロム合金をコーティング方式でガラス板に塗着することによって簡単に導電性処理をすることが出来る。また、クロム、クロム酸化物或はクロム合金で導電性処理することによって導電性の性能を効率良く高めることが出来る。
【0024】
本発明に係る大型ペリクル膜の製造方法の発明の要旨は、裏面にクロム、クロム酸化物或はクロム合金によって導電性処理が施された大型ガラス板よりなる大型ペリクル用成膜基板の表面の塵埃を除去した後、ペリクル膜成形材料を所望の膜厚となるように塗布してペリクル膜を成形し、かつ前記大型ペリクル用成膜基板の表面より該ペリクル膜を剥離して製造することを特徴とした大型ペリクル膜の製造方法である。
【0025】
前述の大型ペリクル膜の製造方法の発明に於ては、裏面にクロム、クロム酸化物、或はクロム合金によって導電性処理が施された大型ガラス板を大型ペリクル用成膜基板として、この表面のペリクル膜の剥離の際に付着した塵埃を除去した後で、ペリクル膜成形材料を所望の膜厚となるように塗布してペリクル膜を成形すると共に、大型ペリクル用成膜基板よりペリクル膜を剥離して製造するので、ペリクル膜を効率良く製造することが出来る。特に、本発明の方法を実施することによって、ペリクル膜を剥離する際に大型ペリクル用成膜基板の表面に静電気が発生して付着した塵埃を効果的に除去することが出来る。
【0026】
【発明の実施の形態】
本発明に係る大型ペリクル用成膜基板及び大型ペリクル膜の製造方法の一実施例を具体的に説明すると、図1は本発明に係る大型ペリクル用成膜基板の縦断面説明図、図2は図1の大型ペリクル用成膜基板の表面にペリクル膜を成形する状態の縦断面説明図、図3は図2のペリクル膜を大型ペリクル用成膜基板より剥離する状態の縦断面説明図である。
【0027】
図1乃至図3に於て、1は本発明に係る大型ペリクル用成膜基板であって、大型のガラス板2の裏面にクロムを所定の厚さにコーティングして導電層3を積層することによって構成されている。
【0028】
前記大型ペリクル用成膜基板1には、1,600cm2以上の面積を有し、かつ肉厚が2〜15mm厚の大型のガラス板2が基材として使用されている。また、このガラス板2にはクロムをコーティングして形成された0.01μm〜1μmミクロン厚の導電層3が積層されている。前記実施例に於ては、導電層3の形成に当って、クロムを使用したが、クロムの他に、クロム酸化物或はクロム合金を使用することが出来る。
【0029】
上記ガラス板2にクロム又はクロム合金等をコーティングする方法としては、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、メッキ等の支持体の裏面をクロム又はクロム合金で均一に覆う方法を用いることが出来る。
【0030】
本発明に係る大型ペリクル用成膜基板1は、前述のようにガラス板2の裏面に導電層3が積層されているので、大型ペリクル用成膜基板1の表面に帯電している静電気を著しく緩和することが出来、これによって静電気の作用によって大型ペリクル用成膜基板1の表面に付着した塵埃を効果的に除去することが出来る。
【0031】
従って、図3に示すように大型ペリクル用成膜基板1の表面にセルロースエステル等の膜材料を塗布して大型のペリクル膜4を成膜し、さらにこのペリクル膜4を大型ペリクル用成膜基板1の表面より剥離した際に、大型ペリクル用成膜基板1の表面に発生する静電気及びこの静電気の影響によって付着する塵埃を容易に除去することが出来る。
【0032】
前述の実施例に於ては、ペリクル膜4の膜材料としてセルロースエステルを使用したが、その他にポリビニルプロビオナール、ポリビニルブチラール、酢酸セルロース、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、バリレン、ポリメチルメタクリレー等が夫々使用することが出来る。これ等の膜材料は、スピンコータ等を用いて回転塗布することによって、ガラス板2の表面に所望の肉厚に成膜することが出来る。
【0033】
前述の構造を有する大型ペリクル用成膜基板1を用いて、大型のペリクル膜4を製造する方法の一例を説明すると、前記図1乃至図3に示す如く、大型ペリクル用成膜基板1の表面にセルロースエステルよりなる膜材料4aを溶液吐出ノズル5より滴下すると共に、大型ペリクル用成膜基板1をスピンコータ等を用いて回転軸6を中心に回転させながら、大型ペリクル用成膜基板1の表面にペリクル膜4を成膜する。
【0034】
大型ペリクル用成膜基板1の表面にペリクル膜4が完全に成膜された後で、大型ペリクル用成膜基板1を移動して剥離ステージ7の上に載置する。続いて、該ペリクル膜4の表面にペリクル膜4を剥離するために使用される仮枠(図示せず)を粘着固定し、この状態で仮枠と共にペリクル膜4の片側面を徐々に上昇させ、ペリクル膜4を大型ペリクル用成膜基板1の表面より剥離する。ペリクル膜4の剥離が完了した後で、ペリクル膜4を剥離する際に発生する静電気を緩和すると共に、静電気の影響によって付着した塵埃を除去することが出来る。
【0035】
【発明の効果】
本発明に係る大型ペリクル用成膜基板に於ては、大型のガラス板の裏面に導電性処理をして大型ペリクル用成膜基板を構成したので、この大型ペリクル用成膜基板を製造する際に、成膜基板の表面に発生する帯電を著しく緩和することが出来る効果があり、これによって大型ペリクル用成膜基板の表面に塵埃が付着することを防止出来る効果を有している。
【0036】
また、大型ペリクル用成膜基板の材質を大型ガラス板としたので、表面に傷が簡単に付くことを防止し、かつ研磨作業も容易で、しかも大型ペリクル膜の成膜性能が良い。さらに、大型ペリクル用成膜基板の裏面のみに導電性処理が施されているので、導電性処理を行った面は、研磨する必要がなく、そのまま長く使用することが出来る効果も有している。
【0037】
また本発明に於いて、大型ガラス板の裏面全面に、クロム、クロム酸化物或はクロム合金により導電性処理を施すようにした場合には、クロム、クロム酸化物或はクロム合金をコーティング方式でガラス板に塗着することによって簡単に導電性処理をすることが出来る効果を有している。また、クロム、クロム酸化物或はクロム合金で導電性処理することによって導電性の性能を効率良く高めることが出来る効果もある。
【0038】
本発明に係る大型ペリクル膜の製造方法に於ては、裏面にクロム、クロム酸化物、或はクロム合金によって導電性処理が施された大型ガラス板を大型ペリクル用成膜基板として、前工程のペリクル膜の剥離の際に付着した塵埃を除去した後で、ペリクル膜成形材料を所望の膜厚となるように塗布してペリクル膜を成形すると共に、大型ペリクル用成膜基板の表面よりペリクル膜を剥離して製造するので、ペリクル膜を効率良く製造することが出来る効果がある。特に、本発明の方法を実施することによって、ペリクル膜を剥離する際に大型ペリクル用成膜基板の表面に静電気が発生して付着した塵埃を効果的に除去することが出来る効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る大型ペリクル用成膜基板の縦断面説明図である。
【図2】図1の大型ペリクル用成膜基板の表面にペリクル膜を成形する状態の縦断面説明図である。
【図3】図2のペリクル膜を大型ペリクル用成膜基板より剥離する状態の縦断面説明図である。
【符号の説明】
1 …大型ペリクル用成膜基板
2 …ガラス板
3 …導電層
4 …ペリクル膜
4a …膜材料
5 …溶液吐出ノズル
6 …回転軸
7 …剥離ステージ
Claims (3)
- 大型ペリクル膜を製造する際に使用される成膜基板に於て、大型のガラス板の裏面に導電性処理を施して成膜基板を構成することを特徴とした大型ペリクル用成膜基板。
- 前記大型ガラス板の裏面全面に、クロム、クロム酸化物、或はクロム合金による導電性処理を施して構成することを特徴とした請求項1の大型ペリクル用成膜基板。
- 裏面にクロム、クロム酸化物或はクロム合金によって導電性処理が施された大型ガラス板よりなる大型ペリクル用成膜基板の表面に、ペリクル膜成形材料を所望の膜厚となるように塗布してペリクル膜を成形し、かつ前記大型ペリクル用成膜基板より該ペリクル膜を剥離して製造することを特徴とした大型ペリクル膜の製造方法。
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