JP2004349518A - 半導体製造装置 - Google Patents

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Yasuhiro Mekawa
靖浩 女川
Yukinao Kaga
友紀直 加我
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Abstract

【課題】ロードロック室内の水分を充分に除去し、基板の処理品質の向上を図る。
【解決手段】反応炉2と、該反応炉に連設されたロードロック室1と、該ロードロック室の内壁面を加熱する加熱手段24と、前記ロードロック室内に連通し、該ロードロック室内の気体を吸引送出して循環し、前記ロードロック室内の水蒸気を除去する水分除去装置23とを具備する。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウェーハ等の基板から、IC等の半導体デバイスを製造する半導体製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図2、図3により例えば縦型反応炉を有する従来の半導体製造装置について説明する。
【0003】
ロードロック室(予備室)1の上部に、炉口部を介して気密な反応炉2が連設され、前記ロードロック室1側方に気密な移載室3が連設されている。前記ロードロック室1と前記反応炉2は、前記炉口部を開閉する炉口シャッタ4を介して連通され、前記ロードロック室1と前記移載室3は、ゲートバルブ5を介して連通されている。尚、前記移載室3にはカセット授受装置(図示せず)が連設され、該カセット授受装置(図示せず)にはカセット(図示せず)が外部搬送装置(図示せず)等によって搬送される。
【0004】
前記反応炉2は内部に反応管6を有し、該反応管6は有天筒状であり、該反応管6の外側に該反応管6と同心の有天筒状の均熱管7が設けられ、該均熱管7の外側には該均熱管7と同心の有天筒状のヒータユニット(図示せず)が前記均熱管7を囲繞する様に設けられている。前記反応管6の内部には気密な反応室8が形成されている。
【0005】
前記反応管6の外壁面に沿って該反応管6の天井面に到る第1ガス導入管9が設けられ、該第1ガス導入管9は処理ガス源(図示せず)と接続されている。前記反応管6の天井面に前記第1ガス導入管9と連通する所要数のガス分散孔11が穿設され、処理ガスは前記ガス分散孔11を通過することで分散される様になっている。前記反応管6の下部に第1排気管12が連通され、該第1排気管12は排気装置(図示せず)に接続されている。
【0006】
前記ロードロック室1にはガスパージ管(図示せず)と排気管(図示せず)が連通され、前記ガスパージ管(図示せず)はパージガス源(図示せず)に接続され、前記排気管(図示せず)は排気装置(図示せず)に接続されている。前記ロードロック室1内には後述する基板保持器具13(以下ボート13)の炉入出手段であるボートエレベータ14が設けられている。該ボートエレベータ14は垂直ガイド15を有し、該垂直ガイド15には昇降可能に昇降部材16が設けられ、該昇降部材16の上部にボート載置台17が設けられている。前記ボートエレベータ14によって前記昇降部材16が昇降され、前記ボート13が前記反応室8へ入炉、出炉される。前記ボート載置台17は前記反応室8を気密に閉塞する炉口蓋も兼ねている。
【0007】
前記炉口シャッタ4を介し、前記ロードロック室1と前記反応管6とが気密に連通しており、前記炉口シャッタ4は前記炉口部を閉塞することで前記反応管6を気密に閉塞可能である。前記ボート13が前記反応室8に入炉されると、前記炉口シャッタ4は水平方向に移動し、前記炉口部が開放され、前記炉口シャッタ4と前記ボート載置台17とは干渉しない様になっている。
【0008】
前記ロードロック室1と前記移載室3との間には前記ロードロック室1と前記移載室3とが連通するウェーハ授受用窓18が設けられ、該ウェーハ授受用窓18は前記ゲートバルブ5によって気密に閉塞可能である。
【0009】
前記移載室3にはウェーハ移載機19が設けられ、該ウェーハ移載機19は基板支持プレート21を所要枚数(図示では5枚)有している。前記ウェーハ移載機19は進退(水平方向)、回転、昇降可能に前記基板支持プレート21を支持し、該基板支持プレート21は進退(水平方向)、回転、昇降の協働により基板(図示せず)を後述するカセット(図示せず)から降下状態の前記ボート13に対して移載する。
【0010】
以下、上記した半導体製造装置の基板処理について説明する。
【0011】
前記炉口シャッタ4と前記ゲートバルブ5が閉塞され、ガスパージ源(図示せず)から導入される窒素ガス等の不活性ガスにより前記ロードロック室1内部がガスパージされ、該ロードロック室1内部が大気と同圧化された後、前記ゲートバルブ5が開かれる。
【0012】
カセット授受ステージ(図示せず)には未処理の前記基板(図示せず)が収納された前記カセット(図示せず)が搬送されてあり、大気圧中で前記ウェーハ移載機19により、前記カセット(図示せず)から前記ボート13に前記基板(図示せず)が移載される。
【0013】
前記ボート13に前記基板(図示せず)が所定数装填された後、前記ゲートバルブ5が閉じられ、前記ロードロック室1が閉塞される。
【0014】
前記ロードロック室1内部は前記排気管(図示せず)を介して真空引きされた後、前記ガスパージ管(図示せず)を介して、不活性ガス、例えば窒素ガス等が前記ロードロック室1内部にガスパージされ、該ロードロック室1内部が前記反応室8と同圧化された後、前記炉口シャッタ4が開かれ、前記ボード13が前記ボートエレベータ14により、前記反応室8に装入される。
【0015】
前記ボート載置台17により前記反応室8が気密に閉塞され、該反応室8が前記ヒータユニット(図示せず)により加熱されると共に、前記第1ガス導入管9により前記反応室8に前記処理ガスが導入され、前記反応室8が基板処理圧迄減圧されると共に、前記第1排気管12により前記反応室8の反応後のガスが排気され、所要の減圧状態を維持されることで薄膜の生成等所要の基板処理がなされる。
【0016】
処理が完了すると前記ボート13が前記ボートエレベータ14により降下され、前記反応室8から前記基板(図示せず)が前記ボートエレベータ14により前記ロードロック室1へ払出される。該ロードロック室1に払出された前記基板(図示せず)は前記ウェーハ移載機19により前記カセット(図示せず)に移載される。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
前記半導体製造装置に於いて、基板を前記ボート13に移載、或は前記ボート13から払出する際、前記ゲートバルブ5が開かれるが、該ゲートバルブ5が開かれると前記ロードロック室1内部は大気に曝され、該ロードロック室1内部に大量の空気が侵入する。
【0018】
空気には水蒸気が含まれており、前記ロードロック室1内部で滴化した水蒸気は、該ロードロック室1の壁面にも水滴22として付着する。
【0019】
又、前記ロードロック室1の内部で滴化した前記水滴22は前記基板(図示せず)にも付着する可能性があり、前記反応室8で前記基板(図示せず)を処理すると該基板(図示せず)は水分中の酸素と結合し、前記基板(図示せず)表面に不要な自然酸化膜が生成されるという問題があった。
【0020】
前記自然酸化膜の生成を抑制する為、前記排気管(図示せず)を介して前記ロードロック室1内部を真空引きした後、前記ガスパージ管(図示せず)を介して前記窒素ガス等の不活性ガスを前記ロードロック室1内部にガスパージしていたが、該ロードロック室1内部の水分が壁面に吸着しているので完全に水分を除去することはできず、残留する水分が前記基板(図示せず)の処理品質に悪影響を及ぼしていた。
【0021】
本発明は斯かる実情に鑑み、ロードロック室内部の水分を充分に除去し、基板の処理品質の向上を図るものである。
【0022】
【課題を解決するための手段】
本発明は、反応炉と、該反応炉に連設されたロードロック室と、該ロードロック室の内壁面を加熱する加熱手段と、前記ロードロック室内に連通し、該ロードロック室内の気体を吸引送出して循環し、前記ロードロック室内の水蒸気を除去する水分除去装置とを具備する半導体製造装置に係るものである。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図1を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【0024】
尚、図1中、図2中と図3中で示したものと同等のものには同符号を付し、その説明の詳細を省略する。
【0025】
ロードロック室(予備室)1の上部に炉口部を介して、気密な反応炉2が連設され、前記ロードロック室1の側方に気密な移載室3が連設されている。前記ロードロック室1と前記反応炉2は、前記炉口部を開閉する炉口シャッタ4を介して連通され、前記ロードロック室1と前記移載室3は、ゲートバルブ5を介して連通されている。前記ロードロック室1に水分除去装置23が連通されている。前記移載室3にはカセット授受装置(図示せず)が連設され、該カセット授受装置(図示せず)にはカセット(図示せず)が外部搬送装置(図示せず)等によって搬送される。
【0026】
前記ロードロック室1の壁面には加熱手段24が設けられている。例えば該加熱手段24は電熱線等の抵抗発熱体を巻く等したものである。尚、前記加熱手段24は前記ロードロック室1の壁面が加熱できればよいので、前記加熱手段24は外部から前記ロードロック室1の壁面を加熱する様にしてもよい。
【0027】
以下、前記水分除去装置23について説明する。
【0028】
前記ロードロック室1の上部と下部に流路25が連通され、該流路25の上流端(吸気口)に上流端気密弁26が設けられ、前記流路25の下流端(排気口)に下流端気密弁27が設けられている。前記上流端気密弁26の近傍に気流発生装置28(以下ブロワ28)が設けられ、該ブロワ28の下流側に水分除去器29(以下水分トラップ29)が設けられている。尚、図示していないが前記排気口には前記ロードロック室1内を排気する排気装置が接続されている。
【0029】
該水分トラップ29は冷却器(図示せず)と気水分離器(図示せず)を備えており、前記冷却器は前記水分トラップ29を通過する気体を水蒸気の液化温度迄冷却し、前記気水分離器は滴化した水滴22を分離する。前記冷却器は水、液化窒素、液化ヘリウム等を冷媒とした液冷式、或は空冷式であってもよい。
【0030】
前記水分トラップ29の下部にドレン管31が連通し、該ドレン管31にストップ弁32が設けられ、該ストップ弁32を開放することで溜まった水を排出できる様になっている。
【0031】
前記ロードロック室1の外部に制御装置33が設けられる。前記ゲートバルブ5と前記上流端気密弁26と前記下流端気密弁27に、ゲートバルブセンサ(図示せず)、上流端気密弁センサ(図示せず)、下流端気密弁センサ(図示せず)が各々設けられ、前記各センサ(図示せず)は前記ゲートバルブ5、上流端気密弁26、下流端気密弁27の開閉を検知し、前記各センサ(図示せず)は前記制御装置33にそれぞれ開閉信号を送信する様になっている。
【0032】
前記ロードロック室1の内部には水分濃度検知器(図示せず)が設けられ、水分濃度を水分濃度信号として前記制御装置33に送信する様になっている。該制御装置33は送信された水分濃度信号で設定値以下であるかどうかを判別し、水分濃度が設定値以下であった場合は前記ブロワ28を停止させると共に、前記上流端気密弁26と前記下流端気密弁27を閉塞する様になっている。
【0033】
以下、上記した半導体製造装置の作用について説明する。
【0034】
尚、基板処理については前述した従来例と同様なので説明の詳細を省略する。
【0035】
炉口シャッタ4とゲートバルブ5と前記上流端気密弁26と前記下流端気密弁27により前記ロードロック室1が閉塞され、前記ロードロック室1内部が大気と同圧化された後、前記ゲートバルブ5が開口される。
【0036】
カセット授受ステージ(図示せず)には未処理の前記基板(図示せず)が収納された前記カセット(図示せず)が搬送されてあり、大気圧中でウェーハ移載機19により、前記カセット(図示せず)からボート13に前記基板(図示せず)が移載される。
【0037】
前記ボート13に前記基板(図示せず)が所定数装填された後、前記ゲートバルブ5が閉じられ、前記ロードロック室1内部が閉塞される。
【0038】
前記ゲートバルブ5が閉じられると、前記ゲートバルブセンサからのゲートバルブ開閉信号が前記制御装置33に入力される。前記制御装置33は前記加熱手段24を駆動する。該加熱手段24は前記ロードロック室1の内壁面を、好ましくは水の気化温度以上に加熱する。気化温度迄加熱することで特に自然酸化膜の原因となり除去が難しく前記ロードロック室1の内壁面に吸着した前記水滴22が気化する。従って前記加熱手段24により、前記水滴22は壁面内から大気中へ蒸発する。
【0039】
次に、該制御装置33は前記上流端気密弁26と下流端気密弁27を開き、前記ブロワ28を駆動する。前記ブロワ28が作動すると、前記ロードロック室1内部の気体は前記流路25の上流端(吸気口)から吸引され、前記水分トラップ29を介して、気体は前記流路25の下流端から前記ロードロック室1内部に送出され、気体は前記流路25を循環する様になっており、循環の過程で前記水分トラップ29を気体が通過する。
【0040】
該水分トラップ29を通過する気体はロードロック室1内の内壁面に付着した水滴22が加熱され気化したもの(水蒸気)を含む。前記冷却器により、この気体中の水蒸気は液化温度迄冷却され、前記気体中の水蒸気が滴下する。前記気水分離器は滴化した水を分離する。
【0041】
該水滴22は前記水分トラップ29の下部に溜まる。水分が除去された気体は再び前記ロードロック室1内部に送出される。
【0042】
前記水分除去装置23により前記ロードロック室1内部の気体が循環され、前記ロードロック室1内部の気体中の水蒸気が除去され、前記水分濃度検知器(図示せず)により検知された水分濃度が設定値以下となった場合に、前記水分濃度検知器が送信した水分濃度信号に基づき、前記制御装置33が前記ブロア28を停止させると共に前記上流端気密弁26と前記下流端気密弁27とを閉鎖させ、前記上流端気密弁26と下流端気密弁27により前記ロードロック室1が気密に閉塞される。尚、前記加熱手段24は、水分濃度が設定値以下となった後であれば、いつでも停止して構わない。
【0043】
前記ドレン管31の前記ストップ弁32を開くことで、分離した前記水滴22が前記水分トラップ29外に除去される。
【0044】
このように本発明では、前記ロードロック室1の内壁面に付着した前記水滴22を前記加熱手段24により加熱し気化させ水蒸気に相変化させる。又、この水蒸気を含む気体を前記水分除去装置23により、滴化(液化)させることで、前記ロードロック室1内の水分除去を行うことに特徴がある。
【0045】
尚、前記水濃度検知器(図示せず)を省略し、例えば、充分に水蒸気が除去される時間を実験的、或は経験的に求めておき、前記水分除去装置23の作動時間をあらかじめタイマ等で設定し、前記タイマ等により前記水分除去装置23が所要時間駆動されると該水分除去装置23を停止する様にしてもよい。
【0046】
前記ロードロック室1内部が前記排気管(図示せず)を介して真空引きされた後、前記ガスパージ管(図示せず)を介して前記窒素ガス等の不活性ガスが前記ロードロック室1内部にガスパージされる。
【0047】
前記窒素ガス等の不活性ガスにより前記ロードロック室1内部がガスパージされ、前記ロードロック室1内部が反応室8と同圧化された後、前記炉口シャッタ4が開かれ、ボートエレベータ14により前記ボード13が前記反応室8に入炉される。
【0048】
上記の様に、半導体製造工程に水分除去工程を加えることで、自然酸化膜の原因である水分が充分に低減され、基板処理時に生成されていた自然酸化膜が低減され、処理品質を向上させると共に歩留りの向上が図ることができる。
【0049】
(付記)
尚、本発明は下記の実施の態様を含む。
【0050】
(付記1)基板を基板保持器具に支持した状態で処理する処理室と、該処理室に入れる前記基板を待機させる予備室と、該予備室内を加熱する手段と、前記予備室内の排気を行なう排気口と、前記予備室内の吸気を行なう吸気口と、前記排気口と前記吸気口を結ぶ流路と、該流路に設けられ、前記排気口から前記吸気口への気流を作る気流発生装置と、前記流路に設けられ、水分を除去する水分除去装置とを有する半導体製造装置。
【0051】
(付記2)基板を基板保持器具に支持した状態で処理する処理室と、該処理室に入れる前記基板を待機させる予備室と、該予備室内の排気を行なう排気口と、前記予備室内の吸気を行なう吸気口と、前記排気口と前記吸気口を結ぶ流路と、該流路に設けられ、前記排気口から前記吸気口への気流を作る気流発生装置と、前記流路に設けられ、水分を除去する水分除去装置とを有する半導体製造装置に於いて、前記予備室は減圧可能であることを特徴とする半導体製造装置。
【0052】
(付記3)基板を基板保持器具に支持した状態で処理する処理室と、該処理室に入れる前記基板を待機させる予備室と、該予備室内の排気を行なう排気口と、前記予備室内の吸気を行なう吸気口と、前記排気口と前記吸気口を結ぶ流路と、該流路に設けられ、前記排気口から前記吸気口への気流を作る気流発生装置と、前記流路に設けられ、水分を除去する水分除去装置とを有する半導体製造装置に於いて、前記処理室と前記予備室は連設されていることを特徴とする半導体製造装置。
【0053】
(付記4)予備室に収容された基板保持器具に基板を移載する工程と、前記移載工程後に、前記予備室の気体中の水分を除去する水分除去装置を介して気体を循環させる工程と、前記循環工程後に基板保持器具を処理室に装入する工程と、該処理室内で前記基板を処理する工程とを有する半導体デバイスの製造方法。
【0054】
(付記5)予備室に収容された基板保持器具に基板を移載する工程と、前記移載工程後に、前記予備室の気体中の水分を除去する水分除去装置を介して気体を循環させる工程と、前記循環工程後に基板保持器具を処理室に装入する工程と、該処理室内で前記基板を処理する工程とを有する半導体デバイスの製造方法に於いて、少なくとも前記循環工程は前記予備室内を加熱しながら行うことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
【0055】
(付記6)予備室に収容された基板保持器具に基板を移載する工程と、前記移載工程後に、前記予備室の気体中の水分を除去する水分除去装置を介して気体を循環させる工程と、前記循環工程後に基板保持器具を処理室に装入する工程と、該処理室内で前記基板を処理する工程とを有する半導体デバイスの製造方法に於いて、前記循環工程後、装入前に前記予備室内の真空引きを行なう工程を有する半導体デバイスの製造方法。
【0056】
【発明の効果】
以上述べた如く本発明によれば、反応炉と、該反応炉に連設されたロードロック室と、該ロードロック室の内壁面を加熱する加熱手段と、前記ロードロック室内に連通し、該ロードロック室内の気体を吸引送出して循環し、前記ロードロック室内の水蒸気を除去する水分除去装置とを具備するので、水蒸気に含まれる酸素により基板が酸化してできる自然酸化膜の生成は抑制され、半導体基板の品質の向上が図れるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す概略図である。
【図2】従来例を示す概略図である。
【図3】図2のA−A矢視図である。
【符号の説明】
1 ロードロック室
2 反応炉
3 移載室
4 炉口シャッタ
5 ゲートバルブ
6 反応管
8 反応室
13 ボート
14 ボートエレベータ
17 ボート載置台
19 ウェーハ移載機
23 水分除去装置
24 加熱手段
25 流路
26 上流端気密弁
27 下流端気密弁
28 ブロワ
29 水分トラップ
31 ドレン管
32 ストップ弁
33 制御装置

Claims (1)

  1. 反応炉と、該反応炉に連設されたロードロック室と、該ロードロック室の内壁面を加熱する加熱手段と、前記ロードロック室内に連通し、該ロードロック室内の気体を吸引送出して循環し、前記ロードロック室内の水蒸気を除去する水分除去装置とを具備することを特徴とする半導体製造装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010202890A (ja) * 2009-02-27 2010-09-16 Shincron:Kk 成膜方法及び成膜装置
JP2012233263A (ja) * 2012-07-20 2012-11-29 Shincron:Kk 成膜方法及び成膜装置
JP2015089669A (ja) * 2013-11-07 2015-05-11 横浜ゴム株式会社 空気入りタイヤの加硫装置および方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010202890A (ja) * 2009-02-27 2010-09-16 Shincron:Kk 成膜方法及び成膜装置
JP2012233263A (ja) * 2012-07-20 2012-11-29 Shincron:Kk 成膜方法及び成膜装置
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