JP2004347422A - 測距装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】プリズムを用いた距離測定、或はノンプリズムの距離測定が行える様にし、装置の簡略化を図る。
【解決手段】測距光を発する光源部15と、受光光学系18と、前記光源部からの測距光を測定対象物に投光し、該測定対象物からの反射測距光を前記受光光学系に導く投光光学系16と、前記光源部からの測距光を内部参照光として前記受光光学系に導く内部参照光学系17とを具備し、前記投光光学系は前記測距光を前記測定対象物の方向に偏向する投光光軸27に対して偏心した光路偏向部材38を有し、前記光源部は広がり角の異なる2つの測距光を射出可能であり、前記光源部、前記投光光学系のいずれか一方は測距光を偏心させる遮蔽マスク30を有する。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光線を用いて対象物迄の距離を測定する測距装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、測距用のレーザ光線を測定対象物に直接照射して、測定対象物迄の距離を測定するノンプリズム測距装置が普及している。
【0003】
ノンプリズム測距装置では、ビーム径の小さいレーザ光線が用いられる。ビーム径の小さなレーザ光線を用いることで測定対象物に点で照射でき、対象物の測定位置を明確にでき、測定対象物の稜線或は特定点の測定が可能となる。
【0004】
又、照射されるレーザ光線の強度は安全性等の理由から制限されるので、測定対象物からの高い反射が望めないノンプリズム測距装置では、プリズム(コーナキューブ)を用いた測距装置に比べ測定距離が短くなっている。
【0005】
この為、長距離測定では、測定対象物としてプリズムが用いられる。又、視準の容易性と高精度な測定の為、比較的大きなビーム広がりを有するレーザ光線が用いられている。
【0006】
上記した様に、ノンプリズム測距装置ではレーザ光線のビーム径が小さいので、レーザ光線をプリズムに照射させることが困難であることからプリズムを用いた長距離測定は適当ではない。
【0007】
然し乍ら、プリズムを用いた長距離用の測距装置とノンプリズム測距装置とを設備するのは不経済であるので、一台の測距装置でプリズムを用いた距離測定と、ノンプリズムの距離測定が行える測距装置が提案されている。
【0008】
例えば、特許文献1(図1、段落[0029]〜段落[0035])に示される様に、1台の測距装置でプリズムを用いた距離測定、或はノンプリズムの距離測定が行える測距装置が提案されている。
【0009】
図6により、簡単に説明する。
【0010】
可視レーザ光線1を発する第1光源2と赤外レーザ光線3を発する第2光源4とを有し、前記可視レーザ光線1と前記赤外レーザ光線3とは個別に発せられる様になっている。又、前記可視レーザ光線1はビーム径の小さい、平行光束のレーザ光線であり、前記赤外レーザ光線3は発散性のレーザ光線となっている。
【0011】
測定対象物に応じて、前記可視レーザ光線1、赤外レーザ光線3の選択がなされ、例えば測定対象物5がコーナキューブ等の反射体の場合は、発散性の前記赤外レーザ光線3が照射され、前記測定対象物5が建物等の壁面である場合はビーム径の小さい前記可視レーザ光線1が照射される。前記測定対象物5からの反射光11は、対物レンズ6、フィルタ7を通して検出器8で受光され、該検出器8からの信号に基づき演算部12で前記測定対象物5迄の距離が測定できる様になっている。
【0012】
前記フィルタ7は、前記可視レーザ光線1、赤外レーザ光線3の波長帯域のみを透過する様になっており、不要な太陽光等をカットして前記検出器8の前記反射光11の検出精度を向上させている。
【0013】
【特許文献1】
特開2000−88566号公報
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
上記した様に従来の測距装置では、光源を2つ使用しているので、光源の制御等発光部が複雑となる。又、前記可視レーザ光線1と前記赤外レーザ光線3を使用しているので、前記フィルタ7は両レーザ光線の波長帯域に対応したものとなっており、コスト高となっている。
【0015】
本発明は斯かる実情に鑑み、プリズムを用いた距離測定、或はノンプリズムの距離測定が行える様にし、装置の簡略化を図るものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明は、測距光を発する光源部と、受光光学系と、前記光源部からの測距光を測定対象物に投光し、該測定対象物からの反射測距光を前記受光光学系に導く投光光学系と、前記光源部からの測距光を内部参照光として前記受光光学系に導く内部参照光学系とを具備し、前記投光光学系は前記測距光を前記測定対象物の方向に偏向する投光光軸に対して偏心した光路偏向部材を有し、前記光源部は広がり角の異なる2つの測距光を射出可能であり、前記光源部、前記投光光学系のいずれか一方は測距光を偏心させる遮蔽マスクを有する測距装置に係り、又光源部は測距光を発する2つの光源を有し、一方の光源から発せられる測距光は第1光路を介して広がり角が小さく投光され、他方の光源から発せられる測距光は第2光路を介して広がり角が大きく投光される測距装置に係り、又前記マスクは、広がり角の大きい測距光路に設けられた測距装置に係り、更に又前記マスクは、2つの測距光の共通光路に設けられた測距装置に係るものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【0018】
図1は本発明に係る第1の実施の形態の骨子を示すものであり、図中、15は光源部、16は投光光学系、17は内部参照光学系、18は受光光学系、19は接眼光学系(望遠鏡)を示している。
【0019】
先ず、前記光源部15について説明する。
【0020】
レーザ光源21は、例えば780nmの赤外光の測距光を射出する。前記レーザ光源21の光軸20上に、第1コリメートレンズ22、ミキシング手段23、光路切替え手段24が配設されている。
【0021】
尚、前記ミキシング手段23としては例えば、本出願人により提案されている特開2002−196076号に示されたもの等が使用される。
【0022】
特開2002−196076号に示される該ミキシング手段23では、光軸上に設けられた一対のセルホックレンズと該セルホックレンズの間に光路を遮る様に挿入された位相板を有し、該位相板を回転させる様になっている。該位相板は碁盤目上に凹凸が形成され、該凹凸はレーザ光線の波長のπ/2の位相差が生じる様になっている。
【0023】
前記光路切替え手段24は第1光路25、第2光路26とを選択可能となっており、前記第1光路25、前記第2光路26は前記光路切替え手段24により投光光軸27に合致する様になっている。
【0024】
前記光路切替え手段24は例えば菱形プリズム28が回転可能に支持され、前記第1光路25が選択されている状態では、前記レーザ光源21からの測距光は前記ミキシング手段23を経て前記菱形プリズム28に入射し、該菱形プリズム28で2回反射され、前記光軸20と平行な状態で前記投光光軸27に合致する。
【0025】
前記第2光路26は前記光軸20の延長に合致しており、前記第2光路26には第2コリメートレンズ29、光ファイバ31、該光ファイバ31の射出端には第3コリメートレンズ32が設けられ、該第3コリメートレンズ32の光軸は前記投光光軸27と合致している。又、該投光光軸27の前記菱形プリズム28と前記第3コリメートレンズ32との間にマスク30が設けられる。
【0026】
図2に見られる様に、該マスク30は前記投光光軸27に対して偏心した透過孔30′が穿設されており、前記光ファイバ31より射出される測距光の一部を遮断する様になっている。尚、図2では、前記透過孔30′の形状は円であるが、矩形であっても或は楕円、或は一部が欠切された円等であってもよく、透過孔30′の図形重心が前記投光光軸27に対して偏心し、該投光光軸27上の測距光の光束は透過する形状であればよい。
【0027】
前記光路切替え手段24が前記第2光路26を選択している状態では、前記菱形プリズム28が前記光軸20から外れた状態となっている。前記ミキシング手段23からの測距光は前記第2コリメートレンズ29で集光されて前記光ファイバ31の入射端から該光ファイバ31に入射し、該光ファイバ31から射出された測距光は前記第3コリメートレンズ32で平行にされ、前記投光光軸27に射出される。
【0028】
又、前記光源部15はポインタ用光源33を有し、該ポインタ用光源33にはLDが用いられ、可視光のポインタ用レーザ光線を発し、該ポインタ用レーザ光線は第4コリメートレンズ34により平行光束とされ、前記投光光学系16より測定対象物(図示せず)に投光される。
【0029】
該投光光学系16について説明する。
【0030】
前記投光光軸27上にはビームスプリッタ35、凹レンズ36、第1光路偏向部材37、第2光路偏向部材38、対物レンズ39が配設され、前記ビームスプリッタ35と前記凹レンズ36間には投光光量調整手段41が設けられている。前記第2光路偏向部材38は前記投光光軸27に対して図形の重心が偏心して設けられており、前記マスク30を経て入射する測距光を反射する充分な大きさの形状となっている。
【0031】
又、前記第2光路偏向部材38の偏心の状態は、例えば図1では投光光軸27に対して上側に偏心しており、前記第2光路偏向部材38により反射される測距光の光束も前記投光光軸27に対して上側に偏心した状態となっている。
【0032】
前記投光光量調整手段41はステッピングモータ等の位置決め機能を有する光量調整モータ42によって回転され、透過光量が円周方向で連続的に変化する光量調整板43を具備し、該光量調整板43は前記投光光軸27を遮る様に設けられている。
【0033】
前記凹レンズ36は、該凹レンズ36の焦点位置と前記対物レンズ39の焦点位置とを合致させて配設されてあり、該対物レンズ39と共にビームエキスパンダを構成しており、前記凹レンズ36迄導かれた平行光束を拡大し投光できる様になっている。この為、前記ビームスプリッタ35、光量調整板43等の光学部材による影響を最小限に抑えることができる。又、前記レーザ光源21を前記対物レンズ39の焦点位置に配置する構造と比較し、投光効率が向上する。
【0034】
前記ビームスプリッタ35は前記レーザ光源21からの測距光(赤外光)を略全透過すると共に一部を反射し、前記ポインタ用光源33からのポインタ用レーザ光線(可視光)を全反射するものである。前記第1光路偏向部材37はミラー、前記第2光路偏向部材38はミラー又は測距光を反射するダイクロイックミラー等であり、該第2光路偏向部材38は測距光を全反射し、前記ポインタ用レーザ光線(可視光)を一部反射し、一部透過するものである。
【0035】
前記内部参照光学系17について説明する。
【0036】
該内部参照光学系17は前記光源部15と後述する前記受光光学系18間に設けられ、前記内部参照光学系17は前記ビームスプリッタ35の透過光軸に合致する内部参照用光軸44を有し、該内部参照用光軸44上にコンデンサレンズ45、濃度フィルタ46、ダイクロイックプリズム47が配設されている。
【0037】
前記投光光軸27と前記内部参照用光軸44間にチョッパ手段48が掛渡って設けられている。該チョッパ手段48は前記投光光軸27と前記内部参照用光軸44とを遮るチョッパ板49及び該チョッパ板49を回転させ、位置決め可能なチョッパモータ51を具備している。前記チョッパ板49が前記投光光軸27を遮っている状態では前記内部参照用光軸44が通過状態であり、前記チョッパ板49が前記内部参照用光軸44を遮っている状態では前記投光光軸27が通過状態となっている。
【0038】
而して、前記チョッパ板49を回転させることで、前記光源部15からの測距光が前記投光光軸27に照射されるか、或は前記内部参照用光軸44に内部参照光として照射されるか、択一的に選択される様になっている。
【0039】
前記濃度フィルタ46は、測定対象物からの反射測距光と内部参照光との光強度が略等しくなる様に、内部参照光の光強度を調整するものである。
【0040】
前記受光光学系18について説明する。
【0041】
該受光光学系18は前記内部参照用光軸44の延長に合致する受光光軸52を具備し、該受光光軸52には前記ダイクロイックプリズム47、ドーナツレンズ53、受光ファイバ54、第5コリメートレンズ55、干渉フィルタ56、集光レンズ57、受光素子58が配設される。該受光素子58としては、例えばアバランシェホトダイオード(APD)が用いられ、前記干渉フィルタ56は狭帯域、例えば800nm近傍の波長帯を透過する様な特性を有している。前記受光素子58が反射測距光を受光すると、受光信号は演算部65に送出され、該演算部65で受光信号に基づき測定対象物迄の距離が演算される。
【0042】
前記接眼光学系19について説明する。
【0043】
該接眼光学系19は接眼光軸60を有し、該接眼光軸60は前記ダイクロイックプリズム47を透過する前記対物レンズ39の光軸延長に合致している。前記接眼光軸60上に、該接眼光軸60に沿って移動可能に設けられた合焦レンズ61、正立像に像を変換する正立プリズム62、十字等の視準線が設けられた視準板63、接眼レンズ64が設けられている。
【0044】
以下、作動について説明する。
【0045】
先ず、前記ポインタ用光源33を点灯して、ポインタ用レーザ光線を発する。該ポインタ用レーザ光線は前記ビームスプリッタ35で反射され、前記第1光路偏向部材37、第2光路偏向部材38を経て前記対物レンズ39より測定対象物に照射される。前記ポインタ用レーザ光線は前記投光光軸27と同軸に投光されるので、測定点を正確に照射する。前記接眼光学系19により前記ポインタ用レーザ光線の照射点を観察し、測定点を決定する。測定点が決定されると前記ポインタ用光源33が消灯される。
【0046】
前記ポインタ用光源33は、必要な場合のみ点灯するので、作業場で作業者や、通行人の目をレーザ光線で照射することが大幅に減少し、作業者や、通行人に嫌悪感を与え、或は眩しく感じさせることが無くなる。
【0047】
建物の壁面等を測定対象物としたノンプリズム距離測定を行う場合は、ノンプリズム測定を選択する。
【0048】
ノンプリズム測定を選択した場合、前記菱形プリズム28が前記第2光路26、投光光軸27を遮る様に位置決めされる。前記レーザ光源21で発せられた測距光は、前記ミキシング手段23でミキシングされる。ミキシングされることで光量斑が解消され、測定精度が向上する。前記菱形プリズム28により光路が前記第1光路25に偏向され、前記ビームスプリッタ35を透過し、前記投光光学系16により測定対象物に投光される。
【0049】
投光される測距光のビーム径、広がり角は、発光源の大きさに依存する。前記レーザ光源21の発光点は、半導体レーザ(LD)の場合、直径で3μm程度であり、細い径の測距光が照射される。
【0050】
前記投光光学系16より測定対象物に測距光が投光され、測定対象物で反射された反射測距光は反射面が一般に鏡面又は鏡面状ではないので、拡散されたものとなる。反射測距光は前記投光光軸27を通して対物レンズ39に入射し、該対物レンズ39で集光され、前記ダイクロイックプリズム47に入射し更に該ダイクロイックプリズム47で反射される。尚、該ダイクロイックプリズム47に入射される反射測距光の光束は前記第2光路偏向部材38より充分大きいものとなっている。
【0051】
前記第2光路偏向部材38が前記投光光軸27上に配置される等、前記投光光学系16の構成上、前記受光光学系18に導かれる反射測距光は、中心部が欠けた光束となる。この為、測定対象物が近距離の場合、反射測距光の光束が欠けた部分が前記受光ファイバ54の入射端面に一致し、反射測距光が前記受光光学系18に入射しない状態が発生することがある。前記ドーナツレンズ53は反射測距光の周辺の光束を屈折させ、前記受光ファイバ54に入射させるものである。
この結果、測距距離の遠近に拘らず、反射測距光が前記受光光学系18に導かれる。
【0052】
反射測距光が前記受光ファイバ54に入射し、該受光ファイバ54により前記第5コリメートレンズ55迄反射測距光が導かれると、該第5コリメートレンズ55で平行光束にされる。前記干渉フィルタ56で外乱光がカットされ、前記集光レンズ57により前記受光素子58に集光される。該受光素子58は、S/N比の大きい測距光を受光する。
【0053】
前記光量調整モータ42は距離測定に応じて前記光量調整板43を回転させ、該光量調整板43により射出される測距光の強度を調整し、測定対象物迄の距離に拘らず、前記受光素子58が受光する反射測距光の強度が一定となる様にする。又、前記チョッパ手段48は測距光が測定対象物に投光されるか、或は内部参照光として前記受光光学系18に入射されるかを切替え、前記濃度フィルタ46は内部参照光と反射測距光との光強度が略同一となる様に内部参照光の光強度を調整する。
【0054】
前記受光素子58は前記反射測距光と内部参照光の受光信号を前記演算部65に送信し、該演算部65は前記受光素子58からの受光信号で測定対象物迄の距離を演算する。上記した様に、前記干渉フィルタ56で反射測距光の波長帯を除く外乱光が除去されるので、前記受光素子58が受光する反射測距光はS/N比が大きく精度の高い測距が可能となる。
【0055】
プリズム測定では、望遠鏡の視軸と測距光軸の偏差による誤差を低減する為、広がり角の大きな光束を射出する。
【0056】
プリズム測定を選択した場合、前記菱形プリズム28が前記第2光路26、投光光軸27から外れた状態に位置決めされる。前記レーザ光源21で発せられた測距光は、前記ミキシング手段23でミキシングされる。ミキシングにより、光量斑が解消され、測定精度が向上する。
【0057】
測距光は前記第2コリメートレンズ29で前記光ファイバ31の入射端面に集光され、入射される。該光ファイバ31の射出端面は前記投光光軸27上に位置しており、前記光ファイバ31から射出する測距光は、前記第3コリメートレンズ32により集光された後、前記マスク30、前記ビームスプリッタ35を透過し、前記投光光学系16により測定対象物(コーナキューブ等の再帰反射プリズム)に投光される。前記マスク30を透過することで、測距光の一部が遮断され、測距光の光束は前記投光光軸27に対して偏心(図1中上側に偏心)したものとなる。
【0058】
上記した様に、投光される測距光のビーム径、広がり角は、発光源の大きさに依存し、プリズム測定では前記光ファイバ31の射出端面が2次光源として作用し、該光ファイバ31の端面は直径で300μmであり、上記したノンプリズム測定に於ける半導体レーザ(LD)の直径3μmに比べ充分大きく、広がり角の大きい測距光が投光される。
【0059】
プリズム測定では、広がり角が大きく且つ均一な測距光が高精度な測距を行う為の条件となるが、投光される測距光は前記ミキシング手段23でミキシングされ、更に前記光ファイバ31を透過することで多反射によりマルチモード化されるので、レーザ光線の可干渉性から生じるスペックルが防止され、光量斑の発生が抑止される。
【0060】
測定対象物から反射された測距光は、その光束が図1中下側に偏心したものとなり、前記投光光軸27上を経て前記対物レンズ39より入射する。該対物レンズ39により集光される。
【0061】
該対物レンズ39を透過した反射測距光の一部は、前記第2光路偏向部材38により遮られるが、前記測距光の光束が下側に偏心し、更に前記第2光路偏向部材38が上側に偏心しているので、前記反射測距光の該第2光路偏向部材38に遮られない部分が前記ダイクロイックプリズム47に入射する。
【0062】
該ダイクロイックプリズム47により反射された反射測距光は、前記受光ファイバ54に入射する。該受光ファイバ54により前記第5コリメートレンズ55迄反射測距光が導かれ、前記第5コリメートレンズ55で平行光束にされ、前記干渉フィルタ56で外乱光がカットされ、前記集光レンズ57により集光され、前記受光素子58に受光される。
【0063】
尚、プリズム測定での測距でも、前記干渉フィルタ56により外乱光がカットされることでS/N比が向上する。又前記第5コリメートレンズ55が前記干渉フィルタ56に入射する反射測距光を垂直入射の状態とし、反射測距光が前記干渉フィルタ56により光量が減少されることがない様にする等については、ノンプリズム測定と同様である。
【0064】
図3により前記光路切替え手段24について説明する。
【0065】
前記菱形プリズム28はプリズムホルダ66により保持され、該プリズムホルダ66からは回転軸67が突出され、該回転軸67を介して前記菱形プリズム28が回転自在に支持されている。又、前記回転軸67にはモータ(図示せず)、ソレノイド等のアクチュエータ(図示せず)が連結され、該アクチュエータにより前記菱形プリズム28が前記第2光路26、投光光軸27に挿脱できる様所要角で回転される様になっている。
【0066】
図4は、他の光路切替え手段24を示している。
【0067】
図4中、図1中で示したものと同等のものには同符号を付してある。
【0068】
前記第2光路26上にビームスプリッタとして第1ハーフミラー68が配設され、前記投光光軸27上にビームスプリッタとして第2ハーフミラー69が配設され、前記第1ハーフミラー68と前記第2ハーフミラー69とは平行に対峙し、測距装置の筐体等に機械的に固定されている。而して、前記第2光路26と前記投光光軸27とを平行に設定することで、前記第1ハーフミラー68と前記第2ハーフミラー69間に前記第1光路25が形成され、前記第1ハーフミラー68で反射され、前記第1光路25を通り前記第2ハーフミラー69で反射された測距光が前記投光光軸27を通って前記投光光学系16より投光される。又、光束切替え機71が前記第2光路26と前記第1光路25間に掛渡って設けられている。前記光束切替え機71は透過孔(図示せず)を具備する光束切替え板72、該光束切替え板72を回転させるモータ73を具備している。前記光束切替え板72は前記第2光路26が開通する状態では、前記第1光路25を遮断し、該第1光路25が開通する状態では前記第2光路26を遮断する様になっている。
【0069】
而して、前記光束切替え機71は前記第1ハーフミラー68を透過した測距光を前記光ファイバ31に導き、前記第1ハーフミラー68で反射された測距光を前記第2ハーフミラー69を経て前記投光光学系16に導く様になっている。
【0070】
尚、前記マスク30は前記投光光軸27に設けてもよい。この場合、プリズム測定だけでなく、ノンプリズム測定の場合も測距光の一部が遮られることとなるが、ノンプリズム測定の場合、反射測距光は拡散光であるので一部が遮られたとしても充分な光量が得られ、測定に支障はない。
【0071】
図5は第2の実施の形態を示している。
【0072】
該第2の実施の形態では、プリズム測定用の光源とノンプリズム測定用の光源とを別々に設けた場合を示している。尚、図5は光源部15を示しており、他の構成については図1で示したものと同様であるので、図示を省略してある。
【0073】
光軸20上にノンプリズム用の光源としてレーザ光源21、及び第1コリメートレンズ22、ミキシング手段23及びビームスプリッタ74を配設する。又該ビームスプリッタ74に於いて前記光軸20と直交する第2光路26には副レーザ光源75、副第1コリメートレンズ76、副ミキシング手段77、第2コリメートレンズ29、光ファイバ31、第3コリメートレンズ32が配設され、前記副レーザ光源75で射出された副測距光が前記ビームスプリッタ74に入射する様になっている。
【0074】
第2の実施の形態では、第2光路26の第3コリメートレンズ32とビームスプリッタ74との間にマスク30が設けられる。尚、前記副レーザ光源75には前記レーザ光源21と同一仕様のLDが用いられる。又、前記マスク30は投光光軸27に設けられてもよい。
【0075】
又、前記レーザ光源21、前記副レーザ光源75は光源制御部78により発光、点滅等の制御が為される様になっている。
【0076】
ノンプリズム測定が行われる場合は、前記レーザ光源21が点灯され、前記副レーザ光源75は消灯される。該レーザ光源21からの測距光は前記第1コリメートレンズ22で集光され、前記ミキシング手段23でミキシングされ、前記ビームスプリッタ74を透過して前記投光光軸27を経て投光され、或はチョッパ手段48で光路が切替えられ、内部参照用光軸44を経て図示しない受光光学系18(図1参照)に導かれる。上記した様に、前記レーザ光源21の発光点の径は小さく、ノンプリズム測定に適した測距光が得られる。
【0077】
又、プリズム測定が行われる場合は、前記副レーザ光源75が点灯され、前記レーザ光源21が消灯される。副測距光は前記副第1コリメートレンズ76で集光され、前記副ミキシング手段77でミキシングされ、前記第2コリメートレンズ29で前記光ファイバ31の入射端面に集光される。該光ファイバ31を透過した副測距光は前記第3コリメートレンズ32で平行光束とされ、前記ビームスプリッタ74で反射され、前記投光光軸27を経て投光され、或は前記チョッパ手段48で光路が切替えられ、前記内部参照用光軸44を経て図示しない前記受光光学系18(図1参照)に導かれる。
【0078】
プリズム測定の場合、前記光ファイバ31の射出端面が2次光源となり、該光ファイバ31の射出端面は300μmの直径を有するので、プリズム測定に適した大きな広がり角を有する副測距光が得られる。又、前記光ファイバ31で副測距光がマルチモード化されるので、光量斑のない均一な副測距光が投光される。
前記マスク30の作用については第1の実施の形態と同様である。
【0079】
尚、前記ビームスプリッタ74の反射率、透過率については、プリズム測定ではノンプリズム測定より光量が少なくてもよいことから、測距光の透過率を高く、副測距光の反射率を低く設定してもよい。
【0080】
本第2の実施の形態では、前記副レーザ光源75と前記レーザ光源21とを前記光源制御部78により切替えて行うので、第1の実施の形態で示した光路切替え手段24を省略できる。又、前記レーザ光源21と前記副レーザ光源75とでは製作上の個体差があり、完全に同一な波長の測距光を発することはできないが、前記干渉フィルタ56(図1参照)の透過波長帯に含まれる程度の誤差であり、実用上支障なく、実質的に同一波長の測距光が発せられ、第1の実施の形態と同様高いS/N比が得られ、測定精度を高く維持することができる。
【0081】
尚、第2の実施の形態に於いて、前記ミキシング手段23は省略することが可能である。
【0082】
【発明の効果】
以上述べた如く本発明によれば、測距光を発する光源部と、受光光学系と、前記光源部からの測距光を測定対象物に投光し、該測定対象物からの反射測距光を前記受光光学系に導く投光光学系と、前記光源部からの測距光を内部参照光として前記受光光学系に導く内部参照光学系とを具備し、前記投光光学系は前記測距光を前記測定対象物の方向に偏向する投光光軸に対して偏心した光路偏向部材を有し、前記光源部は広がり角の異なる2つの測距光を射出可能であり、前記光源部、前記投光光学系のいずれか一方は測距光を偏心させる遮蔽マスクを有するので、測定対象物が近距離、遠距離であっても、或はノンプリズム測定、プリズム測定のいずれであっても距離測定が可能であり、装置の簡略化が図れるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す骨子図である。
【図2】図1のA矢視図である。
【図3】第1の実施の形態で使用される光路切替え手段の要部説明図であり、(A)は平面図、(B)は正面図、(C)は側面図である。
【図4】他の光路切替え手段を示す説明図である。
【図5】第2の実施の形態を示す光源部の骨子図である。
【図6】従来例の説明図である。
【符号の説明】
15 光源部
16 投光光学系
17 内部参照光学系
18 受光光学系
19 接眼光学系
21 レーザ光源
24 光路切替え手段
25 第1光路
26 第2光路
27 投光光軸
28 菱形プリズム
30 マスク
30′ 透過孔
31 光ファイバ
33 ポインタ用光源
35 ビームスプリッタ
37 第1光路偏向部材
38 第2光路偏向部材
39 対物レンズ
48 チョッパ手段
68 第1ハーフミラー
69 第2ハーフミラー
71 光束切替え機
72 光束切替え板
74 ビームスプリッタ
75 副レーザ光源

Claims (4)

  1. 測距光を発する光源部と、受光光学系と、前記光源部からの測距光を測定対象物に投光し、該測定対象物からの反射測距光を前記受光光学系に導く投光光学系と、前記光源部からの測距光を内部参照光として前記受光光学系に導く内部参照光学系とを具備し、前記投光光学系は前記測距光を前記測定対象物の方向に偏向する投光光軸に対して偏心した光路偏向部材を有し、前記光源部は広がり角の異なる2つの測距光を射出可能であり、前記光源部、前記投光光学系のいずれか一方は測距光を偏心させる遮蔽マスクを有することを特徴とする測距装置。
  2. 光源部は測距光を発する2つの光源を有し、一方の光源から発せられる測距光は第1光路を介して広がり角が小さく投光され、他方の光源から発せられる測距光は第2光路を介して広がり角が大きく投光される請求項1の測距装置。
  3. 前記マスクは、広がり角の大きい測距光路に設けられた請求項1又は請求項2の測距装置。
  4. 前記マスクは、2つの測距光の共通光路に設けられた請求項1又は請求項2の測距装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007127475A (ja) * 2005-11-02 2007-05-24 Sokkia Co Ltd 光波距離計
JP2010266212A (ja) * 2009-05-12 2010-11-25 Nikon-Trimble Co Ltd 測距装置
CN105026886A (zh) * 2012-11-01 2015-11-04 特林布尔公司 跟踪器单元和跟踪器单元中的方法

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4819403B2 (ja) * 2005-06-06 2011-11-24 株式会社トプコン 距離測定装置
JP5137104B2 (ja) * 2007-03-22 2013-02-06 株式会社 ソキア・トプコン 光波距離計
WO2010020267A1 (en) 2008-08-20 2010-02-25 Trimble Jena Gmbh Distance-measuring system
US9482755B2 (en) 2008-11-17 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker
US8659749B2 (en) * 2009-08-07 2014-02-25 Faro Technologies, Inc. Absolute distance meter with optical switch
US9772394B2 (en) 2010-04-21 2017-09-26 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker
US9377885B2 (en) 2010-04-21 2016-06-28 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker
US8619265B2 (en) 2011-03-14 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker
US9400170B2 (en) 2010-04-21 2016-07-26 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker
JP5690541B2 (ja) * 2010-09-30 2015-03-25 株式会社トプコン 距離測定装置
US8902408B2 (en) 2011-02-14 2014-12-02 Faro Technologies Inc. Laser tracker used with six degree-of-freedom probe having separable spherical retroreflector
GB2518769A (en) 2011-03-03 2015-04-01 Faro Tech Inc Target apparatus and method
US9686532B2 (en) 2011-04-15 2017-06-20 Faro Technologies, Inc. System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices
US9164173B2 (en) 2011-04-15 2015-10-20 Faro Technologies, Inc. Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light
JP2014516409A (ja) 2011-04-15 2014-07-10 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド レーザトラッカの改良位置検出器
US9482529B2 (en) 2011-04-15 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
USD688577S1 (en) 2012-02-21 2013-08-27 Faro Technologies, Inc. Laser tracker
JP6099675B2 (ja) 2012-01-27 2017-03-22 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド バーコード識別による検査方法
DE102012107329B4 (de) 2012-08-09 2020-04-23 Trimble Jena Gmbh Distanzmesssystem
JP6367522B2 (ja) 2013-02-28 2018-08-01 株式会社トプコン 航空写真システム
US9041914B2 (en) 2013-03-15 2015-05-26 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
JP5882951B2 (ja) * 2013-06-14 2016-03-09 株式会社トプコン 飛行体誘導システム及び飛行体誘導方法
JP6316568B2 (ja) 2013-10-31 2018-04-25 株式会社トプコン 測量システム
JP6326237B2 (ja) 2014-01-31 2018-05-16 株式会社トプコン 測定システム
US9395174B2 (en) 2014-06-27 2016-07-19 Faro Technologies, Inc. Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit
JP6490401B2 (ja) 2014-11-12 2019-03-27 株式会社トプコン 傾斜検出システム及び傾斜検出方法
EP3289430B1 (en) 2015-04-27 2019-10-23 Snap-Aid Patents Ltd. Estimating and using relative head pose and camera field-of-view
GB201511551D0 (en) * 2015-07-01 2015-08-12 St Microelectronics Res & Dev Photonics device
WO2017149526A2 (en) 2016-03-04 2017-09-08 May Patents Ltd. A method and apparatus for cooperative usage of multiple distance meters
US11321873B1 (en) * 2019-02-04 2022-05-03 Amazon Technologies, Inc. Calibrating and detecting vibration of stereo ranging systems
WO2021049109A1 (ja) * 2019-09-11 2021-03-18 パナソニックIpマネジメント株式会社 水分検知装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04319687A (ja) * 1991-04-18 1992-11-10 Sokkia Co Ltd 光波距離計用光学系
JP2000088566A (ja) * 1998-09-02 2000-03-31 Leica Geosystems Ag 光学的測距装置
JP2001141825A (ja) * 1999-11-17 2001-05-25 Topcon Corp 光波距離計
JP2001318308A (ja) * 2000-05-09 2001-11-16 Asahi Optical Co Ltd 光波測距儀及びaf機能を有する光波測距儀
JP2001337164A (ja) * 2000-05-25 2001-12-07 Asahi Optical Co Ltd 光波測距儀及びaf機能を有する光波測距儀
JP2004212059A (ja) * 2002-12-26 2004-07-29 Topcon Corp 測距装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3151581B2 (ja) * 1992-12-21 2001-04-03 株式会社トプコン 光波距離計
JP3599805B2 (ja) * 1994-12-09 2004-12-08 株式会社トプコン 測量機
US5703677A (en) * 1995-11-14 1997-12-30 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Single lens range imaging method and apparatus
US6614509B2 (en) * 2000-12-15 2003-09-02 Olympus Optical Co., Ltd. Distance measuring apparatus
CN2478073Y (zh) * 2001-04-17 2002-02-20 亚洲光学股份有限公司 光学测距装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04319687A (ja) * 1991-04-18 1992-11-10 Sokkia Co Ltd 光波距離計用光学系
JP2000088566A (ja) * 1998-09-02 2000-03-31 Leica Geosystems Ag 光学的測距装置
JP2001141825A (ja) * 1999-11-17 2001-05-25 Topcon Corp 光波距離計
JP2001318308A (ja) * 2000-05-09 2001-11-16 Asahi Optical Co Ltd 光波測距儀及びaf機能を有する光波測距儀
JP2001337164A (ja) * 2000-05-25 2001-12-07 Asahi Optical Co Ltd 光波測距儀及びaf機能を有する光波測距儀
JP2004212059A (ja) * 2002-12-26 2004-07-29 Topcon Corp 測距装置
JP4166083B2 (ja) * 2002-12-26 2008-10-15 株式会社トプコン 測距装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007127475A (ja) * 2005-11-02 2007-05-24 Sokkia Co Ltd 光波距離計
JP2010266212A (ja) * 2009-05-12 2010-11-25 Nikon-Trimble Co Ltd 測距装置
CN105026886A (zh) * 2012-11-01 2015-11-04 特林布尔公司 跟踪器单元和跟踪器单元中的方法

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