JP2004344689A - 2流体ノズル - Google Patents
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Abstract
【課題】噴霧パターンを幅広で厚さを薄くて、噴霧の打力を高める。
【解決手段】気液混合流路の噴射側先端に、流路軸線に対して直交する閉鎖面を設け、該閉鎖面に直径方向の1つの溝を形成すると共に、該閉鎖面の外面側の噴射端面には上記溝と直交方向の長円或いは楕円からなる噴口を設けて、該噴口の短軸側と上記閉鎖面の溝とを同一方向とすると共に、該噴口を内面側に向けてテーパ状に切り込み、その中央部に上記溝と連通させた流出穴を設けている。
上記気液混合流路を軸芯に沿って設けたノズル本体の噴射側先端にノズルチップを取り付け、該ノズルチップの内面を上記閉鎖面とすると共に外面を上記噴射端面としている。
【選択図】 図1
【解決手段】気液混合流路の噴射側先端に、流路軸線に対して直交する閉鎖面を設け、該閉鎖面に直径方向の1つの溝を形成すると共に、該閉鎖面の外面側の噴射端面には上記溝と直交方向の長円或いは楕円からなる噴口を設けて、該噴口の短軸側と上記閉鎖面の溝とを同一方向とすると共に、該噴口を内面側に向けてテーパ状に切り込み、その中央部に上記溝と連通させた流出穴を設けている。
上記気液混合流路を軸芯に沿って設けたノズル本体の噴射側先端にノズルチップを取り付け、該ノズルチップの内面を上記閉鎖面とすると共に外面を上記噴射端面としている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、2流体ノズルに関し、洗浄用、冷却用等に用いられ、特に、電気電子等の精密部品の微細洗浄に好適に用いられるもので、ノズルからの噴霧の厚みを薄くして強い打力を発生させ洗浄力あるいは冷却力を高めるものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、液晶製造工程において、ガラス切断後の洗浄や回路等の現像後の洗浄は、細部の洗浄を行う必要があるため、2流体ノズルを用い、水に空気を混合して水の微粒化を図った気液混合ミストを噴射して、洗浄を行うようにしている。
この種の2流体ノズルでは、噴霧幅を広げて広い範囲での洗浄を可能とすると共に、噴霧幅と直交方向の噴霧厚さを狭くして噴霧打力を高めることが好ましく、よって、噴口は長円あるいは楕円形状とされている。
【0003】
例えば、本出願人は、従来、特開昭2−273565号公報において、図7に示す2流体ノズル1を提案している。
上記二流体ノズル1の噴射部では、図8(A)(B)に拡大して示すように、気液混合流路1の先端内面には中心に向けて円弧状に収険させたドーム状部1aを設ける一方、噴射端面2に長円形状の噴口3を設け、該噴口3を上記ドーム状部1aの中央へと向けてテーパ状に切り込んで連通させ、噴口3の中央に流出口4を形成している。
該二流体ノズル1では、気液混合流体がドーム状部1aから流出口4を経て噴口3から噴射され、流出口4から噴射される気液混合流体が噴口3の楕円形状に沿って横広がりで厚さが薄い噴霧パターンとなっている。
【0004】
【特許文献1】
特開昭2−273565号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記2流体ノズルでは、気液混合流体がドーム状部1aにおいて、その内周面の全面に沿って、図8中に矢印で示すように全周方向から流出口4に向けて流入するため、流出口4からは軸線方向を中心としてその全周方向にむけて放射状に噴出するように流れる。 よって、噴口3を楕円形状とし、気液混合流体を長軸側ヘと広げる一方、短軸側は狭めるように設定していても、短軸方向への噴射を抑制する力が弱く、図9に示すように、噴霧パターンは幅方向Xと直交方向の厚さ方向Yにも広がることとなる。
このように、厚さ方向Yへと広がると、噴霧面積は増大し、その分、単位面積当たりの噴霧の打力が低下し、洗浄力が低下する問題がある。
【0006】
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、厚さ方向への噴霧を抑制し、噴霧面積を減少させることにより、打力をアップして洗浄力を高めることを課題としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、気液混合流路の噴射側先端に、流路軸線に対して直交する閉鎖面を設け、該閉鎖面に直径方向の1つの溝を形成すると共に、該閉鎖面の外面側の噴射端面には上記溝と直交方向の長円或いは楕円からなる噴口を設けて、該噴口の短軸側と上記閉鎖面の溝とを同一方向とすると共に、該噴口を内面側に向けてテーパ状に切り込み、その中央部に上記溝と連通させた流出穴を設けていることを特徴とする2流体ノズルを提供している。
【0008】
上記構成とすると、気液混合流路に沿って流通してきた気液混合流体は閉鎖面で遮断された先端において、中央部を流れる気液混合流体は流出口から直進して噴口へと流出していくが、外周部の気液混合流体は閉鎖面に対して直交方向で衝突し、該閉鎖面に設けた溝の内部を通って流出口に向かうこととなる。また、溝を設けていない閉鎖面に衝突した気液混合流体は溝へと流れ込んで中央の流出口へと向かうこととなる。流出口の両側から流れ込む気液混合流体は衝突しながら流出口から噴口へと流れて噴射される。このため、まず、流出口を挟んで衝突することにより、溝方向と同一の噴口の短軸側への流れが少なくなり、かつ、噴口の短軸方向に対向するテーパ状壁面に衝突することにより、噴口から噴射される噴霧は短軸方向、即ち、厚さ方向へ広がるのを抑制することができる。よって、噴口の形状に沿った長軸方向の幅方向が長く、厚さ方向には薄い噴霧パターンとなり、噴霧面積が減少し、単位当たりの噴霧打力を高めて、洗浄力をアップすることができる。
【0009】
さらに、上記両側の溝から流出口へと流れ込む流体が正面衝突することで、気液混合流体の微粒化が図れ、噴口から噴射される噴霧の微粒化が促進されることにより、微細部分の洗浄能力も高めることができる。
さらにまた、ノズル形状により噴霧の打力を高めることができるため、気液混合流体の空気圧力もしくは空気量を低減でき、その分、エネルギーコストの削減も図ることが出来る。
【0010】
上記閉鎖面に設ける溝は、 幅を比較的広くし、かつ、 断面形状を円弧状あるいはV字状としている。
【0011】
上記気液混合流路を軸芯に沿って設けたノズル本体の噴射側先端にノズルチップを取り付け、該ノズルチップの内面を上記閉鎖面とすると共に外面を上記噴射端面としている。
即ち、ノズル本体の軸芯に沿って設ける気液混合流路は噴射側先端で縮径せずに断面円形の開口とし、該開口にノズルチップを組みつけて、上記内面側の閉鎖面に直径方向の溝を設ける一方、外面側に溝方向が短軸側となる長円あるいは楕円形状の噴口を設けている。
【0012】
詳細には、上記ノズルチップは内部側に小径部を設けると共に外部側に大径部を連続させた2段の円盤状とし、上記小径部を上記ノズル本体の気液混合流路の先端に嵌合して上記閉鎖面を形成し、上記大径部をパッキンを介してノズル本体の外面に当接させ、該ノズルチップにキャップを外嵌して、該キャップとノズル本体とをネジ締め固定して、ノズル本体に対して着脱自在に取り付けている。
【0013】
上記大小2段形状のノズルチップの肉厚部分に、外面側の長円あるいは楕円状の噴口よりテーパ状の切り込みが内面側の溝に向けて設けられることにより、噴口には比較的深い周壁が設けられ、この周壁により流出口から噴射される気液混合流体がガイドされて、長軸方向に広がると共に短軸方向には広がらない厚さの薄い噴霧となる。
【0014】
また、ノズルチップをノズル本体に着脱自在に取り付けることにより、噴霧幅、噴霧厚さを変えて噴霧パターンを変更する場合には、ノズルチップのみを取り替えれば良い。また、ノズルチップの流出口に目詰まりが発生すると、ノズルチップのみを取り外してメンテナンスすることが出来る。
【0015】
なお、上記ノズル本体の気液混合流路への液体(水)と気体(空気)との供給方法は特定されないが、空気圧を高める場合には該空気圧により供給される水の逆流を生じない構成とすることが好ましい。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図1乃至図5は第1実施形態の2流体ノズル10を示す。該ノズル10はノズル本体11の前端にパッキン12を介してノズルチップ13を取り付け、該ノズルチップ13をキャップ14を外嵌してノズル本体11にネジ締め固定している。
【0017】
ノズル本体11は軸芯L1に沿って、後端側に空気供給管20が接続される大径の空気流入路21を設け、該空気流入路21の前端を縮径して小径流路のオリフィス22に連通させている。オリフィス22の前端を大径の気液混合流路23に連通させ、この気液混合流路23は噴射側先端に縮径せずに同一径を維持した中空部として先端開口まで延在させている。
【0018】
ノズル本体11の周壁外面に水供給管25が接続される水流入路26を開口させ、該水流入路26の内端を環状水流路27に連通させている。該環状水流路27の前部側を周方向に間隔をあけて設けた連通路28を介して上記気液混合流路23に連通している。よって、気液混合流路23の後端面にオリフィス22より直進方向で流入する圧力空気に対して、気液混合流路23の後部側内周面より流入する水が側面衝突で混合され、該気液混合流路23の噴射側前部では水と圧力空気とは略均一に混合された状態となっている。
【0019】
上記ノズル本体11の先端面は段状凹部11aを設け、該段状凹部に環状パッキン12を嵌合し、該環状のパッキン12を介してノズルチップ13を取り付けている。なお、 パッキン12を介設せずに、ノズル本体11の端面に直接ノズルチップ13をシール状態で当接させてもよい。
【0020】
ノズルチップ13は図2および図3に示すように、小径部13aと大径部13bとを連続させた2段の円盤状としている。小径部13aの直径は気液混合流路23の直径と同一としている。該小径部13aをパッキン12に内嵌して気液混合流路23の先端開口を閉鎖し、該小径部13aで気液混合流路23の軸線方向と直交方向の閉鎖面30を形成している。大径部13bはノズル本体11の前端面より突出したパッキン12の前端面に当接させ、ノズル本邸11の前端外面側に配置している。
【0021】
この状態でキャップ14の環状とした前端壁14aをノズルチップ13の大径部前端面の周縁に被せ、該キャップ14の外周壁内面に設けた雌ネジ14bをノズル本体11の外周面の雄ネジにネジ締めし、ノズルチップ13をノズル本体11に固定している。
【0022】
ノズルチップ13には、気液混合流路23の噴射側前端の閉鎖面30となる小径部13aの内面には、直径方向に比較的幅の広く且つ断面円形に切り込んだ溝31を形成している。
一方、ノズルの噴射側端面32となる大径部13bの外面には上記溝31と直交方向の楕円状の噴口33を直径方向に形成し、ノズルチップ13の内外面で溝31と噴口33とがクロス状に配置している。即ち、噴口33の短軸L2の方向を溝31の方向と一致させ、長軸L3を溝31と直交させている。
図3(B)に示すように、噴口33からは内面側の閉鎖面30の中央に向けてテーパ状に切り込み溝31の中央部と連通させている。これにより、噴口33の中央部底面に気液混合流路23からの流出口35を形成し、該流出口35の短軸L2側の両側を近接して立設するテーパ状周壁34aで囲むと共に、長軸L3側は左右方向の外周側に延在する細幅のテーパ状周壁34bで囲んでいる。
【0023】
つぎに、上記形状の2流体ノズル10の作用を説明する。
空気供給管20より空気流入路21に供給された所要圧力の空気はオリフィス22を通って大径の気液混合流路23に流入する。一方、水供給管25より水流入路26に供給される水Wは環状水流路27、連通路28を介して気液混合流路23に周壁側より流入する。よって、気液混合流路23に直進方向で流入する圧力空気に水が側面衝突で混合され、この気液混合流路23内で均一に混合しながらノズルチップ13で形成される閉鎖面30へ向けて流通していく。
【0024】
気液混合流路23の気液混合流体AWは閉鎖面30で遮断された先端において、中央部を流れる気液混合流体AWは流出口35から直進して噴口33へと流れる。一方、気液混合流路23の外周部の気液混合流体AWは閉鎖面30に対して直交方向で衝突し、図1および図4(A)に矢印で示すように、閉鎖面30に設けた溝31の内部を通って両側より流出口35へと流れ込む。また、溝31を設けていない部分の閉鎖面30に衝突した気液混合流体AWも閉鎖面30に沿って溝31へと流れ込み、中央の流出口35へと向かう。流出口35の両側から流れ込む気液混合流体AWは、言わば正面衝突しながら流出口35から噴口33のテーパ状周壁34a、34bで規制されながら外部へと噴射される。
【0025】
上記のように、流出口35を挟んで衝突することにより、溝31の方向と同一の方向の噴口33の短軸L2側への流れ方向および流速が弱まると共に、噴口33の短軸方向に対向するテーパ状周壁34aに衝突することにより、噴口33から噴射される噴霧は短軸L2方向、即ち、厚さ方向Yへ広がるのを抑制することができる。流出口35の長軸方向L3から流出する気液混合流体AWは左右方向に細長く延在するテーパ状周壁34bに誘導されて長軸方向L3には広がって噴射される。
【0026】
よって、噴口33から噴射される噴霧は図5に示すように、長軸方向L3の幅方向Xが長く、短軸方向L2の厚さ方向Yが薄い噴霧パターンとなり、噴霧面積が減少し、単位当たりの噴霧打力を高めて、洗浄力をアップすることができる。
さらに、閉鎖面30で両側の溝31から流出口35へと流れ込む気液混合流体AWが正面衝突することで、気液混合流体の微粒化が図れ、噴口33から噴射される噴霧の微粒化が促進され、微細部分の洗浄能力も高めることができる。
【0027】
図6は第2実施形態の2流体ノズル10’を示し、前記第1実施形態とは、気液混合流路23’に対する圧力空気と水との供給構造であり、気液混合流路23’の噴射側先端はパッキン12を介してノズルチップ13で閉鎖してキャップ14により固定する構成は同一である。よって、同一構成部分は同一符号を付して説明を省略する。
【0028】
第2実施形態の2流体ノズル10’は、軸芯L1に沿って設ける気液混合流路23’に流入させる空気の流量もしくは圧力を略一定に保持した状態で、水の供給量(ターンダウン比)を調節できる構成としている。
ノズル本体11’の周壁に気液混合流路23’と直交方向に連通する水流入路40を設け、該水流入路40に水供給用のアダプ41を接続している。このアダプタ41には導入部41aにオリフィス41bを介して大径とした導出部41cを連続させ、該導出部41cを気液混合流路23’の側面に開口している。
【0029】
上記構成とすると、水の供給量を低減した場合、気液混合流路23’では液圧が気液混合流体の圧力より小さくなり、空気が液体流入路40よりアダプタ41の内部に逆流する恐れがあるが、空気がオリフィス41bまで流入しても、その上流側に大径の導入部41aが存在しているため、空気圧は低下し逆流を阻止できる。
【0030】
ノズルチップ13の形状は第1実施形態と同一であるため、この2流体ノズル10’から噴射される噴霧パターンも図5に示すように、幅方向Xに広がり、厚さ方向Yは広がらずに薄くなり、噴霧面積が減少して打力の強いものとなる。
【0031】
なお、上記空気に変えて他の気体を用いてもよく、同様に水に代えて他の液体を用いても、この気液混合噴霧を打力の強いものとすることができる。
また、ノズルチップをキャップを介さずにノズル本体に直接ネジ締め固着してもよい。さらに、ノズル本体の噴射側先端にノズルチップと同様な形状とした噴射側先端部を一体的に形成してもよい。
【0032】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、本発明に係わる2流体ノズルでは、気液混合流路の噴射側先端を該流路の軸線と直交方向の閉鎖面とし、該閉鎖面に直径方向の溝を設けると共に、該溝の中央を噴口と連通する流出口としているため、気液混合流体は噴射側先端にドーム状の全周から中央に向けて収険して噴口へと噴射されずに、中央部分で気液混合流体が流出口から噴口へと直進する一方、外周部の気液混合流体は上記溝を通って中央の流出口へと流れ込み、流出口部分で正面衝突しながら噴口へと流出して噴射される。よって、溝形成方向の気液混合流体の流れ方向および流速は低減されると共に、正面衝突により気液混合流体の微粒化が図れる。一方、噴口は溝方向と直交方向に長軸を有し、溝方向と同一方向は短軸側となっているため、噴口からの短軸方向の噴射角度は小さくなり、噴霧は噴口の長軸方向の幅方向は長く、直交する厚さ方向は薄くなる。
このように、噴霧パターンは幅が広く且つ厚さが薄くなるため、噴霧面積を減少でき、その分、噴霧の打力を高めることができる。よって、本発明の2流体ノズルからの噴霧を洗浄に利用する場合には洗浄力を高めることができると共に微粒化が促進されているため、微細な部分まで洗浄することができる。また、冷却用として用いる場合にも、打力が強いため冷却効果を高めることができる。
【0033】
さらに、上記気液混合流路の噴射側閉鎖面をノズル本体に着脱自在に組みつけるノズルチップで形成しているため、該ノズルチップを交換することにより、噴霧パターンの変更することができると共に、メンテナンス性も優れたものとできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の2流体ノズルの断面図である。
【図2】上記第1実施形態で用いるノズルチップを示し、(A)は内面側から見た斜視図、(B)は外面側から見た斜視図である。
【図3】上記ノズルチップを示し、(A)は左側面図、(B)は断面図、(C)は右側面図である。
【図4】(A)(B)は噴霧状態を示す要部拡大断面図である。
【図5】噴霧パターンを示す図面である。
【図6】本発明の第2実施形態の2流体ノズルの断面図である。
【図7】従来例の2流体ノズルの断面図である。
【図8】(A)(B)は従来の噴霧状態を示す要部拡大断面図である。
【図9】従来の噴霧パターンを示す図面である。
【符号の説明】
10 2流体ノズル
11 ノズル本体
12 パッキン
13 ノズルチップ
13a 小径部
13b 大径部
14 キャップ
20 圧力空気供給管
23 気液混合流路
25 水供給管
30 閉鎖面
31 溝
32 噴射側端面
33 噴口
34 流出口
【発明の属する技術分野】
本発明は、2流体ノズルに関し、洗浄用、冷却用等に用いられ、特に、電気電子等の精密部品の微細洗浄に好適に用いられるもので、ノズルからの噴霧の厚みを薄くして強い打力を発生させ洗浄力あるいは冷却力を高めるものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、液晶製造工程において、ガラス切断後の洗浄や回路等の現像後の洗浄は、細部の洗浄を行う必要があるため、2流体ノズルを用い、水に空気を混合して水の微粒化を図った気液混合ミストを噴射して、洗浄を行うようにしている。
この種の2流体ノズルでは、噴霧幅を広げて広い範囲での洗浄を可能とすると共に、噴霧幅と直交方向の噴霧厚さを狭くして噴霧打力を高めることが好ましく、よって、噴口は長円あるいは楕円形状とされている。
【0003】
例えば、本出願人は、従来、特開昭2−273565号公報において、図7に示す2流体ノズル1を提案している。
上記二流体ノズル1の噴射部では、図8(A)(B)に拡大して示すように、気液混合流路1の先端内面には中心に向けて円弧状に収険させたドーム状部1aを設ける一方、噴射端面2に長円形状の噴口3を設け、該噴口3を上記ドーム状部1aの中央へと向けてテーパ状に切り込んで連通させ、噴口3の中央に流出口4を形成している。
該二流体ノズル1では、気液混合流体がドーム状部1aから流出口4を経て噴口3から噴射され、流出口4から噴射される気液混合流体が噴口3の楕円形状に沿って横広がりで厚さが薄い噴霧パターンとなっている。
【0004】
【特許文献1】
特開昭2−273565号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記2流体ノズルでは、気液混合流体がドーム状部1aにおいて、その内周面の全面に沿って、図8中に矢印で示すように全周方向から流出口4に向けて流入するため、流出口4からは軸線方向を中心としてその全周方向にむけて放射状に噴出するように流れる。 よって、噴口3を楕円形状とし、気液混合流体を長軸側ヘと広げる一方、短軸側は狭めるように設定していても、短軸方向への噴射を抑制する力が弱く、図9に示すように、噴霧パターンは幅方向Xと直交方向の厚さ方向Yにも広がることとなる。
このように、厚さ方向Yへと広がると、噴霧面積は増大し、その分、単位面積当たりの噴霧の打力が低下し、洗浄力が低下する問題がある。
【0006】
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、厚さ方向への噴霧を抑制し、噴霧面積を減少させることにより、打力をアップして洗浄力を高めることを課題としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、気液混合流路の噴射側先端に、流路軸線に対して直交する閉鎖面を設け、該閉鎖面に直径方向の1つの溝を形成すると共に、該閉鎖面の外面側の噴射端面には上記溝と直交方向の長円或いは楕円からなる噴口を設けて、該噴口の短軸側と上記閉鎖面の溝とを同一方向とすると共に、該噴口を内面側に向けてテーパ状に切り込み、その中央部に上記溝と連通させた流出穴を設けていることを特徴とする2流体ノズルを提供している。
【0008】
上記構成とすると、気液混合流路に沿って流通してきた気液混合流体は閉鎖面で遮断された先端において、中央部を流れる気液混合流体は流出口から直進して噴口へと流出していくが、外周部の気液混合流体は閉鎖面に対して直交方向で衝突し、該閉鎖面に設けた溝の内部を通って流出口に向かうこととなる。また、溝を設けていない閉鎖面に衝突した気液混合流体は溝へと流れ込んで中央の流出口へと向かうこととなる。流出口の両側から流れ込む気液混合流体は衝突しながら流出口から噴口へと流れて噴射される。このため、まず、流出口を挟んで衝突することにより、溝方向と同一の噴口の短軸側への流れが少なくなり、かつ、噴口の短軸方向に対向するテーパ状壁面に衝突することにより、噴口から噴射される噴霧は短軸方向、即ち、厚さ方向へ広がるのを抑制することができる。よって、噴口の形状に沿った長軸方向の幅方向が長く、厚さ方向には薄い噴霧パターンとなり、噴霧面積が減少し、単位当たりの噴霧打力を高めて、洗浄力をアップすることができる。
【0009】
さらに、上記両側の溝から流出口へと流れ込む流体が正面衝突することで、気液混合流体の微粒化が図れ、噴口から噴射される噴霧の微粒化が促進されることにより、微細部分の洗浄能力も高めることができる。
さらにまた、ノズル形状により噴霧の打力を高めることができるため、気液混合流体の空気圧力もしくは空気量を低減でき、その分、エネルギーコストの削減も図ることが出来る。
【0010】
上記閉鎖面に設ける溝は、 幅を比較的広くし、かつ、 断面形状を円弧状あるいはV字状としている。
【0011】
上記気液混合流路を軸芯に沿って設けたノズル本体の噴射側先端にノズルチップを取り付け、該ノズルチップの内面を上記閉鎖面とすると共に外面を上記噴射端面としている。
即ち、ノズル本体の軸芯に沿って設ける気液混合流路は噴射側先端で縮径せずに断面円形の開口とし、該開口にノズルチップを組みつけて、上記内面側の閉鎖面に直径方向の溝を設ける一方、外面側に溝方向が短軸側となる長円あるいは楕円形状の噴口を設けている。
【0012】
詳細には、上記ノズルチップは内部側に小径部を設けると共に外部側に大径部を連続させた2段の円盤状とし、上記小径部を上記ノズル本体の気液混合流路の先端に嵌合して上記閉鎖面を形成し、上記大径部をパッキンを介してノズル本体の外面に当接させ、該ノズルチップにキャップを外嵌して、該キャップとノズル本体とをネジ締め固定して、ノズル本体に対して着脱自在に取り付けている。
【0013】
上記大小2段形状のノズルチップの肉厚部分に、外面側の長円あるいは楕円状の噴口よりテーパ状の切り込みが内面側の溝に向けて設けられることにより、噴口には比較的深い周壁が設けられ、この周壁により流出口から噴射される気液混合流体がガイドされて、長軸方向に広がると共に短軸方向には広がらない厚さの薄い噴霧となる。
【0014】
また、ノズルチップをノズル本体に着脱自在に取り付けることにより、噴霧幅、噴霧厚さを変えて噴霧パターンを変更する場合には、ノズルチップのみを取り替えれば良い。また、ノズルチップの流出口に目詰まりが発生すると、ノズルチップのみを取り外してメンテナンスすることが出来る。
【0015】
なお、上記ノズル本体の気液混合流路への液体(水)と気体(空気)との供給方法は特定されないが、空気圧を高める場合には該空気圧により供給される水の逆流を生じない構成とすることが好ましい。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図1乃至図5は第1実施形態の2流体ノズル10を示す。該ノズル10はノズル本体11の前端にパッキン12を介してノズルチップ13を取り付け、該ノズルチップ13をキャップ14を外嵌してノズル本体11にネジ締め固定している。
【0017】
ノズル本体11は軸芯L1に沿って、後端側に空気供給管20が接続される大径の空気流入路21を設け、該空気流入路21の前端を縮径して小径流路のオリフィス22に連通させている。オリフィス22の前端を大径の気液混合流路23に連通させ、この気液混合流路23は噴射側先端に縮径せずに同一径を維持した中空部として先端開口まで延在させている。
【0018】
ノズル本体11の周壁外面に水供給管25が接続される水流入路26を開口させ、該水流入路26の内端を環状水流路27に連通させている。該環状水流路27の前部側を周方向に間隔をあけて設けた連通路28を介して上記気液混合流路23に連通している。よって、気液混合流路23の後端面にオリフィス22より直進方向で流入する圧力空気に対して、気液混合流路23の後部側内周面より流入する水が側面衝突で混合され、該気液混合流路23の噴射側前部では水と圧力空気とは略均一に混合された状態となっている。
【0019】
上記ノズル本体11の先端面は段状凹部11aを設け、該段状凹部に環状パッキン12を嵌合し、該環状のパッキン12を介してノズルチップ13を取り付けている。なお、 パッキン12を介設せずに、ノズル本体11の端面に直接ノズルチップ13をシール状態で当接させてもよい。
【0020】
ノズルチップ13は図2および図3に示すように、小径部13aと大径部13bとを連続させた2段の円盤状としている。小径部13aの直径は気液混合流路23の直径と同一としている。該小径部13aをパッキン12に内嵌して気液混合流路23の先端開口を閉鎖し、該小径部13aで気液混合流路23の軸線方向と直交方向の閉鎖面30を形成している。大径部13bはノズル本体11の前端面より突出したパッキン12の前端面に当接させ、ノズル本邸11の前端外面側に配置している。
【0021】
この状態でキャップ14の環状とした前端壁14aをノズルチップ13の大径部前端面の周縁に被せ、該キャップ14の外周壁内面に設けた雌ネジ14bをノズル本体11の外周面の雄ネジにネジ締めし、ノズルチップ13をノズル本体11に固定している。
【0022】
ノズルチップ13には、気液混合流路23の噴射側前端の閉鎖面30となる小径部13aの内面には、直径方向に比較的幅の広く且つ断面円形に切り込んだ溝31を形成している。
一方、ノズルの噴射側端面32となる大径部13bの外面には上記溝31と直交方向の楕円状の噴口33を直径方向に形成し、ノズルチップ13の内外面で溝31と噴口33とがクロス状に配置している。即ち、噴口33の短軸L2の方向を溝31の方向と一致させ、長軸L3を溝31と直交させている。
図3(B)に示すように、噴口33からは内面側の閉鎖面30の中央に向けてテーパ状に切り込み溝31の中央部と連通させている。これにより、噴口33の中央部底面に気液混合流路23からの流出口35を形成し、該流出口35の短軸L2側の両側を近接して立設するテーパ状周壁34aで囲むと共に、長軸L3側は左右方向の外周側に延在する細幅のテーパ状周壁34bで囲んでいる。
【0023】
つぎに、上記形状の2流体ノズル10の作用を説明する。
空気供給管20より空気流入路21に供給された所要圧力の空気はオリフィス22を通って大径の気液混合流路23に流入する。一方、水供給管25より水流入路26に供給される水Wは環状水流路27、連通路28を介して気液混合流路23に周壁側より流入する。よって、気液混合流路23に直進方向で流入する圧力空気に水が側面衝突で混合され、この気液混合流路23内で均一に混合しながらノズルチップ13で形成される閉鎖面30へ向けて流通していく。
【0024】
気液混合流路23の気液混合流体AWは閉鎖面30で遮断された先端において、中央部を流れる気液混合流体AWは流出口35から直進して噴口33へと流れる。一方、気液混合流路23の外周部の気液混合流体AWは閉鎖面30に対して直交方向で衝突し、図1および図4(A)に矢印で示すように、閉鎖面30に設けた溝31の内部を通って両側より流出口35へと流れ込む。また、溝31を設けていない部分の閉鎖面30に衝突した気液混合流体AWも閉鎖面30に沿って溝31へと流れ込み、中央の流出口35へと向かう。流出口35の両側から流れ込む気液混合流体AWは、言わば正面衝突しながら流出口35から噴口33のテーパ状周壁34a、34bで規制されながら外部へと噴射される。
【0025】
上記のように、流出口35を挟んで衝突することにより、溝31の方向と同一の方向の噴口33の短軸L2側への流れ方向および流速が弱まると共に、噴口33の短軸方向に対向するテーパ状周壁34aに衝突することにより、噴口33から噴射される噴霧は短軸L2方向、即ち、厚さ方向Yへ広がるのを抑制することができる。流出口35の長軸方向L3から流出する気液混合流体AWは左右方向に細長く延在するテーパ状周壁34bに誘導されて長軸方向L3には広がって噴射される。
【0026】
よって、噴口33から噴射される噴霧は図5に示すように、長軸方向L3の幅方向Xが長く、短軸方向L2の厚さ方向Yが薄い噴霧パターンとなり、噴霧面積が減少し、単位当たりの噴霧打力を高めて、洗浄力をアップすることができる。
さらに、閉鎖面30で両側の溝31から流出口35へと流れ込む気液混合流体AWが正面衝突することで、気液混合流体の微粒化が図れ、噴口33から噴射される噴霧の微粒化が促進され、微細部分の洗浄能力も高めることができる。
【0027】
図6は第2実施形態の2流体ノズル10’を示し、前記第1実施形態とは、気液混合流路23’に対する圧力空気と水との供給構造であり、気液混合流路23’の噴射側先端はパッキン12を介してノズルチップ13で閉鎖してキャップ14により固定する構成は同一である。よって、同一構成部分は同一符号を付して説明を省略する。
【0028】
第2実施形態の2流体ノズル10’は、軸芯L1に沿って設ける気液混合流路23’に流入させる空気の流量もしくは圧力を略一定に保持した状態で、水の供給量(ターンダウン比)を調節できる構成としている。
ノズル本体11’の周壁に気液混合流路23’と直交方向に連通する水流入路40を設け、該水流入路40に水供給用のアダプ41を接続している。このアダプタ41には導入部41aにオリフィス41bを介して大径とした導出部41cを連続させ、該導出部41cを気液混合流路23’の側面に開口している。
【0029】
上記構成とすると、水の供給量を低減した場合、気液混合流路23’では液圧が気液混合流体の圧力より小さくなり、空気が液体流入路40よりアダプタ41の内部に逆流する恐れがあるが、空気がオリフィス41bまで流入しても、その上流側に大径の導入部41aが存在しているため、空気圧は低下し逆流を阻止できる。
【0030】
ノズルチップ13の形状は第1実施形態と同一であるため、この2流体ノズル10’から噴射される噴霧パターンも図5に示すように、幅方向Xに広がり、厚さ方向Yは広がらずに薄くなり、噴霧面積が減少して打力の強いものとなる。
【0031】
なお、上記空気に変えて他の気体を用いてもよく、同様に水に代えて他の液体を用いても、この気液混合噴霧を打力の強いものとすることができる。
また、ノズルチップをキャップを介さずにノズル本体に直接ネジ締め固着してもよい。さらに、ノズル本体の噴射側先端にノズルチップと同様な形状とした噴射側先端部を一体的に形成してもよい。
【0032】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、本発明に係わる2流体ノズルでは、気液混合流路の噴射側先端を該流路の軸線と直交方向の閉鎖面とし、該閉鎖面に直径方向の溝を設けると共に、該溝の中央を噴口と連通する流出口としているため、気液混合流体は噴射側先端にドーム状の全周から中央に向けて収険して噴口へと噴射されずに、中央部分で気液混合流体が流出口から噴口へと直進する一方、外周部の気液混合流体は上記溝を通って中央の流出口へと流れ込み、流出口部分で正面衝突しながら噴口へと流出して噴射される。よって、溝形成方向の気液混合流体の流れ方向および流速は低減されると共に、正面衝突により気液混合流体の微粒化が図れる。一方、噴口は溝方向と直交方向に長軸を有し、溝方向と同一方向は短軸側となっているため、噴口からの短軸方向の噴射角度は小さくなり、噴霧は噴口の長軸方向の幅方向は長く、直交する厚さ方向は薄くなる。
このように、噴霧パターンは幅が広く且つ厚さが薄くなるため、噴霧面積を減少でき、その分、噴霧の打力を高めることができる。よって、本発明の2流体ノズルからの噴霧を洗浄に利用する場合には洗浄力を高めることができると共に微粒化が促進されているため、微細な部分まで洗浄することができる。また、冷却用として用いる場合にも、打力が強いため冷却効果を高めることができる。
【0033】
さらに、上記気液混合流路の噴射側閉鎖面をノズル本体に着脱自在に組みつけるノズルチップで形成しているため、該ノズルチップを交換することにより、噴霧パターンの変更することができると共に、メンテナンス性も優れたものとできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の2流体ノズルの断面図である。
【図2】上記第1実施形態で用いるノズルチップを示し、(A)は内面側から見た斜視図、(B)は外面側から見た斜視図である。
【図3】上記ノズルチップを示し、(A)は左側面図、(B)は断面図、(C)は右側面図である。
【図4】(A)(B)は噴霧状態を示す要部拡大断面図である。
【図5】噴霧パターンを示す図面である。
【図6】本発明の第2実施形態の2流体ノズルの断面図である。
【図7】従来例の2流体ノズルの断面図である。
【図8】(A)(B)は従来の噴霧状態を示す要部拡大断面図である。
【図9】従来の噴霧パターンを示す図面である。
【符号の説明】
10 2流体ノズル
11 ノズル本体
12 パッキン
13 ノズルチップ
13a 小径部
13b 大径部
14 キャップ
20 圧力空気供給管
23 気液混合流路
25 水供給管
30 閉鎖面
31 溝
32 噴射側端面
33 噴口
34 流出口
Claims (4)
- 気液混合流路の噴射側先端に、流路軸線に対して直交する閉鎖面を設け、該閉鎖面に直径方向の1つの溝を形成すると共に、該閉鎖面の外面側の噴射端面には上記溝と直交方向の長円或いは楕円からなる噴口を設けて、該噴口の短軸側と上記閉鎖面の溝とを同一方向とすると共に、該噴口を内面側に向けてテーパ状に切り込み、その中央部に上記溝と連通させた流出穴を設けていることを特徴とする2流体ノズル。
- 上記気液混合流路を軸芯に沿って設けたノズル本体の噴射側先端にノズルチップを取り付け、該ノズルチップの内面を上記閉鎖面とすると共に外面を上記噴射端面としている請求項1に記載の2流体ノズル。
- 上記ノズルチップは内部側に小径部を設けると共に外部側に大径部を連続させた2段の円盤状とし、上記小径部を上記ノズル本体の気液混合流路の先端に嵌合して上記閉鎖面を形成し、上記大径部をパッキンを介してノズル本体の外面に当接させ、該ノズルチップにキャップを外嵌して、該キャップとノズル本体とをネジ締め固定して、ノズル本体に対して着脱自在に取り付けている請求項2に記載の2流体ノズル。
- 上記閉鎖面に設ける溝は断面形状を円弧状あるいはV字状としている請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の2流体ノズル。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100728882B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-06-15 | 주식회사 케이씨텍 | 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치 |
JP2007327736A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-12-20 | Kobe Steel Ltd | 空冷式熱交換器 |
JP2017159195A (ja) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | ミクロ技研株式会社 | 流体ノズルおよび噴射装置 |
WO2023095205A1 (ja) * | 2021-11-24 | 2023-06-01 | 博明 田尾 | ネブライザー |
JP7502775B2 (ja) | 2020-07-06 | 2024-06-19 | 株式会社麻場 | 噴霧ノズル |
-
2003
- 2003-05-19 JP JP2003141091A patent/JP2004344689A/ja active Pending
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