JP2004342859A - 多層回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】熱硬化性樹脂からなる半硬化樹脂シート1にビアホール8を形成するとともにこのビアホール8に導電性ペースト9を充填し、複数の回路基板10の間に前記半硬化樹脂シート1と部品11とを配置して複数の回路基板10を積層し、これを加圧下に加熱して前記半硬化樹脂シート1を熱硬化させることによって、複数の回路基板10間が導電性ペースト9により接続されるとともに半硬化樹脂シート1内に部品11が埋設された多層回路基板を製造するに際し、前記ビアホール8に導電性ペースト9を充填する前に、ビアホール8の周辺部の熱硬化性樹脂を予め硬化させる。
【選択図】 図4
【解決手段】熱硬化性樹脂からなる半硬化樹脂シート1にビアホール8を形成するとともにこのビアホール8に導電性ペースト9を充填し、複数の回路基板10の間に前記半硬化樹脂シート1と部品11とを配置して複数の回路基板10を積層し、これを加圧下に加熱して前記半硬化樹脂シート1を熱硬化させることによって、複数の回路基板10間が導電性ペースト9により接続されるとともに半硬化樹脂シート1内に部品11が埋設された多層回路基板を製造するに際し、前記ビアホール8に導電性ペースト9を充填する前に、ビアホール8の周辺部の熱硬化性樹脂を予め硬化させる。
【選択図】 図4
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層回路基板の製造方法に関し、特に導電性ペーストにより複数の回路基板間を接続する多層回路基板の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、複数の回路基板を積層した多層回路基板の層間を接続方法としては、スルホールを形成した後に、このスルーホールをメッキする方法や、ビアホールを形成した後に、このビアホールに導電性ペーストを充填する方法などがある。特に、層間をインナービアにより個別に導電性ペーストで接続する方法は、設計も容易で高密度配線基板が実現できるため近年では多用されている。
【0003】
また、複数の回路基板間に部品を収納する部品内蔵基板の製造方法においても、導電性ペーストにより層間を接続する方法の開発が進められており、例えば図6に示すような方法が知られている。
【0004】
図6に示す方法においては、次の工程により部品内蔵基板が製造される。
(a)まず、複数の回路基板の間に介在させるべき半硬化樹脂シート101の両面に保護フィルム102をラミネート後、複数の回路基板間すなわち層間を接続するためのビアホール108を形成する。
(b)次いで、ビアホール108内に、スクリーン印刷法などにより導電性ペースト109を充填する。
(c)導電性ペースト109を充填した後に、半硬化樹脂シート101にラミネートした保護フィルム102を剥離除去する。そして、予め用意した回路基板110を半硬化樹脂シート101の上下にそれぞれ配置し、各回路基板110上に設けられたビア接続用ランド(基板電極)112とビアホール108とを位置合わせして、各回路基板110を積層する。ここで、前記回路基板110の少なくとも一方には、後の工程で半硬化樹脂シート101内に埋設される部品111が実装されているものが使用される。
(d)そして、積層された複数の回路基板110と半硬化樹脂シート101を熱プレスすることで、半硬化樹脂シート101が一旦軟化することにより部品111が半硬化樹脂シート101内に埋設された後、半硬化樹脂シート101および導電性ペースト109が硬化されて部品内蔵基板が製造される。
【0005】
また、特許文献1には、半硬化樹脂シートにビアホールを形成するとともにビアホールに導電性ペーストを充填し、部品を実装した離型フィルムと配線パターンを形成した離型フィルムとを、部品と配線パターンとがビアホールの導電性ペーストに接続するように半硬化樹脂シートに重ね合わせ、これを熱プレスして半硬化樹脂シートおよび導電性ペーストを硬化させ、離型フィルムを剥離することにより部品内蔵基板を製造する方法が開示されている。
【0006】
【特許文献1】
特開平11−220262号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の方法では熱プレス時に半硬化樹脂シート101が一旦軟化した状態になることにより部品111が埋設されることになるため、部品111の体積に見合った分だけ、軟化した樹脂が回路基板110の周縁部側に流動し、それに伴って、予め半硬化樹脂シート101に形成され導電性ペースト109が充填されたビアホール108も、軟化した樹脂の流動とともに流されるため、導電性ペースト109と回路基板110のビア接続用ランド112との間に位置ズレが発生したり、本来円柱状であるべきビアホール108が変形することで、回路基板間の接続の信頼性を著しく低下させるという課題があった。また、後者の方法でも、前者の方法と同様に、位置ズレが発生したり、ビアホールが変形することにより、接続の信頼性を著しく低下させるという課題があった。
【0008】
この課題を解決するために、半硬化樹脂シートに予め部品を収納するスペースとしてキャビティを形成するなどの工夫が行われているが、部品サイズと全く同じ体積のキャビティを形成することは難しく、部品の寸法精度・実装位置精度や半田量のばらつきなどによって内蔵部品近傍では樹脂の流動が発生してしまうという課題があった。
【0009】
そこで、本発明は前記課題を解決するもので、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明のうち第1の多層回路基板の製造方法は、熱硬化性樹脂からなるシート状の基材にビアホールを形成するとともにこのビアホールに導電性ペーストを充填し、複数の回路基板の間に前記基材と部品とを配置して複数の回路基板を積層し、これを加圧下で加熱して前記基材を熱硬化させることによって、複数の回路基板間が導電性ペーストにより接続されるとともに基材内に部品が埋設された多層回路基板を製造するに際し、前記ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を予め硬化させるものである。
【0011】
この構成によれば、ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を予め硬化させるので、加圧加熱時に基材内に埋設される部品の体積に見合った基材中の樹脂が流動しても、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂は既に硬化しているため、ビアホールの周辺部の樹脂は流動することはなく、ビアホールは所定の位置に維持され、また、ビアホールが変形したりすることもない。そのため、ビアホールに充填された導電性ペーストを所定の位置に維持することができ、また、導電性ペーストが変形することもない。
【0012】
したがって、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板を得ることができる。
また、請求項2に記載の発明は、前記構成において、前記基材に加熱された穿孔用工具によりビアホールを形成するものである。
【0013】
この構成によれば、ビアホールの形成と同時にビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を硬化させることができる。
また、請求項3に記載の発明は、前記構成において、前記基材にビアホールを形成した後、基材上に遮蔽マスクの開口部がビアホールの周縁部に位置するように配置し、この開口部を通して加熱気体または熱線によりビアホールの周辺部を加熱するものである。
【0014】
この構成によれば、熱風または熱線により、ビアホールの周辺部のみで熱硬化性樹脂が硬化される。
また、請求項4に記載の発明は、前記構成において、前記基材にビアホールを形成した後、このビアホールの周辺部にデフォーカス状態のレーザ光を照射するものである。
【0015】
この構成によれば、レーザ光の熱エネルギーにより、ビアホールの周辺部のみで熱硬化性樹脂が硬化される。
また、請求項5に記載の発明は、前記構成において、前記基材は半硬化状態の熱硬化性樹脂シートであるものである。
【0016】
この構成によれば、熱硬化性樹脂シートが半硬化状態であるため、取り扱いが容易である。
さらに、第2の多層回路基板の製造方法は、熱硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含むシート状の基材にビアホールを形成するとともにこのビアホールに導電性ペーストを充填し、複数の回路基板の間に前記基材と部品とを配置して複数の回路基板を積層し、これを加圧下で加熱して前記基材に含まれる熱硬化性樹脂を熱硬化させることによって、複数の回路基板間が導電性ペーストにより接続されるとともに基材内に部品が埋設された多層回路基板を製造するに際し、前記ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の紫外線硬化性樹脂を予め硬化させるものである。
【0017】
この構成によれば、ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の紫外線硬化性樹脂を予め硬化させるので、加圧加熱時に基材内に埋設される部品の体積に見合った基材中の樹脂が流動しても、ビアホールの周辺部の樹脂のうち紫外線硬化性樹脂は既に硬化しているため、ビアホールの周辺部の樹脂は流動することはなく、ビアホールは所定の位置に維持され、また、ビアホールが変形したりすることもない。そのため、ビアホールに充填された導電性ペーストを所定の位置に維持することができ、また、導電性ペーストが変形することもない。
【0018】
したがって、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板を得ることができる。
また、請求項7に記載の発明は、前記構成において、前記基材にビアホールを形成した後、基材上に遮蔽マスクの開口部がビアホールの周縁部に位置するように配置し、この開口部を通してビアホールの周辺部に紫外線を照射するものである。
【0019】
この構成によれば、紫外線により、ビアホールの周辺部のみで紫外線硬化性樹脂だけが硬化される。
また、請求項8に記載の発明は、前記構成において、前記基材は熱可塑性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含む半硬化状態の複合樹脂シートである。
【0020】
この構成によれば、複合樹脂シートが半硬化状態であるため、取り扱いが容易である。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1について、図1〜4に基づいて説明する。
【0022】
まず、図1に示すように、複数の回路基板の間に介在させるべき半硬化樹脂シート1の両面に保護フィルム2をラミネートする。
ここで、半硬化樹脂シート1としては、例えば無機フィラーが50〜95vol%含有された熱硬化性を有する半硬化状態のエポキシ樹脂シート1(厚さ0.4mm)が用いられ、また、保護フィルム2としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)などのフィルム(厚さ0.02mm)が用いられる。
【0023】
次いで、図2に示すように、半硬化樹脂シート1の所定箇所に、例えば180℃に加熱された直径0.16mmの穿孔用パンチ3を用いて複数の回路基板間すなわち層間を接続するためのビアホール8を形成する。この際、穿孔用パンチ3が加熱されているため、ビアホール8の形成と同時にビアホール8の内壁周辺部の半硬化樹脂が熱硬化し、図3に示すようなビアホール8の内壁周辺部に樹脂硬化層5が形成された半硬化樹脂シート1が得られる。
【0024】
また、前記穿孔用パンチ3に代えて加熱された穿孔用ドリル4でビアホール8を形成した場合にも、前記と同様の効果が得られる。
前記のようにしてビアホール8が形成されるとともにその内壁周辺部に樹脂硬化層5が形成された半硬化樹脂シート1は、図4に示すような部品内蔵基板の製造に供される。
【0025】
まず、図4(a)に示すように、ビアホール8内に導電性ペースト9をスクリーン印刷法等により充填する。
次いで、図4(b)に示すように、保護フィルム2を剥離除去した後に、予め用意した回路基板(コア基板)10を半硬化樹脂シート1の上下にそれぞれ配置し、各回路基板10上に設けられたビア接続用ランド(基板電極)12と半硬化樹脂シート1に形成されたビアホール8とを位置合わせして積層する。ここで、前記回路基板10の少なくとも一方には、後の工程で半硬化樹脂シート1内に埋設される部品11が実装されているものが使用される。
【0026】
そして、図4(c)に示すように、積層された複数の回路基板10と半硬化樹脂シート1を、例えば180℃にて加熱プレスして、半硬化樹脂シート1が一旦軟化した状態で部品11が埋設された後、半硬化樹脂シート1および導電性ペースト9が硬化されて部品内蔵基板が得られる。
【0027】
この際、部品11の体積に見合った分の樹脂が回路基板10の周縁部側に流動するが、ビアホール8の周辺部は既に樹脂が硬化して樹脂硬化層5が形成されているため、この樹脂硬化層5は、その周囲の硬化されていない樹脂の流動の影響を受けず、押し流されることはない。
【0028】
この実施の形態において、半硬化樹脂シート1内の部品11を埋設する箇所に部品11の形状に合わせたキャビティを形成しておくと、部品11を半硬化樹脂シート1内に埋設する際の樹脂の流動を低く抑えることができる。
【0029】
(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2について説明する。
前記実施の形態1と同様の半硬化樹脂シートに、加熱されていない穿孔用パンチを用いてビアホールを形成した後、このビアホールにレーザ光をデフォーカス状態で照射して、ビアホールの内壁周辺部の半硬化樹脂を硬化させることにより、図3に示すようなビアホール8の内壁周辺部に樹脂硬化層5が形成された半硬化樹脂シート1が得られる。以下、実施の形態1と同様にして実施の形態1と同様の部品内蔵基板が得られる。
【0030】
(実施の形態3)
次に、本発明の実施の形態3について、図5に基づいて説明する。
前記実施の形態1と同様の半硬化樹脂シート1に、加熱されていない穿孔用パンチを用いてビアホール8を形成した後、図5に示すように、断熱材料から形成された開口部6aを有する遮蔽マスク6を、開口部6aがビアホール8の周縁部に位置するように半硬化樹脂シート1上に配置し、遮蔽マスク6の上方から熱風7を吹き付けて、ビアホール8の内壁周辺部の半硬化樹脂を硬化させることにより、図3に示すようなビアホール8の内壁周辺部に樹脂硬化層5が形成された半硬化樹脂シート1が得られる。以下、実施の形態1と同様にして実施の形態1と同様の部品内蔵基板が得られる。
【0031】
熱風7の代わりに赤外線などの輻射熱を照射しても前記と同様に、ビアホール8の周辺部を硬化させることができる。
(実施の形態4)
次に、本発明の実施の形態3について、図5に基づいて説明する。
【0032】
半硬化樹脂シート1として、無機フィラーが50〜95vol%含有されるとともに熱硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂とが混合された半硬化状態の樹脂シートを用い、この樹脂シートに加熱されていない穿孔用パンチを用いてビアホール8を形成する。次いで、実施の形態3における断熱材料からなる遮蔽マスク6に代えて、遮光材料からなる遮蔽マスク6を、その開口部6aがビアホール8の周縁部に位置するように樹脂シート上に配置し、遮蔽マスク6の上方から、実施の形態3における熱風7に代えて、紫外線を照射して、ビアホール8の内壁周辺部の半硬化樹脂に含まれる樹脂のうち紫外線硬化性樹脂のみを硬化させることにより、ビアホール8の内壁周辺部に紫外線硬化性樹脂のみが硬化された樹脂層が形成された半硬化樹脂シート1が得られる。以下、実施の形態1と同様にして実施の形態1と同様の部品内蔵基板が得られる。なお、ビアホール8の内壁周辺部の紫外線により硬化されない熱硬化性樹脂は、加熱プレス時に半硬化樹脂シート1の他の箇所の熱硬化性樹脂とともに熱硬化されることになる。
【0033】
本発明においては、基材を構成する熱硬化性樹脂、または熱硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含む複合樹脂は、無機フィラーを50〜95vol%含有したものが好ましい。
【0034】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の第1の多層回路基板の製造方法によれば、ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を予め硬化させるので、加圧加熱時に基材内に埋設される部品の体積に見合った基材中の樹脂が流動しても、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂は既に硬化しているため、ビアホールの周辺部の樹脂は流動することはなく、ビアホールは所定の位置に維持され、また、ビアホールが変形したりすることもない。そのため、ビアホールに充填された導電性ペーストを所定の位置に維持することができ、また、導電性ペーストが変形することもない。したがって、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板を得ることができる。
【0035】
また、前記基材に、加熱された穿孔用工具によりビアホールを形成することにより、ビアホールの形成と同時にビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を硬化させることができる。
【0036】
また、前記基材に遮蔽マスクの開口部を通して加熱気体または熱線によってビアホールの周辺部を加熱することにより、ビアホールの周辺部のみで熱硬化性樹脂を硬化させることができる。
【0037】
また、ビアホールの周辺部にデフォーカス状態のレーザ光を照射することによって、レーザ光の熱エネルギーにより、ビアホールの周辺部のみで熱硬化性樹脂を硬化させることができる。
【0038】
また、前記基材を半硬化状態の熱硬化性樹脂シートから形成すると、取り扱いが容易である。
さらに、第2の多層回路基板の製造方法によれば、ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の紫外線硬化性樹脂を予め硬化させるので、第1の多層回路基板の製造方法と同様に、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板を得ることができる。
【0039】
また、前記基材に遮蔽マスクの開口部を通してビアホールの周辺部に紫外線を照射することによって、紫外線により、ビアホールの周辺部のみで紫外線硬化性樹脂だけを硬化させることができる。
【0040】
また、前記基材を熱可塑性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含む半硬化状態の複合樹脂シートから形成すると、取り扱いが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における保護フィルムがラミネートされた半硬化樹脂シートを示す断面図である。
【図2】本発明の実施の形態1におけるビアホール周辺部を硬化する方法を示す断面図である。
【図3】本発明の実施の形態1におけるビアホール周辺部が硬化された半硬化樹脂シートを示す断面図である。
【図4】本発明の実施の形態1における部品内蔵基板の製造工程を示す断面図である。
【図5】本発明の第3および第4の実施の形態におけるビアホール周辺部を硬化する方法を示す断面図である。
【図6】従来の部品内蔵基板の製造工程を示す断面図である。
【符号の説明】
1 半硬化樹脂シート
2 保護フィルム
3 穿孔用パンチ
4 穿孔用ドリル
5 樹脂硬化層
6 遮蔽マスク
6a 開口部
7 熱風
8 ビアホール
9 導電性ペースト
10 回路基板
11 部品
12 ビア接続用ランド
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層回路基板の製造方法に関し、特に導電性ペーストにより複数の回路基板間を接続する多層回路基板の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、複数の回路基板を積層した多層回路基板の層間を接続方法としては、スルホールを形成した後に、このスルーホールをメッキする方法や、ビアホールを形成した後に、このビアホールに導電性ペーストを充填する方法などがある。特に、層間をインナービアにより個別に導電性ペーストで接続する方法は、設計も容易で高密度配線基板が実現できるため近年では多用されている。
【0003】
また、複数の回路基板間に部品を収納する部品内蔵基板の製造方法においても、導電性ペーストにより層間を接続する方法の開発が進められており、例えば図6に示すような方法が知られている。
【0004】
図6に示す方法においては、次の工程により部品内蔵基板が製造される。
(a)まず、複数の回路基板の間に介在させるべき半硬化樹脂シート101の両面に保護フィルム102をラミネート後、複数の回路基板間すなわち層間を接続するためのビアホール108を形成する。
(b)次いで、ビアホール108内に、スクリーン印刷法などにより導電性ペースト109を充填する。
(c)導電性ペースト109を充填した後に、半硬化樹脂シート101にラミネートした保護フィルム102を剥離除去する。そして、予め用意した回路基板110を半硬化樹脂シート101の上下にそれぞれ配置し、各回路基板110上に設けられたビア接続用ランド(基板電極)112とビアホール108とを位置合わせして、各回路基板110を積層する。ここで、前記回路基板110の少なくとも一方には、後の工程で半硬化樹脂シート101内に埋設される部品111が実装されているものが使用される。
(d)そして、積層された複数の回路基板110と半硬化樹脂シート101を熱プレスすることで、半硬化樹脂シート101が一旦軟化することにより部品111が半硬化樹脂シート101内に埋設された後、半硬化樹脂シート101および導電性ペースト109が硬化されて部品内蔵基板が製造される。
【0005】
また、特許文献1には、半硬化樹脂シートにビアホールを形成するとともにビアホールに導電性ペーストを充填し、部品を実装した離型フィルムと配線パターンを形成した離型フィルムとを、部品と配線パターンとがビアホールの導電性ペーストに接続するように半硬化樹脂シートに重ね合わせ、これを熱プレスして半硬化樹脂シートおよび導電性ペーストを硬化させ、離型フィルムを剥離することにより部品内蔵基板を製造する方法が開示されている。
【0006】
【特許文献1】
特開平11−220262号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の方法では熱プレス時に半硬化樹脂シート101が一旦軟化した状態になることにより部品111が埋設されることになるため、部品111の体積に見合った分だけ、軟化した樹脂が回路基板110の周縁部側に流動し、それに伴って、予め半硬化樹脂シート101に形成され導電性ペースト109が充填されたビアホール108も、軟化した樹脂の流動とともに流されるため、導電性ペースト109と回路基板110のビア接続用ランド112との間に位置ズレが発生したり、本来円柱状であるべきビアホール108が変形することで、回路基板間の接続の信頼性を著しく低下させるという課題があった。また、後者の方法でも、前者の方法と同様に、位置ズレが発生したり、ビアホールが変形することにより、接続の信頼性を著しく低下させるという課題があった。
【0008】
この課題を解決するために、半硬化樹脂シートに予め部品を収納するスペースとしてキャビティを形成するなどの工夫が行われているが、部品サイズと全く同じ体積のキャビティを形成することは難しく、部品の寸法精度・実装位置精度や半田量のばらつきなどによって内蔵部品近傍では樹脂の流動が発生してしまうという課題があった。
【0009】
そこで、本発明は前記課題を解決するもので、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明のうち第1の多層回路基板の製造方法は、熱硬化性樹脂からなるシート状の基材にビアホールを形成するとともにこのビアホールに導電性ペーストを充填し、複数の回路基板の間に前記基材と部品とを配置して複数の回路基板を積層し、これを加圧下で加熱して前記基材を熱硬化させることによって、複数の回路基板間が導電性ペーストにより接続されるとともに基材内に部品が埋設された多層回路基板を製造するに際し、前記ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を予め硬化させるものである。
【0011】
この構成によれば、ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を予め硬化させるので、加圧加熱時に基材内に埋設される部品の体積に見合った基材中の樹脂が流動しても、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂は既に硬化しているため、ビアホールの周辺部の樹脂は流動することはなく、ビアホールは所定の位置に維持され、また、ビアホールが変形したりすることもない。そのため、ビアホールに充填された導電性ペーストを所定の位置に維持することができ、また、導電性ペーストが変形することもない。
【0012】
したがって、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板を得ることができる。
また、請求項2に記載の発明は、前記構成において、前記基材に加熱された穿孔用工具によりビアホールを形成するものである。
【0013】
この構成によれば、ビアホールの形成と同時にビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を硬化させることができる。
また、請求項3に記載の発明は、前記構成において、前記基材にビアホールを形成した後、基材上に遮蔽マスクの開口部がビアホールの周縁部に位置するように配置し、この開口部を通して加熱気体または熱線によりビアホールの周辺部を加熱するものである。
【0014】
この構成によれば、熱風または熱線により、ビアホールの周辺部のみで熱硬化性樹脂が硬化される。
また、請求項4に記載の発明は、前記構成において、前記基材にビアホールを形成した後、このビアホールの周辺部にデフォーカス状態のレーザ光を照射するものである。
【0015】
この構成によれば、レーザ光の熱エネルギーにより、ビアホールの周辺部のみで熱硬化性樹脂が硬化される。
また、請求項5に記載の発明は、前記構成において、前記基材は半硬化状態の熱硬化性樹脂シートであるものである。
【0016】
この構成によれば、熱硬化性樹脂シートが半硬化状態であるため、取り扱いが容易である。
さらに、第2の多層回路基板の製造方法は、熱硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含むシート状の基材にビアホールを形成するとともにこのビアホールに導電性ペーストを充填し、複数の回路基板の間に前記基材と部品とを配置して複数の回路基板を積層し、これを加圧下で加熱して前記基材に含まれる熱硬化性樹脂を熱硬化させることによって、複数の回路基板間が導電性ペーストにより接続されるとともに基材内に部品が埋設された多層回路基板を製造するに際し、前記ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の紫外線硬化性樹脂を予め硬化させるものである。
【0017】
この構成によれば、ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の紫外線硬化性樹脂を予め硬化させるので、加圧加熱時に基材内に埋設される部品の体積に見合った基材中の樹脂が流動しても、ビアホールの周辺部の樹脂のうち紫外線硬化性樹脂は既に硬化しているため、ビアホールの周辺部の樹脂は流動することはなく、ビアホールは所定の位置に維持され、また、ビアホールが変形したりすることもない。そのため、ビアホールに充填された導電性ペーストを所定の位置に維持することができ、また、導電性ペーストが変形することもない。
【0018】
したがって、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板を得ることができる。
また、請求項7に記載の発明は、前記構成において、前記基材にビアホールを形成した後、基材上に遮蔽マスクの開口部がビアホールの周縁部に位置するように配置し、この開口部を通してビアホールの周辺部に紫外線を照射するものである。
【0019】
この構成によれば、紫外線により、ビアホールの周辺部のみで紫外線硬化性樹脂だけが硬化される。
また、請求項8に記載の発明は、前記構成において、前記基材は熱可塑性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含む半硬化状態の複合樹脂シートである。
【0020】
この構成によれば、複合樹脂シートが半硬化状態であるため、取り扱いが容易である。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1について、図1〜4に基づいて説明する。
【0022】
まず、図1に示すように、複数の回路基板の間に介在させるべき半硬化樹脂シート1の両面に保護フィルム2をラミネートする。
ここで、半硬化樹脂シート1としては、例えば無機フィラーが50〜95vol%含有された熱硬化性を有する半硬化状態のエポキシ樹脂シート1(厚さ0.4mm)が用いられ、また、保護フィルム2としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)などのフィルム(厚さ0.02mm)が用いられる。
【0023】
次いで、図2に示すように、半硬化樹脂シート1の所定箇所に、例えば180℃に加熱された直径0.16mmの穿孔用パンチ3を用いて複数の回路基板間すなわち層間を接続するためのビアホール8を形成する。この際、穿孔用パンチ3が加熱されているため、ビアホール8の形成と同時にビアホール8の内壁周辺部の半硬化樹脂が熱硬化し、図3に示すようなビアホール8の内壁周辺部に樹脂硬化層5が形成された半硬化樹脂シート1が得られる。
【0024】
また、前記穿孔用パンチ3に代えて加熱された穿孔用ドリル4でビアホール8を形成した場合にも、前記と同様の効果が得られる。
前記のようにしてビアホール8が形成されるとともにその内壁周辺部に樹脂硬化層5が形成された半硬化樹脂シート1は、図4に示すような部品内蔵基板の製造に供される。
【0025】
まず、図4(a)に示すように、ビアホール8内に導電性ペースト9をスクリーン印刷法等により充填する。
次いで、図4(b)に示すように、保護フィルム2を剥離除去した後に、予め用意した回路基板(コア基板)10を半硬化樹脂シート1の上下にそれぞれ配置し、各回路基板10上に設けられたビア接続用ランド(基板電極)12と半硬化樹脂シート1に形成されたビアホール8とを位置合わせして積層する。ここで、前記回路基板10の少なくとも一方には、後の工程で半硬化樹脂シート1内に埋設される部品11が実装されているものが使用される。
【0026】
そして、図4(c)に示すように、積層された複数の回路基板10と半硬化樹脂シート1を、例えば180℃にて加熱プレスして、半硬化樹脂シート1が一旦軟化した状態で部品11が埋設された後、半硬化樹脂シート1および導電性ペースト9が硬化されて部品内蔵基板が得られる。
【0027】
この際、部品11の体積に見合った分の樹脂が回路基板10の周縁部側に流動するが、ビアホール8の周辺部は既に樹脂が硬化して樹脂硬化層5が形成されているため、この樹脂硬化層5は、その周囲の硬化されていない樹脂の流動の影響を受けず、押し流されることはない。
【0028】
この実施の形態において、半硬化樹脂シート1内の部品11を埋設する箇所に部品11の形状に合わせたキャビティを形成しておくと、部品11を半硬化樹脂シート1内に埋設する際の樹脂の流動を低く抑えることができる。
【0029】
(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2について説明する。
前記実施の形態1と同様の半硬化樹脂シートに、加熱されていない穿孔用パンチを用いてビアホールを形成した後、このビアホールにレーザ光をデフォーカス状態で照射して、ビアホールの内壁周辺部の半硬化樹脂を硬化させることにより、図3に示すようなビアホール8の内壁周辺部に樹脂硬化層5が形成された半硬化樹脂シート1が得られる。以下、実施の形態1と同様にして実施の形態1と同様の部品内蔵基板が得られる。
【0030】
(実施の形態3)
次に、本発明の実施の形態3について、図5に基づいて説明する。
前記実施の形態1と同様の半硬化樹脂シート1に、加熱されていない穿孔用パンチを用いてビアホール8を形成した後、図5に示すように、断熱材料から形成された開口部6aを有する遮蔽マスク6を、開口部6aがビアホール8の周縁部に位置するように半硬化樹脂シート1上に配置し、遮蔽マスク6の上方から熱風7を吹き付けて、ビアホール8の内壁周辺部の半硬化樹脂を硬化させることにより、図3に示すようなビアホール8の内壁周辺部に樹脂硬化層5が形成された半硬化樹脂シート1が得られる。以下、実施の形態1と同様にして実施の形態1と同様の部品内蔵基板が得られる。
【0031】
熱風7の代わりに赤外線などの輻射熱を照射しても前記と同様に、ビアホール8の周辺部を硬化させることができる。
(実施の形態4)
次に、本発明の実施の形態3について、図5に基づいて説明する。
【0032】
半硬化樹脂シート1として、無機フィラーが50〜95vol%含有されるとともに熱硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂とが混合された半硬化状態の樹脂シートを用い、この樹脂シートに加熱されていない穿孔用パンチを用いてビアホール8を形成する。次いで、実施の形態3における断熱材料からなる遮蔽マスク6に代えて、遮光材料からなる遮蔽マスク6を、その開口部6aがビアホール8の周縁部に位置するように樹脂シート上に配置し、遮蔽マスク6の上方から、実施の形態3における熱風7に代えて、紫外線を照射して、ビアホール8の内壁周辺部の半硬化樹脂に含まれる樹脂のうち紫外線硬化性樹脂のみを硬化させることにより、ビアホール8の内壁周辺部に紫外線硬化性樹脂のみが硬化された樹脂層が形成された半硬化樹脂シート1が得られる。以下、実施の形態1と同様にして実施の形態1と同様の部品内蔵基板が得られる。なお、ビアホール8の内壁周辺部の紫外線により硬化されない熱硬化性樹脂は、加熱プレス時に半硬化樹脂シート1の他の箇所の熱硬化性樹脂とともに熱硬化されることになる。
【0033】
本発明においては、基材を構成する熱硬化性樹脂、または熱硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含む複合樹脂は、無機フィラーを50〜95vol%含有したものが好ましい。
【0034】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の第1の多層回路基板の製造方法によれば、ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を予め硬化させるので、加圧加熱時に基材内に埋設される部品の体積に見合った基材中の樹脂が流動しても、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂は既に硬化しているため、ビアホールの周辺部の樹脂は流動することはなく、ビアホールは所定の位置に維持され、また、ビアホールが変形したりすることもない。そのため、ビアホールに充填された導電性ペーストを所定の位置に維持することができ、また、導電性ペーストが変形することもない。したがって、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板を得ることができる。
【0035】
また、前記基材に、加熱された穿孔用工具によりビアホールを形成することにより、ビアホールの形成と同時にビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を硬化させることができる。
【0036】
また、前記基材に遮蔽マスクの開口部を通して加熱気体または熱線によってビアホールの周辺部を加熱することにより、ビアホールの周辺部のみで熱硬化性樹脂を硬化させることができる。
【0037】
また、ビアホールの周辺部にデフォーカス状態のレーザ光を照射することによって、レーザ光の熱エネルギーにより、ビアホールの周辺部のみで熱硬化性樹脂を硬化させることができる。
【0038】
また、前記基材を半硬化状態の熱硬化性樹脂シートから形成すると、取り扱いが容易である。
さらに、第2の多層回路基板の製造方法によれば、ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の紫外線硬化性樹脂を予め硬化させるので、第1の多層回路基板の製造方法と同様に、回路基板間の接続の信頼性が高い多層回路基板を得ることができる。
【0039】
また、前記基材に遮蔽マスクの開口部を通してビアホールの周辺部に紫外線を照射することによって、紫外線により、ビアホールの周辺部のみで紫外線硬化性樹脂だけを硬化させることができる。
【0040】
また、前記基材を熱可塑性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含む半硬化状態の複合樹脂シートから形成すると、取り扱いが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における保護フィルムがラミネートされた半硬化樹脂シートを示す断面図である。
【図2】本発明の実施の形態1におけるビアホール周辺部を硬化する方法を示す断面図である。
【図3】本発明の実施の形態1におけるビアホール周辺部が硬化された半硬化樹脂シートを示す断面図である。
【図4】本発明の実施の形態1における部品内蔵基板の製造工程を示す断面図である。
【図5】本発明の第3および第4の実施の形態におけるビアホール周辺部を硬化する方法を示す断面図である。
【図6】従来の部品内蔵基板の製造工程を示す断面図である。
【符号の説明】
1 半硬化樹脂シート
2 保護フィルム
3 穿孔用パンチ
4 穿孔用ドリル
5 樹脂硬化層
6 遮蔽マスク
6a 開口部
7 熱風
8 ビアホール
9 導電性ペースト
10 回路基板
11 部品
12 ビア接続用ランド
Claims (8)
- 熱硬化性樹脂からなるシート状の基材にビアホールを形成するとともにこのビアホールに導電性ペーストを充填し、複数の回路基板の間に前記基材と部品とを配置して複数の回路基板を積層し、これを加圧下で加熱して前記基材を熱硬化させることによって、複数の回路基板間が導電性ペーストにより接続されるとともに基材内に部品が埋設された多層回路基板を製造するに際し、
前記ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の熱硬化性樹脂を予め硬化させることを特徴とする多層回路基板の製造方法。 - 前記基材に加熱された穿孔用工具によりビアホールを形成することを特徴とする請求項1記載の多層回路基板の製造方法。
- 前記基材にビアホールを形成した後、基材上に遮蔽マスクの開口部がビアホールの周縁部に位置するように配置し、この開口部を通して加熱気体または熱線によりビアホールの周辺部を加熱することを特徴とする請求項1記載の多層回路基板の製造方法。
- 前記基材にビアホールを形成した後、このビアホールの周辺部にデフォーカス状態のレーザ光を照射することを特徴とする請求項1記載の多層回路基板の製造方法。
- 前記基材は半硬化状態の熱硬化性樹脂シートであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の多層回路基板の製造方法。
- 熱硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含むシート状の基材にビアホールを形成するとともにこのビアホールに導電性ペーストを充填し、複数の回路基板の間に前記基材と部品とを配置して複数の回路基板を積層し、これを加圧下で加熱して前記基材に含まれる熱硬化性樹脂を熱硬化させることによって、複数の回路基板間が導電性ペーストにより接続されるとともに基材内に部品が埋設された多層回路基板を製造するに際し、
前記ビアホールに導電性ペーストを充填する前に、ビアホールの周辺部の紫外線硬化性樹脂を予め硬化させることを特徴とする多層回路基板の製造方法。 - 前記基材にビアホールを形成した後、基材上に遮蔽マスクの開口部がビアホールの周縁部に位置するように配置し、この開口部を通してビアホールの周辺部に紫外線を照射することを特徴とする請求項6記載の多層回路基板の製造方法。
- 前記基材は熱可塑性樹脂と紫外線硬化性樹脂とを含む半硬化状態の複合樹脂シートであることを特徴とする請求項6または7記載の多層回路基板の製造方法。
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- 2003-05-16 JP JP2003138034A patent/JP2004342859A/ja active Pending
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