JP2004336033A - 無機スペーサ層を有する垂直キャビティレーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決方法】基板20、所定の波長範囲において光を反射する底部誘電体積層体30およびレーザ光を生成するための活性領域40、底部誘電体積層体から間隔を置き且つ所定の波長範囲において光を反射する上部誘電体積層体50を含む。活性領域は、1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と、周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層と、を含む。
【選択図】図2
Description
a)基板;
b)所定の波長領域に亘って光を反射する底部誘電体積層体;
c)レーザ光を生成するための活性領域;
d)底部誘電体席相対から間隔を開けていて且つ所定の波長領域に亘って光を反射する上部誘電体積層体;
から構成され、
e)活性領域は1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層とを含む。
4,4’−N,N’−ジカルバゾール−1,1’−ビフェニル(CBP)(D1)
4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(D2)
4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−(2−ナフチル)アミノ]ビフェニル(D3)
4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−p−トリルアミノビフェニル(D4)
1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン
1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン
4,4’−ビス(ジフェニルアミノ)クアドリフェニル
ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)−フェニルメタン
N,N,N−トリ(p−トリル)アミン
4−(ジ−p−トリルアミノ)−4’−[4(ジ−p−トリルアミノ)−スチリル]スチルベン
N,N,N’,N’−テトラ−p−トリル−4−4’−ジアミノビフェニル
N,N,N’,N’−テトラフェニル−4−4’−ジアミノビフェニル
N,N,N’,N’−テトラ−1−ナフチル−4−4’−ジアミノビフェニル
N,N,N’,N’−テトラ−2−ナフチル−4−4’−ジアミノビフェニル
N−フェニルカルバゾール
4,4”−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]p−テルフェニル
4,4’−ビス[N−(2−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(3−アセナフテニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
1,5−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ナフタレン
4,4’−ビス[N−(9−アントリル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4”−ビス[N−(1−アントリル)−N−フェニルアミノ]p−テルフェニル
4,4’−ビス[N−(2−フェナントリル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(8−フルオランテニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(2−ピレニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(2−ナフタセニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(2−ペリレニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(1−コロネニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
2,6−ビス(ジ−p−トリルアミノ]ナフタレン
2,6−ビス[ジ−(1−ナフチル)アミノ]ナフタレン
2,6−ビス[ジ−(1−ナフチル)−N−(2−ナフチル)アミノ]ナフタレン
N,N,N’,N’−テトラ(2−ナフチル)4−4’−ジアミノ−p−テルフェニル
4,4’−ビス{N−フェニル−N−[4−(1−ナフチル)−フェニル]}ビフェニル
4,4’−ビス[N−フェニル−N−(2−ナフチル)アミノ]ビフェニル
2,6−ビス[N,N−ジ−(2−ナフチル)アミノ]フルオレン
1,5−ビス[1−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ナフタレン
4,4’,4”−トリス[(3−メチルフェニル)フェニルアミノ]トリフェニルアミン
ホスト材料を置換または非置換アザ芳香族化合物から構成することができる。例えば、ホスト材料は、置換または非置換アクリジン、キノリン、プリン、フェナジン、フェノキサジン或いはフェナントロリン化合物から構成することができる。カルバゾール誘導体は有用なホストである。有用なフェナントロリン材料の例は、2,9−ジメチル−4,7−ジフェニル−1−10−フェナントロリンおよび4,7−ジフェニル−1−10−フェナントロリンを含む。
CO−1:アルミニウムトリスオキシン[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム(III)]
CO−2:マグネシウムビスオキシン[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)マグネシウム(II)]
CO−3:ビス[ベンゾ{f}−8−キノリノラート]亜鉛(II)
CO−4:ビス(2−メチル−8−キノリノラート)アルミニウム(III)−μ−オキソ−ビス(2−メチル−8−キノリノラート)アルミニウム(III)
CO−5:インジウムトリスオキシン[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)インジウム]
CO−6:アルミニウムトリス(5−メチルオキシン)[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム(III)]
CO−7:リチウムオキシン[エイリアス、(8−キノリノラート)リチウム(I)]
CO−8:ガリウムオキシン[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)ガリウム(III)]
CO−9:ジルコニウムオキシン[エイリアス、テトラ(8−キノリノラート)ジルコニウム(IV)]
ホスト材料は置換または非置換アントラセン化合物を含むことができる。
群1:水素または1乃至24個の炭素原子を含むアルキル基;
群2:5乃至20個の炭素原子を含むアリール基または置換アリール基;
群3:アントラセニル基、ピレニル基またはペリレニル基の縮合芳香族環を完成させるために必要な4乃至24個の炭素原子;
群4:フリル基、チエニル基、ピリジル基、キノリニル基または他の複素環系の縮合複素芳香族環を完成させるために必要に応じて5乃至24個の炭素原子を含むヘテロアリール基または置換ヘテロアリール基;
群5:1乃至24個の炭素原子を含むアルコキシルアミノ基、アルキルアミノ基またはアリルアミノ基
群6:フッ素、塩素、臭素またはシアノ基
例示としての例は、9,10−ジ−(2−ナフチル)アントラセン(F1)と2−t−ブチル−9,10−ジ−(2−ナフチル)アントラセン(F2)とを含む。他のアントラセン誘導体はホストとして有用であり、9,10−ビス−(4−(2,2’−ジフェニルエテニル)フェニル)アントラセンを含む。
nは3乃至8の整数であり、
ZはO、NRまたはSであり、並びに、
RおよびR’は、個々に、水素;例えば、プロピル基、t−ブチル基、ヘプチル基等の1乃至24個の炭素原子を含むアルキル基;例えば、フェニル基およびナフチル基、フリル基、チエニル基、ピリジル基、キノリニル基および他の複素環系の5乃至20個の炭素原子を含むアリール基またはヘテロ原子置換アリール基;または、クロロ、フルオロ等のハロ;または、縮合アロマチック環を完成させるために必要な原子、であり、
Lは、アルキル基、アリール基、置換アルキル基または置換アリール基から構成される結合単位であって、複数のベンゾアゾールを共に共役または非共役結合する。有用なベンゾアゾールの一例は、2,2’,2”−(1,3,5−フェニレン)トリス[1−フェニル−1H−ベンズイミドアゾール]である。
Y−CH=CH−Y−CH=CH−Z (H)
X−(CH=CH)n−Z (I)
ここで、XおよびYは、単独で、置換または非置換芳香族基或いは1つの窒素原子を有する置換または非置換芳香族複素環基であり、nは1,2または3であり、Yは2価の芳香族基または1つの窒素原子を有する2価の芳香族複素環基である。有用な例は、4−ビス(2−メチルスチリル)−ベンゼン、4,4−(9,10−アントラセンジイルジ−2,1−エテンジール)ビス(N,N−ビス(4−メチルフェニル)ベンゼンアミン、4,4−(1,4−ナフタレンジイルジ−2,1−エテンジール)ビス(N,N−ビス(4−メチルフェニル)ベンゼンアミン、4,4−(1,4−フェニレンジ−2,1−エテンジール)ビス(N,N−(4−トリル)ベンゼンアミンを含む。
2次元レーザアレイ装置200は、入射ポンプ光ソース60により光学的に駆動され、単一モードまたはマルチモードのどちらかのレーザ発光70が生じる。有機レーザキャビティのレーザ発振パワー密度の閾値に依存して、ポンプ光はフォーカシングされたレーザ光または非コヒーレントなLED光とすることができる。図4は、上部誘電体積層体50を透過するレーザ発光を示している。また、レーザ構造は、誘電体積層体の反射率特性の正確なデザインにより基板20を透過するレーザ発光を用いて、上部誘電体積層体50を通して光ポンピングされることが可能である。不透明な基板(例えば、シリコン)の場合、光ポンピングとレーザ発光の両方が上部誘電体積層体50を通して生じる。光ポンピングされる有機レーザアレイ装置の動作は次のような手段により得られる。ポンプ光60は、基板20および底部誘電体積層体30を通って透過し、周期的有機利得領域100により吸収され、ポンプ光エネルギーの一部はより長い波長のレーザ光として再発光される。ポンプ光60が基板20を通って入るとき、レーザ出力が上部誘電体積層体50を通って主に出ることを確実にするために、上部誘電体積層体50のピーク反射率より大きくなるように底部誘電体積層体30のピーク反射率を選択することが必要である。装置のパワー変換効率を改善するためには、底部誘電体積層体30がポンプ光60に対して高い透過性を有し、上部誘電体積層体50がポンプ光60に対して高い反射性を有するように、両方の誘電体積層体に付加的な誘電体層を付加することが一般的な方法である。レーザ光70はレーザピクセル220により発光する。
活性領域40において無機スペーサ層110を用いるレーザ発振特性における衝撃を決定するために、前洗浄した6インチ角の石英基板20にレーザ装置10を作製した。基板20に、従来の電子ビーム蒸着法により240℃において、TiO2およびSiO2それぞれの高反射率層および低反射率層の交互層から構成された底部誘電体積層体30を析出した。結果として得られた誘電体ミラーは、560nmにおいて約93%の測定ピーク反射率を有していた。底部誘電体積層体30には、膜厚が30nmである、高真空蒸着により析出された1つの周期的有機利得領域100を含む活性領域40を析出した。その利得領域を、電子ビーム蒸着により析出されたSiO2により構成された165nmの膜厚の2つの無機スペーサ層110により囲んだ。底部のSiO2に対しては、240℃において電子ビーム蒸着を施した一方、上部のSiO2に対しては、70℃において電子ビーム蒸着を施した。活性領域40に続いて、TiO2およびSiO2のλ/4の交互層から構成される29層の上部誘電体積層体を析出した。
20 基板
30 底部誘電体積層体
40 活性領域
50 上部誘電体積層体
60 ポンプ光
70 レーザ発光
100 周期的利得領域
110 無機スペーサ層
120 レーザの定在波電磁場パターン
150 エッチング領域
200 2次元レーザアレイ装置
210 ピクセル間領域
220 ピクセル
Claims (10)
- a)基板;
b)所定の波長範囲において光を反射する底部誘電体積層体;
c)レーザ光を生成するための活性領域;並びに
d)底部誘電体積層体から間隔を置き且つ所定の波長範囲において光を反射する上部誘電体積層体;
から構成される垂直キャビティレーザ光生成装置であって、
e)活性領域は1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層とを含む;
ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。 - 請求項1に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、ポンプ光は少なくとも1つの前記誘電体積層体を透過して前記活性領域に導かれる、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
- 請求項1に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、前記活性領域は有機ホスト材料とドーパントとの組み合わせであり、前記無機スペーサ層はポンプ光とレーザ光に対して実質的に透明である、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
- 請求項3に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、前記ホスト材料はアルミニウムトリス(8−ヒドロキシキノリン)であり、前記ドーパントは[4−(ジシアノメチレン)−2−t−ブチル−6−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジル−9−エニル)−4H−ピラン]であり、前記無機スペーサ層は二酸化珪素を含む、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
- 請求項1に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、前記周期的有機利得領域は高分子材料を含む、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
- a)基板;
b)所定の波長範囲において光を反射する第1誘電体積層体;
c)レーザ光を生成するための活性領域;並びに
d)第1誘電体積層体から間隔を置き且つ光を反射する金属層;
から構成される垂直キャビティレーザ光生成装置であって、
e)活性領域は1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層とを含む;
ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。 - a)基板;
b)所定の波長範囲において光を反射し基板に析出される底部誘電体積層体;
c)レーザ光を生成するための活性領域;並びに
d)底部誘電体積層体から間隔を置き且つ所定の波長範囲において光を反射する上部誘電体積層体;
から構成される垂直キャビティレーザ光生成装置であって、
e)活性領域は1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層とを含む;
f)ピクセル間領域より大きい反射率を有する、間隔を置くレーザピクセルのアレイを規定するために底部誘電値積層体の表面に形成されたエッチング領域であって、それ故、前記アレイはシングルモードまたはマルチモードのどちらかのレーザ光を発光する、エッチング領域;
からさらに構成されることを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。 - 請求項7に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、ポンプ光は少なくとも1つの前記誘電体積層体を透過して前記活性領域に導かれる、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
- 請求項7に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域は有機ホスト材料とドーパントとの組み合わせであり、前記無機スペーサ層はポンプ光とレーザ光に対して実質的に透明である、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
- 請求項7に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、ピクセルの間隔は0.25乃至4μmの範囲内である、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
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