JP2004336033A - 無機スペーサ層を有する垂直キャビティレーザ装置 - Google Patents

無機スペーサ層を有する垂直キャビティレーザ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2004336033A
JP2004336033A JP2004128618A JP2004128618A JP2004336033A JP 2004336033 A JP2004336033 A JP 2004336033A JP 2004128618 A JP2004128618 A JP 2004128618A JP 2004128618 A JP2004128618 A JP 2004128618A JP 2004336033 A JP2004336033 A JP 2004336033A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
vertical cavity
laser light
cavity laser
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004128618A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4522135B2 (ja
Inventor
Keith B Kahen
ビー カーエン キース
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eastman Kodak Co
Original Assignee
Eastman Kodak Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Eastman Kodak Co filed Critical Eastman Kodak Co
Publication of JP2004336033A publication Critical patent/JP2004336033A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4522135B2 publication Critical patent/JP4522135B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/10Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/18Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
    • H01S5/183Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/04Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, e.g. by electron beams
    • H01S5/041Optical pumping
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/30Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
    • H01S5/36Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising organic materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/10Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/18Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
    • H01S5/183Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
    • H01S5/18361Structure of the reflectors, e.g. hybrid mirrors
    • H01S5/18369Structure of the reflectors, e.g. hybrid mirrors based on dielectric materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/10Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/18Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
    • H01S5/183Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
    • H01S5/18383Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL] with periodic active regions at nodes or maxima of light intensity
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/42Arrays of surface emitting lasers
    • H01S5/423Arrays of surface emitting lasers having a vertical cavity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

【課題】スペクトル線幅の広がりを減少させる垂直キャビティ有機レーザ装置を提供する。
【解決方法】基板20、所定の波長範囲において光を反射する底部誘電体積層体30およびレーザ光を生成するための活性領域40、底部誘電体積層体から間隔を置き且つ所定の波長範囲において光を反射する上部誘電体積層体50を含む。活性領域は、1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と、周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層と、を含む。
【選択図】図2

Description

本発明は、入力パワーの関数として狭いスペクトルの広がりを有する垂直キャビティ有機レーザに関する。
無機半導体(例えば、AlGaAs)ベースの垂直キャビティ表面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)は、1980年半ば(K.Kinoshita et al.,IEEE J.Quent.Electron.QE−23,882[1987](非特許文献1)参照)以来、開発されてきた。その結果、850nmにおいて発光するAlGaAsベースのVCSELが数多くのメーカにより製造され、VCSELの寿命は100年を超えている(K.D.Choquette et al.,Proc.IEEE 85,1730[1997](非特許文献2)参照)。このような近赤外レーザの成功を受けて、可視光の波長領域において発光するVCSELを製造するための他の無機材料システムが、近年、注目されている(C.Wilmsen et al.,Vertical−Cavity Surface−Emitting Lasers, Cambridge University Press,Cambridge,2001(非特許文献3)参照)。可視光レーザに対しては、例えば、表示装置、光記憶読み出し/書き込み、レーザプリンティングおよびプラスチック光ファイバを用いる短距離通信システム等の多くの有望なアプリケーションがある(T.Ishigure et al.,ELectron Lett.31,467[1995](非特許文献4)参照)。多くの産学の研究機関の全世界的な努力にも拘わらず、可視光スペクトルに及ぶ光出力を生成する可視光レーザダイオード(エッジエミッタまたはVCSEL)を創り出すためになされるべきことは山積している。
可視光波長のVCSELを生成するための努力において、有機材料ベースの利得材料は可視光スペクトルにおいて無機ベースの利得材料を凌ぐ多くの有利点に恵まれているため、無機ベースのシステムを断念し、有機ベースのレーザシステムに注力することは有利である。例えば、代表的な有機ベースの利得材料は、低いポンピング散乱/吸収損失および高い量子効率の特性を有する。無機レーザシステムに比較して、有機レーザは、比較的安価に製造することができ、全体的な可視光領域に亘って発光するように製造することができ、任意の大きさにすることができ、最も重要なことには、1つのチップから複数の波長(例えば、赤、緑および青)を発光することができる。過去何年間かに亘って、有機ベースの固体レーザを製造することへの関心が高まってきた。レーザ利得材料は、高分子または小分子のどちらかを有し、多くの異なる共振キャビティ構造、例えば、マイクロキャビティ(Kozlov等による米国特許第6,160,828号明細書(特許文献1)参照)、導波路、リングマイクロレーザ(ring microlaser)および分散帰還型レーザ(例えば、G.Kranzelbinder et.al.,Rep.Prog.Phys.63,729[2000](非特許文献5)およびM.Diaz−Garcia等による米国特許第5,881,083号明細書(特許文献2)参照)が用いられた。これらの構造全てにおける問題点は、レーザ発信を達成するために、他のレーザソースを使用して光ポンピングによりキャビティを励起することが必要であることである。
電気的にポンピングする有機レーザを達成することに対する主な障害は有機材料のキャリア移動度が小さいことであり、それは、代表的には、10−5cm/Vsのオーダーである。このような小さいキャリア移動度は、結果的に多くの問題点をもたらす。小さいキャリア移動度は、代表的には、大きい電圧降下およびオーム加熱を回避するために細いレーザを使用することに制限される。このような細いレーザは損失の大きい陰極および陽極へのレーザ発振モードの侵入をもたらし、レーザ発振の閾値における大きい増加をもたらす(V.G.Kozlov et al.,J.Appl.Phys.84,4096[1998](非特許文献6)参照)。有機材料における電子−ホール再結合はLangevin再結合(そのレートはキャリア移動度として評価される)により支配されるため、小さいキャリア移動度は一重項励起子より大きい電荷キャリアの大きさのオーダーをもたらす。この1つの結果として、電荷有機(ポラロン)吸収は重大な損失機構となることとなる(N.Tessler et al.,Appl.Phys.Lett.74,2764[1999](非特許文献7)参照)。レーザ装置は5%の内部量子効率を有すると仮定すると、今日までに報告された最も小さいレーザ発振閾値の〜100W/cm(M.Berggren et al.,Nature 389,466,[1997](非特許文献8)参照)を用いることおよび上記の損失機構を無視することにより、1000A/cmの電気的にポンピングされたレーザ発振閾値を下限値とする。このような損失機構を盛り込むことにより、レーザ発振閾値は今日までに報告された最も大きい電流密度である1000A/cm2より十分大きくなり、このことは有機装置により支持されるものとなっている(N.Tessler,Adv.Mater.19,64,[1998](非特許文献9)参照)。
有機レーザの電気的ポンピングの代わるものとして、無機(M.D.McGehee et al.,Appl.Phys.Lett.72,1536[1998](非特許文献10)参照)または有機(Berggren等による米国特許第5,881,089号明細書(特許文献2)参照)のどちらかの発光ダイオード(LED)のような非子ヒーレントな光ソースにより光ポンピングがある。これは、特にアクティブな媒体としてホストとドーパントの組み合わせを用いるとき、レーザ発振波長において結合散乱および吸収損失(約0.5cm−1)が非常に小さい非ポンピング有機レーザシステムの結果としてあり得る。これらの小さい損失をうまく利用すると、導波路型レーザのデザインに基づいて、今日までに報告された有機レーザの最小の光ポンピング閾値は100W/cmである(M.Berggren et al.,Nature 389,466[1997](非特許文献11)参照)。規格品の有機LEDは約20W/cmまでの電力密度を提供するのみであるため、非コヒーレントのソースにより光ポンピングを提供するために異なる方法を採用する必要がある。さらに、レーザ発振閾値を低下させるために、利得ボリュームを最小化するレーザ構造を選択する必要がある。VCSELベースのマイクロキャビティレーザはこの基準を満足する。VCSELベースの有機レーザを用いるためには、光ポンピングするレーザ密度の閾値を5W/cmより小さくする必要がある。その結果、LEDのような種々のすぐに利用可能であって非コヒーレントな光源を用いて、有機レーザ装置をポンピングすることにより、実用的な有機レーザ装置を駆動することができる。
レーザ発光スペクトルの線幅がポンピングビームのパワー密度に伴って比較的変化しないまま保たれる有機VCSELレーザ装置の出現が非常に待望されている。図1に示すような、実際の有機ベースのVCSEL装置に対しては、残念ながら、レーザ発光のスペクトル幅はポンピングビームのパワー密度と共に著しく増加する。データを生成するために用いられるVCSELレーザキャビティは、TiOおよびSiOから成る23層の底部誘電体積層体(560nmにおけるピーク反射率は99.3%)と、厚さ0.496μmの周期的利得アクティブ領域(Corzine et al.,IEEE J.Quant.Electr.25,1513[1989](非特許文献12)参照)と、TiOおよびSiOから成る29層の上部誘電体積層体(560nmにおけるピーク反射率は99.98%)とから構成される。2つの0.025μmの膜厚の層 周期的利得活性層
米国特許第6,160,828号明細書 米国特許第5,881,083号明細書 K.Kinoshita et al.,IEEE J.Quent.Electron.QE−23,882[1987] K.D.Choquette et al.,Proc.IEEE 85,1730[1997] C.Wilmsen et al.,Vertical−Cavity Surface−Emitting Lasers, Cambridge University Press,Cambridge,2001 T.Ishigure et al.,ELectron Lett.31,467[1995] G.Kranzelbinder et.al.,Rep.Prog.Phys.63,729[2000] V.G.Kozlov et al.,J.Appl.Phys.84,4096[1998] N.Tessler et al.,Appl.Phys.Lett.74,2764[1999] M.Berggren et al.,Nature 389,466,[1997] N.Tessler,Adv.Mater.19,64,[1998] M.D.McGehee et al.,Appl.Phys.Lett.72,1536[1998] M.Berggren et al.,Nature 389,466[1997] Corzine et al.,IEEE J.Quant.Electr.25,1513[1989]
それ故、本発明の目的は、スペクトル線幅が広がる問題を減少させる垂直キャビティ有機レーザ装置を提供することである。
上記の困難性を著しく減少させることができることは、活性領域に無機スペーサ層を含むことにより発見された。
この目的は、薄い垂直キャビティレーザ光生成装置であって:
a)基板;
b)所定の波長領域に亘って光を反射する底部誘電体積層体;
c)レーザ光を生成するための活性領域;
d)底部誘電体席相対から間隔を開けていて且つ所定の波長領域に亘って光を反射する上部誘電体積層体;
から構成され、
e)活性領域は1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層とを含む。
本発明の特徴は有機垂直キャビティレーザにおいて無機スペーサレーザを用いることにより、レーザ発光のスペクトル線幅の広がりを減少させることにおいて有効な改善を達成することができる。
図2に、垂直キャビティ有機レーザ装置10の模式図を示す。基板20は、光透過性または非光透過性のどちらかであり、光ポンピングの意図された方向およびレーザ発光に依存する。光透過性基板20は透明なガラスまたはプラスチックとすることが可能である。また、非光透過性基板は、半導体材料(例えば、シリコン)またはセラミック材料を含むが、これらに限定されるものではなく、光ポンピングと発光の両方が同じ表面を通して起こる場合に用いられることが可能である。基板上に、底部誘電体積層体30が析出される。次いで、活性領域40が析出され、その次に上部誘電体積層体50が析出される。ポンプ光60は、基板20および底部誘電体積層体30を透過して垂直キャビティ有機レーザ装置10を光学的に駆動し、主に有機活性猟奇40により吸収される。ポンプ光のソースは、例えば、発光ダイオード(LED)からの発光等のように非コヒーレントとすることが可能である。また、ポンプ光はコヒーレントなレーザソースから発生させることが可能である。図2は、上部誘電体積層体50からのレーザ発光70を示している。また、レーザ構造は、誘電体積層体の反射率の正確なデザインにより基板20を透過するレーザ発光を用いて上部誘電体積層体50により光学的にポンピングされることが可能である。シリコンのような不透明な基板の場合には、光ポンピングとレーザ発光の両方が上部誘電体積層体50により起こる。
底部誘電体積層体30および上部誘電体積層体50は、好適には、例えば、TiOおよびSiOそれぞれのような、交互に積層された高屈折率誘電体材料および低屈折率誘電体材料から構成される。高屈折率層に対して、Taのような他の材料を用いることも可能である。底部誘電体積層体30は、約240℃の温度において析出される。上部誘電体積層体50の析出プロセスの間に、有機活性材料を融解することを回避するために、温度は約70℃に保たれる。本発明の他の一実施形態においては、上部誘電体積層体は反射性の金属ミラー層の析出により置き換えられる。その代表的な金属は、銀またはアルミニウムであって、可視光の波長領域において90%より大きい反射率を有する。この実施形態においては、ポンプ光60とレーザ発光70の両方は基板20を透過して進む。底部誘電体積層体30および上部誘電体積層体50は波長の所定範囲に亘ってレーザ光を反射する。1nmより小さい半値幅(FWHM:Full Width at Half Maximum)をもつレーザ発振ピークを得るために、レーザ発光波長において上部誘電体積層体と底部誘電体積層体の両方の反射率が約99%より大きいことが好ましい。
図3は、活性領域40のより詳細な様子を示す垂直キャビティ有機レーザ装置10の模式的な側面図である。活性領域40は、1つまたはそれ以上の周期的利得領域100と、周期的利得領域のどちらかの側に析出され且つ配列された無機スペーサ層110とを含み、それ故、周期的利得領域は装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされている。これについては、活性領域40におけるレーザの定在波電磁場パターン120が模式的に描かれている図3に示されている。利得領域の配置は、光学の標準マトリクス法(Corzine et al.,IEEE J.Quant.Electr.25,1513[1989]参照)を用いて決定される。励起発光は電磁場の腹において最大であり、その節において無視できるため、図3に示すように活性領域40を形成することは本質的に有利である。無機スペーサ層110は励起発光または自然放出を行わず、レーザ発光70の波長またはポンプ光60の波長のどちらかを大きく吸収することはない。無機スペーサ層110の例は誘電体材料のSiOである。SiOは、レーザ出力またはポンプ光のどちらかを吸収しないため、スペーサ材料としてうまく機能し、さらに、その屈折率は最も大きい有機ホスト材料のそれより小さい。この屈折率の差は、電磁場の腹および周期的利得領域100との間の重なりを最大化する上で有用であるため、役に立つ。
レーザ装置において、TAPCのような有機スペーサ材料の上方にSiOのような無機スペーサ材料を用いることの主な優位性は、SiOが非常に小さい熱光学係数(dn/dTであって、ここで、nは屈折率、Tは温度である)を有することである。さらに具体的には、TAPCに対して測定される熱光学係数は−104x10−6−1であり、SiOについてのそれは、大きさが一桁小さく、+10x10−6−1である。大きい熱光学係数は、ポンプ光パワーの関数としてレーザキャビティの有効長において大きい変化をもたらす(大きいポンプ光パワー密度に対する温度上昇のために)。レーザキャビティ長における変化はレーザ発振波長における変化をもたらすため、大きい熱光学係数をもつ無機材料を用いるレーザキャビティは、ポンプ光パワー密度を増加させることに対してスペクトルを広げる影響をより受け易い結果がもたらされる。無機スペーサ層としてのSiOのような誘電体材料を用いることは、それがより小さい熱光学係数を有し、可視光波長において一般に透明であるために、好ましい。例として、TiOはまた、可視域において透明であり、−2x10−6−1の熱光学係数を有する。
特に述べない限り、用語“置換した”または“置換基”を用いることは、水素以外のいずれの群または原子を意味する。さらに、用語“群”を用いるとき、置換基の群が置換可能な水素を含むとき、置換基が装置ユーティリティに対して必要な性質を破壊しない限り、置換基の置換されていない形態ばかりでなく、ここで述べたいずれの置換基の群とさらに置換されるその形態を網羅することを意図している。適切には、置換基群はハロゲン元素とすることが可能であり、炭素、珪素、酸素、窒素、燐、硫黄、セレンまたは硼素の原子により残りの分子と結合することが可能である。置換基は、例えば、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基のようなハロゲン基;ニトロ基;水酸基;シアン基;カルボキシル基;または、メチル基、トリフルオロメチル基、エチル基、t−ブチル基、3−(2,4−ジ−t−ペンチルフェノキシ)プロピル基およびテトラデシル基等の、直鎖状、分岐状または環状アルキル基を含むアルキル基のような、さらに置換されることが可能である群;エチレン基、2−ブテン基等のアルケニル基;メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、2−メトキシエトキシ基、sec−ブトキシ基、ヘキシルオキシ基、2−エチルヘキシルオキシ基、テトラデシロキシ基、2−(2,4−ジ−t−ペンチルフェノキシ)エトキシ基および2−ドデシルオキシエトキシ基等のアルコキシ基;アセトアミド基、ベンズアミド基、ブチルアミド基、テトラデカンアミド基、α−(2,4−ジ−t−ペンチルフェノキシ)ブチルアミド基、α−(3−ペンタデシルフェノキシ)−へキサアミド、α−(4−ヒドロキシ−3−t−ブチルフェノキシ)−テトラデカンアミド基、2‐オキソ−ピロリジン−1−yl基、2−オキソ−5−テトラデシルピロリン−1−yl基、N−メチルテトラデカンアミド基、N−スクシンイミド基、N−フタルイミド基、2−5−ジオキシ−1−オキサゾリジニル基、3−ドデシル2−5−ジオキソ−1−イミドアゾリル基、並びに、N−アセチル−N−ドデシルアミノ基、エトキシカルボニルアミノ基、フェノキシカルボニルアミノ基、2,4−ジ−t−ブチルフェノキシカルボニルアミノ基、フェニルカルボニルアミノ基、2,5−(ジ−t−ペンチルフェニル)カルボニルアミノ基、p−ドデシルフェニルアルボニルアミノ基、p−トリカルボニルアミノ基、N−メチルウレイド基、N,N−ジ億タデシルウレイド、N,N−ジオクチル−N’−エチルウレイド基、N−フェニルウレイド基、N,N−ジフェニルウレイド基、N−フェニル−N−p−トリウレイド基、N−(m−ヘキサデシルフェニル)ウレイド基、N,N−(2,5−ジ−t−ペンチルフェニル)−N’−エチルウレイド基、およびt−ブチルカルボンアミド等のカルボンアミド基;N−メチルスルファモイル基、N−エチルスルファモイル基、N,N−ジプロピルスルファモイル基、N−ヘキサデシルスルファモイルイ基、N,N−ジメチルスルファモイル基、N−[3−(ドデシルオキ氏)プロピル]−スルファモイル基、N−[4−(2,4−ジ−t−ペンチルフェノキシ)ブチル]スルファモイル基、N−メチル−N−テトラデシルスルファモイル基およびN−ドデシルスルファモイル基等のスルファモイル基;N−メチルカルバモイル基、N,N−ジブチルカルバモイル基、N−オクタデシルカルバモイル基、N−[4−(2,4−ジ−t−ペンチルフェノキシ)ブチル]カルバモイル基、N−メチル−N−テトラデシルカルバモイル基およびN,N−ジオキシカルバモイル基等のカルバモイル基;アセチル基、(2,4−ジ−t−アミルフェノキシ)アセチル基、フェノキシカルボニル基、p−ドデシルオキシフェノキシカルボニル基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、テトラデシルオキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ベンジルオキシカルボニル基、3−ペンタデシルオキシカルボニル基およびドデシルオキシカルボニル基等のアシル基;メトキシスルフォニル基、オクチルオキシスルフォニル基、テトラデシルオキシスルフォニル基、2−エチルヘキシルオキシスルフォニル基、フェノキシスルフォニル基、2−4−ジ−t−ペンチルフェノキシするフォニル基、メチルスルフォニル基、オクチルスルフォニル基、2−エチルヘキシルスルフォニル基、ドデシルスルフォニル基、ヘキサセシルスルフォニル基、フェニルスルフォニル基、4−ノニルフェニルスルフォニル基およびp−トリルスルフォニル基等のスルフォニル基;ドデシルスルフォニルオキシ基およびヘキサデシルスルフォニルオキシ基等のスルフォニルオキシ基;メチルスルフィニル基、オクチルスルフィニル基、2−エチルヘキシルスルフィニル基、ドデシルスルフィニル基、ヘキサデシルスルフィニル基、フェニルスルフィニル基、4−ノニルフェニルスルフィニル基およびp−トリスルフィニル基等のスルフィニル基;エチルチオ基、オクチルチオ基、ベンジルチオ基、テトラデシルチオ基、2−(2,4−ジ−t−ペンチルフェニル)エチルチオ基、フェニルチオ基、2−ブトキシ−5−t−オクチルフェニルチオ基およびp−トリルチオ基等のチオ基;アセチルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、オクタデカノイルオキシ基、p−ドデシルアミドベンゾイルオキシ基、N−フェニルカルバモイルオキシ基、N−エチルカルバモイルオキシ基およびシクロヘキシルカルボニルオキシ基等のアシルオキシ基;フェニルアニリノ基、2−クロノアニリノ基、ジエチルアミン基およびドデシルアミン基等のアミン基;1(N−フェニルイミド)エチル基、N−スクシンイミド基または3−ベンジルヒダントイニル基等のイミノ基;ジメチルフォスフェート基およびエチルブチルフォスフェート基等のフォスフェート基;複素環、複素環オキシ基または複素環チオ基であって、それらの各々は置換されることが可能であり、それらは、2−フリル基、2−チエニル基、2−ベンズイミドアゾリルオキシ基または2−ベンゾチアゾリル基等の 炭素原子と酸素、窒素、硫黄、燐または硼素から選択される少なくとも1つのヘテロ原子とから構成される3乃至7員環へテロ環を含む、置換基;トリエチルアンモニウムイオン等の四級アンモニウムイオン;トリフェニルホスホニウムイオン等の四級ホスホニウムイオン;並びに、トリメチルシリルオキシイオン等のシリルオキシイオン;であることが可能である。
必要に応じて、置換基そのものを、上記の置換基と1回またはそれ以上の回数、さらに置換することが可能である。用いられる特定の置換基は、特定のアプリケーションに対して好ましい特性を達成するために当業者により選択されることが可能であり、例えば、電子吸引性置換基、電子供与性置換基、および立体置換基を含むことができる。分子が2つまたはそれ以上の置換基を有するとき、それらの置換基は、他に特に規定がなければ、縮合環のような環を形成するために共に結合されることが可能である。一般に、上記の置換基は、最大48個の炭素原子であって、典型的には1乃至36個の炭素原子であって、通常は24個より少ない炭素原子を含むことが可能であるが、選択される特定の置換基に応じてそれ以上の数が可能である。置換は、ベンゾ縮合誘導体、ジベンゾ縮合誘導体、ナフサ縮合誘導体またはジナフト縮合誘導体等の縮合環誘導体を含むことができるが、これらに限定するものではない。さらに、同様に、これらの縮合環誘導体を置換することができる。
発光材料または周期的利得領域100を1つのホスト材料から構成することができるが、さらに一般的には、光発光が主にドーパントから発生し、いずれの色とすることができるゲスト化合物(ドーパント)がドープされたホスト材料から構成することができる。このようなホスト−do−ドーパントの組み合わせは、それらが利得媒体に対して非常に小さい非ポンプ散乱/吸収損失(1cm−1より小さくすることができる)を結果的にもたらす。ドーパントは、通常、高蛍光性色素から選択されるが、例えば、国際公開第WO98/55561号パンフレット、国際公開第WO00/18851号パンフレット、国際公開第WO00/57676号パンフレットおよび国際公開第WO00/70655号パンフレットにおける有機発光ダイオード(OLED:Organic Light Emitting Diode)のアプリケーションについて説明されているような遷移金属化合物等の燐光発光性化合物はまた、有用である。ドーパントは、一般に、ホスト材料に重量%で0.01乃至10%程度コーティングされ、それらは、赤、緑または青いずれの色相を有する発光光を提供するために選択することができる。赤の発光層に対する有用なホスト−ドーパントの組み合わせの例は、ホスト材料としてAlq(アルミキノリール錯体)、ドーパントとして1%のL39[4−(ジシアノメチレン)−2−t−ブチル−6−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジル−9−エニル)−4H−ピランである。
ドーパントとしての色素を選択するための重要な関係は、ドーパント材料の吸収とホスト材料の発光との比較である。ホストからドーパントの分子への効率的なエネルギー移動(Forsterエネルギー移動)のために必要な条件は、ドーパントの吸収がホスト材料の発光と重なることである。当業者は、ホスト材料とドーパント材料との間の非放射性エネルギー移動を含むForsterエネルギー移動の概念に精通している。ホスト材料を選択するための重要な関係は、ホスト材料の吸収がポンプ光60の発光スペクトルと重なることである。さらに、ホスト材料またはドーパントを加えたホスト材料の吸収は装置10のレーザ発光波長において小さいことである。吸収の許容水準は、ホスト−ドーパントの組み合わせの吸収係数がレーザ発光波長において10cm−1より小さいことである。
有用な蛍光発光材料は、文献I.B.Berlman,“Handbook of Fluorescence Spectra of Aromaatic Molecules”,Academic Press, New York, 1971 and EP 1 009 041に記載されているような多環性芳香族化合物を含む。3つ以上のアミン基をもつ第3級芳香族アミンはオリゴマー材料を含んで用いられることが可能である。
他の有用な発光材料(ホストまたはドーパントに対する)の類は、芳香族第3級アミンを含み、後者は、芳香族環の一員である少なくとも1つの炭素原子のみに結合する少なくとも1つの3価の窒素原子を含む化合物であると理解される。1つの形態において、芳香族第3級アミンは、モノアリールアミン、ジアリールアミン、トリアリールアミンまたはオリゴメリックアリールアミン等のアリールアミンとすることができる。例としてのモノマーのトリアリールアミン基は、Klupfel等による米国特許第3,180,730号明細書に示されている。1つまたはそれ以上のビニル基と置換されるおよび/または少なくとも1つの活性水素を含む置換基から構成される他の適切なトリアリールアミンについては、Brantley等による米国特許第3,567,450号明細書および米国特許第3,658,520号明細書に記載されている。
より好適な芳香族第3級アミンの類は、米国特許第4,720,432号明細書および米国特許第5,061,569号明細書に記載されている少なくとも2つの芳香族第3級アミン部分を含む類である。そのような化合物は、次の構造式Aにより表される化合物を含む。
Figure 2004336033
ここで、Q1およびQ2は、独立的に選択された芳香族第3級アミン部分、Gは、炭素間結合のアリレン基、シクロアルキレン基またはアルキレン基等の結合基である。実施形態においては、少なくとも1つのQ1またはQ2は、例えばナフタレン基等の多環式縮合構造を含む。Gがアリール基であるとき、それは、便利なことに、フェニレン基、ビフェニレン基またはナフタレン基の部分である。
構造式Aを満足し且つ2つのトリアリールアミン部分を含むトリアリールアミンの有用な類は、構造式Bにより表される。
Figure 2004336033
ここで、RおよびRは、それぞれ、水素原子、アリール基またはアルキル基を独立して表し、或いは、RおよびRはシクロアルキル基の完成する原子、を共に表す。そして、RおよびRは各々、次の構造式Cにより表されアリールル置換アミノ基でまた置換されたアリール基を独立して表す。
Figure 2004336033
ここで、RおよびRは、独立して選択されたアリール基である。一実施形態においては、少なくとも1つのRまたはRは、例えば、ナフタレン等の多環式縮合環構造を含む。
ホスト材料は、置換または非置換トリアリールアミン化合物をから構成されることができる。他の芳香族第3級アミンの類はテトラアリールジアミンである。好適なテトラアリールジアミンは、アリレン基により結合される、構造式Cにより表されるような2つのジアリールアミノ基を含む。有用なテトラアリールジアミンは、構造式Dにより表されるものを含む。
Figure 2004336033
ここで、各々のAreは、フェニレン基またはアントラセン部分のような独立して選択されたアリレン基であり、nは1乃至4の整数であり、Ar、R、RおよびRは独立して選択されたアリール基である。
代表的な実施形態においては、少なくとも1つのAr、R、RおよびRは、例えば、ナフタレン等の多環式縮合環構造である。
種々のアルキル基、アルキレン基、アリール基および前記構造式A、B、C、Dのアリレン基部分は、各々、さらに置換されることができる。代表的な置換基は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリルオキシ基並びにフッ素、塩素および臭素等のハロゲンを含む。種々のアルキル基およびアルキレン基部分は、一般に、1乃至6個の炭素原子を含む。シクロアルキル基部分は3乃至10個の炭素原子を含むことができるが、代表的には、 5個、6個または7個の炭素原子であって、例えば、シクロペンチル環構造、シクロへキシル環構造およびシクロヘプチル環構造を含む。
発光材料は、1つまたは混合された芳香族第3級アミン化合物から構成することができる。具体的には、構造式Dにより表されるテトラアリールジアミンと組み合わせて、構造式Bを満足するトリアリールアミン等のトリアリールアミンを用いることが可能である。次に、有用な芳香族第3級アミンを例示する。
4,4’−N,N’−ジカルバゾール−1,1’−ビフェニル(CBP)(D1)
4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(D2)
4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−(2−ナフチル)アミノ]ビフェニル(D3)
4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−p−トリルアミノビフェニル(D4)
1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン
1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン
4,4’−ビス(ジフェニルアミノ)クアドリフェニル
ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)−フェニルメタン
N,N,N−トリ(p−トリル)アミン
4−(ジ−p−トリルアミノ)−4’−[4(ジ−p−トリルアミノ)−スチリル]スチルベン
N,N,N’,N’−テトラ−p−トリル−4−4’−ジアミノビフェニル
N,N,N’,N’−テトラフェニル−4−4’−ジアミノビフェニル
N,N,N’,N’−テトラ−1−ナフチル−4−4’−ジアミノビフェニル
N,N,N’,N’−テトラ−2−ナフチル−4−4’−ジアミノビフェニル
N−フェニルカルバゾール
4,4”−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]p−テルフェニル
4,4’−ビス[N−(2−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(3−アセナフテニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
1,5−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ナフタレン
4,4’−ビス[N−(9−アントリル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4”−ビス[N−(1−アントリル)−N−フェニルアミノ]p−テルフェニル
4,4’−ビス[N−(2−フェナントリル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(8−フルオランテニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(2−ピレニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(2−ナフタセニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(2−ペリレニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
4,4’−ビス[N−(1−コロネニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル
2,6−ビス(ジ−p−トリルアミノ]ナフタレン
2,6−ビス[ジ−(1−ナフチル)アミノ]ナフタレン
2,6−ビス[ジ−(1−ナフチル)−N−(2−ナフチル)アミノ]ナフタレン
N,N,N’,N’−テトラ(2−ナフチル)4−4’−ジアミノ−p−テルフェニル
4,4’−ビス{N−フェニル−N−[4−(1−ナフチル)−フェニル]}ビフェニル
4,4’−ビス[N−フェニル−N−(2−ナフチル)アミノ]ビフェニル
2,6−ビス[N,N−ジ−(2−ナフチル)アミノ]フルオレン
1,5−ビス[1−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ナフタレン
4,4’,4”−トリス[(3−メチルフェニル)フェニルアミノ]トリフェニルアミン
ホスト材料を置換または非置換アザ芳香族化合物から構成することができる。例えば、ホスト材料は、置換または非置換アクリジン、キノリン、プリン、フェナジン、フェノキサジン或いはフェナントロリン化合物から構成することができる。カルバゾール誘導体は有用なホストである。有用なフェナントロリン材料の例は、2,9−ジメチル−4,7−ジフェニル−1−10−フェナントロリンおよび4,7−ジフェニル−1−10−フェナントロリンを含む。
ホストおよびドーパント分子は、米国特許第4,768,292号明細書、米国特許第5,141,671号明細書、米国特許第5,150,006号明細書、米国特許第5,151,629号明細書、米国特許第5,405,709号明細書、米国特許第5,484,922号明細書、米国特許第5,953,788号明細書、米国特許第5,645,948号明細書、米国特許第5,683,823号明細書、米国特許第5,755,999号明細書、米国特許第5,928,802号明細書、米国特許第5,953,720号明細書、米国特許第5,935,721号明細書および米国特許第6,020,078号明細書に開示されているものを含むが、これらに限定されるものではない。
8−ヒドロキシ気のリンおよび類似する誘導体(構造式E)から成る金属錯体は、エレクトロルミネセンスを支援することができる有用なホスト材料の1つの類を構成し、500nmより長い波長であって、例えば、緑、黄、オレンジおよび赤の発光に特に適する。
Figure 2004336033
ここで、Mは金属を表し、nは1乃至3の整数であり、Zは各々の存在において少なくとも2つの縮合芳香族環を有する核から構成される原子を独立して表す。
上記から、金属は1価、2価、3価または4価をとることができることが明らかである。金属は、例えば、リチウム、ナトリウムまたはカリウムのようなアルカリ金属、マグネシウムまたはカルシウムのようなアルカリ土類金属、アルミニウムまたはガリウムのような土類金属または亜鉛またはジルコニウムのような遷移金属とすることができる。一般に、有用な気レート金属であることが知られている、いずれの1価、2価、3価または4価の金属を用いることができる。
Zは、少なくとも2つの縮合芳香族環であって、そのうちの少なくとも1つはアゾールまたはアジン環である、縮合芳香族環を含む複素環核を完成する。必要に応じて、脂肪族環および芳香族環の両方を含む付加的な環を、2つの必要とされる環と縮合することができる。改善を伴わずに分子バルクに機能を付加しないことを回避するために、環原子数は常に18個またはそれ以下に保たれる。
ホスト材料は、置換または非置換キレートオキシノイド化合物から構成されることができる。
次に有用なキレートオキシノイド化合物を例示する。
CO−1:アルミニウムトリスオキシン[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム(III)]
CO−2:マグネシウムビスオキシン[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)マグネシウム(II)]
CO−3:ビス[ベンゾ{f}−8−キノリノラート]亜鉛(II)
CO−4:ビス(2−メチル−8−キノリノラート)アルミニウム(III)−μ−オキソ−ビス(2−メチル−8−キノリノラート)アルミニウム(III)
CO−5:インジウムトリスオキシン[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)インジウム]
CO−6:アルミニウムトリス(5−メチルオキシン)[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム(III)]
CO−7:リチウムオキシン[エイリアス、(8−キノリノラート)リチウム(I)]
CO−8:ガリウムオキシン[エイリアス、トリス(8−キノリノラート)ガリウム(III)]
CO−9:ジルコニウムオキシン[エイリアス、テトラ(8−キノリノラート)ジルコニウム(IV)]
ホスト材料は置換または非置換アントラセン化合物を含むことができる。
9,10−ジ−(2−ナフチル)アントラセン(構造式F)は、フォトルミネッセンスを支援することができる有用なホストの1つの類から構成され、400nmより長い波長であって、例えば、青、緑、黄または赤の発光に対して特に適しており、構造式Fにおいて、R、R、R、R、RおよびRは各々の環における1つまたはそれ以上の置換基を表し、
Figure 2004336033
ここで、各々の置換基を次の群から独立して選択することができる。
群1:水素または1乃至24個の炭素原子を含むアルキル基;
群2:5乃至20個の炭素原子を含むアリール基または置換アリール基;
群3:アントラセニル基、ピレニル基またはペリレニル基の縮合芳香族環を完成させるために必要な4乃至24個の炭素原子;
群4:フリル基、チエニル基、ピリジル基、キノリニル基または他の複素環系の縮合複素芳香族環を完成させるために必要に応じて5乃至24個の炭素原子を含むヘテロアリール基または置換ヘテロアリール基;
群5:1乃至24個の炭素原子を含むアルコキシルアミノ基、アルキルアミノ基またはアリルアミノ基
群6:フッ素、塩素、臭素またはシアノ基
例示としての例は、9,10−ジ−(2−ナフチル)アントラセン(F1)と2−t−ブチル−9,10−ジ−(2−ナフチル)アントラセン(F2)とを含む。他のアントラセン誘導体はホストとして有用であり、9,10−ビス−(4−(2,2’−ジフェニルエテニル)フェニル)アントラセンを含む。
ベンゾール誘導体(構造式G)は、フォトルミネッセンスを支援することができる他の有用なホストの類を構成し、400nmより長い波長の発光であって、例えば、青、緑、黄、オレンジまたは赤の発光に対して特に適切である。
Figure 2004336033
ここで、
nは3乃至8の整数であり、
ZはO、NRまたはSであり、並びに、
RおよびR’は、個々に、水素;例えば、プロピル基、t−ブチル基、ヘプチル基等の1乃至24個の炭素原子を含むアルキル基;例えば、フェニル基およびナフチル基、フリル基、チエニル基、ピリジル基、キノリニル基および他の複素環系の5乃至20個の炭素原子を含むアリール基またはヘテロ原子置換アリール基;または、クロロ、フルオロ等のハロ;または、縮合アロマチック環を完成させるために必要な原子、であり、
Lは、アルキル基、アリール基、置換アルキル基または置換アリール基から構成される結合単位であって、複数のベンゾアゾールを共に共役または非共役結合する。有用なベンゾアゾールの一例は、2,2’,2”−(1,3,5−フェニレン)トリス[1−フェニル−1H−ベンズイミドアゾール]である。
ホスト材料は、置換または非置換ベンゾオキサゾール化合物、置換または非置換ベンゾオキサゾール化合物または置換または非置換ベンズイミダゾール化合物から構成さえることができる。ホスト材料は、置換または非置換オキサゾール化合物、置換または非置換トリアゾール化合物または置換または非置換オキサジアゾール化合物から構成さえることができる。オキサゾール化合物の有用な例は、1,4−ビス(5−フェニルオキサゾール−2−イル)ベンゼン、1,4−ビス−(4−メチル−5−フェニルオキサゾール−2−イル)ベンゼンおよび1,4−ビス−(5−(p−ビフェニル)オキサゾール−2−イル)ベンゼンを含む。有用なオキサジアゾール化合物の例は、2−(4−ビフェニルイル)−5−フェニル−1,3,4−オキサゾールおよび2−(4−ビフェニルイル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサゾールを含む。有用なトリアゾール化合物の例は、3−(4−ビフェニル)−4−フェニル−5−tert−ブチルフェニル−1,2,4−トリアゾールを含む。
ジスチリルアリーレン誘導体はまた、ホスト材料またはドーパント材料として有用であり、多くの例が米国特許第5,121,029号明細書に記載されている。有用な発光材料(ホストおよびドーパント)は、次の一般的な構造式(H)または(I)を有することができる。
Y−CH=CH−Y−CH=CH−Z (H)
X−(CH=CH)−Z (I)
ここで、XおよびYは、単独で、置換または非置換芳香族基或いは1つの窒素原子を有する置換または非置換芳香族複素環基であり、nは1,2または3であり、Yは2価の芳香族基または1つの窒素原子を有する2価の芳香族複素環基である。有用な例は、4−ビス(2−メチルスチリル)−ベンゼン、4,4−(9,10−アントラセンジイルジ−2,1−エテンジール)ビス(N,N−ビス(4−メチルフェニル)ベンゼンアミン、4,4−(1,4−ナフタレンジイルジ−2,1−エテンジール)ビス(N,N−ビス(4−メチルフェニル)ベンゼンアミン、4,4−(1,4−フェニレンジ−2,1−エテンジール)ビス(N,N−(4−トリル)ベンゼンアミンを含む。
ドーパントは300乃至1700nmの範囲内の発光を提供するために選択される。ドーパントは、蛍光色素または燐光色素から選択されることができる。有用な蛍光ドーパントは、上記においてホスト材料として説明した材料を含む。他の有用な蛍光ドーパントは、置換または非置換アントラセン、テトラセン、キサンテン、ぺリレン、ルブレン、クマリン、ローダミンおよびキナクリドン、ジシアノメチレンピラン化合物、チオピラン化合物、ポリメチン化合物、ピリリウムおよびチアピリリウム化合物、フルオレン誘導体、ぺリフランテン誘導体、インデノペリレン誘導体、ビス(アジニル)アミンホウ素化合物、ビス(アジニル)メタン化合物、ナフチリジン、フルオランテン、フラン、インドール、チアフェン、ベンゾキサンテン、ピレン、ペロピレン、ターフェニル、クォターフェニル、キンケフェニル、セクシフェニル、アンタンスレン、ビスアンスレン化合物、N,N,N’,N’−四置換ベンジデン誘導体、N,N,N’,N’−テトラリルベンジデン誘導体およびカルボスチリル化合物またはそれらの組み合わせを含むが、それらに限定されるものではない。これらの材料の類の誘導体はまた、有用なホスト材料またはそれらの組み合わせとしての役割を果たす。ホスト材料は、しばしば、少なくとも3つのフェニレン部分を含む化合物である。
例示としての有用なドーパントの例を次に示すが、それらに限定されるものではない。
Figure 2004336033
Figure 2004336033
Figure 2004336033
Figure 2004336033
Figure 2004336033
他の発光材料は、米国特許第4,539,507号明細書に記載されているような種々の複素環式光学増白剤を含む。
発光材料はまた、高分子材料、2つまたはそれ以上の高分子材料の混合物、またはドープされたポリマー或いはポリマーの混合物とすることができる。発光材料はまた、ドーパントをもつまたはもたない2つ以上の非高分子または高分子材料の組み合わせとすることができる。代表的なドーパントについては、非高分子に対して既にリストを挙げている。非高分子のドーパントは、高分子のホスト内に分子的に分散されることができ、または、ドーパントはホストのポリマー内に微量成分を重合させることにより添加されることが可能である。代表的な高分子材料は、Diaz−Garcia等による米国特許第5,881,083号明細書とその中の参照文献において教示されているように、置換および非置換ポリ(p−フェニレンビニレン)(PPV)誘導体、置換および非置換ポリ(p−フェニレン)(PPP)誘導体、置換および非置換ポリフルオレン(PF)誘導体、置換および非置換ポリ(p−ピリジン)、置換および非置換ポリ(p−ピリダルビニレン)誘導体、置換、非置換ポリ(p−フェニレン)ラダーおよびステップラダーポリマー、並びにそれらの共重合体を含むが、これらに限定されるものではない。置換基は、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリロキシ基、アミノ、ニトロ、チオ、ハロ、ヒドロキシおよびシアノを含むが、これらに限定されるものではない。代表的なポリマーは、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ジアルキル−、ジアリール−、ジアミノ−またはジアルコキシ−置換PPV、モノアルキル−ものアルコキシ−置換PPV、モノアリル置換PPV、9,9−ジアルキルまたはジアリール置換PF、9,9−モノアルキル−モノアリル置換PF、9−モノアルキルまたはアリール置換PF、PPP、ジアルキル−、ジアミノ−、ジアリール−またはジアルコキシ−置換PPP、モノアルキル−、アリール−、アルコキシ−またはアミノ−置換PPPである。さらに、高分子材料としては、ポリ(N−ビニルカルバゾール)(PVK)、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリンおよびPEDOT/PSSと呼ばれるポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(4−スチレンスルホネート)のような共重合体等を用いることができる。
上記の有機材料は昇華により適切に析出されるが、フィルム形成を改善するためにオプションのバインダーを添加した溶剤から析出されることができる。材料がポリマーである場合、溶剤析出が通常好適である。昇華により析出される材料は、例えば米国特許第6,237,529号明細書に記載されているようなタンタル材料からしばしば構成される昇華器“ボート”から気化されることができ、先ず、ドナーシートに析出され、次いで、基板に近接した状態で昇華されることができる。混合材料をもつ層は、別々の昇華器のボートを利用してまたはその混合材料を前混合して、1つのボートまたはドナーシートからコーティングされることができる。パターニングされた析出は、シャドーマスク、組み合わせシャドーマスク(米国特許第5,294,870号明細書参照)、ドナーシートからの空間的規定熱色素移送(米国特許第5,688,551号明細書、米国特許第5,851,709号明細書および米国特許第6,066,357号明細書参照)およびインクジェット方法(米国特許第6,066,357号明細書参照)を用いて達成される。
殆どの有機層装置は、湿気または酸素、或いはそれら両方に対して敏感であり、それ故、それらは、一般に、窒素またはアルゴンのような貴な雰囲気内に封止されている。例えば、アルミナ、ボーキサイト、硫化カルシウム、粘土、シリカゲル、ゼオライト、アルカリ金属酸化物、アルカリ土類金属酸化物、硫酸塩、または金属のハロゲン化物過塩素酸塩および過塩素酸塩等の乾燥剤を封止された装置内に加えることができる。カプセル化および乾燥のための方法は、米国特許第6,226,890号明細書において記載された方法を含むが、それらに限定されるものではない。さらに、SiOx、テフロン(登録商標)および無機/高分子の交互層のようなバリア層は、封止のために、当該技術分野において周知である。
図4は、本発明の一実施形態であって、2次元レーザアレイ装置200を示している。この装置は、大きい面積のレーザ構造のための単一モードまたはマルチモードのどちらかのレーザ発振動作を可能にする。基板30に、底部誘電体積層体30が析出される。活性領域40が次いで析出され、その次に上部誘電体積層体50が析出される。レーザ装置10のためのデザインに類似して、活性領域40は、1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域100と周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ配置される無機スペーサ層110を含み、それ故、周期的有機利得領域は装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされる。底部誘電体積層体30および上部誘電体積層体50の組成および分光反射率はまた、レーザ装置10に用いられるそれらと類似している。
図5に示すように、VCSELの表面において単一モードまたはマルチモードのどちらかで発光する、2次元レーザアレイ200を形成するために、ピクセル間領域210により分離されるレーザ発振ピクセル220を規定することが必要である。単一モードまたはマルチモードのレーザ発振特性を有する2次元レーザアレイが生成される無機システムに対して、ピクセル220は、金属を添加すること(E.KaponおよびM.Orensteinによる米国特許第5,086,430号明細書参照)または上部誘電体積層体を深くエッチングすることのどちらかにより上部誘電体積層体の反射率を調節することにより形成された。両方の無機レーザアレイの場合には、レーザピクセルは、3乃至5μm程度の幅であり、ピクセル間の幅は1乃至2μmであった。一端、有機層が析出されると、レーザ構造におけるミクロンスケールのパターニングを実行することは非常に困難であるため、有機レーザシステムにこれらの結果を適用するためには幾つかの注意が必要である。結果的に、好適な実施形態においては、反射率の調節は、標準的なフォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、底部誘電体積層体30においてパターニングしてエッチング領域150を形成することにより影響され、それ故、底部誘電体積層体30の表面に円柱の2次元アレイを形成する。好意的な実施形態においては、レーザピクセルの形状は円形であるが、他のピクセルの形状、例えば、矩形が可能である。ピクセル間距離は0.25乃至4μmの範囲内である。画素間の反射率を著しく小さくするために、無機の方法に従うことおよび底部誘電体積層体30を深くエッチングすることは、活性領域の位置の深刻な調節に導くために、好適な方法ではない。好適な方法は、エッチング領域150を形成するために50nmから450nmまでの範囲の浅いエチングを形成することである。エッチング領域150の形成の最終的成果は、レーザ発光がレーザピクセルに適度に制限され、レーザ発振の最小量がピクセル間領域210から発生し、単一モードまたはマルチモードのどちらかのレーザ光がアレイ200から発光することである。
図5におけるレーザピクセル220は四角形の2次元アレイ状に配列されている。レーザピクセル220の他の配列であって、例えば、線形アレイまたは他の2次元のアレイの周期的或いはランダムな配列が可能である。
第1の実施形態に類似するが、ポンプ光パワー密度が増加した結果としてレーザ発光のスペクトルの広がりの程度を減少させるために、無機スペーサ層110を活性層40に用いる。第1実施形態におけるように、スペーサ層のために無機誘電体材料を用いる優位性は、無機誘電体材料は熱光学係数が小さく、可視光領域において一般に透明であることである。
2次元レーザアレイ装置200は、入射ポンプ光ソース60により光学的に駆動され、単一モードまたはマルチモードのどちらかのレーザ発光70が生じる。有機レーザキャビティのレーザ発振パワー密度の閾値に依存して、ポンプ光はフォーカシングされたレーザ光または非コヒーレントなLED光とすることができる。図4は、上部誘電体積層体50を透過するレーザ発光を示している。また、レーザ構造は、誘電体積層体の反射率特性の正確なデザインにより基板20を透過するレーザ発光を用いて、上部誘電体積層体50を通して光ポンピングされることが可能である。不透明な基板(例えば、シリコン)の場合、光ポンピングとレーザ発光の両方が上部誘電体積層体50を通して生じる。光ポンピングされる有機レーザアレイ装置の動作は次のような手段により得られる。ポンプ光60は、基板20および底部誘電体積層体30を通って透過し、周期的有機利得領域100により吸収され、ポンプ光エネルギーの一部はより長い波長のレーザ光として再発光される。ポンプ光60が基板20を通って入るとき、レーザ出力が上部誘電体積層体50を通って主に出ることを確実にするために、上部誘電体積層体50のピーク反射率より大きくなるように底部誘電体積層体30のピーク反射率を選択することが必要である。装置のパワー変換効率を改善するためには、底部誘電体積層体30がポンプ光60に対して高い透過性を有し、上部誘電体積層体50がポンプ光60に対して高い反射性を有するように、両方の誘電体積層体に付加的な誘電体層を付加することが一般的な方法である。レーザ光70はレーザピクセル220により発光する。
本発明の他の実施形態においては、上部誘電体積層体50は、反射性金属ミラー層の析出により置き換えられる。代表的な金属は、90%より大きい反射率を有する銀またはアルミニウムである。下地の有機層を損傷することを回避するために、それらの金属は、真空蒸着法により析出されることが好適である。これに代わる実施形態としては、ポンプ光60およびレーザ発光70は基板20を通して進行する。
以下の例は、本発明のさらに理解を深めるために提供するものであるが、それは限定的であるして解釈されるべきでない。
例1
活性領域40において無機スペーサ層110を用いるレーザ発振特性における衝撃を決定するために、前洗浄した6インチ角の石英基板20にレーザ装置10を作製した。基板20に、従来の電子ビーム蒸着法により240℃において、TiOおよびSiOそれぞれの高反射率層および低反射率層の交互層から構成された底部誘電体積層体30を析出した。結果として得られた誘電体ミラーは、560nmにおいて約93%の測定ピーク反射率を有していた。底部誘電体積層体30には、膜厚が30nmである、高真空蒸着により析出された1つの周期的有機利得領域100を含む活性領域40を析出した。その利得領域を、電子ビーム蒸着により析出されたSiOにより構成された165nmの膜厚の2つの無機スペーサ層110により囲んだ。底部のSiOに対しては、240℃において電子ビーム蒸着を施した一方、上部のSiOに対しては、70℃において電子ビーム蒸着を施した。活性領域40に続いて、TiOおよびSiOのλ/4の交互層から構成される29層の上部誘電体積層体を析出した。
その分光特性をテストするために、5mWのNichia社製のレーザダイオードからの403nmの出力を用いて、レーザキャビティを、垂直入射で膜の側から光学的にポンピングした。ポンプレーザは5KHzの繰返し率において50nsecのレーザパルスを生成した。ポンプ光強度を、2つのニュートラルデンシティホイールの組み合わせにより調節し、1000mmのレンズを用いて、レーザキャビティの表面にフォーカシングした。その結果、装置表面において測定したポンプ光は楕円形であり、そのスポットサイズは177x243μmであった。そのキャビティからのレーザ出力70は、とスリットに最も近い100mmのf4レンズと50mmのf2レンズとの組み合わせによりJY−Horiba社製のダブルモノクロメータ(0.55m)の入り口スリットにおいてフォーカシングされた(その結果、レーザの近視野像の2Xの拡大が得られた)。モノクロメータの解像度速く0.08nmであり、その出力は、冷却されたHamamatsu社製の光電子増倍管により検出した。
図6は、活性領域40において有機スペーサ層をもつ先行技術の装置(図1において測定された装置のスペクトルに対する類似成分)と無機スペーサ層110をもつ装置とに対するレーザ発光の相対スペクトル線幅について示している。それら2つの装置はいくらか異なる閾値においてレーザ発振したため、ポンプ光パワー密度は、透過のレーザ発振出力パワーにおいて比較がなされるように、図6においては規格化している。図6は、後者の装置のレーザ発光スペクトルの幅は全く広がっておらず、実際、そのスペクトルの幅は、ポンプ光パワー密度の増加につれて、幾らか小さくなっている。他方、先行技術の装置のスペクトルの幅は、最も小さいポンプ光パワー密度において、光学的に急激に広がっている。図6の結果は、活性領域40において無機のスペーサ層110を用いることにより、ポンプ光パワー密度の増加に対して、スペクトルの線幅の広がりの著しい減少をもたらされることを示している。
先行技術の有機垂直キャビティレーザ装置についての入力ポンプ光パワーの関数としてレーザ発光の相対スペクトル線幅を示すグラフである。 本発明に従った光ポンピング有機ベース垂直キャビティレーザの模式的な側面図である。 本発明に従った活性領域における利得領域の配置を示す光ポンピング有機ベース垂直キャビティレーザの模式的な側面図である。 本発明に従って作製された光ポンピング2次元有機垂直キャビティレーザの模式的な側面図である。 本発明に従って作製された光ポンピング2次元有機垂直キャビティレーザの模式的な平面図である。 本発明に従って作製された装置と先行技術の有機垂直キャビティレーザ装置についての入力パワーの関数としてのレーザ発光の相対スペクトル線幅を示すグラフである。
符号の説明
10 垂直キャビティ有機レーザ装置
20 基板
30 底部誘電体積層体
40 活性領域
50 上部誘電体積層体
60 ポンプ光
70 レーザ発光
100 周期的利得領域
110 無機スペーサ層
120 レーザの定在波電磁場パターン
150 エッチング領域
200 2次元レーザアレイ装置
210 ピクセル間領域
220 ピクセル

Claims (10)

  1. a)基板;
    b)所定の波長範囲において光を反射する底部誘電体積層体;
    c)レーザ光を生成するための活性領域;並びに
    d)底部誘電体積層体から間隔を置き且つ所定の波長範囲において光を反射する上部誘電体積層体;
    から構成される垂直キャビティレーザ光生成装置であって、
    e)活性領域は1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層とを含む;
    ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
  2. 請求項1に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、ポンプ光は少なくとも1つの前記誘電体積層体を透過して前記活性領域に導かれる、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
  3. 請求項1に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、前記活性領域は有機ホスト材料とドーパントとの組み合わせであり、前記無機スペーサ層はポンプ光とレーザ光に対して実質的に透明である、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
  4. 請求項3に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、前記ホスト材料はアルミニウムトリス(8−ヒドロキシキノリン)であり、前記ドーパントは[4−(ジシアノメチレン)−2−t−ブチル−6−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジル−9−エニル)−4H−ピラン]であり、前記無機スペーサ層は二酸化珪素を含む、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
  5. 請求項1に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、前記周期的有機利得領域は高分子材料を含む、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
  6. a)基板;
    b)所定の波長範囲において光を反射する第1誘電体積層体;
    c)レーザ光を生成するための活性領域;並びに
    d)第1誘電体積層体から間隔を置き且つ光を反射する金属層;
    から構成される垂直キャビティレーザ光生成装置であって、
    e)活性領域は1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層とを含む;
    ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
  7. a)基板;
    b)所定の波長範囲において光を反射し基板に析出される底部誘電体積層体;
    c)レーザ光を生成するための活性領域;並びに
    d)底部誘電体積層体から間隔を置き且つ所定の波長範囲において光を反射する上部誘電体積層体;
    から構成される垂直キャビティレーザ光生成装置であって、
    e)活性領域は1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域と周期的有機利得領域のどちらかの側に析出され且つ周期的有機利得領域が前記装置の定在波電磁場の腹に位置合わせされるように配列された無機スペーサ層とを含む;
    f)ピクセル間領域より大きい反射率を有する、間隔を置くレーザピクセルのアレイを規定するために底部誘電値積層体の表面に形成されたエッチング領域であって、それ故、前記アレイはシングルモードまたはマルチモードのどちらかのレーザ光を発光する、エッチング領域;
    からさらに構成されることを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
  8. 請求項7に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、ポンプ光は少なくとも1つの前記誘電体積層体を透過して前記活性領域に導かれる、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
  9. 請求項7に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、1つまたはそれ以上の周期的有機利得領域は有機ホスト材料とドーパントとの組み合わせであり、前記無機スペーサ層はポンプ光とレーザ光に対して実質的に透明である、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
  10. 請求項7に記載の垂直キャビティレーザ光生成装置であって、ピクセルの間隔は0.25乃至4μmの範囲内である、ことを特徴とする垂直キャビティレーザ光生成装置。
JP2004128618A 2003-05-07 2004-04-23 無機スペーサ層を有する垂直キャビティレーザ装置 Expired - Fee Related JP4522135B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/431,056 US6836495B2 (en) 2003-05-07 2003-05-07 Vertical cavity laser including inorganic spacer layers

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004336033A true JP2004336033A (ja) 2004-11-25
JP4522135B2 JP4522135B2 (ja) 2010-08-11

Family

ID=32990531

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004128618A Expired - Fee Related JP4522135B2 (ja) 2003-05-07 2004-04-23 無機スペーサ層を有する垂直キャビティレーザ装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6836495B2 (ja)
EP (1) EP1475869B1 (ja)
JP (1) JP4522135B2 (ja)
KR (1) KR101012942B1 (ja)
CN (1) CN100375351C (ja)
DE (1) DE602004010740T2 (ja)
TW (1) TWI328908B (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6950454B2 (en) * 2003-03-24 2005-09-27 Eastman Kodak Company Electronic imaging system using organic laser array illuminating an area light valve
US20060291769A1 (en) * 2005-05-27 2006-12-28 Eastman Kodak Company Light emitting source incorporating vertical cavity lasers and other MEMS devices within an electro-optical addressing architecture
CN100433474C (zh) * 2007-03-30 2008-11-12 东南大学 棱镜式垂直腔面发射激光器
US20100236625A1 (en) * 2009-02-20 2010-09-23 John Kenney Solar Modules Including Spectral Concentrators and Related Manufacturing Methods
US8774573B2 (en) * 2009-02-20 2014-07-08 OmniPV, Inc. Optical devices including resonant cavity structures
US20100224248A1 (en) * 2009-02-20 2010-09-09 John Kenney Solar Modules Including Spectral Concentrators and Related Manufacturing Methods
KR102091429B1 (ko) 2019-03-12 2020-04-24 초연결 주식회사 실리콘으로 마감 처리되는 모서리 부분의 강도 향상용 보강 유닛 및 그 보강 유닛을 이용한 모서리 부분 마감 처리 방법
KR102236028B1 (ko) 2020-11-27 2021-04-05 유지씨 주식회사 실리콘으로 마감 처리되는 틈새 부위의 강도 향상용 보강 유닛 및 그 보강 유닛을 이용한 틈새 부위 마감 처리 방법
CN113410744B (zh) * 2021-06-17 2022-11-11 南京邮电大学 一种多功能有机薄膜激光器件、制备方法及其应用

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06283271A (ja) * 1993-03-26 1994-10-07 Ricoh Co Ltd 有機電界発光素子
US5446754A (en) * 1993-11-05 1995-08-29 Photonics Research Incorporated Phased array semiconductor laser
JPH07320864A (ja) * 1994-05-20 1995-12-08 At & T Corp 微小空胴光源を含む製品
US5493577A (en) * 1994-12-21 1996-02-20 Sandia Corporation Efficient semiconductor light-emitting device and method
JPH10501927A (ja) * 1995-04-12 1998-02-17 オプティカル コンセプツ,インコーポレイティド 垂直に集積された光ポンプを備えたレーザー放射用の長波長垂直キャビティ表面
JPH10321941A (ja) * 1997-05-13 1998-12-04 Lucent Technol Inc 固体電磁放射源からなる装置
JP2001094209A (ja) * 1999-09-03 2001-04-06 Agilent Technol Inc 垂直共振器表面発光レーザーの光共振器損失を最小化する方法
JP2002500823A (ja) * 1997-05-09 2002-01-08 ザ トラスティーズ オブ プリンストン ユニバーシテイ 有機レーザー
JP2002329913A (ja) * 2001-04-11 2002-11-15 Eastman Kodak Co レーザ発光装置
JP2004530928A (ja) * 2001-06-18 2004-10-07 アイギス セミコンダクター インコーポレイテッド 屈折率同調可能薄膜干渉コーティング

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5513203A (en) * 1995-04-05 1996-04-30 At&T Corp. Surface emitting laser having improved pumping efficiency
US6160828A (en) * 1997-07-18 2000-12-12 The Trustees Of Princeton University Organic vertical-cavity surface-emitting laser
US5881083A (en) 1997-07-03 1999-03-09 The Regents Of The University Of California Conjugated polymers as materials for solid state laser
KR100319772B1 (ko) * 1999-12-02 2002-01-09 오길록 유기물 마이크로 공진 레이저
DE60033369T2 (de) * 1999-12-28 2007-11-29 Sanyo Electric Co., Ltd., Moriguchi Halbleiterlaservorrichtung
US6720090B2 (en) * 2001-01-02 2004-04-13 Eastman Kodak Company Organic light emitting diode devices with improved luminance efficiency
US6628694B2 (en) * 2001-04-23 2003-09-30 Agilent Technologies, Inc. Reliability-enhancing layers for vertical cavity surface emitting lasers
US6687274B2 (en) * 2002-02-04 2004-02-03 Eastman Kodak Company Organic vertical cavity phase-locked laser array device
US6870868B2 (en) * 2003-02-18 2005-03-22 Eastman Kodak Company Organic laser having improved linearity

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06283271A (ja) * 1993-03-26 1994-10-07 Ricoh Co Ltd 有機電界発光素子
US5446754A (en) * 1993-11-05 1995-08-29 Photonics Research Incorporated Phased array semiconductor laser
JPH07320864A (ja) * 1994-05-20 1995-12-08 At & T Corp 微小空胴光源を含む製品
US5493577A (en) * 1994-12-21 1996-02-20 Sandia Corporation Efficient semiconductor light-emitting device and method
JPH10501927A (ja) * 1995-04-12 1998-02-17 オプティカル コンセプツ,インコーポレイティド 垂直に集積された光ポンプを備えたレーザー放射用の長波長垂直キャビティ表面
JP2002500823A (ja) * 1997-05-09 2002-01-08 ザ トラスティーズ オブ プリンストン ユニバーシテイ 有機レーザー
JPH10321941A (ja) * 1997-05-13 1998-12-04 Lucent Technol Inc 固体電磁放射源からなる装置
JP2001094209A (ja) * 1999-09-03 2001-04-06 Agilent Technol Inc 垂直共振器表面発光レーザーの光共振器損失を最小化する方法
JP2002329913A (ja) * 2001-04-11 2002-11-15 Eastman Kodak Co レーザ発光装置
JP2004530928A (ja) * 2001-06-18 2004-10-07 アイギス セミコンダクター インコーポレイテッド 屈折率同調可能薄膜干渉コーティング

Also Published As

Publication number Publication date
CN100375351C (zh) 2008-03-12
DE602004010740D1 (de) 2008-01-31
US6836495B2 (en) 2004-12-28
EP1475869A2 (en) 2004-11-10
EP1475869A3 (en) 2005-07-27
KR101012942B1 (ko) 2011-02-08
US20040223525A1 (en) 2004-11-11
KR20040095683A (ko) 2004-11-15
DE602004010740T2 (de) 2008-12-24
TW200509489A (en) 2005-03-01
EP1475869B1 (en) 2007-12-19
CN1551429A (zh) 2004-12-01
JP4522135B2 (ja) 2010-08-11
TWI328908B (en) 2010-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6996146B1 (en) Providing an improved organic vertical cavity laser array device
JP2008505210A (ja) 選択的に光吸収をシフトさせる層と方法
US6876684B2 (en) Organic vertical cavity lasing device having organic active region
US6870868B2 (en) Organic laser having improved linearity
JP4522135B2 (ja) 無機スペーサ層を有する垂直キャビティレーザ装置
EP1408591B1 (en) Organic vertical cavity lasing devices having organic active region
JP4584633B2 (ja) 誘電体積層体におけるエッチングされた領域を有機垂直空洞共振器レーザーアレイに提供する方法
US7012942B2 (en) Modulating the properties of the gain region at spaced locations in an organic vertical cavity laser array device
US6928095B2 (en) Organic vertical cavity laser array device with varying pixel sizes

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070405

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090804

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091102

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100112

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100308

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100511

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100525

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130604

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees