JP2004335083A - 熱的に援助されたレコーディング内で高温を発生するためのディスク・ドライブ内にスライダの空気軸受面を構成する装置および方法 - Google Patents

Abstract

【課題】熱アシスト記録中、熱磁気記録に使用する熱源を提供する、改良型装置および方法が所望されている。
【解決手段】スライダ１２９とディスク１１５の間に流入する空気が加圧されて、ディスクを加熱するに十分な熱を生成する。空気軸受面（ＡＢＳ）の終端には、非常に小さい熱パッド２２１ａが配置され、磁気記録ヘッド２４１の回りを包み込んでいる。熱パッド２２１ａは加熱空気を収容する小さいポケットを備えており、熱をディスクに提供する。空気は、約８０atm まで加圧され、それは等エントロピー条件で摂氏約８００度まで空気温度を上昇させるに十分である。加熱空気は熱エネルギーを伝導でディスクに伝送し、ディスク面温度を摂氏２００度よりも高くする。これは、熱磁気記録に必要な記録層温度である。
【選択図】図２

Description

本発明は、ディスク・ドライバのための改善型空気軸受面に関し、より詳しくは、熱的アシスト記録中にディスクの面上に高温を生成するためにディスク・ドライブ・スライダの面に空気軸受面を構成する改善型装置および方法に関する。

一般に、データ・アクセス／記憶システムは、データを磁気記憶媒体または光学記憶媒体に記憶する一つ以上の記憶装置からなる。例えば、磁気記憶装置は、直接型アクセス記憶装置（ＤＡＳＤ）またはハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ）として知られており、また一つ以上のディスクおよびディスク・コントローラを含んでおり、ディスクに関連するローカル操作を管理する。ハード・ディスク自体は、普通アルミニウム合金またはガラスとセラミックの混合物で作られており、磁気コーティングで被覆されている。標準的には、１個から６個のディスクが、数千回転（ｒｐｍ）／分でディスク・ドライブ・モータによって回転される共通スピンドル上に垂直方向に積層されている。

また標準的なＨＤＤは、アクチュエータ組立品を利用している。このアクチュエータは磁気読み取り／書き込みヘッドを、回転ディスク上の所望位置に移動させ、その位置に情報を書き込み、またその位置からデータを読み取る。ほとんどのＨＤＤでは、磁気読み取り／書き込みヘッドがスライダ上に取り付けられている。スライダは通常、ヘッドを機械的に支持し、ヘッドとディスク・ドライブ・システムの残りの部分との間の電気的接続の役割を果たしている。スライダは、回転ディスクの面からの距離を一定にするために、移動中の空気の上を滑るように動く空気力学的形状とされており、これによってヘッドが不用意にディスクと接触しないようになっている。

標準的に、スライダは隆起部の空気力学的パターンで、またはスライダをディスク・ドライブの作動中にディスク付近の一定高さに浮上させることが可能な、スライダ本体上にあるいわゆる空気軸受面（ＡＢＳ）で形成されている。スライダは各プラッタの各サイドと関連し、プラッタの面のすぐ上を浮上する。各スライダはサスペンション上に取り付けられ、ヘッド・ジンバル組立体（ＨＧＡ）を形成している。ＨＧＡはフライング・ユニット全体を支持する半硬質アクチュエータ・アームに取り付けられている。数個の半硬質アームが、リニア・ベアリングまたは回転ピボット・ベアリング・システムを有する単一回動ユニットを形成するように組み合わされている。

ヘッドとアームの組立体が、しばしばボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）と呼ばれる磁石／コイル構造を利用して直線的に、またはピボット式に動作される。ＶＣＭの固定子は、ベース・プレートに取り付けられるか、またはスピンドルも取り付けられた鋳型になっている。スピンドル、アクチュエータＶＣＭ、内部フィルタ・システムを備えたベース鋳型は、カバー・密封組立品で囲まれるので、汚染物質が侵入したり、ディスク上方を浮上するスライダの信頼性に悪影響を及ぼしたりしないことが保証される。電流がモータに供給されると、ＶＣＭは印加された電流に実質上比例する力ないしトルクを発生する。従って、アームの加速度は電流の大きさに実質的に比例する。読み取り／書き込みヘッドが所望のトラックに接近するにつれて、逆極性信号がアクチュエータに印加され、この信号がブレーキとして作用し、理想的には読み取り／書き込みヘッドが停止して所望のトラックの直上に停止する。

ディスク・ドライブの性能を高める試みが多数成功を収めている。ディスク・ドライブを改良する装置および方法の一つでは、熱磁気記録技術が利用されている。中島らによる特許文献１を参照されたい。この技術では、記録／再生ヘッドに、浮動スライダ、加熱ヘッド、ＭＲヘッドとしての再生用磁気ヘッドおよび浮動スライダ上に取り付けられた薄膜誘導ヘッドとしての記録用磁気ヘッドが備わっている。加熱ヘッドの加熱部の幅は、再生用磁気ヘッドや記録用磁気ヘッドの幅よりも狭い。ディスクの記録層では、記録温度における記録層の保磁力および再生温度におけるその飽和磁化が調整され、記録層の補償温度は実質上室温になるように調整される。熱磁気記録／再生ヘッドは、再生用磁気ヘッドや記録用磁気ヘッドの幅を狭くせずに狭いトラックを実現でき、これによってトラック密度が高くなる。さらに他の先行技術による熱磁気記録技術として、吉田らによる特許文献２に、レーザ光学装置を利用して熱源を提供する技術が開示されている。

米国特許第６３１７２８０号明細書

米国特許第６２８８９８１号明細書

上記先行技術は実用的であるが、ヘッド構造が複雑になり、また比較的高価である。そこで、熱アシスト記録中、ディスクの面上で高温を発生するために熱磁気記録に使用する熱源を提供する、改良型装置および方法が所望されている。

ハード・ディスク・ドライブ・スライダの一実施例では、熱アシスト記録目的の熱源としてディスク・ドライブ内で大気を使用する空気軸受面が使われている。空気ベアリングの形状を最適化することで、スライダとディスク面の間に流入する空気が加圧され、ディスク上の記憶媒体を加熱するのに十分な熱さの空気を生成する。スライダ内に埋設された従来技術のヒータのような付加的な装置や処理は、所望の結果を達成するのに必要ではない。従って、本発明は既存のヘッド構造と互換性がある。

空気軸受面の終端に、非常に小さい熱パッドが配置され、磁気記録ヘッド構造の回りを包み込んでいる。この熱パッドは、イオン・エッチングまたは炭素溶着処理を使用して処理することができ、ディスク上の記録媒体に熱を提供するために加熱空気を収容する小さいポケットを備えている。空気は約８０atm に加圧することが可能で、これは空気温度を、等エントロピー条件で摂氏約８００度ないしそれ以上に上昇させ、断熱工程を実行するには十分である。加熱空気は熱エネルギーを伝導で記録媒体に伝送し、ディスク面温度を摂氏２００度よりも高くする。これは、熱磁気記録に必要な記録層温度である。

添付の請求項および図面が関連する本発明の好ましい実施例の以下の詳細な説明を参照すれば、本発明の前述の、また他の目的および利点は、当該技術に習熟した人にとっては明白であろう。

本発明の特徴、利点その他が明白になる手法を達成し、より詳細に理解すできるように、これまでに要約した本発明の詳しい説明は、添付図面に示したその実施例を参照することによってなされる。図面は本明細書の一部を形成するものである。しかし、図面は本発明の実施例のみを示し、従って本発明が他の同等に有効な実施例を許容する範囲を限定するのもではない。

本発明によれば、空気ベアリングの形状を最適化することで熱磁気記録に使用する熱源を提供することができる。

図１により、コンピュータ・システムのための磁気ハード・ディスク・ファイルまたはドライブ１１１からなる情報記憶システムまたはデータ記録装置の一実施例の概略図を示す。ドライブ１１１は、近接して隔置された複数の積層並列磁気ディスク１１５（一つを示す）を含む外方ハウジングないしベース１１３を有している。ディスク１１５は、中央ドライブ・ハブ１１７を有するスピンドル・モータ組立品によって回転される。アクチュエータ１２１が、ピボット組立体１２３の回りでベース１１３に回動可能に取り付けられた櫛状をなす複数の並列アクチュエータ・アーム１２５（一つを示す）を備えている。コントローラ１１９が、ディスク１１５に対して櫛状アーム１２５を選択的に可動にするためにベース１１３に取り付けられている。

図示実施例において、各アーム１２５からは、少なくとも一つの片持ち梁された一体形成リード・サスペンション１２７が延びている。磁気読み取り／書き込みトランスデューサまたはヘッドが、スライダ１２９に取り付けられ、各々一体形成リード・サスペンション１２７に可撓的に取り付けられた可撓性部材に固定されている。読み取り／書き込みヘッドが、ディスク１１５からデータを磁気的に読み取りおよび／またはディスク１１５にデータを磁気的に書き込む。ヘッド・ジンバル組立体と呼ばれる一体化のレベルは、一体化リード・サスペンション１２７上に取り付けられたヘッドとスライダ１２９でわかる。スライダ１２９は普通一体化リード・サスペンション１２７の端部に接着される。図示実施例において、ヘッドはピコサイズ（約1250×1000×300 ミクロン）であり、セラミックまたは電子化合物材料で形成される。ヘッドはナノサイズ（約2050×1600×450 ミクロン）やフェムトサイズ（約850 ×700 ×230 ミクロン）でもよい。スライダ１２９は、一体化リード・サスペンション１２７によってディスク１１５（好ましくは２から１０グラムの範囲である）の面に抗して予めロードされている。

一体化リード・サスペンション１２７は、ばね状特性を有し、スライダ１２９の空気軸受面（ＡＢＳ）をディスク１１５に抗してバイアスないし押圧して、スライダ１２９とディスク１１５の面間に空気軸受膜を形成することができる。従来型のボイス・コイル・モータ磁石組立体１３４（頂部極は図示省略）に収容されたボイス・コイル１３３が、ヘッド・ジンバル組立体に対向してアーム１２５に取り付けられている。コントローラ１１９によるアクチュエータ１２１の動き（矢印１３５によって示す）で、ヘッドがターゲット・トラック上で停止するまで、ディスク１１５上のトラックを半径方向に横切ってヘッド・ジンバル組立品のスライダ１２９が移動する。ヘッド・ジンバル組立体は、従来の方法で作動し、ドライブ１１１が多数の独立アクチュエータ（図示省略）を使用して、アーム１２５が互いに独立して動く場合でない限り、常に互いに一斉に動く。

スライダ１２９の機能を推測するパラメータにはいくつかある。浮動高さは、ＡＢＳの終端の中心とディスク１１５の面の間など、スライダ１２９のＡＢＳ上の一点とディスク１１５の面間の距離である。ピッチは、ディスク１１５の平面に関して長手方向の浮動スライダ１２９の傾斜である。ロール、はディスク１１５の平面に関して横方向すなわち横断方向の浮動スライダ１２９の傾斜である。浮動高さ、ピッチ、ロールはいずれも、大気圧、温度、空気密度、線速度（ディスクの中心からの半径とディスクの角速度すなわちｒｐｍとの積）、傾斜角（スライダの長軸とディスクの中心からの現半径に対する接線間の角度）、プリロード（例えば、サスペンションによって印加される力）、サスペンション・モーメント（ピッチおよびロール方向にサスペンションによって印加されたモーメント）、スライダの平坦さ、スライダＡＢＳ自体の設計などのパラメータに依存している。スライダ１２９の設計は、低速度やディスク１１５の半径を横切って実質的に平坦さのままとなる低傾斜角に依存した浮動高さの性質を目的としている。ヘッドとディスク間の間隔は、浮動高さとそのピッチおよびロールによって説明される。

ここで図８を参照して、スライダ１２９のための空気ベアリングまたはＡＢＳの図例を示す。参照の目的で、スライダ１２９は先端エッジまたは端部２０１、終端２０３、側方エッジ２０５、長手方向すなわちｘ軸２０７、横方向すなわちｙ軸２０９、ｚ軸（紙面に出入りする）を有している。標準的に、スライダ１２９は深さがばらばらの形成体を生成する、二種類以上のエッチング処理で作られる。この形成体にはＡＢＳ面や、スライダ１２９のベース構造のｘｙ平面にできる深さの浅いパッドが含まれる。特にこのスライダ１２９では、ＡＢＳは先端パッド２１１と中央終端パッド２１５を含む複数の空気軸受パッドを有している。浅い深さの面には、前方ステップ２１０、側方レール２１３、後方ステップ２１４、横方向終端パッド２１７がある。しかし、本発明のスライダはこの形式に限定ないし制限するものではない。すなわち、単なる一実施例として示したに過ぎない。さらに、これらの要素のいかなる組み合わせも、スライダの適用に合わせて変更することができる。

本発明の主要要素は、非常に小さい形成体２２１であり、ここに示した例では、スライダ１２９の終端２０３に近接配置されている。形成体２２１は、多数の異なる形状とすることができ、その内の三つを図２−７の拡大図で示す。図２−７の三つの形状において、空気軸受パッドの詳細などＡＢＳの他の要素は、形成体２２１の種々の設計に焦点を当てる目的で省略している。一実施例において、空気ベアリング内の形成体２２１は、空気軸受パッドの一つ（すなわち、図８の中央終端パッド２１５）に配置され、ベースの終端２０３に近接されている。

形成体２２１の第１例を形成体２２１ａとして図２および３に示す。このバージョンにおいて、形成体２２１ａは矩形ブロックの簡略化ＡＢＳ面である第１機構２２３を有している。第１機構２２３はｚ方向に第１高さ２２５を有している（図３）。また形成体２２１は、第１機構２２３上に第２機構２２７を有しており、ここに示す実施例では、クロス・バー２２９と本体部２３１の中央部を含むＴ字状をなしている。クロス・バー２２９は、ｙ方向にある第１機構２２３を横方向に横切って延び、また本体部２３１は終端２０３に向かってｘ方向にある第１機構２２３を長手方向に横切って延びている。第２機構２２７は第１高さ２２５よりも高い、ｚ方向にある第２高さ２３３を有している。ほぼＣ字状の開口部または穴２３５（例えば、盲穴２３５）が、第２機構２２７内に配備され、底部２３７（図２）によって規定されたｚ方向の深さを有している。盲穴２３５は、ｚ方向に延びる複数の側部ないし側壁２３９を有し、例えば盲穴２３５は第２機構２２７によって複数の側部２３９全てで取り囲まれている。

ヘッド２４１は、盲穴２３５近傍で形成体２２１ａの第２機構２２７内に取り付けられている。図示したものでは、盲穴２３５の底部２３７は、第１機構２２３の第１高さ２２５とｚ方向で同じレベルに配置されている。ここでは、ヘッド２４１もベースの終端２０３に向かってｘ方向で盲穴２３５内に延び、盲穴２３５をＣ字状にしている。ヘッド２４１は、形成体２２１ａの第２機構２２７の第２高さ２３３に配置されている。これによりヘッド２４１は、図示したようにｚ方向の第２高さ２３３と実質的に面一である。ヘッド２４１と盲穴２３５は、ｙ方向で第２機構２２７上の中心に置かれ、形成体２２１ａはｙ方向で空気ベアリング上の中心に置かれている。

本発明は、例えばスライダ１２９の深さの浅い面に反応性イオン・エッチングを施し、イオン切削で形成体２２１ａの第１機構２２３を含む空気ベアリングを形成し、イオン切削液体抵抗による第２機構２２７および盲穴２３５を形成することで実現できる。形成体２２１ａの別の形成方法として、超浅エッチング処理を使用して第２機構２２７と盲穴２３５を形成するものがある。形成体２２１は、炭素溶着処理で形成することもできる。一例では、盲穴２３５の深さ（ｚ寸法）は、約５から３０ｎｍ程度であり、ｘおよびｙ寸法は約４０μｍ×１５０μｍである。

本発明の別の例を、形成体２２１ｂとして図４および５に示す。この形成体では、多数の類似要素が存在し、第１機構２５１は先行例の種々の第１機構２２３と実質的に同じである。しかし、第２機構２５３および盲穴２５７はそれぞれの先行例と異なる。形成体２２１ｂの第２機構２５３は、終端２０３に対向して配置された凹所２５５を伴う略Ｃ字状をなしている。盲穴２５７はｙ方向に長く延びており、さらに中央部２５９（ヘッドを含む）、横方向端２６１、中央部２５９と横方向端２６１間に配置された二つの中間部２６３を有する。横方向端２６１は、中間部２６３のｘ軸寸法よりも大きいｘ軸寸法を有しており、中間部２６３のｘ軸寸法は中央部２５９のｘ軸寸法よりも大きい。

本発明のさらに別の例を形成体２２１ｃとして図６および７に示す。この形成体では、第１機構２７１はその先行例と同様であるが、第２機構２７３および盲穴２７７はそれぞれの先行例と形状が異なる。形成体２２１ｃの第２機構２７３は矩形状をなし、第１機構２７１上に配置されている。盲穴２７７は、実際には、互いに隔置されｙ方向に対称的に構成された三つの盲穴からなる。三つの盲穴は、中央のＣ字状盲穴２７９と、矩形状をなす二つの横方向盲穴２８１からなる。ヘッド２８３は終端２０３に向かって中央盲穴２７９に延び、Ｃ字状を規定している。

動作について説明すると、本発明はデータ記憶装置内で熱磁気記録方法として使用される。この方法は、トラックを伴う回転可能ディスク１１５と、ディスク１１５上のトラックからデータを読み取りまたこれにデータを書き込むヘッド２４１（図２）を有するデータ記憶装置１１１（図１）を提供する。空気ベアリングが、スライダ１２９上に作られている。空気ベアリングは、ヘッド２４１が穴２３５近傍で形成体２２１ａ内に配置されるように穴２３５が形成された形成体（例えば、図２および３の２２１ａ）を有している。ディスク１１５はアクチュエータ１２１に対して回転され、スライダ１２９は浮動高さでディスク１２９上のトラック上方に配置されている。

本発明の方法は、スライダ１２９が浮動高さにある間、ディスク１１５がスライダ１２９に近接して回転するにつれて、形成体２２１ａの穴２３５内で空気を圧縮する工程を含んでいる。この方法において、圧縮空気がヘッド２４１のちょうど前方で所望の圧力に達し、圧縮加熱によって完全に所望温度に加熱される。穴２３５は、高い圧力領域をヘッド２４１の書き込ポールで正確に密着バンドルに制限する。高圧空気バンドルは、約２０μｍ×１５μｍであり、書き込みポールに配置されている。（図８の）空気軸受面の形成体内の穴によって発生した圧力の三次元斜視的プロット３０１が、図９に示されている。終端の中央に沿って配置された圧力の「スパイク」３０３が、形成体内の穴付近に発生した高圧バンドルを表わしている。

穴２３５内の空気は、約８０atm に圧縮することができ、この気圧は従来のＡＢＳによって発生する圧力よりも約３倍高い。この圧力レベルは、断熱処理を想定して、空気温度を等条件で摂氏約８００度またはそれ以上まで高めるのに十分である。加熱空気が熱エネルギーを伝導によって記憶媒体（ディスク１１５上のトラック）に転換し、ディスク面温度を摂氏２００度よりも高くする。これは熱磁気記録に必要な記録層温度である。このように本発明の方法は、ディスク１１５がヘッド２４１によるトラックの一部への熱磁気記憶を可能にするように回転する際に、スライダ１２９内の穴２３５に近接する前記トラックの一部を、圧縮加熱空気で十分な温度まで加熱する。空気バンドルから媒体への熱伝送は、圧力と共に直線的に変化し、これが高い効率の熱アシスト記録に役立っている。高圧空気流の狭いバンドルのおかげで、熱アシスト記録用媒体への熱パスの性質が強くなる。空気ポケットは熱シールドの役割も果たす。これは、穴またはポケット内に捕獲された圧縮加熱空気が熱遮断機能として作用し、それによって加熱書き込ポールからの熱損失が減るからである。このことも、システムおよび処理において従来の設計よりも高い効率を得る結果となる。

以上説明したように、本発明の方法の製造ステップは、反応性イオン・エッチング、形成体の一部（例えば、第１機構）を含む空気ベアリングのイオン切削および穴のイオン切削液状抵抗によるスライダの形成工程で構成することもできる。製造ステップは形成体および穴の超浅いエッチング工程で構成することもできる。

本発明には、従来設計よりも有利な点が多数ある。本発明の空気軸受面（ＡＢＳ）で構成されたハードディスク・ドライブ・スライダは、ディスク・ドライブ内の大気を熱源として使用して熱アシスト記録物を作成している。ＡＢＳは、スライダとディスク面の間の流入空気を加圧し、ディスク上の記録媒体を加熱するのに十分な熱さまで空気を加熱する。スライダ内に埋設された従来技術のヒータのような付加的な装置や処理は、所望の結果を達成するのに必要ではない。従って、本発明は既存のヘッド機構と互換性がある。

ＡＢＳの終端に配置された小型の熱パッドは、磁気記録ヘッドの回りで包み込まれる。高圧領域が密着バンドル内に形成され、ヘッドの書き込ポールに正確に配置される。熱パッドは、炭素溶着処理または超浅エッチング処理で処理することができる。後者の処理では、溶着を必要としない。パッドには、ディスク上で記録媒体に熱を提供するために、加熱空気を収容する小さなポケットがある。空気は約８０atm まで加圧でき、これは従来のＡＢＳで生成される圧力の約３倍である。この圧力は等エントルピー条件で摂氏約８００度まで空気温度を上昇させるのに十分である。加熱空気が熱エネルギーを伝導によって記録媒体に伝送し、ディスク面温度を摂氏２００度よりも高くする。これは、熱磁気記録に必要な記録層温度である。本発明は潜在熱源として圧縮空気を使用し、ＡＢＳ形状を最適化して空気圧縮を最高にしている。熱や空気ポケットが高温空気を維持してセンサに熱を提供する。熱伝送は圧力と共に直線的に変化するので、熱アシスト記録処理が高い効率で実行される。さらに、ポケット内に捕獲された圧縮加熱空気が熱遮断機能として作用し、加熱書き込ポールからの熱損失が減るように空気ポケットが熱を遮断する。

本発明は一部の形態で示し、あるいは説明したが、これに限定されることなく、本発明の範囲から逸脱することなく種々の変更が可能であることは当該技術に習熟した人にとっては明白である。例えば、本発明はここに説明した以外のデータ記録装置の他の形式にも使用できる。

本発明に基づいて構成されたハード・ディスク・ドライブの一実施例の概略平面図である。 ディスクの面上に高い温度を生成する目的で図１に示すドライブによって利用され、本発明に基づいて構成された空気軸受面上の機構の一実施例を示す平面図である。 本発明に基づいて構成された図２に示す機構の斜視図である。 ディスクの表面上に高い温度を生成する目的で図１のドライブによって利用され、本発明に基いて構成された空気軸受面上の構成の別の実施例を示す平面図である。 本発明に基づいて構成された図４に示す機構の斜視図である。 ディスクの表面上に高い温度を生成する目的で図１のドライブによって利用され、本発明に基いて構成された空気軸受面上の機構のさらに別の実施例を示す平面図である。 本発明に基づいて構成された図６に示す機構の斜視図である。 本発明に基づいて構成された図２および３の機構を利用するスライダの空気軸受面の平面図である。 作動中に図８の空気軸受面によって発生した圧力の三次元斜視図である。

符号の説明

１１１：ドライブ
１１３：ベース
１１５：磁気ディスク
１１７：中央ドライブ・ハブ
１１９：コントローラ
１２１：アクチュエータ
１２３：ピボット組立体
１２５：並列アクチュエータ・アーム
１２７：一体形成リード・サスペンション
１２９：スライダ
２０１：端部
２０３：終端
２０５：側方エッジ
２０７：ｘ軸
２０９：ｙ軸
２１０：前方ステップ
２１１：先端パッド
２１３：側方レール
２１４：後方ステップ
２１５：中央終端パッド
２１７：横方向終端パッド
２２１：形成体
２２１ａ，２２１ｂ，２２１ｃ：形成体
２２３，２５１，２７１：第１機構
２２５：第１高さ
２２７，２５３，２７３：第２機構
２２９：クロス・バー
２３１：本体部
２３５，２５７，２７７，２７９，２８１：穴（盲穴）
２３７：底部
２３９：側壁
２４１，２５９，２８３：ヘッド
２６１：横方向端
２６３：中間部
３０１：三次元斜視的プロット
３０３：スパイク

Claims (20)

1. ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸、終端およびｘｙ平面内の面を有し、軸の各々がそれぞれｘ，ｙおよびｚ方向を規定しているベースと、
   前記ベースの面上に形成された空気ベアリングと、
   前記ｚ方向に高さを有し、その内に配置されるとともに前記ｚ方向の深さで前記ベースの面に向って延びる穴を有する、空気ベアリング内の形成体と、
   前記形成体内の穴近傍で前記形成体内に取り付けられた、データ読み取り／書き込みヘッドと、を有することを特徴とするスライダ。
2. 前記ヘッドが前記ベースの終端に向かう前記ｘ方向で前記穴内に延び、さらに前記ｚ方向で前記形成体と実質的に同一平面をなすように前記形成体の高さに配置されていることを特徴とする請求項１に記載のスライダ。
3. 前記ヘッドおよび前記穴が、前記ｙ方向で前記形成体上の中心に置かれ、前記形成体が前記ｙ方向で前記空気ベアリング上の中心に置かれることを特徴とする請求項１に記載のスライダ。
4. 前記穴が前記ｚ方向に延びる複数の側部を有し、前記穴が前記形成体によって前記複数の側部の全てに取り巻かれるようにして囲まれていることを特徴とする請求項１に記載のスライダ。
5. 前記穴は、前記ベースの面の最も近くで前記ｚ方向に閉止されていることで規定された底を有する盲穴であって、前記穴が前記底と対向する前記ｚ方向に開口していることを特徴とする請求項１に記載のスライダ。
6. 前記空気ベアリングの浅い深さが反応イオン・エッチングで形成され、前記形成体の一部が、イオン切削で形成され、前記穴がイオン切削液状抵抗で形成されることを特徴とする請求項１に記載のスライダ。
7. 前記形成体および前記穴が、超浅エッチング処理および炭素溶着処理で構成されるグループから選択された処理で形成されることを特徴とする請求項４に記載のスライダ。
8. 前記空気ベアリングが複数の空気軸受パッドを有し、また前記形成体が前記ベースの面の終端近傍で前記空気軸受パッドの一つに配置されることを特徴とする請求項１に記載のスライダ。
9. 回転可能に取り付けられたディスクを有するハウジングと、前記ハウジングと前記ディスクに対して回動可能に取り付けられたアクチュエータと、前記アクチュエータに取り付けられたスライダを有し、前記スライダが前記ディスクからデータを読み取り、またこれにデータを書き込むためのヘッドを有するデータ記録装置において、
   前記スライダはさらに、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸、終端およびｘｙ平面内の面を有し、軸の各々がそれぞれｘ，ｙおよびｚ方向を規定しているベースと、
   前記ベースの面上に形成され、複数の空気軸受パッドを有する空気ベアリングと、
   前記ベースの終端近傍で前記空気軸受パッドの一つに配置された前記空気ベアリング内の形成体であって、前記ｚ方向に第１高さを伴う第１機構と、前記第１機構上にあって、前記ｚ方向で前記第１高さよりも大きい第２高さを有している第２機構と、前記第２機構内に配置され、底で規定された前記ｚ方向の深さと前記ｚ方向に延びる複数の側部を有する盲穴を有する形成体とを備え、
   前記ヘッドは前記盲穴近傍で前記形成体の前記第２機構内に取り付けられていることを特徴とするデータ記録装置。
10. 前記盲穴の底が、前記第１機構の第１高さと前記ｚ方向で同じレベルに配置されていることを特徴とする請求項９に記載のデータ記録装置。
11. 前記ヘッドが前記ベースの終端に向かう前記ｘ方向で前記盲穴に延び、前記ヘッドが前記ｚ方向で前記第２高さと実質的に同一平面となるように前記形成体の前記第２機構の第２高さに配置されていることを特徴とする請求項９に記載のデータ記録装置。
12. 前記ヘッドおよび前記盲穴が、前記ｙ方向で前記形成体の前記第２機構上の中心に置かれ、また前記形成体が前記ｙ方向で前記空気ベアリング上の中心に置かれていることを特徴とする請求項９に記載のデータ記録装置。
13. 前記空気ベアリングの浅い深さが、反応性イオン・エッチングで形成され、前記形成体の第１機構がイオン切削によって形成され、前記第２機構および盲穴がイオン切削液状抵抗によって形成されることを特徴とする請求項９に記載のデータ記録装置。
14. 前記形成体および前記盲穴が、超浅エッチング処理および炭素溶着処理で構成されるグループから選択された処理で形成される請求項９に記載のデータ記録装置。
15. 前記ヘッドが前記終端に向かって前記盲穴に延びて前記盲穴のためのＣ字状を規定し、前記形成体の第２機構が前記終端およびクロス・バーに向かって延びる本体によりほぼＴ字状をなしていることを特徴とする請求項９に記載のデータ記録装置。
16. 前記形成体の第２機構が、前記終端に対向して配置された凹所によりほぼＣ字状をなし、また前記盲穴が前記ｙ方向に長く延ばされ、中央部分と、側方端部と、前記中央部分と側方端部間に配置された中間部分を有し、前記側方端部が前記中間部分のｘ軸寸法よりも大きいｘ軸寸法を有し、前記中間部分のｘ軸寸法が前記中央部分のｘ軸寸法よりも大きいことを特徴とする請求項９に記載のデータ記録装置。
17. 前記形成体の第２機構が矩形状であり、前記盲穴が前記ｙ方向で互いに間隔を置いて配置された三つの盲穴からなり、前記三つの盲穴は中央のＣ字状盲穴と矩形状をなす二つの横方向盲穴を有し、前記ヘッドが前記終端に向かう前記中央盲穴に延びてＣ字状を規定していることを特徴とする請求項９に記載のデータ記録装置。
18. トラック付き回転可能ディスクを有するデータ記録装置と、前記ディスク上のトラックからデータを読み取り、またこれにデータを書き込むためのヘッドを伴うスライダを有するアクチュエータを準備する工程と、
    穴付きの形成体を有し、前記ヘッドが前記穴に近接する前記形成体内に配置されるように、前記スライダ上に空気ベアリングを形成する工程と、
    前記アクチュエータに対して前記ディスクを回転させるとともに、浮動高さで前記ディスク上のトラック上方に前記スライダを位置付けする工程と、
    前記スライダが浮動高さにあるときに前記スライダに近接して前記ディスクが回転する際に前記形成体の前記穴内の空気を圧縮し、この圧縮空気が前記穴内で所望の圧力に達し、圧縮加熱によって所望の温度に加熱される圧縮工程と、
    前記スライダ内の前記穴に近接する前記トラックの一部を、前記ディスクの回転に伴って圧縮加熱空気で十分な温度に加熱し、前記ヘッドによる前記トラックの前記部分への熱磁記録を可能にする工程と、を含むことを特徴とする熱磁気記録方法。
19. 前記製造ステップが、反応イオン・エッチングによる前記空気ベアリングの浅い深みを形成する工程と、前記形成体の一部を含む前記空気ベアリングをイオン切削する工程と、前記穴を取り巻く機構をイオン切削液状抵抗処理する工程を含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
20. 前記製造ステップが前記形成体および穴を超浅エッチングする工程を含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
    

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