JP2004327536A - 微小ボール搭載用マスクおよび微小ボールの搭載方法 - Google Patents
微小ボール搭載用マスクおよび微小ボールの搭載方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004327536A JP2004327536A JP2003117077A JP2003117077A JP2004327536A JP 2004327536 A JP2004327536 A JP 2004327536A JP 2003117077 A JP2003117077 A JP 2003117077A JP 2003117077 A JP2003117077 A JP 2003117077A JP 2004327536 A JP2004327536 A JP 2004327536A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- micro
- ball
- mask
- hole
- work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/014—Solder alloys
Abstract
【解決手段】本発明のマスクは、所定の配列パターンで微小ボールをワークの一面に搭載するため、前記微小ボールが供給される一方の面および前記一方の面に相対する他方の面と、前記配列パターンに対応し、前記微小ボールが挿通可能な前記一方の面および他方の面に開口した貫通孔とを備え、前記他方の面を前記ワークの一面に位置決めし、前記微小ボールを前記貫通孔を通して前記ワークの一面に搭載するマスクであって、前記他方の面を前記ワークの一面に位置決めした時、前記ワークの一面から前記マスクの一方の面までの距離tが、前記微小ボールの直径dに対し0.8≦t/d≦1.4となる厚さを有するとともに、前記貫通孔は、前記一方側から前記他方側に向かい広がる第1のテーパ孔部を有し、前記第1のテーパ孔部の前記一方側の辺縁部稜線は、前記ワークの一面に搭載された微小ボールの中心より前記一方側に偏位されてなることを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、微小ボールの搭載用マスク及び搭載方法に係り、特に電子部品のバンプ形成に用いられる半田ボールを搭載するに好適なマスク及び搭載方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯端末機器やノート型パソコンの高速化と高機能化、及び小型化と薄型化が進むにつれ、それらに内蔵される半導体部品や半導体部品を実装する基板(以下、ワークと総称する)に対しては、その小型化、薄型化と接続端子数の増加という相反する性能が要求されている。その要求に応ずるものとして、電極に半田ボールを搭載して接続端子(以下半田バンプとも言う)を形成したBGA(Ball Grid Array)型又はFC(Flip Chip)型の半導体部品又は基板がある。
【0003】
一般に、前記半田バンプは、電極にソルダーペーストもしくはフラックスを印刷する印刷工程と、ソルダーペーストもしくはフラックスが印刷された電極に半田ボールを搭載する半田ボール搭載工程と、その半田ボールを加熱し溶解する半田ボール加熱工程を経て形成される。
【0004】
半田ボールを電極に搭載する方法としては、吸着方式と振込み方式が知られている。吸着方式は、例えば特開2001−223234号公報(特許文献1)に記載されているように、負圧を利用した吸着ヘッドで半田ボールを吸着してワークへ移送し、電極へ搭載する方式である。振込み方式は、例えば特開2001−267731公報(特許文献2)に記載されているように、電極の配列パターンに対応した開口部を備えたマスクをワークに配設し、開口部に半田ボールを振り込むことにより電極に搭載する方式である。
【0005】
【特許文献1】
特開2001−223234号公報(段落番号0014)
【特許文献2】
特開2001−267731公報(段落番号0020、0024〜0
028)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、最近ではバンプの数は膨大となってその配列は高密度化され、半田ボールも100μm以下というような小径のものが使用されるようになってきている。
これに対し、吸着方式では、多数の微小な吸着孔に対する吸着力の制御が難しく、半田ボールの吸着ヘッドへの吸着及び吸着ヘッドからの分離の信頼性が劣るという問題がある。さらに、吸着時の空気流により半田ボールが帯電して電磁気力を帯び、その電磁気力のために団子状態となった半田ボールが吸着されて、その集合体が電極に搭載されたり、或いは余剰半田ボール(いわゆるエクストラボール)が吸着孔以外に付着し、電極以外のワーク表面に搭載されるという問題があり、半田ボールの径小化に伴い特に顕著をなってきている。
【0007】
一方、振込み方式では、半田ボールが帯電した場合でも、開口部の大きさの規制により、団子状態となった半田ボールが電極に搭載されることはない。しかし、スキージを移動させたりマスクを傾斜させたりして、マスク表面の半田ボールを開口部に落下させる方式であり、半田ボールが径小になるほど相対的に重力の作用が小さくなり、開口部への装入の確度が低くなるという問題がある。また、開口部の形状によっては、既に開口部に装入された半田ボールが掻き出されたり、余計な半田ボールが開口部に貯留されてマスク取り外し時にワークに落下して付着するという問題もある。特許文献2には、ストレートな開口部における半田ボールに対する寸法関係が開示されているが、半田ボールの直径が100μm以下ともなると、一旦装入された半田ボールはわずかな外力でも脱出しやすく、充填率を高めることが難しい。
【0008】
本発明は、所定の配列パータンで確実に微小ボールをワークに搭載するためのマスクおよび配列方法を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の微小ボール搭載用マスクは、所定の配列パターンで微小ボールをワークの一面に搭載するため、微小ボールが供給される一方の面および一方の面に相対する他方の面と、前記配列パターンに対応し、微小ボールが挿通可能な前記一方の面および他方の面に開口した貫通孔とを備え、他方の面をワークの一面に位置決めし、微小ボールを貫通孔を通して前記ワークの一面に搭載するマスクである。
【0010】
前記マスクは、前記他方の面を前記ワークの一面に位置決めした時、ワークの一面からマスクの一方の面までの距離tが、微小ボールの直径dに対し0.8≦t/d≦1.4となる厚さを有している。このように厚みを規制することにより、前記マスクは、貫通孔に導入された微小ボールを抜け難くし、さらに複数個の前記微小ボールが、同一の貫通孔に導入されることを阻止する作用を有する。
【0011】
また、前記貫通孔は、前記一方側から前記他方側に向かい広がる第1のテーパ孔部を有し、第1のテーパ孔部の一方側の辺縁部稜線は、ワークの一面に搭載された微小ボールの中心より一方側に偏位されているので、第1のテーパ孔部の一方側の辺縁部で微小ボールの上半球を押えることができ、貫通孔に導入された微小ボールを抜け難くする作用を有する。
【0012】
さらに、前記第1のテーパ孔部は、側壁に角部のない略円錐台形状とすれば、該角部で前記微小ボールの導入が阻害することがないので好ましい。さらに加えて、第1のテーパ孔部の一方側の開口の直径は1.2d以上1.4d以下とし、他方側の開口の直径は(微小ボール搭載許容範囲値+d)以下とすれば、より微小ボールを円滑に導入しつつ、かつ導入後の微小ボールの位置を規制することができるので好ましい。
【0013】
また、前記貫通孔は、前記第1のテーパ孔部と同軸にマスクの一方の面に形成された面取り状の第2のテーパ孔部を有しており、第2のテーパ孔部によりさらに円滑に微小ボールを導入できる。望ましくは、前記第1のテーパ孔部および第2のテーパ孔部は、上記と同様な理由により、略円錐台形状とすればよい。さらに望ましくは、上記と同様な理由により、前記第2のテーパ孔部の前記一方側の開口の直径は1.2d以上1.4d以下とし、前記第1のテーパ孔部の前記他方側の開口の直径は(微小ボール搭載許容範囲値+d)以下とすればよい。
【0014】
本発明の微小ボール搭載方法は、微小ボールが搭載されるべきワークと所定配列パターンに形成された貫通孔を有するマスクを相対的に移動して位置決めし、マスク上面に微小ボールを供給し、線状部材の側面腹部で微小ボールを掃って貫通孔に振り込むことを特徴としている。そのマスクには、上記で説明したマスクを用いれば望ましい。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、微小ボールとして、BGA型又はFC型の半導体部品又は基板にバンプを形成するために用いられる半田ボール或いはハンダメッキされた銅ボール(以下、ボールと称する)を例にし、ワークの一面に配列された電極に該ボールを搭載する場合について以下図面を参照して説明する。図1は、本発明の第1実施例のマスクを示す図である。図2は、本発明の第2実施例のマスクを示す断面図である。図3は、本発明の第1、2実施例のマスク貫通孔の詳細を示す断面図である。図4、ブラシを用いてマスクの貫通孔へボールを振り込む時の状態を示す図である。図5は、図1のマスクの変形例を示す図である。図6は、図2のマスクの変形例を示す図である。
なお、本発明の微小ボール搭載用マスクおよび微小ボール搭載方法は、直径が300μm以下のボール、特に100μm以下のボールをワークに搭載するに好適なものである。
【0016】
図1に示すように、ボール3が搭載されるワーク1は、その上面にボール3が搭載される電極面21を備え、所定のパターンで配列された電極2を有している。そのワーク1の電極2の配列パターンでボール3を前記ワーク1の電極面(一面)21に搭載するためのマスク4は、ボール3が供給される上面(一方の面)41および上面に相対する下面(他方の面)42と、前記配列パターンに対応し、ボール3が挿通可能な上面41と下面42に開口した貫通孔5とを備えている。前記ワークの電極面21に対し下面42を位置決めし、ボール3を貫通孔5を通して電極面21に搭載させる。貫通孔5は、上側から下側に向かい広がる第1のテーパ孔部51を有しており、テーパ孔部51の上側の辺縁部51aの稜線51bは、前記電極面21に搭載されたボール3の中心より上側に偏位されている。
【0017】
マスク4は、図1(b)に示す突起部43を有し、その下面42がワーク1と接触しないような構造や、突起部43を有せず、その下面42がワーク1と接触するような構造をとることができる。いずれの構造であっても、マスク4は、その下面42を電極面21に位置決めした時、該電極面21からマスク4の上面41までの距離tが、ボール3の直径dに対し0.8≦t/d≦1.4となる厚さを有するように形成する。すなわち、t/dが0.8未満となるマスクの厚みの場合には、マスク4の上面41に対しボール3の頂部が露出しすぎるため一度貫通孔5に充填されたボール3が該貫通孔5から抜け出やすく、t/dが1.4より大きい場合は、貫通孔5に複数個のボール3が充填されやすい。
【0018】
貫通孔5へ振り込まれた時、ほとんどのボール3はブラシの掃きならしやワークの傾きで貫通孔5の一方側の壁面に寄せられている。前記形状の貫通孔5によれば、ボール3は、その上半球が前記テーパ孔部51の上側辺縁部51aに接触し、該辺縁部51aで上から押え付けられた状態となるので、例えば振動など外力が作用した場合でも貫通孔5から抜け出にくい。また、マスク4を上方に取り外す時、ボール3が前記壁面に接触したままであっても、壁面はボール3から離れる方向に移動するので、ボール3が、マスク4に引きずられて電極2から持ち去られることはない。
【0019】
前記第1のテーパ孔部51の形状は、略円錐台形状とすればよい。第1のテーパ孔部51を略円錐台形状とすれば、その側壁には角部がなく、ボール3の導入が角部により阻害されず、貫通孔5へのボール3の導入をさらに円滑に行うことができる。
【0020】
さらに、前記第1のテーパ孔部51の上側開口端51cの直径は、ボール3を容易に通過させるためには大きい方がよいが、大きくしすぎると電極2上に搭載されたボール位置のバラツキが大きくなるだけでなく、貫通孔5の上部に余分なボール3が停滞し易くなり、マスク4取り外し時にこのボール3がワーク1上へ落下し、電極2上に搭載されたボールを弾き飛ばしたりして配列不良を起こす恐れがあるため、1.2〜1.4d程度とするとよい。さらに加えて、前記第1のテーパ孔部51の下側開口端51dの直径は、マスク4の強度が許す範囲で大きくする方がよい。すなわち、下側開口端51dを大きくするほど、第1のテーパ孔部51の側壁の傾きが大となり、ボール3をより上部から押さえることができ、ボール3を一層抜け出にくくすることができる。しかし、マスク取り外し時にボール3が電極2から離れてしまわないよう、電極幅をbとすると、(b+d)以下にすることが好ましい。
【0021】
なお、前記マスク4は、上記説明に限定されることなく、その変形例を図5(a)に示すように、例えばボール3の振込方式などに応じ、前記マスク4の上面41が下面42に対しやや斜めに形成されたものであってもよい。さらに、同図(b)に示すように、前記貫通孔5は、前記テーパ孔部51の上部に連設し、該テーパ孔部51と同軸で形成された円柱孔53を有していてもよい。さらに、同図(c)に示すように、前記貫通孔5は、前記テーパ孔部51の下部に連接し、該テーパ孔部51と同軸で形成された円柱孔54を有していてもよい。
【0022】
次に、本発明に係わるマスク6の第2の実施例について説明する。
第2の実施例のマスク6は、図2に示すように、大略つづみ形状の貫通孔7を備えており、該貫通孔7は、前記貫通孔5の第1のテーパ孔部51と基本的に同様な第1のテーパ孔部71を有するとともに、第1のテーパ孔部71と同軸にマスク6の上面61に形成された面取り状の第2のテーパ孔部72を有している。このような貫通孔7とすれば、マスク4の上面に供給されたボール3は第2のテーパ孔部72で導びかれるので、貫通孔7へボール3をより円滑に導入することができる。なお、前記第2のテーパ孔部72の下側辺縁部72aの稜線72b、または前記第1の上側辺縁部71aの稜線71b(本実施例においては前記稜線72bと71bは同一である。)を面取り状あるいはR形状とすれば、ボール3をより円滑に導入するためには有効である。
【0023】
前記第1および第2のテーパ孔部71、72の形状は、上記と同様な理由により、略円錐台形状とすればよい。すなわち、第1および第2のテーパ孔部71、72を略円錐台形状とすれば、その側壁には角部がなく、ボール3の導入が角部により阻害されず、貫通孔7へのボール3の導入をより円滑に行うことができる。
【0024】
前記第2のテーパ孔部72の上側開口端72cの直径は、上記と同様な理由により、ボール3の直径に対し1.2〜1.4d程度とするとよい。また、前記第1のテーパ孔部71の下側開口端71dの直径は、上記と同様な理由により、マスク4の強度が許す範囲で大きくする方がよく、さらに、マスク取り外し時にボール3が電極2から離れてしまわないよう、電極幅をbとすると、(b+d)以下にすることが好ましい。
【0025】
上記形状の貫通孔7によれば、前記マスク4の貫通孔5の場合よりもボール3の搭載位置のバラツキを小さくすることができる。ずなわち、図3に示すように、貫通孔5(第1のテーパ孔部51)の上側の開口端51cおよび貫通孔7(第2のテーパ孔部72)の上側の開口端72cは、ボール3を円滑に導入するため上記で定めるような適宜な大きさD1を有している必要がある。ここで、貫通孔5において、第1のテーパ孔部51は下側に広がるテーパ孔であるため、前記上側の開口端51cが最も狭小であり、導入されたボール3の平面方向の位置は該開口端51cで規制される。したがって、電極面21に搭載されたボール3の位置は、該開口端51cの大きさD1に応じたバラツキを有することとなる。
【0026】
しかしながら、貫通孔7において、第2のテーパ孔部72は下側に縮まるテーパ孔であり、その下側の開口端72d(本実施例においては第1のテーパ孔部71の上側の開口端71cと同一である。)の大きさD2が最も狭小となる。したがって、前記上側の開口端72cから導入されたボール3の平面方向の位置は該開口端72dで規制されので、該開口端72の大きさD2をボール3より僅かに大きくしておくことにより、ボール3の搭載位置のバラツキを小さくすることが可能となる。
【0027】
なお、前記貫通孔7の形状は、上記説明に限定されることなく、図6に変形例を示すように、前記第1および第2のテーパ孔部71、72に共に連設し、それらと同軸に形成された円柱孔73を有していてもよい。
【0028】
本発明のマスクは、新規なワークに対し都度セットして用いる平板状の一種の治具で繰返して使用するものであり、金属板、樹脂板、積層品、成膜品などを用いることができる。また、貫通孔は、正確に所定形状と寸法に形成しなければならないため、レーザ、エッチングなどで形成することができる。また、本マスクは、対象のボールが微小になると、それに合わせて厚さを薄くしなければならない。このため、マスクはニッケル電鋳で製造し、周囲を補強材で固定して剛性を高めるようにするとよい。
【0029】
本発明の微小ボール搭載方法は振り込み方式によるものであり、ワークとワークの電極の配列パターンに対応した位置に形成された多数の貫通孔を有するマスクを相対的に移動させ、図1に示すように、ワークの電極とマスクの貫通孔の位置が一致するようにして密着させ、マスクの上面にボールを供給し、ボールを線状部材を備えたブラシの側面腹部で掃いて貫通孔に振り込むことで配列する方法である。
【0030】
本発明は、マスクへのボール振り込みにブラシを用いて、ボール3をソフトにかつ確実に移動させるようにしたことを特徴としている。本発明において、マスクの貫通孔性状は特に限定されないが、上述した配列用マスクを用いることが好ましい。ブラシとしては、太さが例えば10〜数十μm程度でボールより小さく、長さは例えば電極の数〜数十ピッチ分程度の自然繊維や人工繊維などの柔らかな線状部材8を多数、密に同方向に揃え、一端或いは両端を固定部材に取り付けたものを用い、線状部材8の側面を略水平にして上下方向に充分な柔軟性を持たせた状態で、線状部材8の下部がマスク4表面に軽く触れるようにして移動させるとよい。ブラシには、線状部材8が前後、上下に多層に配設されているため、図4に振り込み時における線状部材8の状態を断面図で示すが、全てのボール3は線状部材8で直接的或いは間接的に押されて移動するので、線状部材8が通過する範囲にある貫通孔5にボール3を確実に供給することができ、かつボール3に軽い下向の力を作用させるので、良好に貫通孔5内に装入することができる。
【0031】
線状部材を上述したように移動させることで、貫通孔にボールを装入するとともに、マスク表面から残りのボールを排除することができる。この時、既に貫通孔に装入されているボールに対しては、線状部材はその側面がマスク表面で支持されて移動するので貫通孔に入り込むことはなく、マスク表面から出ていないか或いはわずかに出ているボールの頂部を側面腹部で滑っていくだけで、かつ上下方向に容易に逃げるので、ボールを掻き出すことはない。
【0032】
なお、前記線状部材は、移送中に帯電する可能性のあるボールを除電するために導電性を有するようにすることが好ましい。さらに、前記線状部材は、水分によるボールの付着を防止するため、少なくともその表面が撥水性を有するようにすることが望ましい。
【0033】
以上、バンプ形成用の半田ボールなどの導電性微小ボールを例に、電極と同じ配列になるように配列する場合を説明したが、この他、電子部品組立時のスペーサとして用いられる微小ボールを所定位置に配列するような場合などにも適用できることは言うまでもない。
【0034】
【発明の効果】
以上、本発明の微小ボール搭載用マスクによれば、貫通孔に入った微小ボールを抜け出にくくし、さらにマスク取り外し時にも微小ボールをずらすことも少なく、また搭載位置のバラツキも抑えることができるので、多数の微小ボールを確実に所定のパターンでワークに搭載することができる。
また、本発明の微小ボール搭載方法によれば、多層の線状部材の側面腹部で微小ボールを掃うので、通過する範囲にある貫通孔にボールを確実に供給し良好に貫通孔内に装入するとともに、既に装入されたボールを掻き出すことはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例のマスクを示す図である。
【図2】本発明の第2実施例のマスクを示す断面図である。
【図3】本発明の第1、2実施例のマスク貫通孔の詳細を示す断面図である。
【図4】ブラシを用いてマスクの貫通孔へボールを振り込む時の状態を示す図である。
【図5】図1のマスクの変形例を示す図である。
【図6】図2のマスクの変形例を示す図である。
【符号の説明】
1:ワーク
2:電極
3:ボール
4(6):マスク
5(7):貫通孔
8:線状部材
Claims (7)
- 所定の配列パターンで微小ボールをワークの一面に搭載するため、前記微小ボールが供給される一方の面および前記一方の面に相対する他方の面と、前記配列パターンに対応し、前記微小ボールが挿通可能な前記一方の面および他方の面に開口した貫通孔とを備え、前記他方の面を前記ワークの一面に位置決めし、前記微小ボールを前記貫通孔を通して前記ワークの一面に搭載するマスクであって、前記他方の面を前記ワークの一面に位置決めした時、前記ワークの一面から前記マスクの一方の面までの距離tが、前記微小ボールの直径dに対し0.8≦t/d≦1.4となる厚さを有するとともに、前記貫通孔は、前記一方側から前記他方側に向かい広がる第1のテーパ孔部を有し、前記第1のテーパ孔部の前記一方側の辺縁部稜線は、前記ワークの一面に搭載された微小ボールの中心より前記一方側に偏位されてなることを特徴とする微小ボール搭載用マスク。
- 請求項1に記載の微小ボール搭載用マスクにおいて、前記第1のテーパ孔部は、略円錐台形状をなすことを特徴とする微小ボール搭載用マスク。
- 請求項2に記載の微小ボール搭載用マスクにおいて、前記第1のテーパ孔部の前記一方側の開口の直径は1.2d以上1.4d以下であり、他方側の開口の直径は(微小ボール搭載許容範囲値+d)以下であることを特徴とする微小ボール搭載用マスク。
- 請求項1に記載の微小ボール搭載用マスクにおいて、前記貫通孔は、前記第1のテーパ孔部と同軸に前記マスクの前記一方の面に形成された面取り状の第2のテーパ孔部を有することを特徴とする微小ボール搭載用マスク。
- 請求項4に記載の微小ボール搭載用マスクにおいて、前記第1のテーパ孔部および第2のテーパ孔部は、略円錐台形状をなすことを特徴とする微小ボール搭載用マスク。
- 請求項5に記載の微小ボール搭載用マスクにおいて、前記第2のテーパ孔部の前記一方側の開口の直径は1.2d以上1.4d以下であり、前記第1のテーパ孔部の前記他方側の開口の直径は(微小ボール搭載許容範囲値+d)以下であることを特徴とする微小ボール搭載用マスク。
- 微小ボールが搭載されるべきワークと所定配列パターンに形成された貫通孔を有するマスクを相対的に移動して位置決めし、マスク上面に微小ボールを供給し、線状部材の側面腹部で微小ボールを掃って貫通孔に振り込むことを特徴とする微小ボール搭載方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003117077A JP4006699B2 (ja) | 2003-04-22 | 2003-04-22 | 微小ボール搭載用マスクおよび微小ボールの搭載方法 |
TW093103886A TWI285524B (en) | 2003-03-10 | 2004-02-18 | Method and apparatus for carrying electric conductive ball |
US10/547,905 US7431792B2 (en) | 2003-03-10 | 2004-03-08 | Method and apparatus for placing conductive balls |
EP04718446A EP1603374A4 (en) | 2003-03-10 | 2004-03-08 | METHOD AND DEVICE FOR ASSEMBLING CONDUCTIVE BALLS |
PCT/JP2004/002968 WO2004082346A1 (ja) | 2003-03-10 | 2004-03-08 | 導電性ボールの搭載方法および搭載装置 |
KR1020057016719A KR100983253B1 (ko) | 2003-03-10 | 2005-09-07 | 도전성 볼의 탑재 방법 및 탑재 장치 |
US12/198,018 US7614541B2 (en) | 2003-03-10 | 2008-08-25 | Method and apparatus for placing conductive balls |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003117077A JP4006699B2 (ja) | 2003-04-22 | 2003-04-22 | 微小ボール搭載用マスクおよび微小ボールの搭載方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004327536A true JP2004327536A (ja) | 2004-11-18 |
JP4006699B2 JP4006699B2 (ja) | 2007-11-14 |
Family
ID=33497091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003117077A Expired - Fee Related JP4006699B2 (ja) | 2003-03-10 | 2003-04-22 | 微小ボール搭載用マスクおよび微小ボールの搭載方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4006699B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008076955A2 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-26 | Texas Instruments Incorporated | Microball mounting method and mounting device |
US7507655B2 (en) | 2006-04-11 | 2009-03-24 | Shinko Electric Industries, Co., Ltd. | Method of forming solder connection portions, method of forming wiring substrate and method of producing semiconductor device |
JP2010192796A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 半田ボール除去装置及び配線基板の製造方法 |
JP5021473B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2012-09-05 | イビデン株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
JP5021472B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2012-09-05 | イビデン株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
US8434664B2 (en) | 2007-02-05 | 2013-05-07 | Texas Instruments Incorporated | Micro-ball loading device and loading method |
WO2020158608A1 (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-06 | デクセリアルズ株式会社 | 微小粒子配列用マスク |
TWI730569B (zh) * | 2019-12-23 | 2021-06-11 | 日商奔馬股份有限公司 | 球陣列用遮罩及其製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08236916A (ja) * | 1995-03-01 | 1996-09-13 | Fujitsu Ltd | 半田ボール搭載方法及び装置 |
JPH09148332A (ja) * | 1995-11-16 | 1997-06-06 | Ricoh Co Ltd | 微小粒子配列装置 |
JP2000332044A (ja) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Sony Corp | バンプ電極形成用球状体の転写方法及び半導体装置の製造方法、並びに転写マスク |
-
2003
- 2003-04-22 JP JP2003117077A patent/JP4006699B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08236916A (ja) * | 1995-03-01 | 1996-09-13 | Fujitsu Ltd | 半田ボール搭載方法及び装置 |
JPH09148332A (ja) * | 1995-11-16 | 1997-06-06 | Ricoh Co Ltd | 微小粒子配列装置 |
JP2000332044A (ja) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Sony Corp | バンプ電極形成用球状体の転写方法及び半導体装置の製造方法、並びに転写マスク |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8832935B2 (en) | 2005-06-30 | 2014-09-16 | Ibiden Co., Ltd. | Method of manufacturing a printed wiring board |
JP5021473B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2012-09-05 | イビデン株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
JP5021472B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2012-09-05 | イビデン株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
US8624132B2 (en) | 2005-06-30 | 2014-01-07 | Ibiden Co., Ltd. | Printed wiring board |
US7507655B2 (en) | 2006-04-11 | 2009-03-24 | Shinko Electric Industries, Co., Ltd. | Method of forming solder connection portions, method of forming wiring substrate and method of producing semiconductor device |
WO2008076955A3 (en) * | 2006-12-15 | 2008-08-28 | Texas Instruments Inc | Microball mounting method and mounting device |
WO2008076955A2 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-26 | Texas Instruments Incorporated | Microball mounting method and mounting device |
US8434664B2 (en) | 2007-02-05 | 2013-05-07 | Texas Instruments Incorporated | Micro-ball loading device and loading method |
JP2010192796A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 半田ボール除去装置及び配線基板の製造方法 |
JP7386960B2 (ja) | 2019-01-30 | 2023-11-27 | デクセリアルズ株式会社 | 微小粒子配列用マスク |
JP2020123658A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | デクセリアルズ株式会社 | 微小粒子配列用マスク |
KR20210118091A (ko) | 2019-01-30 | 2021-09-29 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 미소 입자 배열용 마스크 |
JP7201461B2 (ja) | 2019-01-30 | 2023-01-10 | デクセリアルズ株式会社 | 微小粒子配列用マスク |
KR102540092B1 (ko) * | 2019-01-30 | 2023-06-05 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 미소 입자 배열용 마스크 |
KR20230079515A (ko) | 2019-01-30 | 2023-06-07 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 미소 입자 배열용 마스크 |
TWI812837B (zh) * | 2019-01-30 | 2023-08-21 | 日商迪睿合股份有限公司 | 微小粒子配列用遮罩 |
KR102574174B1 (ko) | 2019-01-30 | 2023-09-04 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 미소 입자 배열용 마스크 |
WO2020158608A1 (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-06 | デクセリアルズ株式会社 | 微小粒子配列用マスク |
TWI730569B (zh) * | 2019-12-23 | 2021-06-11 | 日商奔馬股份有限公司 | 球陣列用遮罩及其製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4006699B2 (ja) | 2007-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100983253B1 (ko) | 도전성 볼의 탑재 방법 및 탑재 장치 | |
KR100408948B1 (ko) | 전자부품을 회로기판에 장착하는 방법 | |
US5988487A (en) | Captured-cell solder printing and reflow methods | |
US6213386B1 (en) | Method of forming bumps | |
KR980012296A (ko) | 반도체 소자 실장 보드, 그 보드용 제조 방법, 반도체 장치 및 그 장치용 제조 방법 | |
US6869008B2 (en) | Method of forming bumps | |
JP2004327536A (ja) | 微小ボール搭載用マスクおよび微小ボールの搭載方法 | |
JP2001217273A (ja) | 半導体装置およびその製造方法、位置合わせ用マーク、パターン形成方法・装置およびペースト | |
JPH10335802A (ja) | ボール配列治具及びその製造方法 | |
JP3770496B2 (ja) | 導電性ボールの搭載方法および搭載装置 | |
JPH1065056A (ja) | バンプ・グリッド・アレイの作製方法および作製装置 | |
US6402014B1 (en) | Method of forming bumps | |
JP2000332044A (ja) | バンプ電極形成用球状体の転写方法及び半導体装置の製造方法、並びに転写マスク | |
JP4356077B2 (ja) | 導電性ボールの搭載方法および搭載装置 | |
JP4683326B2 (ja) | 導電性ボールの搭載装置 | |
JP4478954B2 (ja) | 導電性ボールの搭載装置 | |
JP4457354B2 (ja) | 導電性ボールの搭載装置及び導電性ボールの搭載装置に組み込まれる整列部材 | |
JP3994389B2 (ja) | 導電性ボールの搭載装置及び搭載方法 | |
JP4092707B2 (ja) | 導電性ボールの搭載方法および搭載装置 | |
JP4341036B2 (ja) | 導電性ボールの搭載方法および搭載装置 | |
JP5177694B2 (ja) | 導電性ボールの搭載装置 | |
JP4552204B2 (ja) | 導電性ボールの搭載装置 | |
JPH02165633A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH08330719A (ja) | はんだ供給方法及び表面実装用電子部品実装方法 | |
JP4517343B2 (ja) | 導電性ボールの搭載方法および搭載装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070406 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070622 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070803 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070816 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110907 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110907 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120907 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |