JP2004320932A - 電磁式アクチュータ及びこれを用いた露光量調節部材 - Google Patents

電磁式アクチュータ及びこれを用いた露光量調節部材 Download PDF

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Abstract

【課題】可動部が低質量でしかも高いトルクを出力できる装置を提供する。
【解決手段】シャフト7の両端側が軸受け6A,6Bで摺動自在に支持されており、前記軸受け6A,6Bの周囲には、第1のヨーク4A,4B、マグネット3A,3B及び第2のヨーク5A,5Bが設けられて、第1の磁気回路と第2の磁気回路が構成されている。また、シャフト7の周囲には、駆動コイル9が設けられている。駆動コイル9が駆動されたときに生じる磁気回路と第1の磁気回路または第2の磁気回路の重なり部分の一方で磁束が大きくなり、他方で磁束が小さくなって、シャフト7が磁束大の方向へ移動させられる。
【選択図】 図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、デジタルカメラなどのイメージデバイスに搭載される電磁式アクチュエータ及びこれを用いた露光量調節部材に係り、特に、小型で高いトルク出力を得ることができる電磁式アクチュエータ及びこれを用いた露光量調節部材に関する。
【0002】
【従来の技術】
下記特許文献1には、カメラの絞り兼用シャッタ装置に関するものが記載されている。この装置には、互いに同期して動作する複数枚の羽根と、前記各羽根を駆動させるソレノイドが設けられている。前記ソレノイドには、鉄芯が進退自在に支持されている。また前記鉄芯には、突出する方向へ付勢する付勢部材が設けられている。ソレノイドを通電することで前記付勢部材の付勢力に抗して各羽根が開く方向へ動作させられ、ソレノイドへの通電を解除することで前記付勢部材の付勢力によって各羽根が閉じる方向へ動作させられる。
【0003】
下記特許文献2には、光学機器などに搭載される電磁駆動装置が示されている。この装置には、回転部材の外周部に一対のコイルが設けられたステータと、N極とS極が交互に着磁されたロータが設けられ、前記ロータが前記回転部材とギヤで噛み合っている。前記ロータは、前記ステータとステータとの間において回転自在に支持されている。前記各コイルに対する通電を制御すると、前記ロータが回転させられて前記回転部材が回転させられる。
【0004】
【特許文献1】
特開平7−168246号公報
【特許文献2】
特開2000−152595号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記した特許文献1に示すものは、ソレノイドと付勢部材という異なる特性の部材を用いるため、鉄芯の移動量とトルク強度との関係をリニアに出力することができず、鉄芯の移動量の制御が困難である。また、特許文献2に示すものは、可動子を段階的に動作させるものであるため、ステップ駆動時に音が発生して、マイクロフォンが一体に組み込まれた機器ではこの音をマイクロフォンが拾ってしまう問題がある。
【0006】
また、CCD(電荷結合素子)を撮像素子として搭載しているデジタル式のカメラでは、撮影したイメージデータをメモリに取り込む際に、メカニカルなシャッタを閉じてCCDへの露光を遮断する機構が設けられている。メカニカルなシャッタが閉じた状態でイメージデータがメモリに記録される。メカニカルなシャッタがデータの記録中に開いてCCDが露光されると、イメージデータにノイズが発生することがある。したがって、データ記録中は、前記シャッタが不用意に開かないように前記シャッタに対して高トルクの負荷をかけた状態で駆動する必要がある。
【0007】
しかし、特許文献1に示すもので高いトルクを出力させようとすると、可動部であるマグネットの体積を大きくする必要があり、その結果、装置が大型化する。
【0008】
本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、小型で高トルクで駆動でき、しかもリニア駆動できる電磁式アクチュエータ及びこれを用いた露光量調節部材を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、筒体内を往復移動可能に支持された可動部と、前記可動部に駆動力を与える駆動手段と、前記可動部の一端に一方向への磁路を形成する第1の磁気回路と、前記可動部の他端に他方向への磁路を形成する第2の磁気回路を有することを特徴とするものである。
【0010】
例えば、前記第1の磁気回路と第2の磁気回路は、それぞれ第1のヨークと、マグネットと、第2のヨークと、前記可動部の一部により構成され、前記第1の磁気回路と第2の磁気回路が前記可動部の移動方向に対して対称に配置されている。
【0011】
本発明の電磁式アクチュエータでは、可動部をコイルもしくはマグネットにする必要がないので、トルク出力を上げるために例えばマグネットの体積を増やしたり、コイルの巻線数を増やしたとしても可動部の質量が増加することがない。よって、低質量の可動部でしかも高いトルクを出力できる。また、可動部に対する変位量と保持トルクもしくは吸引力との関係をリニアに変化させることができる。
【0012】
また、前記第1のヨーク、マグネット及び第2のヨークは、それぞれ中心に貫通孔が形成された環形状であり、前記各貫通孔内を前記可動部が移動可能に挿入されている構成とすることができる。
【0013】
また、前記筒体は、前記可動部、駆動手段、第1の磁気回路及び第2の磁気回路の全体を覆う形状である構成にできる。これにより、各磁気回路に形成される磁束の強度を増すことができる。
【0014】
また、前記第1の磁気回路と第2の磁気回路のいずれか一方のマグネットが、前記可動部の移動方向に長く形成されている構成にできる。これにより、マグネットを長く形成した側の磁気回路において大きな駆動力を得ることが可能になる。
【0015】
また、前記第1の磁気回路と第2の磁気回路の少なくとも一方の近傍に、漏れ磁束の強度を検出可能な検出素子が設けられている構成にしてもよい。これにより、可動部の位置を検出できるようになり、可動部を途中の位置で保持させる制御が可能になる。
【0016】
また、本発明の露光量調節部材は、前記電磁式アクチュエータの可動部の動作に基づいて動作させられる複数の羽根部材が設けられ、前記羽根部材が、少なくとも開口部を全て開放する全開姿勢と開口部を全て閉じる全閉姿勢に設定可能とされていることを特徴とするものである。
【0017】
上記した電磁式アクチュエータを用いることで、羽根部材の動作を高速に行うことができ、例えばシャッタスピードを高速にできる。
【0018】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の電磁式アクチュエータの外観の一例を示す平面図、図2は電磁式アクチュエータの断面図、図3は電磁式アクチュエータ内部の磁界の流れを示す模式図、図4はシャフトに対する吸引力と変位量の関係を示すグラフ、図5はコイルから発せられる駆動力と変位量との関係を示すグラフである。
【0019】
図1に示すように、本実施の形態の電磁式アクチュエータ1は円筒状の筒体2を有している。筒体2は鉄やフェライトなどの磁性素材で形成されている。また筒体2には、その湾曲面に沿って貫通する四角形状の開口2aが形成されている。
【0020】
図2に示すように、前記筒体2のX1側とX2側には、それぞれ永久磁石で形成されたマグネット3A,3Bが設けられている。各マグネット3A,3Bは、中心に円形の貫通孔3a,3bが形成されたリング形状である。前記筒体2とマグネット3A,3Bとの間には、第1のヨーク4A,4Bが設けられて、この第1のヨーク4A,4Bを間に挟んだ状態で前記筒体2と前記マグネット3A,3Bが固定されている。
【0021】
前記第1のヨーク4A,4Bは、中心に円形の貫通孔4a,4bが形成された円板形状である。前記マグネット3A,3BのX1側とX2側の環状の外側面には、第2のヨーク5A,5Bが固定されている。第2のヨーク5A,5Bは、前記貫通孔4a,4bよりも大径の貫通孔5a,5bが形成された円板形状である。なお、前記第1のヨーク4A,4B及び第2のヨーク5A,5Bも、前記筒体2と同様に鉄やフェライトなどの磁性材料で形成されている。
【0022】
図2に示すように、前記マグネット3A,3Bに形成された貫通孔3a,3bには、それぞれリング状の軸受け6A,6Bが挿入されている。前記軸受け6A,6Bの外径寸法と前記マグネット3A,3Bの内径寸法とが同じまたはほぼ同じに形成されて、前記軸受け6A,6Bが前記マグネット3A,3Bに嵌め合わされた状態で固定されている。なお、前記軸受け6A,6Bは、図2に示すように摺動軸受けであるが、これに限定されるものではなく例えばボール軸受けであってもよい。また軸受けの素材は、高硬度な合成樹脂で形成されたものあるいは金属製のものなどから選択できる。
【0023】
なお、本実施の形態では、図2に示すように、前記マグネット3A,3B、第1のヨーク4A,4B、第2のヨーク5A,5B及び軸受け6A,6Bは、X軸方向の中心O−O線で切断したときの面に対して対称形状となっている。
【0024】
前記軸受け6A,6Bの円柱状の軸穴6a,6bには、棒状のシャフト7がX方向に移動自在に挿入されている。シャフト7は、鉄などの磁性材料で形成されている。またシャフト7の長さ寸法は、図1に示すように第2のヨーク5Aから5Bまでの寸法Lよりも短く且つ前記軸受け6A,6Bの軸穴6a,6bの双方に同時に挿入できる寸法で形成されている。なお、前記シャフト7が本実施の形態での可動部である。
【0025】
また前記シャフト7には、中心O−O線よりもX2側寄りに、軸方向に対して垂直に延びるアーム8が固定されている。このアーム8は、前記筒体2に形成された開口2aから突出する長さ寸法で形成されて、前記アーム8がX1−X2方向へ移動できるように支持されている。なお、このアーム8は、X1方向へ最大に移動したときにシャフト7が軸受け6Bから抜け出ず、X2方向へ最大に移動したときにシャフト7が軸受け6Bから抜け出ない寸法に設定されている。
【0026】
図2に示すように、前記筒体2の内側には、前記シャフト7の周囲に本実施の形態の駆動手段として機能する駆動コイル9が設けられている。この駆動コイル9は、前記シャフト7の周囲に、銅線などの線材を巻回して形成されている。また前記駆動コイル9は、前記開口2aよりもX1側に位置している。このとき駆動コイル9は、シャフト7に接触しないようにして、駆動コイル9のX1側の端部が前記第1のヨーク4AのX2側の面に固定されている。なお、前記駆動コイル9は、合成樹脂製のボビンに銅線などの線材が巻回されて、前記ボビンと駆動コイルが前記第1のヨーク4Aに固定されたものであってもよい。
【0027】
次に、本実施の形態の電磁式アクチュエータ1の動作について説明する。
図3に示すように、前記マグネット3Aでは、X1側がS極、X2側がN極に磁化されて、前記マグネット3Bでは、X1側がN極、X2側がS極に磁化されている。前記駆動コイル9に対して、×印で示す側が紙面裏側から手前側に電流が流れるように通電され、○印で示す側が紙面手前側から裏側に電流が流れるように制御することで、実線B1で示す磁力線の流れが発生する。すなわち、駆動コイル9、第1のヨーク4A、シャフト7及び第1のヨーク4Bによって磁気回路R1が構成される。
【0028】
また、本実施の形態では、破線B2,B3で示すループ状の磁束が発生する。すなわち、マグネット3AのN極、第1のヨーク4A、シャフト7、第2のヨーク5A及びマグネット3AのS極により破線B2で示す第1の磁気回路R2が構成されている。またマグネット3BのN極、第1のヨーク4B、シャフト7、第2のヨーク及びマグネット3BのS極により破線B3で示す第2の磁気回路R3が構成されている。
【0029】
磁気回路R1の磁束と第1の磁気回路R2の磁束とが重なる破線で四角状に囲んだ範囲Q1において、互いに磁力線の向きが同じであるため、この範囲Q1で発生する磁束の強度は強められ、逆に磁気回路R1の磁束と第2の磁気回路R3の磁束とが重なる範囲Q2では、互いに磁束の向きが逆であるため、この範囲Q2で発生する磁束の強度は弱められる。よって、この場合、シャフト7には、矢印で示す駆動力Fが作用することになる。また、図3に示す状態において、駆動コイル9に流れる電流の向きを前記とは逆向きとすることにより、前記駆動力Fとは逆向きの駆動力がシャフト7に作用することになる。シャフト7がX1−X2方向へ移動させられることで、アーム8も開口2a内をX1−X2方向へ移動させられる。
【0030】
図3に示す状態のシャフト7の位置を基準位置(変位量がゼロ)にすると、シャフト7がX1方向に移動させられたときには、X1方向への変位量(移動量)に応じてシャフト7がX1方向へ引き付けられる吸引力は大きくなる。またシャフト7が前記基準位置からX2方向へ移動させられるときには、X2方向への変位量(移動量)に応じて吸引力が増大する。よって、変位量が図4において符号Sで示す狭い範囲内では、シャフト7の変位量に対してシャフト7への吸引力をリニアに変化させることができる。よって、シャフト7の位置制御が容易になる。
【0031】
本実施の形態では、図4に示すように、シャフト7の長さ寸法L1が基準の長さよりも長くなると、破線で示すように、シャフト7の変位量に対する吸引力の増加量ΔH(=b/a)が小さくなる。すなわち、シャフト7が長く形成されていると、シャフト7のX1側の端部が軸受け6A内に入り込む寸法が大きくなって、シャフト7が第1の磁気回路R2から受ける吸引力が増加するが、シャフト7のX2側の端部が軸受け6B内にまだ十分に残っているため、第2の磁気回路R3から受ける吸引力が大きく減少することはなく、このためシャフト7の変位に対する吸引力の変化量ΔHは小さなものとなる。
【0032】
また、シャフト7の長さ寸法L1が基準の長さ寸法よりも短くなると、太い実線で示すように、変化量ΔHは大きくなる。すなわちシャフト7が短く形成されると、シャフト7のX1側の端部が軸受け6A内に入り込む寸法が大きくなって、シャフト7が第1の磁気回路R2から受ける吸引力が増加し、シャフト7のX2側の端部が軸受け6B内に残る寸法が小さくなるため、第2の磁気回路R3から受ける吸引力が大きく減少して、シャフト7の変位に対する吸引力の変化量ΔHが前記よりも大きなものとなる。
【0033】
なお、本実施の形態でシャフト7に与えられる力は、図4に示す吸引力と図5に示す駆動コイル9で発生させられる力の合成力である。図5に示すように、駆動コイル9からシャフト7に与えられる駆動力は、常に一定またはほぼ一定に設定されている。ただし、駆動コイル9から発せられる駆動力は、前記吸引力の最大値よりも高く出力できるように設定されている。これは、シャフト7が一方向に吸引されたままの状態で保持されたときに、逆向きに移動しなくなるのを防止するためである。
【0034】
シャフト7がX1方向の端部まで移動して、シャフト7に対して図4のP1点で示す吸引力が発せられている安定状態において、駆動コイル9に前記吸引力よりも大きな駆動力を発生させる電流を与えることで、シャフト7はX2方向へ移動できる。このとき、磁気回路R1で発生させられる駆動力が第1の磁気回路R2で発生させられる駆動力に打ち勝って、シャフト7はX2側へと移動させられ、シャフト7は最終的にX2側の端部まで移動させられる。なお、シャフト7をX1側の端部からX2側の端部まで移動させる場合には、駆動コイル9に対して微小時間だけ通電すればよい。
【0035】
また、本実施の形態では、シャフト7がX1側及びX2側の各端部において、それぞれ通電状態を解除したとしても、シャフト7はその位置を保持することができる。このように、シャフト7を無通電状態で2つの安定点を発生させることができる。
【0036】
図6は、本発明の第2の実施の形態の電磁式アクチュエータを示す断面図である。図7は、シャフトに対する変位量と保持力との関係を示すグラフである。
【0037】
図6に示す電磁式アクチュエータ10は、上記した電磁式アクチュエータ1と基本的な構造は同じである。この電磁式アクチュエータ10は、円筒状の筒体11を有し、前記筒体11のX方向の両端に、リング状に形成された環状の第1のヨーク12A,12Bが固定されている。前記第1のヨーク12A,12Bの外側には、それぞれマグネット13A,13Bが固定されている。前記マグネット13A、13Bは、X方向に貫通孔13a,13bを有する筒形状であり、マグネット13Bは、マグネット13AよりもX方向へ長く形成されている。
【0038】
前記マグネット13A,13Bの側方には、円板状の第2のヨーク14A,14Bが固定され、前記第2のヨーク14A,14Bには、その中心に前記貫通孔13a,13bと同径の貫通孔14a,14bが形成されている。
【0039】
前記マグネット13Aの貫通孔13aと第2のヨーク14Aの貫通孔14aとで形成された凹部15a内に軸受け16Aが挿入され、前記マグネット13Bの貫通孔13bと第2のヨーク14Bの貫通孔14bとで形成された凹部15b内に軸受け16Bが挿入されている。前記軸受け16Aと16Bは、いずれも同じ形状であり、その中央にX方向に貫通する軸穴16a,16bが形成されている。なお、この軸受け16A,16Bも、摺動軸受けに限られるものではなく、ボール軸受けなど他の型の軸受けであってもよい。
【0040】
前記軸受け16A,16Bには、円柱状のシャフト(可動部)17が摺動自在に挿入されている。前記シャフト17の周囲には、駆動コイル18が設けられ、前記駆動コイル18の両端部が前記第1のヨーク12A,12Bに固定されている。なお、図示していないが、シャフト17には、軸方向に垂直に延びるアームが固定され、このアームがX1−X2方向へ移動可能に設定されている。
【0041】
図6に示す第2の実施の形態では、駆動コイル18を通電することにより、シャフト17、第1のヨーク12A,12B及び筒体11でひとつの磁気回路R4が形成されている。
【0042】
また、前記マグネット13A、第1のヨーク12A、第2のヨーク14A及びシャフト17により第1の磁気回路R5が形成されている。前記マグネット13B、第1のヨーク12B、第2のヨーク14B及びシャフト17により第2の磁気回路R6が形成されている。これにより、第2の磁気回路R6でシャフト17に与えられる駆動力が、第1の磁気回路R5による駆動力よりも大きくなる。
【0043】
図7では、シャフト17の可動範囲とそれよりも狭い使用範囲が示されているが、使用範囲内では、X2方向へ作用する力が大きくなるように設定されている。なお、可動範囲と使用範囲とが同じ範囲であってもよい。
【0044】
図8は、前記電磁式アクチュエータ1の変形例を示す断面図である。この電磁式アクチュエータ20は、磁性材料で形成された筒体21をX1側の端部からX2側の端部まで形成して、さらに第1のヨーク4A,4B、マグネット3A,3B及び第2のヨーク5A,5Bを覆うように形成したものである。このような形状の筒体21で覆うことにより、図3の破線B2,B3で示すループ状の磁束強度を増すことができ、シャフト7を効率的に駆動させることができる。なお、その他の構成は、電磁式アクチュエータ1と同様であるため、同一の符号を付してその説明を省略する。
【0045】
また前記電磁式アクチュエータ1において、図3に示すように、検出素子40を搭載して、シャフト7の位置を検出することができる。この検出素子40は、ホール素子などで形成され、第2のヨーク5Aと対向する位置に設けられている。シャフト7の位置がX1−X2方向へ移動すると、磁気抵抗が変化して、磁束が変化する。例えば、シャフト7が図3に示す位置からX1方向へ移動すると、磁束B2が大きくなる。このときの磁束の増加(または減少)を前記検出素子40で検出することにより、シャフト7の位置を検出することが可能になる。このようにシャフト7の位置を検出することで、X1側の端部とX2側の2つの安定点だけでなく、駆動コイル9に与える駆動電流を制御することで、その途中の位置でシャフト7を保持させることが可能になる。これにより、3箇所以上の位置でシャフト7を保持させることができる。
【0046】
図9は、本発明の露光量調節部材の一例を示す平面図である。この露光量調節部材は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、カメラ機能付きの携帯電話、パソコン用カメラなどのイメージデバイスに適用することができる。
【0047】
この露光量調節部材30は、上記した電磁式アクチュエータ1(または10)と羽根部材31a,31b,31cと、前記羽根部材31a〜31cを駆動する駆動部32により構成されている。
【0048】
前記駆動部32は、リング状のベース33を有し、前記ベース33がイメージデバイスの筐体側に固定されている。このベース33の中央には、円形の開口部33aが形成され、また前記ベース33の一面側には等角度(120度)間隔で軸突起34b,34c,34dが突出して形成されている。前記ベース33の周囲にはリング状の回転部材35が回転自在に支持されている。前記回転部材35には、等角度(120度)間隔で長穴35a,35b,35cが形成されている。この長穴35a,35b,35cは、軸突起34b,34c,34dを中心とした曲率で形成され、回転部材35の回転方向に対して交差する方向に延びて形成されている。
【0049】
前記羽根部材31a〜31cは、いずれも同一形状で半円状の開閉部31a1,31b1,31c1を有している。さらに前記開閉部31a1,31b1,31c1には、取付部31a2,31b2,31c2が一体に形成され、前記取付部31a2,31b2,31c2には、案内ピン36a,36b,36cが固定されて、この案内ピン36a,36b,36cが前記長穴35a,35b,35cに摺動自在に挿入されている。また、前記取付部31a2,31b2,31c2は、前記軸突起34a,34b,34cに回動自在に支持されている。
【0050】
前記電磁式アクチュエータ1に設けられたアーム8は、前記回転部材35まで延びて形成され、この回転部材35は前記アーム8と軸8aによって連結されている。なお、前記軸8aは、回転部材35に対してX方向へ直交する方向へ移動自在に設定されている。
【0051】
次に、本実施の形態の露光量調節部材30の動作について図9を参照して説明する。図9は、全開放状態と全閉鎖状態の中間の状態を図示している。
【0052】
図9に示すように、アーム8がX1方向に直線的に移動させられると、回転部材35が時計回り方向(W1方向)へ回転させられて、案内ピン36a,36b,36cが長穴35a,35b,35c内をベース33の外周縁部に近づく方向へ案内される。このとき各羽根部材31a,31b,31cは、前記開口部33aを閉じる方向へ軸突起34a,34b,34cを支点として互いに同期して回動させられる。そして、羽根部材31a〜31cの開閉部31a1〜31c1が互いに重なり合って前記開口部33aが閉じられる。
【0053】
また、アーム8がX2方向へ直線的に移動させられると、回転部材35が反時計回り方向(W方向)へ回転させられて、案内ピン36a〜36cが長穴35a〜35c内を前記とは逆方向に移動させられる。この動作により各羽根部材31a〜31cは、互いに同期して開口部33aを開く方向へ回動させられる。
【0054】
よって、本実施の形態の露光量調節部材30では、羽根部材31a〜31cが、開口部33aを全て開く全開状態と全て閉じる全閉状態とに設定できる。
【0055】
また、露光量調節部材30をデジタルカメラなどに搭載する場合には、前記羽根部材31a〜31cがCCDと光学レンズとの間に配置されて、開口部33aの全体を開放する全開状態と、開口部33aの全体を閉じる全閉状態とに設定できる。この種のカメラにおいて、例えば耐衝撃性の高いもの、すなわちイメージデータをメモリに記録中に不用意に羽根部材が開かないようにするには、図6に示すように、マグネット13A,13Bを非対称に形成して、一方向(この場合には閉じる方向)への吸引力を高めるようにすればよい。あるいは、図1乃至図3に示す電磁式アクチュエータ1のシャフト7を短く形成して大きな吸引力を発生させるようにしてもよい。これにより、イメージデータをメモリに記録中に不用意に羽根部材が開いて画質が劣化することを防止できる。
【0056】
【発明の効果】
以上説明した本発明の電磁式アクチュエータは、低質量の可動部で高い駆動力を得ることができ、しかも可動部に対する変位量と駆動力とをリニアに変化させることができる。
【0057】
また本発明の露光量調節部材は、デジタルカメラなどのイメージデバイスに搭載したときに、羽根部材を高速で動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の電磁式アクチュエータの外観の一例を示す平面図、
【図2】第1の実施の形態の電磁式アクチュエータの断面図、
【図3】第1の実施の形態の電磁式アクチュエータ内部の磁界の流れを示す模式図、
【図4】シャフトに対する吸引力と変位量の関係を示すグラフ、
【図5】から発せられる駆動力と変位量との関係を示すグラフ、
【図6】本発明の第2の実施の形態の電磁式アクチュエータを示す断面図、
【図7】第2の実施の形態の電磁式アクチュエータの変位量に対する駆動力の変化を示すグラフ、
【図8】第1の実施の形態の電磁式アクチュエータの変形例を示す断面図、
【図9】本発明の露光量調節部材の一例を示す平面図、
【符号の説明】
R2,R5 第1の磁気回路
R3,R6 第2の磁気回路
1,10,20 電磁式アクチュエータ
2,11,21 筒体
3A,3B,13A,13B マグネット
4A,4B,14A,14B 第1のヨーク
5A,5B,15A,15B 第2のヨーク
3a,4a,5a 貫通孔
7,17 シャフト(可動部)
8 アーム
9 駆動コイル(駆動手段)

Claims (7)

  1. 筒体内を往復移動可能に支持された可動部と、前記可動部に駆動力を与える駆動手段と、前記可動部の一端に一方向への磁路を形成する第1の磁気回路と、前記可動部の他端に他方向への磁路を形成する第2の磁気回路を有することを特徴とする電磁式アクチュエータ。
  2. 前記第1の磁気回路と第2の磁気回路は、それぞれ第1のヨークと、マグネットと、第2のヨークと、前記可動部の一部により構成され、前記第1の磁気回路と第2の磁気回路が前記可動部の移動方向に対して対称に配置されている請求項1記載の電磁式アクチュエータ。
  3. 前記第1のヨーク、マグネット及び第2のヨークは、それぞれ中心に貫通孔が形成された環形状であり、前記各貫通孔内を前記可動部が移動可能に挿入されている請求項2記載の電磁式アクチュエータ。
  4. 前記筒体は、前記可動部、駆動手段、第1の磁気回路及び第2の磁気回路の全体を覆う形状である請求項1ないし3のいずれかに記載の電磁式アクチュエータ。
  5. 前記第1の磁気回路と第2の磁気回路のいずれか一方のマグネットが、前記可動部の移動方向に長く形成されている請求項1ないし4のいずれかに記載の電磁式アクチュエータ。
  6. 前記第1の磁気回路と第2の磁気回路の少なくとも一方の近傍に、漏れ磁束の強度を検出可能な検出素子が設けられている請求項1ないし5のいずれかに記載の電磁式アクチュエータ。
  7. 請求項1ないし6のいずれかに記載の電磁式アクチュエータの可動部の動作に基づいて動作させられる複数の羽根部材が設けられ、前記羽根部材が、少なくとも開口部を全て開放する全開姿勢と開口部を全て閉じる全閉姿勢に設定可能とされていることを特徴とする露光量調節部材。
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