JP2004320345A - Mos半導体リレー - Google Patents

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Abstract

【課題】ターンオン時間及びターンオフ時間のバランスが良く、高速の作動が可能な、誤動作の無い安定なMOS半導体リレーを提供する。
【解決手段】発光素子11b、及びフォトダイオード素子11aから成る第1のフォトカプラ11と、第1のフォトカプラ11の電圧出力が、ゲート・ソース間に接続された接点MOSトランジスタ12と、リレー駆動信号で発光し/消光する発光素子14b、及びこの発光で導通、消光で非導通となるフォトトランジスタ14aから成る第2のフォトカプラ14と、前記リレー駆動信号オフからオンへの変化を検出し、これにより発光する発光素子16b、及びこの発光で導通、消光で非導通となり、コレクタ端子が前記フォトトランジスタ14aのベース端子に、エミッタ端子が同じくフォトトランジスタ14aのエミッタ端子に接続されるフォトトランジスタ16aから成る第3のフォトカプラ16とから成る。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体リレー、特に駆動側と接点側が電気的に絶縁されたMOS半導体リレーに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のMOS半導体リレーの基本的な構成は、図3(a)に示すように、リレー駆動信号を出力するリレードライバ31が、発光ダイオードとフォト起電力ダイオードとから成るフォト起電力ダイオードカプラ32の発光ダイオードに接続される。さらに、このフォト起電力ダイオードカプラ32の起電力端子32c、32dが、接点MOSトランジスタ33のゲート及びソースに接続されて、逆直列接続された2つのMOSトランジスタのドレイン端子33a、33b間がリレー接点と成る。
【0003】
なお、逆直列接続とは、2個のNチャンネルMOSトランジスタをソース−ソース接続及びゲートーゲート接続を行い、それぞれのドレインが出力となる回路形態を指す。
【0004】
従来のMOS半導体リレーでは、リレー駆動信号を出力するリレードライバ31が、低い電圧の「オン」信号を出力している場合に、フォト起電力ダイオードカプラ32の発光ダイオード32aが発光して、フォト起電力ダイオードカプラ32の端子32c、32dに起電力が発生する。この起電力が、接点MOSトランジスタ33のゲート・ソース間に印加されて、逆直列接続された2つのドレイン端子33a、33b間が導通状態となり、リレー接点33a、33bはクローズ状態と成る。
【0005】
一方、リレードライバ31が、高い電圧の「オフ」信号を出力すれば、発光ダイオード32aが消光して、起電力の発生が無くなり、接点MOSトランジスタ33のドレイン端子33a、33b間が高インピーダンスの非導通状態となり、リレー接点33a、33bはオープン状態と成る。
【0006】
なお、接点MOSトランジスタ33(リレー)が導通状態から非導通状態となる時間のターンオフ時間を早めるために、接点MOSトランジスタ33の蓄積電荷を放電させる放電回路34が、ゲート・ソース間に接続される場合もある。
【0007】
しかし、上述のMOS半導体リレーの従来の基本的な構成における駆動では、フォト起電力ダイオードカプラ32のフォト起電力ダイオードの起電力立上り特性が遅く、5V程度の発生までに200マイクロ秒から1ミリ秒を要し、このMOS半導体リレーのターンオン時間(リレーがOFFからONに移行する時間)特性をこれ以上に高速化することできない。
【0008】
この問題を解決するために、本発明者等は図3(b)に示すような回路を提案し、本願と同時に出願した。この回路は、同図に示すように、発光素子を電源に接続し、常時発光させたフォト起電力ダイオード42の起電力を、入出力が分離され、バイポーラトランジスタの特性で作動するターンオン時間及びターンオフ時間の短いフォトトランジスタカプラ44が、リレー駆動信号により発光制御された発光素子の光により導通、非導通となってスイッチする、高速化したMOS半導体リレーである。
【0009】
図3(b)に示す高速化したMOS半導体リレー40の構成は、リレー駆動信号を出力するリレードライバ41が、インバータ手段45を介して、フォトトランジスタカプラ44の発光素子44aに接続される。フォトトランジスタカプラ44では、この発光素子44aの発光、消光により、電気的には分離されてバイポーラフォトトランジスタ44bのコレクタ・エミッタ間が導通、非導通となる。
【0010】
発光素子を電源に接続して、フォト起電力ダイオード42bの起電力電圧を常時出力しているフォト起電力ダイオードカプラ42の出力が、このバイポーラフォトトランジスタ44bのコレクタ・エミッタと並列接続され、さらに、接点MOSトランジスタ43のゲート・ソースに接続される。
【0011】
この高速化したMOS半導体リレー40の作動は、図4のタイミング図に示すように、リレー制御信号51が高い電圧のオフ信号Hに対し、インバータ45の出力は低い電圧となって、フォトトランジスタカプラ44の発光素子44aに電流が流れ、フォトトランジスタカプラ44のバイポーラフォトトランジスタ44bが導通状態になっている。このとき、バイポーラフォトトランジスタ44bのコレクタ・エミッタ間は小さい抵抗値r53aの短絡状態となり、これが並列に接続されるフォト起電力ダイオードカプラ42の起電力出力54を低下させて、接点MOSトランジスタ43が非導通状態となり、リレー端子43a、43bはオープン55aに成る。
【0012】
一方、リレー制御信号51が低い電圧のオン信号Lとなれば、インバータ45の出力は高い電圧となって、発光素子44aの電流52が遮断され、フォトトランジスタ44bが非導通状態になる。バイポーラフォトトランジスタ44bのコレクタ・エミッタ間は大きい抵抗値R53bの開放状態となり、起電力出力54には大きい抵抗値R53bが並列接続されるので、起電力出力がそのまま出力されて、接点MOSトランジスタ43が導通状態となって、リレー端子43a、43bはクローズ55bに成る。
【0013】
このフォトトランジスタ44bのスイッチング特性時間は、発光ダイオード電流52の遮断から流入への変化に対し、約3マイクロ秒のターンオン遅れ時間で、また流入から遮断への変化に対し、約40マイクロ秒のターンオフ遅れ時間で作動するので、図3(a)に示す、基本的な構成のMOS半導体リレー30に比較して、約20〜10倍高速のMOS半導体リレーとなる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上に述べた高速作動するフォトトランジスタカプラによるスイッチングを行なう高速化されたMOS半導体リレーであっても、以下の問題点がある。
【0015】
すなわち、接点MOSトランジスタ43をスイッチするフォトトランジスタカプラのフォトトランジスタ44bが、図4のフォトトランジスタのR(抵抗値)53の導通(飽和)状態から非導通状態に切り替るとき53cには、ベース電荷蓄積効果により、その放電に時間が延長されて、ターンオフ時間に約40マイクロ秒を要し、リレーの導通状態への作動55cが遅れる。
【0016】
一方、リレーの非導通状態への作動は、フォト起電力ダイオード42aの起電力を、フォトトランジスタ44bがターンオン時間で小さい抵抗となって短絡するため、前述のターンオフ時間に比べて高速の約3マイクロ秒程度で行われる。
【0017】
したがって、従来の基本的な構成でフォト起電力ダイオードカプラにより駆動されるMOS半導体リレーはもとより、高速作動するフォトトランジスタカプラによるスイッチングを行なうMOS半導体リレーにおいても、リレーのターンオン時間が約40マイクロ秒と、そのターンオフ時間の約10倍以上長く、ターンオン時間とターンオフ時間の均衡が取れていない。したがって、高速化を図ったMOS半導体リレーにおいても、ターンオン時間が長い(遅い)ため、高速のリレー動作が困難であることが、大きな問題となっていた。
【0018】
また、従来のフォト起電力ダイオードカプラによるMOS半導体リレーでは、フォト起電力ダイオードが起電力を発生しない、接点MOSトランジスタが非導通(リレー接点はオープン)状態では、この接点MOSトランジスタのゲート・ソース間は高インピーダンスとなって、外来ノイズなどにより異常充電を引き起こし、一時的に接点MOSトランジスタが導通状態に成る誤動作が発生する問題も有った。
【0019】
この発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、ターンオン時間及びターンオフ時間のバランスの良い高速化を図り、高速作動が可能であり、リレーがオープン状態であっても誤動作の無い安定なMOS半導体リレーを提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明のMOS半導体リレーは、電源端子間に接続された発光素子、及びこの発光素子からの発光を受光して電圧を出力するフォトダイオード素子から成る第1のフォトカプラと、この第1のフォトカプラの前記電圧出力が、ゲート・ソース間に接続された接点MOSトランジスタと、リレー駆動信号により選択的に発光制御される発光素子、及びこの発光素子からの光により導通或いは非導通となり、ベース端子を備えるフォトトランジスタ素子の出力が、前記接点MOSトランジスタのゲート・ソース間に接続された第2のフォトカプラと、前記リレー駆動信号を位相反転し、さらに微分された信号により選択的に発光制御され、並列接続したバイパスダイオードを備える発光素子、及びこの発光素子からの光により導通或いは非導通となるフォトトランジスタ素子のコレクタが前記第2のフォトカプラのフォトトランジスタのベース端子に接続され、エミッタが同じく前記第2のフォトカプラのエミッタ端子に接続されるフォトトランジスタから成る第3のフォトカプラとから成り、前記第2のフォトカプラの導通、非導通により前記接点MOSトランジスタを導通、非導通制御し、前記第3のフォトカプラの導通により前記第2のフォトカプラのフォトトランジスタのベース蓄積電荷の放電を速めたことを特徴とするものである。
【0021】
さらに、本発明のMOS半導体リレーは、前記リレー駆動信号は、インバータ手段を介して前記第2のフォトカプラの発光素子に接続され、前記リレー駆動信号を位相反転しさらに微分された前記信号は、前記インバータ手段の入力から分岐され、コンデンサを介して第3のフォトカプラの並列接続したバイパスダイオードを備える発光素子に接続され、前記接点MOSトランジスタは、ノーマリーオープン接点作動することを特徴とするものである。
【0022】
さらに、本発明のMOS半導体リレーは、前記リレー駆動信号は、前記第2のフォトカプラの発光素子に接続され、前記リレー駆動信号を位相反転しさらに微分された前記信号は、前記リレー駆動信号をインバータ手段及びコンデンサが直列接続された手段を介して、第3のフォトカプラの並列接続したバイパスダイオードを備える発光素子に接続され、前記接点MOSトランジスタは、ノーマリークローズ接点作動することを特徴とするものである。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面により詳細に説明する。
【0024】
図1は、本発明の一実施形態を示す構成図である。
【0025】
本発明の実施形態は、図1に示すように、フォト起電力ダイオードカプラ11と、接点MOSトランジスタ12と、インバータ13と、ベース端子を有するフォトトランジスタ14aを備える第1のフォトトランジスタカプラ14と、トリガ用コンデンサ15と、ベース端子を有し、このベースが抵抗を介してエミッタに接続され、このコレクタがフォトトランジスタ14aの前記ベース端子に接続されている第2のフォトトランジスタカプラ16とから構成される。
【0026】
実施形態のMOS半導体リレー10には、フォト起電力ダイオードカプラ11の発光素子11は電源端子10e、10fに接続され、この電源端子には電源が接続される。また、リレー駆動信号19aを出力する、オープンコレクタトランジスタから成るリレードライバ19の出力が入力端子10cに接続される。
【0027】
次に、本実施形態のMOS半導体リレー10の接続の詳細を、図1により説明する。
【0028】
先ず、フォト起電力ダイオードカプラ11は、電源が発光素子に接続されて、常時起電力を発生している。このフォト起電力ダイオードカプラ11の起電力出力は、逆直列接続して構成されている接点MOSトランジスタ12のゲート・ソースに接続される。
【0029】
この接点MOSトランジスタ12の逆直列接続された2つのドレイン端子10a、10bが、MOS半導体リレー10のリレー接点端子となる。
【0030】
一方、このMOS半導体リレー10に対するリレー制御信号19aは、リレードライバ19により、入力端子10cを介してインバータ13及びトリガ用コンデンサ15に入力される。
【0031】
リレー駆動信号19aが入力されたインバータ13の出力は、第1のフォトトランジスタカプラ14の発光素子14bに接続され、ベース端子を有するフォトトランジスタ14aの出力のコレクタ端子及びエミッタ端子は、フォト起電力ダイオードカプラ11のフォト起電力ダイオード11aの起電力出力に並列に接続される。
【0032】
一方、同じくリレー駆動信号19aが入力されたトリガ用コンデンサ15の他の端子が、バイパスダイオード18を並列に接続した第2のフォトトランジスタカプラ16の発光ダイオード16bのカソードに接続される。さらに、フォトトランジスタ16aのコレクタは第1のフォトトランジスタカプラ14のフォトトランジスタ14aのベース端子に、エミッタは同じくフォトトランジスタ14aのエミッタ端子に接続される。なお、フォトトランジスタ16aのベースは、抵抗を介してエミッタに接続して自己バイアスされる。
【0033】
上述のように接続される本実施形態の作用、動作を、次に説明する。
【0034】
フォト起電力ダイオードカプラ11の発光ダイオード11bが電源に接続され、常時発光しているので、フォト起電力ダイオード11aは、起電力電圧を常時発生している。
【0035】
この起電力の出力は、接点MOSトランジスタ12のゲート端子及びソース端子に接続されるが、この端子に印加される電圧は、フォト起電力ダイオードカプラ11の起電力端子に同じく出力を並列接続した第1のフォトトランジスタカプラ14により制御される。この制御は、リレー駆動信号19aに対応して作動し、接点MOSトランジスタ12のドレインのリレー接点端子10a、10b間が「導通」または「非導通」の変化をする。
【0036】
図2の本実施形態のMOS半導体リレーのタイミング図に示すように、リレー駆動信号19aは、例えば、高い電圧のオフ信号が、時刻tONで低い電圧のオン信号となり、その後、時刻tOFFに再び高い電圧のオフ信号に変化する場合を例に説明する。
【0037】
すなわち、このリレー駆動信号19aが入力されたインバータ13の出力23は、リレー駆動信号19aと逆位相の電圧を出力する。例えば、リレー駆動信号19aのタイミング図(図2)の駆動信号波形22の高い電圧のオフ信号では低い電圧L23aを、低い電圧のオン信号では高い電圧H23bを出力する。
【0038】
さらに、このインバータ13の出力23が、第1のフォトトランジスタカプラ14の発光ダイオード14bのカソードに接続され、この発光ダイオードに流れる電流24は、駆動信号波形22の高い電圧のオフ信号22aでは流入し、低い電圧のオン信号22bでは遮断される。これにより発光ダイオード14bは、駆動信号波形22の高い電圧のオフ信号22aで発光24aしており、低い電圧のオン信号22bで消光24bしている。
【0039】
なお、これ等の入力に対する出力の変化には、後述の遅延に比べて充分小さい時間遅れを伴うが、無視して省略する。
【0040】
ここで、例えば、図1に示す本実施形態のMOS半導体リレーのトリガ用コンデンサ15及び第2のフォトトランジスタカプラ16の回路が接続されない場合は、図4のタイミング図で示すフォトトランジスタカプラによる高速化作動を図る従来のMOS半導体リレーと同様になる。したがって、この場合には、第1のフォトトランジスタカプラ14のフォトトランジスタ14aのターンオフ時間の遅れが生じて、図2のフォトトランジスタ14a出力28に点線で示す、オン信号22bが入力された時刻tONから約40マイクロ秒遅延したフォトトランジスタ14aの低インピーダンス状態(導通状態)28dの後に、高インピーダンス状態(非導通)28eに変化する動作をフォトトランジスタ14aがすることになる。
【0041】
この遅延は、前述したように、第1のフォトトランジスタカプラ14のフォトトランジスタ14aのベース蓄積電荷の放電が遅れることによるものである。
【0042】
本実施形態では、図1に示す、リレー駆動信号19aが、トリガ用コンデンサ15を介し、バイパスダイオード18が並列接続された、第2のフォトトランジスタカプラ16の発光ダイオード16bのカソードに接続される。さらに、この発光ダイオードからの光を受光して導通するフォトトランジスタ16aのコレクタが、第1のフォトトランジスタカプラ14のフォトトランジスタ14aのベースに接続されて、この蓄積電荷を放電する。
【0043】
すなわち、上述のトリガ用コンデンサ15を介して接続された発光ダイオード16b或いはバイパスダイオード18に、リレー駆動信号19aの波形変化22に応じて電流がながれる。リレー駆動信号がオフ信号22aからオン信号22bに変化する毎に、トリガ用コンデンサ15の電流25は、インバータ13側に向かって電流25aが流れ、リレー駆動信号がオン信号22bからオフ信号22aに変化する毎に、インバータ13側から逆の電流25bが流れ込む。このインバータ13側に向かって流れる電流25aは、発光ダイオード16bを流れて、この発光ダイオードを発光させる。一方、インバータ13側から流れ込む電流25bは、バイパスダイオード18を流れて、発光ダイオード16bは発光しない。
【0044】
第2のフォトトランジスタカプラ16の発光ダイオード16bの発光により、発光ダイオードのターンオン時間である約3マイクロ秒遅れて、この第2のフォトトランジスタカプラ16が導通状態となり、フォトトランジスタ16aのコレクタが接続される第1のフォトトランジスタカプラ14のフォトトランジスタ14aのベースから蓄積電荷を急速に放電する。
【0045】
この蓄積電荷の急速な放電により、フォトトランジスタ14aのスイッチ特性28は、フォトトランジスタのターンオンの放電特性で、急速に高抵抗状態28bに変化し、高インピーダンス状態(非導通)28eを維持する。
【0046】
したがって、リレー駆動信号19aが、時刻tONにオフ信号22aからオン信号22bに変化した場合には、時刻tONから約3マイクロ秒の遅延で、第1のフォトトランジスタカプラ14のフォトトランジスタ14aのコレクタ・エミッタ間は、高抵抗28b、28eとなって、フォト起電力ダイオードカプラ11の起電力出力29が、接点MOSトランジスタ12のゲート・ソース間に印加される。この印加された起電力電圧は、接点MOSトランジスタ12を導通作動させるに充分な電圧Vとなり、接点MOSトランジスタ12のリレー接点10a、10bは、導通状態のクローズ接点となる。
【0047】
一方、リレー駆動信号19aが、時刻tOFFにオン信号22bからオフ信号22cに変化した場合では、時刻tOFFには、前述したように、リレー駆動信号19aの変化によるトリガ用コンデンサ15の電流25が、バイパスダイオード18を流れて、発光ダイオード16bは発光しない。しかし、リレー駆動信号19aのオフ信号22bからオン信号22aの変化は、図2のt=tOFFに示すように、第1のフォトトランジスタカプラ14の発光ダイオード14bの電流24が流れて、消灯24bから点灯24cになる。このとき、フォトトランジスタ14aはフォトトランジスタのターンオン特性時間の約3マイクロ秒の遅延でターンオンする。このターンオンにより、フォトトランジスタ14aのコレクタ・エミッタ間は、約3マイクロ秒の遅延時間後に飽和の低抵抗rとなって、フォト起電力ダイオードカプラ11の起電力出力29を短絡するので、接点MOSトランジスタ12のゲート・ソース間の印加電圧がなくなる。
【0048】
このフォトトランジスタ14aの短絡により、接点MOSトランジスタ12は非導通状態となり、接点MOSトランジスタ12のリレー接点10a、10bはオープン接点となる。
【0049】
上述のように、リレー作動のターンオンまたはターンオフに数百マイクロ秒の作動時間の遅れが有る従来のMOS半導体リレー、或いは高速化を図るフォトトランジスタカプラ1個を追加したMOS半導体リレーで、ターンオフ時間が約3マイクロ秒程度に短縮されても、ターンオン時間が約40マイクロ秒程度と動作バランスが非常に悪く、従来のいずれのMOS半導体リレーも高速の動作に不向きであったことに比べて、高速化を図る第1のフォトトランジスタカプラを追加し、さらにこの第1のフォトトランジスタのベース蓄積電荷を放電する第2のフォトトランジスタカプラを備えた本発明の実施形態によれば、ターンオン時間、ターンオフ時間ともに約3マイクロ秒程度の遅延で作動する、高速作動を可能とするMOS半導体リレーを実現できる。
【0050】
また、本実施形態では、接点MOSトランジスタがOFFの状態でも、フォトトランジスタカプラのフォトトランジスタでゲート・ソース間が短絡されており、ノイズマージンの高く安定したMOS半導体リレーを実現できる。
【0051】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明によれば、第2のフォトトランジスタカプラで第1のフォトトランジスタカプラのフォトトランジスタンのベース蓄積電荷を急速に放電させて、従来のMOS半導体リレーに比べて、ターンオン時間及びターンオフ時間が共に速く、その作動速度を約数百倍程度高速にしたMOS半導体リレーを提供できる効果がある。
【0052】
さらに、MOS半導体リレーがOFF状態の時でも、接点MOSトランジスタのゲート・ソース間を短絡するので、誤動作の無い安定な作動するMOS半導体リレーを提供できる効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態のMOS半導体リレーを示す構成図。
【図2】本発明の実施形態のMOS半導体リレーのタイミング図。
【図3】従来のMOS半導体リレーの構成を示す図。
【図4】従来のMOS半導体リレーのタイミング図。
【符号の説明】
10・・・MOS半導体リレー、
10a、10b・・・リレー接点端子、
10c、40c・・・信号入力端子、
10e、10f・・・電源端子、
11、32、42・・・フォト起電力ダイオードカプラ、
11a、32b、42b・・・フォト起電力ダイオード、
11b、14b、16b、32a、42a、44a・・・発光素子、
12、33、43・・・接点MOSトランジスタ、
13、45・・・インバータ、
14、16、44・・・フォトトランジスタカプラ、
14a、16a、44b・・・フォトトランジスタ、
15・・・トリガ用コンデンサ、
18・・・バイパスダイオード、
19、31、41・・・リレードライバ、
19a・・・リレー駆動信号、
22・・・リレー駆動信号(インバータ入力)、
23・・・インバータ出力、
24・・・発光ダイオード14b電流、
25・・・トリガ用コンデンサ電流(インバータ入力方向)、
26・・・発光ダイオード16b電流、
27・・・トランジスタ16aスイッチ特性、
28・・・トランジスタ14aスイッチ特性、
29・・・起電力出力、
30・・・接点MOSトランジスタの開閉、
51・・・リレー制御信号、
52・・・発光ダイオード44a電流、
53・・・フォトトランジスタ44bスイッチ特性、
54・・・起電力出力、
55・・・接点MOSトランジスタの作動。

Claims (3)

  1. 電源端子間に接続された発光素子、及びこの発光素子からの発光を受光して電圧を出力するフォトダイオード素子から成る第1のフォトカプラと、
    この第1のフォトカプラの前記電圧出力が、ゲート・ソース間に接続された接点MOSトランジスタと、
    リレー駆動信号により選択的に発光制御される発光素子、及びこの発光素子からの光により導通或いは非導通となり、ベース端子を備えるフォトトランジスタ素子の出力が、前記接点MOSトランジスタのゲート・ソース間に接続された第2のフォトカプラと、
    前記リレー駆動信号を位相反転し、さらに微分される信号により選択的に発光制御され、並列接続したバイパスダイオードを備える発光素子、及びこの発光素子からの光により導通或いは非導通となるフォトトランジスタ素子のコレクタが前記第2のフォトカプラのフォトトランジスタのベース端子に接続され、エミッタが同じく前記第2のフォトカプラのエミッタ端子に接続されるフォトトランジスタから成る第3のフォトカプラとから成り、前記第2のフォトカプラの導通、非導通により前記接点MOSトランジスタを導通、非導通制御し、前記第3のフォトカプラの導通により前記第2のフォトカプラのフォトトランジスタのベース蓄積電荷の放電を速めたことを特徴とするMOS半導体リレー。
  2. 前記リレー駆動信号は、インバータ手段を介して前記第2のフォトカプラの発光素子に接続され、前記リレー駆動信号を位相反転し、さらに微分される信号は、前記インバータ手段の入力から分岐され、コンデンサを介して第3のフォトカプラの並列接続したバイパスダイオードを備える発光素子に接続され、前記接点MOSトランジスタは、ノーマリーオープン接点作動することを特徴とする請求項1記載のMOS半導体リレー。
  3. 前記リレー駆動信号は、前記第2のフォトカプラの発光素子に接続され、前記リレー駆動信号を位相反転し、さらに微分された信号は、前記リレー駆動信号をインバータ手段及びコンデンサが直列接続された手段を介して、第3のフォトカプラの並列接続したバイパスダイオードを備える発光素子に接続され、前記接点MOSトランジスタは、ノーマリークローズ接点作動することを特徴とする請求項1記載のMOS半導体リレー。
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