JP2004304949A

JP2004304949A - 圧電アクチュエータ

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Publication number: JP2004304949A
Application number: JP2003096619A
Authority: JP
Inventors: Ayumi Matsumoto; 歩松元; Hisamitsu Sakai; 久満酒井; Hidetoshi Watanabe; 英年渡辺; Atsuo Sakaida; 惇夫坂井田; Atsushi Hirota; 淳廣田
Original assignee: Brother Industries Ltd; Kyocera Corp
Current assignee: Brother Industries Ltd; Kyocera Corp
Priority date: 2003-03-31
Filing date: 2003-03-31
Publication date: 2004-10-28
Anticipated expiration: 2023-03-31
Also published as: JP4261234B2

Abstract

【課題】薄型であっても反り変形が生じるのを抑制し、変位部間での変位ばらつきを低減することができる圧電アクチュエータを提供することである。
【解決手段】振動板２上に、共通電極３、圧電セラミック層４および個別電極５がこの順に積層され、セラミック層７，８は圧電セラミック層４と同一材料で形成され、複数の個別電極５の合計表面積と共通電極３の表面積との比率Ｓが０．１≦Ｓ≦０．８の関係を満足し、位置Ａが位置Ｂよりも共通電極３側に位置し、位置Ａと位置Ｂの距離ｔが０＜ｔ≦０．２５Ｚの関係を満足する圧電アクチュエータである。ここで、位置Ａとは、振動板２、共通電極３および圧電セラミック層４の合計厚みをＺとしたときに、圧電セラミック層４の表面から厚み方向にＺ／２の位置であり、位置Ｂとは、共通電極３と導体層６との間隔をＴとしたときに、共通電極３から導体層６の方向にＴ／２隔てた位置である。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細な変位を発生させることにより、各種デバイスの位置決めや加圧などに用いられる圧電アクチュエータ、特にインクジェット記録ヘッドに利用される圧電アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピュータの普及やマルチメディアの発達に伴って、情報を記録媒体に出カする記録装置として、インクジェット方式のプリンタの利用が急速に拡大している。かかるプリンタにはインクジェット記録ヘッドが搭載されている。このインクジェット記録ヘッドとしては、ヘッドの小型薄型化が容易で、しかも高精度の印字が可能になるという点で、圧電方式が広く用いられている。
【０００３】
圧電方式のインクジェット記録ヘッドに用いられる圧電アクチュエータとしては、例えば特許文献１に記載されたものが知られている。図３は、従来の圧電アクチュエータを示す断面図である。同図に示すように、この圧電アクチュエータは、振動板５１上に、共通電極５２、圧電セラミック層５３および個別電極５４がこの順に積層され、個別電極５４が圧電セラミック層５３の表面に複数配列されたものである。振動板５１は導体層５５を介して一対のセラミック層５６，５７を積層したものである。この圧電アクチュエータは、個別電極５４と共通電極５２との間に電圧を印加させることによって、個別電極５４、圧電セラミック層５３および共通電極５２で構成される複数の変位部に圧電振動を発生させることができる。
【０００４】
一般に、圧電セラミック層５３とセラミック層５６，５７とは同一材料で形成され、しかも一体焼成（同時焼成）により形成されているので、両層の熱膨張係数は同じ値になり、圧電アクチュエータが薄型で圧電振動による変位が大きくなったとしても圧電セラミック層５３とセラミック層５６，５７とが剥離するようなことはない。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−２９２８６０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような圧電アクチュエータでは、薄型で圧電セラミック層５３およびセラミック層５６，５７の剛性が低いときには、同時焼成後に反り変形が発生することがあり、特に圧電セラミック層５３の表面に複数の個別電極５４を形成することによって大きな反り変形が発生し、変位部間で大きな変位ばらつきが生じるという問題があった。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、薄型であっても反り変形が生じるのを抑制し、変位部間での変位ばらつきを低減することができる圧電アクチュエータを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の圧電アクチュエータは以下の構成からなる。
（１）振動板上に、共通電極、圧電セラミック層および個別電極がこの順に積層され、前記個別電極が圧電セラミック層の表面に複数配列された圧電アクチュエータであって、前記振動板は導体層を介してセラミック層を積層したものであり、前記セラミック層は前記圧電セラミック層と同一材料で形成され、複数の前記個別電極の合計表面積と前記共通電極の表面積との比率Ｓ（個別電極の合計表面積／共通電極の表面積）が０．１≦Ｓ≦０．８の関係を満足し、下記位置Ａが下記位置Ｂよりも前記共通電極側に位置し、下記位置Ａと下記位置Ｂの距離ｔと、下記合計厚みＺとが０＜ｔ≦０．２５Ｚの関係を満足することを特徴とする圧電アクチュエータ。
位置Ａ：前記振動板、前記共通電極および前記圧電セラミック層の合計厚みをＺとしたときに、前記圧電セラミック層の表面から厚み方向にＺ／２の位置
位置Ｂ：前記共通電極と前記導体層との間隔をＴとしたときに、前記共通電極から前記導体層の方向にＴ／２隔てた位置
（２）前記合計厚みＺが１００μｍ以下である（１）記載の圧電アクチュエータ。
（３）前記共通電極の厚みおよび前記導体層の厚みが０．５μｍ以上である（１）または（２）記載の圧電アクチュエータ。
（４）前記共通電極の厚みと前記導体層の厚みとの差が５μｍ以下である（１）〜（３）のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
（５）前記導体層の厚みをａとし、前記導体層のヤング率をｂとしたときに、１５×１０^１５≦ｂ／ａ≦２２０×１０^１５の関係を満足する（１）〜（４）のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
（６）前記共通電極と前記導体層とは同一材料で形成されている（１）〜（５）のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
（７）前記個別電極の厚みが２μｍ以下である（１）〜（６）のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
【０００９】
前記（１）記載の圧電アクチュエータによれば、該圧電アクチュエータを薄型に形成した場合であっても、導体層と共通電極との距離ｔが上記した所定の関係を満足するように各部材を配置し、さらに個別電極と共通電極との面積比率Ｓが所定の関係を満足するときは、圧電セラミック層の表面に個別電極を形成する焼成処理の後に反り変形が生じるのを抑制し、変位部間での変位ばらつきを低減することができる。
【００１０】
上記のように、本発明の圧電アクチュエータは、反り変形が生じるのを抑制することができるので、前記（２）記載のように、前記合計厚みＺが１００μｍ以下に薄型化することも可能である。
【００１１】
前記（３）記載の圧電アクチュエータによれば、共通電極の厚みおよび導体層の厚みが０．５μｍ以上であるので、剛性を向上させて反り変形の抑制効果を高めることができる。これにより、変位部間の変位ばらつきをより低減することができる。
【００１２】
前記（４）記載の圧電アクチュエータによれば、共通電極の厚みと導体層の厚みとの差を５μｍ以下に小さくしているので、この厚み差に起因する反り変形を低減することができる。これにより、変位部間の変位ばらつきをさらに低減することができる。
【００１３】
前記（５）記載の圧電アクチュエータによれば、導体層の厚みａとヤング率ｂとが上記した関係を満足するときは、圧電アクチュエータの剛性を高めることができるので、反り変形を抑制することができる。
【００１４】
前記（６）記載の圧電アクチュエータによれば、共通電極と導体層とが同一材料で形成されているときは、これらを同時焼成する際において圧電アクチュエータ内の焼成収縮を均等にすることができる。
【００１５】
前記（７）記載の圧電アクチュエータによれば、個別電極の厚みが２μｍ以下であるときは、個別電極を圧電アクチュエータの厚み方向に非対称に配置することに起因する反り変形を低減することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態にかかる圧電アクチュエータについて図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施形態の圧電アクチュエータを示す断面図である。
【００１７】
同図に示すように、圧電アクチュエータ１は、振動板２上に、共通電極３、圧電セラミック層４、個別電極５がこの順に積層され、個別電極５が圧電セラミック層４の表面に２次元的かつ規則的に複数配列されたものである。振動板２は導体層６を介して一対のセラミック層７，８を積層したものであり、圧電セラミック層４の表面に個別電極５を形成する焼成処理の後に反り変形が生じるのを抑制する。
【００１８】
この圧電アクチュエータ１は、個別電極５と共通電極３との間に電圧を印加することによって、個別電極５、圧電セラミック層４および共通電極３で構成される複数の変位部に圧電振動を発生させることができる。また、共通電極３と導体層６とは電気的に接続されているのが好ましい。これにより、変位部が変位することによって発生する振動板２の圧電駆動による電力損失を低減することができる。
【００１９】
振動板２、共通電極３および圧電セラミック層４の合計厚みＺは、特に限定されないが、変位部の変位量を大きくするという点で、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは８０μｍ以下、さらに好ましくは５０μｍ以下であるのがよい。一方、合計厚みＺの下限値は、取扱中や作動中に破損しない程度の機械的強度を有し、印加される電圧に耐えうるようにするために、好ましくは２０μｍ以上、より好ましくは２５μｍ以上、さらに好ましくは３０μｍ以上であるのがよい。
【００２０】
圧電セラミック層４の表面から厚み方向にＺ／２の位置Ａは、共通電極３と導体層６との間隔をＴとしたときに、共通電極３から導体層６の方向にＴ／２隔てた位置Ｂよりも共通電極３側に位置している。また、位置Ａと位置Ｂの距離ｔと、合計厚みＺとが０＜ｔ≦０．２５Ｚの関係を満足することが重要であり、特に距離ｔは０．０２〜０．１Ｚの範囲であるのが好ましい。ｔ＞０．２５Ｚの場合には、圧電アクチュエータ１の反りが大きくなる。
【００２１】
さらに、複数の個別電極５の合計表面積と共通電極３の表面積との比率Ｓ（個別電極５の合計表面積／共通電極３の表面積）が０．１≦Ｓ≦０．８の関係を満足することが重要であるが、変位量ばらつきを小さくするという理由から、特に、比率Ｓは０．２〜０．５であることがより望ましい。Ｓ＜０．１の場合には、個別電極の集積度が低く実用上の性能が得られない。一方、Ｓ＞０．８の場合には、個別電極の面積割合が大きくなりすぎて圧電アクチュエータ１の反りが大きくなる。
【００２２】
本発明では、比率Ｓを高めて個別電極５を高集積化した場合であっても、共通電極３および導体層６の位置を、距離ｔと厚みＺとが上記関係を満足するように調整することにより、反りを低減し、最大変位量を増加させ、変位量のばらつきを低減して高性能の圧電アクチュエータとして機能させることができる。
【００２３】
また、圧電セラミック層４の厚みおよびセラミック層７，８の各厚みは、位置Ａ、位置Ｂおよび距離ｔが上記関係を満足すれば特に限定されないが、小型薄型化という点で、好ましくは２０μｍ以下にするのがよく、取扱中や作動中に破損しない程度の機械的強度を有し、印加される電圧に耐えうるようにするために、より好ましくは１０〜２０μｍの範囲であるのがよい。
【００２４】
共通電極３および導体層６の厚みは０．５μｍ以上、好ましくは、１μｍ以上であるのがよい。これにより、圧電アクチュエータ１の剛性を向上させて反り変形の抑制効果を高めることができる。また、共通電極３の厚みと導体層６の厚みとの差は５μｍ以下、好ましくは２μｍ以下、より好ましくは１μｍ以下であるのがよい。さらに、導体層６の厚みをａとし、導体層６のヤング率をｂとしたときに、１５×１０^１５≦ｂ／ａ≦２２０×１０^１５の関係を満足するのが好ましい。個別電極５の厚みは２μｍ以下、好ましくは、１μｍ以下であるのがよい。
【００２５】
圧電セラミック層４には、例えばチタン酸ジルコン酸鉛化合物（ＰｂＺｒＴｉＯ_３系化合物（ＰＺＴ系））、チタン酸鉛化合物、チタン酸バリウム化合物などのペロブスカイト結晶構造型の圧電材料が好適に用いられる。これらのうち、大きな変位を得られるという点で、ＰＺＴ系を用いるのが好ましい。また、セラミック層７，８には、圧電セラミック層４と同一材料を使用する。圧電セラミック層４、セラミック層７，８は、それぞれ１層で構成されていてもよく、複数の層から構成されていてもよい。
【００２６】
個別電極５としては、例えばＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｐｄ、Ｐｔなどの金属またはこれらの少なくとも１種以上を主成分とする合金などを用いるのが好ましく、薄層化しても高い導電性が得られるという点で、特にＡｕを用いるのがより好ましい。
【００２７】
共通電極３および導体層６は、同一材料により形成されるのが好ましい。共通電極３および導体層６としては、例えばＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｐｄ、Ｐｔなどの金属またはこれらの少なくとも１種以上を主成分とする合金などを用いるのが好ましく、密着強度を高めるという点で、特にＡｇ−Ｐｄ合金に、さらに、圧電セラミック層４と同一材料を添加して用いるのがより好ましい。
【００２８】
次に、本発明の圧電アクチュエータ１の製造方法について説明する。
まず、前記したチタン酸ジルコン酸鉛化合物、チタン酸鉛化合物、チタン酸バリウム化合物などを主成分とする圧電セラミック粉体を準備する。この圧電セラミック粉体の平均粒径は１μｍ以下であることが望ましく、特に０．７μｍ以下、更には０．５μｍ以下であることが好ましい。圧電セラミック粉体の平均粒径を１μｍ以下にすることにより焼結時の均一な焼成収縮が得られ均質な圧電セラミック層４およびセラミック層７，８を得ることができる。この圧電セラミック粉末と有機バインダ成分を混合し、シート成形用のスラリを調製する。ついで、この成形用スラリを用いてロールコータ法、スリットコータ法、ドクターブレード法等の一般的なシート成形法によりグリーンシートを作製する（成形工程）。
【００２９】
ついで、成形工程で得られたグリーンシートを加圧する（加圧工程）。加圧法として公知の手法を採用することができるが、均一な厚みにすることが容易である点で、加圧には特にロール加圧法、平面加圧法、静水圧加圧法等を用いることができる。このように、シート成形後にグリーンシートの加圧処理を行うことで、シートの密度を高め、厚みばらつきや密度ばらつきを低減することができる。加圧圧力は、材料組成、有機バインダ量、グリーンシート厚み等によって異なるが１０〜１００ＭＰａ、特に、２０〜５０ＭＰａ、更には、３０〜４０ＭＰａの圧力で加圧することが好ましい。ここで加圧工程によって得られた各グリーンシートの厚みばらつきは１５％以下、特に１０％以下にすることが、焼成後に形成される圧電セラミック層４、セラミック層７，８の厚みばらつきや、それらが積層されて形成される変位部の厚みばらつきを低減するとともに反り変形を防止することが容易となる。
【００３０】
次に、前記した電極材料からなる導体ペーストを用いて、加圧工程で得られたグリーンシートの一方の面に、焼成後に個別電極５、共通電極３および導体層６となる金属パターンをスクリーン印刷により形成する。この場合の厚みは２〜５μｍ、厚みばらつき（あるいは差）は１〜２μｍになるように調整することが望ましい。
【００３１】
次に、得られたグリーンシートを例えば図１に示す構成で積層し、密着させて積層成形体を得る（積層工程）。なお、密着を行う手法としては、接着成分の含まれた密着液使用による方法、加熱によりグリーンシート中の有機バインダ成分に接着性を持たせて密着する方法、加圧だけで密着させる方法等を例示できる。
【００３２】
積層工程で得られた積層成形体は、所望の脱脂処理により積層成形体中の有機成分の除去を行った後、酸素雰囲気中において、９００〜１２００℃において焼成し、図１に示したような圧電アクチュエータを得る（焼成工程）。なお、本発明の圧電アクチュエータを作製する焼成工程においては、積層工程で得られた積層成形体をジルコニアもしくはマグネシアからなる試料台板を介して複数段積みにし、さらに、この段積みされた積層成形体上に重しを置いて焼成することが望ましい。このような工程を具備する製造方法を採用することにより、圧電アクチュエータの反り変形が抑制され、厚み１００μｍ以下の薄層の焼結体からなる圧電アクチュエータを提供できる。
【００３３】
なお、本発明の圧電アクチュエータを構成する個別電極は、上記したように共通電極および導体層とともに同時焼成する場合に限らず、共通電極と導体層を内層した積層成形体を焼成した後に、個別電極を焼き付けで形成することもできる。この場合も、金属成分としては上記した種々の金属を好適に用いることができる。
【００３４】
図２は、本発明の圧電アクチュエータ１を備えたインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。同図に示すように、このインクジェット記録ヘッドは、圧電アクチュエータ１を、インク吐出口２７を有する複数のインク流路２３が配列された流路部材２５上に、インク流路２３と個別電極５との位置を揃えて取り付けたものである。
【００３５】
流路部材２５は、厚さ３０〜１００μｍ程度の複数の金属箔で構成される積層体からなり、各金属箔にエッチングや金型による打ち抜き等によってインク流路２３、インク吐出口２７、隔壁２１等がそれぞれ形成される。使用する金属箔としては、例えばステンレス箔、アルミニウム箔、モリブデン箔などがあげられる。このようなインクジェットヘッドでは、薄型であっても反り変形が矯正された圧電アクチュエータを備えているので、インク吐出量のばらつきを低減することができる。
【００３６】
以上、本発明の実施形態について示したが、本発明は上述した実施形態のみに限らず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更や改良したものにも適用できることは言うまでもない。
【００３７】
例えば、上記実施形態では、共通電極を１層設けた場合について説明したが、必要に応じて２層以上設けることもできる。同様に、導体層６も２層以上設けてもよい。
【００３８】
【実施例】
以下のようにして試料Ｎｏ．１〜１６の圧電アクチュエータを作製した。
まず、平均粒径が０．５μｍのＰｂＺｒＴｉＯ_３系粉末とバインダとそのバインダを溶解する有機溶剤とを所定量混合してスラリを調製し、このスラリを用いてロールコータ法にて厚み２５μｍのグリーンシートを作製した。ついで、Ａｇ−Ｐｄ（混合比は質量比で７：３）粉末と有機粘結剤と溶媒とを所定量混合して導電性ペーストを調製した。
【００３９】
次に、得られたグリーンシートの表面に導電性ペーストを印刷して、焼成後に共通電極および導体層となるそれぞれのパターンを形成した。ついで、導電性ペーストを印刷したグリーンシートを所定の総数積層して母体積層体を形成し、この母体積層体を切断して積層体を形成し、酸素雰囲気中、１０００℃、２時間の焼成を行い圧電アクチュエータ本体を形成した。圧電アクチュエータの全体厚みＺは表１に示すように調整した。共通電極および導体層の厚みは２μｍであった。また、導体層の厚みをａ、その導体層のヤング率をｂとしたときのｂ／ａは表１に示す値にそれぞれ調整した。
【００４０】
次に、この圧電アクチュエータ本体の一方の面にＡｕを主成分とする金属ペーストを印刷して７３０℃で焼付けを行い、図１に示したような圧電アクチュエータを作製した。個別電極の厚みは１μｍであった。また、試料面積は５０ｍｍ×５０ｍｍであった。
【００４１】
この後、共通電極と個別電極間に３ｋＶ／ｍｍの直流電界を１５分間印加して分極処理を行った。図１に示す圧電アクチュエータの合計厚みＺおよび位置Ａと位置Ｂとの距離ｔは、圧電セラミック層およびセラミック層の１層あたり厚みを変化させることにより表１に示す値にそれぞれ調整した。なお、合計厚みＺおよび距離ｔは、得られた圧電アクチュエータの断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察して測定した。また、個別電極の合計表面積と共通電極の表面積との比率Ｓは各電極層の印刷用スクリーンの設計値から求めた。
【００４２】
得られた各試料について、レーザー変位計を用いて反りを測定した。反りの値は試料全体の最大値とした。また、圧電アクチュエータの変位量は共通電極と個別電極間に２０Ｖの直流電圧を印加し、さらにこの圧電アクチュエータに室温において０〜＋２０ＶのＳｉｎ駆動波形を２０ｋＨｚの周波数にて印加して１×１０^９サイクルまで駆動した際の変位量を測定すると共に、その変位量の最大値と最低値から変位量のばらつきを求めた。その結果を表１に示す。
【００４３】
なお、比較のため、振動板の内部に導体層を形成していない試料（Ｎｏ．１６）、位置Ａと位置Ｂとが一致（距離ｔ＝０）している試料（Ｎｏ．１）を作製して本発明の試料と同様の評価を行い、その結果を表１に併せて示した。
【表１】

【００４４】
表１から、共通電極に対する個別電極の面積割合を示す比率Ｓが０．１≦Ｓ≦０．８の関係を満足し、距離ｔが０＜ｔ≦０．２５Ｚの関係を満足するように作製した試料Ｎｏ．２〜１３では、反りを１８０μｍ以下、最大変位量を４０ｎｍ以上、そして変位量のばらつきを１５％以下とすることができた。
特に、比率Ｓを０．２〜０．５、距離ｔを（Ｚ／３２）〜（Ｚ／１０）とした試料Ｎｏ．３〜１０では、変位量のばらつきを１０％以下にまで低減できた。
さらには、全体厚みを５０μｍとした試料Ｎｏ．３〜９では、１００ｎｍと大きな最大変位量を得ることができた。
一方、振動板に導体層を形成しなかった試料Ｎｏ．１６では、変位量のばらつきが３０％と高かった。また、位置Ａと位置Ｂとが一致している（距離ｔ＝０）の試料Ｎｏ．１においても、変位量のばらつきが２０％と高い値を示した。
さらに、比率Ｓおよび距離ｔを本発明の範囲外とした試料Ｎｏ．１４，１５では反りが大きかった。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、該圧電アクチュエータを薄型に形成した場合であっても、振動板の内部に導体層を配置して剛性を向上させ、導体層と共通電極との位置関係示す距離ｔが上記した所定の関係を満足するように各部材を配置し、さらに個別電極と共通電極との面積比率Ｓが所定の関係を満足することにより、圧電セラミック層の表面に個別電極を形成する焼成処理の後に反り変形が生じるのを抑制し、変位部間での変位ばらつきを低減することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる圧電アクチュエータの構造を示す断面図である。
【図２】図１の圧電アクチュエータを備えたインクジェット記録ヘッドの構造を示す断面図である。
【図３】従来の圧電アクチュエータの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１圧電アクチュエータ
２振動板
３共通電極
４圧電セラミック層
５個別電極
６導体層
７セラミック層
８セラミック層

Claims

振動板上に、共通電極、圧電セラミック層および個別電極がこの順に積層され、前記個別電極が圧電セラミック層の表面に複数配列された圧電アクチュエータであって、
前記振動板は導体層を介してセラミック層を積層したものであり、
前記セラミック層は前記圧電セラミック層と同一材料で形成され、
複数の前記個別電極の合計表面積と前記共通電極の表面積との比率Ｓ（個別電極の合計表面積／共通電極の表面積）が０．１≦Ｓ≦０．８の関係を満足し、
下記位置Ａが下記位置Ｂよりも前記共通電極側に位置し、
下記位置Ａと下記位置Ｂの距離ｔと、下記合計厚みＺとが０＜ｔ≦０．２５Ｚの関係を満足することを特徴とする圧電アクチュエータ。
位置Ａ：前記振動板、前記共通電極および前記圧電セラミック層の合計厚みをＺとしたときに、前記圧電セラミック層の表面から厚み方向にＺ／２の位置。
位置Ｂ：前記共通電極と前記導体層との間隔をＴとしたときに、前記共通電極から前記導体層の方向にＴ／２隔てた位置。
前記合計厚みＺが１００μｍ以下である請求項１記載の圧電アクチュエータ。
前記共通電極の厚みおよび前記導体層の厚みが０．５μｍ以上である請求項１または２記載の圧電アクチュエータ。
前記共通電極の厚みと前記導体層の厚みとの差が５μｍ以下である請求項１〜３のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
前記導体層の厚みをａとし、前記導体層のヤング率をｂとしたときに、
１５×１０^１５≦ｂ／ａ≦２２０×１０^１５の関係を満足する請求項１〜４のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
前記共通電極と前記導体層とは同一材料で形成されている請求項１〜５のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
前記個別電極の厚みが２μｍ以下である請求項１〜６のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。