JP2004288822A - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】固体撮像装置における各画素に蓄積された信号電荷を、ゲート電圧を高めることなく、短時間で読み出す。
【解決手段】複数の単位画素を2次元アレイ状に備える固体撮像装置及びその製造方法であって、各単位画素は、光電変換を行うフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を読出す読出しゲートと、前記読出しゲートによって読み出された信号電荷を検出する検出部等を備え、前記フォトダイオードは、半導体基板と、前記半導体内部に形成された第1不純物拡散領域とにより形成され、前記検出部は、前記半導体基板の表面領域に形成された第2不純物拡散領域として形成され、前記読出しゲートは、前記第1不純物拡散領域と前記第2不純物拡散領域との間において絶縁膜を介して形成され、前記読出しゲートのオン時に、基板面の深さ方向において、前記信号電荷を加速する電界集中部を形成するゲート部分を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】複数の単位画素を2次元アレイ状に備える固体撮像装置及びその製造方法であって、各単位画素は、光電変換を行うフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を読出す読出しゲートと、前記読出しゲートによって読み出された信号電荷を検出する検出部等を備え、前記フォトダイオードは、半導体基板と、前記半導体内部に形成された第1不純物拡散領域とにより形成され、前記検出部は、前記半導体基板の表面領域に形成された第2不純物拡散領域として形成され、前記読出しゲートは、前記第1不純物拡散領域と前記第2不純物拡散領域との間において絶縁膜を介して形成され、前記読出しゲートのオン時に、基板面の深さ方向において、前記信号電荷を加速する電界集中部を形成するゲート部分を備える。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置のその製造方法に関し、特に、単位画素構造におけるフォトダイオードとその周辺の構造、及びそれらの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
固体撮像装置は、入射した光画像情報を電気画像情報に変換するフォトダイオード(光電変換部)を含む画素を、2次元アレイ状に配設している。
【0003】
各画素におけるフォトダイオード及びその周辺の構造について簡単に説明すると以下の通りである。
【0004】
各画素は、上述の通り、光電変換により入射光を信号電荷に変換し、この信号電荷を一定期間蓄積するフォトダイオードを有している。このフォトダイオードは、例えばp型半導体基板と、p型半導体基板内に埋め込み形成されたn型不純物拡散領域との間で形成されたpn接合によりなる。また、各画素は、このフォトダイオードに生成及び蓄積された信号電荷を読み出すための読出しゲートと、読出しゲートにより読み出された信号電荷を検出する信号検出ノード(n型不純物拡散領域)とを有している。
【0005】
以上の構造において、フォトダイオードに蓄積された信号電荷を信号検出ノードに読み出すときの動作について説明すると以下の通りである。
【0006】
即ち、上述した読出しトランジスタのゲート電極(読み出しゲート)に、例えば正電位を印加すると、読み出しゲートの下方に電子が誘起される(ポテンシャルが高くなる)。この誘起された電子により、フォトダイオードと信号検出ノードとの間にはn型のチャネル領域が形成される。フォトダイオードに蓄積された信号電荷は、このn型のチャネル領域を移動して、信号検出ノードへと読み出される。
【0007】
【特許文献1】
特開平10−093070号公報
【特許文献2】
特開平11−284166号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、携帯電話やデジタルカメラ等の各種機器における表示部は、より高精細な画像表示が要求されており、このような高精細な画像表示を行うためには、各機器はより多くの画素を搭載する必要がある。
【0009】
しかし、画素数が増加すると、同じ撮像間隔を維持する場合(例えば毎秒30フレーム)、各画素におけるフォトダイオードからの信号電荷の読み出し時間はより短いものに制限される。つまり、1フレーム時間内に読み出す画素数が増加すれば、1画素当たりの読み出し時間はそれだけ短くなる。例えば、画素数300万の場合、1フレーム時間に300万の画素から信号電荷を読み出せば良いが、画素数が500万の場合、同じ1フレーム時間内で、画素数300万より200万多い500万の画素から信号電荷を読み出す必要がある。
【0010】
しかしながら、上述した固体撮像装置の画素構造では、画素数の増加に伴って、所定の読出し時間内に各画素内の蓄積信号電荷を読み出すことが困難になり、この結果、残存電荷により、例えば残像が発生するという問題が生じた。
【0011】
この問題に対して、例えば、上述した読出しゲートに印加する電圧を高くすることも考えられるが、これでは低消費電力化の傾向に反する。
【0012】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、各画素における光電変換部に蓄積された信号電荷を、ゲート電圧を高くすることなく、短時間で読み出せるようにした固体撮像装置及びその製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の固体撮像装置は、複数の単位画素を2次元アレイ状に備える固体撮像装置であって、各単位画素は、光電変換を行うフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を読出す読出しゲートと、前記読出しゲートによって読み出された信号電荷を検出する検出部と、前記検出部によって検出された信号電荷に対応した信号を出力する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタによって出力された出力信号を信号線に取り出す選択トランジスタとを備え、前記フォトダイオードは、第1導電型の半導体基板と、前記半導体基板の内部に形成された第2導電型の第1不純物拡散領域とにより形成され、前記検出部は、前記第1不純物拡散領域と基板面に平行方向に離間して前記半導体基板の表面領域に形成された第2導電型の第2不純物拡散領域として形成され、前記読出しゲートは、前記第1不純物拡散領域と前記第2不純物拡散領域との間において絶縁膜を介して形成され、前記読出しゲートのオン時に、基板面の深さ方向において、前記信号電荷を加速する電界集中部を形成するゲート部分を備えるものとして構成される。前記第1不純物拡散領域と前記第2不純物拡散領域との間における前記半導体基板の表面に溝を形成し、前記溝に対応した突起部を前記ゲート部分として前記読出しゲートに備えさせることが望ましい。ここに、前記溝は、V字形状を有することが望ましい。また、前記溝は、単位画素ごとに、複数形成することが望ましい。
【0014】
本発明の固体撮像装置の製造方法は、光電変換を行うフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を読出す読出しゲートと、前記読出しゲートによって読み出された信号電荷を検出する検出部と、前記検出部によって検出された信号電荷に対応した信号を出力する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタによって出力された出力信号を信号線に取り出す選択トランジスタとを備える単位画素の複数を2次元アレイ状に備えた固体撮像装置の製造方法であって、第1導電型の半導体基板の内部に、第1の第2導電型不純物を打ち込んで前記フォトダイオードを形成し、前記第1の第2導電型不純物を打ち込んだ領域に対し、基板面に平面方向に離間した前記半導体基板の表面領域に、第2の第2導電型不純物を打ち込んで前記検出部を形成し、前記第1及び第2の第2導電型不純物を打ち込んだ領域間における前記半導体基板表面に結晶性異方性エッチングを用いてV字形状の溝を形成し、前記溝の表面に絶縁膜を形成し、前記絶縁膜上に導電性材料を堆積して前記読出しゲートを形成するものとして構成される。
【0015】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
図2は、本発明の実施の形態としての増幅型固体撮像装置を構成する単位画素1の等価回路図を示す。この単位画素1は、2次元アレイ状に配列されており、ここではそのうちの1つに着目している。
【0016】
この単位画素1は、フォトダイオード3に蓄積された信号電荷を検出ノード(検出部)4へと読み出す際に、読み出し通路(チャネル領域)内に電界集中による強い電界を形成して信号電荷を加速し、これにより信号電荷を短時間で検出ノード4に取り出そうとするものである。以下、この単位画素1について詳しく述べる。
【0017】
まず、この単位画素1の構成について説明する。
【0018】
図2に示すように、各単位画素1は、外部からの入射光を光電変換して信号電荷として蓄積するフォトダイオード3を備える。このフォトダイード3のアノード側は接地されている。一方、カソード側には、フォトダイオード3に蓄積された電荷を読み出す読出しトランジスタ5の一端側が接続され、読出しトランジスタ5の他端側は、フォトダイオード8に蓄積された電荷を検出するためのn+領域である検出ノード(検出部)4となっている。
【0019】
この検出ノード4は、増幅トランジスタ6のゲート電極に接続され、増幅トランジスタ6は、検出された信号電荷を増幅して画素信号として出力する。また、この検出ノード4は、単位画素1内の不要電荷を排出するリセットトランジスタ9の一端側に接続されている。このリセットランジスタ9の他端側及び上述の増幅トランジスタ6の一端側は、所定の基準電位VDDに共通に接続されている。
【0020】
一方、上述の増幅トランジスタの他端側は、画素信号が読み出される単位画素1を選択する選択トランジスタ8の一端側に接続されている。この選択トランジスタ8の他端側には、上述の画素信号を外部に取り出すための信号線13が接続されている。
【0021】
同一行の各読出しトランジスタ5のゲート電極には読出し線10が共通に接続されている。また、同一行の各選択トランジスタ8のゲート電極には選択線11が共通に接続されている。また、同一行の各リセットトランジスタ9のゲート電極にはリセット線12が共通に接続されている。
【0022】
以上の構成を有する単位画素1において、フォトダイオード3、読出しトランジスタ5、検出ノード4(以下これらを要部2と称する)の構成についてさらに詳しく説明する。
【0023】
図1は、要部2の具体的構造を示す縦断面図である。
【0024】
図1に示すように、p型半導体基板21内にn型不純物拡散領域22が形成されている。このn型不純物拡散領域22とp型半導体基板21との間で形成されるPN接合によりフォトダイオード3が形成される。このフォトダイオード3において光電変換により生成されたキャリア(電子)は信号電荷としてn型不純物拡散領域22内に蓄積される。
【0025】
このn型不純物拡散領域22に蓄積された信号電荷を読み出すための読出しゲート(ゲート電極)24が、p型半導体基板21上に絶縁膜25を介して形成されている。このゲート電極24は、例えばドープされたポリシリコンにより、また、絶縁膜25は、例えば酸化膜により形成される。
【0026】
このゲート電極24についてもう少し詳しく述べると以下の通りである。
【0027】
即ち、p型半導体基板21表面に、幅TW1を有するV字状の溝30が形成されており、このV字状の溝30上に、上述の絶縁膜25及び読出しゲート(ゲート電極)24が形成されている。このゲート電極24は、V字溝30の幅TW1より長いゲート長GW1を有し、ゲート電極24の下部には、V字状の溝30に対応して、突起部24aが形成されている。この突起部24aは、角度θ1の楔形を有する。従って、ゲート電極24のオン時において、この突起部24aの周囲には、電界集中による強い電界が形成される。
【0028】
このゲート電極24により読み出された信号電荷を検出するn型不純物拡散領域(検出ノード)4が、n型不純物拡散領域22と基板面に平行方向に離間してp型半導体基板21の表面領域に形成されている。つまり、この検出ノード4をドレイン領域、n型不純物拡散領域22をソース領域とする読出しトランジスタ5がp型半導体基板21に形成されている。
【0029】
上述のゲート電極24を覆うように、全面に層間絶縁膜31が形成されており、この層間絶縁膜31の表面から、層間絶縁膜31の下側の絶縁膜25を貫通して、n型不純物拡散領域4に達するコンタクトホール40が形成されている。このコンタクトホール40の内部にはn型不純物拡散領域4によって検出された信号電荷を外部に取り出すためのドレイン電極29が埋め込み形成されている。
【0030】
読出しトランジスタ5からn型不純物拡散領域22を隔てた側においては、p型半導体基板21の表面に、例えばフィールド酸化膜による素子分離領域26が形成されている。
【0031】
この素子分離領域26とゲート電極24との間におけるp型半導体基板21の表面領域には、p型半導体基板21表面における暗電流を抑制するp+型不純物拡散領域28が形成されている。
【0032】
以上の構成において、フォトダイオード3に蓄積された信号電荷を検出ノード4に読み出すときの単位画素の動作について説明すると以下の通りである。
【0033】
即ち、ゲート電極24に例えば正の電圧を印加すると、絶縁膜25の下側に電子が誘起され(ポテンシャルが高くなり)、n型不純物拡散領域22とn型不純物拡散領域4との間に、誘起された電子によるn型のチャネル領域が形成される。n型不純物拡散領域22内の蓄積信号電荷(電子)は、このn型のチャネル領域を移動して、n型不純物拡散領域4へと読み出される。このとき、ゲート電極24の突起部付近におけるチャネル領域内には、電界集中による強い電界が形成されるため、チャネルを移動中の信号電荷は、この強い電界により加速される。この結果、信号電荷は短時間で検出ノード4へと読み出されることとなる。
【0034】
次に、上述した単位画素を有する固体撮像装置の製造方法を説明する。
【0035】
図3(a)(b)、図4(a)(b)、図5(a)(b)、図6(a)(b)、図7(a)(b)及び図8は、この固体撮像装置の製造工程を示す工程断面図である。
【0036】
以下、図3〜図8を用いて、この固体撮像装置の製造方法について説明する。
【0037】
まず、図3(a)に示す状態の基板を、p型半導体基板21を加工して作製する。
【0038】
即ち、まず、予め素子分離領域26を形成した、例えば(100)面方位のp型半導体基板21を用意する。次に、このp型半導体基板21の内部に燐(p)を打ち込み、n型不純物拡散領域22を形成する。続いて、このn型不純物拡散領域22の上方におけるp型半導体基板21の表面領域にホウ素(B)を打ち込んで、p+型不純物拡散領域28を形成する。続いて、基板表面に、酸化膜(絶縁膜)25を形成する。
【0039】
次に、図3(b)に示すように、基板上にフォトレジストを塗布し、露光及び現像処理して、フォトレジストパターン35を形成する。このフォトレジストパターン35を用いて、p型半導体基板21の表面に燐(p)を打ち込んで、n型不純物拡散領域4を形成する。
【0040】
図3(b)に示すフォトレジストパターン35を除去して図4(a)に示す状態とした後、図4(b)に示すように、別のフォトレジストパターン36を形成し、このフォトレジストパターン36を用いて、絶縁膜25をRIEして、p型半導体基板21の表面を露出させる。露出させられたp型半導体基板21を、例えばヒドラジン(N2H2)等のエッチャントを用いて異方性エッチング(結晶異方性エッチング)し、p型半導体基板21の表面にV字溝30を形成する。つまり、(100)面方位の基板を、ヒドラジンを用いてエッチングすると、(111)方向のエッチングレートが遅くなるため、(111)方向にファセットが現れ、この結果、パターン幅に対応した深さを有するV字溝30が形成される。当然ながら、エッチング時間は、V字溝の幅に依存し、例えば幅の狭いV字溝を形成するときはエッチング時間が短くなり、幅の広い溝を形成するときはエッチング時間が長くなる。
【0041】
この後、図4(b)に示すフォトレジストパターン36を除去し、さらに絶縁膜の一部25cを選択的にエッチング除去して、図5(a)に示す状態とする。ゲート電極の閾値電圧を調整するため、露出させられたp型半導体基板21表面(V字溝30含む)にイオン注入を行う。
【0042】
次に、図5(b)に示すように、V字溝30及びその周辺の基板表面を熱酸化して絶縁膜25dを形成する。
【0043】
次に、図6(a)に示すように、絶縁膜25の表面に、不純物をドープしたポリシリコン膜38を堆積する。続いて、ポリシリコン膜38の表面にフォトレジストパターン36’を形成する。このフォトレジストパターン36’を用いて、ポリシリコン膜38をエッチングして、図6(b)に示すように、ゲート電極24を形成する。
【0044】
次に、図7(a)に示すように、ゲート電極24及び絶縁膜25上にCVD等を用いてSiOx等からなる層間絶縁膜31を積層する。
【0045】
次に、図7(b)に示すように、層間絶縁膜31上に全面にフォトレジストパターン39を形成する。このフォトレジストパターン39を用いて層間絶縁膜31及び絶縁膜25を順次エッチングして、n型不純物拡散領域4につながるコンタクトホール40を埋め込み形成する。
【0046】
図7(b)に示すフォトレジストパターン39を除去した後、次に、図8に示すように、スパッタ等を用いて、コンタクトホール40の内部に、n型不純物拡散領域4にコンタクトした、例えばアルミニウムによるドレイン電極29を形成する。
【0047】
上述した本実施の形態では、基板としてp型半導体基板を用いたが、n型半導体基板を用いることもできる。
【0048】
以上のように、本発明の実施の形態によれば、ゲート電極の下部をV字型として、ゲート電極のオン時に、ゲート電極の下部周辺におけるチャネル領域内に、電界集中による強い電界を形成するようにしたので、チャネル内を通過する信号電荷を強い電界によって加速し、信号電荷を短時間で読み出すことができる。つまり、フォトダイオード内に蓄積された信号電荷を、所定の読み出し時間内で確実に読み出し、フォトダイードを空乏化することができる。これにより、信号電荷の読み出し不足による残像の発生を可及的に低減することができる。
【0049】
(第2の実施の形態)
図9は、図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【0050】
図9に示すように、この要部構造においては、V字溝30の幅TW2と、ゲート電極41のゲート長GW2との長さがほぼ同等とされている。即ち、第1の実施の形態における要部構造(図1参照)においては、V字溝の幅TW1はゲート長GW1よりも短くされていたが、この要部構造においては、V字溝の幅TW2がゲート長GW2とほぼ同等の長さに設定されている。言い換えると、溝30の角度、つまりゲート電極41の突起部の角度θ2は、図1に示すゲート電極24の突起部の角度θ1よりも大きく構成されている。
【0051】
このように角度θ2が大きい構成においても、ゲート電極41のオン時において形成されるチャネル領域内には、角度θ2部の周辺において、電界の集中部が形成される。従って、フォトダイオード3から読み出した信号電荷はこの電界によって加速され、短時間で読み出される。但し、角度θ2は、図1の角度θ1よりも大きいため、角度θ2部により形成される電界強度は、角度θ1部により形成される電界強度よりも低くなる。
【0052】
(第3の実施の形態)
図10は、図9に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【0053】
図10に示すように、この要部構造においては、ゲート長GW3が、第2の実施の形態におけるゲート長GW2(図9参照)よりも、両側に長く形成され、p+型不純物拡散領域28及びn型不純物拡散領域4にオーバーラップする。このような構成においても、上述した第2の実施の形態と同等の効果を得ることができる。
【0054】
(第4の実施の形態)
図11は、図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【0055】
図11に示すように、ゲート電極43の突起部は、ゲート電極43の中心軸C−Cよりも、n型不純物拡散領域22側に片寄って形成されている。つまり、ゲート電極43の突起部周辺に形成される電界集中部は、第1の実施の形態(図1参照)よりも、n型不純物拡散領域22側に形成される。従って、このn型不純物拡散領域22から取り出された信号電荷は、第1の実施の形態よりも早期に加速され、より短い時間で検出ノード4に読み出される。
【0056】
(第5の実施の形態)
図12は、図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【0057】
図12に示すように、ゲート電極44の下部を形成する2辺L1、L2はそれぞれ異なる長さを有する。即ち、第1〜第4の実施の形態では、図1、図9〜図11に示すように、ゲート電極の下部を形成する2辺はほぼ同等の長さを有していたが、このゲート電極44の下部は2辺の長さがそれぞれ異なるものとして構成されている。このように、ゲート電極44の下部を構成する2辺の長さが異なっても、ゲート電極44のオン時に、ゲート電極44の下部周辺に電界の集中部が形成され、上述した第1の実施の形態と同等の効果を得ることができる。
【0058】
(第6の実施の形態)
図13は、図10及び図11の変形例を示す断面図である。
【0059】
図13に示すように、ゲート電極45の突起部先端は、ゲート電極45の中心軸C−Cよりも、n型不純物拡散領域22側に形成され、且つ、ゲート電極45の両端は、p+型不純物拡散領域28及びn型不純物拡散領域4にオーバーラップしている。このような構成においても、上述した第3、4の実施の形態(図10、図11参照)と同等の効果を得ることができる。
【0060】
(第7の実施の形態)
図14は、本発明の第7の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【0061】
図14に示すように、V字溝30は、p型半導体基板21の表面よりも距離Sだけ下がった位置から形成されている。即ち、上述した各実施の形態1〜6では、図1及び図9〜図13に示すように、V字溝は、p+型不純物拡散領域28やn型不純物拡散領域4の表面と同一面の高さから形成されていたが、本実施の形態では、V字溝30はこれらよりも一段深い位置、即ち、基板の表面から距離Sだけ下がった位置から形成されている。
【0062】
このように深い位置にV字溝30を形成するには、いわゆる2段階エッチングを用いればよい。即ち、まず、p型半導体基板21の表面から距離Sの位置までエッチングして凹面を形成し、次に、この凹面の中央を、例えば上述したヒドラジンを用いて異方性エッチングすればよい。これによれば、p+型不純物拡散領域28やn型不純物拡散領域4の表面と同一の高さからでは困難な深さへのV字溝であっても容易に形成することができる。
【0063】
以上のように、本実施の形態によれば、ゲート電極46の突起部を一段深い部分、即ち、n型不純物拡散領域22に近い部分に形成するようにしたので、n型不純物拡散領域22から読み出した信号電荷を早期に加速させることができる。これにより信号電荷をより短時間で検出ノード4へと取り出すことができる。
【0064】
(第8の実施の形態)
図15は、本発明の第8の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【0065】
図15に示すように、この要部構造においては、V字溝30が例えば2つ形成されている。これに対応して、ゲート電極47の下部には、例えば2つの突起部47aが形成されている。従って、ゲート電極47のオン時においては、2つの突起部47a、47aに対応して、2つの電界の集中部が、チャネル領域の長さ方向に形成される。
【0066】
このように、本実施の形態によれば、ゲート電極に突起部を複数形成することにより、ゲート電極のオン時において、チャネル領域の長さ方向に、複数の電界集中部を形成するようにしたので、n型不純物拡散領域22から読み出した信号電荷を複数回にわたって加速することができ、これにより、より短い時間で信号電荷を読み出すことが可能となる。
【0067】
また、このように突起部分が複数個存在することにより、例えば、そのうちの1個の突起部分に破損等が生じるなどの不具合が発生した場合にも、本発明による効果を確実に得ることができる。
【0068】
(第9の実施の形態)
図16は、本発明の第9の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【0069】
図16に示すように、この要部構造においては、n型不純物拡散領域22が、ドレイン側に延びたものとして形成されている。これにより、n型不純物拡散領域22と、ゲート電極48における突起部48aとの距離は、より近いものとされる。
【0070】
このように、本実施の形態によれば、n型不純物拡散領域22と、ゲート電極48の突部48a、つまり電界集中部とを近づけたので、信号電荷は早期に電界集中部に到達する。つまり、信号電荷は早期に加速される。これにより、信号電荷を短時間で検出ノード4に取り出すことができる。
【0071】
また、n型不純物拡散領域22が、ドレイン側に延びたものとして形成したので、ゲート電極48とn型不純物拡散領域22との合わせずれに強く、従って、製造工程におけるばらつきを無くし、本発明による効果を確実に得ることができる。
【0072】
【発明の効果】
本発明によれば、読出しゲートのオン時に、基板面の深さ方向に電界集中部を形成するようにしたので、フォトダイオードからの信号電荷をこの電界集中部によって加速して、短時間で検出部へと取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図2の単位画素における要部2の構造を示す縦断面図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態としての固体撮像装置を構成する単位画素1の等価回路図を示す。
【図3】本発明にかかる固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図4】図3に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図5】図4に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図6】図5に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図7】図6に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図8】図7に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図9】図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図10】図9に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図11】図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図12】図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図13】図10及び図11に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図14】本発明の第7の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【図15】本発明の第8の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【図16】本発明の第9の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【符号の説明】
1 単位画素
2 要部
3 フォトダイオード
4 n型不純物拡散領域(検出ノード)
5 読出しトランジスタ
6 増幅トランジスタ
8 選択トランジスタ
9 リセットトランジスタ
10 読出し線
11 選択線
12 リセット線
13 信号線
21 p型半導体基板
22 n型不純物拡散領域
24、41、43〜48 ゲート電極
25、25a〜25d 絶縁膜
26 素子分離領域
28 p+型不純物拡散領域
29 ドレイン電極
30 V字溝
31 層間絶縁膜
35、36、36’、39 フォトレジスト膜
38 ポリシリコン膜
40 コンタクトホール
47a、48a 突起部
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置のその製造方法に関し、特に、単位画素構造におけるフォトダイオードとその周辺の構造、及びそれらの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
固体撮像装置は、入射した光画像情報を電気画像情報に変換するフォトダイオード(光電変換部)を含む画素を、2次元アレイ状に配設している。
【0003】
各画素におけるフォトダイオード及びその周辺の構造について簡単に説明すると以下の通りである。
【0004】
各画素は、上述の通り、光電変換により入射光を信号電荷に変換し、この信号電荷を一定期間蓄積するフォトダイオードを有している。このフォトダイオードは、例えばp型半導体基板と、p型半導体基板内に埋め込み形成されたn型不純物拡散領域との間で形成されたpn接合によりなる。また、各画素は、このフォトダイオードに生成及び蓄積された信号電荷を読み出すための読出しゲートと、読出しゲートにより読み出された信号電荷を検出する信号検出ノード(n型不純物拡散領域)とを有している。
【0005】
以上の構造において、フォトダイオードに蓄積された信号電荷を信号検出ノードに読み出すときの動作について説明すると以下の通りである。
【0006】
即ち、上述した読出しトランジスタのゲート電極(読み出しゲート)に、例えば正電位を印加すると、読み出しゲートの下方に電子が誘起される(ポテンシャルが高くなる)。この誘起された電子により、フォトダイオードと信号検出ノードとの間にはn型のチャネル領域が形成される。フォトダイオードに蓄積された信号電荷は、このn型のチャネル領域を移動して、信号検出ノードへと読み出される。
【0007】
【特許文献1】
特開平10−093070号公報
【特許文献2】
特開平11−284166号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、携帯電話やデジタルカメラ等の各種機器における表示部は、より高精細な画像表示が要求されており、このような高精細な画像表示を行うためには、各機器はより多くの画素を搭載する必要がある。
【0009】
しかし、画素数が増加すると、同じ撮像間隔を維持する場合(例えば毎秒30フレーム)、各画素におけるフォトダイオードからの信号電荷の読み出し時間はより短いものに制限される。つまり、1フレーム時間内に読み出す画素数が増加すれば、1画素当たりの読み出し時間はそれだけ短くなる。例えば、画素数300万の場合、1フレーム時間に300万の画素から信号電荷を読み出せば良いが、画素数が500万の場合、同じ1フレーム時間内で、画素数300万より200万多い500万の画素から信号電荷を読み出す必要がある。
【0010】
しかしながら、上述した固体撮像装置の画素構造では、画素数の増加に伴って、所定の読出し時間内に各画素内の蓄積信号電荷を読み出すことが困難になり、この結果、残存電荷により、例えば残像が発生するという問題が生じた。
【0011】
この問題に対して、例えば、上述した読出しゲートに印加する電圧を高くすることも考えられるが、これでは低消費電力化の傾向に反する。
【0012】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、各画素における光電変換部に蓄積された信号電荷を、ゲート電圧を高くすることなく、短時間で読み出せるようにした固体撮像装置及びその製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の固体撮像装置は、複数の単位画素を2次元アレイ状に備える固体撮像装置であって、各単位画素は、光電変換を行うフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を読出す読出しゲートと、前記読出しゲートによって読み出された信号電荷を検出する検出部と、前記検出部によって検出された信号電荷に対応した信号を出力する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタによって出力された出力信号を信号線に取り出す選択トランジスタとを備え、前記フォトダイオードは、第1導電型の半導体基板と、前記半導体基板の内部に形成された第2導電型の第1不純物拡散領域とにより形成され、前記検出部は、前記第1不純物拡散領域と基板面に平行方向に離間して前記半導体基板の表面領域に形成された第2導電型の第2不純物拡散領域として形成され、前記読出しゲートは、前記第1不純物拡散領域と前記第2不純物拡散領域との間において絶縁膜を介して形成され、前記読出しゲートのオン時に、基板面の深さ方向において、前記信号電荷を加速する電界集中部を形成するゲート部分を備えるものとして構成される。前記第1不純物拡散領域と前記第2不純物拡散領域との間における前記半導体基板の表面に溝を形成し、前記溝に対応した突起部を前記ゲート部分として前記読出しゲートに備えさせることが望ましい。ここに、前記溝は、V字形状を有することが望ましい。また、前記溝は、単位画素ごとに、複数形成することが望ましい。
【0014】
本発明の固体撮像装置の製造方法は、光電変換を行うフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を読出す読出しゲートと、前記読出しゲートによって読み出された信号電荷を検出する検出部と、前記検出部によって検出された信号電荷に対応した信号を出力する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタによって出力された出力信号を信号線に取り出す選択トランジスタとを備える単位画素の複数を2次元アレイ状に備えた固体撮像装置の製造方法であって、第1導電型の半導体基板の内部に、第1の第2導電型不純物を打ち込んで前記フォトダイオードを形成し、前記第1の第2導電型不純物を打ち込んだ領域に対し、基板面に平面方向に離間した前記半導体基板の表面領域に、第2の第2導電型不純物を打ち込んで前記検出部を形成し、前記第1及び第2の第2導電型不純物を打ち込んだ領域間における前記半導体基板表面に結晶性異方性エッチングを用いてV字形状の溝を形成し、前記溝の表面に絶縁膜を形成し、前記絶縁膜上に導電性材料を堆積して前記読出しゲートを形成するものとして構成される。
【0015】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
図2は、本発明の実施の形態としての増幅型固体撮像装置を構成する単位画素1の等価回路図を示す。この単位画素1は、2次元アレイ状に配列されており、ここではそのうちの1つに着目している。
【0016】
この単位画素1は、フォトダイオード3に蓄積された信号電荷を検出ノード(検出部)4へと読み出す際に、読み出し通路(チャネル領域)内に電界集中による強い電界を形成して信号電荷を加速し、これにより信号電荷を短時間で検出ノード4に取り出そうとするものである。以下、この単位画素1について詳しく述べる。
【0017】
まず、この単位画素1の構成について説明する。
【0018】
図2に示すように、各単位画素1は、外部からの入射光を光電変換して信号電荷として蓄積するフォトダイオード3を備える。このフォトダイード3のアノード側は接地されている。一方、カソード側には、フォトダイオード3に蓄積された電荷を読み出す読出しトランジスタ5の一端側が接続され、読出しトランジスタ5の他端側は、フォトダイオード8に蓄積された電荷を検出するためのn+領域である検出ノード(検出部)4となっている。
【0019】
この検出ノード4は、増幅トランジスタ6のゲート電極に接続され、増幅トランジスタ6は、検出された信号電荷を増幅して画素信号として出力する。また、この検出ノード4は、単位画素1内の不要電荷を排出するリセットトランジスタ9の一端側に接続されている。このリセットランジスタ9の他端側及び上述の増幅トランジスタ6の一端側は、所定の基準電位VDDに共通に接続されている。
【0020】
一方、上述の増幅トランジスタの他端側は、画素信号が読み出される単位画素1を選択する選択トランジスタ8の一端側に接続されている。この選択トランジスタ8の他端側には、上述の画素信号を外部に取り出すための信号線13が接続されている。
【0021】
同一行の各読出しトランジスタ5のゲート電極には読出し線10が共通に接続されている。また、同一行の各選択トランジスタ8のゲート電極には選択線11が共通に接続されている。また、同一行の各リセットトランジスタ9のゲート電極にはリセット線12が共通に接続されている。
【0022】
以上の構成を有する単位画素1において、フォトダイオード3、読出しトランジスタ5、検出ノード4(以下これらを要部2と称する)の構成についてさらに詳しく説明する。
【0023】
図1は、要部2の具体的構造を示す縦断面図である。
【0024】
図1に示すように、p型半導体基板21内にn型不純物拡散領域22が形成されている。このn型不純物拡散領域22とp型半導体基板21との間で形成されるPN接合によりフォトダイオード3が形成される。このフォトダイオード3において光電変換により生成されたキャリア(電子)は信号電荷としてn型不純物拡散領域22内に蓄積される。
【0025】
このn型不純物拡散領域22に蓄積された信号電荷を読み出すための読出しゲート(ゲート電極)24が、p型半導体基板21上に絶縁膜25を介して形成されている。このゲート電極24は、例えばドープされたポリシリコンにより、また、絶縁膜25は、例えば酸化膜により形成される。
【0026】
このゲート電極24についてもう少し詳しく述べると以下の通りである。
【0027】
即ち、p型半導体基板21表面に、幅TW1を有するV字状の溝30が形成されており、このV字状の溝30上に、上述の絶縁膜25及び読出しゲート(ゲート電極)24が形成されている。このゲート電極24は、V字溝30の幅TW1より長いゲート長GW1を有し、ゲート電極24の下部には、V字状の溝30に対応して、突起部24aが形成されている。この突起部24aは、角度θ1の楔形を有する。従って、ゲート電極24のオン時において、この突起部24aの周囲には、電界集中による強い電界が形成される。
【0028】
このゲート電極24により読み出された信号電荷を検出するn型不純物拡散領域(検出ノード)4が、n型不純物拡散領域22と基板面に平行方向に離間してp型半導体基板21の表面領域に形成されている。つまり、この検出ノード4をドレイン領域、n型不純物拡散領域22をソース領域とする読出しトランジスタ5がp型半導体基板21に形成されている。
【0029】
上述のゲート電極24を覆うように、全面に層間絶縁膜31が形成されており、この層間絶縁膜31の表面から、層間絶縁膜31の下側の絶縁膜25を貫通して、n型不純物拡散領域4に達するコンタクトホール40が形成されている。このコンタクトホール40の内部にはn型不純物拡散領域4によって検出された信号電荷を外部に取り出すためのドレイン電極29が埋め込み形成されている。
【0030】
読出しトランジスタ5からn型不純物拡散領域22を隔てた側においては、p型半導体基板21の表面に、例えばフィールド酸化膜による素子分離領域26が形成されている。
【0031】
この素子分離領域26とゲート電極24との間におけるp型半導体基板21の表面領域には、p型半導体基板21表面における暗電流を抑制するp+型不純物拡散領域28が形成されている。
【0032】
以上の構成において、フォトダイオード3に蓄積された信号電荷を検出ノード4に読み出すときの単位画素の動作について説明すると以下の通りである。
【0033】
即ち、ゲート電極24に例えば正の電圧を印加すると、絶縁膜25の下側に電子が誘起され(ポテンシャルが高くなり)、n型不純物拡散領域22とn型不純物拡散領域4との間に、誘起された電子によるn型のチャネル領域が形成される。n型不純物拡散領域22内の蓄積信号電荷(電子)は、このn型のチャネル領域を移動して、n型不純物拡散領域4へと読み出される。このとき、ゲート電極24の突起部付近におけるチャネル領域内には、電界集中による強い電界が形成されるため、チャネルを移動中の信号電荷は、この強い電界により加速される。この結果、信号電荷は短時間で検出ノード4へと読み出されることとなる。
【0034】
次に、上述した単位画素を有する固体撮像装置の製造方法を説明する。
【0035】
図3(a)(b)、図4(a)(b)、図5(a)(b)、図6(a)(b)、図7(a)(b)及び図8は、この固体撮像装置の製造工程を示す工程断面図である。
【0036】
以下、図3〜図8を用いて、この固体撮像装置の製造方法について説明する。
【0037】
まず、図3(a)に示す状態の基板を、p型半導体基板21を加工して作製する。
【0038】
即ち、まず、予め素子分離領域26を形成した、例えば(100)面方位のp型半導体基板21を用意する。次に、このp型半導体基板21の内部に燐(p)を打ち込み、n型不純物拡散領域22を形成する。続いて、このn型不純物拡散領域22の上方におけるp型半導体基板21の表面領域にホウ素(B)を打ち込んで、p+型不純物拡散領域28を形成する。続いて、基板表面に、酸化膜(絶縁膜)25を形成する。
【0039】
次に、図3(b)に示すように、基板上にフォトレジストを塗布し、露光及び現像処理して、フォトレジストパターン35を形成する。このフォトレジストパターン35を用いて、p型半導体基板21の表面に燐(p)を打ち込んで、n型不純物拡散領域4を形成する。
【0040】
図3(b)に示すフォトレジストパターン35を除去して図4(a)に示す状態とした後、図4(b)に示すように、別のフォトレジストパターン36を形成し、このフォトレジストパターン36を用いて、絶縁膜25をRIEして、p型半導体基板21の表面を露出させる。露出させられたp型半導体基板21を、例えばヒドラジン(N2H2)等のエッチャントを用いて異方性エッチング(結晶異方性エッチング)し、p型半導体基板21の表面にV字溝30を形成する。つまり、(100)面方位の基板を、ヒドラジンを用いてエッチングすると、(111)方向のエッチングレートが遅くなるため、(111)方向にファセットが現れ、この結果、パターン幅に対応した深さを有するV字溝30が形成される。当然ながら、エッチング時間は、V字溝の幅に依存し、例えば幅の狭いV字溝を形成するときはエッチング時間が短くなり、幅の広い溝を形成するときはエッチング時間が長くなる。
【0041】
この後、図4(b)に示すフォトレジストパターン36を除去し、さらに絶縁膜の一部25cを選択的にエッチング除去して、図5(a)に示す状態とする。ゲート電極の閾値電圧を調整するため、露出させられたp型半導体基板21表面(V字溝30含む)にイオン注入を行う。
【0042】
次に、図5(b)に示すように、V字溝30及びその周辺の基板表面を熱酸化して絶縁膜25dを形成する。
【0043】
次に、図6(a)に示すように、絶縁膜25の表面に、不純物をドープしたポリシリコン膜38を堆積する。続いて、ポリシリコン膜38の表面にフォトレジストパターン36’を形成する。このフォトレジストパターン36’を用いて、ポリシリコン膜38をエッチングして、図6(b)に示すように、ゲート電極24を形成する。
【0044】
次に、図7(a)に示すように、ゲート電極24及び絶縁膜25上にCVD等を用いてSiOx等からなる層間絶縁膜31を積層する。
【0045】
次に、図7(b)に示すように、層間絶縁膜31上に全面にフォトレジストパターン39を形成する。このフォトレジストパターン39を用いて層間絶縁膜31及び絶縁膜25を順次エッチングして、n型不純物拡散領域4につながるコンタクトホール40を埋め込み形成する。
【0046】
図7(b)に示すフォトレジストパターン39を除去した後、次に、図8に示すように、スパッタ等を用いて、コンタクトホール40の内部に、n型不純物拡散領域4にコンタクトした、例えばアルミニウムによるドレイン電極29を形成する。
【0047】
上述した本実施の形態では、基板としてp型半導体基板を用いたが、n型半導体基板を用いることもできる。
【0048】
以上のように、本発明の実施の形態によれば、ゲート電極の下部をV字型として、ゲート電極のオン時に、ゲート電極の下部周辺におけるチャネル領域内に、電界集中による強い電界を形成するようにしたので、チャネル内を通過する信号電荷を強い電界によって加速し、信号電荷を短時間で読み出すことができる。つまり、フォトダイオード内に蓄積された信号電荷を、所定の読み出し時間内で確実に読み出し、フォトダイードを空乏化することができる。これにより、信号電荷の読み出し不足による残像の発生を可及的に低減することができる。
【0049】
(第2の実施の形態)
図9は、図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【0050】
図9に示すように、この要部構造においては、V字溝30の幅TW2と、ゲート電極41のゲート長GW2との長さがほぼ同等とされている。即ち、第1の実施の形態における要部構造(図1参照)においては、V字溝の幅TW1はゲート長GW1よりも短くされていたが、この要部構造においては、V字溝の幅TW2がゲート長GW2とほぼ同等の長さに設定されている。言い換えると、溝30の角度、つまりゲート電極41の突起部の角度θ2は、図1に示すゲート電極24の突起部の角度θ1よりも大きく構成されている。
【0051】
このように角度θ2が大きい構成においても、ゲート電極41のオン時において形成されるチャネル領域内には、角度θ2部の周辺において、電界の集中部が形成される。従って、フォトダイオード3から読み出した信号電荷はこの電界によって加速され、短時間で読み出される。但し、角度θ2は、図1の角度θ1よりも大きいため、角度θ2部により形成される電界強度は、角度θ1部により形成される電界強度よりも低くなる。
【0052】
(第3の実施の形態)
図10は、図9に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【0053】
図10に示すように、この要部構造においては、ゲート長GW3が、第2の実施の形態におけるゲート長GW2(図9参照)よりも、両側に長く形成され、p+型不純物拡散領域28及びn型不純物拡散領域4にオーバーラップする。このような構成においても、上述した第2の実施の形態と同等の効果を得ることができる。
【0054】
(第4の実施の形態)
図11は、図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【0055】
図11に示すように、ゲート電極43の突起部は、ゲート電極43の中心軸C−Cよりも、n型不純物拡散領域22側に片寄って形成されている。つまり、ゲート電極43の突起部周辺に形成される電界集中部は、第1の実施の形態(図1参照)よりも、n型不純物拡散領域22側に形成される。従って、このn型不純物拡散領域22から取り出された信号電荷は、第1の実施の形態よりも早期に加速され、より短い時間で検出ノード4に読み出される。
【0056】
(第5の実施の形態)
図12は、図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【0057】
図12に示すように、ゲート電極44の下部を形成する2辺L1、L2はそれぞれ異なる長さを有する。即ち、第1〜第4の実施の形態では、図1、図9〜図11に示すように、ゲート電極の下部を形成する2辺はほぼ同等の長さを有していたが、このゲート電極44の下部は2辺の長さがそれぞれ異なるものとして構成されている。このように、ゲート電極44の下部を構成する2辺の長さが異なっても、ゲート電極44のオン時に、ゲート電極44の下部周辺に電界の集中部が形成され、上述した第1の実施の形態と同等の効果を得ることができる。
【0058】
(第6の実施の形態)
図13は、図10及び図11の変形例を示す断面図である。
【0059】
図13に示すように、ゲート電極45の突起部先端は、ゲート電極45の中心軸C−Cよりも、n型不純物拡散領域22側に形成され、且つ、ゲート電極45の両端は、p+型不純物拡散領域28及びn型不純物拡散領域4にオーバーラップしている。このような構成においても、上述した第3、4の実施の形態(図10、図11参照)と同等の効果を得ることができる。
【0060】
(第7の実施の形態)
図14は、本発明の第7の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【0061】
図14に示すように、V字溝30は、p型半導体基板21の表面よりも距離Sだけ下がった位置から形成されている。即ち、上述した各実施の形態1〜6では、図1及び図9〜図13に示すように、V字溝は、p+型不純物拡散領域28やn型不純物拡散領域4の表面と同一面の高さから形成されていたが、本実施の形態では、V字溝30はこれらよりも一段深い位置、即ち、基板の表面から距離Sだけ下がった位置から形成されている。
【0062】
このように深い位置にV字溝30を形成するには、いわゆる2段階エッチングを用いればよい。即ち、まず、p型半導体基板21の表面から距離Sの位置までエッチングして凹面を形成し、次に、この凹面の中央を、例えば上述したヒドラジンを用いて異方性エッチングすればよい。これによれば、p+型不純物拡散領域28やn型不純物拡散領域4の表面と同一の高さからでは困難な深さへのV字溝であっても容易に形成することができる。
【0063】
以上のように、本実施の形態によれば、ゲート電極46の突起部を一段深い部分、即ち、n型不純物拡散領域22に近い部分に形成するようにしたので、n型不純物拡散領域22から読み出した信号電荷を早期に加速させることができる。これにより信号電荷をより短時間で検出ノード4へと取り出すことができる。
【0064】
(第8の実施の形態)
図15は、本発明の第8の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【0065】
図15に示すように、この要部構造においては、V字溝30が例えば2つ形成されている。これに対応して、ゲート電極47の下部には、例えば2つの突起部47aが形成されている。従って、ゲート電極47のオン時においては、2つの突起部47a、47aに対応して、2つの電界の集中部が、チャネル領域の長さ方向に形成される。
【0066】
このように、本実施の形態によれば、ゲート電極に突起部を複数形成することにより、ゲート電極のオン時において、チャネル領域の長さ方向に、複数の電界集中部を形成するようにしたので、n型不純物拡散領域22から読み出した信号電荷を複数回にわたって加速することができ、これにより、より短い時間で信号電荷を読み出すことが可能となる。
【0067】
また、このように突起部分が複数個存在することにより、例えば、そのうちの1個の突起部分に破損等が生じるなどの不具合が発生した場合にも、本発明による効果を確実に得ることができる。
【0068】
(第9の実施の形態)
図16は、本発明の第9の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【0069】
図16に示すように、この要部構造においては、n型不純物拡散領域22が、ドレイン側に延びたものとして形成されている。これにより、n型不純物拡散領域22と、ゲート電極48における突起部48aとの距離は、より近いものとされる。
【0070】
このように、本実施の形態によれば、n型不純物拡散領域22と、ゲート電極48の突部48a、つまり電界集中部とを近づけたので、信号電荷は早期に電界集中部に到達する。つまり、信号電荷は早期に加速される。これにより、信号電荷を短時間で検出ノード4に取り出すことができる。
【0071】
また、n型不純物拡散領域22が、ドレイン側に延びたものとして形成したので、ゲート電極48とn型不純物拡散領域22との合わせずれに強く、従って、製造工程におけるばらつきを無くし、本発明による効果を確実に得ることができる。
【0072】
【発明の効果】
本発明によれば、読出しゲートのオン時に、基板面の深さ方向に電界集中部を形成するようにしたので、フォトダイオードからの信号電荷をこの電界集中部によって加速して、短時間で検出部へと取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図2の単位画素における要部2の構造を示す縦断面図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態としての固体撮像装置を構成する単位画素1の等価回路図を示す。
【図3】本発明にかかる固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図4】図3に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図5】図4に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図6】図5に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図7】図6に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図8】図7に続いて、固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図9】図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図10】図9に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図11】図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図12】図1に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図13】図10及び図11に示す要部構造の変形例を示す断面図である。
【図14】本発明の第7の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【図15】本発明の第8の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【図16】本発明の第9の実施の形態にかかる固体撮像装置を構成する単位画素の要部構造を示す断面図である。
【符号の説明】
1 単位画素
2 要部
3 フォトダイオード
4 n型不純物拡散領域(検出ノード)
5 読出しトランジスタ
6 増幅トランジスタ
8 選択トランジスタ
9 リセットトランジスタ
10 読出し線
11 選択線
12 リセット線
13 信号線
21 p型半導体基板
22 n型不純物拡散領域
24、41、43〜48 ゲート電極
25、25a〜25d 絶縁膜
26 素子分離領域
28 p+型不純物拡散領域
29 ドレイン電極
30 V字溝
31 層間絶縁膜
35、36、36’、39 フォトレジスト膜
38 ポリシリコン膜
40 コンタクトホール
47a、48a 突起部
Claims (5)
- 複数の単位画素を2次元アレイ状に備える固体撮像装置であって、
各単位画素は、光電変換を行うフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を読出す読出しゲートと、前記読出しゲートによって読み出された信号電荷を検出する検出部と、前記検出部によって検出された信号電荷に対応した信号を出力する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタによって出力された出力信号を信号線に取り出す選択トランジスタとを備え、
前記フォトダイオードは、第1導電型の半導体基板と、前記半導体基板の内部に形成された第2導電型の第1不純物拡散領域とにより形成され、
前記検出部は、前記第1不純物拡散領域と基板面に平行方向に離間して前記半導体基板の表面領域に形成された第2導電型の第2不純物拡散領域として形成され、
前記読出しゲートは、前記第1不純物拡散領域と前記第2不純物拡散領域との間において絶縁膜を介して形成され、前記読出しゲートのオン時に、基板面の深さ方向において、前記信号電荷を加速する電界集中部を形成するゲート部分を備えることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第1不純物拡散領域と前記第2不純物拡散領域との間における前記半導体基板の表面に溝が形成され、前記読出しゲートは、前記溝に対応した突起部を前記ゲート部分として備えることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記溝は、V字形状を有することを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記各単位画素において、前記溝は、複数形成されたことを特徴とする請求項2又は3に記載の固体撮像装置。
- 光電変換を行うフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を読出す読出しゲートと、前記読出しゲートによって読み出された信号電荷を検出する検出部と、前記検出部によって検出された信号電荷に対応した信号を出力する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタによって出力された出力信号を信号線に取り出す選択トランジスタとを備える単位画素の複数を2次元アレイ状に備えた固体撮像装置の製造方法であって、
第1導電型の半導体基板の内部に、第1の第2導電型不純物を打ち込んで前記フォトダイオードを形成し、
前記第1の第2導電型不純物を打ち込んだ領域に対し、基板面に平面方向に離間した前記半導体基板の表面領域に、第2の第2導電型不純物を打ち込んで前記検出部を形成し、
前記第1及び第2の第2導電型不純物を打ち込んだ領域間における前記半導体基板表面に結晶性異方性エッチングを用いてV字形状の溝を形成し、前記溝の表面に絶縁膜を形成し、前記絶縁膜上に導電性材料を堆積して前記読出しゲートを形成する、
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
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---|---|---|---|
JP2003078177A JP2004288822A (ja) | 2003-03-20 | 2003-03-20 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
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---|---|
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Family
ID=33292730
Family Applications (1)
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JP2003078177A Pending JP2004288822A (ja) | 2003-03-20 | 2003-03-20 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
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Country | Link |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7825438B2 (en) | 2005-08-09 | 2010-11-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | CMOS image sensor having drive transistor with increased gate surface area and method of manufacturing the same |
KR101016552B1 (ko) | 2008-09-30 | 2011-02-24 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지 센서 및 이미지 센서의 제조 방법 |
-
2003
- 2003-03-20 JP JP2003078177A patent/JP2004288822A/ja active Pending
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