JP2004259888A - 半導体チップ、半導体装置、電子デバイス、電子機器、半導体装置の製造方法および電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ボイドの発生を抑制しつつ、半導体チップとフィルム基板との間に封止樹脂を注入する。
【解決手段】突出電極4を6角柱形状に構成し、6角柱を構成する突出電極4の面4aが突出電極4´´の面4a´´と対向し、突出電極4の面4bが突出電極4´の面4b´と対向するように、互いに隣接する突出電極4、4´、4´´を配置する。
【選択図】 図1
【解決手段】突出電極4を6角柱形状に構成し、6角柱を構成する突出電極4の面4aが突出電極4´´の面4a´´と対向し、突出電極4の面4bが突出電極4´の面4b´と対向するように、互いに隣接する突出電極4、4´、4´´を配置する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体チップ、半導体装置、電子デバイス、電子機器、半導体装置の製造方法および電子デバイスの製造方法に関し、特に、フリップチップ実装に適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体装置では、例えば、特許文献1に開示されているように、フィルム基板上に形成された接続端子上に突出電極を接合することにより、半導体チップをフィルム基板上に実装する方法がある。
図5(a)は、従来の接続端子および突出電極の配置方法を示す平面図、図5(b)は、フィルム基板上に実装された半導体チップの封止方法を示す断面図である。
【0003】
図5において、フィルム基板71上には、配線部72´および配線部72´に接続された接続端子72が形成され、半導体チップ73には、矩形状の突出電極74が設けられている。ここで、接続端子72および突出電極74は、例えば、図5(a)に示すように、千鳥状に配列することができる。そして、半導体チップ73に設けられた突出電極74が接続端子72上に接合されることにより、半導体チップ73がフィルム基板71上にフェースダウン実装されている。そして、半導体チップ73とフィルム基板71との間に封止樹脂75を注入することにより、半導体チップ73の表面を封止することができる。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−269611号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、回路パターンの微細化に伴って、配線部72´がファインピッチ化されると、突出電極74同士の間隔も狭くなる。このため、従来の半導体装置では、半導体チップ73とフィルム基板71との間に封止樹脂75を注入する際に、封止樹脂75の流れが突出電極74で阻害され、突出電極74の前後の面74a、74bにボイド76が発生し易くなることから、突出電極74間でリーク電流が発生し易くなるという問題があった。
【0006】
そこで、本発明の目的は、ボイドの発生を抑制しつつ、半導体チップとフィルム基板との間に封止樹脂を注入することが可能な半導体チップ、半導体装置、電子デバイス、電子機器、半導体装置の製造方法および電子デバイスの製造方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明の一態様に係る半導体チップによれば、表面に設けられた電極パッドと、前記電極パッド上に設けられ、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極と、を含むことを特徴とする。
これにより、突出電極の接合後に封止樹脂を注入した場合においても、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制することができ、ボイドの発生を抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができる。
【0008】
また、本発明の一態様に係る半導体装置によれば、配線部に接続された接続端子と、前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱状の突出電極を介して前記接続端子に接続された半導体チップと、前記基板と前記半導体チップとの間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする。
【0009】
これにより、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができる。このため、突出電極同士の間隔が狭くなった場合においても、突出電極の前後の面にボイドが発生することを抑制することができ、配線部のファインピッチ化に対応しつつ、半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0010】
また、本発明の一態様に係る半導体装置によれば、配線部に接続された接続端子と、前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、5角柱以上の多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された半導体チップと、前記基板と前記半導体チップとの間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする。
これにより、封止樹脂が突出電極を通過する際に、封止樹脂の移動方向の変化量を減らすことができる。このため、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができ、突出電極の前後の面にボイドが発生することを抑制して、半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0011】
また、本発明の一態様に係る半導体装置によれば、前記突出電極は複数設けられ、前記多角柱は6角柱であり、隣り合った前記突出電極の側面が互いに対向するように配置されていることを特徴とする。
これにより、突出電極が千鳥配列されている場合においても、封止樹脂が突出電極の側方を通過する際の抵抗の増加を防止しつつ、突出電極の前後における封止樹脂の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができ、配線部のファインピッチ化に対応しつつ、半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0012】
また、本発明の一態様に係る半導体装置によれば、前記多角柱の角にはアールが形成されていることを特徴とする。
これにより、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制することができ、ボイドの発生を抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができる。
【0013】
また、本発明の一態様に係る電子デバイスによれば、配線部に接続された接続端子と、前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された電子部品と、前記基板と前記電子部品との間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする。
【0014】
これにより、突出電極の前後の面にボイドが発生することを抑制しつつ、基板と電子部品との間に封止樹脂を注入することができ、配線部のファインピッチ化に対応しつつ、電子部品の封止性を向上させることが可能となる。
また、本発明の一態様に係る電子機器によれば、配線部に接続された接続端子と、前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された半導体チップと、前記基板と前記半導体チップとの間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする。
【0015】
これにより、突出電極の前後の面にボイドが発生することを抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができ、電子機器の小型・軽量化を可能としつつ、電子機器の動作不良を低減させることが可能となる。
また、本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法によれば、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を接続端子に接合させることにより、前記突出電極が設けられた半導体チップを基板上に実装する工程と、前記基板と前記半導体チップとの間に封止樹脂を充填する工程とを備えることを特徴とする。
【0016】
これにより、封止樹脂の注入方法を変更することなく、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制することができ、製造工程の煩雑化を抑制しつつ、半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
また、本発明の一態様に係る電子デバイスの製造方法によれば、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を接続端子に接合させることにより、前記突出電極が設けられた電子部品を基板上に実装する工程と、前記基板と前記電子部品との間に封止樹脂を充填する工程とを備えることを特徴とする。
【0017】
これにより、封止樹脂の注入方法を変更することなく、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制することができ、製造工程の煩雑化を抑制しつつ、電子部品の封止性を向上させることが可能となる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る半導体装置、電子デバイスおよびそれら製造方法について図面を参照しながら説明する。
図1(a)は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の構成を示す断面図、図1(b)は、本発明の第1実施形態に係る接続端子および突出電極の配置方法を示す平面図である。
【0019】
図1において、フィルム基板1上には、配線部2´および配線部2´に接続された接続端子2が形成され、半導体チップ3には突出電極4が設けられている。なお、本実施の形態では、フィルム基板1を用いた例を説明するが、フィルム基板1の代わりにリジット基板を用いてもよい。ここで、接続端子2および突出電極4は、例えば、図1(b)に示すように、千鳥状に配列することができる。そして、突出電極4が接続端子2上に接合されることにより、半導体チップ3がフィルム基板1上に実装されている。そして、半導体チップ3とフィルム基板1との間の隙間には封止樹脂5が充填され、半導体チップ3の表面が封止されている。
【0020】
ここで、突出電極4は、例えば、6角柱形状を有するように構成することができる。そして、6角柱を構成する突出電極4の面4aが突出電極4´´の面4a´´と対向するとともに、突出電極4の面4bが突出電極4´の面4b´と対向するように、互いに隣接する突出電極4、4´、4´´を配置することができる。
【0021】
これにより、突出電極4が千鳥配列されている場合においても、封止樹脂5が突出電極4の側方を通過する際の抵抗の増加を防止しつつ、突出電極4の前後における封止樹脂5の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、フィルム基板1と半導体チップ3との間に封止樹脂5を注入することができ、配線部2´のファインピッチ化に対応しつつ、半導体チップ3の封止性を向上させることが可能となる。
【0022】
なお、突出電極4としては、例えば、Auバンプ、半田材などで被覆されたCuバンプやNiバンプ、あるいは半田ボールなどを用いることができる。また、配線部2´および接続端子2としては、例えば、銅箔パターン、フィルム基板1としては、例えば、ポリイミドフィルムなどを用いることができる。
図2は、図1の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【0023】
図2(a)において、フィルム基板1上に形成された銅箔のパターニングを行うことにより、接続端子2および配線部2´をフィルム基板1上に形成する。そして、突出電極4が接続端子2上に配置されように、半導体チップ3の位置合わせを行う。
次に、図2(b)に示すように、突出電極4が接続端子2上に配置された状態で、半導体チップ3に上から荷重をかけることにより、突出電極4を接続端子2上に接合する。
【0024】
次に、図2(c)に示すように、半導体チップ3とフィルム基板1との間に封止樹脂5を注入することにより、半導体チップ3の表面を封止する。
これにより、封止樹脂5の注入方法を変更することなく、封止樹脂5の流れが突出電極4で乱されることを抑制することができる。このため、突出電極4の配列間隔が狭い場合においても、半導体チップ3とフィルム基板1との間に充填された封止樹脂5にボイドが発生することを抑制することが可能となり、製造工程の煩雑化を抑制しつつ、半導体チップ3の封止性を向上させることが可能となる。
【0025】
図3は、本発明の第2〜第4実施形態に係る突出電極の構成を示す平面図である。
図3(a)において、配線部12´に接続された接続端子12上には、突出電極14が接合されている。ここで、突出電極14は、例えば、楕円形状、俵形状あるいは繭形状を有するように構成することができる。また、突出電極14は、突出電極14の長手方向が配線部12´の配線方向に一致するように配置することができる。
【0026】
これにより、突出電極14が千鳥配列されている場合においても、封止樹脂が突出電極14の側方を通過する際の抵抗の増加を防止しつつ、突出電極14の前後における封止樹脂の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、フェースダウン実装された半導体チップを樹脂封止することができ、配線部12´のファインピッチ化に対応しつつ、突出電極14が設けられた半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0027】
図3(b)において、配線部22´に接続された接続端子22上には、突出電極24が接合されている。ここで、突出電極24は、例えば、5角形形状を有するように構成することができる。そして、5角柱を構成する突出電極24の面24aが突出電極24´´の面24a´´と対向するとともに、突出電極24の面24bが突出電極24´の面24b´と対向するように、互いに隣接する突出電極24、24´、24´´を配置することができる。
【0028】
これにより、突出電極24が千鳥配列されている場合においても、突出電極24を通過する際の封止樹脂の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、フェースダウン実装された半導体チップを樹脂封止することができ、配線部22´のファインピッチ化に対応しつつ、突出電極24が設けられた半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0029】
図3(c)において、配線部32´に接続された接続端子32上には、突出電極34が接合されている。ここで、突出電極34は、例えば、5角形形状を有するように構成することができる。そして、千鳥配列された第1列目の突出電極34の頂点34aが封止樹脂の進入側に向けられるとともに、千鳥配列された第2列目の突出電極34´の頂点34a´が封止樹脂の抜け出し側に向けられるように、突出電極34、34´を配置することができる。
【0030】
これにより、千鳥配列された突出電極34、34´の前方または後方の封止樹脂の流れを円滑化することが可能となり、ボイドの発生を抑制しつつ、フェースダウン実装された半導体チップを樹脂封止することができる。
図4(a)は、図4(b)のA−A線で切断した断面図、図4(b)は、本発明の第5実施形態に係る液晶モジュールの概略構成を示す平面図である。
【0031】
図4において、液晶モジュールには、液晶パネルPNおよび液晶パネルPNを駆動する液晶ドライバDRが設けられている。ここで、液晶ドライバDRには、駆動用回路などが形成された半導体チップ43が設けられ、半導体チップ43は突出電極44を介してフィルム基板41上に実装されるとともに、半導体チップ43の表面は封止樹脂45により封止されている。
【0032】
また、液晶パネルPNには、ガラス基板61、64が設けられ、ガラス基板61にはITOなどの透明電極62が形成されている。そして、透明電極62が形成されたガラス基板61とガラス基板64との間には液晶層63が設けられ、液晶層63はシール材65でシールされている。
ここで、フィルム基板41上には、配線部42a、42bが設けられている。そして、配線部42aのアウタリードは、ACF(Anisotropic Conductive Film)などの接続端子52を介してプリント基板51に接続されるとともに、配線部42bのアウタリードは、ACFなどの接続端子66を介して透明電極62に接続されている。
【0033】
一方、配線部42a、42bのインナーリードは、半導体チップ43の突出電極44に接合されている。ここで、配線部42a、42bのインナーリードおよび突出電極44は、例えば、図1(b)に示すように、千鳥状に配列することができる。また、突出電極44は、例えば、6角柱形状を有するように構成することができ、6角柱を構成する面が互いに隣接する突出電極の面と対向するように配置することができる。
【0034】
これにより、突出電極44および配線部42a、42bのインナーリードが千鳥配列されている場合においても、封止樹脂44が突出電極45の側方を通過する際の抵抗の増加を防止しつつ、突出電極44の前後における封止樹脂45の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、フィルム基板41と半導体チップ43との間に封止樹脂45を注入することができ、配線部42a、42bのファインピッチ化に対応しつつ、半導体チップ43の封止性を向上させることが可能となる。
【0035】
なお、本実施の形態では、配線基板として、フィルム基板を用いて説明したが、リジット基板であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態に係る半導体装置の構成を示す図。
【図2】図1の半導体装置の製造方法を示す断面図。
【図3】第2〜第4実施形態に係る突出電極の構成を示す図。
【図4】第5実施形態に係る液晶モジュールの構成を示す図。
【図5】従来の半導体装置の構成を示す図。
【符号の説明】
1、41 フィルム基板、2、12、22、32 接続端子、2´、12´、22´、32´、42a、42b 配線部、3、43 半導体チップ、4、4´、4´´、14、24、24´、24´´、34、34´、44 突出電極、4a、4b、4a´´、4b´、24a、24b、24a´´、24b´ 辺、34a、34a´ 頂点、5、45 封止樹脂、51 プリント基板、52、66接続端子、61、64 ガラス基板、62 透明電極、63 液晶層、65 シール材
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体チップ、半導体装置、電子デバイス、電子機器、半導体装置の製造方法および電子デバイスの製造方法に関し、特に、フリップチップ実装に適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体装置では、例えば、特許文献1に開示されているように、フィルム基板上に形成された接続端子上に突出電極を接合することにより、半導体チップをフィルム基板上に実装する方法がある。
図5(a)は、従来の接続端子および突出電極の配置方法を示す平面図、図5(b)は、フィルム基板上に実装された半導体チップの封止方法を示す断面図である。
【0003】
図5において、フィルム基板71上には、配線部72´および配線部72´に接続された接続端子72が形成され、半導体チップ73には、矩形状の突出電極74が設けられている。ここで、接続端子72および突出電極74は、例えば、図5(a)に示すように、千鳥状に配列することができる。そして、半導体チップ73に設けられた突出電極74が接続端子72上に接合されることにより、半導体チップ73がフィルム基板71上にフェースダウン実装されている。そして、半導体チップ73とフィルム基板71との間に封止樹脂75を注入することにより、半導体チップ73の表面を封止することができる。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−269611号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、回路パターンの微細化に伴って、配線部72´がファインピッチ化されると、突出電極74同士の間隔も狭くなる。このため、従来の半導体装置では、半導体チップ73とフィルム基板71との間に封止樹脂75を注入する際に、封止樹脂75の流れが突出電極74で阻害され、突出電極74の前後の面74a、74bにボイド76が発生し易くなることから、突出電極74間でリーク電流が発生し易くなるという問題があった。
【0006】
そこで、本発明の目的は、ボイドの発生を抑制しつつ、半導体チップとフィルム基板との間に封止樹脂を注入することが可能な半導体チップ、半導体装置、電子デバイス、電子機器、半導体装置の製造方法および電子デバイスの製造方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明の一態様に係る半導体チップによれば、表面に設けられた電極パッドと、前記電極パッド上に設けられ、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極と、を含むことを特徴とする。
これにより、突出電極の接合後に封止樹脂を注入した場合においても、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制することができ、ボイドの発生を抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができる。
【0008】
また、本発明の一態様に係る半導体装置によれば、配線部に接続された接続端子と、前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱状の突出電極を介して前記接続端子に接続された半導体チップと、前記基板と前記半導体チップとの間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする。
【0009】
これにより、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができる。このため、突出電極同士の間隔が狭くなった場合においても、突出電極の前後の面にボイドが発生することを抑制することができ、配線部のファインピッチ化に対応しつつ、半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0010】
また、本発明の一態様に係る半導体装置によれば、配線部に接続された接続端子と、前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、5角柱以上の多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された半導体チップと、前記基板と前記半導体チップとの間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする。
これにより、封止樹脂が突出電極を通過する際に、封止樹脂の移動方向の変化量を減らすことができる。このため、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができ、突出電極の前後の面にボイドが発生することを抑制して、半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0011】
また、本発明の一態様に係る半導体装置によれば、前記突出電極は複数設けられ、前記多角柱は6角柱であり、隣り合った前記突出電極の側面が互いに対向するように配置されていることを特徴とする。
これにより、突出電極が千鳥配列されている場合においても、封止樹脂が突出電極の側方を通過する際の抵抗の増加を防止しつつ、突出電極の前後における封止樹脂の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができ、配線部のファインピッチ化に対応しつつ、半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0012】
また、本発明の一態様に係る半導体装置によれば、前記多角柱の角にはアールが形成されていることを特徴とする。
これにより、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制することができ、ボイドの発生を抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができる。
【0013】
また、本発明の一態様に係る電子デバイスによれば、配線部に接続された接続端子と、前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された電子部品と、前記基板と前記電子部品との間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする。
【0014】
これにより、突出電極の前後の面にボイドが発生することを抑制しつつ、基板と電子部品との間に封止樹脂を注入することができ、配線部のファインピッチ化に対応しつつ、電子部品の封止性を向上させることが可能となる。
また、本発明の一態様に係る電子機器によれば、配線部に接続された接続端子と、前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された半導体チップと、前記基板と前記半導体チップとの間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする。
【0015】
これにより、突出電極の前後の面にボイドが発生することを抑制しつつ、基板と半導体チップとの間に封止樹脂を注入することができ、電子機器の小型・軽量化を可能としつつ、電子機器の動作不良を低減させることが可能となる。
また、本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法によれば、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を接続端子に接合させることにより、前記突出電極が設けられた半導体チップを基板上に実装する工程と、前記基板と前記半導体チップとの間に封止樹脂を充填する工程とを備えることを特徴とする。
【0016】
これにより、封止樹脂の注入方法を変更することなく、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制することができ、製造工程の煩雑化を抑制しつつ、半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
また、本発明の一態様に係る電子デバイスの製造方法によれば、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を接続端子に接合させることにより、前記突出電極が設けられた電子部品を基板上に実装する工程と、前記基板と前記電子部品との間に封止樹脂を充填する工程とを備えることを特徴とする。
【0017】
これにより、封止樹脂の注入方法を変更することなく、封止樹脂の流れが突出電極で乱されることを抑制することができ、製造工程の煩雑化を抑制しつつ、電子部品の封止性を向上させることが可能となる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る半導体装置、電子デバイスおよびそれら製造方法について図面を参照しながら説明する。
図1(a)は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の構成を示す断面図、図1(b)は、本発明の第1実施形態に係る接続端子および突出電極の配置方法を示す平面図である。
【0019】
図1において、フィルム基板1上には、配線部2´および配線部2´に接続された接続端子2が形成され、半導体チップ3には突出電極4が設けられている。なお、本実施の形態では、フィルム基板1を用いた例を説明するが、フィルム基板1の代わりにリジット基板を用いてもよい。ここで、接続端子2および突出電極4は、例えば、図1(b)に示すように、千鳥状に配列することができる。そして、突出電極4が接続端子2上に接合されることにより、半導体チップ3がフィルム基板1上に実装されている。そして、半導体チップ3とフィルム基板1との間の隙間には封止樹脂5が充填され、半導体チップ3の表面が封止されている。
【0020】
ここで、突出電極4は、例えば、6角柱形状を有するように構成することができる。そして、6角柱を構成する突出電極4の面4aが突出電極4´´の面4a´´と対向するとともに、突出電極4の面4bが突出電極4´の面4b´と対向するように、互いに隣接する突出電極4、4´、4´´を配置することができる。
【0021】
これにより、突出電極4が千鳥配列されている場合においても、封止樹脂5が突出電極4の側方を通過する際の抵抗の増加を防止しつつ、突出電極4の前後における封止樹脂5の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、フィルム基板1と半導体チップ3との間に封止樹脂5を注入することができ、配線部2´のファインピッチ化に対応しつつ、半導体チップ3の封止性を向上させることが可能となる。
【0022】
なお、突出電極4としては、例えば、Auバンプ、半田材などで被覆されたCuバンプやNiバンプ、あるいは半田ボールなどを用いることができる。また、配線部2´および接続端子2としては、例えば、銅箔パターン、フィルム基板1としては、例えば、ポリイミドフィルムなどを用いることができる。
図2は、図1の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【0023】
図2(a)において、フィルム基板1上に形成された銅箔のパターニングを行うことにより、接続端子2および配線部2´をフィルム基板1上に形成する。そして、突出電極4が接続端子2上に配置されように、半導体チップ3の位置合わせを行う。
次に、図2(b)に示すように、突出電極4が接続端子2上に配置された状態で、半導体チップ3に上から荷重をかけることにより、突出電極4を接続端子2上に接合する。
【0024】
次に、図2(c)に示すように、半導体チップ3とフィルム基板1との間に封止樹脂5を注入することにより、半導体チップ3の表面を封止する。
これにより、封止樹脂5の注入方法を変更することなく、封止樹脂5の流れが突出電極4で乱されることを抑制することができる。このため、突出電極4の配列間隔が狭い場合においても、半導体チップ3とフィルム基板1との間に充填された封止樹脂5にボイドが発生することを抑制することが可能となり、製造工程の煩雑化を抑制しつつ、半導体チップ3の封止性を向上させることが可能となる。
【0025】
図3は、本発明の第2〜第4実施形態に係る突出電極の構成を示す平面図である。
図3(a)において、配線部12´に接続された接続端子12上には、突出電極14が接合されている。ここで、突出電極14は、例えば、楕円形状、俵形状あるいは繭形状を有するように構成することができる。また、突出電極14は、突出電極14の長手方向が配線部12´の配線方向に一致するように配置することができる。
【0026】
これにより、突出電極14が千鳥配列されている場合においても、封止樹脂が突出電極14の側方を通過する際の抵抗の増加を防止しつつ、突出電極14の前後における封止樹脂の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、フェースダウン実装された半導体チップを樹脂封止することができ、配線部12´のファインピッチ化に対応しつつ、突出電極14が設けられた半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0027】
図3(b)において、配線部22´に接続された接続端子22上には、突出電極24が接合されている。ここで、突出電極24は、例えば、5角形形状を有するように構成することができる。そして、5角柱を構成する突出電極24の面24aが突出電極24´´の面24a´´と対向するとともに、突出電極24の面24bが突出電極24´の面24b´と対向するように、互いに隣接する突出電極24、24´、24´´を配置することができる。
【0028】
これにより、突出電極24が千鳥配列されている場合においても、突出電極24を通過する際の封止樹脂の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、フェースダウン実装された半導体チップを樹脂封止することができ、配線部22´のファインピッチ化に対応しつつ、突出電極24が設けられた半導体チップの封止性を向上させることが可能となる。
【0029】
図3(c)において、配線部32´に接続された接続端子32上には、突出電極34が接合されている。ここで、突出電極34は、例えば、5角形形状を有するように構成することができる。そして、千鳥配列された第1列目の突出電極34の頂点34aが封止樹脂の進入側に向けられるとともに、千鳥配列された第2列目の突出電極34´の頂点34a´が封止樹脂の抜け出し側に向けられるように、突出電極34、34´を配置することができる。
【0030】
これにより、千鳥配列された突出電極34、34´の前方または後方の封止樹脂の流れを円滑化することが可能となり、ボイドの発生を抑制しつつ、フェースダウン実装された半導体チップを樹脂封止することができる。
図4(a)は、図4(b)のA−A線で切断した断面図、図4(b)は、本発明の第5実施形態に係る液晶モジュールの概略構成を示す平面図である。
【0031】
図4において、液晶モジュールには、液晶パネルPNおよび液晶パネルPNを駆動する液晶ドライバDRが設けられている。ここで、液晶ドライバDRには、駆動用回路などが形成された半導体チップ43が設けられ、半導体チップ43は突出電極44を介してフィルム基板41上に実装されるとともに、半導体チップ43の表面は封止樹脂45により封止されている。
【0032】
また、液晶パネルPNには、ガラス基板61、64が設けられ、ガラス基板61にはITOなどの透明電極62が形成されている。そして、透明電極62が形成されたガラス基板61とガラス基板64との間には液晶層63が設けられ、液晶層63はシール材65でシールされている。
ここで、フィルム基板41上には、配線部42a、42bが設けられている。そして、配線部42aのアウタリードは、ACF(Anisotropic Conductive Film)などの接続端子52を介してプリント基板51に接続されるとともに、配線部42bのアウタリードは、ACFなどの接続端子66を介して透明電極62に接続されている。
【0033】
一方、配線部42a、42bのインナーリードは、半導体チップ43の突出電極44に接合されている。ここで、配線部42a、42bのインナーリードおよび突出電極44は、例えば、図1(b)に示すように、千鳥状に配列することができる。また、突出電極44は、例えば、6角柱形状を有するように構成することができ、6角柱を構成する面が互いに隣接する突出電極の面と対向するように配置することができる。
【0034】
これにより、突出電極44および配線部42a、42bのインナーリードが千鳥配列されている場合においても、封止樹脂44が突出電極45の側方を通過する際の抵抗の増加を防止しつつ、突出電極44の前後における封止樹脂45の流れを円滑化することが可能となる。このため、ボイドの発生を抑制しつつ、フィルム基板41と半導体チップ43との間に封止樹脂45を注入することができ、配線部42a、42bのファインピッチ化に対応しつつ、半導体チップ43の封止性を向上させることが可能となる。
【0035】
なお、本実施の形態では、配線基板として、フィルム基板を用いて説明したが、リジット基板であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態に係る半導体装置の構成を示す図。
【図2】図1の半導体装置の製造方法を示す断面図。
【図3】第2〜第4実施形態に係る突出電極の構成を示す図。
【図4】第5実施形態に係る液晶モジュールの構成を示す図。
【図5】従来の半導体装置の構成を示す図。
【符号の説明】
1、41 フィルム基板、2、12、22、32 接続端子、2´、12´、22´、32´、42a、42b 配線部、3、43 半導体チップ、4、4´、4´´、14、24、24´、24´´、34、34´、44 突出電極、4a、4b、4a´´、4b´、24a、24b、24a´´、24b´ 辺、34a、34a´ 頂点、5、45 封止樹脂、51 プリント基板、52、66接続端子、61、64 ガラス基板、62 透明電極、63 液晶層、65 シール材
Claims (9)
- 表面に設けられた電極パッドと、
前記電極パッド上に設けられ、鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極と、を含むことを特徴とする半導体チップ。 - 配線部に接続された接続端子と、
前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、
鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された半導体チップと、
前記基板と前記半導体チップとの間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする半導体装置。 - 配線部に接続された接続端子と、
前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、
5角柱以上の多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された半導体チップと、
前記基板と前記半導体チップとの間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記突出電極は複数設けられ、
前記多角柱は6角柱であり、
隣り合った前記突出電極の側面が互いに対向するように配置されていることを特徴とする請求項2または3記載の半導体装置。 - 前記多角柱の角にはアールが形成されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項記載の半導体装置。
- 配線部に接続された接続端子と、
前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、
鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された電子部品と、
前記基板と前記電子部品との間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする電子デバイス。 - 配線部に接続された接続端子と、
前記配線部および前記接続端子が形成された基板と、
鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を介して前記接続端子に接続された半導体チップと、
前記基板と前記半導体チップとの間に充填された封止樹脂とを備えることを特徴とする電子機器。 - 鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を接続端子に接合させることにより、前記突出電極が設けられた半導体チップを基板上に実装する工程と、
前記基板と前記半導体チップとの間に封止樹脂を充填する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 鈍角または鋭角を少なくとも1つ含む多角柱形状の突出電極を接続端子に接合させることにより、前記突出電極が設けられた電子部品を基板上に実装する工程と、
前記基板と前記電子部品との間に封止樹脂を充填する工程とを備えることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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- 2003-02-25 JP JP2003047931A patent/JP2004259888A/ja active Pending
Cited By (6)
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---|---|---|---|---|
CN100438005C (zh) * | 2005-07-11 | 2008-11-26 | 精工爱普生株式会社 | 半导体装置 |
US7872874B2 (en) | 2006-03-24 | 2011-01-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Printed-wiring board with built-in component, manufacturing method of printed-wiring board with built-in component, and electronic device |
US9093332B2 (en) | 2011-02-08 | 2015-07-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Elongated bump structure for semiconductor devices |
US8598691B2 (en) | 2011-09-09 | 2013-12-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor devices and methods of manufacturing and packaging thereof |
KR101376257B1 (ko) * | 2011-09-09 | 2014-03-21 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 반도체 디바이스와 이의 제조 및 패키징 방법 |
JP2014027126A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
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