JP2004251915A - プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
プローブを所望の位置へ簡単に移動でき、装置に表示される操作手順に従って
操作を行えるプローブ装置を提供する。
【解決手段】
プローブを表示する画像、およびプローブ移動操作を行う表示部を設け、画像
内で所望の位置と現プローブ位置を指定する。また、表示部内に装置の操作手順
を示す操作手順指示部を設ける。
【選択図】図1
Description
ウエハチップ上の動作試験や不良解析では、μm単位の精度が必要で、この精度を満たすアクチュエータとして、ピエゾ素子などが用いられ、その中でも動作範囲が比較的大きくとれるバイモルフ素子を使用する場合がある。
(1)荷電粒子ビームの照射光学系と、前記荷電粒子ビームの照射によって試料から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出器と、前記試料を載置する試料ステージと、前記試料に必要に応じて接触できるプローブと、前記プローブを移動させるプローブ制御部とを少なくとも有し、必要に応じてプローブに所望の動きをさせるための情報を示すプローブ情報画面を表示する表示部を有するプローブ装置を基本とし、プローブ情報画面は、前記試料および前記プローブを表示し、また、前記表示部に前記プローブを移動させるためのプローブ操作画面領域を表示し、さらに前記プローブ操作画面領域の操作信号により、前記プローブ制御部を介して前記プローブを移動させる機能を設ける構成とし、前記プローブの前記プローブ情報画面内に表示された前記プローブ先端部の現在位置と、前記プローブ先端部の移動目標位置を前記プローブ情報画面内でそれぞれ指定する操作を行なうことにより、前記プローブ先端部の現在位置から前記移動目標位置までの移動量を計算し、前記移動量だけ前記プローブ制御部を動作させて、前記プローブを前記移動目標位置に移動させる機能を設ける。
(2)上記(1)の装置において、前記プローブ情報画面内に表示された前記プローブ先端部の現在位置と、前記プローブ先端部の移動目標位置を前記プローブ情報画面内でそれぞれ指定する操作を行なうことにより、各々異なるシンボルで表示するプローブ装置とする。
(3)上記(1)または(2)の手段を持つプローブ装置において、前記プローブ先端部の現在位置もしくは前記移動目標位置のうちの少なくともいずれかを前記プローブ情報画面内で指定する操作を、マウス、トラックボール、タッチペン等のポインティングデバイスにより前記プローブ情報画面内で実行することを有するプローブ装置とする。
(4)上記(1)ないし(3)の手段を持つプローブ装置において、上記プローブ情報画面は、少なくとも上記二次粒子検出器からの信号を二次粒子像として表示する二次粒子像画面領域を表示するようにする。
(5)上記(1)ないし(4)において、のプローブ情報画面は、少なくとも二次粒子検出器からの信号から表示した二次粒子像の拡大縮小、シフト、回転などを行なう二次粒子像操作領域を有する構成とし、上記プローブ操作画面領域が、少なくとも上記プローブの移動速度を指示する速度指示部、上記プローブの移動速度を変える変速指示部を有するか、またはプローブの現状の移動速度を指示する速度指示部または上記プローブの移動速度を変える変速指示部のうちの少なくともいずれかを有するか、または上記二次粒子像画面領域における二次粒子像の像倍率または上記二次粒子像に対応する上記試料の縦横の実寸法情報を示す寸法表示部のうちの少なくともいずれかを有するか、または上記二次粒子像画面領域における二次粒子像の像倍率を切り換えるための倍率切り換え部を有するか、または上記プローブ操作画面領域は、上記プローブと上記試料との接触を示す接触表示部を有している。
(6)上記(1)ないし(5)において、荷電粒子ビームが特に集束電子ビームであって、上記二次粒子像が二次電子像であるプローブ装置、または上記プローブは上記試料の少なくとも一部に電位を与える電位供給源であるプローブ装置、または上記荷電粒子ビームが集束イオンビーム(FIB)であって、さらに上記荷電粒子ビームの照射領域にデポジション膜を形成するデポジション用ガス供給源を有し、上記プローブは上記試料を上記プローブに付着させて移動させる操作もしくは上記試料の一部を分離した摘出試料を別の部材に移動させる操作の少なくともいずれかの操作を行なう移送手段の一部であるプローブ装置、特に、上記別の部材が上記試料ステージと透過型電子顕微鏡、走査型透過電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡に搭載可能な形状の試料ホルダであるプローブ装置とする。
(7)上記(1)ないし(6)のプローブ装置において、上記プローブは複数本有し、かつ、上記プローブ情報画面は上記プローブの各々を独立に操作するための各プローブに対応する上記プローブ情報画面を有するプローブ装置、特に、上記プローブ情報画面は、二次粒子像画面領域と、二次粒子像操作領域と、上記複数本のプローブの各々に対応するプローブ操作画面領域を有するか、または、上記プローブ情報画面は、二次粒子像画面領域と、二次粒子像操作領域と、上記複数本のプローブの各々に対応するプローブ操作画面領域を有し、上記二次粒子像画面領域で、制御すべきプローブを指示することで上記プローブに対応するプローブ操作画面領域が活性化する画面であるか、または、上記二次粒子像画面領域は、二次粒子像画面領域内の複数本のプローブに対してそれぞれ区別する識別子が記された画面であるプローブ装置とする。
(8)上記(1)ないし(7)のプローブ装置において、上記表示部に順次操作手順を示し、前記プローブ装置を操作するユーザが前記操作手順に従って操作を行える機能を有するプローブ装置とする。
(実施例1)
図1は本発明によるプローブ装置を応用した試料作製装置の一例を示す概略構成図である。この試料作製装置は、半導体チップや薄片試料、断面試料などの試料から所望の領域からμmレベルの微小試料を摘出したり、基板上に点在する微小試料を選択して取り上げて、TEMや各種分析装置の試料ホルダに移設して、TEM観察や分析など解析に適する試料形状に加工する装置である。
さらに、プローブ点41は、移動目標点40の表示と区別できるような表示を行うところに特徴がある。同じ表示であると、特にプローブ点と移動目標点の位置が接近していた時にわかりにくいからである。区別できる例としては、移動目標点40が緑色の丸印の表示ならば、プローブ点41は赤色の丸印で表示する等である。
(実施例2)
本実施例は本発明によるプローブ装置に関わる回路検査装置である。回路検査装置は複数本の尖鋭化したプローブを独立に駆動させ、半導体デバイスなどの配線に接触させ、プローブ間の電気的特性を計測してデバイス電気回路の良不良を計測する装置である。試料やプローブは電子ビーム照射による二次電子像によって観察する。この装置のプローブを動作させる手段として前記実施例1に示したプローブ装置を用いた。
Claims (19)
- 荷電粒子ビームの照射光学系と、前記荷電粒子ビームの照射によって試料から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出器と、前記試料を載置する試料ステージと、前記試料に必要に応じて接触できるプローブと、前記プローブを移動させるプローブ制御部とを少なくとも有するプローブ装置であって、必要に応じてプローブに所望の動きをさせるための情報を示すプローブ情報画面を表示する表示部を有しており、前記表示部の前記プローブ情報画面に前記試料および前記プローブを表示し、また、前記表示部に前記プローブを移動させるためのプローブ操作画面領域を表示し、さらに前記プローブ操作画面領域の操作信号により、前記プローブ制御部を介して前記プローブを移動させる機能を有し、前記プローブの前記プローブ情報画面内に表示された前記プローブ先端部の現在位置と、前記プローブ先端部の移動目標位置を前記プローブ情報画面内でそれぞれ指定する操作を行なうことにより、前記プローブ先端部の現在位置から前記移動目標位置までの移動量を計算し、前記移動量だけ前記プローブ制御部を動作させて、前記プローブを前記移動目標位置に移動させる機能を有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1に記載のプローブ装置において、前記プローブ情報画面内に表示された前記プローブ先端部の現在位置と、前記プローブ先端部の移動目標位置を、各々異なるシンボルで画面上に表示する手段を具備することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1または2に記載のプローブ装置において、前記プローブ先端部の現在位置もしくは前記移動目標位置のうちの少なくともいずれかを前記プローブ情報画面内で指定する操作を、マウス、トラックボール、タッチペン等のポインティングデバイスにより前記プローブ情報画面内で実行する手段を具備することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1記載のプローブ装置において、前記プローブ情報画面は、少なくとも前記二次粒子検出器からの信号を二次粒子像として表示する二次粒子像画面領域を有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項4記載のプローブ装置において、前記プローブ情報画面は、少なくとも前記二次粒子検出器からの信号から表示した二次粒子像の拡大縮小、シフト、回転を行なう二次粒子像操作領域を有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1記載のプローブ装置において、前記プローブ操作画面領域は、少なくとも前記プローブの移動速度を指示する速度指示部、前記プローブの移動速度を変える変速指示部を有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1記載のプローブ装置において、前記プローブ操作画面領域は、前記プローブの現状の移動速度を指示する速度指示部または前記プローブの移動速度を変える変速指示部のうちの少なくともいずれかを有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項5記載のプローブ装置において、前記二次粒子像操作領域は、前記二次粒子像画面領域における二次粒子像の像倍率または、前記二次粒子像に対応する前記試料の縦横の実寸法情報を示す寸法表示部のうちの少なくともいずれかを有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項5記載のプローブ装置において、前記二次粒子像操作領域は、前記二次粒子像画面領域における二次粒子像の像倍率を切り換えるための倍率切り換え部を有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1記載のプローブ装置において、前記プローブ操作画面領域は、前記プローブと前記試料との接触を示す接触表示部を有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1、4、5のいずれかに記載のプローブ装置において、前記荷電粒子ビームが特に集束電子ビームであって、前記二次粒子像が二次電子像であることを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1から11のいずれかに記載のプローブ装置において、前記プローブは前記試料の少なくとも一部に電位を与える電位供給源であることを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1から12のいずれかに記載のプローブ装置において、前記荷電粒子ビームが集束イオンビームであって、さらに前記荷電粒子ビームの照射領域にデポジション膜を形成するデポジション用ガス供給源を有し、前記プローブは前記試料を前記プローブに付着させて移動させる操作または前記試料の一部を分離した摘出試料を別の部材に移動させる操作のうち、少なくともいずれかの操作を行なう移送手段の一部であることを特徴とするプローブ装置。
- 請求項13記載のプローブ装置において、前記別の部材が前記試料ステージと透過型電子顕微鏡、走査型透過電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡のいずれかに搭載可能な形状の試料ホルダであることを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1から14のいずれかに記載のプローブ装置において、前記プローブは複数本有し、かつ、前記プローブ情報画面は前記プローブの各々を独立に操作するための各プローブに対応する前記プローブ情報画面を有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項15記載のプローブ装置において、前記プローブ情報画面は、二次粒子像画面領域と、二次粒子像操作領域と、前記複数本のプローブの各々に対応するプローブ操作画面領域を有することを特徴とするプローブ装置。
- 請求項15記載のプローブ装置において、前記プローブ情報画面は、二次粒子像画面領域と、二次粒子像操作領域と、前記複数本のプローブの各々に対応するプローブ操作画面領域を有し、前記二次粒子像画面領域で、制御すべきプローブを指示することで前記プローブに対応するプローブ操作画面領域が活性化する画面であることを特徴とするプローブ装置。
- 請求項15記載のプローブ装置において、前記二次粒子像画面領域は、二次粒子像画面領域内の複数本のプローブに対してそれぞれ区別する識別子が記された画面であることを特徴とするプローブ装置。
- 請求項1から18のいずれかに記載のプローブ装置において、前記表示部に順次操作手順を示し、前記プローブ装置を操作するユーザが前記操作手順に従って操作を行える機能を有することを特徴とするプローブ装置。
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