JP2004245299A - 密封装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ハウジング１１とハウジング１１の装着溝１２に装着されるゴム状弾性体製のシール２１との組み合わせよりなり、装着溝１２にシール２１を非接着で抜け止めする抜け止め構造１６が設けられている密封装置１において、装着溝１２に対するシール２１の装着作業等を容易化することができる密封装置１を提供する。
【解決手段】ハウジング１１を装着溝１２にてその幅方向に分割して複数のハウジング分割体１３，１４を有し、シール２１を一方のハウジング分割体１３における装着溝１２に装着してから他方のハウジング分割体１４を組み付けることによりシール２１の装着作業をなすことにした。
【選択図】 図１
【解決手段】ハウジング１１を装着溝１２にてその幅方向に分割して複数のハウジング分割体１３，１４を有し、シール２１を一方のハウジング分割体１３における装着溝１２に装着してから他方のハウジング分割体１４を組み付けることによりシール２１の装着作業をなすことにした。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、密封装置に係り、更に詳しくは、ハウジングとハウジングの装着溝に装着されるゴム状弾性体製のシールとの組み合わせよりなる密封装置に関するものである。本発明の密封装置は例えば、半導体産業、液晶産業またはセンサー産業等で各種真空処理システムを活用する分野、特にゲートバルブやスリットバルブのシールプレート部位に用いられ、またはその他の分野でゴム状弾性体製のシールを使用する部位に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置や液晶製造装置等では、各種真空処理システムを利用し、真空環境下において、ウエハーや液晶ガラス等を製造している。この場合、真空処理室で一つの製造工程が終わると次の工程に移る必要があるが、このとき真空処理室の真空度を保つために、ゲートバルブやスリットバルブと云った開閉システムを備えたシール機構を利用する場合が多い。図１２はゲートバルブ５１の一例を示しており、これらのゲートバルブ５１やスリットバルブは、シールプレート５２と称される金属プレートよりなるハウジングの装着溝にエラストマーやゴム等よりなるゴム状弾性体製シール５３を組み付けたものである。シールプレート５２に使用されるシール５３はスクィーズシールタイプであり、またシールプレート５２が開閉作動したときにシール５３が装着溝から抜け出ることがないように従来は抜け止め対策として、
▲１▼図１３に示すように、装着溝５４を蟻溝状とし、この蟻溝状の装着溝５４にシール５３としてＯリング５３Ａを装着する、
▲２▼図１４に示すように、装着溝５４を蟻溝状とし、この蟻溝状の装着溝５４にシール５３として抜け止め対策を施した特殊断面形状シール５３Ｂを装着する（特許文献１参照）、
▲３▼または図１５に示すように、シール５３を接着剤５５を用いて装着溝５４内に接着する、などの構造が用いられている。
【０００３】
しかしながら、上記従来技術には、以下の問題がある。
【０００４】
▲１▼▲２▼Ｏリング５３Ａまたは特殊断面形状シール５３Ｂの場合
図示したようにシール５３Ａ，５３Ｂの幅よりも装着溝５４の開口部の幅の方が狭いために、装着作業が困難で、かつ装着作業時にシール５３Ａ，５３Ｂが捩れ易い。捩れはシール性の低下や捩れ応力の集中によるシール５３Ａ，５３Ｂの破断の原因となる。また、装着溝５４の開口縁部でシール５３Ａ，５３Ｂを傷付ける可能性があり、傷はシール性の低下やパーティクルの原因となる。
【０００５】
同じくシール５３Ａ，５３Ｂの幅よりも装着溝５４の開口部の幅の方が狭いために、一旦装着したシール５３Ａ，５３Ｂを装着溝５４から外しにくく、よってシール５３Ａ，５３Ｂを新品と交換する等のメンテナンス作業が困難である。
【０００６】
上記蟻溝による抜け止め保持力がそれほど大きくないために、シール５３Ａ，５３Ｂが部分的に相手ハウジング５６に粘着する事態が発生すると、シールプレート５２の開閉運動の際にシール５３Ａ，５３Ｂが装着溝５４から抜け出てしまうことがある。この場合もシール５３Ａ，５３Ｂが捩れ易い。
【０００７】
上記シール５３Ａ，５３Ｂは何れも装着状態において装着溝５４の外部に突出している部分の幅が装着溝５４の開口部の幅よりも小さい。したがって、シール５３Ａ，５３Ｂの圧縮荷重（もしくはつぶし代またはギャップ）を適切に制御しないと、シールプレート５２の開閉運動の際にシール５３Ａ，５３Ｂの全ての部分が装着溝５４内に埋没してしまい、シール性を維持することができなくなる。
また、シール５３Ａ，５３Ｂの全ての部分が装着溝５４内に埋没すると、シールプレート５２と相手ハウジング５６とが直接接触（メタルタッチ）して摩耗が発生し、パーティクルやコンタミが発生する。したがって、このパーティクルやコンタミ等により製造品である半導体等に製品不良が発生することがある（尚、上記ギャップはシールプレート５２および相手ハウジング５６間に設定する隙間のことをいい、このようにシールプレート５２および相手ハウジング５６間にギャップないし隙間を設定するのは、シールプレート５２および相手ハウジング５６が直接接触（メタルタッチ）して摩耗によるパーティクルやコンタミが発生するのを防止するためである。半導体は微細な異物でも不良を引き起こすため、半導体製造装置における開閉部分はメタルタッチが起こらないようにギャップないし隙間を適切に設定する必要がある）。
【０００８】
▲３▼接着タイプの場合
シール５３を接着剤５５を用いて装着溝５４内に接着するために、一旦接着したシール５３を装着溝５４から外しにくく、または全く外すことができない。したがって、やはりメンテナンス作業が困難であるという不都合がある。
【０００９】
【特許文献１】
特表平９−５１０２８６号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上の点に鑑みて、上記したようにハウジングとこのハウジングの装着溝に装着されるシールとの組み合わせよりなる密封装置において、装着溝に対するシールの装着作業等を容易化することができる密封装置を提供することを目的とし、加えて、抜け止め保持力が大きく、シールの全ての部分が装着溝内に埋没してしまうことがない密封装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１による密封装置は、ハウジングと前記ハウジングの装着溝に装着されるゴム状弾性体製のシールとの組み合わせよりなり、前記装着溝に前記シールを非接着で抜け止めする抜け止め構造が設けられている密封装置において、前記ハウジングを前記装着溝にてその幅方向に分割して複数のハウジング分割体を有し、前記シールを一方の前記ハウジング分割体における装着溝に装着してから他方の前記ハウジング分割体を組み付けることにより前記シールの装着作業をなすことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項２による密封装置は、上記した請求項１の密封装置において、装着溝は、溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有し、シールは、装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅よりも装着溝の開口縁部に係合する部分の幅の方が狭い形状を有し、かつ前記装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅は前記開口部の幅よりも大きく形成されていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の請求項３による密封装置は、上記した請求項１または２の密封装置において、ハウジングが、ゲートバルブまたはスリットバルブにおけるシールプレートであることを特徴とする。
【００１４】
更にまた、本発明の請求項４による密封装置は、上記した請求項３の密封装置において、シールの型割り構造が斜め割りであり、かつその割り方は内径側で溝底部側、外径側で開口部側とすることを特徴とする。
【００１５】
上記構成を備えた本発明の請求項１による密封装置においては、装着溝を設けたハウジングが装着溝にてその幅方向に分割されて複数のハウジング分割体を有しているために、装着溝に対するシールの装着作業としては、シールを一方のハウジング分割体における装着溝に非接着で装着してから他方のハウジング分割体を組み付けることが可能である。したがって、例えば装着溝がシール抜け止め構造として蟻溝状に形成されている場合であっても、その狭い開口部からシールを装着する必要がない。また、シールの取外し作業としては、反対に先ず他方のハウジング分割体を取り外してからシールを取り外すことが可能である。したがって、例えば装着溝がシール抜け止め構造として蟻溝状に形成されている場合であっても、その狭い開口部からシールを取り外す必要がない。
【００１６】
また、上記構成を備えた本発明の請求項２による密封装置においては、装着溝が溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有し、シールが装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅よりも装着溝の開口縁部に係合する部分の幅の方が狭い形状を有し、かつ装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは高さ方向の中央部が括れた形状であり、この括れた部分において装着溝の左右の開口縁部に挟まれることになる。したがって、比較的大きな抜け止め保持力を確保することが可能となる。また、シールにおける装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは相手部品によって相対に押されてもその全ての部分が装着溝内に埋没することがない。
【００１７】
本発明の密封装置は、例えば上記したゲートバルブやスリットバルブ等に用いられ、この場合、分割されるハウジングは、ゲートバルブやスリットバルブにおけるシールプレートがこれに相当する（請求項３）。
【００１８】
尚、この場合、シールにはプラズマガス（真空圧）が作用するので、このプラズマガスが作用する部分に成形品としてのパーティングラインがあるとこれが劣化し、コンタミやパーティクルが発生する虞がある。したがってこれを回避する目的をもって本発明の請求項４による密封装置においては、シールにおける装着溝の外部に突出する部分の内径面（ここにプラズマガスが作用する）にパーティングラインが設定されないよう、シールの型割り構造を斜め割りとし、かつその割り方を内径側で溝底部側、外径側で開口部側とすることにした。
【００１９】
【発明の実施の形態】
つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
【００２０】
図１は、本発明の第一実施例に係る密封装置を示しており、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図をそれぞれ示している。
【００２１】
当該実施例に係る密封装置１は、ハウジング１１と、このハウジング１１に設けた装着溝１２に非接着で装着されるシール２１との組み合わせにより構成されている。また当該密封装置１は、ハウジング１１の平面１１ａ上の装着溝１２に装着したシール２１をハウジング１１とこのハウジング１１に対向するように配置した相手ハウジング（図示せず）との間で平面圧縮することによりシール作用をなすものであって、例えば半導体製造装置、液晶製造装置（エッチング、アッシング、プラズマＣＶＤ、真空ポンプ等）のゲートバルブ部、スリットバルブ部におけるシール部として用いられる。この場合、ハウジング１１は上記したようにこれらのバルブにおけるシールプレートを構成するが、シールプレートとしての詳細構造は後述する。
【００２２】
ハウジング１１は、所定の金属によってプレート状に形成されており、その平面１１ａ上に装着溝１２が所定の平面レイアウトをもって設けられている。装着溝１２はその溝底部１２ａの幅ｗ１よりも開口部１２ｂの幅ｗ２の方が狭くかつ内外周の側面１２ｃがそれぞれ傾斜面状に形成された断面台形の蟻溝状の溝として形成されている。
【００２３】
また、このハウジング１１は、装着溝１２においてその幅方向に二分割されて図上左右一対のハウジング分割体１３，１４を有しており、両分割体１３，１４の分割線１５は装着溝１２の溝底部１２ａにおける幅方向一方の端部位置に配置され、かつ装着溝１２の一方の側面１２ｃの延長線に沿って斜めに配置されている。両分割体１３，１４は分解可能に組み合わされるが、後（のち）の分解が不要な場合には一体化される。当該実施例では分解可能に組み合わされている。
【００２４】
シール２１は、所定のゴム状弾性体によってスクィーズシールタイプとして形成されており、その高さ方向の中央に、高さ方向一端部（装着溝１２の外部に突出する部分）２１ａおよび高さ方向他端部（装着溝１２の内部に収容される部分）２１ｂよりも幅狭に形成された括れ部（装着溝１２の開口縁部に係合する部分）２１ｃが設けられている（高さ方向一端部２１ａの幅をｗ３、高さ方向他端部２１ｂの幅をｗ４、括れ部２１ｃの幅をｗ５として、ｗ３＞ｗ５、ｗ４＞ｗ５）。この括れ部２１ｃは、シール２１の内外周面にそれぞれ断面円弧状の係合凹部２１ｄを全周に亙って設けることにより形成されており、この係合凹部２１ｄに対してそれぞれ装着溝１２の開口部１２ｂの縁部に設けられた断面円弧状の係合凸部１２ｄが係合することによって、装着溝１２に対するシール２１の抜け止め構造１６が形成されている。
【００２５】
また、装着状態において装着溝１２の外部に配置されるシール２１の高さ方向一端部２１ａおよび装着状態において装着溝１２の内部に配置されるシール２１の高さ方向他端部２１ｂはそれぞれ、その下方または上方に括れ部２１ｃが設けられていることによってそのボリュームが比較的大きなものとして形成されており、具体的には、両端部２１ａ，２１ｂの幅ｗ３，ｗ４がそれぞれ装着溝１２の開口部１２ｂの幅ｗ２よりも大きく形成されている（ｗ３＞ｗ２、ｗ４＞ｗ２）。
【００２６】
また、高さ方向一端部２１ａには、その幅方向中央に位置して溝状部２１ｅが全周に亙って設けられており、この溝状部２１ｅの内周側および外周側にそれぞれ、相手ハウジングに密接するリップ状のシール部２１ｆが設けられている。また、高さ方向他端部２１ｂにはここにも、その幅方向中央に位置して溝状部２１ｇが全周に亙って設けられており、この溝状部２１ｇの内周側および外周側にそれぞれ装着溝１２の溝底部１２ａに密接するリップ状のシール部２１ｈが設けられている。
【００２７】
上記構成の密封装置１によれば、装着溝１２を設けたハウジング１１が装着溝１２の幅方向に分割されることにより一対のハウジング分割体１３，１４が設けられているために、装着溝１２にシール２１を装着するに際しては、図１（Ａ）から（Ｂ）へと示すように、シール２１を一方の分割体１３における装着溝１２に装着してから分割体１３，１４同士を組み合わせることにより装着が可能とされている。したがって、装着溝１２がシール抜け止め構造１６として蟻溝状に形成されていても、その狭い開口部１２ｂからシール２１を装着する必要がなく、余裕をもって装着することができるために、シール２１の装着作業を容易化することができる。
【００２８】
また、装着溝１２からシール２１を取り外すに際しては、反対に図１（Ｂ）から（Ａ）へと示すように、ハウジング分割体１３，１４同士を分解してからシール２１を取り外すことが可能とされている。したがって、装着溝１２がシール抜け止め構造１６として蟻溝状に形成されていても、その狭い開口部１２ｂからシール２１を取り外す必要がなく、余裕をもって取り外すことができるために、シール２１の取外し作業を容易化することができる。
【００２９】
したがってこれらのことから、シール２１の装着作業および取外し作業を共に容易化することができ、しかも装着に際してシール２１が捩れることがない密封装置１を提供することができる。
【００３０】
また併せて、上記構成の密封装置１によれば、以下の作用効果を奏することが可能である。
【００３１】
▲１▼ 装着溝１２にシール２１を装着するに際して、シール２１を一方の分割体１３における装着溝１２に装着してから他方の分割体１４を全周同時に組み込む構造であるために、シール２１に弛みが生じることがない。また、シール２１に局部的な応力が生じることがないために、他方の分割体１４を組み込み易い。
【００３２】
▲２▼ シール２１の係合凹部２１ｄに対してハウジング１１側の係合凸部１２ｄが係合することによって装着溝１２に対するシール２１の抜け止め構造１６が形成されているために、係合凸部１２ｄによるシール２１の保持力が大きい。したがって、ハウジング１１および相手部品が開閉作動する際に、シール２１が装着溝１２から抜け出たり、シール２１に捩れが生じたりするのを有効に防止することができる。
【００３３】
▲３▼ 上記したようにシール２１の取外し作業が容易であるために、シール２１の交換等のメンテナンス作業を併せて容易化することができる。また、シール２１をハウジング１１に接着するものでないために、シール２１単体での交換が可能である。
【００３４】
▲４▼ 装着状態において装着溝１２の外部に配置されて相手ハウジングに密接するシール２１の高さ方向一端部２１ａが、その下方に括れ部２１ｃが設けられていることによってボリュームの比較的大きなものとして形成されている。したがって、このシール２１はへたりにくく、よってシール性能が高い。また、この構成によりシール２１が相手ハウジングによって相対に押されてもその全ての部分が装着溝１２内に埋没することがないために、シール性を維持することができる。
また同じくシール２１が相手ハウジングによって相対に押されてもその全ての部分が装着溝１２内に埋没することがないために、ハウジング１１と相手ハウジングとが直接接触（メタルタッチ）するのを防止することができる。したがって、摩耗によるパーティクルやコンタミの発生を防止することができ、これにより製造品である半導体にパーティクルやコンタミを原因とする製品不良が発生するのを防止することができる。
【００３５】
▲５▼ シール２１の高さ方向一端部２１ａに相手ハウジングに密接する複数のリップ状シール部２１ｆが設けられているために、該部シール性能が高い。また、シール２１の高さ方向他端部２１ｂに装着溝１２の溝底部１２ａに密接する複数のリップ状シール部２１ｈが設けられているために、該部シール性能が高い。
【００３６】
尚、これらリップ状シール部２１ｆ，２１ｈの形成は任意であって、第二実施例として図２に示すように、これらリップ状シール部２１ｆ，２１ｈはその形成を省略しても良く、この場合には、シール２１の高さ方向一端面および他端面が直接、相手ハウジングまたは装着溝１２の溝底部１２ａに密接する。
【００３７】
また、装着溝１２に対してシール２１を抜け止めする抜け止め構造１６については、装着溝１２を断面台形の蟻溝状とするほか、シール２１を物理的機械的に抜け止めできるものであれば、その構造を限定されない。図３の第三実施例および図４の第四実施例では、装着溝１２の断面形状が矩形状とされ、その開口部１２ｂの縁部にそれぞれ断面矩形状の係合凸部１２ｄが設けられている。
【００３８】
更にまた、シール２１の形状もハウジング１１側の係合凸部１２ｄに係合する係合凹部２１ｄを有するものであれば、特に限定されない。
【００３９】
図３の第三実施例では、シール２１の断面形状が、断面弓形の高さ方向一端部２１ａと、内外周に係合凹部２１ｄを設けた括れ部２１ｃと、断面矩形の高さ方向他端部２１ｂとの組み合わせによって形成されており、このシール２１は装着溝１２内に空隙を残すことなく充填配置される。
【００４０】
また、図４の第四実施例では、シール２１の断面形状が、断面弓形の高さ方向一端部２１ａと、内外周に係合凹部２１ｄを設けた括れ部２１ｃと、断面弓形の高さ方向他端部２１ｂとの組み合わせによって形成されており、このシール２１は装着溝１２内に空隙２２を残して充填配置される。
【００４１】
つぎに、ハウジング１１がゲートバルブやスリットバルブにおけるシールプレートを構成する場合の詳細構造を説明する。
【００４２】
すなわち、図５は本発明の第五実施例として、シールプレート１１１の正面図を示しており、図６（Ａ）は図５におけるＡ−Ａ線拡大断面図、図６（Ｂ）は図５におけるＢ−Ｂ線拡大断面図をそれぞれ示している。
【００４３】
シールプレート１１１は、所定の金属によってプレート状に形成されており、その正面（シール面）１１１ａに装着溝１１２が所定のレイアウトをもってエンドレス状に設けられている。装着溝１１２はその溝底部１１２ａの幅ｗ１よりも開口部１１２ｂの幅ｗ２の方が狭く、かつ内外周の側面１１２ｃがそれぞれ傾斜面状に形成された断面台形の蟻溝状の溝として形成されている。
【００４４】
また、このシールプレート１１１は、装着溝１１２においてその幅方向に二分割されて、外側分割体としてのボディ１１３と、内側分割体としてのスリーブ１１４とを有しており、両者１１３，１１４は、前者のボディ１１３の組付凹部１１５に後者のスリーブ１１４を組み付け、正面（シール面）１１１ａ側から六角穴付きボルト等の組立ボルト１１６を締め込むことにより着脱自在に一体化されている。両者の分割線１１７は装着溝１１２の溝底部１１２ａにおける幅方向内側の端部位置に配置されており、ボディ１１３側は普通（垂直）の段、スリーブ１１４側は装着溝１１２の一方の側面１１２ｃの延長線に沿ったテーパー状の段として形成されている。
【００４５】
また、ボディ１１３の背面には、当該シールプレート１１１を装置に取り付けるための雌ネジ部または穴部等よりなる取付部１１８が設けられている。この取付部１１８を設けるに際してボディ１１３の厚さを十分に確保するには必要に応じて図６（Ｂ）に示すように、取付部１１８の周辺部に限って段差部１１９を設けるのが好ましい。
【００４６】
上記構成のシールプレート１１１によれば、ゲートバルブやスリットバルブに用いられるシールプレートとして、上記第一実施例と同じ作用効果を奏することができる。
【００４７】
尚、シールプレート１１１の分割・組立構造は、この第五実施例の正面（シール面）より固定する構造のほかに、第六実施例として図７に示すように、背面より固定する構造としても良く、また第七実施例として図８ないし図１０に示すように、側面より固定する構造としても良い。
【００４８】
図７の第六実施例では、シールプレート１１１ないしボディ１１３の背面側から六角穴付きボルト等の組立ボルト１１６が締め込まれている。
【００４９】
図８ないし図１０の第七実施例では、ボディ１１３が分割線１２０においてプレート平面方向に二つ割り構造とされており、一対のボディ分割体１２１，１２２を有している。
【００５０】
また、このようにハウジング１１がゲートバルブやスリットバルブにおけるシールプレート１１１を構成して密封装置１がゲートバルブやスリットバルブに用いられる場合には、シールプレート１１１の装着溝１１２に装着されるゴム状弾性体製のシール２１にプラズマガス（真空圧）が作用するため、このプラズマガスが作用する部分にゴム成形品としてのパーティングライン痕があるとこれが劣化し、コンタミやパーティクルが発生する虞がある。したがってこれを回避するには、図１１に示すように、シール２１における装着溝の外部に突出する部分２１ａの内径面２１ｊ（シール２１の内径側に真空室が設定されるため、装着溝１１２からはみ出たこの内径面２１ｊにプラズマガスが作用する）に金型３１のパーティングライン３２が設定されないよう、シール２１の型割り構造を斜め割りとし、かつその割り方をシール２１の内径側で溝底部側、外径側で開口部側とする。この割り方は、金型３１のキャビティ空間３３の内径側と外径側とでパーティングライン３２の高さ位置に高低差を設定するものである（内径側が低、外径側が高）。したがって、このようにすると装着溝の外部に突出する部分２１ａの内径面２１ｊに金型３１のパーティングライン３２が設定されず、よってパーティングライン痕が形成されないことから、これが劣化してコンタミやパーティクルが発生するのを未然に防止することができる。
【００５１】
【発明の効果】
本発明は、以下の効果を奏する。
【００５２】
すなわち、上記構成を備えた本発明の請求項１による密封装置においては、装着溝を設けたハウジングが装着溝でその幅方向に分割されて複数のハウジング分割体を有しているために、装着溝に対するシールの装着作業として、シールを一方のハウジング分割体における装着溝に非接着で装着してから他方のハウジング分割体を組み付けることが可能とされている。したがって、例えば装着溝がシール抜け止め構造として蟻溝状に形成されている場合であっても、その狭い開口部からシールを装着する必要がないために、シールの装着作業を容易化することができる。したがって、シールの装着作業等を容易化することができ、しかも装着に際してシールが捩れることがない密封装置を提供することができる。
【００５３】
またこれに加えて、上記構成を備えた本発明の請求項２による密封装置においては、装着溝が溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有し、シールが装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅よりも装着溝の開口縁部に係合する部分の幅の方が狭い形状を有し、かつ装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは高さ方向の中央部が括れた形状とされ、この括れた部分において装着溝の左右の開口縁部に挟まれる。したがって、比較的大きな抜け止め保持力を確保することができ、これによりシールの装着安定性を向上させることができる。
【００５４】
また、シールにおける装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは相手部品によって相対に押されてもその全ての部分が装着溝内に埋没することがない。したがって、シールによるシール性を維持することができる。また、同じくシールが相手部品によって相対に押されてもその全ての部分が装着溝内に埋没することがないために、ハウジングと相手部品とが直接接触（メタルタッチ）するのを防止することができる。したがって、摩耗によるパーティクルやコンタミ等の発生を防止することができ、これにより製造品である半導体等にパーティクルやコンタミ等を原因とする製品不良が発生するのを防止することができる。
【００５５】
また、上記構成を備えた本発明の請求項３による密封装置においては、各種真空処理システムにおけるゲートバルブやスリットバルブ等に用いられる密封装置として上記請求項１および２と同じ効果を得ることができ、本発明の請求項４による密封装置においては、加えて、耐プラズマ性に優れた密封装置を提供することができ、その耐久性やシール性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図２】本発明の第二実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図３】本発明の第三実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図４】本発明の第四実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図５】本発明の第五実施例に係る密封装置におけるシールプレートの正面図
【図６】（Ａ）は図５におけるＡ−Ａ線拡大断面図、（Ｂ）は図５におけるＢ−Ｂ線拡大断面図
【図７】本発明の第六実施例に係る密封装置におけるシールプレートの断面図
【図８】本発明の第七実施例に係る密封装置におけるシールプレートの正面図
【図９】同シールプレートの分解した状態を示す正面図
【図１０】（Ａ）は同シールプレートの断面図、（Ｂ）は同シールプレートの分解した状態を示す断面図
【図１１】シール型割り構造を示す説明図
【図１２】ゲートバルブの説明図
【図１３】従来例に係る密封装置の要部断面図
【図１４】従来例に係る密封装置の要部断面図
【図１５】従来例に係る密封装置の要部断面図
【符号の説明】
１ 密封装置
１１ ハウジング
１１ａ 平面
１２，１１２ 装着溝
１２ａ，１１２ａ 溝底部
１２ｂ，１１２ｂ 開口部
１２ｃ，１１２ｃ 側面
１２ｄ 係合凸部
１３，１４ ハウジング分割体
１５，１１７，１２０ 分割線
１６ 抜け止め構造
２１ シール
２１ａ 一端部
２１ｂ 他端部
２１ｃ 括れ部
２１ｄ 係合凹部
２１ｅ，２１ｇ 溝状部
２１ｆ，２１ｈ シール部
２１ｊ 内径面
２２ 空隙
３１ 金型
３２ パーティングライン
３３ キャビティ空間
１１１ シールプレート
１１１ａ 正面
１１３ ボディ
１１４ スリーブ
１１５ 組付凹部
１１６ 組立ボルト
１１８ 取付部
１１９ 段差部
１２１，１２２ ボディ分割体
【発明の属する技術分野】
本発明は、密封装置に係り、更に詳しくは、ハウジングとハウジングの装着溝に装着されるゴム状弾性体製のシールとの組み合わせよりなる密封装置に関するものである。本発明の密封装置は例えば、半導体産業、液晶産業またはセンサー産業等で各種真空処理システムを活用する分野、特にゲートバルブやスリットバルブのシールプレート部位に用いられ、またはその他の分野でゴム状弾性体製のシールを使用する部位に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置や液晶製造装置等では、各種真空処理システムを利用し、真空環境下において、ウエハーや液晶ガラス等を製造している。この場合、真空処理室で一つの製造工程が終わると次の工程に移る必要があるが、このとき真空処理室の真空度を保つために、ゲートバルブやスリットバルブと云った開閉システムを備えたシール機構を利用する場合が多い。図１２はゲートバルブ５１の一例を示しており、これらのゲートバルブ５１やスリットバルブは、シールプレート５２と称される金属プレートよりなるハウジングの装着溝にエラストマーやゴム等よりなるゴム状弾性体製シール５３を組み付けたものである。シールプレート５２に使用されるシール５３はスクィーズシールタイプであり、またシールプレート５２が開閉作動したときにシール５３が装着溝から抜け出ることがないように従来は抜け止め対策として、
▲１▼図１３に示すように、装着溝５４を蟻溝状とし、この蟻溝状の装着溝５４にシール５３としてＯリング５３Ａを装着する、
▲２▼図１４に示すように、装着溝５４を蟻溝状とし、この蟻溝状の装着溝５４にシール５３として抜け止め対策を施した特殊断面形状シール５３Ｂを装着する（特許文献１参照）、
▲３▼または図１５に示すように、シール５３を接着剤５５を用いて装着溝５４内に接着する、などの構造が用いられている。
【０００３】
しかしながら、上記従来技術には、以下の問題がある。
【０００４】
▲１▼▲２▼Ｏリング５３Ａまたは特殊断面形状シール５３Ｂの場合
図示したようにシール５３Ａ，５３Ｂの幅よりも装着溝５４の開口部の幅の方が狭いために、装着作業が困難で、かつ装着作業時にシール５３Ａ，５３Ｂが捩れ易い。捩れはシール性の低下や捩れ応力の集中によるシール５３Ａ，５３Ｂの破断の原因となる。また、装着溝５４の開口縁部でシール５３Ａ，５３Ｂを傷付ける可能性があり、傷はシール性の低下やパーティクルの原因となる。
【０００５】
同じくシール５３Ａ，５３Ｂの幅よりも装着溝５４の開口部の幅の方が狭いために、一旦装着したシール５３Ａ，５３Ｂを装着溝５４から外しにくく、よってシール５３Ａ，５３Ｂを新品と交換する等のメンテナンス作業が困難である。
【０００６】
上記蟻溝による抜け止め保持力がそれほど大きくないために、シール５３Ａ，５３Ｂが部分的に相手ハウジング５６に粘着する事態が発生すると、シールプレート５２の開閉運動の際にシール５３Ａ，５３Ｂが装着溝５４から抜け出てしまうことがある。この場合もシール５３Ａ，５３Ｂが捩れ易い。
【０００７】
上記シール５３Ａ，５３Ｂは何れも装着状態において装着溝５４の外部に突出している部分の幅が装着溝５４の開口部の幅よりも小さい。したがって、シール５３Ａ，５３Ｂの圧縮荷重（もしくはつぶし代またはギャップ）を適切に制御しないと、シールプレート５２の開閉運動の際にシール５３Ａ，５３Ｂの全ての部分が装着溝５４内に埋没してしまい、シール性を維持することができなくなる。
また、シール５３Ａ，５３Ｂの全ての部分が装着溝５４内に埋没すると、シールプレート５２と相手ハウジング５６とが直接接触（メタルタッチ）して摩耗が発生し、パーティクルやコンタミが発生する。したがって、このパーティクルやコンタミ等により製造品である半導体等に製品不良が発生することがある（尚、上記ギャップはシールプレート５２および相手ハウジング５６間に設定する隙間のことをいい、このようにシールプレート５２および相手ハウジング５６間にギャップないし隙間を設定するのは、シールプレート５２および相手ハウジング５６が直接接触（メタルタッチ）して摩耗によるパーティクルやコンタミが発生するのを防止するためである。半導体は微細な異物でも不良を引き起こすため、半導体製造装置における開閉部分はメタルタッチが起こらないようにギャップないし隙間を適切に設定する必要がある）。
【０００８】
▲３▼接着タイプの場合
シール５３を接着剤５５を用いて装着溝５４内に接着するために、一旦接着したシール５３を装着溝５４から外しにくく、または全く外すことができない。したがって、やはりメンテナンス作業が困難であるという不都合がある。
【０００９】
【特許文献１】
特表平９−５１０２８６号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上の点に鑑みて、上記したようにハウジングとこのハウジングの装着溝に装着されるシールとの組み合わせよりなる密封装置において、装着溝に対するシールの装着作業等を容易化することができる密封装置を提供することを目的とし、加えて、抜け止め保持力が大きく、シールの全ての部分が装着溝内に埋没してしまうことがない密封装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１による密封装置は、ハウジングと前記ハウジングの装着溝に装着されるゴム状弾性体製のシールとの組み合わせよりなり、前記装着溝に前記シールを非接着で抜け止めする抜け止め構造が設けられている密封装置において、前記ハウジングを前記装着溝にてその幅方向に分割して複数のハウジング分割体を有し、前記シールを一方の前記ハウジング分割体における装着溝に装着してから他方の前記ハウジング分割体を組み付けることにより前記シールの装着作業をなすことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項２による密封装置は、上記した請求項１の密封装置において、装着溝は、溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有し、シールは、装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅よりも装着溝の開口縁部に係合する部分の幅の方が狭い形状を有し、かつ前記装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅は前記開口部の幅よりも大きく形成されていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の請求項３による密封装置は、上記した請求項１または２の密封装置において、ハウジングが、ゲートバルブまたはスリットバルブにおけるシールプレートであることを特徴とする。
【００１４】
更にまた、本発明の請求項４による密封装置は、上記した請求項３の密封装置において、シールの型割り構造が斜め割りであり、かつその割り方は内径側で溝底部側、外径側で開口部側とすることを特徴とする。
【００１５】
上記構成を備えた本発明の請求項１による密封装置においては、装着溝を設けたハウジングが装着溝にてその幅方向に分割されて複数のハウジング分割体を有しているために、装着溝に対するシールの装着作業としては、シールを一方のハウジング分割体における装着溝に非接着で装着してから他方のハウジング分割体を組み付けることが可能である。したがって、例えば装着溝がシール抜け止め構造として蟻溝状に形成されている場合であっても、その狭い開口部からシールを装着する必要がない。また、シールの取外し作業としては、反対に先ず他方のハウジング分割体を取り外してからシールを取り外すことが可能である。したがって、例えば装着溝がシール抜け止め構造として蟻溝状に形成されている場合であっても、その狭い開口部からシールを取り外す必要がない。
【００１６】
また、上記構成を備えた本発明の請求項２による密封装置においては、装着溝が溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有し、シールが装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅よりも装着溝の開口縁部に係合する部分の幅の方が狭い形状を有し、かつ装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは高さ方向の中央部が括れた形状であり、この括れた部分において装着溝の左右の開口縁部に挟まれることになる。したがって、比較的大きな抜け止め保持力を確保することが可能となる。また、シールにおける装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは相手部品によって相対に押されてもその全ての部分が装着溝内に埋没することがない。
【００１７】
本発明の密封装置は、例えば上記したゲートバルブやスリットバルブ等に用いられ、この場合、分割されるハウジングは、ゲートバルブやスリットバルブにおけるシールプレートがこれに相当する（請求項３）。
【００１８】
尚、この場合、シールにはプラズマガス（真空圧）が作用するので、このプラズマガスが作用する部分に成形品としてのパーティングラインがあるとこれが劣化し、コンタミやパーティクルが発生する虞がある。したがってこれを回避する目的をもって本発明の請求項４による密封装置においては、シールにおける装着溝の外部に突出する部分の内径面（ここにプラズマガスが作用する）にパーティングラインが設定されないよう、シールの型割り構造を斜め割りとし、かつその割り方を内径側で溝底部側、外径側で開口部側とすることにした。
【００１９】
【発明の実施の形態】
つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
【００２０】
図１は、本発明の第一実施例に係る密封装置を示しており、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図をそれぞれ示している。
【００２１】
当該実施例に係る密封装置１は、ハウジング１１と、このハウジング１１に設けた装着溝１２に非接着で装着されるシール２１との組み合わせにより構成されている。また当該密封装置１は、ハウジング１１の平面１１ａ上の装着溝１２に装着したシール２１をハウジング１１とこのハウジング１１に対向するように配置した相手ハウジング（図示せず）との間で平面圧縮することによりシール作用をなすものであって、例えば半導体製造装置、液晶製造装置（エッチング、アッシング、プラズマＣＶＤ、真空ポンプ等）のゲートバルブ部、スリットバルブ部におけるシール部として用いられる。この場合、ハウジング１１は上記したようにこれらのバルブにおけるシールプレートを構成するが、シールプレートとしての詳細構造は後述する。
【００２２】
ハウジング１１は、所定の金属によってプレート状に形成されており、その平面１１ａ上に装着溝１２が所定の平面レイアウトをもって設けられている。装着溝１２はその溝底部１２ａの幅ｗ１よりも開口部１２ｂの幅ｗ２の方が狭くかつ内外周の側面１２ｃがそれぞれ傾斜面状に形成された断面台形の蟻溝状の溝として形成されている。
【００２３】
また、このハウジング１１は、装着溝１２においてその幅方向に二分割されて図上左右一対のハウジング分割体１３，１４を有しており、両分割体１３，１４の分割線１５は装着溝１２の溝底部１２ａにおける幅方向一方の端部位置に配置され、かつ装着溝１２の一方の側面１２ｃの延長線に沿って斜めに配置されている。両分割体１３，１４は分解可能に組み合わされるが、後（のち）の分解が不要な場合には一体化される。当該実施例では分解可能に組み合わされている。
【００２４】
シール２１は、所定のゴム状弾性体によってスクィーズシールタイプとして形成されており、その高さ方向の中央に、高さ方向一端部（装着溝１２の外部に突出する部分）２１ａおよび高さ方向他端部（装着溝１２の内部に収容される部分）２１ｂよりも幅狭に形成された括れ部（装着溝１２の開口縁部に係合する部分）２１ｃが設けられている（高さ方向一端部２１ａの幅をｗ３、高さ方向他端部２１ｂの幅をｗ４、括れ部２１ｃの幅をｗ５として、ｗ３＞ｗ５、ｗ４＞ｗ５）。この括れ部２１ｃは、シール２１の内外周面にそれぞれ断面円弧状の係合凹部２１ｄを全周に亙って設けることにより形成されており、この係合凹部２１ｄに対してそれぞれ装着溝１２の開口部１２ｂの縁部に設けられた断面円弧状の係合凸部１２ｄが係合することによって、装着溝１２に対するシール２１の抜け止め構造１６が形成されている。
【００２５】
また、装着状態において装着溝１２の外部に配置されるシール２１の高さ方向一端部２１ａおよび装着状態において装着溝１２の内部に配置されるシール２１の高さ方向他端部２１ｂはそれぞれ、その下方または上方に括れ部２１ｃが設けられていることによってそのボリュームが比較的大きなものとして形成されており、具体的には、両端部２１ａ，２１ｂの幅ｗ３，ｗ４がそれぞれ装着溝１２の開口部１２ｂの幅ｗ２よりも大きく形成されている（ｗ３＞ｗ２、ｗ４＞ｗ２）。
【００２６】
また、高さ方向一端部２１ａには、その幅方向中央に位置して溝状部２１ｅが全周に亙って設けられており、この溝状部２１ｅの内周側および外周側にそれぞれ、相手ハウジングに密接するリップ状のシール部２１ｆが設けられている。また、高さ方向他端部２１ｂにはここにも、その幅方向中央に位置して溝状部２１ｇが全周に亙って設けられており、この溝状部２１ｇの内周側および外周側にそれぞれ装着溝１２の溝底部１２ａに密接するリップ状のシール部２１ｈが設けられている。
【００２７】
上記構成の密封装置１によれば、装着溝１２を設けたハウジング１１が装着溝１２の幅方向に分割されることにより一対のハウジング分割体１３，１４が設けられているために、装着溝１２にシール２１を装着するに際しては、図１（Ａ）から（Ｂ）へと示すように、シール２１を一方の分割体１３における装着溝１２に装着してから分割体１３，１４同士を組み合わせることにより装着が可能とされている。したがって、装着溝１２がシール抜け止め構造１６として蟻溝状に形成されていても、その狭い開口部１２ｂからシール２１を装着する必要がなく、余裕をもって装着することができるために、シール２１の装着作業を容易化することができる。
【００２８】
また、装着溝１２からシール２１を取り外すに際しては、反対に図１（Ｂ）から（Ａ）へと示すように、ハウジング分割体１３，１４同士を分解してからシール２１を取り外すことが可能とされている。したがって、装着溝１２がシール抜け止め構造１６として蟻溝状に形成されていても、その狭い開口部１２ｂからシール２１を取り外す必要がなく、余裕をもって取り外すことができるために、シール２１の取外し作業を容易化することができる。
【００２９】
したがってこれらのことから、シール２１の装着作業および取外し作業を共に容易化することができ、しかも装着に際してシール２１が捩れることがない密封装置１を提供することができる。
【００３０】
また併せて、上記構成の密封装置１によれば、以下の作用効果を奏することが可能である。
【００３１】
▲１▼ 装着溝１２にシール２１を装着するに際して、シール２１を一方の分割体１３における装着溝１２に装着してから他方の分割体１４を全周同時に組み込む構造であるために、シール２１に弛みが生じることがない。また、シール２１に局部的な応力が生じることがないために、他方の分割体１４を組み込み易い。
【００３２】
▲２▼ シール２１の係合凹部２１ｄに対してハウジング１１側の係合凸部１２ｄが係合することによって装着溝１２に対するシール２１の抜け止め構造１６が形成されているために、係合凸部１２ｄによるシール２１の保持力が大きい。したがって、ハウジング１１および相手部品が開閉作動する際に、シール２１が装着溝１２から抜け出たり、シール２１に捩れが生じたりするのを有効に防止することができる。
【００３３】
▲３▼ 上記したようにシール２１の取外し作業が容易であるために、シール２１の交換等のメンテナンス作業を併せて容易化することができる。また、シール２１をハウジング１１に接着するものでないために、シール２１単体での交換が可能である。
【００３４】
▲４▼ 装着状態において装着溝１２の外部に配置されて相手ハウジングに密接するシール２１の高さ方向一端部２１ａが、その下方に括れ部２１ｃが設けられていることによってボリュームの比較的大きなものとして形成されている。したがって、このシール２１はへたりにくく、よってシール性能が高い。また、この構成によりシール２１が相手ハウジングによって相対に押されてもその全ての部分が装着溝１２内に埋没することがないために、シール性を維持することができる。
また同じくシール２１が相手ハウジングによって相対に押されてもその全ての部分が装着溝１２内に埋没することがないために、ハウジング１１と相手ハウジングとが直接接触（メタルタッチ）するのを防止することができる。したがって、摩耗によるパーティクルやコンタミの発生を防止することができ、これにより製造品である半導体にパーティクルやコンタミを原因とする製品不良が発生するのを防止することができる。
【００３５】
▲５▼ シール２１の高さ方向一端部２１ａに相手ハウジングに密接する複数のリップ状シール部２１ｆが設けられているために、該部シール性能が高い。また、シール２１の高さ方向他端部２１ｂに装着溝１２の溝底部１２ａに密接する複数のリップ状シール部２１ｈが設けられているために、該部シール性能が高い。
【００３６】
尚、これらリップ状シール部２１ｆ，２１ｈの形成は任意であって、第二実施例として図２に示すように、これらリップ状シール部２１ｆ，２１ｈはその形成を省略しても良く、この場合には、シール２１の高さ方向一端面および他端面が直接、相手ハウジングまたは装着溝１２の溝底部１２ａに密接する。
【００３７】
また、装着溝１２に対してシール２１を抜け止めする抜け止め構造１６については、装着溝１２を断面台形の蟻溝状とするほか、シール２１を物理的機械的に抜け止めできるものであれば、その構造を限定されない。図３の第三実施例および図４の第四実施例では、装着溝１２の断面形状が矩形状とされ、その開口部１２ｂの縁部にそれぞれ断面矩形状の係合凸部１２ｄが設けられている。
【００３８】
更にまた、シール２１の形状もハウジング１１側の係合凸部１２ｄに係合する係合凹部２１ｄを有するものであれば、特に限定されない。
【００３９】
図３の第三実施例では、シール２１の断面形状が、断面弓形の高さ方向一端部２１ａと、内外周に係合凹部２１ｄを設けた括れ部２１ｃと、断面矩形の高さ方向他端部２１ｂとの組み合わせによって形成されており、このシール２１は装着溝１２内に空隙を残すことなく充填配置される。
【００４０】
また、図４の第四実施例では、シール２１の断面形状が、断面弓形の高さ方向一端部２１ａと、内外周に係合凹部２１ｄを設けた括れ部２１ｃと、断面弓形の高さ方向他端部２１ｂとの組み合わせによって形成されており、このシール２１は装着溝１２内に空隙２２を残して充填配置される。
【００４１】
つぎに、ハウジング１１がゲートバルブやスリットバルブにおけるシールプレートを構成する場合の詳細構造を説明する。
【００４２】
すなわち、図５は本発明の第五実施例として、シールプレート１１１の正面図を示しており、図６（Ａ）は図５におけるＡ−Ａ線拡大断面図、図６（Ｂ）は図５におけるＢ−Ｂ線拡大断面図をそれぞれ示している。
【００４３】
シールプレート１１１は、所定の金属によってプレート状に形成されており、その正面（シール面）１１１ａに装着溝１１２が所定のレイアウトをもってエンドレス状に設けられている。装着溝１１２はその溝底部１１２ａの幅ｗ１よりも開口部１１２ｂの幅ｗ２の方が狭く、かつ内外周の側面１１２ｃがそれぞれ傾斜面状に形成された断面台形の蟻溝状の溝として形成されている。
【００４４】
また、このシールプレート１１１は、装着溝１１２においてその幅方向に二分割されて、外側分割体としてのボディ１１３と、内側分割体としてのスリーブ１１４とを有しており、両者１１３，１１４は、前者のボディ１１３の組付凹部１１５に後者のスリーブ１１４を組み付け、正面（シール面）１１１ａ側から六角穴付きボルト等の組立ボルト１１６を締め込むことにより着脱自在に一体化されている。両者の分割線１１７は装着溝１１２の溝底部１１２ａにおける幅方向内側の端部位置に配置されており、ボディ１１３側は普通（垂直）の段、スリーブ１１４側は装着溝１１２の一方の側面１１２ｃの延長線に沿ったテーパー状の段として形成されている。
【００４５】
また、ボディ１１３の背面には、当該シールプレート１１１を装置に取り付けるための雌ネジ部または穴部等よりなる取付部１１８が設けられている。この取付部１１８を設けるに際してボディ１１３の厚さを十分に確保するには必要に応じて図６（Ｂ）に示すように、取付部１１８の周辺部に限って段差部１１９を設けるのが好ましい。
【００４６】
上記構成のシールプレート１１１によれば、ゲートバルブやスリットバルブに用いられるシールプレートとして、上記第一実施例と同じ作用効果を奏することができる。
【００４７】
尚、シールプレート１１１の分割・組立構造は、この第五実施例の正面（シール面）より固定する構造のほかに、第六実施例として図７に示すように、背面より固定する構造としても良く、また第七実施例として図８ないし図１０に示すように、側面より固定する構造としても良い。
【００４８】
図７の第六実施例では、シールプレート１１１ないしボディ１１３の背面側から六角穴付きボルト等の組立ボルト１１６が締め込まれている。
【００４９】
図８ないし図１０の第七実施例では、ボディ１１３が分割線１２０においてプレート平面方向に二つ割り構造とされており、一対のボディ分割体１２１，１２２を有している。
【００５０】
また、このようにハウジング１１がゲートバルブやスリットバルブにおけるシールプレート１１１を構成して密封装置１がゲートバルブやスリットバルブに用いられる場合には、シールプレート１１１の装着溝１１２に装着されるゴム状弾性体製のシール２１にプラズマガス（真空圧）が作用するため、このプラズマガスが作用する部分にゴム成形品としてのパーティングライン痕があるとこれが劣化し、コンタミやパーティクルが発生する虞がある。したがってこれを回避するには、図１１に示すように、シール２１における装着溝の外部に突出する部分２１ａの内径面２１ｊ（シール２１の内径側に真空室が設定されるため、装着溝１１２からはみ出たこの内径面２１ｊにプラズマガスが作用する）に金型３１のパーティングライン３２が設定されないよう、シール２１の型割り構造を斜め割りとし、かつその割り方をシール２１の内径側で溝底部側、外径側で開口部側とする。この割り方は、金型３１のキャビティ空間３３の内径側と外径側とでパーティングライン３２の高さ位置に高低差を設定するものである（内径側が低、外径側が高）。したがって、このようにすると装着溝の外部に突出する部分２１ａの内径面２１ｊに金型３１のパーティングライン３２が設定されず、よってパーティングライン痕が形成されないことから、これが劣化してコンタミやパーティクルが発生するのを未然に防止することができる。
【００５１】
【発明の効果】
本発明は、以下の効果を奏する。
【００５２】
すなわち、上記構成を備えた本発明の請求項１による密封装置においては、装着溝を設けたハウジングが装着溝でその幅方向に分割されて複数のハウジング分割体を有しているために、装着溝に対するシールの装着作業として、シールを一方のハウジング分割体における装着溝に非接着で装着してから他方のハウジング分割体を組み付けることが可能とされている。したがって、例えば装着溝がシール抜け止め構造として蟻溝状に形成されている場合であっても、その狭い開口部からシールを装着する必要がないために、シールの装着作業を容易化することができる。したがって、シールの装着作業等を容易化することができ、しかも装着に際してシールが捩れることがない密封装置を提供することができる。
【００５３】
またこれに加えて、上記構成を備えた本発明の請求項２による密封装置においては、装着溝が溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有し、シールが装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅よりも装着溝の開口縁部に係合する部分の幅の方が狭い形状を有し、かつ装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは高さ方向の中央部が括れた形状とされ、この括れた部分において装着溝の左右の開口縁部に挟まれる。したがって、比較的大きな抜け止め保持力を確保することができ、これによりシールの装着安定性を向上させることができる。
【００５４】
また、シールにおける装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは相手部品によって相対に押されてもその全ての部分が装着溝内に埋没することがない。したがって、シールによるシール性を維持することができる。また、同じくシールが相手部品によって相対に押されてもその全ての部分が装着溝内に埋没することがないために、ハウジングと相手部品とが直接接触（メタルタッチ）するのを防止することができる。したがって、摩耗によるパーティクルやコンタミ等の発生を防止することができ、これにより製造品である半導体等にパーティクルやコンタミ等を原因とする製品不良が発生するのを防止することができる。
【００５５】
また、上記構成を備えた本発明の請求項３による密封装置においては、各種真空処理システムにおけるゲートバルブやスリットバルブ等に用いられる密封装置として上記請求項１および２と同じ効果を得ることができ、本発明の請求項４による密封装置においては、加えて、耐プラズマ性に優れた密封装置を提供することができ、その耐久性やシール性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図２】本発明の第二実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図３】本発明の第三実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図４】本発明の第四実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図５】本発明の第五実施例に係る密封装置におけるシールプレートの正面図
【図６】（Ａ）は図５におけるＡ−Ａ線拡大断面図、（Ｂ）は図５におけるＢ−Ｂ線拡大断面図
【図７】本発明の第六実施例に係る密封装置におけるシールプレートの断面図
【図８】本発明の第七実施例に係る密封装置におけるシールプレートの正面図
【図９】同シールプレートの分解した状態を示す正面図
【図１０】（Ａ）は同シールプレートの断面図、（Ｂ）は同シールプレートの分解した状態を示す断面図
【図１１】シール型割り構造を示す説明図
【図１２】ゲートバルブの説明図
【図１３】従来例に係る密封装置の要部断面図
【図１４】従来例に係る密封装置の要部断面図
【図１５】従来例に係る密封装置の要部断面図
【符号の説明】
１ 密封装置
１１ ハウジング
１１ａ 平面
１２，１１２ 装着溝
１２ａ，１１２ａ 溝底部
１２ｂ，１１２ｂ 開口部
１２ｃ，１１２ｃ 側面
１２ｄ 係合凸部
１３，１４ ハウジング分割体
１５，１１７，１２０ 分割線
１６ 抜け止め構造
２１ シール
２１ａ 一端部
２１ｂ 他端部
２１ｃ 括れ部
２１ｄ 係合凹部
２１ｅ，２１ｇ 溝状部
２１ｆ，２１ｈ シール部
２１ｊ 内径面
２２ 空隙
３１ 金型
３２ パーティングライン
３３ キャビティ空間
１１１ シールプレート
１１１ａ 正面
１１３ ボディ
１１４ スリーブ
１１５ 組付凹部
１１６ 組立ボルト
１１８ 取付部
１１９ 段差部
１２１，１２２ ボディ分割体
Claims (4)
- ハウジング（１１）と前記ハウジング（１１）の装着溝（１２）に装着されるゴム状弾性体製のシール（２１）との組み合わせよりなり、前記装着溝（１２）に前記シール（２１）を非接着で抜け止めする抜け止め構造（１６）が設けられている密封装置（１）において、
前記ハウジング（１１）を前記装着溝（１２）にてその幅方向に分割して複数のハウジング分割体（１３）（１４）を有し、前記シール（２１）を一方の前記ハウジング分割体（１３）における装着溝（１２）に装着してから他方の前記ハウジング分割体（１４）を組み付けることにより前記シール（２１）の装着作業をなすことを特徴とする密封装置。 - 請求項１の密封装置において、
装着溝（１２）は、溝底部（１２ａ）の幅（ｗ１）よりも開口部（１２ｂ）の幅（ｗ２）の方が狭い形状を有し、
シール（２１）は、装着溝の内部に収容される部分（２１ｂ）の幅（ｗ４）および装着溝の外部に突出する部分（２１ａ）の幅（ｗ３）よりも装着溝の開口縁部に係合する部分（２１ｃ）の幅（ｗ５）の方が狭い形状を有し、かつ前記装着溝の内部に収容される部分（２１ｂ）の幅（ｗ４）および装着溝の外部に突出する部分（２１ａ）の幅（ｗ３）は前記開口部（１２ｂ）の幅（ｗ２）よりも大きく形成されていることを特徴とする密封装置。 - 請求項１または２の密封装置において、
ハウジング（１１）が、ゲートバルブまたはスリットバルブにおけるシールプレートであることを特徴とする密封装置。 - 請求項３の密封装置において、
シール（２１）の型割り構造が斜め割りであり、かつその割り方は内径側で溝底部側、外径側で開口部側とすることを特徴とする密封装置。
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