JP3090150U - Ｏリング - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バルブゲートが滑動中に、Ｏリングの上端面
がバルブ座と摩擦接触しても、Ｏリングが捩じられ変形
しないようにする。 【解決手段】 ゴム又は弾性合成ゴム系材質から構成し
たリング体と、開放状態でバルブゲートの中心部に貫挿
される中央孔１２を含むＯリングにおいて、前記リング
体１の底側面１１及び前記底側面と隣接した二側面１
２，１２は全て平面状に形成され、かつ前記底側面と前
記側面のなす角度は９０度又は９０度より大きく、前記
底側面１１の幅はバルブゲートに形成した台形溝３２の
底端面の幅よりやや小さく形成されている。このＯリン
グを前記台形溝３２に嵌め込むと、前記三側面１１，１
２，１２がそれぞれ台形溝の底端面と両側の平面に密接
する。これにより、前記Ｏリングはその円弧状の上端面
１３がバルブ座と摩擦接触しても、捩じられて変形しな
い。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

この考案は、半導体製造工程において、各種の処理を行う化学反応チャンバ ーにウエーハを出し入れするため、該チャンバーに形成したスリットを開閉する スリットバルブに使用するＯリングに係り、特にスリットバルブを開閉する際、 バルブゲートがバルブ座を滑動中に捩じられて変形しないようにしたＯリングに 関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば、アメリカ特許第５，２２６，６３２号公報に示されているように、 スリットバルブは、バルブゲートをバルブ座に密着させてスリットを閉鎖するよ う構成されているが、このバブルゲートに使用されているＯリングは図１から図 ３に示すように、ゴム又は弾性合成ゴム系材質で作製されたリング体１ａと中央 孔２ａを含んでいる。前記リング体１ａは断面円形に形成されており、バルブゲ ート３ａにはＯリング取付用の断面台形の溝４ａが形成されている。この台形溝 内にＯリングを嵌め込むと、該Ｏリングのリング体１ａの断面が円形であるので 、Ｏリングが台形溝内に密着した状態で組み込まれることはない。そのため、Ｏ リングの保持が不確実であり、前記バルブゲート３ａがバルブ座（図示略）に接 して該バルブ座上を滑動しているとき、前記リング体１ａはバルブ座との摩擦に より捩じられて変形し、良好な密封効果を得ることができないことがあった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

この考案は、Ｏリングをバルブゲートの台形溝に嵌め込んだときに、Ｏリン グのリング体が台形溝の内壁面と密接し、前記Ｏリングがバルブ座上を滑動中に 捩じられて変形することがなく、優れた密封効果が得られるようにしたＯリング を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】 前記目的を達成するために本考案によれば、ゴム又は弾性合成ゴム系材質か ら構成したリング体と、開放状態でバルブゲートの中心部に貫挿される中心孔を 含むＯリングにおいて、下記の構成を有するＯリングが提供される。

【０００５】 すなわち、本願の請求項１によれば、前記リング体の底側面及び前記底側面 と隣接した二側面を全て平面状に形成し、且つ前記底側面と前記側面の成す角度 は９０度又は９０度より大きく、前記底側面の幅はバルブゲートに形成した台形 溝の底端面の幅よりやや小さく設け、前記台形溝に嵌め込んだ際、前記三側面が それぞれ台形溝の内壁面を形成する底端面と両側の平面に密接するようにしたこ とを特徴とするＯリングが提供され、前記Ｏリングは滑動中にその円弧状の上端 面がバルブ座と摩擦接触するが、捩じられて変形しないので優れた密封効果が得 られる。

【０００６】 また、本願の請求項２によれば、前記円弧状の上端面の幅を前記台形溝の開 口端の幅と同じ又はより広い幅に形成し、リング体全体の断面をほぼアーチ型の 門状に形成したことを特徴とする請求項１に記載のＯリングが提供される。

【０００７】 また、本願の請求項３によれば、前記円弧状の上端面の幅を前記台形溝の開 口端の幅と同じ又はより小さい幅に形成し、リング体全体の断面をほぼ凸字形に 形成したことを特徴とする請求項１に記載のＯリングが提供される。

【０００８】

【考案の実施の形態】

（実施形態１） 図４から図６には、Ｏリングを改良した本考案の実施形態１が示されており 、該Ｏリングはリング体１と中央孔２を含む。

【０００９】 前記リング体１は、ゴム又は弾性合成ゴム系材質から構成され、その底側面 １１及び前記底側面１１に隣接した両側の二側面１２、１２は全て平面状を呈し 、且つ前記底側面と前記側面の成す角度は９０度又は９０度より大きく形成され ている。なお、前記底側面１１の幅はスリットバルブのバルブゲート３の台形溝 ３２の底端面の幅よりやや小さい。また、前記二側面１２，１２の間にある上端 面１３は、円弧状を呈し、前記円弧状の上端面１３の幅は前記台形溝３２の開口 端の幅と同じ又はより大きい幅を有し、リング体１全体の断面は、ほぼアーチ型 の門状に形成されている。

【００１０】 Ｏリングの前記中央孔２は従来のものと同様に開放状態に形成され、バルブ ゲート３の中心部３１に貫挿される。

【００１１】 図６に示すように、前記Ｏリングのリング体１をバルブゲート３の台形溝３ ２内に嵌め込むと、前記三側面１１, １２，１２がそれぞれ台形溝３２の内壁面 を形成する底側面及び二側面に密接し、且つリング体１の円弧状の上端面１３は 台形溝３２の外方に突出し、スリットバルブを閉じたときバルブ座（図示略）に 密接する。このように、Ｏリングのリング体１をバルブゲート３の台形溝３２内 に嵌め込んだときに、前記三側面１１, １２，１２がそれぞれ台形溝３２の底側 面及び二側面に密接するので、前記バルブゲートが滑動作中に、Ｏリングの前記 円弧状の上端面１３がバルブ座（図示略）と接触して摩擦を生じても、Ｏリング は捩じられて変形することはなく、優れた密封効果を得ることができる。

【００１２】 （実施形態２） 図７と図８は、Ｏリングを改良した本考案の実施形態２が示されており、該 Ｏリングはリング体１と中央孔２を含む。

【００１３】 前記リング体１は、ゴム又は弾性合成ゴム系材質から構成され、その底側面 １１及び前記底側面１１に隣接した両側の二側面１２，１２は全て平面状を呈し 、且つ前記底側面と前記側面の成す角度は９０度又は９０度より大きく形成され ている。なお、前記底側面１１の幅はスリットバルブのバルブゲート３の台形溝 ３２の底端面の幅よりやや小さい。また、前記二側面１２，１２の間にある上端 面１３は、円弧状を呈し、前記円弧状の上端面１３の幅は前記台形溝３２の開口 端の幅と同じ又はより小さい幅を有し、リング体１全体の断面は、ほぼ凸字形に 形成されている。

【００１４】 Ｏリングの前記中央孔２は従来のものと同様に開放状態に形成され、バルブ ゲート３の中心部３１に貫挿される。

【００１５】 図８に示すように、前記Ｏリングのリング体１をバルブゲート３の台形溝３ ２内に嵌め込むと、前記三側面１１, １２，１２がそれぞれ台形溝３２の内壁面 を形成する底側面及び二側面に密接し、且つリング体１の円弧状の上端面１３は 台形溝３２の外方に突出して、スリットバルブを閉じたときバルブ座（図示略） に密接する。このように、Ｏリングのリング体１をバルブゲート３の台形溝３２ 内に嵌め込んだときに、前記三側面１１, １２，１２がそれぞれ台形溝３２の底 側面及び二側面に密接するので、前記バルブゲートが滑動中に、Ｏリングの前記 円弧状の上端面１３がバルブ座（図示略）と接触して摩擦を生じても、Ｏリング は捩じられて変形することはなく、優れた密封効果を得ることができる。

【００１６】 この考案は、主要な精神及び特徴を逸脱しない範囲で種々の異なった実施形 態があり、前述した好適な実施形態は一例を列挙したにすぎず、この考案の制限 と見られることは出来ない筈である。この考案の要旨は実用新案請求範囲に定義 され、明細書の内容によって限定的に定義されることではない。さらに、この考 案の実用新案請求範囲と同様な改変又は改修は、全てこの考案の実用新案請求範 囲内に属する。

【００１７】

【考案の効果】

この考案は上記のように構成されているので、Ｏリングのリング体１をバル ブゲート３の台形溝３２内に嵌め込んだときに、前記リング体の三側面１１, １ ２，１２がそれぞれ台形溝３２の内壁面を形成する底側面及び二側面に密接し、 バルブゲートが滑動中に、Ｏリングの円弧状の上端面１３がバルブ座と接触して 摩擦を生じても、Ｏリングは捩じられて変形することはなく、優れた密封効果を 得ることができ、スリットバルブ以外のバルブに使用することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のＯリングの斜視図である。

【図２】従来のＯリングの断面図である。

【図３】従来のＯリングの使用状態を示す図である。

【図４】この考案の実施形態１を示す主要部分の分解斜
視図である。

【図５】図４に示すＯリングの断面図である。

【図６】実施形態１のＯリングをバルブゲートに嵌め込
んだ状態の断面図である。

【図７】この考案の実施形態２によるＯリングの断面図
である。

【図８】図７に示すＯリングをバルブゲートに嵌め込ん
だ状態の断面図である。

【符号の説明】

１ リング体 １１ 底側面 １２ 側面 １３ 上端面 ２ 中央孔 ３ バルブゲ
ート ３１ 中心部 ３２ 台形溝

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ゴム又は弾性合成ゴム系材質から構成した
   リング体と、開放状態でバルブゲートの中心部に貫挿さ
   れる中心孔を含むＯリングにおいて、前記リング体の底
   側面及び前記底側面と隣接した二側面を全て平面状に形
   成し、且つ前記底側面と前記側面の成す角度は９０度又
   は９０度より大きく、前記底側面の幅はバルブゲートに
   形成した台形溝の底端面の幅より小さく設け、前記台形
   溝に嵌め込んだ際、前記三側面がそれぞれ台形溝の内壁
   面を形成する底端面と両側の平面に密接するようにした
   ことを特徴とするＯリング。
2. 【請求項２】前記円弧状の上端面の幅を前記台形溝の開
   口端の幅と同じ又はより広く形成し、リング体全体の断
   面をほぼアーチ型の門状に形成したことを特徴とする請
   求項１に記載のＯリング。
3. 【請求項３】前記円弧状の上端面の幅を前記台形溝の開
   口端の幅と同じ又はより小さく形成し、リング体全体の
   断面をほぼ凸字形に形成したことを特徴とする請求項１
   に記載のＯリング。