JP2004238663A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】蒸着材料の飛散角度を有効に制限しつつ、膜厚分布の最適化等も容易に図ることを可能にする。
【解決手段】ライン状に延びる蒸着源１１と、そのライン長手方向と直交する方向に被蒸着物である基板２を通過させる搬送機構１２とを具備する蒸着装置において、蒸着源１１と基板２の通過位置との間に配された平板状部材からなり、蒸着源１１からの蒸着材料を通過させる開口１５ａを有した制限板１５と、蒸着源１１から制限板１５までの間の側方部分を塞ぐように制限板１５とは別体で立設された隔壁１６とを設ける。そして、制限板１５が有する開口１５ａによって蒸着材料の飛散角度を制限する。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、減圧下で蒸着材料を加熱蒸発させ、被蒸着物である基板上に凝縮させて薄膜を成膜する蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、有機電界発光素子（有機エレクトロルミネッセンス素子；以下「有機ＥＬ素子」という）の製造工程では、有機層を形成する有機材料の耐水性が低くウエットプロセスを利用できないことから、真空蒸着を行う蒸着装置を用いて基板上に有機層（薄膜）を成膜することが一般的である。このように、蒸着装置は、薄膜を成膜するための薄膜成膜工程で広く用いられている。
【０００３】
蒸着装置としては、例えば図５に示すように、ライン状に延びる蒸着源２１を有したものが知られている。かかる蒸着装置では、減圧（例えば真空）下で蒸着源２１を加熱して、その蒸着源２１から蒸着材料を蒸発させるとともに、その蒸着源２１と対向する位置にて、蒸着源２１のライン長手方向と直交する方向に、被蒸着物である基板２２を一定速度で通過させることにより、その基板２２の表面上に蒸着材料による薄膜を成膜するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、蒸着装置では、通常、蒸着源２１から蒸発飛散する蒸着材料の飛散角度を制限するために、基板２２の送り方向における蒸着源２１の前後に制限板２３ａ，２３ｂが配設されている。これらの制限板２３ａ，２３ｂは、従来、薄板状の板金部材により、側断面が略Ｌ字状となるように形成されている（図５（ｂ）参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−３４８６５９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の蒸着装置では、上述したように、蒸着源２１の前後に制限板２３ａ，２３ｂが配設されており、これらがいずれも略Ｌ字状に形成されている。これは、基板２２との平行部分により蒸着材料の飛散角度を制限するのに加えて、蒸着材料の側方への飛散をも防ぐべく、基板２２に対する垂直部分、すなわち蒸着源２１からの立ち上がり部分が必要となるからである。しかしながら、このような略Ｌ字状の制限板２３ａ，２３ｂは、以下に述べるような難点を有している。
【０００７】
従来の制限板２３ａ，２３ｂは、蒸着源２１の前後にそれぞれ独立してレイアウトされているため、それぞれが蒸着源２１に対して平行で、しかも双方が互いに平行にセットされていないと、蒸着源２１の長手方向における蒸着材料の膜厚の面内分布が悪化するおそれがある。そのため、制限板２３ａ，２３ｂをセットする際には、平行出しのための位置調整が必須となるが、その位置調整は必ずしも容易ではない。
【０００８】
また、制限板２３ａ，２３ｂには、加熱された蒸着材料が付着するため、昇温による熱膨張が発生するが、蒸着源２１の前後に独立してレイアウトされていると、それぞれが熱膨張によって異なる変形をする。これによっても、膜厚の面内分布は悪化するおそれがある。さらに、位置調整もその変形を考慮して行わなければならず、更なる非容易化を招いてしまう。
【０００９】
しかも、制限板２３ａ，２３ｂには蒸着材料の付着するので、そのクリーニングのために頻繁に取り外す必要が生じる。つまり、制限板２３ａ，２３ｂをセットする際の位置調整作業も頻繁に行う必要がある。したがって、位置調整が非容易なものであると、その位置調整作業に多くの時間を費やしてしまい、蒸着装置の稼働率低下に繋がってしまうことになる。
【００１０】
そこで、本発明は、蒸着材料の飛散角度を有効に制限しつつ、膜厚分布の最適化等も容易に図ることが可能な蒸着装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために案出された蒸着装置で、ライン状に延びる蒸着源と、前記蒸着源と対向する位置にて当該蒸着源のライン長手方向と直交する方向に被蒸着物である基板を通過させる搬送機構とを具備するものにおいて、前記蒸着源と前記基板の通過位置との間に配された平板状部材からなり、前記蒸着源からの蒸着材料を通過させる開口を有した制限板と、前記蒸着源から前記制限板までの間の側方部分を塞ぐように前記制限板とは別体で立設された隔壁とを備えることを特徴とするものである。
【００１２】
上記構成の蒸着装置によれば、制限板と隔壁とが別体に形成されているので、蒸着源からの蒸着材料の側方への飛散を防ぎつつ、その蒸着材料の飛散角度を制限する場合であっても、制限板を平板状部材により形成できる。また、制限板が平板状部材でよいため、その制限板が有する開口によって蒸着材料の飛散角度を制限することができる。さらには、開口によって蒸着材料の飛散角度を制限することになるため、開口を通過して基板に到達する蒸着材料の量、すなわち蒸着材料の膜厚の面内分布は、主にその開口の形成精度に依存することになり、制限板のセット位置には依存しない。したがって、制限板の位置調整は容易なものとなり、複雑な位置調整を要さなくても蒸着材料の飛散角度を有効に制限し得るようになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明に係る蒸着装置について説明する。ここでは、有機ＥＬ素子の製造工程で用いられる蒸着装置を例に挙げて説明する。図１は本発明に係る蒸着装置の概略構成例を示す模式図、図２はその要部の一例を示す模式図、図３はその蒸着装置によって製造される有機ＥＬ素子の概略構成例を示す模式図、図４はその有機ＥＬ素子を製造する際に用いられる治具の概略構成例を示す模式図である。
【００１４】
はじめに、蒸着装置の説明に先立って、有機ＥＬ素子の概略構成について簡単に説明する。図３に示すように、本実施形態において製造される有機ＥＬ素子１は、有機ＥＬディスプレイを構成するためのガラス基板２上に形成されたもので、それぞれ異なる材料からなる複数の有機層１ａ〜１ｅが順次積層されてなるものである。なお、ここでは、積層される層数が五つである場合を例に挙げているが、これに限定されないことは勿論である。
【００１５】
ガラス基板２上には、図示はしていないが、例えばＲ，Ｇ，Ｂの各色成分に対応した複数の有機ＥＬ素子１が、所定パターンに従ってマトリクス状に縦横に配列されている。各有機ＥＬ素子１の間の相違は、有機層１ａ〜１ｅを構成する有機材料（蛍光物質）にある。これにより、これらガラス基板２および各有機ＥＬ素子１を備えて構成された有機ＥＬディスプレイでは、各有機ＥＬ素子に所定波長の光を選択的に発生させて、カラー画像の表示を行うことが可能になるのである。
【００１６】
このようなカラー画像を表示するための各有機ＥＬ素子１の配列は、例えばＲ，Ｇ，Ｂの各色成分に対応したパターニング成膜によって各有機ＥＬ素子１を形成することで実現可能となる。ここで、パターニング成膜のために用いられる搬送治具の概略構成について説明する。パターニング成膜は、図４に示すように、平板状に形成され、鉄（Ｆｅ）やニッケル（Ｎｉ）等の強磁性体からなるメタルマスク３を用いて行われる。メタルマスク３には、所定の成膜パターンに対応した複数の開孔３ａが穿設されている。そして、被成膜物であるガラス基板２の一面側を覆うようにそのガラス基板２と密着した状態で、ガラス基板２の他面側に配された電磁石４が発生させる磁力によって固定されるようになっている。このように構成される一体型の搬送治具によって、ガラス基板２上には、所定パターンの成膜を行うことができ、また複数種類のメタルマスク３を用意すれば異なるパターンの多層成膜を行うこともでき、結果として複数の有機ＥＬ素子１を縦横に配列することができるのである。
【００１７】
次に、以上のような有機ＥＬ素子１を製造するための蒸着装置、特にここではガラス基板２上に有機層１ａ〜１ｅを形成するための蒸着装置について説明する。図１に示すように、有機層１ａ〜１ｅを形成する蒸着装置は、真空チャンバ（ただし不図示）内に、複数の蒸着源１１と、基板搬送機構１２とを具備してなるものである。
【００１８】
複数の蒸着源１１は、ガラス基板２上に対して有機材料を飛散させるものである。そのために、各蒸着源１１は、上面に開口を有し内部に有機材料を収めた耐熱性の容器である坩堝と、その坩堝の下方に設置された熱源（例えばヒータ）とを備えており、熱源が坩堝を加熱するとその中の有機材料が蒸発して開口を通って飛散するように構成されている。ただし、各蒸着源１１は、それぞれが、いわゆるライン型のものである。すなわち、有機材料の通過する開口が、ガラス基板２の移動方向と略直交する方向に、そのガラス基板２の幅を充分にカバーするだけの長さで、ライン状に一列に並んでいる。また、このようにライン状に延びる各蒸着源１１は、それぞれが並列配置されている。なお、並設された各蒸着源１１の坩堝内には、積層構造の有機層１ａ〜１ｅに対応した、互いに異なる種類の有機材料を収めておくことが考えられる。なお、ここでは、有機層１ａ〜１ｅの数に対応して五つの蒸着源１１を備えている場合を例に挙げているが、その数はガラス基板２上に積層する層数に応じて適宜変更しても構わない。また、複数材料を混ぜて行う共蒸着に対応すべく、二つのの蒸着源１１を使用して一層を形成することも考えられる。
【００１９】
一方、基板搬送機構１２は、被蒸着物であるガラス基板２を移動させるものである。そのために、基板搬送機構１２は、例えば、ベルト方式の搬送コンベアと、その駆動源となるサーボモータと、サーボモータのよる駆動を搬送コンベアへ伝える伝達ギアとを備えている。そして、ガラス基板２を含む搬送治具を、各蒸着源１１と対向する位置にて、これら各蒸着源１１のライン長手方向と直交する方向に向けて、移動させるように構成されている。
【００２０】
このような構成の蒸着装置を用いて、ガラス基板２上に有機層１ａ〜１ｅを形成する際には、ガラス基板２を含む搬送治具が、例えばハンドリングロボットによって真空チャンバ内に搬送される。そして、各蒸着源１１の坩堝が熱源により加熱温度制御され、その中の有機材料が蒸発し開口を通って飛散している状態で、基板搬送機構１２が搬送治具を一定速度で移動させる。これにより、その搬送治具に含まれるガラス基板２は、各蒸着源１１と対向する位置を順に通過することになる。
【００２１】
したがって、ガラス基板２の被成膜箇所には、各蒸着源１１による異なる種類の有機材料が順に成膜され、各有機層１ａ〜１ｅが積層された状態に形成される。つまり、各有機層１ａ〜１ｅの形成は、一体型の搬送治具が各蒸着源１１上を通過することによって、連続して行われる。
【００２２】
このとき、各蒸着源１１は、予めの設定に従いつつ、それぞれ個別に熱源の温度コントローラ等によって蒸着レートがコントロールされる。蒸着レートの設定は、各有機層１ａ〜１ｅの膜厚比とこれらに対応する各蒸着源１１の蒸着レートとの間の比が等しくなり、かつ、設定後の蒸着レートの値が最大になるようにする。このようにするためには、有機材料の耐熱特性上最も厳しいものに蒸着レートを合わせればよい。なお、必要となる各有機層１ａ〜１ｅの成膜にどの程度の時間を要するかは、各蒸着源１１の蒸着レートと基板搬送機構１２による搬送治具の移動速度とから特定することができる。このことから、搬送治具の移動速度のコントロールによって、各有機層１ａ〜１ｅの膜厚を制御することも考えられる。
【００２３】
ところで、ガラス基板２上に対する有機材料の成膜にあたっては、各蒸着源１１における開口から有機材料が広がりを持って飛散する。そのため、蒸着の面内分布を均一にするには、各蒸着源１１の蒸着レートのコントロール（熱源の温度制御）と同等に、有機材料の飛散角度の制御が重要な要素となる。
【００２４】
このことから、本実施形態で説明する蒸着装置では、上述した複数の蒸着源１１および基板搬送機構１２に加えて、ベース１３と、柱１４と、制限板１５と、隔壁１６とを備えている。
【００２５】
ベース１３は、各蒸着源１１が搭載される基台となるものである。すなわち、ベース１３上には、複数の蒸着源１１がそれぞれねじ等の締結具で固定されている。ただし、各蒸着源１１は、位置決めピン等で位置再現可能な着脱構造となっているものとする。また、ベース１３には、隣り合う蒸着源１１の間の熱干渉を防止するための立ち上がり部１３ａが設けられている。立ち上がり部１３ａは、ベース１３と一体で形成しても、あるいはねじ止め等による別ピースとして形成してもよい。また、立ち上がり部１３ａの立ち上がり高さは、熱干渉を防止し得る高さ、すなわち蒸着源１１と同等の高さであればよい。なお、ベース１３（立ち上がり部１３ａを含む）には、冷却用の水冷管（ただし不図示）が内蔵されているものとする。
【００２６】
柱１４は、ベース１３の側端縁近傍にて、そのベース１３の立ち上がり部１３ａから上方に向けて立ち上がる棒状部材からなるもので、後述する制限板１５を支持するためのものである。この柱１４は、ベース１３の立ち上がり部１３ａから溶接等で一体延長されたものとすることが考えられるが、ねじ止め等により固設されるものであっても構わない。なお、柱１４も、ベース１３に内蔵された水冷管による冷却作用により、十分に冷却される構造となっているものとする。
【００２７】
制限板１５は、柱１４に支持された状態で蒸着源１１とガラス基板２の通過位置との間に配される一枚の平板状部材からなるもので、ガラス基板２に対する有機材料の飛散角度を制限するためのものである。そのために、制限板１５は、蒸着源１１からの有機材料を通過させる開口１５ａを有している。
【００２８】
開口１５ａは、蒸着源１１が複数並設されていることから、各蒸着源１１に対応して一枚の制限板１５上に複数（具体的には五つ）が設けられている。また、各開口１５ａは、ライン状の蒸着源１１に対応して、そのライン長手方向に沿った長辺を有する略矩形状に形成されている。ただし、その対向する二つの長辺は、互いの間の平行度が所望値を十分満たすように高精度で加工されているものとする。さらに、二つの長辺の間隔、すなわち各開口１５ａの短手方向の大きさは、対応する蒸着源１１による有機材料の飛散角度仕様に合致するように形成されている。
【００２９】
また、開口１５ａは、図２（ａ）に示すように、その断面形状が、蒸着源１１側が広く、ガラス基板２側が狭い、逆テーパ状に形成されている。逆テーパの角度は、そのテーパ面上の各部と蒸着源１１との距離が一様となるのが望ましいが、これに限定されるものではない。
【００３０】
このような開口１５ａを有する制限板１５は、図１（ｂ）に示すように、位置決めピン等により着脱時の位置再現を可能にしてねじ等で柱１４に固定されており、これにより蒸着源１１とガラス基板２の通過位置との間に配されるようになっている。しかも、制限板１５は、ガラス基板２の通過位置に近接して配されている。ここで、「ガラス基板２の通過位置に近接して」とは、ガラス基板２と干渉しない程度に、そのガラス基板２と極めて近い位置をいう。
【００３１】
なお、制限板１５は、一定厚みを持つアルミニウム等の熱伝導良好な材料により形成されており、十分に冷却された柱１４に熱を放出することが可能であるものとする。また、例えばサンドブラストのような熱輻射促進を図る表面加工を施したものであってもよい。ただし、制限板１５のガラス基板２側は、輻射熱によってもたらされるメタルマスクの熱膨張による位置ずれを防ぐ為、熱輻射を防止する鏡面加工等にすることが望ましい。
【００３２】
隔壁１６は、蒸着源１１から制限板１５までの間の側方部分を塞ぐように制限板１５とは別体で立設されたもので、各蒸着源１１の間で飛散した有機材料の混合を防ぐためのものである。
【００３３】
この隔壁１６は、図２（ｂ）に示すように、ベース１３の立ち上がり部１３ａおよび柱１４に設けられた溝１４ａに嵌合するように形成されており、ねじ等の締結具を要することなく立ち上がり部１３ａおよび柱１４に支持されるようになっている。しかも、溝１４ａとの嵌合によりガイドされているのみであることから、その着脱も自在になっている。
【００３４】
以上のような構成の本実施形態における蒸着装置では、蒸着源１１とガラス基板２の通過位置との間に制限板１５が配されていることから、そのガラス基板２上に対する有機材料の成膜にあたって、各蒸着源１１からの有機材料の飛散角度がその制限板１５によって制限される。ただし、その制限板１５は、隔壁１６と別体のため、平板状部材により形成することができる。しかも、平板状部材により形成することで、各蒸着源１１に対応して設けられた開口１５ａが、実質的に有機材料の飛散角度を制限することになる。また、制限板１５が平板状部材により形成されていても、それと別体の隔壁１６を備えるため、蒸着源１１からの有機材料の側方への飛散を防ぎ得るようになる。
【００３５】
そのような場合に、ガラス基板２に到達する有機材料の量、すなわち各有機層１ａ〜１ｅの膜厚の面内分布は、その開口１５ａの大きさおよび形状と、その位置（蒸着源１１との相対位置）に依存することになる。これに対して、開口１５ａの大きさおよび形状は、ライン状の蒸着源１１に対応する略矩形状に形成されており、その二つの長辺間の平行度が高精度で加工されている。また、開口１５ａと蒸着源１１との相対位置は、その関係が位置決めピン等により精度よく保たれる。
【００３６】
したがって、本実施形態における蒸着装置では、各有機層１ａ〜１ｅの膜厚の面内分布が、制限板１５の形成精度、特に開口１５ａの形成精度に依存することになり、従来のようなセット位置に依存することがない。つまり、従来のように、煩雑な平行出しのための位置調整作業を行わなくても、各有機層１ａ〜１ｅの膜厚の面内分布が悪化してしまうのを回避し得るようになる。
【００３７】
また、制限板１５には、加熱された有機材料が付着するため昇温による熱膨張が発生するが、熱伝導良好な材料からなり柱１４に熱を放出することが可能なため、有機材料付着による昇温を極力抑えることができる。これは、有機層１ａ〜１ｅの形成過程での制限板１５の熱変形を防止する効果が得られるので、有機層１ａ〜１ｅの形成精度を向上させる上でも非常に有効である。
【００３８】
さらに、制限板１５は、その断面形状が逆テーパ状に形成されているため、蒸着源１１から飛散してくる有機材料の付着を極力抑えることができる。これは、断面形状が逆テーパ状であれば、そのテーパ面上の各部と蒸着源１１との距離が一様に近くなるので、断面がテーパ状ではなく略鉛直の場合のように、ある特定の箇所のみに有機材料が付着するといったことがなく、均一に付着するからである。すなわち、ある特定の箇所のみに偏って有機材料の付着してしまうことがないからである。したがって、有機材料の付着を極力抑えることで、開口１５ａの変形を防止する効果も得られ、結果として有機層１ａ〜１ｅの形成精度を向上させる上で非常に有効となる。
【００３９】
また、制限板１５は、ガラス基板２の通過位置に近接して配されている。そのため、蒸着源１１からの有機材料が制限板１５の開口１５ａと通過して飛散する場合であっても、その開口１５ａの面積とガラス基板２上における有機材料の蒸着面積とが極めて近いものとなり、飛散角度制限の精度を向上させる上で非常に好適なものとなる。その上、ガラス基板２の通過位置に近接していることから、蒸着源１１からは相対的に遠い位置に配されることになり、制限板１５の昇温を抑えて熱変形を防止する上でも非常に好適なものとなる。
【００４０】
これらのことから、本実施形態における蒸着装置のように、蒸着源１１とガラス基板２の通過位置との間に配された制限板１５を介して有機材料の飛散角度を制限すれば、ガラス基板２上に形成される各有機層１ａ〜１ｅについて、その膜厚の面内分布の均一化が図れるとともに、設計どおりの膜厚実現が可能になると言える。つまり、ライン状に延びる蒸着源１１に対して、精度よく（機械加工精度）飛散角度を制限する制限板１５が装着可能になるため、蒸着源１１の幅方向の成膜ばらつきを示す面内分布が従来よりも良好となる。
【００４１】
しかも、制限板１５には有機材料の付着するので、そのクリーニングのために頻繁に取り外す必要が生じるが、その場合であっても開口１５ａが高精度に形成されており、また開口１５ａと蒸着源１１との相対位置が位置決めピン等により精度よく保たれるため、制限板１５の位置調整に多くの時間を費やしてしまうことがない。つまり、制限板１５がワンタッチで調整なしで装着可能であり、取り外し後の位置再現性も高く維持できるため、段取り替えも非常に良好に行うことができ、制限板１５の取り外しや装着作業が蒸着装置の稼働率低下に繋がってしまうのを抑えることができる。
【００４２】
また、本実施形態で説明したように、蒸着源１１が複数並設されている場合には、一枚の平板状部材上に各蒸着源１１に対応するそれぞれの開口１５ａを設けた、いわゆるテンプレート方式の制限板１５を構成することが可能なため、調整なしで各有機層１ａ〜１ｅの膜厚の最適化が図れる。つまり、それぞれの開口１５ａを各蒸着源１１からの有機材料の飛散角度に応じて精度よく形成すれば、各蒸着源１１毎の個別の位置調整等を要することなく、単にテンプレート方式の制限板１５を装着するだけで、各有機層１ａ〜１ｅの膜厚が最適化、すなわちそれぞれの有機材料の飛散角度の制限を適切に行い得るようになる。
【００４３】
なお、本実施形態では、複数のライン状の蒸着源１１に対して、一枚のテンプレート方式の制限板１５を使用する場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、複数の蒸着源１１が並設された場合であっても、平板状部材上に開口１５ａを有する制限板１５であれば、蒸着源１１の数だけ用意し、各蒸着源１１に対して一枚の制限板１５を使用することも考えられる。また、一つの蒸着源１１のみが設けられている場合も、これと同様である。
【００４４】
さらに、本実施形態では、有機ＥＬ素子の製造工程で用いられる蒸着装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の成膜プロセスにて用いられる蒸着装置であっても全く同様に適用することが可能である。
【００４５】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の蒸着装置によれば、制限板と隔壁とを別体とし、制限板を蒸着材料を通過させる開口を有した平板状部材によって形成しているので、その制限板が有する開口によって蒸着材料の飛散角度を有効に制限することができる。しかも、開口によって蒸着材料の飛散角度を制限するため、蒸着材料の膜厚の面内分布は主にその開口の形成精度に依存することになり、制限板の位置調整が容易なものとなる。すなわち、複雑な位置調整を要さなくても、蒸着材料の飛散角度を有効に制限して、膜厚分布の最適化等を容易に図ることが可能となり、例えばクリーニングのための制御板の装着取り外し作業が蒸着装置の稼働率低下を招いてしまうのを回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る蒸着装置の概略構成例を示す模式図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。
【図２】図１の蒸着装置の要部の一例を示す模式図であり、（ａ）は図１中のＡ部の拡大図、（ｂ）は図１中のＢ部の拡大図である。
【図３】図１の蒸着装置によって製造される有機ＥＬ素子の概略構成例を示す模式図である。
【図４】図３の有機ＥＬ素子を製造する際に用いられる治具の概略構成例を示す模式図である。
【図５】従来の蒸着装置の概略構成例を示す模式図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側断面図である。
【符号の説明】
１…有機ＥＬ素子、２…ガラス基板、１１…蒸着源、１２…基板搬送機構、１５…制限板、１５ａ…開口、１６…隔壁

Claims (4)

1. ライン状に延びる蒸着源と、前記蒸着源と対向する位置にて当該蒸着源のライン長手方向と直交する方向に被蒸着物である基板を通過させる搬送機構とを具備する蒸着装置において、
   前記蒸着源と前記基板の通過位置との間に配された平板状部材からなり、前記蒸着源からの蒸着材料を通過させる開口を有した制限板と、
   前記蒸着源から前記制限板までの間の側方部分を塞ぐように前記制限板とは別体で立設された隔壁と
   を備えることを特徴とする蒸着装置。
2. 前記蒸着源が複数並設されているとともに、
   前記制限板は、各蒸着源に対応する複数の開口を有した一枚の平板状部材からなる
   ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
3. 前記開口は、その断面形状が、前記蒸着源側が広く前記基板側が狭い逆テーパ状に形成されている
   ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
4. 前記制限板は、前記基板の通過位置に近接して配されていることを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。

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