JP2004223650A - 吸着保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸着手段14が、ラッパ状に形成されシート11の裏面と接触して吸着する吸着パッド14aと、吸着パッド14aを固定するための固定部14bと、固定部14bに設けられた吸引孔14cとからなり、シート11を固定部14bに設けられた吸引孔14c、吸着パッド14aを介して吸着するとともに、吸着パッド14aの開口部側が基台12表面よりも突出していることを特徴とするものである。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、シートを基台上に吸着して保持するための吸着保持装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、一般にこの種の吸着保持装置は、図3に示されるような構成を有していた。
【0003】
すなわち、図3(a)は従来の吸着保持装置の概略構成を示す斜視図であり、図において、1は各種チップ部品や半導体(図示せず)を実装するためのシートであり、このシート1の裏面を、基台2内に設けられた複数の吸着手段3によって吸着することにより、基台2上に保持するように構成されていた。
【0004】
そして、このシート1が基台2上に確実に保持された後、前記各種チップ部品や半導体が実装されるように構成されていた。
【0005】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−105368号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、図3(b)のように、シート1が凸状に反っていたり、あるいは図3(c)のように凹状に反っていたりすると、その反った部分を吸着手段3によって確実に吸着することができないため、シート1全体を確実に基台2上に保持することが困難であった。
【0008】
また、吸着手段3の吸引力を高めて、シート1を強引に吸着保持しようとすると、シート1を傷付けてしまう可能性があった。
【0009】
本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、シートに多少の反りがあっても、吸引力を高めることなく、非常に簡単な構成により確実にシートを吸着して保持することができる吸着保持装置を実現することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の吸着保持装置は、シートを基台上に吸着して保持するための吸着保持装置であって、基台内に複数個配設されるとともに前記シートの裏面を吸着するための吸着手段を有し、前記吸着手段は、ラッパ状に形成され、前記シートの裏面と接触して吸着する吸着パッドと、前記吸着パッドを固定するための固定部と、前記固定部に設けられた吸引孔とからなり、前記シートを前記固定部に設けられた前記吸引孔、前記吸着パッドを介して吸着するとともに、前記吸着パッドの開口部側が前記基台表面よりも突出していることを特徴とするものである。
【0011】
この構成により、吸着するためのシートが凸状に反っていたり凹状に反っていても吸着パッドの開口部側が基台表面よりも突出しているため、その突出部分がシートの反った部分に直接接触して、反ったシートも容易に強制的に平面状にすることができるものである。
【0012】
また、本発明の吸着保持手段は、シートがセラミックシート又は樹脂シートからなることを特徴とするものであり、この構成により、シートそのものの特徴である反り易い材質であるにも関わらず強制的に平面を出すことができるものである。
【0013】
また、本発明の吸着保持手段は、吸着手段が基台内に複数個、所定の間隔で規則正しく配設されていることを特徴とするものであり、この構成により、小さい吸着力でもシートの大きさに関係なくいつでも一定の力で平面にすることができるものである。
【0014】
また、本発明の吸着保持手段は、吸着パッドがシリコンからなることを特徴とするものであり、この構成により、シートの反りが異形状態や傾斜があっても安定して強制的にシートを平面化することができるものである。
【0015】
また、本発明の吸着保持手段は、吸着パッドの開口部側が、基台表面よりも0.1〜0.2mm突出していることを特徴とするものであり、この構成により、シートの反りが0.2mm以上あっても右側、左側から吸着されていくために中央部が最終的に強制吸着効果が作用してシートを安定かつ容易に平面吸着することができるものである。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の吸着保持装置の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図1(a)は、本発明の一実施の形態における吸着保持装置の概略構成を示す斜視図、(b)はその断面図であり、図2は同実施の形態の吸着手段による具体的な吸着状態を説明するための断面図である。
【0017】
図において、11は各種チップ部品や半導体を実装するためのシートであり、セラミックシートや樹脂シート等の凹凸状に反りやすい性質のシートが用いられている。12はシート11を吸着して保持するための基台であり、複数個の吸着手段14が基台12内に規則正しく配設された吸着手段保持部13に圧入固定されて埋設されている。
【0018】
吸着手段14はシート11の裏面と直接接触して吸着するためのラッパ状の吸着パッド14aと、吸着パッド14aの根元を固定保持するための固定部14bとから構成されている。なお固定部14bの中心には貫通する吸引口14cを有している。また吸着手段保持部13の吸着側にはシート11を吸着した際に吸着パッド14aが格納されるように設けられた逃げ部13aが設けられている。
【0019】
ここで吸着パッド14aはその開口部側が基台12の表面よりも突出するように形成されているため図2(a)に示すようにシート11が凸状に沿っていたとしてもこの突出部分で反りを吸収することが出来るため、図2(b)に示すように確実にシート11を吸着固定することができる。
【0020】
なお、吸着するための吸着手段14を基台12内に複数個、所定の間隔で規則正しく配設することにより、更にシート11を確実に基台12上に吸着固定することが出来る。
【0021】
また、吸着パッド14aをシリコンで形成することにより、シート11の形状に関係無く、容易に平面吸着することができる。
【0022】
また、吸着パッド14aの開口部側を、基台12表面よりも0.1〜0.2mm突出するように形成することにより、シート11が凸状に反っている場合(反りによる段差が0.2mm以上)であっても、まず反りの小さいシート11の両側から吸着をはじめ最終的に反りの一番大きい中央部も吸着して、シート11を基台12上に吸着固定することができる。
【0023】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、非常に簡単な構成により、シートに多少の反りがあっても、吸引力を高めることなく、確実にシートを吸着して保持することができる吸着保持装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)本発明の一実施の形態における吸着保持装置の概略構成を示す斜視図
(b)同実施の形態の断面図
【図2】同実施の形態の吸着手段によるシートの吸着状態を説明するための断面図
【図3】(a)従来の吸着保持装置の概略構成を示す斜視図
(b)同従来例における凸状シートの吸着状態を説明するための断面図
(c)同従来例における凹状シートの吸着状態を説明するための断面図
【符号の説明】
1 シート
2 基台
3 吸着手段
11 シート
12 基台
13 吸着手段保持部
13a 逃げ部
14 吸着手段
14a 吸着パッド
14b 固定部
14c 吸引口
Claims (5)
- シートを基台上に吸着して保持するための吸着保持装置であって、基台内に複数個配設されるとともに前記シートの裏面を吸着するための吸着手段を有し、前記吸着手段は、ラッパ状に形成され、前記シートの裏面と接触して吸着する吸着パッドと、前記吸着パッドを固定するための固定部と、前記固定部に設けられた吸引孔とからなり、前記シートを前記固定部に設けられた前記吸引孔、前記吸着パッドを介して吸着するとともに、前記吸着パッドの開口部側が前記基台表面よりも突出していることを特徴とする吸着保持装置。
- シートがセラミックシート又は樹脂シートからなることを特徴とする請求項1記載の吸着保持装置。
- 吸着手段が基台内に複数個、所定の間隔で規則正しく配設されていることを特徴とする請求項1記載の吸着保持装置。
- 吸着パッドがシリコンからなることを特徴とする請求項1記載の吸着保持装置。
- 吸着パッドの開口部側が、基台表面よりも0.1〜0.2mm突出していることを特徴とする請求項1記載の吸着保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003014558A JP2004223650A (ja) | 2003-01-23 | 2003-01-23 | 吸着保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003014558A JP2004223650A (ja) | 2003-01-23 | 2003-01-23 | 吸着保持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004223650A true JP2004223650A (ja) | 2004-08-12 |
Family
ID=32902572
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003014558A Pending JP2004223650A (ja) | 2003-01-23 | 2003-01-23 | 吸着保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004223650A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104057439A (zh) * | 2014-06-26 | 2014-09-24 | 上海恒动汽车电池有限公司 | 吸盘取片装置 |
JP2017200712A (ja) * | 2016-05-02 | 2017-11-09 | Towa株式会社 | 吸着ユニット、板状部材搬送ユニット、樹脂封止装置、板状部材搬送方法および樹脂封止方法 |
-
2003
- 2003-01-23 JP JP2003014558A patent/JP2004223650A/ja active Pending
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JP2017200712A (ja) * | 2016-05-02 | 2017-11-09 | Towa株式会社 | 吸着ユニット、板状部材搬送ユニット、樹脂封止装置、板状部材搬送方法および樹脂封止方法 |
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