JP2004221306A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板1上にフィールド酸化膜2を形成し、このフィールド酸化膜2上に、ノンドープのシリコン膜3をLPCVD法により形成する。シリコン膜3は、アモルファスシリコン膜又はポリシリコン膜である。このシリコン膜3にBF2+をイオン注入する。そして、このイオン注入前又はイオン注入後に、650℃〜750℃という低温のN2アニールを行う。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特にシリコン膜からなる温度係数の小さい抵抗素子を有する半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、各種のLSI回路、例えば差動アンプや基準電圧発生回路等を構成するための抵抗素子として、半導体基板上に形成されたポリシリコン抵抗素子が用いられている。高精度のLSI回路を実現するためには、ポリシコン抵抗素子の温度係数を小さくすることが要求される。
【0003】
そこで、以下の特許文献1、2に記載されているように、係るポリシリコン抵抗素子を作製するに際して、ノンドープのポリシリコンにイオン注入するときの不純物のドーズ量を調整して、その温度係数を小さくする技術が知られている。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−196541号公報
【0005】
【特許文献2】
特開平4−284666号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
不純物のドーズ量を調整してその温度係数を小さくする場合、一般にはそのドーズ量をかなり増加させるため、ポリシリコン抵抗素子のシート抵抗Rsが小さくなってしまう。そのため、高抵抗値のポリシリコン抵抗素子を得るためには、そのパターン面積が大きくなってしまい、コストアップを招いていた。
【0007】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は、半導体基板上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上にノンドープのシリコン膜を形成し、このシリコン膜にP型不純物をイオン注入する。そして、このイオン注入前又はイオン注入後に、650℃〜750℃という低温の窒素雰囲気中でアニールを行うようにした。
【0008】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。まず、図1に示すように、シリコン基板等の半導体基板1上に、フィールド酸化膜2を形成する。フィールド酸化膜2は例えば、LOCOS法等の熱酸化により形成する。そして、このフィールド酸化膜2上にノンドープのシリコン膜3をLPCVD法により形成する。シリコン膜3は、アモルファスシリコン膜又はポリシリコン膜である。アモルファスシリコン膜の成膜温度は500℃〜550℃、ポリシリコン膜の成膜温度はこれより高温で、610℃前後である。
【0009】
この後、図2に示すようにP型不純物、例えばボロン(B+)や2弗化ボロン(BF2+)をシリコン膜3中にイオン注入する。このイオン注入の前又は後に、シリコン膜3を露出した状態で、N2アニールを行う。若しくはN2アニールを含め、シリコン酸化膜3を露出した状態でのアニールを行わない。このイオン注入条件、アニール条件については後述する。
【0010】
次に、図3に示すように、シリコン膜3上の抵抗素子形成領域上にフォトレジスト膜4を形成する。そして、このフォトレジスト膜4をマスクとしてシリコン膜3をドライエッチングし、シリコン抵抗膜5(アモルファスシリコン抵抗膜、又はポリシリコン抵抗膜)を形成する。
【0011】
次に、図4に示すように、シリコン抵抗膜5上に絶縁膜を形成する。この絶縁膜は、例えばTEOS膜6及びBPSG膜7の積層膜である。
【0012】
次に、図5に示すように、シリコン抵抗膜5上のTEOS膜6及びBPSG膜7にコンタクトホールを形成し、アルミニウム電極等の電圧印加用の電極8を形成する。ここで、コンタクトホール形成後、電極8形成前にH2アニールを行う。
このH2アニールは界面準位を低減するための熱処理で、フォーミングガスとしてH2を用いている。H2濃度は、4%〜12%、温度は400℃から450℃、処理時間は60分〜100分である。図6は抵抗素子の平面図である。図5は、図6のX−X線に沿った断面図となっている。
【0013】
次に、上述のプロセスフローに従った実験結果(実験NO.1〜NO.13)について図7を参照しながら説明する。図7において、「イオン注入条件」は、上記P型不純物のイオン注入に対応するものである。本実験ではNO.1〜NO.12でイオン種として二弗化ボロン(BF2+)を用い、NO.13でリン(P+)を用いている。また、「Rs」はシリコン抵抗膜5のシート抵抗(Ω/□)である。「Rs変動」は温度が25℃〜85℃に変化した場合のRsの変動率(%)、「TCR1」は「Rs変動」から求めたシリコン抵抗膜5の温度係数(ppm/℃)である。
「WF uni.」はRsのウエハー面内均一性を示し、次の式で求めた量である。WF uni.=100×(max−min)/Xav(%)
ここで、maxはウエハー内のRsの最大値、minはウエハー内のRsの最小値、Xavは、ウエハー内のRsの平均値である。サンプル数は38で、ウエハー内の38ショットから選ばれた。
【0014】
実験NO.1〜NO.5はシリコン膜3として、アモルファスシリコン膜(α−Si膜)が選ばれた。また、実験NO.6〜NO.13はシリコン膜3として、ポリシリコン膜(Poly−Si膜)が選ばれた。その膜厚は、NO.1〜NO.13に共通の150nmとした。また、図7に示した実験条件以外のプロセス条件は、同一とした。TEOS膜6の膜厚は200nm、BPSG膜7の膜厚は1000nm、BPSG膜7のフローは850℃で行った。
【0015】
ここで、LSI回路に用いる抵抗素子特性の判定基準を、Rsが600Ω/□以上、Rs変動が3%以下、温度係数TCR1が600ppm/℃以下、Rsのが±3%以下、とする。
【0016】
上記実験結果の中、この判定基準を満たすものは、実験NO.1,2,4,5,6,7,9,10となる。BF2+イオン注入後に900℃という高温のN2アニールを行うと(実験NO.3,8)、Rsは高くできるが、Rs変動、温度係数TCR1が大きくなってしまい、ウエハー面内均一性WF uni.も悪化して判定基準を満たさない。
【0017】
これに対して、BF2+イオン注入後に、700℃という低温のN2アニールを行ったもの(実験NO.1,2,6,7)、BF2+イオン注入前に、700℃という低温のN2アニールを行ったもの(実験NO.5,10)については、良好な結果を示した。また、N2アニールを行わないもの(実験NO.4,9)については、上記低温のN2アニールを行ったものには劣るが判定基準を満たす特性を示した。
【0018】
これは、シリコン膜3を露出した状態で、900℃という高温のN2アニールを行うと、シリコン膜3中に注入されたBF2+のアウトディフュージョンがウエハー面内で不均一に起こるため、ウエハー面内均一性WF uniが悪くなり、温度係数TCR1にも悪影響を及ぼすものと考えられる。これに対して、700℃前後の低温のN2アニールを行うと、BF2+のアウトディフュージョンが均一になり、適度のアニール効果が得られることから、良好な特性が得られると考えられる。この低温N2アニールは、900℃より相当低ければよく、好ましくは650℃〜750℃と考えられる。
【0019】
また、700℃のN2アニールは、BF2+のイオン注入後に行う方が、BF2+のイオン注入前にする場合に比べて、Rs、Rs変動、温度係数TCR1、ウエハー面内均一性WF uni.の全ての項目でより良好な特性を示す(実験NO.1,2,6,7)。
【0020】
また、700℃のN2アニールを行うという条件で、シリコン膜3の膜種として、アモルファスシリコン膜の場合(実験NO.1,2,5)とポリシリコン膜の場合(実験NO.6,7,10)を比較すると、Rsについてはポリシリコン膜の場合の方が高くなり、より優れているが、その他の特性(Rs変動、温度係数TCR1、ウエハー面内均一性WF uni.)については、アモルファスシリコン膜の場合が優れている。
【0021】
なお、実験NO.11,12,13については、上記判定基準を満たしていない。この理由は、実験NO.11,12については、BF2+のドーズ量が不足しているため、Rs変動、温度係数TCR1が大きくなってしまっている。また、実験NO.13については、イオン種がリン(P+)であるため、Rsが低くなっている。また、リン(P+)のドーズ量が不足しているため温度係数TCR1も大きくなっている。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、高抵抗で、温度係数が小さく、しかもシート抵抗のウエハー面内均一性に優れた抵抗素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図2】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図3】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図4】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図5】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図6】本発明の半導体装置の製造方法を説明する平面図である。
【図7】本発明の半導体装置の製造方法の実験結果を示す図である。
Claims (7)
- 半導体基板上に第1の絶縁膜を形成する工程と、この第1の絶縁膜上にノンドープのシリコン膜を形成する工程と、このシリコン膜にP型不純物をイオン注入する工程と、このイオン注入前又はイオン注入後に、前記シリコン膜を露出した状態で、650℃〜750℃の窒素雰囲気中でアニールを行う工程と、このシリコン膜上に第2の絶縁膜を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上に第1の絶縁膜を形成する工程と、この第1の絶縁膜上にノンドープのシリコン膜を形成する工程と、このシリコン膜にP型不純物をイオン注入する工程と、このシリコン膜を露出した状態でアニールを行うことなく、このシリコン膜上に第2の絶縁膜を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン膜がアモルファスシリコン膜からなることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン膜がポリシリコン膜からなることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記P型不純物が二弗化ボロンであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記二弗化ボロンのドーズ量が、5×1015/cm2 〜1.5×1016/cm2 であることを特徴とする請求項5記載の半導体装置の製造方法。
- 前記窒素雰囲気中でアニールを行う工程の後に、水素雰囲気中でアニールを行う工程を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
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