JP2004219368A - 表面性状測定機の平行度誤差補正回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明の目的は、コンピュータで平行度補正プログラムを実行させる必要がなく、コンピュータの性能の優劣に拘わらず即時的に平行度誤差を補正できる表面性状測定機の平行度誤差補正回路を提供することにある。
【解決手段】被測定物を基準方向に載置する載置台と、被測定物の表面性状を測定する検出器と、基準方向に略平行な方向へ検出器を駆動する駆動機構と、駆動機構における検出器の駆動量を検出する駆動量検出器とを備えた表面性状測定機の、基準方向と駆動方向との平行度誤差を補正する平行度誤差補正回路において、平行度誤差を記憶する平行度誤差記憶回路と、検出器駆動量と平行度誤差とを乗算して平行度誤差補正量を算出する乗算器と、平行度誤差補正量と検出器出力とを加算して、平行度誤差補正済の被測定物の測定データを出力する加算器とを備えた。
【選択図】 図1
【解決手段】被測定物を基準方向に載置する載置台と、被測定物の表面性状を測定する検出器と、基準方向に略平行な方向へ検出器を駆動する駆動機構と、駆動機構における検出器の駆動量を検出する駆動量検出器とを備えた表面性状測定機の、基準方向と駆動方向との平行度誤差を補正する平行度誤差補正回路において、平行度誤差を記憶する平行度誤差記憶回路と、検出器駆動量と平行度誤差とを乗算して平行度誤差補正量を算出する乗算器と、平行度誤差補正量と検出器出力とを加算して、平行度誤差補正済の被測定物の測定データを出力する加算器とを備えた。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真円度測定機、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機、三次元座標測定機などに代表される表面性状測定機の検出器駆動機構の傾斜補正回路に関し、特にワークを載置台の基準方向に載置した際の基準方向と検出器の相対駆動方向との平行度誤差を補正する表面性状測定機の平行度誤差補正回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
真円度測定機、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機などの表面性状測定機に用いられる検出器は、ワーク表面直交方向に揺動可能なレバー先端に接触子を設けた構造のものが多く用いられ、この接触子をワーク表面に当接させた状態で検出器をワークの表面方向に駆動・走査してデータを収集することによって測定データを得て、ワークの表面性状解析や座標あるいは寸法の測定を行う。
ところがこの測定データ収集に際して、ワークが載置されたテーブルの基準方向と、検出器の駆動・走査方向との間に平行度誤差が存在すると、その平行度誤差が測定データに重畳されるため、正確な測定データ収集を行うことができない。
【0003】
例えば、図3は真円度測定機10を示すが、この真円度測定機10において、検出器5の駆動方向Cと回転テーブル7の回転軸心方向Wが平行でない場合は、検出器5による測定データには平行度誤差が含まれることになる。
真円度測定機10の構成概略を説明すると、まず、基台1の一端にコラム2が立設されており、そのコラム2に沿ってZ軸スライダ3(駆動機構)がZ軸方向に昇降する。このZ軸スライダ3の昇降位置は、図示しないスケール9(駆動量検出器)によって検出される。このZ軸スライダ3には、X軸に平行なR軸方向(=X軸方向)へスライド可能なR軸スライダ4が保持されている。このR軸スライダ4の先端には検出器5が保持されており、この検出器5はスタイラスS先端部(接触子)のX軸方向の変位をデータとして出力する。
【0004】
従って、Z軸スライダ3をZ軸方向に昇降させれば、それに伴って検出器5もZ軸方向へ昇降される。この時、コラム2の立設方向を正確にZ軸方向に一致させることが加工精度の点から難しいため、Z軸スライダ3の昇降方向C(=検出器5の昇降方向:駆動方向)は、厳密にはZ軸方向と一致しない。
一方、基台1の他端には回転テーブル7(載置台)が設置されており、その回転テーブル7の上面はワーク8を載置可能となっている。ワーク8は、その軸心(測定方向)が回転テーブル7の回転軸心W(基準方向)に一致するように載置されるので、ワーク8は、回転テーブル7の回転軸心Wを回転中心として回転する。
【0005】
この時、スタイラスSの接触子がワーク8の例えば外側面に接触していれば、検出器5は、このワーク8の回転軸心Wに直交する断面におけるワーク外周データを出力することになるので、このワーク外周データに基づいて、ワーク8の真円度や半径などを測定することが出来る。
ここで、回転テーブル7の回転軸心WとZ軸スライダ3の昇降方向Cが平行でなく、平行度誤差を有する場合、検出器5の昇降に伴って、検出器5は回転テーブル7の回転軸心Wに対して、この平行度誤差の分だけ相対的に接近あるいは離隔する。
【0006】
この状態で、Z軸スライダ3を昇降させて、Z軸方向に異なる位置でワーク外周データを収集すると、ワーク半径が異なることになって、測定に不具合を生じるという問題点がある。
あるいは、ワーク8を回転させずに、検出器5を昇降させることによって、ワーク8外側面あるいは内側面のZ軸方向の測定が可能であるが、この場合も、検出器5の昇降に伴って、検出器5は回転テーブル7の回転軸心Wに対して、平行度誤差の分だけ相対的に接近あるいは離隔するために、ワーク8側面のZ軸方向の測定が正確に行えないという問題点がある。
回転テーブル7の回転軸心WとZ軸スライダ3の昇降方向Cとの平行度誤差を測定する方法は既に提案されており、例えば回転テーブル7上にワーク8に代えて、円筒度が許容範囲にあるように予め加工された円筒マスターを載置し、この円筒マスターの外側面を、検出器5を昇降しながら測定してその測定結果から平行度誤差を求めるものがある(例えば特許文献1など)。
【0007】
【特許文献1】
特開平5−196411号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようにして、回転テーブル7の回転軸心WとZ軸スライダ3の昇降方向Cとの平行度誤差を測定できたとしても、実際の測定において検出器5が出力するデータを即時処理して平行度誤差を補正する方法は提供されていなかった。
例えば、回転テーブル7上へのワーク8の載置にあたって、回転軸心Wとワーク8の軸心を一致させる必要から、スタイラスSの接触子をワーク8の各所へ接触させて検出器5の出力を確認しながらワーク8の載置位置を微調整する必要がある。
【0009】
この微調整作業は、検出器5の出力を表示器で確認しながら試行錯誤的に行われるが、この表示器へ表示される検出器5出力は、平行度誤差が補正されている必要がある。さらに、この微調整作業の能率化のためには、ワーク8の微調整に応じて、その結果がただちに表示器に反映される必要があり、検出器5出力に対する平行度誤差の補正を即時的に行う必要がある。(例えば、微調整の結果が、0.5秒後に表示器に表示されるようでは、作業の能率が大幅に低下する。)
【0010】
ところが、従来技術においては、検出器5の出力を一旦、コンピュータやマイクロプロセッサに取り込み、平行度誤差補正プログラムを実行させて検出器5出力の平行度誤差を補正し、その補正結果を表示器へ出力するという構成がとられていたために、即時的に平行度誤差を補正して表示器へ出力したい場合は、毎秒あたり数十回〜100回以上の平行度誤差補正プログラム実行を行わなければならず、コンピュータやマイクロプロセッサに過大な性能が要求される原因となっていた。
【0011】
本願発明は、このような問題を解決するために、コンピュータやマイクロプロセッサで平行度誤差補正プログラムを実行させる必要がなく、コンピュータやマイクロプロセッサの性能の優劣に拘わらず即時的に平行度誤差を補正できる表面性状測定機の平行度誤差補正回路を提供する。
【0012】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明にかかる表面性状測定機の平行度誤差補正回路は、被測定物の測定方向と載置台の基準方向とを一致させて該被測定物を載置する該載置台と、前記被測定物の表面性状を測定する検出器と、前記基準方向に略平行な駆動方向へ前記検出器を前記被測定物に対して相対駆動する駆動機構と、前記駆動機構における前記検出器の相対駆動量を検出する駆動量検出器とを備えた表面性状測定機の、前記基準方向と前記駆動方向との平行度誤差を補正する平行度誤差補正回路において、前記平行度誤差を記憶する平行度誤差記憶回路と、前記駆動量検出器の出力と前記平行度誤差記憶回路に記憶された前記平行度誤差とを乗算して平行度誤差補正量を算出する乗算器と、前記平行度誤差補正量と前記検出器の出力とを加算して、平行度誤差補正済の前記被測定物の測定データを出力する加算器と、を備えたことを特徴とする。
【0013】
ここで、被測定物の測定方向と載置台の基準方向とを一致させて該被測定物を載置するとは、被測定物回転型の真円度測定機の回転テーブルの回転軸心に被測定物の軸心が一致するように被測定物を載置したり、検出器回転型の真円度測定機の固定テーブルに、被測定物の軸心が検出器回転機構の軸心に一致するように被測定物を載置する、あるいは、直動テーブルの直動方向である基準方向に被測定物の測定方向を一致させて載置するなど、をいい、必ずしも基準方向は、回転軸心である必要はない。
【0014】
この発明によれば、検出器から出力されたデータに対して、駆動量検出器の出力に平行度誤差を乗算してその駆動位置に応じた平行度誤差補正量を算出し、その駆動位置に応じた平行度誤差補正量を加算するので、ただちに平行度誤差が補正される。このため、コンピュータやマイクロプロセッサの性能の優劣に拘わらず即時的に平行度誤差を補正できるので、表面性状測定機を廉価に構成することができる。
【0015】
また、本発明は、前記平行度誤差補正済の前記被測定物の前記測定データを表示する表示器をさらに備えることが好ましい。
この発明によれば、平行度誤差補正済の被測定物の測定データを即時的(リアルタイム)に表示器に表示できるので、載置台への被測定物載置にあたって、載置台の基準方向と被測定物の測定方向とを一致させる微調整作業が極めて容易になる。
【0016】
さらに、本発明は、前記検出器から出力される信号はアナログ量であり、前記加算器はアナログ加算器であることが好ましい。
この発明によれば、微小変位を検出可能な電気マイクロやインダクタンス式検出器などのアナログ量を出力する検出器の出力に対して平行度誤差を補正することが容易に行える。
【0017】
また、この発明は、前記乗算器は、前記平行度誤差と前記駆動量検出器から出力されるデジタル量とを乗算するデジタル乗算器であって、このデジタル乗算器の出力をアナログ量に変換するアナログ変換器をさらに備えることが好ましい。この発明によれば、駆動量検出器としてリニヤスケールのように変位量がデジタル量で出力される検出器を用いる際に、平行度誤差がデジタル乗算され、その結果がアナログ量に変換されるので、アナログ形検出器の平行度誤差補正が容易になる。一般に表面性状を測定する検出器は、高分解能・高精度であることから、その測定範囲が狭く制限されることが多く、最小分解能と測定範囲との比率を示すダイナミックレンジは必ずしも大きくなく、アナログ形の検出器が用いられることが多い。これに対して、検出器を駆動する駆動機構は、被測定物の全域に渡って駆動可能とする必要があることから、測定範囲を大きくしたい場合が多く、駆動量検出器としてはリニヤスケールなどのデジタル形のダイナミックレンジの大きな検出器が用いられる。このような構成において、本発明によって平行度誤差補正が極めて容易に行える。
【0018】
さらに、この発明は、前記駆動量検出器の出力をリセットするリセット回路をさらに備えることが好ましい。
この発明によれば、載置台の基準方向において、任意位置で駆動量検出器の出力をリセットしてゼロ出力とすることが可能となる。つまり、駆動量検出器がリセットされた位置においては、算出された平行度誤差補正量はゼロとなるので、この発明によって平行度誤差補正原点を任意設定可能となる。例えば、設計上の被測定物原点がわかっている場合は、その位置を平行度誤差補正原点とすることが出来るので、設計データと測定データとの対応付けが容易に行える。
【0019】
また、この発明は、前記駆動量検出器は前記被測定物と前記検出器の相対駆動量の絶対値を検出することが好ましい。
この発明によれば、例えば載置台の載置面を常に駆動量検出原点とすることができるので、駆動量検出結果に間違いを生じる恐れが解消でき、測定の信頼度を向上することができる。
さらに、この発明は、前記表面性状測定機は、前記検出器を前記被測定物に対して相対回転可能な回転機構を備えた真円度測定機であり、前記基準方向は、前記回転機構の回転軸心方向であることが好ましい。
【0020】
ここで、前記検出器を前記被測定物に対して相対回転可能とは、検出器に対して被測定物が、その軸を回転中心として回転する場合と、被測定物は固定載置され、その周囲を検出器が回転する場合のいずれをも含むものである。
この発明によれば、真円度測定機の検出器の相対回転軸心と被測定物の軸心が一致され、検出器を駆動方向に駆動して被測定物の表面を測定する場合に、検出器の相対回転軸心方向と駆動方向との平行度誤差が即時的に補正されるので、被測定物の載置台への載置作業が容易になるほか、被測定物の円筒度測定や半径値などの寸法測定、被測定物の外形あるいは内形などの幾何形状測定における計算処理速度を向上させることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明の好適な実施形態について説明する。
図1には本発明の一実施形態にかかる表面性状測定機の平行度誤差補正回路20のブロック図を示し、表面性状測定機は図3に示す真円度測定機10と同一である。
【0022】
検出器5は電気マイクロ又はインダクタンス式検出器で、アナログ形の検出器である。この検出器5はインターフェイス(I/F)21に接続され、同期検波などの信号波形処理が行われて、インターフェイス21からは検出器5の検出量に応じて直流電圧レベルのアナログ量が出力される。この電圧レベルが検出量を示す。インターフェイス21にはゲイン設定回路29の出力が接続されており、ゲインが決定される。例えば、インターフェイス21の出力が、DC5Vの時、検出器は5mmの変位を示すようなゲイン設定(DC5V/5mm)の他、同DC5V/0.5mm、同DC5V/0.05mmのようなゲイン切換えが可能である。
【0023】
スケール9はZ軸スライダ3の昇降位置を検出し、リニヤスケールが用いられる。このスケール9はインクリメンタル式であるので、スケール9の出力はカウンタ24で計数・積算される。このカウンタ24の出力最小分解能は通常は固定とされ、ゲイン切換えなどは行わない。例えば、1カウント/10μmである。このカウンタ24にはリセット回路25が接続され、カウンタ24の計数値を任意位置でリセット可能である。カウンタ24がリセットされると、その出力はゼロとなる。
【0024】
メモリー26(平行度誤差記憶回路)には平行度誤差の値が記憶されており、例えば、20μm/100mmに相当する値が記憶されている。このメモリー26に記憶された平行度誤差は乗算器27によって、カウンタ24の出力と乗算されて平行度誤差補正量Δxが算出される。この乗算器27はデジタル量とデジタル量を乗算してデジタル量を出力するデジタル乗算器である。
【0025】
例えば、平行度誤差が20μm/100mmで、カウンタ24の出力が50mmであれば、平行度誤差補正量Δxは、10μmとなる。乗算器27の出力である平行度誤差補正量Δxは、D/A変換器28へ入力されてアナログ量に変換される。このD/A変換器28はゲイン設定回路29の出力が接続されており、インターフェイス21に設定されたゲインに応じて平行度誤差補正量Δxを直流電圧に変換して出力する。
例えば、インターフェイス21出力が、DC5V/0.5mmとなるゲイン設定では、10μmの平行度誤差補正量Δxは、DC0.1Vとなる。
【0026】
加算器22において、インターフェイス21の出力とD/A変換器28の出力が加算され、検出器5の検出量に対して平行度誤差が補正されて測定データが算出される。
この測定データは表示器23で表示される。この表示器23はアナログ電圧を指針表示するアナログ表示器であるので、測定データの値が指針で表示される。そのため、測定データの増減が直感的にわかる。この測定データは、真円度測定機の図示しないデータ処理装置へ入力されて所定のデータ処理が行われる。
【0027】
乗算器27から出力される平行度誤差補正値は、Z軸スライダ3の位置に応じて変化する値であり、変化の様子を図2に示す。横軸ZはZ軸スライダ3の駆動量(昇降位置)を示し、縦軸Δxは、この昇降位置に対応する平行度誤差補正量を示す。例えば、昇降位置がz1の時、平行度誤差補正量はΔx1となる。
このように本発明によれば、Z軸スライダ3の昇降位置に応じた平行度誤差補正量Δxが算出されて検出器5出力(検出量)に加算され、平行度誤差補正済の測定データが即時的に出力され、その値が指針式の表示器で表示される。
【0028】
従って、載置台への被測定物載置にあたって、載置台の基準方向と被測定物の測定方向とを一致させる微調整作業が極めて容易に行える。また、平行度誤差補正済の測定データを即時的に得ることができるので、データ処理装置における被測定物の真円度測定・円筒度測定や、半径値などの寸法測定、さらには被測定物の外形あるいは内形などの幾何形状測定の計算処理速度を向上させることができる。さらにデータ処理装置に用いるコンピュータやマイクロプロセッサには、過大な性能を必要としないため、真円度測定機を全体として廉価に構成することができる。
しかし、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。
【0029】
例えば、表示器23は指針式アナログ表示器を示したが、測定データのデジタル表示を併用するものであっても良く、さらに測定データのデジタル表示のみを行うもの(例えばデジタルマルチメータ)、あるいはバーグラフ表示されるものでも良い。
また、検出器5はアナログ形検出器のみを示したが、デジタル形検出器でも良く、その場合は、加算器をデジタル加算器とすれば良い。
【0030】
さらに、Z軸スライダ3の駆動量を検出するスケールはデジタル式のみを示したが、アナログ式であっても良い。このように、検出器、スケール、平行度誤差の値そのものは、デジタル量でもアナログ量でも良く、平行度誤差補正量Δx算出を行う乗算器や検出器出力の平行度誤差補正を行う加算器は、それらに応じて、アナログ式あるいはデジタル式を用いることが可能で、必要に応じて各値に対してD/A変換あるいはA/D変換を施せば良い。
また、検出器5やスケール9の出力は有線接続とされる例を示したが、無線接続であっても良い。
【0031】
さらに、インターフェイス21やカウンタ24の出力に対して、出力値をシフトさせるオフセットを加算するためのオフセット回路あるいは出力を任意値にプリセットするプリセット回路を設けても良い。
また、スケール9はインクリメンタル式(相対式)のリニヤスケールを示したが、アブソリュート形(絶対形)であっても良く、要は、Z軸スライダ3の昇降位置(駆動量)を検出できればよい。
【0032】
さらに、表面性状測定機として真円度測定機の場合を示したが、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機、画像測定機、三次元測定機などでも良く、要は被測定物の表面粗さ、うねり、輪郭、形状、寸法、座標などの表面性状を測定する測定機において、平行度誤差を補正する必要のある場合には、本発明を実施できる。
また、載置台の基準方向は、載置台上のワーク載置面に沿う方向であっても良い。
【0033】
さらに、Z軸スライダ3の駆動は、手動駆動あるいは、モータ駆動のいずれであってもよい。
また、検出器5は触針式に限らず、非接触式の検出器の他、振動式プローブ、倣いプローブ、画像プローブなどでも良く、検出器の測定原理に拘わりなく本発明を実施できる。
さらに、本発明の平行度誤差補正回路は、各種の半導体技術を用いて集積化してもよく、実施形態においては、各回路が個別に構成されるものとして説明したが、例えば乗算器27とD/A変換器28を一体として構成してもよく、任意の回路ブロックを複合化しても良い。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかる表面性状測定機の平行度誤差補正回路によれば、検出器出力に対して即時的な平行度誤差補正を行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にかかる表面性状測定機の平行度誤差補正回路のブロック図である。
【図2】本発明の実施形態にかかる平行度誤差補正量の説明図である。
【図3】従来技術による真円度測定機の説明図である。
【符号の説明】
3 Z軸スライダ
5 検出器
7 回転テーブル
8 被測定物
10 真円度測定機
22 加算器
27 乗算器
23 表示器
C 検出器の駆動方向
W 回転テーブルの回転軸心方向(基準方向)
【発明の属する技術分野】
本発明は、真円度測定機、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機、三次元座標測定機などに代表される表面性状測定機の検出器駆動機構の傾斜補正回路に関し、特にワークを載置台の基準方向に載置した際の基準方向と検出器の相対駆動方向との平行度誤差を補正する表面性状測定機の平行度誤差補正回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
真円度測定機、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機などの表面性状測定機に用いられる検出器は、ワーク表面直交方向に揺動可能なレバー先端に接触子を設けた構造のものが多く用いられ、この接触子をワーク表面に当接させた状態で検出器をワークの表面方向に駆動・走査してデータを収集することによって測定データを得て、ワークの表面性状解析や座標あるいは寸法の測定を行う。
ところがこの測定データ収集に際して、ワークが載置されたテーブルの基準方向と、検出器の駆動・走査方向との間に平行度誤差が存在すると、その平行度誤差が測定データに重畳されるため、正確な測定データ収集を行うことができない。
【0003】
例えば、図3は真円度測定機10を示すが、この真円度測定機10において、検出器5の駆動方向Cと回転テーブル7の回転軸心方向Wが平行でない場合は、検出器5による測定データには平行度誤差が含まれることになる。
真円度測定機10の構成概略を説明すると、まず、基台1の一端にコラム2が立設されており、そのコラム2に沿ってZ軸スライダ3(駆動機構)がZ軸方向に昇降する。このZ軸スライダ3の昇降位置は、図示しないスケール9(駆動量検出器)によって検出される。このZ軸スライダ3には、X軸に平行なR軸方向(=X軸方向)へスライド可能なR軸スライダ4が保持されている。このR軸スライダ4の先端には検出器5が保持されており、この検出器5はスタイラスS先端部(接触子)のX軸方向の変位をデータとして出力する。
【0004】
従って、Z軸スライダ3をZ軸方向に昇降させれば、それに伴って検出器5もZ軸方向へ昇降される。この時、コラム2の立設方向を正確にZ軸方向に一致させることが加工精度の点から難しいため、Z軸スライダ3の昇降方向C(=検出器5の昇降方向:駆動方向)は、厳密にはZ軸方向と一致しない。
一方、基台1の他端には回転テーブル7(載置台)が設置されており、その回転テーブル7の上面はワーク8を載置可能となっている。ワーク8は、その軸心(測定方向)が回転テーブル7の回転軸心W(基準方向)に一致するように載置されるので、ワーク8は、回転テーブル7の回転軸心Wを回転中心として回転する。
【0005】
この時、スタイラスSの接触子がワーク8の例えば外側面に接触していれば、検出器5は、このワーク8の回転軸心Wに直交する断面におけるワーク外周データを出力することになるので、このワーク外周データに基づいて、ワーク8の真円度や半径などを測定することが出来る。
ここで、回転テーブル7の回転軸心WとZ軸スライダ3の昇降方向Cが平行でなく、平行度誤差を有する場合、検出器5の昇降に伴って、検出器5は回転テーブル7の回転軸心Wに対して、この平行度誤差の分だけ相対的に接近あるいは離隔する。
【0006】
この状態で、Z軸スライダ3を昇降させて、Z軸方向に異なる位置でワーク外周データを収集すると、ワーク半径が異なることになって、測定に不具合を生じるという問題点がある。
あるいは、ワーク8を回転させずに、検出器5を昇降させることによって、ワーク8外側面あるいは内側面のZ軸方向の測定が可能であるが、この場合も、検出器5の昇降に伴って、検出器5は回転テーブル7の回転軸心Wに対して、平行度誤差の分だけ相対的に接近あるいは離隔するために、ワーク8側面のZ軸方向の測定が正確に行えないという問題点がある。
回転テーブル7の回転軸心WとZ軸スライダ3の昇降方向Cとの平行度誤差を測定する方法は既に提案されており、例えば回転テーブル7上にワーク8に代えて、円筒度が許容範囲にあるように予め加工された円筒マスターを載置し、この円筒マスターの外側面を、検出器5を昇降しながら測定してその測定結果から平行度誤差を求めるものがある(例えば特許文献1など)。
【0007】
【特許文献1】
特開平5−196411号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようにして、回転テーブル7の回転軸心WとZ軸スライダ3の昇降方向Cとの平行度誤差を測定できたとしても、実際の測定において検出器5が出力するデータを即時処理して平行度誤差を補正する方法は提供されていなかった。
例えば、回転テーブル7上へのワーク8の載置にあたって、回転軸心Wとワーク8の軸心を一致させる必要から、スタイラスSの接触子をワーク8の各所へ接触させて検出器5の出力を確認しながらワーク8の載置位置を微調整する必要がある。
【0009】
この微調整作業は、検出器5の出力を表示器で確認しながら試行錯誤的に行われるが、この表示器へ表示される検出器5出力は、平行度誤差が補正されている必要がある。さらに、この微調整作業の能率化のためには、ワーク8の微調整に応じて、その結果がただちに表示器に反映される必要があり、検出器5出力に対する平行度誤差の補正を即時的に行う必要がある。(例えば、微調整の結果が、0.5秒後に表示器に表示されるようでは、作業の能率が大幅に低下する。)
【0010】
ところが、従来技術においては、検出器5の出力を一旦、コンピュータやマイクロプロセッサに取り込み、平行度誤差補正プログラムを実行させて検出器5出力の平行度誤差を補正し、その補正結果を表示器へ出力するという構成がとられていたために、即時的に平行度誤差を補正して表示器へ出力したい場合は、毎秒あたり数十回〜100回以上の平行度誤差補正プログラム実行を行わなければならず、コンピュータやマイクロプロセッサに過大な性能が要求される原因となっていた。
【0011】
本願発明は、このような問題を解決するために、コンピュータやマイクロプロセッサで平行度誤差補正プログラムを実行させる必要がなく、コンピュータやマイクロプロセッサの性能の優劣に拘わらず即時的に平行度誤差を補正できる表面性状測定機の平行度誤差補正回路を提供する。
【0012】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明にかかる表面性状測定機の平行度誤差補正回路は、被測定物の測定方向と載置台の基準方向とを一致させて該被測定物を載置する該載置台と、前記被測定物の表面性状を測定する検出器と、前記基準方向に略平行な駆動方向へ前記検出器を前記被測定物に対して相対駆動する駆動機構と、前記駆動機構における前記検出器の相対駆動量を検出する駆動量検出器とを備えた表面性状測定機の、前記基準方向と前記駆動方向との平行度誤差を補正する平行度誤差補正回路において、前記平行度誤差を記憶する平行度誤差記憶回路と、前記駆動量検出器の出力と前記平行度誤差記憶回路に記憶された前記平行度誤差とを乗算して平行度誤差補正量を算出する乗算器と、前記平行度誤差補正量と前記検出器の出力とを加算して、平行度誤差補正済の前記被測定物の測定データを出力する加算器と、を備えたことを特徴とする。
【0013】
ここで、被測定物の測定方向と載置台の基準方向とを一致させて該被測定物を載置するとは、被測定物回転型の真円度測定機の回転テーブルの回転軸心に被測定物の軸心が一致するように被測定物を載置したり、検出器回転型の真円度測定機の固定テーブルに、被測定物の軸心が検出器回転機構の軸心に一致するように被測定物を載置する、あるいは、直動テーブルの直動方向である基準方向に被測定物の測定方向を一致させて載置するなど、をいい、必ずしも基準方向は、回転軸心である必要はない。
【0014】
この発明によれば、検出器から出力されたデータに対して、駆動量検出器の出力に平行度誤差を乗算してその駆動位置に応じた平行度誤差補正量を算出し、その駆動位置に応じた平行度誤差補正量を加算するので、ただちに平行度誤差が補正される。このため、コンピュータやマイクロプロセッサの性能の優劣に拘わらず即時的に平行度誤差を補正できるので、表面性状測定機を廉価に構成することができる。
【0015】
また、本発明は、前記平行度誤差補正済の前記被測定物の前記測定データを表示する表示器をさらに備えることが好ましい。
この発明によれば、平行度誤差補正済の被測定物の測定データを即時的(リアルタイム)に表示器に表示できるので、載置台への被測定物載置にあたって、載置台の基準方向と被測定物の測定方向とを一致させる微調整作業が極めて容易になる。
【0016】
さらに、本発明は、前記検出器から出力される信号はアナログ量であり、前記加算器はアナログ加算器であることが好ましい。
この発明によれば、微小変位を検出可能な電気マイクロやインダクタンス式検出器などのアナログ量を出力する検出器の出力に対して平行度誤差を補正することが容易に行える。
【0017】
また、この発明は、前記乗算器は、前記平行度誤差と前記駆動量検出器から出力されるデジタル量とを乗算するデジタル乗算器であって、このデジタル乗算器の出力をアナログ量に変換するアナログ変換器をさらに備えることが好ましい。この発明によれば、駆動量検出器としてリニヤスケールのように変位量がデジタル量で出力される検出器を用いる際に、平行度誤差がデジタル乗算され、その結果がアナログ量に変換されるので、アナログ形検出器の平行度誤差補正が容易になる。一般に表面性状を測定する検出器は、高分解能・高精度であることから、その測定範囲が狭く制限されることが多く、最小分解能と測定範囲との比率を示すダイナミックレンジは必ずしも大きくなく、アナログ形の検出器が用いられることが多い。これに対して、検出器を駆動する駆動機構は、被測定物の全域に渡って駆動可能とする必要があることから、測定範囲を大きくしたい場合が多く、駆動量検出器としてはリニヤスケールなどのデジタル形のダイナミックレンジの大きな検出器が用いられる。このような構成において、本発明によって平行度誤差補正が極めて容易に行える。
【0018】
さらに、この発明は、前記駆動量検出器の出力をリセットするリセット回路をさらに備えることが好ましい。
この発明によれば、載置台の基準方向において、任意位置で駆動量検出器の出力をリセットしてゼロ出力とすることが可能となる。つまり、駆動量検出器がリセットされた位置においては、算出された平行度誤差補正量はゼロとなるので、この発明によって平行度誤差補正原点を任意設定可能となる。例えば、設計上の被測定物原点がわかっている場合は、その位置を平行度誤差補正原点とすることが出来るので、設計データと測定データとの対応付けが容易に行える。
【0019】
また、この発明は、前記駆動量検出器は前記被測定物と前記検出器の相対駆動量の絶対値を検出することが好ましい。
この発明によれば、例えば載置台の載置面を常に駆動量検出原点とすることができるので、駆動量検出結果に間違いを生じる恐れが解消でき、測定の信頼度を向上することができる。
さらに、この発明は、前記表面性状測定機は、前記検出器を前記被測定物に対して相対回転可能な回転機構を備えた真円度測定機であり、前記基準方向は、前記回転機構の回転軸心方向であることが好ましい。
【0020】
ここで、前記検出器を前記被測定物に対して相対回転可能とは、検出器に対して被測定物が、その軸を回転中心として回転する場合と、被測定物は固定載置され、その周囲を検出器が回転する場合のいずれをも含むものである。
この発明によれば、真円度測定機の検出器の相対回転軸心と被測定物の軸心が一致され、検出器を駆動方向に駆動して被測定物の表面を測定する場合に、検出器の相対回転軸心方向と駆動方向との平行度誤差が即時的に補正されるので、被測定物の載置台への載置作業が容易になるほか、被測定物の円筒度測定や半径値などの寸法測定、被測定物の外形あるいは内形などの幾何形状測定における計算処理速度を向上させることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明の好適な実施形態について説明する。
図1には本発明の一実施形態にかかる表面性状測定機の平行度誤差補正回路20のブロック図を示し、表面性状測定機は図3に示す真円度測定機10と同一である。
【0022】
検出器5は電気マイクロ又はインダクタンス式検出器で、アナログ形の検出器である。この検出器5はインターフェイス(I/F)21に接続され、同期検波などの信号波形処理が行われて、インターフェイス21からは検出器5の検出量に応じて直流電圧レベルのアナログ量が出力される。この電圧レベルが検出量を示す。インターフェイス21にはゲイン設定回路29の出力が接続されており、ゲインが決定される。例えば、インターフェイス21の出力が、DC5Vの時、検出器は5mmの変位を示すようなゲイン設定(DC5V/5mm)の他、同DC5V/0.5mm、同DC5V/0.05mmのようなゲイン切換えが可能である。
【0023】
スケール9はZ軸スライダ3の昇降位置を検出し、リニヤスケールが用いられる。このスケール9はインクリメンタル式であるので、スケール9の出力はカウンタ24で計数・積算される。このカウンタ24の出力最小分解能は通常は固定とされ、ゲイン切換えなどは行わない。例えば、1カウント/10μmである。このカウンタ24にはリセット回路25が接続され、カウンタ24の計数値を任意位置でリセット可能である。カウンタ24がリセットされると、その出力はゼロとなる。
【0024】
メモリー26(平行度誤差記憶回路)には平行度誤差の値が記憶されており、例えば、20μm/100mmに相当する値が記憶されている。このメモリー26に記憶された平行度誤差は乗算器27によって、カウンタ24の出力と乗算されて平行度誤差補正量Δxが算出される。この乗算器27はデジタル量とデジタル量を乗算してデジタル量を出力するデジタル乗算器である。
【0025】
例えば、平行度誤差が20μm/100mmで、カウンタ24の出力が50mmであれば、平行度誤差補正量Δxは、10μmとなる。乗算器27の出力である平行度誤差補正量Δxは、D/A変換器28へ入力されてアナログ量に変換される。このD/A変換器28はゲイン設定回路29の出力が接続されており、インターフェイス21に設定されたゲインに応じて平行度誤差補正量Δxを直流電圧に変換して出力する。
例えば、インターフェイス21出力が、DC5V/0.5mmとなるゲイン設定では、10μmの平行度誤差補正量Δxは、DC0.1Vとなる。
【0026】
加算器22において、インターフェイス21の出力とD/A変換器28の出力が加算され、検出器5の検出量に対して平行度誤差が補正されて測定データが算出される。
この測定データは表示器23で表示される。この表示器23はアナログ電圧を指針表示するアナログ表示器であるので、測定データの値が指針で表示される。そのため、測定データの増減が直感的にわかる。この測定データは、真円度測定機の図示しないデータ処理装置へ入力されて所定のデータ処理が行われる。
【0027】
乗算器27から出力される平行度誤差補正値は、Z軸スライダ3の位置に応じて変化する値であり、変化の様子を図2に示す。横軸ZはZ軸スライダ3の駆動量(昇降位置)を示し、縦軸Δxは、この昇降位置に対応する平行度誤差補正量を示す。例えば、昇降位置がz1の時、平行度誤差補正量はΔx1となる。
このように本発明によれば、Z軸スライダ3の昇降位置に応じた平行度誤差補正量Δxが算出されて検出器5出力(検出量)に加算され、平行度誤差補正済の測定データが即時的に出力され、その値が指針式の表示器で表示される。
【0028】
従って、載置台への被測定物載置にあたって、載置台の基準方向と被測定物の測定方向とを一致させる微調整作業が極めて容易に行える。また、平行度誤差補正済の測定データを即時的に得ることができるので、データ処理装置における被測定物の真円度測定・円筒度測定や、半径値などの寸法測定、さらには被測定物の外形あるいは内形などの幾何形状測定の計算処理速度を向上させることができる。さらにデータ処理装置に用いるコンピュータやマイクロプロセッサには、過大な性能を必要としないため、真円度測定機を全体として廉価に構成することができる。
しかし、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。
【0029】
例えば、表示器23は指針式アナログ表示器を示したが、測定データのデジタル表示を併用するものであっても良く、さらに測定データのデジタル表示のみを行うもの(例えばデジタルマルチメータ)、あるいはバーグラフ表示されるものでも良い。
また、検出器5はアナログ形検出器のみを示したが、デジタル形検出器でも良く、その場合は、加算器をデジタル加算器とすれば良い。
【0030】
さらに、Z軸スライダ3の駆動量を検出するスケールはデジタル式のみを示したが、アナログ式であっても良い。このように、検出器、スケール、平行度誤差の値そのものは、デジタル量でもアナログ量でも良く、平行度誤差補正量Δx算出を行う乗算器や検出器出力の平行度誤差補正を行う加算器は、それらに応じて、アナログ式あるいはデジタル式を用いることが可能で、必要に応じて各値に対してD/A変換あるいはA/D変換を施せば良い。
また、検出器5やスケール9の出力は有線接続とされる例を示したが、無線接続であっても良い。
【0031】
さらに、インターフェイス21やカウンタ24の出力に対して、出力値をシフトさせるオフセットを加算するためのオフセット回路あるいは出力を任意値にプリセットするプリセット回路を設けても良い。
また、スケール9はインクリメンタル式(相対式)のリニヤスケールを示したが、アブソリュート形(絶対形)であっても良く、要は、Z軸スライダ3の昇降位置(駆動量)を検出できればよい。
【0032】
さらに、表面性状測定機として真円度測定機の場合を示したが、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機、画像測定機、三次元測定機などでも良く、要は被測定物の表面粗さ、うねり、輪郭、形状、寸法、座標などの表面性状を測定する測定機において、平行度誤差を補正する必要のある場合には、本発明を実施できる。
また、載置台の基準方向は、載置台上のワーク載置面に沿う方向であっても良い。
【0033】
さらに、Z軸スライダ3の駆動は、手動駆動あるいは、モータ駆動のいずれであってもよい。
また、検出器5は触針式に限らず、非接触式の検出器の他、振動式プローブ、倣いプローブ、画像プローブなどでも良く、検出器の測定原理に拘わりなく本発明を実施できる。
さらに、本発明の平行度誤差補正回路は、各種の半導体技術を用いて集積化してもよく、実施形態においては、各回路が個別に構成されるものとして説明したが、例えば乗算器27とD/A変換器28を一体として構成してもよく、任意の回路ブロックを複合化しても良い。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかる表面性状測定機の平行度誤差補正回路によれば、検出器出力に対して即時的な平行度誤差補正を行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にかかる表面性状測定機の平行度誤差補正回路のブロック図である。
【図2】本発明の実施形態にかかる平行度誤差補正量の説明図である。
【図3】従来技術による真円度測定機の説明図である。
【符号の説明】
3 Z軸スライダ
5 検出器
7 回転テーブル
8 被測定物
10 真円度測定機
22 加算器
27 乗算器
23 表示器
C 検出器の駆動方向
W 回転テーブルの回転軸心方向(基準方向)
Claims (7)
- 被測定物の測定方向と載置台の基準方向とを一致させて該被測定物を載置する該載置台と、前記被測定物の表面性状を測定する検出器と、前記基準方向に略平行な駆動方向へ前記検出器を前記被測定物に対して相対駆動する駆動機構と、前記駆動機構における前記検出器の相対駆動量を検出する駆動量検出器とを備えた表面性状測定機の、前記基準方向と前記駆動方向との平行度誤差を補正する平行度誤差補正回路において、
前記平行度誤差を記憶する平行度誤差記憶回路と、
前記駆動量検出器の出力と前記平行度誤差記憶回路に記憶された前記平行度誤差とを乗算して平行度誤差補正量を算出する乗算器と、
前記平行度誤差補正量と前記検出器の出力とを加算して、平行度誤差補正済の前記被測定物の測定データを出力する加算器と、
を備えたことを特徴とする表面性状測定機の平行度誤差補正回路。 - 前記平行度誤差補正済の前記被測定物の前記測定データを表示する表示器をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の表面性状測定機の平行度誤差補正回路。
- 前記検出器から出力される信号はアナログ量であり、前記加算器はアナログ加算器であることを特徴とする請求項1または2に記載の表面性状測定機の平行度誤差補正回路。
- 前記乗算器は、前記平行度誤差と前記駆動量検出器から出力されるデジタル量とを乗算するデジタル乗算器であって、このデジタル乗算器の出力をアナログ量に変換するアナログ変換器をさらに備えたことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の表面性状測定機の平行度誤差補正回路。
- 前記駆動量検出器の出力をリセットするリセット回路をさらに備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の表面性状測定機の平行度誤差補正回路。
- 前記駆動量検出器は前記被測定物と前記検出器の相対駆動量の絶対値を検出することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の表面性状測定機の平行度誤差補正回路。
- 前記表面性状測定機は、前記検出器を前記被測定物に対して相対回転可能な回転機構を備えた真円度測定機であり、前記基準方向は、前記回転機構の回転軸心方向であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の表面性状測定機の平行度誤差補正回路。
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JP2003009439A JP2004219368A (ja) | 2003-01-17 | 2003-01-17 | 表面性状測定機の平行度誤差補正回路 |
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JP (1) | JP2004219368A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014153202A (ja) * | 2013-02-08 | 2014-08-25 | Ricoh Co Ltd | シート長計測装置 |
CN106610261A (zh) * | 2016-10-17 | 2017-05-03 | 陈畅 | 一种圆度测量仪 |
-
2003
- 2003-01-17 JP JP2003009439A patent/JP2004219368A/ja active Pending
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