JP2004204996A - 流量制御バルブ - Google Patents
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Abstract
【課題】従来の流量制御バルブにおいては開口を閉じるためのシール部のパッキングが流量制御状態において常時流体にさらされるため劣化し易い欠点があった。
【解決手段】本発明の流量制御バルブにおいては、開口に対し押圧されるシール部付き弁デスクを有する流体制御バルブにおいて、上記シール部を流体から遮断する保護カバーを用い、上記弁デスクにより上記開口を閉じるとき上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる。上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる手段を、上記開口から離れた位置に形成する。上記手段は上記保護カバーに着脱自在に係合されるピストンロッドを有する。
【選択図】 図２
【解決手段】本発明の流量制御バルブにおいては、開口に対し押圧されるシール部付き弁デスクを有する流体制御バルブにおいて、上記シール部を流体から遮断する保護カバーを用い、上記弁デスクにより上記開口を閉じるとき上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる。上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる手段を、上記開口から離れた位置に形成する。上記手段は上記保護カバーに着脱自在に係合されるピストンロッドを有する。
【選択図】 図２
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は流量制御バルブ、特に、半導体ウエハー等の処理装置に用いる流量制御バルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハーや液晶基板などの処理装置においては、ウエハーや基板を種々の処理室の壁に設けた開口を介して真空排気しており、上記壁には上記壁の開口を開閉するためにゲートバルブが設けられている（例えば、特許文献１及び２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
米国特許第６、０８９、５３７号明細書（第１−４頁、図５，図６）。
【０００４】
【特許文献２】
特開２００２−２９５６９５号公報（第３−４頁、図１，図１１）。
【０００５】
図１２及び図１３は上記米国特許第６、０８９、５３７号明細書の従来の振子式ゲートバルブを示し、１は略楕円形断面の中空の弁箱、２，３は上記弁箱１の互いに対向する壁に軸方向に対向して夫々設けた円形状の開口、４は上記一方の開口２を形成した上記弁箱１の壁の内側面に設けた弁座、５は上記弁座４に離接されるよう上記弁箱１の内部に配置した円盤状の弁デスク、７は上記弁箱１に設けた枢支軸、６はその一端を上記弁デスク５に固定し、他端を上記枢支軸７に旋回自在に枢支せしめたアーム、８は上記弁箱１に固定したアーム駆動装置、９は上記弁デスク５の上記弁座４に対接するシール部に設けたパッキングである。上記アーム駆動装置８は上記アーム６を上記枢支軸７を中心として旋回自在ならしめると共に、上記弁座４に対向せしめた後上記弁デスク５を上記アーム６を介して上記弁座４の方向に向かって押圧せしめるように構成されている。
【０００６】
上記従来の振子式ゲートバルブは上記駆動装置８を操作して、上記弁デスク５が上記弁座４に対向する位置まで上記アーム６を旋回せしめ、この状態で、さらに上記駆動装置８を操作して、上記弁デスク５を弁座４に押圧せしめ、上記弁デスク５によって開口２をシールするようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
然しながら、上記従来のゲートバルブにおいては、弁デスク５が、図１３に示すように弁座４に対向するが弁座４から離間した位置と、弁座４に完全に対向しない位置との間に変位せしめてゲートバルブを通る流量を制御する場合、シール部におけるパッキング９が常に流体にさらされた状態になり、特に、パッキング９として合成ゴム等を用いた場合には流体プラズマガスによってパッキング９が短期間に劣化し使用不能となる欠点があった。
【０００８】
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の流量制御バルブは、開口に対し押圧されるシール部付き弁デスクを有する流体制御バルブにおいて、上記シール部を流体から遮断する保護カバーと、上記弁デスクにより上記開口を閉じるとき上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる手段とを有することを特徴とする。
【００１０】
上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる上記手段は、上記開口から離れた位置に形成されていることを特徴とする。
【００１１】
上記手段は、上記保護カバーに着脱自在に係合されるピストンロッドを有することを特徴とする。
【００１２】
上記手段は、上記保護カバーを上記開口から離れた位置で保持することを特徴とする。
【００１３】
上記弁デスクは、振子式ゲートバルブの弁デスクであることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下本発明を例えば米国特許第６、０８９、５３７号明細書に示したような振子式ゲートバルブに適用した場合を説明するが、通常のゲートバルブにも同様にして適用できることは勿論である。
【００１５】
本発明においては図１及び図２に示すように弁座４に対抗するようになる弁デスク５の面を、これに設けたパッキング９を含むシール部と共に覆う金属板等の保護カバー１０を用い、弁デスク５が弁座４から離間している流量制御状態においては常時上記保護カバー１０が弁デスク５及びパッキング９を覆い、これらが流体に直接さらされないようにすると共に、弁デスク５とパッキング９によってゲートバルブの開口２を閉じるときは図３及び図４に示すように上記保護カバー１０を上記弁デスク５とパッキング９から保護カバー離脱手段１１により除去せしめるようにする。
【００１６】
上記保護カバー１０は弁デスク５とパッキング９とを覆う部分１０ａと、この部分１０ａを上記枢支軸７を中心に旋回自在にするためのアーム部分１０ｂとにより構成する。
【００１７】
本発明の実施例において弁デスク５により開口２を閉じる場合には、アーム駆動装置８を操作し枢支軸７を中心にアーム６を旋回して図５及び図６に示すように開口２を完全に開く位置（弁全開位置）に弁デスク５を移動し、この状態で弁箱１に設けた保護カバー１０の離脱手段１１によって図７に示すように保護カバー１０を弁デスク５から完全に離脱し、アーム駆動装置８を操作し、アーム６を旋回して図３及び図４に示すように保護カバー１０を弁全開位置に残したまま弁デスク５のみを開口２に対向する位置ならしめ図８に示すように上記アーム駆動装置８によって、または駆動手段１２を介して弁デスク５を弁座４に押圧せしめる。
【００１８】
上記保護カバー１０の離脱手段１１は、例えば図６及び図７に示すように弁箱１の壁内に埋め込んだ流体ピストン機構１３と、この流体ピストン機構１３のピストンロッドの頭部１４に係合するよう上記保護カバー１０の部分１０ａの外周側面に固定した係合手段１５とにより構成する。
【００１９】
上記係合手段１５は例えば図１〜図３及び図５〜図７に示すように上記ピストンロッドが入り込み得るようその一側を開口したＵ字孔１６を有し、このＵ字孔１６内に挿入されたピストンロッドの頭部１４に係合してその抜け止めとなる頂板１７と、この頂板１７と保護カバー１０の外周側面間を連結する側板１８とにより構成する。
【００２０】
また、上記駆動手段１２は、例えば図９に示すように弁デスク５とアーム６の互いに対向する面に夫々凹溝１９及び２０を設け、長手方向に沿った縦断面が菱形の角柱体２１を上記凹溝１９，２０内に共通に挿入せしめ、開口２を閉じるためアーム６を旋回せしめて弁デスク５の外周面が弁箱１に設けたストッパー２２に突き当った後は、スプリング２３に抗してアーム６が弁デスク５に相対的に再に旋回移動し、この結果図１０に示すように角柱体２１が立ち上って弁デスク５がアーム６から離れ弁座４に対接されてシールが達成されるようにする。
【００２１】
なお、上記凹溝１９，２０と角柱体２１の代りに例えば特開昭６０−２２２６７０号公報に示すリンク機構を用いても良いことは勿論である。
【００２２】
本発明の流量制御バルブは上記のような構成であるから弁デスク５が図１，図２または図５，図６に示す流量制御位置にある場合には弁デスク５とパッキング９は保護カバー１０によって流体から遮断された状態にあるため流体によるパッキング９の劣化が防がれるようになる。
【００２３】
また、ゲートバルブの開口２を閉じる場合には、アーム６を旋回して弁デスク５を図５及び図６に示すように一たん開口２から完全に離れた位置とした後保護カバー１０の除去装置１１を駆動して図７に示すように弁デスク５から保護カバー１０を除去した後図４に示すように弁デスク５を開口２に対向する位置ならしめロッド駆動装置８または駆動手段１２を介して弁デスク５をパッキング９を介して弁座４に押圧せしめれば良い。
【００２４】
なお、上記弁デスク５が水平面内を旋回する構成のゲートバルブにおいては図７に示すように弁デスク５から保護カバー１０が離脱された状態から保護カバー１０を再び弁デスク５に被せる場合にはピストン機構１３を消勢し、ピストンロッドと保護カバー１０を自重により落下せしめるようにすれば良いが、弁デスク５が水平面以外の面を旋回する構成のゲートバルブにおいてはアーム部分１０ｂの基部と弁箱１との間にスプリングを介挿して保護カバー１０を押し下げるようにすれば良い。
【００２５】
【発明の効果】
上記のように本発明の流量制御バルブによれば、流量制御状態において流体によってシール部のパッキングが劣化するのを阻止できるようになる大きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の流量制御バルブの弁がデスクが開口に対向した流量制御状態における正面図である。
【図２】図１の２−２線断面図である。
【図３】本発明の流量制御バルブの弁がデスクが開口に対向した弁閉準備状態の正面図である。
【図４】図３の４−４線断面図である。
【図５】本発明の流量制御バルブの弁デスクが開口を全開した状態における正面図である。
【図６】図５の６−６線断面図である。
【図７】本発明の保護カバー離脱手段を作動せしめた状態を示す断面図である。
【図８】本発明の流量制御バルブの開口全閉位置を示す断面図である。
【図９】本発明の流量制御バルブにおける弁デスク駆動手段の動作説明図である。
【図１０】本発明の流量制御バルブにおける弁デスク駆動手段の動作説明図である。
【図１１】図３の１１−１１線断面図である。
【図１２】従来の振子式ゲートバルブの斜視図である。
【図１３】従来の振子式ゲートバルブの縦断側面図である。
【符号の説明】
１ 弁箱
２ 開口
３ 開口
４ 弁座
５ 弁デスク
６ アーム
７ 枢支軸
８ アーム駆動装置
９ パッキング
１０ 保護カバー
１０ａ 部分
１０ｂ 部分
１１ 離脱手段
１２ 駆動手段
１３ 流体ピストン機構
１４ 頭部
１５ 係合手段
１６ Ｕ字孔
１７ 頂板
１８ 側板
１９ 凹溝
２０ 凹溝
２１ 角柱体
２２ ストッパー
２３ スプリング
【発明の属する技術分野】
本発明は流量制御バルブ、特に、半導体ウエハー等の処理装置に用いる流量制御バルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハーや液晶基板などの処理装置においては、ウエハーや基板を種々の処理室の壁に設けた開口を介して真空排気しており、上記壁には上記壁の開口を開閉するためにゲートバルブが設けられている（例えば、特許文献１及び２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
米国特許第６、０８９、５３７号明細書（第１−４頁、図５，図６）。
【０００４】
【特許文献２】
特開２００２−２９５６９５号公報（第３−４頁、図１，図１１）。
【０００５】
図１２及び図１３は上記米国特許第６、０８９、５３７号明細書の従来の振子式ゲートバルブを示し、１は略楕円形断面の中空の弁箱、２，３は上記弁箱１の互いに対向する壁に軸方向に対向して夫々設けた円形状の開口、４は上記一方の開口２を形成した上記弁箱１の壁の内側面に設けた弁座、５は上記弁座４に離接されるよう上記弁箱１の内部に配置した円盤状の弁デスク、７は上記弁箱１に設けた枢支軸、６はその一端を上記弁デスク５に固定し、他端を上記枢支軸７に旋回自在に枢支せしめたアーム、８は上記弁箱１に固定したアーム駆動装置、９は上記弁デスク５の上記弁座４に対接するシール部に設けたパッキングである。上記アーム駆動装置８は上記アーム６を上記枢支軸７を中心として旋回自在ならしめると共に、上記弁座４に対向せしめた後上記弁デスク５を上記アーム６を介して上記弁座４の方向に向かって押圧せしめるように構成されている。
【０００６】
上記従来の振子式ゲートバルブは上記駆動装置８を操作して、上記弁デスク５が上記弁座４に対向する位置まで上記アーム６を旋回せしめ、この状態で、さらに上記駆動装置８を操作して、上記弁デスク５を弁座４に押圧せしめ、上記弁デスク５によって開口２をシールするようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
然しながら、上記従来のゲートバルブにおいては、弁デスク５が、図１３に示すように弁座４に対向するが弁座４から離間した位置と、弁座４に完全に対向しない位置との間に変位せしめてゲートバルブを通る流量を制御する場合、シール部におけるパッキング９が常に流体にさらされた状態になり、特に、パッキング９として合成ゴム等を用いた場合には流体プラズマガスによってパッキング９が短期間に劣化し使用不能となる欠点があった。
【０００８】
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の流量制御バルブは、開口に対し押圧されるシール部付き弁デスクを有する流体制御バルブにおいて、上記シール部を流体から遮断する保護カバーと、上記弁デスクにより上記開口を閉じるとき上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる手段とを有することを特徴とする。
【００１０】
上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる上記手段は、上記開口から離れた位置に形成されていることを特徴とする。
【００１１】
上記手段は、上記保護カバーに着脱自在に係合されるピストンロッドを有することを特徴とする。
【００１２】
上記手段は、上記保護カバーを上記開口から離れた位置で保持することを特徴とする。
【００１３】
上記弁デスクは、振子式ゲートバルブの弁デスクであることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下本発明を例えば米国特許第６、０８９、５３７号明細書に示したような振子式ゲートバルブに適用した場合を説明するが、通常のゲートバルブにも同様にして適用できることは勿論である。
【００１５】
本発明においては図１及び図２に示すように弁座４に対抗するようになる弁デスク５の面を、これに設けたパッキング９を含むシール部と共に覆う金属板等の保護カバー１０を用い、弁デスク５が弁座４から離間している流量制御状態においては常時上記保護カバー１０が弁デスク５及びパッキング９を覆い、これらが流体に直接さらされないようにすると共に、弁デスク５とパッキング９によってゲートバルブの開口２を閉じるときは図３及び図４に示すように上記保護カバー１０を上記弁デスク５とパッキング９から保護カバー離脱手段１１により除去せしめるようにする。
【００１６】
上記保護カバー１０は弁デスク５とパッキング９とを覆う部分１０ａと、この部分１０ａを上記枢支軸７を中心に旋回自在にするためのアーム部分１０ｂとにより構成する。
【００１７】
本発明の実施例において弁デスク５により開口２を閉じる場合には、アーム駆動装置８を操作し枢支軸７を中心にアーム６を旋回して図５及び図６に示すように開口２を完全に開く位置（弁全開位置）に弁デスク５を移動し、この状態で弁箱１に設けた保護カバー１０の離脱手段１１によって図７に示すように保護カバー１０を弁デスク５から完全に離脱し、アーム駆動装置８を操作し、アーム６を旋回して図３及び図４に示すように保護カバー１０を弁全開位置に残したまま弁デスク５のみを開口２に対向する位置ならしめ図８に示すように上記アーム駆動装置８によって、または駆動手段１２を介して弁デスク５を弁座４に押圧せしめる。
【００１８】
上記保護カバー１０の離脱手段１１は、例えば図６及び図７に示すように弁箱１の壁内に埋め込んだ流体ピストン機構１３と、この流体ピストン機構１３のピストンロッドの頭部１４に係合するよう上記保護カバー１０の部分１０ａの外周側面に固定した係合手段１５とにより構成する。
【００１９】
上記係合手段１５は例えば図１〜図３及び図５〜図７に示すように上記ピストンロッドが入り込み得るようその一側を開口したＵ字孔１６を有し、このＵ字孔１６内に挿入されたピストンロッドの頭部１４に係合してその抜け止めとなる頂板１７と、この頂板１７と保護カバー１０の外周側面間を連結する側板１８とにより構成する。
【００２０】
また、上記駆動手段１２は、例えば図９に示すように弁デスク５とアーム６の互いに対向する面に夫々凹溝１９及び２０を設け、長手方向に沿った縦断面が菱形の角柱体２１を上記凹溝１９，２０内に共通に挿入せしめ、開口２を閉じるためアーム６を旋回せしめて弁デスク５の外周面が弁箱１に設けたストッパー２２に突き当った後は、スプリング２３に抗してアーム６が弁デスク５に相対的に再に旋回移動し、この結果図１０に示すように角柱体２１が立ち上って弁デスク５がアーム６から離れ弁座４に対接されてシールが達成されるようにする。
【００２１】
なお、上記凹溝１９，２０と角柱体２１の代りに例えば特開昭６０−２２２６７０号公報に示すリンク機構を用いても良いことは勿論である。
【００２２】
本発明の流量制御バルブは上記のような構成であるから弁デスク５が図１，図２または図５，図６に示す流量制御位置にある場合には弁デスク５とパッキング９は保護カバー１０によって流体から遮断された状態にあるため流体によるパッキング９の劣化が防がれるようになる。
【００２３】
また、ゲートバルブの開口２を閉じる場合には、アーム６を旋回して弁デスク５を図５及び図６に示すように一たん開口２から完全に離れた位置とした後保護カバー１０の除去装置１１を駆動して図７に示すように弁デスク５から保護カバー１０を除去した後図４に示すように弁デスク５を開口２に対向する位置ならしめロッド駆動装置８または駆動手段１２を介して弁デスク５をパッキング９を介して弁座４に押圧せしめれば良い。
【００２４】
なお、上記弁デスク５が水平面内を旋回する構成のゲートバルブにおいては図７に示すように弁デスク５から保護カバー１０が離脱された状態から保護カバー１０を再び弁デスク５に被せる場合にはピストン機構１３を消勢し、ピストンロッドと保護カバー１０を自重により落下せしめるようにすれば良いが、弁デスク５が水平面以外の面を旋回する構成のゲートバルブにおいてはアーム部分１０ｂの基部と弁箱１との間にスプリングを介挿して保護カバー１０を押し下げるようにすれば良い。
【００２５】
【発明の効果】
上記のように本発明の流量制御バルブによれば、流量制御状態において流体によってシール部のパッキングが劣化するのを阻止できるようになる大きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の流量制御バルブの弁がデスクが開口に対向した流量制御状態における正面図である。
【図２】図１の２−２線断面図である。
【図３】本発明の流量制御バルブの弁がデスクが開口に対向した弁閉準備状態の正面図である。
【図４】図３の４−４線断面図である。
【図５】本発明の流量制御バルブの弁デスクが開口を全開した状態における正面図である。
【図６】図５の６−６線断面図である。
【図７】本発明の保護カバー離脱手段を作動せしめた状態を示す断面図である。
【図８】本発明の流量制御バルブの開口全閉位置を示す断面図である。
【図９】本発明の流量制御バルブにおける弁デスク駆動手段の動作説明図である。
【図１０】本発明の流量制御バルブにおける弁デスク駆動手段の動作説明図である。
【図１１】図３の１１−１１線断面図である。
【図１２】従来の振子式ゲートバルブの斜視図である。
【図１３】従来の振子式ゲートバルブの縦断側面図である。
【符号の説明】
１ 弁箱
２ 開口
３ 開口
４ 弁座
５ 弁デスク
６ アーム
７ 枢支軸
８ アーム駆動装置
９ パッキング
１０ 保護カバー
１０ａ 部分
１０ｂ 部分
１１ 離脱手段
１２ 駆動手段
１３ 流体ピストン機構
１４ 頭部
１５ 係合手段
１６ Ｕ字孔
１７ 頂板
１８ 側板
１９ 凹溝
２０ 凹溝
２１ 角柱体
２２ ストッパー
２３ スプリング
Claims (5)
- 開口に対し押圧されるシール部付き弁デスクを有する流体制御バルブにおいて、上記シール部を流体から遮断する保護カバーと、上記弁デスクにより上記開口を閉じるとき上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる手段とを有することを特徴とする流量制御バルブ。
- 上記保護カバーを上記シール部から離脱せしめる上記手段が、上記開口から離れた位置に形成されていることを特徴とする請求項１記載の流量制御バルブ。
- 上記手段が上記保護カバーに着脱自在に係合されるピストンロッドを有することを特徴とする請求項２記載の流量制御バルブ。
- 上記手段が上記保護カバーを上記開口から離れた位置で保持することを特徴とする請求項１、２または３記載の流量制御バルブ。
- 上記弁デスクが振子式ゲートバルブの弁デスクであることを特徴とする請求項１、２、３または４記載の流量制御バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002376766A JP2004204996A (ja) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 流量制御バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002376766A JP2004204996A (ja) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 流量制御バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004204996A true JP2004204996A (ja) | 2004-07-22 |
Family
ID=32814142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002376766A Pending JP2004204996A (ja) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 流量制御バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004204996A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100132891A1 (en) * | 2007-05-08 | 2010-06-03 | Tokyo Electron Limited | Valve and processing apparatus provided with the same |
| US8215612B2 (en) | 2008-06-12 | 2012-07-10 | Vat Holding Ag | Sliding valve |
| CN102797861A (zh) * | 2012-08-28 | 2012-11-28 | 中联重科股份有限公司 | 截止阀以及混凝土输送系统 |
| JP2014052062A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Progressio Kk | 真空用ゲートバルブ |
| JP2017078515A (ja) * | 2016-11-29 | 2017-04-27 | 住友重機械工業株式会社 | 真空用ゲートバルブ |
-
2002
- 2002-12-26 JP JP2002376766A patent/JP2004204996A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100132891A1 (en) * | 2007-05-08 | 2010-06-03 | Tokyo Electron Limited | Valve and processing apparatus provided with the same |
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| CN102797861A (zh) * | 2012-08-28 | 2012-11-28 | 中联重科股份有限公司 | 截止阀以及混凝土输送系统 |
| CN102797861B (zh) * | 2012-08-28 | 2014-07-16 | 中联重科股份有限公司 | 截止阀以及混凝土输送系统 |
| JP2014052062A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Progressio Kk | 真空用ゲートバルブ |
| JP2017078515A (ja) * | 2016-11-29 | 2017-04-27 | 住友重機械工業株式会社 | 真空用ゲートバルブ |
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