JP2004196471A - テープ状材料の搬送装置 - Google Patents
テープ状材料の搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004196471A JP2004196471A JP2002365791A JP2002365791A JP2004196471A JP 2004196471 A JP2004196471 A JP 2004196471A JP 2002365791 A JP2002365791 A JP 2002365791A JP 2002365791 A JP2002365791 A JP 2002365791A JP 2004196471 A JP2004196471 A JP 2004196471A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- drive roll
- conveying device
- section
- printing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Controlling Rewinding, Feeding, Winding, Or Abnormalities Of Webs (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Screen Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】テープ状材料を略水平方向に連続的に搬送するテープ状材料の搬送装置において、該搬送装置内において前記テープ状材料を上下に蛇行させる手段を有する。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープ状材料を略水平方向に連続的に搬送するテープ状材料の搬送装置、特に、スクリーン印刷法により半導体装置用フィルムキャリア上にソルダーレジスト等のレジストインクを塗布するためのソルダーレジスト印刷装置に使用される搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
テープ状材料を略水平方向に連続的に搬送するテープ状材料の搬送装置の一例として、ソルダーレジスト印刷装置がある。
従来のソルダーレジスト印刷装置は、図3に示されるように、材料を送り出すためのローダー部1と、インクを塗布するためのインク印刷部3と、塗布されたレジストインクを乾燥させるための乾燥炉5と、被印刷材料を巻き取るためのアンローダー部4とから構成される。特に、TABテープキャリアのソルダーレジスト印刷装置においては、ローダー部から始まり処理部(印刷部)、アンローダー部へと続く一連の処理が連続的に行われ、このような搬送方式をリール・to・リール方式と呼ぶ。リール・to・リール方式は連続的な処理であるので量産性に優れているが、連続的処理であるが故にデメリットもある。
【0003】
上記印刷装置の場合、印刷部3直後(インクの塗布直後)に即座に乾燥炉5に入るが、この装置の場合、特に、印刷時に気泡を巻き込みやすいレジストインク、または、印刷後に気泡が抜けにくいレジストインクを塗布する際には不適である。(なお、スクリーン印刷法によれば、その原理から必ず気泡は巻き込んでいる。ただし、レジストインクの種類によっては、気泡量の多少や気泡の抜けやすさには若干の差が有る。)その理由は、気泡を巻き込んだ状態で(直ちに)乾燥炉5に入ることから、気泡が抜けずにレジストインクが硬化し、いわゆるボイド状に残った部分においてレジストインクが欠陥するので、特に電子部品材料などでは電気的不良の原因となるからである。また、ボイドがあると外観的にも好ましくない。
【0004】
つまり、気泡を抜くためには、レジストインクを塗布してから乾燥炉で硬化させるまでの時間を長くする必要があるが、従来の印刷装置では、印刷部(印刷機)直後に乾燥炉があるので、気泡を抜くために必要なだけの充分な時間が取れず、ボイド不良が発生する。ライン速度を遅くして乾燥炉までの時間を長くする方法も考えられるが、その場合には単純に時間あたりの生産性が低下してしまう。
【0005】
一方、気泡を抜くために、図4に示されるように、乾燥炉を用いないで未硬化のまま被印刷材料をアンローダー部4で巻き取る方式(その後、乾燥工程をバッチ式で行う)も考えられる。このような方式としては、例えば、下記特許文献に開示されるものがある。
【特許文献1】
特開2000−323530号公報(6頁、図3)
【特許文献2】
特開2001−110852号公報(2頁)
【0006】
しかしながら、この方式では、リール状の被印刷材料が乾燥工程に供給されるので、レジストが十分に熱や空気の流れに接触できないこと、リールの内側部、外側部の昇温速度(設定温度への到達時間)が異なること等の理由により、レジストインクの乾燥ムラ、硬化ムラが発生し製品品質のばらつきの原因になる。
【0007】
そこで、図5に示されるように、レジストインクから気泡を抜いてから(徐々に乾燥工程に移行しつつ)硬化させるために複数台の乾燥炉5を設置し、低温から高温まで徐々に昇温させる方式が提案されている。図5の装置においては、通常、複数の乾燥炉5が各々異なった温度に設定され、初期には比較的低温の乾燥炉においてレジストインクの硬化を抑えながら脱泡・乾燥が行なわれ、終期には比較的高温の乾燥炉においてレジストインクの硬化が行なわれる。この方式では、ボイド不良の発生が防止できるとともに、レジストインクの乾燥ムラ、硬化ムラを回避することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記提案された複数の乾燥炉を設置して徐々に昇温させる方式では、複数の乾燥炉を設置するために設置面積・設置コストが増加するという問題がある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、テープ状材料を略水平方向に連続的に搬送するテープ状材料の搬送装置において、設置面積・設置コストを抑えながら、搬送に要する時間を充分長くするため、該搬送装置内において前記テープ状材料を上下に蛇行させる手段を有するようにしたテープ状材料の搬送装置を提供するものである。
【0010】
上記蛇行手段は、搬送装置の入口に設けられる入口駆動ロールと、搬送装置の上部に設けられる少なくとも1個の上部駆動ロールと、搬送装置の出口に設けられる出口駆動ロールとから構成され、テープ状材料が入口駆動ロールと上部駆動ロールの間の区間、一の上部駆動ロールと隣り合う上部駆動ロールの間の区間及び上部駆動ロールと出口駆動ロールとの間の区間で垂下するように各駆動ロールに懸架されて搬送されることが好ましい。
【0011】
本発明の別の側面によれば、テープ状材料を略水平方向に連続的に搬送するテープ状材料の搬送装置であって、搬送装置の入口に設けられる入口駆動ロールと、搬送装置の上部に設けられる少なくとも1個の上部駆動ロールと、搬送装置の出口に設けられる出口駆動ロールと、搬送装置の下部に設けられるテープ状材料の鉛直方向位置を検出するための光学的センサとから構成され、テープ状材料が入口駆動ロールと上部駆動ロールの間の区間、一の上部駆動ロールと隣り合う上部駆動ロールの間の区間及び上部駆動ロールと出口駆動ロールとの間の区間で垂下するように各駆動ロールに懸架され、光学的センサにより、垂下したテープ状材料の底が所定の鉛直方向位置に維持されながら搬送されるテープ状材料の搬送装置が提供される。
【0012】
上記光学的センサは、テープ状材料が垂下した底付近に設けられ、垂下した該テープ状材料の底の鉛直方向上限を規定する上部センサと鉛直方向下限を規定する下部センサとから構成され、光学的センサにより、垂下したテープ状材料の底が上限付近と下限付近との間の位置に維持されながら搬送されることが好ましい。
一方、上記光学的センサに代えて、上記各区間においてテープ状材料上に載置され移動可能なフリーロールを備えても良い。
上記搬送装置は、該装置内のテープ状材料の搬送経路の少なくとも一部を真空又は略真空状態にする手段を有しても良く、それにより、テープ状材料にレジストインクが塗布された場合には、より迅速に該レジストインク中に含まれた気泡が除去できる。
【0013】
上記搬送装置は、フォトレジスト塗布後のベーキング処理を行うベーキング部、テープ状材料に形成された層のめっき処理を行うめっき部、又はめっき後の洗浄処理を行う洗浄部に組み込まれても良く、それにより、当該ベーキング処理、めっき処理、洗浄処理に要する時間を長くすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明のテープ状材料の搬送装置をソルダーレジスト印刷装置に適用した実施の形態を示す。
図1に示されるように、被印刷材料12がローダー部11から巻き出される。被印刷材料12は、スクリーン印刷法によりレジストインクを塗布するための印刷部(印刷機)13においてレジストインクを塗布され後、蛇行装置14、次いで乾燥炉15を通り、最後にアンローダー部16により巻き取られる。
【0015】
図2は、蛇行装置14の構成を示す。図2に示されるように、蛇行装置14は、光学的センサと、各光学的センサ21−U〜24−U及び21−L〜24−Lと電気的に接続された各駆動ロール25〜29とから主として構成され、これらは支柱(図示せず)で固定されている。図2に示されるように、被印刷材料12は、蛇行装置14により上下方向に蛇行させられるので、搬送距離が長くなる。なお、図2の構成では、入口および出口の駆動ロール25、29を除き3個の(上部)駆動ロール26〜29を設けているが、印刷装置の設置条件が許せば、入口および出口の駆動ロール25、29を除き最低で1個の(上部)駆動ロールがあれば良い。即ち、設置条件において、印刷装置が設置される場所の高さに制限が無ければ、被印刷材料12の搬送距離が十分に長くなる高さ(後述の具体例のように、搬送距離を15m取ろうとすれば、約7.5mの高さ)に1個の(上部)駆動ロールを設置すれば良い。
【0016】
蛇行装置14の動作例を、図2を参照しつつ説明する。駆動ロール25が駆動し、被印刷材料12を送り出す。下部センサ21−Lのレベルまで被印刷材料12が垂れ下がる。下部センサ21−Lが被印刷材料12を検出したとき、次段の駆動ロール26に駆動信号を出力し(同時に駆動ロール25に停止信号を出力する)、駆動ロール26が駆動して被印刷材料12を引き上げると同時に被印刷材料12を搬送方向に送り出す。次いで、被印刷材料12が引き上げられ上部センサ21−Uを通過したことを上部センサ21−Uが検出したとき、駆動ロール26に停止信号を出力し(同時に駆動ロール25に駆動信号を出力する)、駆動ロール26が停止すると共に駆動ロール25の駆動により被印刷材料12が送り出される。一方、先の駆動信号の出力により、駆動ロール26により送り出された被印刷材料12が下部センサ22−Lのレベルまで垂れ下がる。下部センサ22−Lが被印刷材料12を検出したとき、次段の駆動ロール27に駆動信号を出力し(同時に駆動ロール26に停止信号を出力する)、駆動ロール27が駆動して被印刷材料12を引き上げると同時に被印刷材料12を搬送方向に送り出す。以降、同様の動作が行われ、被印刷材料12が搬送される。
【0017】
なお、図2に示す実施の形態では、被印刷材料12の搬送制御のために、光学的センサ21−U〜24−U及び21−L〜24−Lと駆動ロール25〜29とを使用したが、光学的センサの代わりに、被印刷材料12上に所定間隔で複数のフリーロールを配置して、一のフリーロールのレベルが(自重によって)上下するような構造とし、該フリーロールが下限に来たときに次段の駆動ロールが回り出し、上限に来たときに次段の駆動ロールが停止するようにしても良い。このようなフリーロールを採用する場合、被印刷材料12の印刷面が上方に面しているため、フリーロールが該印刷面の有効印刷領域に接触しないように、フリーロールに適当な溝を形成することが望ましい。
【0018】
このように、被印刷材料12が蛇行装置14により上下方向に蛇行して搬送されるので、蛇行装置14によって、設置面積(特に、搬送方向の長さ)を増加させずに搬送距離を著しく長く取ることができ、それにより、レジストインク塗布後の放置時間を充分長くすることが可能となる。
【0019】
具体的に、蛇行装置全体の外形寸法を搬送方向に2m、幅方向に1m、高さ方向に3mとすれば、蛇行装置下部に設けたセンサから上部に設けた駆動ロールまでの高低差は約2.5m程度確保できる。このため、1ターン(一回の上下搬送)の間に約5m(=2×2.5m)の搬送距離が確保され、これを3ターン繰り返せば約15mの搬送距離を確保できる。従って、搬送速度を0.5m/分とすれば、蛇行装置を通過するのに30分の放置時間を確保できる。
【0020】
印刷部の直後に乾燥炉を有する従来の印刷装置と比較すると、搬送方向に2mの搬送距離が与えられても、0.5m/分の搬送速度で4分程度の放置時間しか取ることができない。このように、本発明のように蛇行装置を使用することにより、同じ設置面積(特に、搬送方向の長さ)においても、搬送距離を著しく長く取ることができる。
【0021】
【実施例】
本発明の実施例によるソルダーレジスト印刷装置の基本的構成は図4と同様である。印刷機はニューロング精密工業(株)製のTABテープ用印刷装置を使用した。蛇行装置の寸法は、上記した寸法であり、印刷後から乾燥炉に入るまでの放置時間は、搬送速度を0.5m/minとした場合、約30min程度確保できる大きさのものである。
被印刷材料であるCOFテープキャリアは、住友金属鉱山製のエスパーフレックスを使用し、銅層厚さ8μm/ポリイミドテープ(カプトン)厚さ38μmの一般的な2層構造からなる。銅層はエッチング法により配線パターンを形成させた。配線パターン上の表面処理としては無電解錫めっきを施した。
印刷材料であるソルダーレジストは日立化成(株)製のSN9000を使用した。SN9000は折り曲げ性に大変優れていることから、COFの印刷材料としては最も一般的なソルダーレジストである。
【0022】
印刷諸条件を下記に示す。印刷用スクリーン版は、(株)ムラカミ製の印刷版を使用し、紗の線径はφ50μm、メッシュサイズは180メッシュ、乳剤厚さは20μmのものを使用した。スキージは一般的なシリコン製スキージとし、その硬度は80°のものを使用した。また、プリント速度(スキージがシフトする速度)は100mm/s、コート速度(スクレッパーでインクを返す速度)は150mm/sとした。
【0023】
印刷、乾燥後のボイド数の測定結果を表1に示す。製品の点検長さは約10m(製品として420ピース相当)とし、その長さの中に存在したボイド数をカウントした。点検時の顕微鏡倍率は15倍とした。
実施例1は、搬送速度を0.25m/minとし、実施例2は、搬送速度を0.50m/min、実施例3は搬送速度を0.75m/minとした場合、比較例は搬送速度を1.00m/minとした場合であり、これらは何れの場合においても、前述の構造の蛇行装置を使用した場合の実施例である。従来例は搬送速度を0.50m/minとし、蛇行装置を使用せず、印刷後にすぐ乾燥炉を通過する場合である。
【表1】
【0024】
表1より、従来例では印刷後から乾燥炉までの放置時間がほとんど無いため、ソルダーレジスト乾燥後においてボイドが多発した。これに対し、実施例1〜3の場合、何れの場合もボイドは観測されなかった。また、比較例の場合にはボイドがわずかにカウントされた。比較例の場合の放置時間は約15分であるから、SN9000の印刷においては、乾燥前に最低でも15分以上の放置時間は必要であると推測される。ライン速度を0.75m/分とした場合、直線の搬送系であれば11.2m以上の放置スペースが必要であったのに対し、本発明の蛇行装置を使用することにより、わずか1.5〜2m程度の放置スペースで済み、しかも同等の放置時間が確保できる。
【0025】
実施例1〜3は、ソルダーレジストの印刷装置に関するものであるが、本発明の搬送装置は、印刷装置以外の製造装置にも適用できる。
例えば、フォトレジスト塗布後のベーキング工程においてベーク炉(ベーキング工程)の中に本発明の搬送装置を組み込めば省スペースで長時間のベークが実現できる。また、めっき槽(めっき工程)の中に本発明の搬送装置を組み込めば省スペースで長時間のめっきが実現できる。さらに、めっき後の洗浄槽(洗浄工程)の中に組み込んでも同様の効果が得られる。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明のテープ状材料の搬送装置によれば、該搬送装置内においてテープ状材料を上下に蛇行させる手段を有するようにしたため、テープ状材料を略水平方向に連続的に搬送するテープ状材料の搬送装置において、設置面積・設置コストを抑えながら、搬送に要する時間を充分長くすることができる。
特に、連続生産方式であるリール・to・リール方式の印刷装置において、上記搬送装置を組み込むことにより、設置面積・設置コストの増加を抑えながら、レジストインクに巻き込まれた気泡を脱泡させるのに充分な時間が取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の搬送装置をソルダーレジスト印刷装置に組み込んだ実施例を示す。
【図2】上記実施例における蛇行装置14を示す。
【図3】乾燥炉付きの従来の印刷装置を示す。
【図4】乾燥炉を有しない従来の印刷装置を示す。
【図5】複数の乾燥炉を有する従来提案される印刷装置を示す。
【符号の説明】
1、11:ローダー部
2、12:被印刷材料
3、13:印刷部
4、16:アンローダー部
5、15:乾燥炉
14:蛇行装置
21−L〜24−L:下部センサ
21−U〜24−U:上部センサ
25:入口駆動ロール
26〜28:上部駆動ロール
29:出口駆動ロール
Claims (8)
- テープ状材料を略水平方向に連続的に搬送するテープ状材料の搬送装置であって、該搬送装置内において前記テープ状材料を上下に蛇行させる手段を有するテープ状材料の搬送装置。
- 前記蛇行手段が、前記搬送装置の入口に設けられる入口駆動ロールと、前記搬送装置の上部に設けられる少なくとも1個の上部駆動ロールと、前記搬送装置の出口に設けられる出口駆動ロールとから構成され、前記テープ状材料が前記入口駆動ロールと前記上部駆動ロールの間の区間、一の前記上部駆動ロールと隣り合う前記上部駆動ロールの間の区間及び前記上部駆動ロールと前記出口駆動ロールとの間の区間で垂下するように各駆動ロールに懸架されて搬送される請求項1に記載のテープ状材料の搬送装置。
- テープ状材料を略水平方向に連続的に搬送するテープ状材料の搬送装置であって、
前記搬送装置の入口に設けられる入口駆動ロールと、
前記搬送装置の上部に設けられる少なくとも1個の上部駆動ロールと、
前記搬送装置の出口に設けられる出口駆動ロールと、
前記搬送装置の下部に設けられる前記テープ状材料の鉛直方向位置を検出するための光学的センサとから構成され、
前記テープ状材料が前記入口駆動ロールと前記上部駆動ロールの間の区間、一の前記上部駆動ロールと隣り合う前記上部駆動ロールの間の区間及び前記上部駆動ロールと前記出口駆動ロールとの間の区間で垂下するように各駆動ロールに懸架され、前記光学的センサにより、垂下した前記テープ状材料の底が所定の鉛直方向位置に維持されながら搬送されるテープ状材料の搬送装置。 - 前記光学的センサが、前記テープ状材料が垂下した底付近に設けられ、垂下した該テープ状材料の底の鉛直方向上限を規定する上部センサと鉛直方向下限を規定する下部センサとから構成され、前記光学的センサにより、垂下した前記テープ状材料の底が前記上限付近と下限付近との間の位置に維持されながら搬送される請求項3に記載のテープ状材料の搬送装置。
- 前記光学的センサに代えて、前記各区間において前記テープ状材料上に載置され移動可能なフリーロールを備える請求項3に記載のテープ状材料の搬送装置。
- 前記搬送装置が、該装置内の前記テープ状材料の搬送経路の少なくとも一部を真空又は略真空状態にする手段を有する請求項1〜5の何れかに記載のテープ状材料の搬送装置。
- 前記テープ状材料が被印刷材料であり、前記搬送装置が、被印刷材料にレジストインクを塗布するソルダーレジスト印刷部と、塗布したレジストインクを乾燥する乾燥部との間に配置される請求項1〜6の何れかに記載のテープ状材料の搬送装置。
- 前記搬送装置が、フォトレジスト塗布後のベーキング処理を行うベーキング部、前記テープ状材料に形成された層のめっき処理を行うめっき部、又はめっき後の洗浄処理を行う洗浄部に組み込まれ、当該ベーキング処理、めっき処理、洗浄処理に要する時間を長くする請求項1〜5の何れかに記載のテープ状材料の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002365791A JP2004196471A (ja) | 2002-12-17 | 2002-12-17 | テープ状材料の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002365791A JP2004196471A (ja) | 2002-12-17 | 2002-12-17 | テープ状材料の搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004196471A true JP2004196471A (ja) | 2004-07-15 |
Family
ID=32763241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002365791A Pending JP2004196471A (ja) | 2002-12-17 | 2002-12-17 | テープ状材料の搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004196471A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109435457A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-03-08 | 深圳市威利特自动化设备有限公司 | 多层循环隧道炉 |
-
2002
- 2002-12-17 JP JP2002365791A patent/JP2004196471A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109435457A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-03-08 | 深圳市威利特自动化设备有限公司 | 多层循环隧道炉 |
CN109435457B (zh) * | 2018-10-24 | 2024-02-09 | 深圳市威利特自动化设备有限公司 | 多层循环隧道炉 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4341978B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP4384685B2 (ja) | 常圧乾燥装置及び基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR101845090B1 (ko) | 도포막 형성 장치 및 도포막 형성 방법 | |
JP4743716B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP4384686B2 (ja) | 常圧乾燥装置及び基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2009076547A (ja) | 常圧乾燥装置及び基板処理装置及び基板処理方法 | |
US20120064250A1 (en) | Method and apparatus for transporting a print support | |
JP4721289B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP4121122B2 (ja) | 熱処理装置および熱処理装置内温度制御方法 | |
JP5063712B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
WO2015155817A1 (ja) | プリント基板用搬送装置 | |
JP2004196471A (ja) | テープ状材料の搬送装置 | |
KR20110031112A (ko) | 열처리장치 | |
KR20130061852A (ko) | 필름의 열처리 장치 | |
JP4046697B2 (ja) | 両面エッチングシステム | |
JP2008157541A (ja) | フラットパネル熱処理炉 | |
JP2005026554A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
TWI623480B (zh) | Manufacturing system | |
JP4233350B2 (ja) | 膜形成素材を含む基板の乾燥方法及び乾燥炉 | |
JP2004230831A (ja) | 導電材の印刷装置、印刷マスクのクリーニング方法および印刷マスクのクリーニングプログラム | |
JP6178235B2 (ja) | パターン形成方法、パターン印刷方法、パターン形成システムおよびパターン印刷システム | |
JP4364743B2 (ja) | 長尺薄帯状部材用搬送装置を備えた長尺薄帯状部材用処理装置及びフィルムキャリアテープ用搬送装置を備えたスクリーン印刷機 | |
JP6916833B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
JP2010228126A (ja) | アニールコンベヤ | |
JP2010186929A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050415 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20070208 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070220 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20070420 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070522 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071009 |