JP2004186457A - Iii−v族化合物半導体結晶の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】CドープGaAsSb化合物半導体を有機金属気相成長法を用いて成長する際に、Cドープと同時に組成を制御して高品質化するIII−V族化合物半導体結晶の作製方法を提供する。
【解決手段】V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、ハロゲン化炭素の添加量に応じて、As供給ガスとして用いるAsH3の供給量を減少させる。つまり、ハロゲン化炭素を供給している時間t1〜t2だけ、AsH3の供給量を減少させる。これによって、ハロゲン化炭素の作用によりAsH3の分解が促進され、気相中の実効的なAs供給量が増加する分を、あらかじめAsH3の供給量から差し引くことにより、ハロゲン化炭素による組成ズレを防ぎ、結晶の高品質化を図ることが可能となる。
【選択図】 図1
【解決手段】V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、ハロゲン化炭素の添加量に応じて、As供給ガスとして用いるAsH3の供給量を減少させる。つまり、ハロゲン化炭素を供給している時間t1〜t2だけ、AsH3の供給量を減少させる。これによって、ハロゲン化炭素の作用によりAsH3の分解が促進され、気相中の実効的なAs供給量が増加する分を、あらかじめAsH3の供給量から差し引くことにより、ハロゲン化炭素による組成ズレを防ぎ、結晶の高品質化を図ることが可能となる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機金属気相成長法を用いてC(炭素)ドープGaAsSb化合物半導体を作製するIII−V族化合物半導体結晶の作製方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
As(ヒ素)とSb(アンチモン)とを含むIII−V族化合物半導体として、代表的なものにGaAsSbがある。このGaAsSbの成長に着目して、以下に従来技術について説明する。
【0003】
GaAsSb化合物半導体は、へテロ接合バイポーラトランジスタ(Heterostructure Bipolar Transistor:HBT)のバンド構造プロファイルに、化合物半導体のへテロ構造で一般的なtype−1のほかにtype−2構造を、一部に導入するために用いられる。このtype−1構造を図5(a)に示し、type−2構造を図5(b)に示す。なお、図5では、(c)がtype−3構造を示す。このような用途のほかに、GaAsSb化合物半導体は、他材料との屈折率差を利用した半導体レーザーの反射鏡、長波長領域の発光・受光素子などへの応用が期待されている。
【0004】
これらの素子を作製するにあたって、一般的にn型ないしp型にドーピングされたGaAsSbが必要となる。ドーピングされたGsAsSbの結晶品質が素子の性能・信頼性に与える影響が非常に大きく、高い品質が要求される。
【0005】
化合物半導体を作製するために一般的に用いられている有機金属気相成長法では、Ga(ガリウム)とAsとを含む化合物半導体をp型にドーピングするために、p型ドーパントとしてCを用いることが有効とされている。これは、他にp型ドーパントとして用いられることがあるZn(亜鉛)やBe(ベリリウム)などと比較してメモリ効果がないことや、デバイス性能の劣化の原因となる半導体層内での意図しないドーパント原子の拡散が非常に小さいため、などである。この点については、次の文献1に記載されている。なお、メモリ効果は、配管内壁やリアクター内にドーパントが不要に吸着し、ドーパントの供給を止めても、そこからドーパントの脱離が生じて、不必要にドーパントが供給されてしまう現象である。文献1:「Abrupt p−type doping profi1e of carbon atomic layer doped GaAs grown by flow−rate modulation epitaxy」、N.Kobayashi 他2名、The American Institute of Physics、Applied Physics Letter、1987年発行、Vol.50 pp.1435〜1437.
【0006】
Cをドーパントとして用いる場合、有機金属気相成長法用のドーパントガスとしてCCl4やCBr4などのハロゲン化炭素を使用することにより、高濃度ドーピングをすることが一般的であり、GaAsやInGaAsなどで実際に行われている。しかし、このハロゲン化炭素は、リアクター内で熱分解した際に化学的活性の高いハロゲン化水素を生成する。
【0007】
たとえば、III族元素を2種類有するInGaAsの成長の際には、特にIn成長種と反応して、成長に寄与する気相中のIn濃度を低下させ、InGaAsの固相中のIn組成をアンドープ時よりも低下させることが知られている。この点については、次の文献2に記載されている。そのようなIn組成の低下のために、ハロゲン化炭素の添加量に応じた組成制御技術が必要になる。
文献2:「A Comparison of TMGa and TEGa for Low−Temperature MetalorganicChemical Vapor Deposition Growth of CC14−Doped InGaAs」、S.A.Stockman 他5名、The Minerals,Metals & Materials Society(TMS) and the Instituteof Electrical and Electronics Engineers(IEEE)、Journal of Electronic Materials、1994年発行、Vol.23 pp.791〜799.
【0008】
GaAsSbにおいては、同じ三元化合物半導体であるInGaAsとは異なり、V族元素が2種類ある。V族元素自身は、III族元素と比較して、ハロゲンもしくはハロゲン化水素との反応性が高くはない。しかし、実際にハロゲン化炭素を添加して成長を行うと、未添加時よりも、組成としてAsが多くなる側にずれてしまう挙動を示す。この現象について解明を行ったところ、III族元素を2種類以上有するInGaAsなどの化合物で見られる、各構成III族元素と、ハロゲンもしくはハロゲン化水素との反応性との差というようなものではなく、V族元素の一つであるAsを供給しているAsH3(アルシン)と、ハロゲン化炭素との反応によるものではないかという結論を得た。
【0009】
リアクターに導入されたAsH3は、熱分解することにより、Asを成長基板に供給する。その分解率はそのときの加熱温度によって異なる。たとえば、470℃程度では、70%前後のAsH3が未分解のままリアクターの外へ排出される。
【0010】
ハロゲン化炭素がそのような系に導入されると、未分解のAsH3とハロゲン化炭素とが反応する。これによって、ハロゲン化炭素は、熱分解を起こして、主生成物として炭素を生成する。同時に、副生成物としてハロゲン化水素を生成するための水素を得るため、AsH3から水素を脱離させる。つまり、AsH3が熱分解してAsを生成するのと同じ作用が生じる。その結果、基板近傍でのAsと、それ以外のV族元素との気相比率が、ハロゲン化炭素を導入していないときと比較して、Asが多くなる方に変化する。これは、GaAsSb固相のV族元素の比率としてAsが多くなる結果を導くのではないかと、本願発明者らは考えている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
化合物半導体の従来の作製方法には、次の問題点がある。デバイスを作製する際には、ベースとなる半導体基板と格子整合させることが、信頼性確保の上で重要なポイントの一つとなる。しかし、Cドープのためにハロゲン化炭素を添加することにより、GaAsSbの組成がずれ、格子定数が設計値から外れてしまうという問題があった。つまり、ドーパントとして非常に有効なCをGaAsSbにドーピングするために、ハロゲン化炭素を成長系に添加すると、GaAsSbのV族の固相組成が設計値からずれてしまう。
【0012】
本発明は、前記の問題点を解消し、CドープGaAsSb化合物半導体を有機金属気相成長法を用いて成長する際に、Cドープと同時に組成を制御して高品質化するIII−V族化合物半導体結晶の作製方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項1の発明は、V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、ハロゲン化炭素の添加量に応じて、As供給ガスの供給量を減少させることを特徴するIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
請求項2の発明は、V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるアルキル化アンチモンとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.10≦XAs≦0.95の範囲に保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
請求項3の発明は、V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるアルキル化アンチモンとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.43≦XAs≦0.95の範囲とし、V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/IIIを6〜40の範囲とし、成長温度を450〜560℃の範囲とする成長条件で、半導体基板に格子整合する組成を保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
請求項4の発明は、III−V族化合物半導体結晶の一つであるGaAsSbへ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるトリメチルアンチモンTMSbとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.43≦XAs≦0.95の範囲とし、V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/IIIを6〜40の範囲とし、成長温度を450〜560℃の範囲とする成長条件で、InP半導体基板に格子整合するGaAsSbの組成を保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
請求項5の発明は、III−V族化合物半導体結晶の一つであるGaAsSbへ、CCl4もしくはCBr4を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるトリメチルアンチモンTMSbとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.43≦XAs≦0.95の範囲とし、V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/IIIを6〜40の範囲とし、成長温度を450〜560℃の範囲とする成長条件で、InP基板に格子整合するGaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
【0014】
本発明によれば、ハロゲン化炭素の添加量に応じてAs供給ガスとして用いるAsH3の供給量を減少させる。ハロゲン化炭素の作用によりAsH3の分解が促進され、気相中の実効的なAs供給量が増加する分を、あらかじめAsH3の供給量から差し引くことにより、ハロゲン化炭素による組成ズレを防ぎ、結晶の高品質化を図ることが可能となる。
【0015】
【発明の実施の形態】
つぎに、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳しく説明する。本実施の形態によるIII−V族化合物半導体結晶の作製方法では、図1に示すように、Ga系のIII族原料と、V族原料であるAsH3と、Sb系のV族原料とを用いた有機金属気相成長法によるGaAsSbの成長時に、ドーパントであるハロゲン化炭素の添加量に応じてAsH3の供給量を減少させる。つまり、ハロゲン化炭素を供給している時間t1〜t2だけ、AsH3の供給量を減少させる。
【0016】
InGaAsの成長におけるハロゲン化炭素の作用は、成長に用いられる原料の一つの濃度、具体的にはInの濃度を減少させることであった。GaAsSbの成長においては正反対に、成長に用いられる原料の一つの濃度、具体的にはAsの濃度を増加させることである。
【0017】
本実施の形態では、ハロゲン化炭素の作用によりAsH3の分解が促進され、気相中の実効的なAs供給量が増加する分を、あらかじめAsH3の供給量から差し引くことにより、ハロゲン化炭素による組成ズレを防ぎ、結晶の高品質化を図ることが可能となる。ここで、固相組成がAs側に偏ることを防ぐために、Sbの供給量を増加させる方法も考えられる。しかし、Sbは一般に蒸気圧が低く(600℃でP4:2×104torr、As4:4×102torr、Sb:6×10−2torr)、供給量を増加させると、単体での析出が始まる。このため、Sbの供給量を増加させる方法は幅広い組成制御には難がある。
【0018】
【実施例】
以下では、実施例によって本発明を詳細に説明する。本実施例では、図2に示すように、InP基板1上に格子整合したCドープGaAs0 . 51Sb0 . 49層2を成長するという例を示したものである。
【0019】
まず、Cドープの対象となるGaAs0 . 51Sb0 . 49の成長には、III族原料としてTEGa(トリエチルガリウム、分圧:2.2×10−3torr)、V族原料にAsH3(分圧:1.4×10−2torr)、アンチモン原料としてTMSb(トリメチルアンチモン、分圧:3.4×10−2torr)を使用する。V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/III(以下、V/III比という)は、AsH3/TEGa=6.4、TMSb/TEGa=15.5である。
【0020】
最初に、GaAs0 . 51Sb0 . 49を成長するための下地を形成する。まず、成長を行うInP基板1を成長室内へ搬送する。次に、この成長室にキャリアガスとなる水素を供給しつつ昇温し、300℃に達した時点でPH3を供給し、さらに500℃まで昇温してサーマルクリーニングを行う。クリーニングの完了後、TMIn(トリメチルインジウム)を供給して、InPバッファー層を形成する。バッファー層の形成が終了したところで、TMInとPH3との供給を停止し、そのまま連続的にGaAs0 . 51Sb0 . 49を成長し、CドープGaAs0 . 51Sb0 . 49層2を形成する。
【0021】
ここで、GaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を維持した状態でCドープを行うために、炭素ドープ用ハロゲン化炭素ガスとしてCBr4(分圧:2.5×10−4torr)を導入する。同時に、AsH3の供給量を50%まで減少させる(分圧:6.8×10−3torr)。CBr4の導入により分解効率が当成長条件下で2倍に高まった分だけ、AsH3の供給量を減少させることにより、CBr4未添加時と同一の組成を維持した状態で成膜を行うことが可能である。他の成長条件についても同様のことが可能であることは明らかである。CBr4の供給量によりGaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を維持して成長するためのV族の気相組成比について、V/III比による修正も含めて図3に示した。修正はV/III比=6からV/III比=40までの範囲である。なお、図3では、Tgが成長温度を表している。
【0022】
V族の気相組成比XAsは次のとおりである。
XAs=As/(Sb+As)
気相組成比XAsは、ドーパントであるCBr4の供給を開始したとき、GaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を維持するために有効な範囲であり、0.10〜0.95がこの範囲である。これ以外の範囲では、ドーパントの供給時にV族原料を減少しなくても結晶品質が同じである。また、結晶品質が良好な範囲、つまり、通常使用される範囲は0.43〜0.95の範囲である。
【0023】
本実施例では、成長温度を500℃としたが、成長温度は、図4に示すように、結晶成長後に表面が鏡面状態になる範囲、つまり、450〜560℃の範囲であればよい。また、本実施例では、V/III比は、AsH3/TEGa=6.4、TMSb/TEGa=15.5としたが、結晶成長後に表面が鏡面状態になる範囲(図4)、つまり、6〜40の範囲であればよい。
【0024】
以上、本発明の実施の形態および実施例を詳述してきたが、具体的な構成は本実施の形態および本実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても、本発明に含まれる。たとえば、本実施例では、半導体の構造が、InP基板1上に格子整合したCドープGaAs0 . 51Sb0 . 49層2を形成した。この構造は基本的なものであり、最小構成単位である。実際には、複雑なデバイス構造の中でCドープGaAsSb層が形成されて用いられる。
【0025】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、ハロゲン化炭素の添加量に応じてAs供給ガスとして用いるAsH3の供給量を減少させる。つまり、ハロゲン化炭素の作用によりAsH3の分解が促進され、気相中の実効的なAs供給量が増加する分を、あらかじめAsH3の供給量から差し引くことにより、ハロゲン化炭素による組成ズレを防ぎ、結晶の高品質化を図ることが可能となる。つまり、ドーパントとして非常に有効な炭素をGaAsSbにドーピングするためにハロゲン化炭素を成長系に添加すると、V族の固相組成が設計値からずれてしまい、組成の設計がきわめて困難であるという問題を回避することができ、有機金属気相成長法を用いてハロゲン化炭素による炭素ドープGaAsSbを成長する際に、結晶を高品質化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ハロゲン化炭素の添加量に応じてAsH3の供給量を減少させるガスフロー図である。
【図2】本実施例で形成される半導体の構造を示す断面図である。
【図3】CBr4の供給量によるGaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を維持して成長するためのV族の気相組成比の変化(V/III比による修正を含む)を示す図である。
【図4】V/III比および成長温度と、結晶品質とを説明するための図である。
【図5】type−1構造、type−2構造、type−3構造のバンドラインナップ概略図である。
【符号の説明】
1 InP基板
2 CドープGaAs0 . 51Sb0 . 49層
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機金属気相成長法を用いてC(炭素)ドープGaAsSb化合物半導体を作製するIII−V族化合物半導体結晶の作製方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
As(ヒ素)とSb(アンチモン)とを含むIII−V族化合物半導体として、代表的なものにGaAsSbがある。このGaAsSbの成長に着目して、以下に従来技術について説明する。
【0003】
GaAsSb化合物半導体は、へテロ接合バイポーラトランジスタ(Heterostructure Bipolar Transistor:HBT)のバンド構造プロファイルに、化合物半導体のへテロ構造で一般的なtype−1のほかにtype−2構造を、一部に導入するために用いられる。このtype−1構造を図5(a)に示し、type−2構造を図5(b)に示す。なお、図5では、(c)がtype−3構造を示す。このような用途のほかに、GaAsSb化合物半導体は、他材料との屈折率差を利用した半導体レーザーの反射鏡、長波長領域の発光・受光素子などへの応用が期待されている。
【0004】
これらの素子を作製するにあたって、一般的にn型ないしp型にドーピングされたGaAsSbが必要となる。ドーピングされたGsAsSbの結晶品質が素子の性能・信頼性に与える影響が非常に大きく、高い品質が要求される。
【0005】
化合物半導体を作製するために一般的に用いられている有機金属気相成長法では、Ga(ガリウム)とAsとを含む化合物半導体をp型にドーピングするために、p型ドーパントとしてCを用いることが有効とされている。これは、他にp型ドーパントとして用いられることがあるZn(亜鉛)やBe(ベリリウム)などと比較してメモリ効果がないことや、デバイス性能の劣化の原因となる半導体層内での意図しないドーパント原子の拡散が非常に小さいため、などである。この点については、次の文献1に記載されている。なお、メモリ効果は、配管内壁やリアクター内にドーパントが不要に吸着し、ドーパントの供給を止めても、そこからドーパントの脱離が生じて、不必要にドーパントが供給されてしまう現象である。文献1:「Abrupt p−type doping profi1e of carbon atomic layer doped GaAs grown by flow−rate modulation epitaxy」、N.Kobayashi 他2名、The American Institute of Physics、Applied Physics Letter、1987年発行、Vol.50 pp.1435〜1437.
【0006】
Cをドーパントとして用いる場合、有機金属気相成長法用のドーパントガスとしてCCl4やCBr4などのハロゲン化炭素を使用することにより、高濃度ドーピングをすることが一般的であり、GaAsやInGaAsなどで実際に行われている。しかし、このハロゲン化炭素は、リアクター内で熱分解した際に化学的活性の高いハロゲン化水素を生成する。
【0007】
たとえば、III族元素を2種類有するInGaAsの成長の際には、特にIn成長種と反応して、成長に寄与する気相中のIn濃度を低下させ、InGaAsの固相中のIn組成をアンドープ時よりも低下させることが知られている。この点については、次の文献2に記載されている。そのようなIn組成の低下のために、ハロゲン化炭素の添加量に応じた組成制御技術が必要になる。
文献2:「A Comparison of TMGa and TEGa for Low−Temperature MetalorganicChemical Vapor Deposition Growth of CC14−Doped InGaAs」、S.A.Stockman 他5名、The Minerals,Metals & Materials Society(TMS) and the Instituteof Electrical and Electronics Engineers(IEEE)、Journal of Electronic Materials、1994年発行、Vol.23 pp.791〜799.
【0008】
GaAsSbにおいては、同じ三元化合物半導体であるInGaAsとは異なり、V族元素が2種類ある。V族元素自身は、III族元素と比較して、ハロゲンもしくはハロゲン化水素との反応性が高くはない。しかし、実際にハロゲン化炭素を添加して成長を行うと、未添加時よりも、組成としてAsが多くなる側にずれてしまう挙動を示す。この現象について解明を行ったところ、III族元素を2種類以上有するInGaAsなどの化合物で見られる、各構成III族元素と、ハロゲンもしくはハロゲン化水素との反応性との差というようなものではなく、V族元素の一つであるAsを供給しているAsH3(アルシン)と、ハロゲン化炭素との反応によるものではないかという結論を得た。
【0009】
リアクターに導入されたAsH3は、熱分解することにより、Asを成長基板に供給する。その分解率はそのときの加熱温度によって異なる。たとえば、470℃程度では、70%前後のAsH3が未分解のままリアクターの外へ排出される。
【0010】
ハロゲン化炭素がそのような系に導入されると、未分解のAsH3とハロゲン化炭素とが反応する。これによって、ハロゲン化炭素は、熱分解を起こして、主生成物として炭素を生成する。同時に、副生成物としてハロゲン化水素を生成するための水素を得るため、AsH3から水素を脱離させる。つまり、AsH3が熱分解してAsを生成するのと同じ作用が生じる。その結果、基板近傍でのAsと、それ以外のV族元素との気相比率が、ハロゲン化炭素を導入していないときと比較して、Asが多くなる方に変化する。これは、GaAsSb固相のV族元素の比率としてAsが多くなる結果を導くのではないかと、本願発明者らは考えている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
化合物半導体の従来の作製方法には、次の問題点がある。デバイスを作製する際には、ベースとなる半導体基板と格子整合させることが、信頼性確保の上で重要なポイントの一つとなる。しかし、Cドープのためにハロゲン化炭素を添加することにより、GaAsSbの組成がずれ、格子定数が設計値から外れてしまうという問題があった。つまり、ドーパントとして非常に有効なCをGaAsSbにドーピングするために、ハロゲン化炭素を成長系に添加すると、GaAsSbのV族の固相組成が設計値からずれてしまう。
【0012】
本発明は、前記の問題点を解消し、CドープGaAsSb化合物半導体を有機金属気相成長法を用いて成長する際に、Cドープと同時に組成を制御して高品質化するIII−V族化合物半導体結晶の作製方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項1の発明は、V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、ハロゲン化炭素の添加量に応じて、As供給ガスの供給量を減少させることを特徴するIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
請求項2の発明は、V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるアルキル化アンチモンとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.10≦XAs≦0.95の範囲に保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
請求項3の発明は、V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるアルキル化アンチモンとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.43≦XAs≦0.95の範囲とし、V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/IIIを6〜40の範囲とし、成長温度を450〜560℃の範囲とする成長条件で、半導体基板に格子整合する組成を保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
請求項4の発明は、III−V族化合物半導体結晶の一つであるGaAsSbへ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるトリメチルアンチモンTMSbとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.43≦XAs≦0.95の範囲とし、V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/IIIを6〜40の範囲とし、成長温度を450〜560℃の範囲とする成長条件で、InP半導体基板に格子整合するGaAsSbの組成を保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
請求項5の発明は、III−V族化合物半導体結晶の一つであるGaAsSbへ、CCl4もしくはCBr4を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるトリメチルアンチモンTMSbとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.43≦XAs≦0.95の範囲とし、V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/IIIを6〜40の範囲とし、成長温度を450〜560℃の範囲とする成長条件で、InP基板に格子整合するGaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法である。
【0014】
本発明によれば、ハロゲン化炭素の添加量に応じてAs供給ガスとして用いるAsH3の供給量を減少させる。ハロゲン化炭素の作用によりAsH3の分解が促進され、気相中の実効的なAs供給量が増加する分を、あらかじめAsH3の供給量から差し引くことにより、ハロゲン化炭素による組成ズレを防ぎ、結晶の高品質化を図ることが可能となる。
【0015】
【発明の実施の形態】
つぎに、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳しく説明する。本実施の形態によるIII−V族化合物半導体結晶の作製方法では、図1に示すように、Ga系のIII族原料と、V族原料であるAsH3と、Sb系のV族原料とを用いた有機金属気相成長法によるGaAsSbの成長時に、ドーパントであるハロゲン化炭素の添加量に応じてAsH3の供給量を減少させる。つまり、ハロゲン化炭素を供給している時間t1〜t2だけ、AsH3の供給量を減少させる。
【0016】
InGaAsの成長におけるハロゲン化炭素の作用は、成長に用いられる原料の一つの濃度、具体的にはInの濃度を減少させることであった。GaAsSbの成長においては正反対に、成長に用いられる原料の一つの濃度、具体的にはAsの濃度を増加させることである。
【0017】
本実施の形態では、ハロゲン化炭素の作用によりAsH3の分解が促進され、気相中の実効的なAs供給量が増加する分を、あらかじめAsH3の供給量から差し引くことにより、ハロゲン化炭素による組成ズレを防ぎ、結晶の高品質化を図ることが可能となる。ここで、固相組成がAs側に偏ることを防ぐために、Sbの供給量を増加させる方法も考えられる。しかし、Sbは一般に蒸気圧が低く(600℃でP4:2×104torr、As4:4×102torr、Sb:6×10−2torr)、供給量を増加させると、単体での析出が始まる。このため、Sbの供給量を増加させる方法は幅広い組成制御には難がある。
【0018】
【実施例】
以下では、実施例によって本発明を詳細に説明する。本実施例では、図2に示すように、InP基板1上に格子整合したCドープGaAs0 . 51Sb0 . 49層2を成長するという例を示したものである。
【0019】
まず、Cドープの対象となるGaAs0 . 51Sb0 . 49の成長には、III族原料としてTEGa(トリエチルガリウム、分圧:2.2×10−3torr)、V族原料にAsH3(分圧:1.4×10−2torr)、アンチモン原料としてTMSb(トリメチルアンチモン、分圧:3.4×10−2torr)を使用する。V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/III(以下、V/III比という)は、AsH3/TEGa=6.4、TMSb/TEGa=15.5である。
【0020】
最初に、GaAs0 . 51Sb0 . 49を成長するための下地を形成する。まず、成長を行うInP基板1を成長室内へ搬送する。次に、この成長室にキャリアガスとなる水素を供給しつつ昇温し、300℃に達した時点でPH3を供給し、さらに500℃まで昇温してサーマルクリーニングを行う。クリーニングの完了後、TMIn(トリメチルインジウム)を供給して、InPバッファー層を形成する。バッファー層の形成が終了したところで、TMInとPH3との供給を停止し、そのまま連続的にGaAs0 . 51Sb0 . 49を成長し、CドープGaAs0 . 51Sb0 . 49層2を形成する。
【0021】
ここで、GaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を維持した状態でCドープを行うために、炭素ドープ用ハロゲン化炭素ガスとしてCBr4(分圧:2.5×10−4torr)を導入する。同時に、AsH3の供給量を50%まで減少させる(分圧:6.8×10−3torr)。CBr4の導入により分解効率が当成長条件下で2倍に高まった分だけ、AsH3の供給量を減少させることにより、CBr4未添加時と同一の組成を維持した状態で成膜を行うことが可能である。他の成長条件についても同様のことが可能であることは明らかである。CBr4の供給量によりGaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を維持して成長するためのV族の気相組成比について、V/III比による修正も含めて図3に示した。修正はV/III比=6からV/III比=40までの範囲である。なお、図3では、Tgが成長温度を表している。
【0022】
V族の気相組成比XAsは次のとおりである。
XAs=As/(Sb+As)
気相組成比XAsは、ドーパントであるCBr4の供給を開始したとき、GaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を維持するために有効な範囲であり、0.10〜0.95がこの範囲である。これ以外の範囲では、ドーパントの供給時にV族原料を減少しなくても結晶品質が同じである。また、結晶品質が良好な範囲、つまり、通常使用される範囲は0.43〜0.95の範囲である。
【0023】
本実施例では、成長温度を500℃としたが、成長温度は、図4に示すように、結晶成長後に表面が鏡面状態になる範囲、つまり、450〜560℃の範囲であればよい。また、本実施例では、V/III比は、AsH3/TEGa=6.4、TMSb/TEGa=15.5としたが、結晶成長後に表面が鏡面状態になる範囲(図4)、つまり、6〜40の範囲であればよい。
【0024】
以上、本発明の実施の形態および実施例を詳述してきたが、具体的な構成は本実施の形態および本実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても、本発明に含まれる。たとえば、本実施例では、半導体の構造が、InP基板1上に格子整合したCドープGaAs0 . 51Sb0 . 49層2を形成した。この構造は基本的なものであり、最小構成単位である。実際には、複雑なデバイス構造の中でCドープGaAsSb層が形成されて用いられる。
【0025】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、ハロゲン化炭素の添加量に応じてAs供給ガスとして用いるAsH3の供給量を減少させる。つまり、ハロゲン化炭素の作用によりAsH3の分解が促進され、気相中の実効的なAs供給量が増加する分を、あらかじめAsH3の供給量から差し引くことにより、ハロゲン化炭素による組成ズレを防ぎ、結晶の高品質化を図ることが可能となる。つまり、ドーパントとして非常に有効な炭素をGaAsSbにドーピングするためにハロゲン化炭素を成長系に添加すると、V族の固相組成が設計値からずれてしまい、組成の設計がきわめて困難であるという問題を回避することができ、有機金属気相成長法を用いてハロゲン化炭素による炭素ドープGaAsSbを成長する際に、結晶を高品質化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ハロゲン化炭素の添加量に応じてAsH3の供給量を減少させるガスフロー図である。
【図2】本実施例で形成される半導体の構造を示す断面図である。
【図3】CBr4の供給量によるGaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を維持して成長するためのV族の気相組成比の変化(V/III比による修正を含む)を示す図である。
【図4】V/III比および成長温度と、結晶品質とを説明するための図である。
【図5】type−1構造、type−2構造、type−3構造のバンドラインナップ概略図である。
【符号の説明】
1 InP基板
2 CドープGaAs0 . 51Sb0 . 49層
Claims (5)
- V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、
ハロゲン化炭素の添加量に応じて、As供給ガスの供給量を減少させることを特徴するIII−V族化合物半導体結晶の作製方法。 - V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、
As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるアルキル化アンチモンとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.10≦XAs≦0.95の範囲に保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法。 - V族元素に少なくともヒ素AsおよびアンチモンSbが含まれるIII−V族化合物半導体へ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、
As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるアルキル化アンチモンとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.43≦XAs≦0.95の範囲とし、V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/IIIを6〜40の範囲とし、成長温度を450〜560℃の範囲とする成長条件で、半導体基板に格子整合する組成を保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法。 - III−V族化合物半導体結晶の一つであるGaAsSbへ、ハロゲン化炭素を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、
As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるトリメチルアンチモンTMSbとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.43≦XAs≦0.95の範囲とし、V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/IIIを6〜40の範囲とし、成長温度を450〜560℃の範囲とする成長条件で、InP半導体基板に格子整合するGaAsSbの組成を保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法。 - III−V族化合物半導体結晶の一つであるGaAsSbへ、CCl4もしくはCBr4を用いて炭素CをドーピングするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法において、
As原料であるアルシンAsH3とSb原料ガスであるトリメチルアンチモンTMSbとの気相中の組成XAs=As/(Sb+As)を0.43≦XAs≦0.95の範囲とし、V族原料ガスとIII族原料ガスとの比V/IIIを6〜40の範囲とし、成長温度を450〜560℃の範囲とする成長条件で、InP基板に格子整合するGaAs0 . 51Sb0 . 49の組成を保持することを特徴とするIII−V族化合物半導体結晶の作製方法。
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JP2002352128A JP2004186457A (ja) | 2002-12-04 | 2002-12-04 | Iii−v族化合物半導体結晶の作製方法 |
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JP2011171549A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体薄膜の形成方法 |
JP2015099859A (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | 日本電信電話株式会社 | 半導体薄膜の作製方法およびヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
-
2002
- 2002-12-04 JP JP2002352128A patent/JP2004186457A/ja active Pending
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