JP2004179640A - 半導体レーザおよび光送信用モジュールおよび光通信システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 GaAs基板上に成長し、量子井戸活性層と、Al(1−x)GaxAs(0≦x<1)からなる層を選択酸化により酸化狭窄層として電流を狭窄する構造とを有する半導体レーザにおいて、前記酸化狭窄層の上下に隣接して、圧縮歪を有しIn原子を含むIII−V族半導体層からなる歪補償層を有している。
【選択図】 図1
Description
Claims (12)
- GaAs基板上に成長し、量子井戸活性層と、Al(1−x)GaxAs(0≦x<1)からなる層を選択酸化により酸化狭窄層として電流を狭窄する構造とを有する半導体レーザにおいて、前記酸化狭窄層の上下に隣接して、圧縮歪を有しIn原子を含むIII−V族半導体層からなる歪補償層を有していることを特徴とする半導体レーザ。
- GaAs基板上に成長し、量子井戸活性層と、Al(1−x)GaxAs(0≦x<1)からなる層を選択酸化により酸化狭窄層として電流を狭窄する構造とを有する半導体レーザにおいて、前記酸化狭窄層と活性層との間に、In原子を含む歪を有する層が設けられていることを特徴とする半導体レーザ。
- GaAs基板上に成長し、量子井戸活性層と、Al(1−x)GaxAs(0≦x<1)からなる層を選択酸化により酸化狭窄層として電流を狭窄する構造とを有する半導体レーザにおいて、前記酸化狭窄層の上下に隣接して、圧縮歪を有しIn原子を含むIII−V族半導体層からなる歪補償層を有し、かつ、前記酸化狭窄層と活性層との間に、In原子を含む歪を有する層が設けられていることを特徴とする半導体レーザ。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の半導体レーザにおいて、量子井戸活性層はGaAs基板に対して歪を有していることを特徴とする半導体レーザ。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の半導体レーザにおいて、量子井戸活性層に隣接してIn原子を含む層が設けられていることを特徴とする半導体レーザ。
- 請求項5記載の半導体レーザにおいて、量子井戸活性層に隣接して設けられているIn原子を含む層は、歪を有する活性層に対しての歪補償層であることを特徴とする半導体レーザ。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の半導体レーザにおいて、量子井戸活性層は、Nとその他のV族元素を含む混晶半導体であることを特徴とする半導体レーザ。
- 請求項7記載の半導体レーザにおいて、活性層はGaInNAsであることを特徴とする半導体レーザ。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の半導体レーザにおいて、該半導体レーザは、面発光型の半導体レーザであることを特徴とする半導体レーザ。
- GaAs基板上に成長し、量子井戸活性層と、Al(1−x)GaxAs(0≦x<1)からなる層を選択酸化により酸化狭窄層として電流を狭窄する構造とを有し、前記酸化狭窄層と活性層との間にIn原子を含む歪を有する層が設けられている面発光型の半導体レーザであって、前記In原子を含む歪を有する層は、DBR(分布ブラッグ反射鏡)の一部であることを特徴とする半導体レーザ。
- 面発光型の半導体レーザを用いた光送信用モジュールにおいて、光送信用光源として請求項9または請求項10に記載の半導体レーザを用いたことを特徴とする光送信用モジュール。
- 面発光型の半導体レーザを用いた光通信システムにおいて、光送信用モジュールとして請求項11記載の光送信用モジュールを用いたことを特徴とする光通信システム。
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- 2003-11-06 JP JP2003376466A patent/JP2004179640A/ja active Pending
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