JP2004177218A - 半導体加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速度が加わったときに変位する錘部8と、上記錘部8に連結した可撓部6と、上記可撓部6を支持するフレーム7と、その可撓部6の撓み量に応じた電気信号を出力する上記可撓部6に形成したピエゾ抵抗9と、上記ピエゾ抵抗9からの出力を取り出す電極とを備えた半導体加速度センサにおいて、上記錘部8のうち、ピエゾ抵抗9と熱伝導的に接続する部分の表面に、金属材料を含んでなる放熱層11を形成してなり、上記ピエゾ抵抗9に発生した熱を上記放熱層11に伝導させてなる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車、航空機、家電製品等に用いる半導体加速度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体加速度センサには、加速度を受けて変位する錘部の支持の仕方により、片持ち梁方式と両持ち梁方式とがある。また、その錘部の変位した量、すなわち加速度を測定する方法にも、機械的な歪みを電気抵抗の変化で測定する方法と、静電容量の変化で測定する方法とがある。例えば、特許文献1には機械的な歪みを電気抵抗の変化で検出する両持ち梁方式の半導体加速度センサが開示してある。図5は、この半導体加速度センサの2面図であり、図5(a)は上面図、図5(b)は図5(a)におけるA−A’部分の断面図である。
【0003】
この半導体加速度センサは、SOI(Silicon On Insulator)基板よりなる半導体基板をエッチングして形成したものであって、図5に示すように、半導体加速度センサチップ1と、このチップ1に接合して支持する台座10とを備えてなり、チップ1は、厚肉の錘部8と、この錘部8の外周縁を離間して外囲するフレーム7と、このフレーム7及び錘部8との間に懸架して、錘部8をフレーム7に揺動自在に支持させる薄肉の可撓部6(ビーム又はカンチレバ)を4つと、この可撓部6に形成したピエゾ抵抗9X,9Y,9Zと、ピエゾ抵抗9X,9Y,9Zからの出力をそれぞれ取り出す電極17X,17Y,17Zとを備えている。そして、フレーム7を接着剤16により台座10に接着して固定すると共に、その接着剤16に厚みを持たせるようにして、錘部8の下端面と台座10の表面との間に空隙部分Cを形成し、この空隙部分Cで錘部8を揺動させている。
【0004】
この半導体加速度センサに加速度が加わったときには、その加速度に応じて錘部8が揺動変位し、この錘部8の揺動変位に応じて可撓部6が撓む。そして、可撓部6に形成したピエゾ抵抗9X,9Y,9Zが、この可撓部6の撓み量に応じてその抵抗値を変化させるため、電極17X,17Y,17Zからはピエゾ抵抗9X,9Y,9Zの抵抗値変化に応じた電圧値の変化を測定でき、この電圧値を参照して、加わった加速度の値を求めている。
【0005】
【特許文献1】
特開平7−234242号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
この半導体加速度センサで加速度を測定するときには、上記のようにピエゾ抵抗9X,9Y,9Zに電圧を印加するため、ピエゾ抵抗9X,9Y,9Zには熱が発生している。また、電極17X,17Y,17Zとピエゾ抵抗9X,9Y,9Zとを高濃度拡散配線(図示せず)で電気的に接続している場合には、その高濃度拡散配線にも電圧が加わった状態となるため、この高濃度拡散配線にも熱が発生する。このように、可撓部6に形成したピエゾ抵抗9X,9Y,9Zや高濃度拡散配線に熱が発生すると、可撓部6や、この可撓部6表面に形成した保護膜であるシリコン酸化膜、シリコン窒化膜等が熱膨張させてしまうことがある。可撓部6等が熱膨張すると、その形状が変形して出力特性に変動を生じさせてしまうことがあり、測定結果に著しい誤差を生じさせてしまうことがある。
【0007】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、精度よく加速度を測定することのできる半導体加速度センサを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明の半導体加速度センサは、加速度が加わったときに変位する錘部と、上記錘部に連結した可撓部と、上記可撓部を支持するフレームと、上記可撓部の撓み量に応じた電気信号を出力する上記可撓部に形成した抵抗体と、上記抵抗体からの出力を取り出す電極とを備えた半導体加速度センサにおいて、上記錘部の表面のうち、上記抵抗体と熱伝導的に接続する部分に、金属材料を含んでなる放熱層を形成してなることを特徴とする。
【0009】
請求項2に係る発明の半導体加速度センサは、請求項1に記載の発明において、上記錘部に、上記抵抗体と電気的に接続する高濃度拡散配線を形成すると共に、その高濃度拡散配線及び上記放熱層を熱伝導的に接続してなることを特徴とする。
【0010】
請求項3に係る発明の半導体加速度センサは、請求項1又は請求項2に記載の発明において、上記錘部の表面のうち、上記抵抗体と熱伝導的に接続する部分の表面に、凹部を形成すると共に、その凹部の表面にも上記放熱層を形成してなることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明に係る半導体加速度センサの実施の形態を、図を参照して以下に説明する。
【0012】
(第1実施形態)
図1は、第1の実施形態における半導体加速度センサの2面図であり、図1(a)は上面図、図1(b)は図1(a)のA−A’部分の断面図である。図1において、1は半導体加速度センサのチップ、7はフレーム、9(9X,9Y,9Z)は抵抗体としてのピエゾ抵抗、6は可撓部、8は錘部、11は放熱層、17X,17Y,17Zは電極、10は台座を、それぞれ示している。
【0013】
半導体加速度センサチップ1は、SOI基板をエッチングして形成しており、SOI基板は、活性層2の厚みを数μm〜10μm程度、中間酸化膜3の厚みを0.3〜1μm程度、支持層4の厚みを300〜600μm程度に積層したものを用いている。このようなSOI基板をエッチングして形成する錘部8及びフレーム7は共に、その厚み方向に活性層2、中間酸化膜3、支持層4を有してなり、可撓部6は活性層2からなっている。
【0014】
錘部8の厚み方向の一端面(以下、錘部の上端面)に形成する放熱層11は、錘部8の上端面に、アルミニウム等の金属材料をスパッタ又は蒸着等して形成する。その放熱層11を設ける箇所は、錘部8のうち、ピエゾ抵抗9と熱伝導的に接続する部分の表面、すなわちピエゾ抵抗9を形成した可撓部6と連結する部分及びその近傍部分の表面には少なくとも形成する。さらに好ましくは、錘部8の全表面である。しかし、この半導体加速度センサチップ1は、半導体基板をエッチングして形成しているため、スパッタ又は蒸着が比較的容易な部分は、錘部8の全表面のうち、その厚み方向の両端面であるが、この半導体加速度センサチップ1では、可撓部6を、錘部8の厚み方向の上端面に略面一になるように形成しているので、ピエゾ抵抗9からの熱の伝導効率を鑑みて、錘部8の上端面だけに形成するようにしている。このように、錘部8のうち、ピエゾ抵抗9と熱伝導的に接続する部分の表面に放熱層11を形成したので、ピエゾ抵抗9のうち、錘部8に近い側のピエゾ抵抗9X,9Yで発生した熱を、放熱層11に迅速に伝導させることができる。従って、熱を可撓部6から効率的に放出させることができ、精度よく加速度を測定することが可能となる。
【0015】
また、上記の錘部8に放熱層11を形成したのと同じようにして、フレーム7のうち、ピエゾ抵抗9と熱伝導的に接続する部分の表面にも放熱層を形成すれば、ピエゾ抵抗9で発生した熱を、フレーム7に形成した放熱層にも熱伝導させることができ、可撓部6の熱をより迅速に放出させることが可能となり、より一層精度よく加速度を測定することが可能となる。
【0016】
錘部8は、4つの可撓部6に連結した中央錘部81と、この中央錘部81に連結した4つの側錘部82よりなり、外観状は十字の形状をなしている。この側錘部82は、可撓部6により中央錘部81を中心として、3次元方向に自在に揺動できる。
【0017】
ピエゾ抵抗9は、半導体不純物拡散技術により可撓部6の活性層2に形成してあり、半導体加速度センサチップ1のX軸方向にかかる加速度を検出するピエゾ抵抗9Xと、同Y軸方向にかかる加速度を検出するピエゾ抵抗9Y、同Z軸方向にかかる加速度を検出するピエゾ抵抗9Zよりなっている。このピエゾ抵抗9X,9Y,9Zの配置については、ピエゾ抵抗9Zは、4つの可撓部6のそれぞれに形成すると共に、ピエゾ抵抗9X,9Yは、4つの可撓部6のうち中央錘部81を挟んで対向する2つの可撓部6のそれぞれに形成する。また、4つのピエゾ抵抗9X間は、ホイーストンブリッジ回路を構成するように、アルミ配線又は不純物拡散配線により電気的に接続する。また、ピエゾ抵抗9Y,9Zについても、それぞれ同様にホイーストンブリッジ回路を構成させている。
【0018】
電極17X,17Y,17Zは、上記のピエゾ抵抗9X,9Y,9Zでそれぞれ構成させた3つのホイーストンブリッジ回路にそれぞれ電気的に接続し、各ホイーストンブリッジ回路からの出力を外部に取り出せるようにしている。電極とホイーストンブリッジ回路との電気的な接続は、アルミ配線や不純物拡散配線等により行なっている。
【0019】
フレーム7は、厚肉に形成してあり、錘部8をその外周縁を離間して外囲すると共に、可撓部6を介してその錘部8を揺動自在に支持している。このフレーム7は、自動車や航空機等の移動体に固定して用いる。
【0020】
可撓部6は、薄肉に形成してあり、その厚み方向に撓み可能であると共に、その長手方向を軸にして捻転可能である。この可撓部6は、その長手方向の一端部が錘部8に連結すると共に、他端部はフレーム7に連結して、フレーム7に錘部8を揺動自在に支持させている。
【0021】
台座10は、パイレックスガラス(Pyrex Glass、コーニング社の登録商標)等のガラス板よりなり、フレーム7に接合して、チップ1を支持している。この台座10は、チップ1を支持する機能の他に、錘部8が過度に揺動したときに、その過度の揺動を制限するストッパーの機能も持たせている。この台座10がストッパーの機能を有することにより、錘部8が過度に揺動した場合に、可撓部6がこの過度の揺動を支えきれずに崩壊してしまう、といったことを防止できる。なお、この台座10には、ガラス板以外にも、シリコン基板を用いてもよい。
【0022】
上記の半導体加速度センサの製造工程を以下に説明する。まず、SOI基板の活性層2を形成した方の表面(以下、基板上面)のうち、放熱層11を形成しようとする部分、すなわち錘部8を形成しようとする部分にアルミニウムをスパッタにより積層し、放熱層11を形成する。次に、SOI基板の活性層2を形成していない方の表面(以下、基板下面)側から、フレーム7及び錘部8を形成しようとする部分以外の部分を、中間酸化膜3に達するまでドライエッチングする。このとき、ICP(Inductively Coupled Plasma)、D−RIE(Deep Reactive Ion Etching)等のエッチング方法を用いれば、SOI基板を垂直にエッチングすることができ、半導体加速度センサを小型化しやすくなって好ましい。
【0023】
次に、基板上面側から、フレーム7及び錘部8及び可撓部6を形成しようとする部分以外の部分を、中間酸化膜3に達するまでウェットエッチングして、フレーム7及び錘部8及び可撓部6を、そのそれぞれの連結部分だけを残して切り離す。
【0024】
次に、錘部8を基板下面側から、所定の長さだけウェットエッチングして除去する。これにより、錘部8は、フレーム7よりエッチング分だけ厚みが薄くなるので、フレーム7に台座10を接合したとき、錘部8と台座10との間に空隙部分Cができ、錘部8はこの空隙部分Cで揺動可能となる。
【0025】
続いて、フレーム7及び錘部8以外の部分にある中間酸化膜3を、基板下面側からフッ酸を含んだ液によりエッチング除去する。これにより、フレーム7及び錘部8及び可撓部6間と、可撓部6の下面とに残っている中間酸化膜3を除去する。このとき、錘部8の表面は活性層2であり、可撓部6の表面と略同じ高さになる。なお、可撓部6の表面には、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜よりなる絶縁膜を形成して保護膜にしている。
【0026】
続いて、4つの可撓部6の所定の位置に、それぞれ半導体不純物拡散技術によりピエゾ抵抗9を形成する。さらに、イオン注入又はボロンをデポジット拡散して不純物拡散配線を形成すると共に、この不純物拡散配線により、同一方向の加速度を検出する4つのピエゾ抵抗同士を電気的に接続して、ホイーストンブリッジ回路を構成させる。このようにして、SOI基板から半導体加速度センサのチップ1を形成する。最後に、フレーム7と台座10とを陽極接合して、半導体加速度センサを製造する。
【0027】
なお、上記の製造工程において、基板下面側から中間酸化膜3をエッチング除去するときに、フッ酸を含んだ液によりエッチング除去したが、これはドライエッチングで行なうようにしてもよい。
【0028】
また、放熱層11は、基板下面側からフレーム7及び可撓部6及び錘部8を形成するためのドライエッチングを行なう前に形成しておいたが、そのドライエッチングを行なった後から、活性層2をエッチングするまでの間で行なうようにしてもよい。
【0029】
また、錘部8を所定の長さだけ、基板下面側からウェットエッチングして除去することにより、フレーム7と台座10を接合したときに、錘部8と台座10との間に空隙部分Cを形成するようにしたが、これは、錘部8をエッチング除去するのに限定するものではなく、例えばフレーム7と台座10とを接合するときに、所定の厚みを有する部材を介して接合するようにして、錘部8と台座10との間に空隙部分Cを形成するようにしてもよい。またその他にも、台座10の表面のうち、フレーム7と接合する部分以外の部分を掘り込むことで、掘り込んだ部分の表面と、錘部8との間に空隙部分Cを形成するようにしてもよい。
【0030】
また、ピエゾ抵抗9から放熱層11への熱伝導性をより向上させるため、放熱層11と錘部8の表面との間には、熱伝導性の低いシリコン酸化膜やシリコン窒化膜を非介在状態にさせることが好ましい。
【0031】
また上記では、放熱層11を形成する対象に、3軸方向に加わった加速度をそれぞれ検出できる3軸の半導体加速度センサを適用したが、これに限定するものではなく、1軸や2軸方向の加速度を検出する半導体加速度センサに適用して形成するようにしてもよい。
【0032】
上記のように、錘部8のうち、ピエゾ抵抗9と熱伝導的に接続する部分の表面に放熱層11を形成したので、この半導体加速度センサは、ピエゾ抵抗9に発生した熱を効率的に放熱させることができ、加速度を精度よく測定することが可能となる。
【0033】
(第2実施形態)
図2は、第2の実施の形態における半導体加速度センサを示している。なお、上記の第1実施形態と同じものについては同じ符号を付与している。
【0034】
この半導体加速度センサでは、ピエゾ抵抗9X,9Yと電気的に接続した高濃度拡散配線15上にコンタクト窓12を形成すると共に、このコンタクト窓12を介して放熱層11と高濃度拡散配線15とを熱伝導的に接続している。このようにすることで、ピエゾ抵抗9X,9Yで発生した熱を、熱伝導性が高い高濃度拡散配線15を介して、錘部8の上端面に形成した放熱層11に迅速に熱伝導させることが可能となる。
【0035】
上記のように、放熱層11と高濃度拡散配線15とを熱伝導的に接続したので、この半導体加速度センサは、ピエゾ抵抗9で発生した熱をより効率的に放熱させることができ、より精度よく加速度を測定することが可能となる。
【0036】
(第3実施形態)
図3は、第3の実施の形態における半導体加速度センサを示している。上記の第1実施形態と同じものについては同じ符号を付与している。
【0037】
この半導体加速度センサでは、ピエゾ抵抗9と熱伝導的に接続する部分の表面、すなわち放熱層11を形成した部分の錘部8表面に凹部13を形成し、さらにこの凹部13の表面にも放熱層11を形成している。このようにすることで、錘部8は、その凹部13の側壁の面積分だけ表面積が増加するので、この凹部13の表面に形成する放熱層11の表面積も増加させることができる。従って、放熱層11の空気に接触する表面積が増え、この放熱層11からの放熱性を向上させることができる。これにより、ピエゾ抵抗9で発生した熱をより効率的に放熱させることが可能となり、加速度を一層高精度に測定させることが可能となる。この凹部13を錘部8の表面に形成する際には、錘部8表面の活性層2に、アルカリ異方性エッチング液等を活用して方形状に掘り込み加工することで形成している。ただし、この方法以外にも、錘部8の表面に凹部13を形成できればどのような方法を活用してもよい。
【0038】
また、図4には、別の実施形態として、錘部8に形成する凹部の形状を断面V字状にしたものを示している。このものでは、錘部8の上端面にV字状の溝14を形成し、このV字状の溝14の表面にも放熱層11を形成している。このようにすることでも、放熱層11の表面積を増加させることができるので、放熱性を向上させることができる。これにより、ピエゾ抵抗9で発生した熱を効率的に放熱させることができ、より高精度に加速度を測定させることが可能となる。なお、上記の凹部の形状は、方形状やV字状に限定するものではなく、その他にも錘部8の表面積を増加できるものであればどのような形状であってもよい。
【0039】
上記のように、錘部8の表面のうち、放熱層11を形成する部分に、凹部13を形成すると共に、その凹部13の表面にも放熱層11を形成したので、放熱層11の表面積を増加させて、放熱性をより向上させることができ、より精度よく加速度を測定させることが可能となる。
【0040】
以上、本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこの実施の形態に限らず、種々の形態で実施することができる。
【0041】
【発明の効果】
上記のように本発明の請求項1乃至請求項3に記載の半導体加速度センサは、抵抗体に発生した熱を、金属材料を含んでなる放熱層に伝導させて放熱させるので、加速度を精度よく測定することが可能になる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体加速度センサの第1の実施の形態における2面図である。
【図2】本発明に係る半導体加速度センサの第2の実施の形態における上面図である。
【図3】本発明に係る半導体加速度センサの第3の実施の形態における上面図である。
【図4】上記半導体加速度センサにおける、別の実施の形態の上面図である。
【図5】従来の半導体加速度センサ示す2面図である。
【符号の説明】
6 可撓部
7 フレーム
8 錘部
9 ピエゾ抵抗
11 放熱層
13 凹部
14 溝
15 高濃度拡散配線
17X,17Y,17Z 電極
Claims (3)
- 加速度が加わったときに変位する錘部と、
上記錘部に連結した可撓部と、
上記可撓部を支持するフレームと、
上記可撓部の撓み量に応じた電気信号を出力する上記可撓部に形成した抵抗体と、
上記抵抗体からの出力を取り出す電極とを備えた半導体加速度センサにおいて、上記錘部の表面のうち、上記抵抗体と熱伝導的に接続する部分に、金属材料を含んでなる放熱層を形成してなることを特徴とする半導体加速度センサ。 - 上記錘部に、上記抵抗体と電気的に接続する高濃度拡散配線を形成すると共に、その高濃度拡散配線及び上記放熱層を熱伝導的に接続してなることを特徴とする請求項1に記載の半導体加速度センサ。
- 上記錘部の表面のうち、上記抵抗体と熱伝導的に接続する部分の表面に、凹部を形成すると共に、その凹部の表面にも上記放熱層を形成してなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体加速度センサ。
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Cited By (3)
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JP2010032389A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 物理量センサ及びその製造方法 |
CN102435776A (zh) * | 2011-10-20 | 2012-05-02 | 中北大学 | 单片集成八梁臂三轴加速度计 |
JP2017511646A (ja) * | 2014-03-20 | 2017-04-20 | ▲華▼▲為▼終端有限公司Huawei Device Co., Ltd. | モバイル端末 |
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