HU223540B1 - Eljárás rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására - Google Patents
Eljárás rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására Download PDFInfo
- Publication number
- HU223540B1 HU223540B1 HU0104694A HUP0104694A HU223540B1 HU 223540 B1 HU223540 B1 HU 223540B1 HU 0104694 A HU0104694 A HU 0104694A HU P0104694 A HUP0104694 A HU P0104694A HU 223540 B1 HU223540 B1 HU 223540B1
- Authority
- HU
- Hungary
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- silicon
- photoresist material
- areas
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 74
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 74
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 74
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 43
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 39
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 34
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 27
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 claims description 5
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims description 4
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 abstract description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 6
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 abstract description 6
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract description 3
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 abstract description 3
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 238000009955 starching Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 238000001238 wet grinding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5677—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially two-dimensional vibrators, e.g. ring-shaped vibrators
- G01C19/5684—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially two-dimensional vibrators, e.g. ring-shaped vibrators the devices involving a micromechanical structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Buildings Adapted To Withstand Abnormal External Influences (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Abstract
Eljárás rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására, amely szilíciumbólkészült, lényegében sík gyűrűs rezgő szerkezetű (1), és a rezgőszerkezet (1) mozgását előidéző, valamint mozgását érzékelő kapacitívhajtószerve (5) és érzékelő- szerve (6), továbbá azokat körülvevőárnyékolórétege (15) van. Egy lemezszerű, üvegből vagy szilíciumbólkészült hordozó (7) egyik felületére első fotoreziszt anyagrétegetvisznek fel. Ennek keményítésével, mintázásával és előhívásával ahordozó (7) kiválasztott területeit szabaddá teszik. A hordozó (7)szabaddá tett területeit maratják, és ezzel üregeket (10) alakítanakki benne, majd a maradvány első fotoreziszt anyagréteget eltávolítjáka hordozóról (7). Ezt követően a hordozó (7) üreges felületére egyszilíciumréteget (8) rögzítenek, majd annak a hordozótól (7) távol esőfelületére egy alumíniumréteget visznek fel, annak a szilíciumrétegtőltávol eső felületére egy második fotoreziszt anyagréteget visznek fel.Ennek keményítésével, mintázásával és előhívásával az alumíniumrétegkiválasztott területeit szabaddá teszik, azokat maratják, és ezzel aszilíciumrétegen (8) az árnyékolóréteg (15) test- potenciálra kötésételősegítő, alumíniumból készült kontaktozási fémezést (11), akapacitív hajtószerv (5) és érzékelőszerv (6) csatlakozási pontjaitalkotó kontaktozási fémezéseket (12, 13), és a lényegében sík gyűrűalakú rezgő szerkezet (1) villamos csatlakoztatására szolgálókontaktozási fémezést (14) alakítanak ki. A maradvány másodikfotoreziszt anyagréteget eltávolítják az alumíniumrétegről. Ezután aszilíciumrétegre (8) és a maradék alu- míniumréteg területekre egyharmadik fotoreziszt anyagréteget visznek fel. Ennek keményítésével,mintázásával és előhívásával a szilíciumréteg (8) kiválasztottterületeit szabaddá teszik. Ezután ezeken a területeken mélyreaktívionmarással kialakítják a kapacitív hajtószervet (5) ésérzékelőszervet (6), a körülvevő árnyékolóréteget (15) és a lényegébensík gyűrű alakú rezgő szerkezetet (1). Ez így a hordozó (7) üregei(10) felett egy, a gyűrű alakú rezgő szerkezet (1) oszcillálását,valamint a kapacitív hajtószerv (5), érzékelőszerv (6), árnyékolóréteg(15) és gyűrű alakú rezgő szerkezet egymástól való villamoselszigetelését lehetővé tevő agyon (4) van felszerelve. ŕ
Description
KIVONAT
Eljárás rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására, amely szilíciumból készült, lényegében sík gyűrűs rezgő szerkezetű (1), és a rezgő szerkezet (1) mozgását előidéző, valamint mozgását érzékelő kapacitív hajtószerve (5) és érzékelőszerve (6), továbbá azokat körülvevő ámyékolórétege (15) van. Egy lemezszerű, üvegből vagy szilíciumból készült hordozó (7) egyik felületére első fotoreziszt anyagréteget visznek fel. Ennek keményítősével, mintázásával és előhívásával a hordozó (7) kiválasztott területeit szabaddá teszik. A hordozó (7) szabaddá tett területeit maratják, és ezzel üregeket (10) alakítanak ki benne, majd a maradvány első fotoreziszt anyagréteget eltávolítják a hordozóról (7). Ezt követően a hordozó (7) üreges felületére egy szilíciumréteget (8) rögzítenek, majd annak a hordozótól (7) távol eső felületére egy alumíniumréteget visznek fel, annak a szilíciumrétegtől távol eső felületére egy második fotoreziszt anyagréteget visznek fel. Ennek keményítésével, mintázásával és előhívásával az alumíniumréteg kiválasztott területeit szabaddá teszik, azokat maratják, és ezzel a szilíciumrétegen (8) az ámyékolóréteg (15) testpotenciálra kötését elősegítő, alumíniumból készült kontaktozási fémezést (11), a kapacitív hajtószerv (5) és érzékelőszerv (6) csatlakozási pontjait alkotó kontaktozási fémezéseket (12, 13), és a lényegében sík gyűrű alakú rezgő szerkezet (1) villamos csatlakoztatáA leírás terjedelme 8 oldal (ezen belül 2 lap ábra)
HU 223 540 B1
HU 223 540 Bl sara szolgáló kontaktozási fémezést (14) alakítanak ki. A maradvány második fotoreziszt anyagréteget eltávolítják az alumíniumrétegről. Ezután a szilíciumrétegre (8) és a maradék alumíniumréteg területekre egy harmadik fotoreziszt anyagréteget visznek fel. Ennek keményítősével, mintázásával és előhívásával a szilíciumréteg (8) kiválasztott területeit szabaddá teszik. Ezután ezeken a területeken mélyreaktív ionmarással kialakítják a kapacitív hajtószervet (5) és érzékelőszervet (6), a körülvevő ámyékolóréteget (15) és a lényegében sík gyűrű alakú rezgő szerkezetet (1). Ez így a hordozó (7) üregei (10) felett egy, a gyűrű alakú rezgő szerkezet (1) oszcillálását, valamint a kapacitív hajtószerv (5), érzékelőszerv (6), ámyékolóréteg (15) és gyűrű alakú rezgő szerkezet egymástól való villamos elszigetelését lehetővé tevő agyon (4) van felszerelve.
A találmány tárgya eljárás rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására, mely giroszkóp szilíciumból készült, lényegében sík gyűrűs rezgő szerkezetű, és a rezgő szerkezet mozgását előidéző, valamint a rezgő szerkezet mozgását érzékelő kapacitív hajtószerve és érzékelőszerve, továbbá a kapacitív hajtószervet és érzékelőszervet körülvevő ámyékolórétege van. Ez a gyártási módszer elsősorban rezgő szerkezetű giroszkópok mikroforgácsolással történő előállításánál használható.
A mikroforgácsolással előállított rezgő szerkezetű giroszkópokat nagy mennyiségben, olcsón állítják elő. Ez számos új kereskedelmi alkalmazási területet nyitott meg, például a navigációs rendszerek, a videokamerák stabilizálása vagy a járműfelépítmények stabilizálása területén.
A hagyományos rezgő szerkezetű giroszkópok különböző rezonátorkialakításokkal valósíthatók meg. A rezonátorkialakítások különböző rezgő tartókat, hangolóvillákat, hengereket, félgömb alakú héjakat és gyűrűket foglalnak többek között magukba. A mikroforgácsolóeljárások alapvetően sík természete következtében a fent vázolt szerkezetek nem mindegyike alkalmas mikroforgácsolás céljára. A lapkafeldolgozó technikák a lapka síkjában nagy méret- és illesztési pontosságot biztosítanak. Gyűrű alakú szerkezetek esetében az egész rezonanciamozgás a gyűrű síkjában zajlik, ezért ezek azok a méretek, amelyek az eszköz jósága szempontjából a leginkább kritikusak. A síkgyűrű-szerkezetek így különösen alkalmasak az ilyen jellegű eljárásokkal történő előállításra, és számos kialakításuk ismert. Ilyen jellegű eljárásokat és szerkezeteket ismerhetünk meg többek között az EP B 0 619 471, az EP A 0 859 219, az EP A 0 461 761 és az US A 5 547 093 szabadalmi leírásokból, amelyek kapacitív módon meghajtott, illetve kapacitív szenzorokkal figyelt szerkezeteket is bemutatnak.
A korábbról ismert induktív eszközök esetében a rezonátorszerkezeteket kristályos szilíciumlapkákból maratással állítják elő. Ehhez azonban mágneses teret kell alkalmazni az átalakítófünkciók megvalósításához, amelyet egy pennanens mágnest és alakos pólusdarabokat magában foglaló mágneses kör segítségével biztosíthatunk. Ezeket hagyományos gyártási módszerekkel kell előállítani, és ezt követően össze kell szerelnünk, majd a rezonátorszerkezethez kell illesztenünk őket. Ez korlátozza az eszközméret csökkentésének azon mértékét, amelyre egyébként lehetőség nyílna, és jelentősen megnöveli egy egység bekerülési költségét is.
Az EP B 0 619 471 számú szabadalmi leírásban ismertetett eszközt szintén kristályos szilíciumlapkából maratják ki, de az az előnye, hogy a hajtószervet és az érzékelőszervet lapkafeldolgozó és lapkaszerelő módszerekkel állítják elő, így nincs szükség arra, hogy további, nem mikroforgácsolt alkatrészeket kelljen beiktatnunk. A gyártási eljárás és a giroszkóp alakja így lényegesen kisebb lesz, mint az induktív eszközök esetében. A kialakítás során három, egymással összekötött lapkát használunk, melyeket külön-külön kell feldolgoznunk, majd nagy pontossággal illesztenünk kell egymáshoz. A jelátalakító erősítése, ezen keresztül az eszköz jósága az egyes lapkák között kialakított üregek mélységétől függ. Míg a mikroforgácsolási eljárások a lapka síkjában nagy pontosságú illesztést és kis tűrést tesznek lehetővé, a harmadik tengely mentén a méretpontosság sokkal gyengébb lesz, ami az eszközjellemzők előre megjósolhatatlan változatosságában csapódik le. Ennek az ismert eszköznek további hiányossága, hogy viszonylag nagy számú gyártási lépéssel lehet létrehozni, és kétoldalú lapkamegmunkálásra van szükség. így az igen összetett gyártás továbbra is magas egységárat eredményez.
Az US A 5 547 093 számú szabadalmi leírásban ismertetett eszköz ugyancsak olyan hajtószervvel és érzékelőszervvel rendelkezik, melyeket lapkafeldolgozási módszerekkel állítanak elő, és alkalmas arra, hogy kis méretben gyártsák. Ennek a megoldásnak az még a járulékos előnye, hogy a kritikus jelátalakító rések a lapka síkjában húzódnak, így nagy pontossággal szabályozhatók. Azonban eltérően az előbbi eszközöktől, a rezonátort galvanoplasztikával kialakított fémből állítják elő. A kristályos szilíciumból mart eszközök esetében a rezonátort alkotó anyag mechanikai tulajdonságait a gyártási eljárások nem befolyásolják. Egy rezgő szerkezetű giroszkóp jósága kritikus módon függ a rezonátor mechanikai tulajdonságainak természetétől és stabilitásától. A kristályos szilícium nagy jóságú rezgések fenntartására alkalmas, olyan rezonanciajellemzőkkel, amelyek nagyobb hőmérséklet-tartományban stabilak, így rezonátoranyagként ideálisnak mondható. A galvanoplasztikával kialakított fémek nem képesek olyan, csaknem tökéletes rugalmas viselkedés és egységesség biztosítására, mint amelyet kristályos szilícium nyújt. A felhordási művelet egyenletességének optimalizálása céljából szükség van arra, hogy egy állandó méretet tudjunk biztosítani. Ehhez viszont a gyűrűnek, valamint a tartólábak szélességének azonosnak kell lennie, és ez súlyosan korlátozza a rezonátorméret kialakításának a rugalmasságát. Az eredőül kapott szerkezet modális viselkedését a rezonátor tartólábai fogják mértékadó módon meghatározni, potenciális szerelési érzékenységi
HU 223 540 Bl problémákat és bonyolult egyensúlyozási műveleteket maga után vonva. Ennek az eszköznek az előállítása egy igen összetett eljárás, amely nagyszámú olyan lépést is tartalmaz, amelyek előnytelenül befolyásolják mind a szilíciumlapka hasznosítását, mind pedig a gyártási költségeket.
A GB 9817347.9 számú szabadalmi leírás ezzel szemben egy kapacitív módon hajtott és ugyancsak kapacitíven érzékelt gyűrűs rezgő szerkezetet vagy rezonátort írt le, amelyet kristályos szilíciumból állítanak elő. Ennek a rezgő szerkezetnek a vázlatát az 1. ábrán tüntettük fel.
A fentiek alapján a találmánnyal célunk egy olyan gyártási eljárás létrehozása, amelynek segítségével nagyobb pontosságú giroszkópot tudunk előállítani, ahol az ennek alapján létrejövő rezgő szerkezet továbbra is megtartja a szilícium mechanikai jellemzőit.
A kitűzött feladatot egy rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására vonatkozó eljárással oldottuk meg, mely giroszkópnak szilíciumból készült, lényegében sík gyűrűs rezgő szerkezete, és a rezgő szerkezet mozgását előidéző, valamint a rezgő szerkezet mozgását érzékelő kapacitív hajtószerve és érzékelőszerve, továbbá a kapacitív hajtószervet és érzékelőszervet körülvevő ámyékolórétege van. Itt egy lemezszerű üvegből vagy szilíciumból készült hordozó egyik felületére első fotoreziszt anyagréteget viszünk fel. Az első fotoreziszt réteg keményítésével, mintázásával és előhívásával a hordozó kiválasztott területeit szabaddá tesszük. A hordozó szabaddá tett területeit maratjuk, és ezzel a hordozóban üregeket alakítunk ki, majd a maradvány első fotoreziszt anyagréteget eltávolítjuk az üreges hordozóról. Ezt követően a hordozó üreges felületére egy szilíciumréteget rögzítünk. A találmány szerint a szilíciumrétegnek a hordozótól távol eső felületére egy alumíniumréteget viszünk fel, majd az alumíniumrétegnek a szilíciumrétegtől távol eső felületére egy második fotoreziszt anyagréteget viszünk fel. Ennek a második fotoreziszt anyagrétegnek a keményítésével, mintázásával és előhívásával az alumíniumréteg kiválasztott területeit szabaddá tesszük. Ezt követően az alumíniumréteg szabaddá tett területeit maratjuk, és ezzel a szilíciumrétegen az ámyékolóréteg testpotenciálra kötését elősegítő, alumíniumból készült kontaktozási fémezést, a kapacitív hajtószerv és érzékelőszerv csatlakozási pontjait alkotó kontaktozási fémezéseket, és a lényegében sík gyűrű alakú rezgő szerkezet villamos csatlakoztatására szolgáló kontaktozási fémezést alakítunk ki. Ezután a maradvány második fotoreziszt anyagréteget eltávolítjuk az alumíniumrétegről, majd a szilíciumrétegre a maradék alumíniumréteg területekre egy harmadik fotoreziszt anyagréteget viszünk fel. Ennek a harmadik fotoreziszt anyagrétegnek a keményítésével, mintázásával és előhívásával a szilíciumréteg kiválasztott területeit szabaddá tesszük. Ezután a szilíciumréteg szabaddá tett kiválasztott területein mélyreaktív ionmarással kialakítjuk a kapacitív hajtószervet és érzékelőszervet, a körülvevő árnyékolóréteget és a lényegében sík gyűrű alakú rezgő szerkezetet, amely a hordozó üregei felett egy agyon van felszerelve. Ez a gyűrű alakú rezgő szerkezet oszcillálását, valamint a kapacitív hajtószerv, érzékelőszerv ámyékolóréteg és gyűrű alakú rezgő szerkezet egymástól való villamos elszigetelését teszi lehetővé.
A javasolt eljárás egy előnyös foganatosítási módja értelmében a fotoreziszt anyagot centrifugálöntéssel visszük fel, és hevítéssel keményítjük ki.
A javasolt eljárás egy másik előnyös foganatosítási módja értelmében az első fotoreziszt rétegben az előhívással szabaddá tett kiválasztott hordozóterületeket izotróp jellegű nedvesmaratással maratjuk.
A javasolt eljárás egy további előnyös foganatosítási módja értelmében üvegből készült hordozót használunk, amelyhez a szilíciumréteget anódos kötéssel erősítjük.
A javasolt eljárás egy további előnyös foganatosítási módja értelmében szilíciumhordozót használunk, amelyet termikusán oxidálunk, hogy egy olyan felületi oxidréteget kapjunk, amelyhez a szilíciumréteget fúziós kötéssel tudjuk erősíteni.
A javasolt eljárás egy további előnyös foganatosítási módja értelmében az alumíniumréteget szórással visszük fel a szilíciumrétegre.
A javasolt eljárás egy további előnyös foganatosítási módja értelmében az alumíniumréteg szabaddá tett területeit foszforsavalapú eljárással maratjuk.
A találmány jobb megértése érdekében a találmányt az alábbiakban a csatolt rajz segítségével részletesebben is ismertetjük, ahol a rajzon az
1. ábra egy kapacitív hajtású és érzékelésű gyűrűs rezgő szerkezetű vagy rezonátor giroszkóp vázlatos felülnézete, a technika állását alkotó GB 9817347.9 számú szabadalmi leírásból megismerhető kialakításban, a
2. ábrán az 1. ábra A-A vonal mentén vett metszete látható, amely a találmány szerinti eljárás első lépését mutatja az 1. ábra szerinti giroszkóp gyártási folyamatában, a
3. ábra a 2. ábrához hasonló metszetet mutat a találmány szerinti eljárás egy következő gyártási lépésében, a
4. ábra a 2. és 3. ábrán látott metszethez hasonló metszetet mutat, a találmány szerinti eljárás egy későbbi eljárási lépésében, és az
5. ábrán a találmány szerinti eljárás egy újabb lépésében mutatja az előállítandó giroszkópot, az előző ábrákhoz hasonlóan metszetben.
A rezgő szerkezetű giroszkóp gyártására vonatkozó találmány szerinti, itt csupán előnyös foganatosítási módjával bemutatott eljárással lényegében az 1. ábrán felülnézetben vázolt giroszkópot tudjuk előállítani, amelynek olyan, lényegében sík gyűrűs 1 rezgő szerkezete van, amely lényegében sík, gyűrű alakú szilíciumból készített 2 rezonátorból áll, amelyet a gyűrű alakú 2 rezonátortól egy központi szilícium- 4 agyhoz vezető, szintén szilíciumból készült 3 tartólábak tartanak. Az egyes ábrán bemutatott giroszkóp kapacitív 5 hajtószervvel rendelkezik, amellyel a gyűrű alakú 2 rezonátorra tudunk mozgást átvinni, valamint ugyancsak kapacitív 6 érzékelőszervvel rendelkezik, amellyel
HU 223 540 Β1 a gyűrű alakú 2 rezonátor mozgását érzékeljük és fogjuk fel. A giroszkópnak üvegből készült 7 hordozója (szubsztrátja) van, amelynek hőtágulási együtthatója illeszkedik a 2-5. ábrán látható 8 szilíciumréteg hőtágulási együtthatójához, a termikus igénybevételek minimalizálása érdekében. Egy alternatív megoldás értelmében a 7 hordozót szilíciumból is előállíthatjuk úgy, hogy hőmérsékleti együtthatója pontosan megegyezzen a 8 szilíciumréteg hőtágulási együtthatójával.
A rezgő szerkezetű, 1. ábrán látható felépítésű giroszkóp előállítására szolgáló találmány szerinti eljárás során egy első lépésben az üveglapszerű üvegből vagy szilíciumból készült 7 hordozó egyik felületére fotoreziszt anyagú első 9 réteget viszünk fel, amint az
2. ábrán nyomon követhető. A felhasznált fotoreziszt anyag előnyösen egy ipari szabvány szerinti „pozitív fotoreziszt anyag”, mint amilyen a kereskedelemben „Shipley S1818SP16” néven beszerezhető. Előnyösen a fotoreziszt anyagú első 9 réteget a 7 hordozóra centrifugálöntéssel visszük fel, majd ezt követően például hőhatással kikeményítjük úgy, hogy az előállítani kívánt mintához egy exponálómaszkot használunk, majd előhívjuk, és ezzel a 7 hordozó meghatározott és kiválasztott területeit hozzáférhetővé tesszük a rákövetkező lépésben végrehajtásra kerülő maratáshoz. A 7 hordozó ezen felületeit például egy izotróp jellegű nedvesmaratási művelettel maratjuk, és ezzel a 2. ábrán is látható 10 üregeket vagy mélyedéseket maratjuk a 7 hordozó felületébe. A 10 üregek olyan alakúak, hogy a 3 tartólábak és a gyűrű alakú 2 rezonátor részei számára akadálytalan rezgést, oszcillációt biztosítsanak. A 10 üregek kialakítása során jellemzően 20-30 mikrométer mély 10 üregeket állítunk elő, és a 7 hordozóba az ábrán nem látható helyezőjelöléseket is marathatunk, hogy ezzel is elősegítsük a rákövetkező maszkok 10 üregekhez való pontos illesztését. Ha ezzel megvagyunk, akkor a maradvány első 9 réteget a 10 üregekkel ellátott 7 hordozóról eltávolítjuk.
Ha a 7 hordozót üvegből készítjük, akkor a 7 hordozó üreges felületéhez anódos kötéssel 8 szilíciumréteget erősítünk, ez a lépés a 3. ábrán látható. A 8 szilíciumréteget még a 7 hordozóhoz történő kötést megelőzően, de akár azt követően is a kívánt vastagságúra vékonyíthatjuk. Az anódos kötési művelet során a 7 hordozót és a 8 szilíciumréteget egymással érintkezésbe hozzuk, majd megközelítőleg 400 °C hőmérsékletűre hevítjük, és az üvegből álló 7 hordozó és a 8 szilíciumréteg közé megközelítőleg 1000 V-os feszültséget kapcsolunk.
Egy alternatív megoldás szerint, ha a 7 hordozót szilíciumból készítettük, akkor ezt termikus oxidációnak vetjük alá, hogy egy megközelítőleg egy mikrométer vastagságú felületi oxidréteget hozzunk létre, majd a 8 szilíciumréteg oxidált felületét fúziós kötéssel hozzáerősítjük a szilícium- 7 hordozó üreges felületéhez. Ennek a műveletnek a során a 8 szilíciumréteget és a 7 hordozófelületet ugyancsak egymással érintkeztetjük, majd megközelítőleg 600 °C hőmérsékletűre hevítjük. Ez az eljárás feltételezi, hogy mind a 8 szilíciumréteg, mind a 7 hordozó felülete rendkívül sík, és bárminemű felületi szennyeződéstől mentes legyen.
A fémezés és a maratás miatt az ezekben a lépésekben alkalmazott maszkokat nagy pontossággal illesztenünk kell a 7 hordozó 10 üregeihez. Ha üvegből készült hordozót használunk, akkor az illesztési jelek az egymáshoz kötött 8 szilíciumréteg és a 7 hordozópár alsó oldalán keresztül láthatók lesznek. A fémezési és maratási jelöléseket egy kétoldalú illesztősablon segítségével pontosan hozzá tudjuk igazítani a jelölésekhez. Ha viszont szilíciumból készült 7 hordozót használunk, az átlátszatlan felületen keresztül azokat nem láthatjuk. Ebben az esetben a 7 hordozó alsó felületén kell az illesztési jeleket előállítanunk, amihez arra van szükség, hogy egy járulékos maszkolási szintet használjunk, amelyhez egy kétoldalú illesztősablon segítségével illeszteni tudjuk az üreges felület illesztési jeleit.
Az említett kétoldalú illesztősablon használata elkerülhető, ha a 7 hordozón kialakított illesztési jelölések a szilíciumrétegen keresztül láthatóak. Ehhez viszont arra van szükség, hogy a 8 szilíciumréteget az illesztési jelölések környezetében kimarassuk. Egy járulékos, további maratómaszkra van szükségünk, hogy a szilíciumot megbízhatóan eltávolítsuk az izotróp jellegű szárazmaratásos eljárás során. A szabaddá vált területnek elegendően nagynak kell lennie ahhoz, hogy az illesztési jelölések teljes egészében megfigyelhetők legyenek, anélkül, hogy pontos illesztést kellene a 7 hordozólapkához megvalósítanunk (megfelelőek erre a feladatra például a 4 mm x 4 mm-es üregek). Ha a már összekötött hordozófelületen lévő illesztési jelöléseket szabaddá tettük, így már egy sima egyoldalas illesztősablont is használhatunk a többi maszk igazításához.
A találmány szerinti eljárás következő lépésében egy, az ábrán nem látható alumíniumréteget juttatunk a szilíciumréteg felületére, a 8 szilíciumréteg 7 hordozóval érintkező felületétől távolabbi oldalán. Az alumíniumot előnyösen porlasztással juttatjuk fel. Egy, az ábrán szintén nem látható második fotoreziszt anyagréteget helyezünk azután az alumíniumréteg külső felületére, előnyösen centrifugálöntéssel, majd azt előnyösen hőhatás alkalmazásával kikeményítjük, a megfelelő mintázattal ellátjuk, majd előhívjuk, hogy az alumíniumréteg kiválasztott területeit feltárjuk. Az alumíniumréteg szabaddá tett területeit ezt követően egy foszforsavalapú eljárás segítségével maratjuk, hogy a 8 szilíciumrétegen a 4. ábrán látható 11,12 kontaktozási fémezést biztosító alumíniumszigeteket kapjunk.
Ily módon ki tudunk alakítani egy olyan 11 kontaktozási fémezést, amelyen keresztül egy árnyékolóréteget testpotenciálra tudunk kötni, valamint a járulékos 12, 13 kontaktozási fémezéseken keresztül az ábrán nem látható külső áramkörrel tudjuk összekötni az 5 hajtószervet és a 6 érzékelőszervet. A gyűrű alakú 2 rezonátor villamos bekötését egy további 14 kontaktozási fémezés teszi lehetővé.
A maradék második fotoreziszt réteget eltávolítjuk az alumíniumrétegről, és a 11, 12, 13 és 14 kontaktozási fémezésekről, valamint előnyösen a 8 szilíciumréteg szabad felületeire történő centrifugálöntéssel egy harmadik fotoreziszt anyagréteget viszünk fel a 11, 12, 13 és 14 kontaktozási fémezésekre. Ezt a harmadik
HU 223 540 Β1 fotoreziszt anyagréteget megszilárdítjuk, előnyösen hevítéssel, a megfelelő mintázattal látjuk el, majd előhívjuk, hogy a 8 szilíciumréteg kiválasztott területeit szabaddá tegyük. Ezt követően a 7 hordozón kialakított illesztési jelölésekhez egy maratási maszkot illesztünk, mielőtt ezt a harmadik fotoreziszt anyagréteget előhívjuk, és a 8 szilíciumréteg kiválasztott, szabaddá tett területein egy mélyreaktív ionmarást végzünk, hogy kialakítsuk a lényegében sík, gyűrűs 1 rezgő szerkezetet, pontosabban a 7 hordozó 10 üregei fölött elhelyezkedő 4 agyon felszerelt gyűrű alakú 2 rezonátort és 3 tartólábakat, a kapacitív 5 hajtószervet és 6 érzékelőszervet, valamint egy további 15 ámyékolóréteget, amely az 1. és 5. ábrán látható módon veszi körül a 2 rezonátort és az 5 hajtószervet és 6 érzékelőszervet. Ezeknek a szerkezeti elemeknek a 7 hordozó felületére történő elhelyezése során az egyes szerkezeti kialakítások villamosán el vannak egymástól szigetelve. A marást egy megfelelő és hagyományos mélyreaktív ionmarási eljárással hajtjuk végre, amellyel mély és keskeny vágatokat tudunk előállítani 40:1 keresztmetszeti aránnyal, amelyek a szilíciumban hozzávetőlegesen függőleges oldalfallal helyezkednek el. A marási lépés magában foglalja spontán vegyi marással fluorbázisú plazmával a szilícium kiválasztását, valamint az egy fluorpolimer passziválás! lépésben kimart mélyedések oldalfalának a passziválását. Ha ezeket a lépéseket számítógépvezérlés segítségével módosítjuk, a szilíciumban nagy pontosságú és kiváló minőségű alakzatokat tudunk előállítani.
A szilícium marathatósága lényegesen jobb, mint az üvegé, ezért az üvegből készült 7 hordozó marási fékként hat, ennek következtében a 12 és 13 kontaktozási fémezések a 8 szilíciumrétegen keresztül továbbra is hozzákötődnek a 7 hordozóhoz, de villamosán elszigetelődnek az őket körülvevő 15 ámyékolórétegtől. A megmaradó harmadik fotoreziszt réteget ezt követően eltávolíthatjuk az alumíniumrétegről.
A működtetés során a giroszkóp mozgását a kapacitív hajtószervre rezonanciafrekvencián adott feszültséggel gerjesztjük és szabályozzuk. Az ebből fakadó torziós rezgést az érzékelőkapacitás-réseken folyó áram segítségével detektálhatjuk. Pörgettyűs hatáshibák léphetnek fel, ha a kapacitív hajtójelek csatolásba lépnek a kapacitíven levett érzékelési jelekkel, minek következtében hamis jeleket kaphatunk. Ezt a hatást ezért minimalizálni kell, amit úgy tudunk elérni, ha alkalmazzuk a 15 ámyékolóréteget, amely a 8 szilíciumréteg síkjában minden oldalról körülveszi az egyes kapacitív helyeket, kivéve a gyűrű alakú 2 rezonátorral szemben lévő részt. A 15 ámyékolóréteget külsőleg csatlakoztatjuk a felső felületen kialakított 11 kontaktozási fémezésen keresztül testpotenciálra.
Ha a 7 hordozóanyag a szilícium, úgy egy járulékos kapacitív csatolási útvonal is kialakul a 8 szilíciumréteg véges vezetőképessége következtében. A hajtójel csatolódhat a 7 hordozóba, amelyet a hajtókapacitások alsó felületétől csupán a 8 szilíciumréteg és a 7 hordozó közötti vékony (~1 pm) oxidréteg választ el. Ez viszont visszacsatolást okozhat az érzékelőkapacitáshelyekhez. Ezt a csatolási mechanizmust úgy szüntethetjük meg, ha a 7 hordozót villamosán testre kötjük. Ha a 2 rezonátort az ábrán nem látható fémházba zárjuk, akkor azt az árnyékolást egyszerű módon úgy érjük el, hogy a 7 hordozó alsó felületét például villamosán vezető epoxi segítségével a fémház felületével hozzuk érintkezésbe és a fémházat külső áramkörön át tudjuk földre kötni. Ha ez valamiért nem lehetséges, a felső felületet vezetékkel is testelhetjük, amihez az eddig leírt eljárást egyes pontokon módosítanunk kell. Nevezetesen, ehhez arra van szükség, hogy a 15 árnyékolórétegbe a 7 hordozó sarkain járulékos hozzáférési furatokat alakítsunk ki, amelyet a maratási maszk módosításával érhetünk el. Az említett furatok alján szabaddá vált oxidot valamilyen oxidszelektív szárazmaratóeljárással eltávolítjuk, és így hozzáférhetővé tesszük a villamosán vezető 7 hordozófelületet. A 7 hordozó villamos bekötése megvalósításához egy járulékos fémezési műveletre is szükségünk van, és ennek során fémet, például alumíniumot vihetünk fel az említett furatok felületére, egy egyszerű árnyékoló maszkolási technika segítségével. A testelést ezután a fémezett furatfelület és a 11 kontaktozási fémezés közötti vezetőhuzallal hozhatjuk létre.
Egyetlen üveg- vagy szilíciumalapú 7 hordozón több giroszkópeszközt állíthatunk elő, amelyeket az előállítást követően hasítással tudunk szétválasztani. Alternatív megoldásként a 7 hordozóba olyan mély árkokat vághatunk, amelyek lehetővé teszik a 7 hordozó széttörését a vágási vonalak mentén, hogy így hozzuk elő az egyedi giroszkópeszközöket. Ezt megfelelő és szokásos módon közvetlenül a 8 szilíciumréteg és a 7 hordozó összekötését követően hajtjuk végre. Ennek az lesz az előnye, hogy a 7 hordozó vágása során keletkező hulladék még a 10 üregeket felszabadító keskeny árkok kimarását megelőzően keletkezik, és mivel a törés során nem keletkezik hulladék, csökkenteni tudjuk a 10 üregek szennyeződésének a veszélyét, ezen keresztül a gyűrű alakú 2 rezonátor szabad oszcillálását.
A találmány szerinti gyártási eljárással egy olyan szerkezetet kapunk, ami megtartja a 8 szilíciumréteg mechanikai tulajdonságait. A 2 rezonátor, valamint a hajtásnál és jellevételnél szerepet játszó jelátalakító rések kritikus mérete mind a 8 szilíciumréteg síkjában határozható meg. Az itt ismertetett szerkezeteket szokásos maszkoló- és mélyreaktív ionmaró módszerek segítségével nagy pontossággal tudjuk előállítani. Ezek a módszerek teljesen kompatibilisek a kis giroszkópeszközök gyártásával, de lényeges módosítás nélkül széles mérettartományba eső eszközök esetében használhatók. A javasolt eljárás ezen túlmenően egyoldalú feldolgozást tesz lehetővé a lehető legkisebb számú lépéssel úgy, hogy emellett jó hozamú, olcsó gyártási lehetőséget biztosít.
HU 223 540 Β1
Claims (7)
- SZABADALMI IGÉNYPONTOK1. Eljárás rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására, amely giroszkóp szilíciumból készült, lényegében sík gyűrűs rezgő szerkezetű (1), és a rezgő szerkezet (1) mozgását előidéző, valamint a rezgő szerkezet (1) mozgását érzékelő kapacitív hajtószerve (5) és érzékelőszerve (6), továbbá a kapacitív hajtószervet (5) és érzékelőszervet (6) körülvevő ámyékolórétege (15) van, ahol egy lemezszerű, üvegből vagy szilíciumból készült hordozó (7) egyik felületére első fotoreziszt anyagréteget (9) viszünk fel, az első fotoreziszt anyagréteg (9) keményítésével, mintázásával és előhívásával a hordozó (7) kiválasztott területeit szabaddá tesszük, a hordozó (7) szabaddá tett területeit maratjuk, és ezzel a hordozóban (7) üregeket (10) alakítunk ki, majd a maradvány első fotoreziszt anyagréteget (9) eltávolítjuk az üreges hordozóról (7), ezt követően a hordozó (7) üreges felületére egy szilíciumréteget (8) rögzítünk, azzal jellemezve, hogy a szilíciumrétegnek (8), a hordozótól (7) távol eső felületére egy alumíniumréteget viszünk fel, majd az alumíniumrétegnek a szilíciumrétegtől (8) távol eső felületére egy második fotoreziszt anyagréteget viszünk fel, és ennek a második fotoreziszt anyagrétegnek a keményítésével, mintázásával és előhívásával az alumíniumréteg kiválasztott területeit szabaddá tesszük, ezt követően az alumíniumréteg szabaddá tett területeit maratjuk, és ezzel a szilíciumrétegen (8) az árnyékolóréteg (15) testpotenciálra kötését elősegítő, alumíniumból készült kontaktozási fémezést (11), a kapacitív hajtószerv (5) és érzékelőszerv (6) csatlakozási pontjait alkotó kontaktozási fémezéseket (12, 13), és a lényegében sík gyűrű alakú rezgő szerkezet (1) villamos csatlakoztatására szolgáló kontaktozási fémezést (14) alakítunk ki, majd a maradvány második fotoreziszt anyagréteget eltávolítjuk az alumíniumrétegről, majd a szilíciumrétegre (8) a maradék alumíniumréteg területekre egy harmadik fotoreziszt anyagréteget viszünk fel, és ennek a harmadik fotoreziszt anyagrétegnek a keményítésével, mintázásával és előhívásával a szilíciumréteg (8) kiválasztott területeit szabaddá tesszük, majd a szilíciumréteg (8) szabaddá tett kiválasztott területein mélyreaktív ionmarással kialakítjuk a kapacitív hajtószervet (5) és érzékelőszervet (6), a körülvevő ámyékolóréteget (15) és a lényegében sík gyűrű alakú rezgő szerkezetet (1), amely a hordozó (7) üregei (10) felett egy, a gyűrű alakú rezgő szerkezet (1) oszcillálását, valamint a kapacitív hajtószerv (5), érzékelőszerv (6), ámyékolóréteg (15) és gyűrű alakú rezgő szerkezet (1) egymástól való villamos elszigetelését lehetővé tevő agyon (4) van felszerelve.
- 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a fotoreziszt anyagot centrifugálöntéssel visszük fel, és hevítéssel keményítjük ki.
- 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az első fotoreziszt rétegben az előhívással szabaddá tett kiválasztott hordozó- (7) területeket izotróp jellegű nedvesmaratással maratjuk.
- 4. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy üvegből készült hordozót (7) használunk, amelyhez a szilíciumréteget (8) anódos kötéssel erősítjük.
- 5. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy szilíciumhordozót (7) használunk, amelyet termikusán oxidálunk, hogy egy olyan felületi oxidréteget kapjunk, amelyhez a szilíciumréteget (8) fúziós kötéssel tudjuk erősíteni.
- 6. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az alumíniumréteget szórással visszük fel a szilíciumrétegre (8).
- 7. Az 1-6. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az alumíniumréteg szabaddá tett területeit foszforsavalapú eljárással maratjuk.HU 223 540 Bl Int. Cl.7: GOI C 19/56HU 223 540 Β1 Int. Cl.7: GOI C 19/562. ábra3. ábra5. ábra
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GBGB9828478.9A GB9828478D0 (en) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | Method of manufacturing a vibrating structure gyroscope |
| PCT/GB1999/004298 WO2000039525A1 (en) | 1998-12-24 | 1999-12-17 | Method of manufacturing a vibrating structure gyroscope |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| HUP0104694A2 HUP0104694A2 (hu) | 2002-03-28 |
| HUP0104694A3 HUP0104694A3 (en) | 2002-05-28 |
| HU223540B1 true HU223540B1 (hu) | 2004-09-28 |
Family
ID=10844917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| HU0104694A HU223540B1 (hu) | 1998-12-24 | 1999-12-17 | Eljárás rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására |
Country Status (17)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6471883B1 (hu) |
| EP (1) | EP1163490B1 (hu) |
| JP (1) | JP5049427B2 (hu) |
| KR (1) | KR100630916B1 (hu) |
| CN (1) | CN1128342C (hu) |
| AT (1) | ATE272206T1 (hu) |
| AU (1) | AU762989B2 (hu) |
| CA (1) | CA2353147A1 (hu) |
| CZ (1) | CZ20012348A3 (hu) |
| DE (1) | DE69919036T2 (hu) |
| ES (1) | ES2221469T3 (hu) |
| GB (1) | GB9828478D0 (hu) |
| HU (1) | HU223540B1 (hu) |
| NO (1) | NO20013151L (hu) |
| PL (1) | PL348418A1 (hu) |
| TW (1) | TW593980B (hu) |
| WO (1) | WO2000039525A1 (hu) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100444588B1 (ko) * | 2002-11-12 | 2004-08-16 | 삼성전자주식회사 | 글래스 웨이퍼의 비아홀 형성방법 |
| US20050062362A1 (en) * | 2003-08-28 | 2005-03-24 | Hongyuan Yang | Oscillatory gyroscope |
| US7464590B1 (en) * | 2004-03-12 | 2008-12-16 | Thomson Licensing | Digitally programmable bandwidth for vibratory rate gyroscope |
| JP5145637B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2013-02-20 | ソニー株式会社 | 振動型ジャイロセンサ |
| WO2008071906A1 (en) | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Bae Systems Plc | Improvements relating to thin film getter devices |
| CN101666646B (zh) * | 2009-10-16 | 2011-03-16 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法 |
| CN103442324B (zh) * | 2013-08-22 | 2017-08-18 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 背板及其制造方法 |
| US9825610B1 (en) | 2014-02-28 | 2017-11-21 | Hrl Laboratories, Llc | Tunable stiffness mechanical filter and amplifier |
| GB2565298B (en) | 2017-08-07 | 2022-03-16 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Angular rate sensors |
| GB2567479B (en) | 2017-10-13 | 2022-04-06 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Angular rate sensors |
| GB2570732B (en) | 2018-02-06 | 2023-01-11 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Angular rate sensors |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5216490A (en) * | 1988-01-13 | 1993-06-01 | Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Bridge electrodes for microelectromechanical devices |
| US5846638A (en) * | 1988-08-30 | 1998-12-08 | Onyx Optics, Inc. | Composite optical and electro-optical devices |
| US5006487A (en) * | 1989-07-27 | 1991-04-09 | Honeywell Inc. | Method of making an electrostatic silicon accelerometer |
| US5555765A (en) * | 1993-02-10 | 1996-09-17 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Gimballed vibrating wheel gyroscope |
| GB2276976B (en) * | 1993-04-07 | 1996-10-23 | British Aerospace | Method of manufacturing a motion sensor |
| US5450751A (en) * | 1993-05-04 | 1995-09-19 | General Motors Corporation | Microstructure for vibratory gyroscope |
| US5547093A (en) * | 1994-09-14 | 1996-08-20 | Delco Electronics Corporation | Method for forming a micromachine motion sensor |
| US5725729A (en) * | 1994-09-26 | 1998-03-10 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Process for micromechanical fabrication |
| US5789323A (en) * | 1995-04-25 | 1998-08-04 | Ramtron International Corporation | Fabrication of metal-ferroelectric-metal capacitors with a two step patterning sequence |
| US5600065A (en) * | 1995-10-25 | 1997-02-04 | Motorola, Inc. | Angular velocity sensor |
| KR0171009B1 (ko) * | 1995-12-07 | 1999-05-01 | 양승택 | 원판 진동형 마이크로 자이로스코프 및 그의 제조방법 |
| US5806365A (en) * | 1996-04-30 | 1998-09-15 | Motorola, Inc. | Acceleration sensing device on a support substrate and method of operation |
| DE19617666B4 (de) * | 1996-05-03 | 2006-04-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Drehratensensor |
| US5992233A (en) | 1996-05-31 | 1999-11-30 | The Regents Of The University Of California | Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope |
| US5885353A (en) * | 1996-06-21 | 1999-03-23 | Micron Technology, Inc. | Thermal conditioning apparatus |
| US5924010A (en) * | 1996-10-30 | 1999-07-13 | United Microelectronics Corp. | Method for simultaneously fabricating salicide and self-aligned barrier |
| US6146917A (en) * | 1997-03-03 | 2000-11-14 | Ford Motor Company | Fabrication method for encapsulated micromachined structures |
| US6143583A (en) * | 1998-06-08 | 2000-11-07 | Honeywell, Inc. | Dissolved wafer fabrication process and associated microelectromechanical device having a support substrate with spacing mesas |
| US5929497A (en) * | 1998-06-11 | 1999-07-27 | Delco Electronics Corporation | Batch processed multi-lead vacuum packaging for integrated sensors and circuits |
| US6159798A (en) * | 1998-11-17 | 2000-12-12 | Winbond Electronics Corporation | Method for forming a floating gate with improved surface roughness |
-
1998
- 1998-12-24 GB GBGB9828478.9A patent/GB9828478D0/en not_active Ceased
-
1999
- 1999-12-14 TW TW088121881A patent/TW593980B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-12-17 WO PCT/GB1999/004298 patent/WO2000039525A1/en active IP Right Grant
- 1999-12-17 AU AU18720/00A patent/AU762989B2/en not_active Ceased
- 1999-12-17 PL PL99348418A patent/PL348418A1/xx unknown
- 1999-12-17 DE DE69919036T patent/DE69919036T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-17 CA CA002353147A patent/CA2353147A1/en not_active Abandoned
- 1999-12-17 EP EP99962348A patent/EP1163490B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-17 KR KR1020017007816A patent/KR100630916B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-12-17 AT AT99962348T patent/ATE272206T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-12-17 JP JP2000591380A patent/JP5049427B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-17 CZ CZ20012348A patent/CZ20012348A3/cs unknown
- 1999-12-17 CN CN99814913A patent/CN1128342C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-17 ES ES99962348T patent/ES2221469T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-17 HU HU0104694A patent/HU223540B1/hu not_active IP Right Cessation
- 1999-12-22 US US09/468,838 patent/US6471883B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-06-22 NO NO20013151A patent/NO20013151L/no not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ATE272206T1 (de) | 2004-08-15 |
| WO2000039525A1 (en) | 2000-07-06 |
| CZ20012348A3 (cs) | 2001-11-14 |
| CA2353147A1 (en) | 2000-07-06 |
| HUP0104694A3 (en) | 2002-05-28 |
| EP1163490B1 (en) | 2004-07-28 |
| TW593980B (en) | 2004-06-21 |
| AU1872000A (en) | 2000-07-31 |
| NO20013151D0 (no) | 2001-06-22 |
| US6471883B1 (en) | 2002-10-29 |
| HUP0104694A2 (hu) | 2002-03-28 |
| JP5049427B2 (ja) | 2012-10-17 |
| AU762989B2 (en) | 2003-07-10 |
| GB9828478D0 (en) | 1999-02-17 |
| DE69919036D1 (de) | 2004-09-02 |
| NO20013151L (no) | 2001-08-22 |
| CN1334914A (zh) | 2002-02-06 |
| CN1128342C (zh) | 2003-11-19 |
| KR20010105318A (ko) | 2001-11-28 |
| JP2002533703A (ja) | 2002-10-08 |
| KR100630916B1 (ko) | 2006-10-02 |
| PL348418A1 (en) | 2002-05-20 |
| EP1163490A1 (en) | 2001-12-19 |
| DE69919036T2 (de) | 2004-11-25 |
| ES2221469T3 (es) | 2004-12-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5806254B2 (ja) | 単結晶シリコン電極を備えた容量性微小電気機械式センサー | |
| US6944931B2 (en) | Method of producing an integral resonator sensor and case | |
| US7040163B2 (en) | Isolated planar gyroscope with internal radial sensing and actuation | |
| US7818871B2 (en) | Disc resonator gyroscope fabrication process requiring no bonding alignment | |
| EP0619471B1 (en) | A method of manufacturing a motion sensor | |
| US20050160816A1 (en) | Vibrating beam accelerometer | |
| US20040050160A1 (en) | Split-resonator integrated-post MEMS gyroscope | |
| HU223540B1 (hu) | Eljárás rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására | |
| US20100095770A1 (en) | Frequency modulated micro gyro | |
| EP0895276A1 (en) | Process for manufacturing integrated microstructures of single-crystal semiconductor material | |
| JP4698221B2 (ja) | 内部径方向検知およびアクチュエーションを備える分離型平面ジャイロスコープ | |
| KR20040101048A (ko) | 커패시턴스형 동적량 센서 및 그 제조 방법 | |
| US20230067030A1 (en) | Fabrication of mems structures from fused silica for inertial sensors | |
| CN116124111A (zh) | 一种电磁式熔融石英环形微陀螺仪及其制备方法 | |
| Khan et al. | Fabrication method of quartz glass ring resonator using sacrificial support structure | |
| US6938487B2 (en) | Inertia sensor | |
| JP2004177218A (ja) | 半導体加速度センサ | |
| JP2004177219A (ja) | 半導体加速度センサ | |
| JPH02277248A (ja) | 微小部品の位置合せ方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HFG4 | Patent granted, date of granting |
Effective date: 20040719 |
|
| HMM4 | Cancellation of final prot. due to non-payment of fee |