JP2004159047A - 音叉型水晶振動子及び棒状振動子 - Google Patents
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Abstract
【目的】振動特性を良好に維持して小型化を促進する音叉型水晶振動子及び棒状振動子を提供する。
【構成】一対の音叉腕が音叉基部から延出してなる結晶軸(XYZ)を有する音叉型水晶振動子において、前記X軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向として、前記一対の音叉腕のそれぞれはX軸方向の±極性を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に例えばシロキサン結合とした直接接合され、前記Y軸とZ軸のなす両前記音叉腕の両主面に励振電極を設けた構成とする。また、棒状振動子にも適用される。
【選択図】図1
【構成】一対の音叉腕が音叉基部から延出してなる結晶軸(XYZ)を有する音叉型水晶振動子において、前記X軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向として、前記一対の音叉腕のそれぞれはX軸方向の±極性を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に例えばシロキサン結合とした直接接合され、前記Y軸とZ軸のなす両前記音叉腕の両主面に励振電極を設けた構成とする。また、棒状振動子にも適用される。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は音叉型水晶振動子(以下、音叉型振動子とする)及び棒状振動子を産業上の技術分野とし、特に振動特性に優れて小型化に適した音叉型振動子に関する。
【0002】
【従来の技術】
(発明の背景)音叉型振動子は時間の基準源として腕時計等に広く使用されている。近年では、携帯電話等にも採用され、ますますの小型化が要求される。
【0003】
(従来技術の一例)第5図は一従来例を説明する音叉型振動子の図である。
音叉型振動子は一対の音叉腕1(ab)が音叉基部2から延出してなり、結晶軸(XYZ)のZ軸に主面が直交したZカット板からなる。そして、X軸を幅、Y軸を長さ、Z軸を厚み方向とする。ここでは、幅方向の左側を−X軸として右側を+軸とする。そして、一対の音叉腕1(ab)の4面には励振電極3が形成され、音叉基部2に図示しない引出電極が延出して保持される。
【0004】
励振電極3は、第6図に示したように一対の音叉腕1(ab)ともに両主面と両側面を同電位とし、一方の音叉腕1aでは両主面が+電位であれば両側面を−電位とする。そして、他方の音叉腕1bでは一方の音叉腕1aとは逆電位とし、両主面を−電位として両側面を+電位となる結線とする。
【0005】
このようなものでは、一方の音叉腕1aでは両主面から両側面へ向かう電界のうちの、+X軸方向へのベクトル成分Pによって内側面領域は、第7図に示したように矢印(一重線)で示すようにY軸方向に伸張する。また、−X軸方向へのベクトル成分Qによって外側面領域はY軸方向に縮小する。要するに、+X軸から−軸方向に電界が向かうときはY軸方向に伸張し、−X軸から+X軸方向に電界が向かうときはY軸方向に縮小する。
【0006】
したがって、一方の音叉腕1aは矢印(二重線)で示すように外方向へ傾斜する。他方の音叉アームは同様の理由によって、外方向へ傾斜する。これにより、交番電圧を印加すると一対の音叉腕1(ab)は所謂音叉振動を生ずる。なお、振動周波数はW/L2に比例する(但し、Wは音叉腕の幅、Lは長さ)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
(従来技術の問題点)しかしながら、上記構成の音叉型振動子では小型化が進行するとCIが増大する問題があった。すなわち、各音叉腕2(ab)の幅が小さくなると励振電極3の電極面積も小さくなり、充分な電界を供給できずにCIが増大する問題があった。
【0008】
そこで、第8図に示したように各音叉腕1(ab)の両主面に対向する凹所4を設けて励振電極3を形成する。このようにすれば、X軸(幅)方向での電界が直線的になるので電界強度が増してCIを小さくできることが提案されている(特許文献1及び2)。しかしながら、この場合には主面の中央部に対向する凹所4を設けるため、強度が低下して耐衝撃性に問題を生ずる。
【0009】
(発明の目的)本発明は振動特性を良好に維持して小型化を促進する音叉型振動子及び棒状振動子を提供することを目的とする。
【0010】
【特許文献1】特開2002−76827号公報
【特許文献2】特開2002−204141号公報
【特許文献3】日本国特許第3335122号
【0011】
【課題を解決するための手段】
(着目点及び適用)本発明は、特許文献1及び2で示されるように電界がX軸方向に直線的になればCIが小さくなる点に着目し、特許文献3で示される直接接合技術を用いたX軸の極性を逆とした電界印加法を適用した。
【0012】
(解決手段)本発明の請求項1、2は、X軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向として、一対の音叉腕のそれぞれはX軸の±極性を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合、具体的にはシロキサン結合(Si−O−Si)によって接合し、Y軸とZ軸のなす音叉腕の両主面に励振電極を設けた構成とする。
【0013】
このようなものでは、音叉腕の両主面に設けた励振電極によって電界を印加すると、第1と第2の水晶片のX軸方向が逆向きなので、内側とした例えば第1の水晶片が伸張すると外側となる第2の水晶片は縮小する。したがって、一方と他方の音叉腕の両主面に逆向きの電界を印加すれば音叉振動を生ずる。これにより、電界方向がX軸方向で直線的となるのでCIを小さくして振動特性を良好にし、小型化を促進する。
【0014】
請求項3は、結晶軸(XYZ)のX軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向とした棒体からなる棒状振動子において、前記棒体はX軸方向を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合され、前記Y軸とZ軸のなす前記棒体の両主面に励振電極を設けた構成とする。
【0015】
本発明から付随的に派生した発明であり、電界がX軸方向に沿って直線状となるので電界強度が高まり、所謂屈曲振動姿態の棒状振動子が得られる。勿論、一端部側に対面する励振電極を形成し、他端部を保持した場合での振動も期待できる。以下、本発明の一実施例を説明する。
【0016】
【実施例】
第1図(ab)は本発明の一実施例を説明する音叉型振動子の図で、同図(a)は音叉型振動子の図、同図(b)は上面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
音叉型振動子は前述した音叉基部2から一対の音叉腕1(ab)が延出してなり、ここでは主面がX軸に直交した貼り合わせによるXカット板からなる。そして、X軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向とする。要するに、従来とはX軸とZ軸を入れ替えてある。そして、一対の音叉腕1(ab)はそれぞれ内側と外側の第1と第2の水晶片5(ab)からなる。
【0017】
各第1水晶片5aは一主面から他主面に向かって、第2水晶片5bは他主面から一主面向かって−X軸から+X軸とする。すなわち、各音叉腕1(ab)における第1と第2の水晶片5(ab)は厚み方向での±極性を逆向きにする。そして、一対の音叉腕1(ab)の両主面に励振電極3を形成し、一対の音叉腕1(ab)ともに対をなす電位として、電界の向きが同方向となる結線とする。
【0018】
一対の音叉腕1(ab)の第1と第2の水晶片5(ab)及び基部2の一部となる第3の水晶片6を直接接合によって張り合わされる。直接接合は接合面を鏡面研磨して親水化(OH基化)して仮接合(オプティカルコンタクト)し、これを加熱してシロキサン結合(Si−O−Si)によって原子間レベルで接合される。
【0019】
このようなものでは、第1図(b)及び第2図に示したように例えば各音叉腕1(ab)の主面を+として他主面を−とした電界を印加すると次になる。すなわち、各音叉腕1(ab)における内側の第1水晶片5aは前述したように−X軸から+X軸方向に電界が向かうので、即ち電界方向と±X軸の極性が逆なのでY軸方向に伸張する。そして、外側の第2水晶片5bは電界方向が+X軸から−X軸方向に向かうので、即ち電界方向と±X軸の強制が同じなのでY軸方向に縮小する。
【0020】
したがって、一対の音叉腕1(ab)はいずれも外方向に傾斜する。そして、電界方向を逆向きにすれは、一対の音叉腕1(ab)は内方向に傾斜する。これにより、交番電圧を印加すれば音叉振動を生ずる。
【0021】
これらのことから、一対の音叉腕1(ab)にはX軸方向の電界が直線状として印加されるので、従来例に比較して電界効率を高める。また、凹所等を設けることがないので、耐衝撃性も良好とする。したがって、CIを小さくできて振動特性を高め、小型化を促進できる。
【0022】
また、ここでは各音叉腕1(ab)の両側面の励振電極を不要として両主面にのみ励振電極3を形成すればよいので、電極形成を容易にする。
【0023】
【他の事項】
上記実施例では、一対の音叉腕1(ab)における第1と第2の水晶片5(ab)はいずれも内側同士及び外側同士を同一として逆向の極性としたが、例えば第3図に示したようにしてもよい。すなわち、一方の音叉腕1aは内側の第1水晶片5aは一主面を−X軸、他主面を+X軸とし、外側の第2水晶片5bは一主面を+X軸、他主面を−X軸とする。
【0024】
他方の音叉腕1bは内側の第1水晶片5aは一主面を+X軸、他主面を−X軸とし、外側の第2水晶片5bは一主面を+X軸、他主面を+X軸とする。そして、励振電極3には逆向きとなる電界を印加する。このような構成でも、各音叉腕1(ab)における内側の水晶片5aは電界方向Pと±X軸の極性が逆なのでY軸方向に伸張する。そして、各外側の水晶片5bは電界方向Pと±X軸の極性が同じなのでY軸方向に縮小する。したがって、一対の音叉腕1(ab)は音叉振動を生ずる。
【0025】
また、音叉型振動子として説明したが、本発明によれば付随的に次のことが言える。すなわち、電界がX軸に沿って直線状であるため電界強度が非常に高くなる。したがって、第4図に示したようにY軸とZ軸のなす両主面に励振電極3を設けて所謂棒体の屈曲振動としても、同様にCIを小さくするので、本発明を適用できる。
【0026】
これらの場合、通常の屈曲振動を得る場合は棒体の節点領域を保持する。さらには、一端部を固定端として強制的な節点領域として他端部を自由端として励振した場合でも、電界が直線状なのでその振動が期待できる。なお、音叉型振動子は貼り合わせによるZカットとしたが、例えば温度特性等との関係から概ね±10度を含むものである。
【0027】
【発明の効果】
本発明は、本発明の請求項1、2は、X軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向として、一対の音叉腕のそれぞれはX軸の±極性を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合、具体的にはシロキサン結合(Si−O−Si)によって接合し、Y軸とZ軸のなす音叉腕の両主面に励振電極を設けた構成とする。また、付随的にX軸方向を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合し、Y軸とZ軸のなす棒体の両主面に励振電極を設けた構成とする。
【0028】
これらにより、振動特性を良好に維持して小型化を促進する音叉型振動子及び棒状振動子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を説明する図で、同図(a)は音叉型振動子の図、同図(b)は上面図である。
【図2】本発明の一実施例の作用を説明する音叉型振動子の正面図である。
【図3】本発明の一実施例の他の例を説明する音叉型振動子の上面図である。
【図4】本発明の他の実施例を説明する棒状振動子の図である。
【図5】従来例を説明する音叉型振動子の図である。
【図6】従来例を説明する音叉型振動子の上面図である。
【図7】従来例の作用を説明する音叉型振動子の正面図である。
【図8】従来例の他の例を説明する上面図である。
【符号の説明】
1 音叉腕、2 音叉基部、3 励振電極、4 凹所、5、6、 水晶片。
【発明の属する技術分野】
本発明は音叉型水晶振動子(以下、音叉型振動子とする)及び棒状振動子を産業上の技術分野とし、特に振動特性に優れて小型化に適した音叉型振動子に関する。
【0002】
【従来の技術】
(発明の背景)音叉型振動子は時間の基準源として腕時計等に広く使用されている。近年では、携帯電話等にも採用され、ますますの小型化が要求される。
【0003】
(従来技術の一例)第5図は一従来例を説明する音叉型振動子の図である。
音叉型振動子は一対の音叉腕1(ab)が音叉基部2から延出してなり、結晶軸(XYZ)のZ軸に主面が直交したZカット板からなる。そして、X軸を幅、Y軸を長さ、Z軸を厚み方向とする。ここでは、幅方向の左側を−X軸として右側を+軸とする。そして、一対の音叉腕1(ab)の4面には励振電極3が形成され、音叉基部2に図示しない引出電極が延出して保持される。
【0004】
励振電極3は、第6図に示したように一対の音叉腕1(ab)ともに両主面と両側面を同電位とし、一方の音叉腕1aでは両主面が+電位であれば両側面を−電位とする。そして、他方の音叉腕1bでは一方の音叉腕1aとは逆電位とし、両主面を−電位として両側面を+電位となる結線とする。
【0005】
このようなものでは、一方の音叉腕1aでは両主面から両側面へ向かう電界のうちの、+X軸方向へのベクトル成分Pによって内側面領域は、第7図に示したように矢印(一重線)で示すようにY軸方向に伸張する。また、−X軸方向へのベクトル成分Qによって外側面領域はY軸方向に縮小する。要するに、+X軸から−軸方向に電界が向かうときはY軸方向に伸張し、−X軸から+X軸方向に電界が向かうときはY軸方向に縮小する。
【0006】
したがって、一方の音叉腕1aは矢印(二重線)で示すように外方向へ傾斜する。他方の音叉アームは同様の理由によって、外方向へ傾斜する。これにより、交番電圧を印加すると一対の音叉腕1(ab)は所謂音叉振動を生ずる。なお、振動周波数はW/L2に比例する(但し、Wは音叉腕の幅、Lは長さ)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
(従来技術の問題点)しかしながら、上記構成の音叉型振動子では小型化が進行するとCIが増大する問題があった。すなわち、各音叉腕2(ab)の幅が小さくなると励振電極3の電極面積も小さくなり、充分な電界を供給できずにCIが増大する問題があった。
【0008】
そこで、第8図に示したように各音叉腕1(ab)の両主面に対向する凹所4を設けて励振電極3を形成する。このようにすれば、X軸(幅)方向での電界が直線的になるので電界強度が増してCIを小さくできることが提案されている(特許文献1及び2)。しかしながら、この場合には主面の中央部に対向する凹所4を設けるため、強度が低下して耐衝撃性に問題を生ずる。
【0009】
(発明の目的)本発明は振動特性を良好に維持して小型化を促進する音叉型振動子及び棒状振動子を提供することを目的とする。
【0010】
【特許文献1】特開2002−76827号公報
【特許文献2】特開2002−204141号公報
【特許文献3】日本国特許第3335122号
【0011】
【課題を解決するための手段】
(着目点及び適用)本発明は、特許文献1及び2で示されるように電界がX軸方向に直線的になればCIが小さくなる点に着目し、特許文献3で示される直接接合技術を用いたX軸の極性を逆とした電界印加法を適用した。
【0012】
(解決手段)本発明の請求項1、2は、X軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向として、一対の音叉腕のそれぞれはX軸の±極性を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合、具体的にはシロキサン結合(Si−O−Si)によって接合し、Y軸とZ軸のなす音叉腕の両主面に励振電極を設けた構成とする。
【0013】
このようなものでは、音叉腕の両主面に設けた励振電極によって電界を印加すると、第1と第2の水晶片のX軸方向が逆向きなので、内側とした例えば第1の水晶片が伸張すると外側となる第2の水晶片は縮小する。したがって、一方と他方の音叉腕の両主面に逆向きの電界を印加すれば音叉振動を生ずる。これにより、電界方向がX軸方向で直線的となるのでCIを小さくして振動特性を良好にし、小型化を促進する。
【0014】
請求項3は、結晶軸(XYZ)のX軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向とした棒体からなる棒状振動子において、前記棒体はX軸方向を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合され、前記Y軸とZ軸のなす前記棒体の両主面に励振電極を設けた構成とする。
【0015】
本発明から付随的に派生した発明であり、電界がX軸方向に沿って直線状となるので電界強度が高まり、所謂屈曲振動姿態の棒状振動子が得られる。勿論、一端部側に対面する励振電極を形成し、他端部を保持した場合での振動も期待できる。以下、本発明の一実施例を説明する。
【0016】
【実施例】
第1図(ab)は本発明の一実施例を説明する音叉型振動子の図で、同図(a)は音叉型振動子の図、同図(b)は上面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
音叉型振動子は前述した音叉基部2から一対の音叉腕1(ab)が延出してなり、ここでは主面がX軸に直交した貼り合わせによるXカット板からなる。そして、X軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向とする。要するに、従来とはX軸とZ軸を入れ替えてある。そして、一対の音叉腕1(ab)はそれぞれ内側と外側の第1と第2の水晶片5(ab)からなる。
【0017】
各第1水晶片5aは一主面から他主面に向かって、第2水晶片5bは他主面から一主面向かって−X軸から+X軸とする。すなわち、各音叉腕1(ab)における第1と第2の水晶片5(ab)は厚み方向での±極性を逆向きにする。そして、一対の音叉腕1(ab)の両主面に励振電極3を形成し、一対の音叉腕1(ab)ともに対をなす電位として、電界の向きが同方向となる結線とする。
【0018】
一対の音叉腕1(ab)の第1と第2の水晶片5(ab)及び基部2の一部となる第3の水晶片6を直接接合によって張り合わされる。直接接合は接合面を鏡面研磨して親水化(OH基化)して仮接合(オプティカルコンタクト)し、これを加熱してシロキサン結合(Si−O−Si)によって原子間レベルで接合される。
【0019】
このようなものでは、第1図(b)及び第2図に示したように例えば各音叉腕1(ab)の主面を+として他主面を−とした電界を印加すると次になる。すなわち、各音叉腕1(ab)における内側の第1水晶片5aは前述したように−X軸から+X軸方向に電界が向かうので、即ち電界方向と±X軸の極性が逆なのでY軸方向に伸張する。そして、外側の第2水晶片5bは電界方向が+X軸から−X軸方向に向かうので、即ち電界方向と±X軸の強制が同じなのでY軸方向に縮小する。
【0020】
したがって、一対の音叉腕1(ab)はいずれも外方向に傾斜する。そして、電界方向を逆向きにすれは、一対の音叉腕1(ab)は内方向に傾斜する。これにより、交番電圧を印加すれば音叉振動を生ずる。
【0021】
これらのことから、一対の音叉腕1(ab)にはX軸方向の電界が直線状として印加されるので、従来例に比較して電界効率を高める。また、凹所等を設けることがないので、耐衝撃性も良好とする。したがって、CIを小さくできて振動特性を高め、小型化を促進できる。
【0022】
また、ここでは各音叉腕1(ab)の両側面の励振電極を不要として両主面にのみ励振電極3を形成すればよいので、電極形成を容易にする。
【0023】
【他の事項】
上記実施例では、一対の音叉腕1(ab)における第1と第2の水晶片5(ab)はいずれも内側同士及び外側同士を同一として逆向の極性としたが、例えば第3図に示したようにしてもよい。すなわち、一方の音叉腕1aは内側の第1水晶片5aは一主面を−X軸、他主面を+X軸とし、外側の第2水晶片5bは一主面を+X軸、他主面を−X軸とする。
【0024】
他方の音叉腕1bは内側の第1水晶片5aは一主面を+X軸、他主面を−X軸とし、外側の第2水晶片5bは一主面を+X軸、他主面を+X軸とする。そして、励振電極3には逆向きとなる電界を印加する。このような構成でも、各音叉腕1(ab)における内側の水晶片5aは電界方向Pと±X軸の極性が逆なのでY軸方向に伸張する。そして、各外側の水晶片5bは電界方向Pと±X軸の極性が同じなのでY軸方向に縮小する。したがって、一対の音叉腕1(ab)は音叉振動を生ずる。
【0025】
また、音叉型振動子として説明したが、本発明によれば付随的に次のことが言える。すなわち、電界がX軸に沿って直線状であるため電界強度が非常に高くなる。したがって、第4図に示したようにY軸とZ軸のなす両主面に励振電極3を設けて所謂棒体の屈曲振動としても、同様にCIを小さくするので、本発明を適用できる。
【0026】
これらの場合、通常の屈曲振動を得る場合は棒体の節点領域を保持する。さらには、一端部を固定端として強制的な節点領域として他端部を自由端として励振した場合でも、電界が直線状なのでその振動が期待できる。なお、音叉型振動子は貼り合わせによるZカットとしたが、例えば温度特性等との関係から概ね±10度を含むものである。
【0027】
【発明の効果】
本発明は、本発明の請求項1、2は、X軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向として、一対の音叉腕のそれぞれはX軸の±極性を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合、具体的にはシロキサン結合(Si−O−Si)によって接合し、Y軸とZ軸のなす音叉腕の両主面に励振電極を設けた構成とする。また、付随的にX軸方向を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合し、Y軸とZ軸のなす棒体の両主面に励振電極を設けた構成とする。
【0028】
これらにより、振動特性を良好に維持して小型化を促進する音叉型振動子及び棒状振動子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を説明する図で、同図(a)は音叉型振動子の図、同図(b)は上面図である。
【図2】本発明の一実施例の作用を説明する音叉型振動子の正面図である。
【図3】本発明の一実施例の他の例を説明する音叉型振動子の上面図である。
【図4】本発明の他の実施例を説明する棒状振動子の図である。
【図5】従来例を説明する音叉型振動子の図である。
【図6】従来例を説明する音叉型振動子の上面図である。
【図7】従来例の作用を説明する音叉型振動子の正面図である。
【図8】従来例の他の例を説明する上面図である。
【符号の説明】
1 音叉腕、2 音叉基部、3 励振電極、4 凹所、5、6、 水晶片。
Claims (3)
- 一対の音叉腕が音叉基部から延出してなる結晶軸(XYZ)を有する音叉型水晶振動子において、前記X軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向として、前記一対の音叉腕のそれぞれはX軸方向の±極性を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合され、前記Y軸とZ軸のなす両前記音叉腕の両主面に励振電極を設けたことを特徴とする音叉型水晶振動子。
- 前記直接接合はシロキサン結合(Si−O−Si)である請求項1の音叉型水晶振動子。
- 結晶軸(XYZ)のX軸を厚み、Y軸を長さ、Z軸を幅方向とした棒体からなる棒状振動子において、前記棒体はX軸方向を逆向きとした第1と第2の水晶片を幅方向に直接接合され、前記Y軸とZ軸のなす前記棒体の両主面に励振電極を設けたことを特徴とする棒状振動子。
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---|---|---|---|
JP2002322181A JP2004159047A (ja) | 2002-11-06 | 2002-11-06 | 音叉型水晶振動子及び棒状振動子 |
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JP2002322181A JP2004159047A (ja) | 2002-11-06 | 2002-11-06 | 音叉型水晶振動子及び棒状振動子 |
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JP2004159047A true JP2004159047A (ja) | 2004-06-03 |
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2002
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