JP2009100076A - 圧電振動片 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電振動片10は、水晶からなる基部11から平行に延在される一方の振動腕12の主面に2分割して設けられる第1下部電極21と第2下部電極22と、第1下部電極21及び第2下部電極22それぞれの表面に設けられる第1圧電薄膜31及び第2圧電薄膜32と、第1圧電薄膜31の表面に設けられる第1上部電極25と、第2圧電薄膜32の表面に設けられる第2上部電極26と、他方の振動腕13の主面に2分割して設けられる第3下部電極23と第4下部電極24と、第3下部電極23及び第4下部電極24それぞれの表面に設けられる第3圧電薄膜33及び第4圧電薄膜34と、第3圧電薄膜33の表面に設けられる第3上部電極27と、第4圧電薄膜34の表面に設けられる第4上部電極28と、が備えられている。
【選択図】図1
Description
圧電振動子の小型化を目的として、エリンバー、エルコロイ等の恒弾性材料よりなる音叉型振動片の2本の振動腕それぞれの外側側面に段差部を形成し、この段差部に圧電体を設け、これらの圧電体に交流信号を印加して長さ方向に変位を生じさせて振動腕を屈曲振動させる圧電振動子というものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
なお、この等価並列容量は振動腕2本分を表している。
また、2本の振動腕の等価並列容量C0を2pF以下にすることで、振動腕の長さを従来技術よりも小さい1mm以下の超小型化を実現できる。
図1〜図3は実施形態1の圧電振動片を示し、図4は実施形態2の圧電振動片を示している。
なお、以下の説明で参照する図は、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺は実際のものとは異なる模式図である。
(実施形態1)
振動腕12主面には、幅方向外側及び内側に2分割される第1下部電極21と第2下部電極22とが形成されている。そして、第1下部電極21の表面には第1圧電薄膜31が設けられ、第2下部電極22の表面には第2圧電薄膜32が設けられている。
第1電極群と第2電極群とはそれぞれ逆位相の交番電圧が印加され振動腕12,13の屈曲振動が励起される。
図2は、本実施形態に係る圧電振動片の等価回路図である。図2において、各符号は、等価並列容量C0、等価直列抵抗R1、等価直列インダクタンスL1,等価直列容量C1を表している。これらの値は、振動腕12,13の長さ、幅、第1圧電薄膜31〜第4圧電薄膜34の誘電率と厚さ、第1下部電極21〜第4下部電極24または第1上部電極25〜第4上部電極28の面積によって決定される。
図3は、振動腕長さLとインピーダンスR(CI値に相当する)と等価並列容量C0の関係を示すグラフである。横軸には、振動腕12,13の長さをLとしたときのL2、左側縦軸にはインピーダンスR、右側縦軸には等価並列容量C0を表している。なお、図3において等価並列容量C0は、振動腕1本分の容量値を表している。
また、2本の振動腕12,13の等価並列容量C0を2pF以下にすることで、振動腕の長さLを従来技術よりも小さい1mm以下の超小型化を実現できる。
(実施形態2)
図4は、実施形態2に係る圧電振動片を示す断面説明図である。なお、図1(a)のA−A切断面に相当する位置の断面を表している。図4において、振動腕12,13、下部電極21〜24、上部電極25〜28、圧電薄膜31〜34の構成は、前述した実施形態1(図1(a),(b)、参照)と同じである。
(変形例1)
(変形例2)
Claims (4)
- 水晶を基材とする基部と、前記基部と同一材料で形成され、且つ前記基部から平行に延在される2本の振動腕と、
一方の前記振動腕の主面に幅方向外側及び内側に2分割して設けられる第1下部電極と第2下部電極と、前記第1下部電極及び前記第2下部電極それぞれの表面に設けられる第1圧電薄膜及び第2圧電薄膜と、前記第1圧電薄膜の表面に前記第1下部電極に対向して設けられる第1上部電極と、前記第2圧電薄膜の表面に前記第2下部電極に対向して設けられる第2上部電極と、
他方の前記振動腕の主面に幅方向内側及び外側に2分割して設けられる第3下部電極と第4下部電極と、前記第3下部電極及び前記第4下部電極それぞれの表面に設けられる第3圧電薄膜及び第4圧電薄膜と、前記第3圧電薄膜の表面に前記第3下部電極に対向して設けられる第3上部電極と、前記第4圧電薄膜の表面に前記第4下部電極に対向して設けられる第4上部電極と、
が備えられ、
前記第1下部電極〜前記第4下部電極及び前記第1上部電極〜前記第4上部電極それぞれに、2本の前記振動腕に逆位相の屈曲振動を励起する電圧が印加されることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記圧電振動片の等価回路において、等価並列容量C0が0<C0<2pFの範囲であることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1または請求項2に記載の圧電振動片において、
前記第1圧電薄膜〜前記第4圧電薄膜それぞれの分極方向が同じであって、
前記第1上部電極と前記第4上部電極と前記第2下部電極と前記第3下部電極には、前記第2上部電極と前記第3上部電極と前記第1下部電極と前記第4下部電極とは逆位相の電圧が印加されることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1または請求項2に記載の圧電振動片において、
前記第1圧電薄膜と前記第4圧電薄膜の分極方向と、前記第2圧電薄膜と前記第3圧電薄膜の分極方向を逆とし、
前記第1上部電極〜前記第4上部電極それぞれと、前記第1下部電極〜前記第4下部電極それぞれに逆位相の電圧が印加されることを特徴とする圧電振動片。
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Cited By (3)
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JP2013178179A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Seiko Epson Corp | センサー素子、センサーデバイスおよび電子機器 |
JPWO2015111503A1 (ja) * | 2014-01-24 | 2017-03-23 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子及び圧電振動装置 |
US11538981B2 (en) | 2019-06-26 | 2022-12-27 | Seiko Epson Corporation | Vibration element, electronic apparatus, and vehicle |
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2007
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