JP2004137089A - シリコン単結晶引上装置 - Google Patents
シリコン単結晶引上装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004137089A JP2004137089A JP2002300743A JP2002300743A JP2004137089A JP 2004137089 A JP2004137089 A JP 2004137089A JP 2002300743 A JP2002300743 A JP 2002300743A JP 2002300743 A JP2002300743 A JP 2002300743A JP 2004137089 A JP2004137089 A JP 2004137089A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inert gas
- chamber
- single crystal
- silicon
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】CZ法に用いられる単結晶引上装置において、不活性ガスのガス流路系9は、チャンバ3の上部に設けられた不活性ガス導入口10から不活性ガスをチャンバ3に導入して、シリコン結晶Ig側面、シリコン融液M表面、ヒータ外周断熱部材7の外側または内側に形成され、開口部12が設けられた不活性ガスの排気路11、チャンバ3下部に設けられた不活性ガス排出口13から不活性ガスを排出し、開口部12は、その壁面14aが凹状曲面で形成されている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はシリコン単結晶引上装置に係わり、特にチャンバを流れる不活性ガスの排気路の開口部の壁面形状を改良したシリコン単結晶引上装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般にシリコン単結晶の引き上げには、チョクラルスキー法(以下、CZ法という。)が広く用いられており、CZ法は、原料シリコンをシリカガラスルツボに収容して溶融し、種結晶をこのシリコン融液に浸し、種結晶及びシリカガラスルツボを回転させてシリコン単結晶を成長させる方法である。引き上げ時、SiO2製のシリカガラスルツボとシリコン融液が反応を起こし、この反応によりSiOが発生し、このSiOがシリコン融液に溶け込み、一部がシリコン結晶に取り込まれ、残りの大部分が融液表面から蒸発する。従来の引上装置においては、不活性ガス導入部から導入された不活性ガスはシリコン融液表面、ヒータ面を介して不活性排気口に導かれるため、ヒータ及びヒータ外部断熱部材の内側表面はSiOに起因した析出物が多量に付着し、部材の劣化を招くと同時に、清掃作業に多くの労力を必要とした。
【0003】
そこで、ヒータ外周の断熱部材の内側または外側に排気路を形成し、この排気路上端に開口部を設け、下端は排気部と連通させて、これらを介して不活性ガスを炉外に排出させ、ヒータ及びヒータ外周の断熱部材の内表面にSiOが付着するのを防止している(特開平6−87687号公報(特許文献1参照))。
【0004】
しかしながら、特許文献1のシリコン単結晶引上装置は、排気路上端の開口部の壁面が直角に形成されているため、不活性ガスの流れが乱れ、開口部近傍に一部が停滞して、開口部の壁面にSiOの付着が多く、この壁面を形成する開口部材の劣化が激しく、また清掃に労力を必要とする問題が依然として残る。
【0005】
【特許文献1】
特開平6−87687号公報(第3頁左欄段落番号[0017]、図1)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、開口部の壁面にSiOが付着するのを防止できて、壁面を形成する開口部材の劣化の防止と付着物の除去作業を容易化できるシリコン単結晶引上装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の1つの態様によれば、チャンバと、このチャンバ内に設けられ原料シリコンが収納されるシリカガラスルツボと、このシリカガラスルツボを保持する黒鉛ルツボの周囲に設けられたヒータと、前記シリカガラスルツボの上方に設けられシリコン単結晶が貫通する開口が形成された輻射シールドと、前記ヒータの外周に設けられた断熱部材と、この断熱部材に形成された不活性ガス排出用の排気路を含むガス流路系とが設けられ、このガス流路系により、不活性ガスは、前記チャンバの上部に設けられた不活性ガス導入口からチャンバに導入され、前記輻射シールドとシリコン単結晶側面との間、前記輻射シールド先端とシリコン融液表面との間、前記輻射シールド下面に沿って形成された空間部、前記排気路を介して、前記チャンバの下部に設けられた不活性ガス排出口から排出され、前記排気路の開口部の壁面は、凹状曲面で形成されていることを特徴とするシリコン単結晶引上装置が提供される。これにより、開口部の壁面にSiOが付着するのを防止できて、壁面を形成する開口部材の劣化の防止と付着物の除去作業を容易化できるシリコン単結晶引上装置が実現される。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係わるシリコン単結晶引上装置の実施形態について添付図面を参照して説明する。
【0009】
図1は本発明に係わるシリコン単結晶引上装置の概念図である。
【0010】
図1に示すように、本発明に係わるシリコン単結晶引上装置1は、チャンバ内側断熱部材2で断熱された気密中空状のチャンバ3と、このチャンバ3内に設けられ、原料シリコンが収納されるシリカガラスルツボ4と、このシリカガラスルツボ4を保持する黒鉛ルツボ5と、この黒鉛ルツボ5を囲いシリカガラスルツボ4の原料シリコンを加熱してシリコン融液Mにするヒータ6と、このヒータ6の外周に離間して設けられた円筒形状のヒータ外周断熱部材7と、このヒータ外周断熱部材7に連設されシリカガラスルツボ4の下方に設けられた下部断熱部材8と、シリカガラスルツボ4の上方の引上領域を囲むように設置され不活性ガスG例えば、アルゴンガスの流れを整流し、単結晶Igが貫通するシールド開口9aが設けられた輻射シールド9、不活性ガスGをチャンバ3に導入し、このチャンバ3外に排出するガス流路系10とが設けられている。
【0011】
このガス流路系10は、チャンバ3の上部に設けられた不活性ガス導入口11から不活性ガスGをチャンバ3に導入して、輻射シールド9とシリコン結晶Ig側面との間、輻射シールド9の先端とシリコン融液M表面の間、シールド下面9bに沿って形成される通気空間a、断熱部材に形成、すなわちヒータ外周断熱部材7とチャンバ内側断熱部材2間に形成され、開口部12が設けられた不活性ガス排気用の排気路13を経て、チャンバ3の下部に設けられた不活性ガス排出口14から不活性ガスGを排出するようになっている。
【0012】
図2及び図3に示すように、上記開口部12は、その壁面15aが凹状曲面で形成されており、その側断面は弧状をなし、この弧状の回転体形状をなしている。壁面15aを形成する開口部材15の材質は、シリコン単結晶に影響を与えない程度の純度を持ち、かつシリコン単結晶引き上げ上問題ない断熱性を有する黒鉛材または、この黒鉛材にSiCをコートした部材であるのが好ましい。なお、本実施形態では、壁面は開口部材により形成されているが、開口部材と輻射シールドの一部とで形成されてもよい。
【0013】
また、上記シリカガラスルツボ4を保持する黒鉛ルツボ5には、ルツボ回転軸16が取り付けられており、チャンバ2の底部を貫通し、モータ(図示せず)に結合されて回転され、かつ昇降装置(図示せず)によって昇降されるようになっている。さらに、シールド開口9aを貫通し、単結晶Igを引き上げるワイヤ17が設けられており、このワイヤ17には、ワイヤ回転装置(図示せず)によって巻き取られ、シードチャック18を介して種結晶Sが取り付けられている。
【0014】
次に本発明に係わるシリコン単結晶引上装置を用いたシリコン単結晶の引き上げ方法について説明する。
【0015】
図1に示すように、原料のポリシリコンを石英ガラスルツボ4に充填し、不活性ガスGをチャンバ3の上方の不活性ガス導入口11からチャンバ3内に流入させ、ヒータ6を付勢して、シリカガラスルツボ4を加熱し、ルツボ回転用モータを付勢してこのモータに結合されたルツボ回転軸16によりシリカガラスルツボ4を回転させる。
【0016】
一定時間が経過した後、ワイヤ回転装置を回転させて引き上げ用ワイヤ17を降下させ、引き上げ用ワイヤ17に取り付けられた種結晶Sをシリコン融液Mに接触させ、結晶を成長させ、単結晶Igを引き上げる。
【0017】
このようなシリコン単結晶引き上げ工程において、チャンバ3に導入された不活性ガスGは、ガス流路系10を通ってチャンバ3内で発生したSiOとともに、排出される。例えば、チャンバ3の上部に設けられた不活性ガス導入口11から導入された不活性ガスGは、シリコン結晶Ig側面、シリコン融液M表面に沿って流れ、シリコン融液M表面から発生するSiOを捕獲する。このようにしてSiOを含んだ不活性ガスGは、入口をなす開口部12を経て、排気路13を通り、チャンバ3の下部に設けられた不活性ガス排出口14から排出される。
【0018】
この不活性ガスGの排気過程において、開口部12の壁面15aは、凹状曲面に形成されているので、不活性ガスは、壁面15aの曲面に沿って流れ、乱流を発生させることなく比較的スムースに排出される。このため、壁面15aにはSiO起因の析出物の付着がほとんどなく、壁面15aを形成する開口部材15の劣化が防止され、また、析出物を除去するための清掃時間も短縮される。また、開口部材15の材質は、シリコン単結晶に影響を与えない程度の純度を持ち、かつシリコン単結晶引き上げ上問題ない断熱性を有する黒鉛材または、この黒鉛材にSiCをコートした部材であるので、高純度な単結晶を効率よく引き上げることができる。
【0019】
【実施例】
図1に示すような本発明に係わる単結晶引上装置を用いて、口径が18インチのシリカガラスルツボに、原料シリコン70kgを収容し、チャンバ内圧90Torrで、直径6インチのシリコン単結晶を引き上げた(操業約40時間)(実施例)。同条件操業下で従来の単結晶引上装置を用いて引き上げを行い(従来例)、開口部壁面に付着したSiOを調べ、比較した。
【0020】
結果:実施例はSiO起因の析出物が壁面に堆積しているのが確認できなかった。これに対して、従来例は約1mm程度のSiO起因析出物が壁面に付着しているのが認められた。
【0021】
【発明の効果】
本発明に係わる単結晶引上装置によれば、開口部の壁面にSiOが付着するのを防止できて、壁面部材の劣化の防止と付着物の除去作業を容易化できるシリコン単結晶引上装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる単結晶引上装置の概念図。
【図2】本発明に係わる単結晶引上装置に用いられる開口部の壁面を形成する開口部材の斜視図。
【図3】本発明に係わる単結晶引上装置に用いられる開口部の壁面を形成する開口部材の縦断面図。
【符号の説明】
1 シリコン単結晶引上装置
2 チャンバ内側断熱部材
3 チャンバ
4 シリカガラスルツボ
5 黒鉛ルツボ
6 ヒータ
7 ヒータ外周断熱部材
8 下部断熱部材
9 輻射シールド
9a シールド開口
9b シールド下面
10 ガス流路系
11 不活性ガス導入口
12 開口部
13 排気路
14 不活性ガス排出口
15 開口部材
15a 壁面
16 ルツボ回転軸
17 ワイヤ
18 シードチャック
a 通気空間
Ig シリコン結晶
M シリコン融液
S 種結晶
Claims (1)
- チャンバと、このチャンバ内に設けられ原料シリコンが収納されるシリカガラスルツボと、このシリカガラスルツボを保持する黒鉛ルツボの周囲に設けられたヒータと、前記シリカガラスルツボの上方に設けられシリコン単結晶が貫通する開口が形成された輻射シールドと、前記ヒータの外周に設けられた断熱部材と、この断熱部材に形成された不活性ガス排出用の排気路を含むガス流路系とが設けられ、このガス流路系により、不活性ガスは、前記チャンバの上部に設けられた不活性ガス導入口からチャンバに導入され、前記輻射シールドとシリコン単結晶側面との間、前記輻射シールド先端とシリコン融液表面との間、前記輻射シールド下面に沿って形成された空間部、前記排気路を介して、前記チャンバの下部に設けられた不活性ガス排出口から排出され、前記排気路の開口部の壁面は、凹状曲面で形成されていることを特徴とするシリコン単結晶引上装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002300743A JP4128842B2 (ja) | 2002-10-15 | 2002-10-15 | シリコン単結晶引上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002300743A JP4128842B2 (ja) | 2002-10-15 | 2002-10-15 | シリコン単結晶引上装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004137089A true JP2004137089A (ja) | 2004-05-13 |
JP4128842B2 JP4128842B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=32449348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002300743A Expired - Fee Related JP4128842B2 (ja) | 2002-10-15 | 2002-10-15 | シリコン単結晶引上装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4128842B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006064797A1 (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-22 | Komatsu Denshi Kinzoku Kabushiki Kaisha | 半導体単結晶製造装置および製造方法 |
WO2011083898A1 (en) * | 2010-01-05 | 2011-07-14 | Lg Siltron Inc. | Insulation device of single crystal growth device and single crystal growth device including the same |
WO2013125161A1 (ja) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | 信越半導体株式会社 | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 |
CN105525342A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-04-27 | 英利集团有限公司 | 一种直拉法制备大尺寸单晶硅棒的方法及单晶炉 |
KR20190042457A (ko) * | 2017-10-16 | 2019-04-24 | 가부시키가이샤 사무코 | 실리콘 단결정 제조 방법 |
US10378121B2 (en) | 2015-11-24 | 2019-08-13 | Globalwafers Co., Ltd. | Crystal pulling system and method for inhibiting precipitate build-up in exhaust flow path |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101725603B1 (ko) * | 2014-12-05 | 2017-04-10 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 성장장치 |
-
2002
- 2002-10-15 JP JP2002300743A patent/JP4128842B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006064797A1 (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-22 | Komatsu Denshi Kinzoku Kabushiki Kaisha | 半導体単結晶製造装置および製造方法 |
JP2006169010A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 半導体単結晶製造装置および製造方法 |
JP4730937B2 (ja) * | 2004-12-13 | 2011-07-20 | Sumco Techxiv株式会社 | 半導体単結晶製造装置および製造方法 |
KR101216313B1 (ko) | 2004-12-13 | 2012-12-27 | 사무코 테크시부 가부시키가이샤 | 반도체단결정제조장치 및 제조방법 |
US8753446B2 (en) | 2004-12-13 | 2014-06-17 | Sumco Techxiv Kabushiki Kaisha | Semiconductor single crystal production device and producing method therefor |
WO2011083898A1 (en) * | 2010-01-05 | 2011-07-14 | Lg Siltron Inc. | Insulation device of single crystal growth device and single crystal growth device including the same |
WO2013125161A1 (ja) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | 信越半導体株式会社 | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 |
JP2013173646A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 |
US10378121B2 (en) | 2015-11-24 | 2019-08-13 | Globalwafers Co., Ltd. | Crystal pulling system and method for inhibiting precipitate build-up in exhaust flow path |
CN105525342A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-04-27 | 英利集团有限公司 | 一种直拉法制备大尺寸单晶硅棒的方法及单晶炉 |
KR20190042457A (ko) * | 2017-10-16 | 2019-04-24 | 가부시키가이샤 사무코 | 실리콘 단결정 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4128842B2 (ja) | 2008-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4194028A (en) | Process for applying a protective layer to shaped carbon bodies | |
JP2008511753A (ja) | Cvd反応炉の洗浄プロセスおよび操作プロセス | |
JP2003522716A (ja) | ポリシリコンの化学的蒸着のための方法および装置 | |
JPH09202694A (ja) | Czシリコン結晶成長システムの急速冷却 | |
JP4128842B2 (ja) | シリコン単結晶引上装置 | |
JP4416952B2 (ja) | 石英ガラスるつぼの白点欠陥を最小限にする方法及び装置 | |
JP3676123B2 (ja) | 単結晶引上装置 | |
WO2002027077A1 (fr) | Procede de fabrication d'un monocristal en silicium et dispositif de fabrication d'un monocristal semiconducteur | |
US5993902A (en) | Apparatus and method for extending the lifetime of an exhaust sleeve for growing single crystal silicon by silicon nitride (SI3 N4) coating | |
JPS59213697A (ja) | 単結晶半導体引上装置 | |
JP2008087996A (ja) | 単結晶引上装置及び単結晶の製造方法 | |
JPH092892A (ja) | 半導体単結晶引き上げ装置 | |
JP2007254165A (ja) | 単結晶引上装置 | |
JP3203341B2 (ja) | 半導体単結晶棒製造装置 | |
JP2001002491A (ja) | 単結晶引上装置 | |
TWI682077B (zh) | 矽單結晶的製造方法 | |
JPS5933552B2 (ja) | 結晶成長装置 | |
JPH07223894A (ja) | 半導体単結晶製造装置 | |
JP3835063B2 (ja) | 単結晶引上装置 | |
JPH08119786A (ja) | 単結晶引上装置 | |
JP3760680B2 (ja) | 単結晶引上装置 | |
JP2710433B2 (ja) | 単結晶引上装置 | |
JPH11292685A (ja) | シリコンナイトライド被覆により単結晶シリコン成長用のグラファイトサセプタの寿命を延長するための装置および方法 | |
JP2007031235A (ja) | 単結晶製造装置 | |
KR20050060459A (ko) | 질화붕소층이 피복된 열실드가 구비된 실리콘 단결정 잉곳성장장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050909 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070711 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080218 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080226 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20080404 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20080513 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20080515 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110523 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110523 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120523 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |