JP2004128224A - 電子部品位置合わせ方法及びその装置 - Google Patents
電子部品位置合わせ方法及びその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004128224A JP2004128224A JP2002290369A JP2002290369A JP2004128224A JP 2004128224 A JP2004128224 A JP 2004128224A JP 2002290369 A JP2002290369 A JP 2002290369A JP 2002290369 A JP2002290369 A JP 2002290369A JP 2004128224 A JP2004128224 A JP 2004128224A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- alignment
- mark
- alignment holes
- recognition device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】所定位置に所定間隔だけ離して二つの位置合わせ穴があけられた第1の電子部品25を受け台21に保持すると共に、所定位置に上記二つの位置合わせ穴の間隔に合致させて二つのアライメントマークが形成された第2の電子部品26を位置調整機構22に保持し、上記第1の電子部品25の位置合わせ穴内に第2の電子部品26のアライメントマークを導入した状態でマーク認識装置23の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行い、上記第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴内において第2の電子部品26のアライメントマークが所定の位置関係となるように上記位置調整機構22で第2の電子部品26の位置を調整するものである。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、二つの電子部品に形成された位置合わせ用のマーク手段を利用して両部品を位置合わせする電子部品位置合わせ方法及びその装置に関し、詳しくは、二つの電子部品の位置合わせ用のマーク手段をマーク認識装置の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行うことによって、高精度な位置合わせを可能とする電子部品位置合わせ方法及びその装置に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、板状またはシート状の基板に対してチップ部材を位置合わせして組立てるボンディング装置は、図10及び図11に示すように、架台1に立設された支持部材2の側面に設けられたガイド部3に沿って上下動可能に設けられ加圧ヘッド4を駆動するヘッド可動手段5と、該ヘッド可動手段5に固定され加圧ヘッド4に所定の荷重を付与する押圧手段6と、架台1上に上記加圧ヘッド4に対向して配設されたステージ7と、加圧ヘッド4とステージ7の間に挿入可能に設置されたマーク認識装置8とを備えて構成されていた。
【0003】
なお、上記ステージ7はX軸駆動源12、Y軸駆動源13及び図示省略のθ回転駆動源により、X軸方向、Y軸方向に移動可能、及びθ方向に回転可能とされ、ヘッド可動手段5はZ軸駆動源14によってZ軸方向に移動可能となっていた。また、マーク認識装置8は、図12に示すように、カメラユニット8aの中に2台のカメラ8b,8cを撮影レンズの光軸が一致した状態で水平位置に並べて配置し、上記カメラ8b,8c間に両面が平行な反射面とされた両面反射ミラー8dを45度傾けて配置して構成されていた(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
このように構成された従来のボンディング装置により、板状またはシート状の基板9に対してチップ部材10を位置合わせして組立てるには、先ず、ヘッド可動手段5及び加圧ヘッド4が最上部に上昇した状態において、ステージ7の載置部11に基板9を載置し、加圧ヘッド4の下面にチップ部材10が保持される。次に、マーク認識装置8が図11において矢印A方向に進んで基板9とチップ部材10との間に挿入される。これにより、上記マーク認識装置8で、下方に位置する基板9のアライメントマークと上方に位置するチップ部材10のアライメントマークとを同時に認識できる状態になる。
【0005】
次に、上述の状態でZ軸駆動源14を駆動してヘッド可動手段5を下降させ、チップ部材10のアライメントマークがマーク認識装置8によって明瞭に認識できる位置で停止させる。このようにして、マーク認識装置8により基板9及びチップ部材10の双方のアライメントマークが認識されると、図10及び図11に示す制御手段15がX軸駆動源12、Y軸駆動源13及び図示省略のθ回転駆動源を駆動してステージ7を移動し、基板9及びチップ部材10の双方のアライメントマークが一致するようにさせる。
【0006】
このように、基板9及びチップ部材10の双方のアライメントマークが一致して該基板9及びチップ部材10の位置合わせが完了すると、マーク認識装置8は図11において矢印B方向に退避し、押圧手段6が動作して押圧軸6aを延ばして加圧ヘッド4を押し下げ、チップ部材10を基板9上に密着させて組立て接合していた。
【0007】
【特許文献1】
特開2000−94232号公報 (第4頁、図2)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来のボンディング装置においては、基板9とチップ部材10との位置合わせは、該両者間に挿入したマーク認識装置8により行われるため、基板9とチップ部材10との間にはマーク認識装置8を挿入するのに十分な距離が必要となる。その結果、図13に示すように、同図(a)において、基板9のアライメントマーク9aとチップ部材10のアライメントマーク10aとを正確に位置合わせした場合であっても、その位置合わせ後に、同図(b)において、基板9と密接するまでチップ部材10を矢印C方向に下降させる移動距離が長くなるものであった。このため、チップ部材10を下降させる機構精度に基づく移動誤差が生じて、図13(b)に示すように、基板9とチップ部材10とのアライメントマーク9a,10a間にずれδが発生する場合があった。したがって、上記基板9とチップ部材10とを、高精度に位置合わせできないことがあった。
【0009】
また、図12において、2台のカメラ8b,8cの光軸の傾きや、両面反射ミラー8dの厚みによる2画像の認識誤差Δ等が存在するものであった。したがって、上記基板9とチップ部材10とを、高精度に位置合わせできないことがあった。これらの誤差を全て補正して、例えば1μm以下の高精度な位置合わせを行うためには、精密な補正機構や複雑な機構制御が必要となり、装置が高価なものとなる虞があった。
【0010】
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、二つの電子部品の位置合わせ用のマーク手段をマーク認識装置の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行うことによって、高精度な位置合わせを可能とする電子部品位置合わせ方法及びその装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明による電子部品位置合わせ方法は、所定位置に所定間隔だけ離して二つの位置合わせ穴があけられた第1の電子部品を受け台に保持すると共に、所定位置に上記二つの位置合わせ穴の間隔に合致させて二つのアライメントマークが形成された第2の電子部品を位置調整機構に保持するステップと、上記第1の電子部品の位置合わせ穴内に第2の電子部品のアライメントマークを導入した状態でマーク認識装置の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行うステップと、上記第1の電子部品の二つの位置合わせ穴内において第2の電子部品のアライメントマークが所定の位置関係となるように上記位置調整機構で第2の電子部品の位置を調整するステップとを行い、上記両部品を位置合わせするものである。
【0012】
このような構成により、所定位置に所定間隔だけ離して二つの位置合わせ穴があけられた第1の電子部品を受け台に保持すると共に、所定位置に上記二つの位置合わせ穴の間隔に合致させて二つのアライメントマークが形成された第2の電子部品を位置調整機構に保持し、上記第1の電子部品の位置合わせ穴内に第2の電子部品のアライメントマークを導入した状態でマーク認識装置の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行い、上記第1の電子部品の二つの位置合わせ穴内において第2の電子部品のアライメントマークが所定の位置関係となるように上記位置調整機構で第2の電子部品の位置を調整する。これにより、上記両部品を高精度に位置合わせすることができる。
【0013】
また、本発明による電子部品位置合わせ装置は、所定位置に所定間隔だけ離して二つの位置合わせ穴があけられた第1の電子部品を保持する受け台と、この受け台に対向して配置され、所定位置に上記二つの位置合わせ穴の間隔に合致させて二つのアライメントマークが形成された第2の電子部品を保持する位置調整機構と、上記受け台の後方側に配置され、上記第1の電子部品の位置合わせ穴内に第2の電子部品のアライメントマークを導入した状態で同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行うマーク認識装置とを備え、上記マーク認識装置で位置計測した画像を利用し、上記第1の電子部品の二つの位置合わせ穴内において第2の電子部品のアライメントマークが所定の位置関係となるように上記位置調整機構で第2の電子部品の位置を調整して、上記両部品を位置合わせするものである。
【0014】
このような構成により、所定位置に所定間隔だけ離して二つの位置合わせ穴があけられた第1の電子部品を受け台で保持し、この受け台に対向して配置された位置調整機構により、所定位置に上記二つの位置合わせ穴の間隔に合致させて二つのアライメントマークが形成された第2の電子部品を保持し、上記受け台の後方側に配置されたマーク認識装置で、上記第1の電子部品の位置合わせ穴内に第2の電子部品のアライメントマークを導入した状態で同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行い、上記マーク認識装置で位置計測した画像を利用し、上記第1の電子部品の二つの位置合わせ穴内において第2の電子部品のアライメントマークが所定の位置関係となるように上記位置調整機構で第2の電子部品の位置を調整する。これにより、上記両部品を高精度に位置合わせすることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明による電子部品位置合わせ方法の実施の形態を示す模式図である。この電子部品位置合わせ方法は、二つの電子部品の位置合わせ用のマーク手段をマーク認識装置の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行うことによって、高精度な位置合わせを可能とするもので、図1に示すように、一方の電子部品の受け台21と、他方の電子部品の位置調整機構22と、マーク認識装置23とを備えた装置を使用して実施される。なお、符号24は、二つの電子部品を接合するためのボンディングツールを示している。
【0016】
図1において、まず最初のステップでは、第1の電子部品25を受け台21に保持すると共に、第2の電子部品26を位置調整機構22に保持する。ここで、上記第1の電子部品25は、例えば、プリント基板やガラス基板等の基板であり、又はインクジェットプリンタ等の画像形成装置のプリントヘッドに用いられるノズル部材などであり、図2(a)に示すように、シート状の部材の所定位置に所定間隔pだけ離して二つの位置合わせ穴27a,27bがあけられている。また、上記第2の電子部品26は、例えば、半導体ウェハから切り出した個々のベアチップであり、又はインクジェットプリンタ等の画像形成装置のプリントヘッドに用いられるICなどであり(以下、単に「チップ」という)、図2(b)に示すように、チップの所定位置に上記二つの位置合わせ穴27a,27bの間隔pに合致させた所定間隔qで二つのアライメントマーク28a,28bが形成されている。
【0017】
なお、図2(a)において、上記位置合わせ穴27a,27bは、直径50〜60μm程度の円形穴とされている。また、符号29は、第1の電子部品25としての例えばノズル部材に穿設された直径約17μm程度のノズルを示しており、このノズル29は例えば42μm程度のピッチで形成されている。また、図2(b)において、上記アライメントマーク28a,28bは、直径20μm程度の円形マークとされている。また、符号30は、第2の電子部品26としての例えばプリントヘッド用のチップに形成された約20μm四方のヒータを示しており、このヒータ30は上記ノズル29と同様に42μm程度のピッチで形成されている。
【0018】
上記シート状部材の第1の電子部品25は、例えばフレーム等に接着されており、受け台21に設けられたエア吸着孔(図示省略)によりエア吸着されて保持されるようになっている。この場合、図3に示すように、上記受け台21にて第1の電子部品25を載置保持する箇所には、該第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27bに対応させて二つの透視孔31a,31bが形成されている。この透視孔31a,31bは、上記位置合わせ穴27a,27bが十分に見えるように、例えば直径400μm程度の円形穴とされている。また、上記受け台21には、ヒータ等の加熱手段(図示省略)が内蔵されており、該受け台21に接触する第1の電子部品25の部分を加熱できるようになっている。
【0019】
上記第2の電子部品26は、ボンディングツール24を介して位置調整機構22に保持される。この場合、図3において、ボンディングツール24に設けられたエア吸着孔(図示省略)によりエア吸着されて保持されるようになっている。そして、上記ボンディングツール24は位置調整機構22と共にZ方向に上下して、該ボンディングツール24の下面側にチップ受渡しギャップrを形成する。なお、上記ボンディングツール24には、ヒータ等の加熱手段(図示省略)が内蔵されており、該ボンディングツール24に接触する第2の電子部品26を加熱できるようになっている。また、上記ボンディングツール24に保持された第2の電子部品26の下面側には、接着剤の役割を果たすドライフィルムレジスト32が成膜されている。そして、このドライフィルムレジスト32にて第2の電子部品26の二つのアライメントマーク28a,28bに対応する箇所には、二つの透視孔33a,33bが形成されている。
【0020】
上記ボンディングツール24を介して第2の電子部品26を保持する位置調整機構22は、図1に示すように、第2の電子部品26を水平面内でX方向移動及びY方向移動並びにθ回転させるようになっており、更にその全体が垂直面内でZ方向に移動可能とされており、上記第1の電子部品25と第2の電子部品26とを接合できるようになっている。この場合、図3に示すように、受け台21の上面と第2の電子部品26の下面との間には、二つの電子部品を位置合わせするときのアライメントギャップs(例えば70〜130μm程度)が設定される。
【0021】
このような状態で、次のステップでは、上記第1の電子部品25の位置合わせ穴27a,27b内に第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bを導入した状態でマーク認識装置23の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行う。ここで、上記マーク認識装置23は、図3に示すように、第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27bの間隔に合わせて2台のカメラ23a,23bが備えられている。すなわち、上記カメラ23a,23bは、受け台21に形成された二つの透視孔31a,31bの位置にそれぞれ対応させて設けられている。これらのカメラ23a,23bは、同軸落射付きの所定倍率(例えば約9倍)のレンズと、ビデオカメラ又は所定の画素密度(例えば1/4インチで40万画素程度)のCCDカメラから成る。
【0022】
そして、上記カメラ23a,23bのレンズは、所定距離の焦点深度を有しており、上記第1の電子部品25と第2の電子部品26とは、それぞれの位置合わせ穴27a,27bとアライメントマーク28a,28bとが上記の焦点深度内に位置して保持されるようになっている。このことから、上記カメラ23a,23bを、矢印D,Eのように高さ調節して第1の電子部品25に近づけた状態で、第1の電子部品25の位置合わせ穴27a,27bと第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bとを同時に撮影することができる。
【0023】
この状態では、図4に示すように、例えば左カメラ23aによる映像34aとして、該左カメラ23aの視野内に上記第1の電子部品25の一方の位置合わせ穴27a内に第2の電子部品26の一方のアライメントマーク28aを導入した状態の画像が得られ、右カメラ23bによる映像34bとして、該右カメラ23bの視野内に上記第1の電子部品25の他方の位置合わせ穴27b内に第2の電子部品26の他方のアライメントマーク28bを導入した状態の画像が得られる。このような撮影画像が得られたところで、図示外の画像処理装置等で画像処理を施し、二つの映像34a,34b内で位置合わせ穴27a,27bの中心位置と、アライメントマーク28a,28bの中心位置とを認識し、一方の位置合わせ穴27aとアライメントマーク28aとの中心間距離Raを算出すると共に、他方の位置合わせ穴27bとアライメントマーク28bとの中心間距離Rbを算出する。図4における位置計測では、上記位置合わせ穴27a,27bの中心位置と、アライメントマーク28a,28bの中心位置とがずれている状態を示している。
【0024】
この状態で、次のステップでは、図4において、上記第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27b内において第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bが所定の位置関係となるように前記位置調整機構22で第2の電子部品26の位置を調整する。すなわち、図1に示す位置調整機構22を動作させ、この位置調整機構22にボンディングツール24を介して保持された第2の電子部品26を、上記の中心間距離Ra,Rbに応じて適宜X方向移動、Y方向移動、θ回転させて、理想的には一方の位置合わせ穴27aとアライメントマーク28aとの中心を一致させると共に、他方の位置合わせ穴27bとアライメントマーク28bとの中心を一致させて、両部品を位置合わせする。
【0025】
上記第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27bの所定間隔pと、第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bの所定間隔qとは、図2において同一となるようにされているが、現実には加工誤差又は温度条件等により寸法誤差が生じており、それぞれの中心を一致させることができない場合がある。そのような場合は、図4において二つの位置合わせ穴27a,27bを結ぶ中心線35上で二つのアライメントマーク28a,28bが左右対称の位置となるように、第2の電子部品26を位置調整すればよい。
【0026】
例えば、図5(a)は、上記寸法誤差によりp>qとなっている場合を示している。この場合は、上記中心線35上における左カメラ23aによる映像34a上の位置合わせ穴27aとアライメントマーク28aとの中心ずれ量cと、右カメラ23bによる映像34b上の位置合わせ穴27bとアライメントマーク28bとの中心ずれ量dとが等しくなるように、第2の電子部品26をY方向移動及びθ回転させると共に、X方向移動させて、二つのアライメントマーク28a,28bが左右対称の位置となるように位置調整して両部品を位置合わせすればよい。
【0027】
一方、図5(b)は、上記寸法誤差によりp<qとなっている場合を示している。この場合は、上記中心線35上における左カメラ23aによる映像34a上の位置合わせ穴27aとアライメントマーク28aとの中心ずれ量eと、右カメラ23bによる映像34b上の位置合わせ穴27bとアライメントマーク28bとの中心ずれ量fとが等しくなるように、第2の電子部品26をY方向移動及びθ回転させると共に、X方向移動させて、二つのアライメントマーク28a,28bが左右対称の位置となるように位置調整して両部品を位置合わせすればよい。
【0028】
このように、第1の電子部品25の位置合わせ穴27a,27b内に第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bを導入した状態でマーク認識装置23の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行い、上記第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27b内において第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bが所定の位置関係となるように位置調整機構22で第2の電子部品26の位置を調整することにより、二つの電子部品25,26を位置合わせすることができる。これにより、位置合わせ対象の二つの電子部品25,26の間にマーク認識装置23が位置せず、第2の電子部品26の位置調整の移動量が小さいことと、マーク認識装置23の同一視野内で二つの電子部品25,26の画像を得て該両者の位置計測を行い、画像の認識誤差等が無いことから、上記両部品を例えば1μm以下の高精度に位置合わせすることができる。
【0029】
なお、図5(a),(b)に示すように、二つの位置合わせ穴27a,27bを結ぶ中心線35上で二つのアライメントマーク28a,28bが左右対称の位置となるように位置調整するものに限られず、他の所定の位置関係に位置調整して両部品を位置合わせしてもよい。
【0030】
次に、上述の電子部品位置合わせ方法の関連発明としての電子部品位置合わせ装置について、図6〜図8を参照して説明する。この電子部品位置合わせ装置は、二つの電子部品の位置合わせ用のマーク手段をマーク認識装置の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行うことによって、高精度な位置合わせを可能とするもので、図6に示すように、受け台21と、位置調整機構22と、マーク認識装置23と、架台40とを備えて成る。なお、符号25は第1の電子部品を示し、符号26は第2の電子部品を示している。
【0031】
まず、架台40は、本発明の電子部品位置合わせ装置の主要部を取付け支持するベースとなるもので、水平台部材40aと、垂直支持部材40bとから成る。上記垂直支持部材40bの一側面には、上下方向のガイド部材41が形成されており、このガイド部材41には、二つの移動ブロック42a,42bが上下移動可能に設けられている。そして、上部の移動ブロック42aには、張出しアーム43が水平方向に突出して取り付けられている。また、下部の移動ブロック42bには、二つの電子部品を接合するためのクランプ圧着機構44が取り付けられている。
【0032】
上記水平台部材40aには、図8に示すように、マーク認識装置23の両側方に2本の縦支持架45,45が立設され、これらの縦支持架45,45の上端に横支持架46が張設されており、この横支持架46の上面に断熱材47を介在させて受け台21が支持されている。この受け台21は、第1の電子部品25を保持するもので、図3に示すと同様に構成されている。したがって、上記横支持架46及び断熱材47には、上記受け台21に形成された二つの透視孔31a,31bの位置に合わせてそれぞれ貫通孔48a,48bが穿設されている。
【0033】
なお、上記受け台21に保持される第1の電子部品25は、例えば、プリント基板やガラス基板等の基板であり、又はインクジェットプリンタ等の画像形成装置のプリントヘッドに用いられるノズル部材などであり、図2(a)に示すように、シート状の部材の所定位置に所定間隔pだけ離して二つの位置合わせ穴27a,27bがあけられている。
【0034】
上記垂直支持部材40bの一側面に移動ブロック42aを介して上下移動可能に設けられた張出しアーム43の下面側には、図6に示すように、位置調整機構22が支持されている。この位置調整機構22は、第2の電子部品26を保持するもので、上記受け台21に対向して配置されている。なお、第2の電子部品26は、例えば、半導体ウェハから切り出した個々のベアチップであり、又はインクジェットプリンタ等の画像形成装置のプリントヘッドに用いられるICなどであり、図2(b)に示すように、チップの所定位置に上記第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27bの間隔pに合致させた所定間隔qで二つのアライメントマーク28a,28bが形成されている。
【0035】
上記位置調整機構22は、第2の電子部品26を水平面内でX方向移動及びY方向移動並びにθ回転させるようになっており、図7に示すように、1枚おきに第1のプレート491と、第2のプレート492と、第3のプレート493とが固定されると共に、それらの間にX方向に移動する第1のスライダ501と、Y方向に移動する第2のスライダ502と、θ方向に回転する第3のスライダ503とが挿入されて、全体としてX方向移動及びY方向移動並びにθ回転させる機構とされている。
【0036】
また、上記位置調整機構22は、垂直支持部材40bの一側面に移動ブロック42aを介して上下移動可能に設けられた張出しアーム43の下面側に支持されていることから、その全体が垂直面内でZ方向に移動可能とされており、上記第1の電子部品25と第2の電子部品26とを接合するようになっている。この場合、図6に示すように、上記位置調整機構22の下面側にツール平行調整機構51及びボンディングツール24が設けられ、このボンディングツール24に設けられたエア吸着孔(図示省略)によりエア吸着されて第2の電子部品26が保持されるようになっている。
【0037】
前記受け台21の後方側には、マーク認識装置23が配置されている。このマーク認識装置23は、上記第1の電子部品25の位置合わせ穴27a,27b内に第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bを導入した状態で同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行うもので、図8に示すように、上記受け台21の下方側にて、第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27bの間隔に合わせて2台のカメラ23a,23bが水平台部材40a上に設置されている。すなわち、上記カメラ23a,23bは、受け台21に形成された二つの透視孔31a,31bの位置にそれぞれ対応させて設けられている。これらのカメラ23a,23bは、同軸落射付きの所定倍率(例えば約9倍)のレンズと、ビデオカメラ又は所定の画素密度(例えば40万画素程度)のCCDカメラから成る。
【0038】
そして、上記カメラ23a,23bのレンズは、所定距離の焦点深度を有しており、上記第1の電子部品25と第2の電子部品26とは、それぞれの位置合わせ穴27a,27bとアライメントマーク28a,28bとが上記の焦点深度内に位置して保持されるようになっている。このことから、上記カメラ23a,23bを、矢印D,Eのように高さ調節して第1の電子部品25に近づけた状態で、第1の電子部品25の位置合わせ穴27a,27bと第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bとを同時に撮影することができる。
【0039】
なお、図8に示すように、2台のカメラ23a,23bを水平台部材40a上に設置する部位には、それぞれX方向スライダ521と、Y方向スライダ522と、Z方向スライダ523とを組合せた位置調整テーブルが設けられている。そして、この位置調整テーブルにより、各々のカメラ23a,23bをX方向移動及びY方向移動並びにZ方向移動させて、上記第1の電子部品25の位置合わせ穴27a,27bを視野内にとらえるように初期位置を設定するようになっている。一度、カメラ23a,23bの初期位置を設定したら、後はその位置で固定してもよい。
【0040】
また、図8において、上記2台のカメラ23a,23bの先端面と横支持架46との間には、所定の間隙が形成されており、この間隙部に水平方向のエアーダクト53が取り付けられている。このエアーダクト53は、カメラ23a,23b周辺の熱による空気の対流から引き起こされる撮影画像の揺らぎを抑えるために、上記カメラ23a,23b周辺のエアーを吸引するものである。このエアーダクト53によるエアーの吸引により、同時にカメラ23a,23bの冷却もすることができる。なお、カメラ23a,23b周辺の環境条件によっては、上記エアーダクト53から、冷風を送風するようにしてもよい。
【0041】
次に、このように構成された電子部品位置合わせ装置の使用及び動作について説明する。この電子部品位置合わせ装置は、基本的には図1〜図5で説明した電子部品位置合わせ方法の手順と同様に動作する。まず、図1及び図6において、第1の電子部品25を受け台21に保持すると共に、第2の電子部品26を位置調整機構22に保持する。このとき、図3に示すように、上記第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27bの軸線と、第2の電子部品26の二つのアライメントマーク28a,28bの軸線とが概ね一致しており、第1の電子部品25の位置合わせ穴27a,27b内に、第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bが見通せるように導入するのが望ましい。
【0042】
次に、上記第1の電子部品25の位置合わせ穴27a,27b内に第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bを導入した状態でマーク認識装置23の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行う。このとき、上記カメラ23a,23bのレンズは、所定距離の焦点深度を有しており、上記第1の電子部品25と第2の電子部品26とは、それぞれの位置合わせ穴27a,27bとアライメントマーク28a,28bとが上記の焦点深度内に位置して保持される。この状態では、図4に示すように、例えば左カメラ23aによる映像34aとして、該左カメラ23aの視野内に上記第1の電子部品25の一方の位置合わせ穴27a内に第2の電子部品26の一方のアライメントマーク28aを導入した状態の画像が得られ、右カメラ23bによる映像34bとして、該右カメラ23bの視野内に上記第1の電子部品25の他方の位置合わせ穴27b内に第2の電子部品26の他方のアライメントマーク28bを導入した状態の画像が得られる。
【0043】
このような撮影画像が得られたところで、図示外の画像処理装置等で画像処理を施し、二つの映像34a,34b内で位置合わせ穴27a,27bの中心位置と、アライメントマーク28a,28bの中心位置とを認識し、一方の位置合わせ穴27aとアライメントマーク28aとの中心間距離Raを算出すると共に、他方の位置合わせ穴27bとアライメントマーク28bとの中心間距離Rbを算出する。図4における位置計測では、上記位置合わせ穴27a,27bの中心位置と、アライメントマーク28a,28bの中心位置とがずれている状態を示している。
【0044】
次に、図4において、上記第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27b内において第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bが所定の位置関係となるように前記位置調整機構22で第2の電子部品26の位置を調整する。すなわち、図6及び図7に示す位置調整機構22を動作させ、この位置調整機構22にボンディングツール24を介して保持された第2の電子部品26を、上記の中心間距離Ra,Rbに応じて適宜X方向移動、Y方向移動、θ回転させて、理想的には一方の位置合わせ穴27aとアライメントマーク28aとの中心を一致させると共に、他方の位置合わせ穴27bとアライメントマーク28bとの中心を一致させて、両部品を位置合わせする。
【0045】
上記第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27bの所定間隔pと、第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bの所定間隔qとは、図2において同一となるようにされているが、現実には加工誤差又は温度条件等により寸法誤差が生じており、それぞれの中心を一致させることができない場合がある。そのような場合は、図4において二つの位置合わせ穴27a,27bを結ぶ中心線35上で二つのアライメントマーク28a,28bが左右対称の位置となるように、第2の電子部品26を位置調整すればよい。
【0046】
例えば、図5(a)は、上記寸法誤差によりp>qとなっている場合を示しており、上記中心線35上における左カメラ23aによる映像34a上の位置合わせ穴27aとアライメントマーク28aとの中心ずれ量cと、右カメラ23bによる映像34b上の位置合わせ穴27bとアライメントマーク28bとの中心ずれ量dとが等しくなるように、第2の電子部品26をY方向移動及びθ回転させると共に、X方向移動させて、二つのアライメントマーク28a,28bが左右対称の位置となるように位置調整して両部品を位置合わせすればよい。
【0047】
一方、図5(b)は、上記寸法誤差によりp<qとなっている場合を示しており、上記中心線35上における左カメラ23aによる映像34a上の位置合わせ穴27aとアライメントマーク28aとの中心ずれ量eと、右カメラ23bによる映像34b上の位置合わせ穴27bとアライメントマーク28bとの中心ずれ量fとが等しくなるように、第2の電子部品26をY方向移動及びθ回転させると共に、X方向移動させて、二つのアライメントマーク28a,28bが左右対称の位置となるように位置調整して両部品を位置合わせすればよい。
【0048】
このように、第1の電子部品25の位置合わせ穴27a,27b内に第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bを導入した状態でマーク認識装置23の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行い、上記第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27b内において第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bが所定の位置関係となるように位置調整機構22で第2の電子部品26の位置を調整することにより、二つの電子部品25,26を位置合わせすることができる。これにより、位置合わせ対象の二つの電子部品25,26の間にマーク認識装置23が位置せず、第2の電子部品26の位置調整の移動量が小さいことと、マーク認識装置23の同一視野内で二つの電子部品25,26の画像を得て該両者の位置計測を行い、画像の認識誤差等が無いことから、上記両部品を例えば1μm以下の高精度に位置合わせすることができる。
【0049】
なお、図5(a),(b)に示すように、二つの位置合わせ穴27a,27bを結ぶ中心線35上で二つのアライメントマーク28a,28bが左右対称の位置となるように位置調整するものに限られず、他の所定の位置関係に位置調整して両部品を位置合わせしてもよい。
【0050】
なお、以上の説明においては、前記マーク認識装置23は、図1及び図3並びに図8に示すように2台のカメラ23a,23bを備えたものとしたが、本発明はこれに限らず、第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27bの間隔pに合わせて左右移動可能な1台のカメラを備えたものとしてもよい。
【0051】
また、前記マーク認識装置23は、図9に示すように、第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27bの間隔に合わせて配置された同一の2個のレンズ54a,54bと、上記2個のレンズ54a,54bから同一の光路長上に設けられた1台のカメラ55とを備えたものとしてもよい。上記2個のレンズ54a,54bは、二つの位置合わせ穴27a,27b及び二つのアライメントマーク28a,28b(図示省略)を撮影する対物レンズとなるもので、同一距離の焦点深度を有する。カメラ55の直前には結像レンズとなる他のレンズ56が設けられており、上記2個のレンズ54a,54b及び他のレンズ56は、根元が共通化された二股形状のレンズ鏡筒57の内部に取り付けられている。そして、第1のレンズ54aからカメラ55に至る光軸上には、第1のハーフミラー58a及び全反射ミラー59並びに第2のハーフミラー58bが配置され、第2のレンズ54bからカメラ55に至る光軸上には、第3のハーフミラー58c及び第2のハーフミラー58b(両方のレンズ54a,54bに共通)が配置されており、第1のレンズ54aからカメラ55に至る光路長と、第2のレンズ54bからカメラ55に至る光路長とは同一とされている。
【0052】
なお、上記二股形状のレンズ鏡筒57のうち第1のレンズ54a側のレンズ鏡筒57aの底部には第1の照明灯60aが設けられ、第2のレンズ54b側のレンズ鏡筒57bの底部には第2の照明灯60bが設けられており、それぞれの照明灯60a,60bを点灯することにより、前記二つの位置合わせ穴27a,27b及び二つのアライメントマーク28a,28b(図示省略)を照明するようになっている。
【0053】
そして、このように構成されたマーク認識装置23を使用するには、第1又は第2の照明灯60a,60bを切り換えて点灯し、第1のレンズ54a側だけで一方の位置合わせ穴27a及び一方のアライメントマーク28aを同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行い、又は第2のレンズ54b側だけで他方の位置合わせ穴27b及び他方のアライメントマーク28bを同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行えばよい。又は、第1及び第2の照明灯60a,60bを同時に点灯し、第1のレンズ54a側及び第2のレンズ54b側を通して撮影した左右の映像が重なっている画像を用いて、左右の映像を分離して画像処理することにより、二つの位置合わせ穴27a,27b及び二つのアライメントマーク28a,28bの位置計測を行えばよい。或いは、第1及び第2の照明灯60a,60bを同時に点灯し、第1のレンズ54a側及び第2のレンズ54b側の視野をそれぞれ半分ずつマスクして左右の映像を撮影し、その撮影した左右の映像が重なっている画像を用いて、左右の映像を分離して画像処理することにより、二つの位置合わせ穴27a,27b及び二つのアライメントマーク28a,28bの位置計測を行えばよい。
【0054】
また、以上の説明においては、第1の電子部品25の二つの位置合わせ穴27a,27b及び第2の電子部品26のアライメントマーク28a,28bの平面形状は、図2及び図4においては円形としたが、その位置を計測し中心を出し易いものであれば、他の形状であってもよい。さらに、第1の電子部品25や第2の電子部品26は、基板やチップに限られず、他の適宜の電子部品であってもよい。
【0055】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されたので、請求項1に係る電子部品位置合わせ方法によれば、所定位置に所定間隔だけ離して二つの位置合わせ穴があけられた第1の電子部品を受け台に保持すると共に、所定位置に上記二つの位置合わせ穴の間隔に合致させて二つのアライメントマークが形成された第2の電子部品を位置調整機構に保持し、上記第1の電子部品の位置合わせ穴内に第2の電子部品のアライメントマークを導入した状態でマーク認識装置の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行い、上記第1の電子部品の二つの位置合わせ穴内において第2の電子部品のアライメントマークが所定の位置関係となるように上記位置調整機構で第2の電子部品の位置を調整することができる。これにより、位置合わせ対象の二つの電子部品の間にマーク認識装置が位置せず、第2の電子部品の位置調整の移動量が小さいことと、マーク認識装置の同一視野内で二つの電子部品のマーク画像を得て該両者の位置計測を行い、画像の認識誤差等が無いことから、上記両部品を高精度に位置合わせすることができる。
【0056】
また、請求項2に係る発明によれば、上記第1の電子部品と第2の電子部品とは、それぞれの位置合わせ穴とアライメントマークとが上記マーク認識装置のレンズの焦点深度内に位置して保持されることにより、第1の電子部品の位置合わせ穴と第2の電子部品のアライメントマークとの両方に焦点を合わせて同時に撮影することができる。
【0057】
さらに、請求項3及び4に係る発明によれば、上記位置調整機構は第2の電子部品を水平面内でX方向移動及びY方向移動並びにθ回転可能としており、更に上記位置調整機構の全体が垂直面内でZ方向に移動可能とされていることにより、上記第1の電子部品と第2の電子部品とを位置合わせすると共に、両者を接合することができる。
【0058】
さらにまた、請求項5に係る発明によれば、上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて2台のカメラが備えられていることにより、上記二つの位置合わせ穴について一度に位置計測をして、二つの電子部品の位置合わせ迅速に行うことができる。
【0059】
また、請求項6に係る発明によれば、上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて左右移動可能な1台のカメラが備えられていることにより、マーク認識装置が簡単、小型化したものとなる。
【0060】
さらに、請求項7に係る発明によれば、上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて配置された同一の2個のレンズと、上記2個のレンズから同一の光路長上に設けられた1台のカメラとが備えられていることにより、1台のカメラにおいて左右移動の機構が不要となり、マーク認識装置が更に簡単、小型化したものとなる。
【0061】
また、請求項8に係る電子部品位置合わせ装置によれば、所定位置に所定間隔だけ離して二つの位置合わせ穴があけられた第1の電子部品を受け台で保持し、この受け台に対向して配置された位置調整機構により、所定位置に上記二つの位置合わせ穴の間隔に合致させて二つのアライメントマークが形成された第2の電子部品を保持し、上記受け台の後方側に配置されたマーク認識装置で、上記第1の電子部品の位置合わせ穴内に第2の電子部品のアライメントマークを導入した状態で同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行い、上記マーク認識装置で位置計測した画像を利用し、上記第1の電子部品の二つの位置合わせ穴内において第2の電子部品のアライメントマークが所定の位置関係となるように上記位置調整機構で第2の電子部品の位置を調整することができる。これにより、位置合わせ対象の二つの電子部品の間にマーク認識装置が位置せず、第2の電子部品の位置調整の移動量が小さいことと、マーク認識装置の同一視野内で二つの電子部品のマーク画像を得て該両者の位置計測を行い、画像の認識誤差等が無いことから、上記両部品を高精度に位置合わせすることができる。
【0062】
また、請求項9に係る発明によれば、上記第1の電子部品と第2の電子部品とは、それぞれの位置合わせ穴とアライメントマークとが上記マーク認識装置のレンズの焦点深度内に位置して保持されることにより、第1の電子部品の位置合わせ穴と第2の電子部品のアライメントマークとの両方に焦点を合わせて同時に撮影することができる。
【0063】
さらに、請求項10及び11に係る発明によれば、上記位置調整機構は第2の電子部品を水平面内でX方向移動及びY方向移動並びにθ回転可能としており、更に上記位置調整機構の全体が垂直面内でZ方向に移動可能とされていることにより、上記第1の電子部品と第2の電子部品とを位置合わせすると共に、両者を接合することができる。
【0064】
さらにまた、請求項12に係る発明によれば、上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて2台のカメラを備えていることにより、上記二つの位置合わせ穴について一度に位置計測をして、二つの電子部品の位置合わせ迅速に行うことができる。
【0065】
また、請求項13に係る発明によれば、上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて左右移動可能な1台のカメラを備えていることにより、マーク認識装置を簡単、小型化することができる。
【0066】
さらに、請求項14に係る発明によれば、上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて配置された同一の2個のレンズと、上記2個のレンズから同一の光路長上に設けられた1台のカメラとを備えていることにより、1台のカメラにおいて左右移動の機構が不要となり、マーク認識装置が更に簡単、小型化したものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による電子部品位置合わせ方法の実施の形態を示す模式図である。
【図2】第1の電子部品の位置合わせ穴と第2の電子部品のアライメントマークの形成状態を示す平面図である。
【図3】第1の電子部品の位置合わせ穴内に第2の電子部品のアライメントマークを導入した状態でマーク認識装置の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行う状態を示す断面説明図である。
【図4】上記マーク認識装置のカメラにより同一視野内にとらえたマーク手段の位置計測の映像を示す説明図である。
【図5】上記マーク認識装置のカメラによる位置計測の映像を用いて第2の電子部品を位置調整する状態を示す説明図である。
【図6】本発明による電子部品位置合わせ装置の実施の形態を示す側面図である。
【図7】位置調整機構の具体的な構造を示す斜視図である。
【図8】第1の電子部品の受け台及びマーク認識装置等を拡大して示す要部説明図である。
【図9】マーク認識装置の他の実施形態を示す要部拡大断面図である。
【図10】従来のボンディング装置を示す側面図である。
【図11】図10の正面図である。
【図12】従来のボンディング装置のマーク認識装置を示す説明図である。
【図13】従来のボンディング装置における基板及びチップ部材のアライメントマークの位置合わせずれの発生例を示す説明図である。
【符号の説明】
21…受け台
22…位置調整機構
23…マーク認識装置
23a,23b…カメラ
24…ボンディングツール
25…第1の電子部品
26…第2の電子部品
27a,27b…位置合わせ穴
28a,28b…アライメントマーク
34a,34b…カメラによる映像
35…二つの位置合わせ穴を結ぶ中心線
40…架台
41…ガイド部材
42a,42b…移動ブロック
43…張出しアーム
44…クランプ圧着機構
53…エアーダクト
54a,54b…レンズ
55…カメラ
57…レンズ鏡筒
60a,60b…照明灯
Claims (14)
- 所定位置に所定間隔だけ離して二つの位置合わせ穴があけられた第1の電子部品を受け台に保持すると共に、所定位置に上記二つの位置合わせ穴の間隔に合致させて二つのアライメントマークが形成された第2の電子部品を位置調整機構に保持するステップと、
上記第1の電子部品の位置合わせ穴内に第2の電子部品のアライメントマークを導入した状態でマーク認識装置の同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行うステップと、
上記第1の電子部品の二つの位置合わせ穴内において第2の電子部品のアライメントマークが所定の位置関係となるように上記位置調整機構で第2の電子部品の位置を調整するステップと、
を行い上記両部品を位置合わせすることを特徴とする電子部品位置合わせ方法。 - 上記第1の電子部品と第2の電子部品とは、それぞれの位置合わせ穴とアライメントマークとが上記マーク認識装置のレンズの焦点深度内に位置して保持されることを特徴とする請求項1記載の電子部品位置合わせ方法。
- 上記位置調整機構は、第2の電子部品を水平面内でX方向移動及びY方向移動並びにθ回転させることを特徴とする請求項1記載の電子部品位置合わせ方法。
- 上記位置調整機構の全体が垂直面内でZ方向に移動可能とされており、上記第1の電子部品と第2の電子部品とを接合することを特徴とする請求項3記載の電子部品位置合わせ方法。
- 上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて2台のカメラが備えられていることを特徴とする請求項1記載の電子部品位置合わせ方法。
- 上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて左右移動可能な1台のカメラが備えられていることを特徴とする請求項1記載の電子部品位置合わせ方法。
- 上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて配置された同一の2個のレンズと、上記2個のレンズから同一の光路長上に設けられた1台のカメラとが備えられていることを特徴とする請求項1記載の電子部品位置合わせ方法。
- 所定位置に所定間隔だけ離して二つの位置合わせ穴があけられた第1の電子部品を保持する受け台と、
この受け台に対向して配置され、所定位置に上記二つの位置合わせ穴の間隔に合致させて二つのアライメントマークが形成された第2の電子部品を保持する位置調整機構と、
上記受け台の後方側に配置され、上記第1の電子部品の位置合わせ穴内に第2の電子部品のアライメントマークを導入した状態で同一視野内にとらえて該両者の位置計測を行うマーク認識装置と、
を備え、上記マーク認識装置で位置計測した画像を利用し、上記第1の電子部品の二つの位置合わせ穴内において第2の電子部品のアライメントマークが所定の位置関係となるように上記位置調整機構で第2の電子部品の位置を調整して、上記両部品を位置合わせすることを特徴とする電子部品位置合わせ装置。 - 上記第1の電子部品と第2の電子部品とは、それぞれの位置合わせ穴とアライメントマークとが上記マーク認識装置のレンズの焦点深度内に位置して保持されるものであることを特徴とする請求項8記載の電子部品位置合わせ装置。
- 上記位置調整機構は、第2の電子部品を水平面内でX方向移動及びY方向移動並びにθ回転させるものであることを特徴とする請求項8記載の電子部品位置合わせ装置。
- 上記位置調整機構の全体が垂直面内でZ方向に移動可能とされており、上記第1の電子部品と第2の電子部品とを接合するものであることを特徴とする請求項10記載の電子部品位置合わせ装置。
- 上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて2台のカメラを備えていることを特徴とする請求項8記載の電子部品位置合わせ装置。
- 上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて左右移動可能な1台のカメラを備えていることを特徴とする請求項8記載の電子部品位置合わせ装置。
- 上記マーク認識装置は、第1の電子部品の二つの位置合わせ穴の間隔に合わせて配置された同一の2個のレンズと、上記2個のレンズから同一の光路長上に設けられた1台のカメラとを備えていることを特徴とする請求項8記載の電子部品位置合わせ装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002290369A JP4048897B2 (ja) | 2002-10-02 | 2002-10-02 | 電子部品位置合わせ方法及びその装置 |
US10/495,905 US7251883B2 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-30 | Electronic-component alignment method and apparatus therefor |
PCT/JP2003/012520 WO2004028816A1 (ja) | 2002-09-30 | 2003-09-30 | 電子部品位置合わせ方法及びその装置 |
EP03748624A EP1547780A4 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-30 | METHOD AND DEVICE FOR POSITIONING ELECTRONIC COMPONENTS |
KR1020047008113A KR101051498B1 (ko) | 2002-09-30 | 2003-09-30 | 전자 부품 위치 맞춤 방법 및 그 장치 |
CNB038018403A CN1330494C (zh) | 2002-09-30 | 2003-09-30 | 电子部件对准方法及其所使用的装置 |
US11/420,245 US7594319B2 (en) | 2002-09-30 | 2006-05-25 | Electronic-component alignment method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002290369A JP4048897B2 (ja) | 2002-10-02 | 2002-10-02 | 電子部品位置合わせ方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004128224A true JP2004128224A (ja) | 2004-04-22 |
JP4048897B2 JP4048897B2 (ja) | 2008-02-20 |
Family
ID=32282276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002290369A Expired - Fee Related JP4048897B2 (ja) | 2002-09-30 | 2002-10-02 | 電子部品位置合わせ方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4048897B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009076502A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-09 | Panasonic Corp | 部品取付方法 |
US8177337B2 (en) | 2007-07-06 | 2012-05-15 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Flow path unit, inspection apparatus, and inspection method |
KR101443668B1 (ko) * | 2007-03-30 | 2014-09-23 | 비아 메카닉스 가부시키가이샤 | 작업물 가공기 |
US9243894B2 (en) | 2009-09-18 | 2016-01-26 | Bondtech Co., Ltd. | Pressure application apparatus and pressure application method |
-
2002
- 2002-10-02 JP JP2002290369A patent/JP4048897B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101443668B1 (ko) * | 2007-03-30 | 2014-09-23 | 비아 메카닉스 가부시키가이샤 | 작업물 가공기 |
US8177337B2 (en) | 2007-07-06 | 2012-05-15 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Flow path unit, inspection apparatus, and inspection method |
JP2009076502A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-09 | Panasonic Corp | 部品取付方法 |
US9243894B2 (en) | 2009-09-18 | 2016-01-26 | Bondtech Co., Ltd. | Pressure application apparatus and pressure application method |
US9379082B2 (en) | 2009-09-18 | 2016-06-28 | Bondtech Co., Ltd. | Pressure application apparatus and pressure application method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4048897B2 (ja) | 2008-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101051498B1 (ko) | 전자 부품 위치 맞춤 방법 및 그 장치 | |
KR100758811B1 (ko) | 발광소자의 장착방법 및 장착장치 | |
JP4046030B2 (ja) | 部品装着方法および部品装着装置 | |
JP4883181B2 (ja) | 部品実装方法 | |
JP2008270649A (ja) | 表面実装機、及び、そのカメラ位置補正方法 | |
TW201608345A (zh) | 描繪裝置 | |
CN113302725A (zh) | 安装装置和安装方法 | |
JP2007005494A (ja) | 部品実装装置及び部品実装方法、並びに、位置調整装置及び位置調整方法 | |
JP2789387B2 (ja) | ボンディング装置 | |
JP2021179609A (ja) | 多レンズ素子を位置合わせするためのシステム及び方法 | |
JP4048897B2 (ja) | 電子部品位置合わせ方法及びその装置 | |
JP2000035676A (ja) | 分割逐次近接露光装置 | |
CN113348538B (zh) | 安装装置和安装方法 | |
JP4065805B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP4197764B2 (ja) | 部品撮像装置 | |
JP3651465B2 (ja) | 電子部品位置合わせ方法 | |
JP4048896B2 (ja) | ボンディング装置 | |
JPH0870013A (ja) | ボンディング方法及びその装置 | |
JP2008028275A (ja) | 部品実装機の画像認識用照明装置 | |
JP2002126954A (ja) | 組立装置 | |
JP3337499B2 (ja) | プリント基板検査装置 | |
KR102701354B1 (ko) | 다수의 렌즈 요소를 정렬하기 위한 시스템 및 방법 | |
WO2015015920A1 (ja) | 撮像モジュールの製造方法及び撮像モジュールの製造装置 | |
JP4175203B2 (ja) | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法ならびに較正用治具 | |
TW202431451A (zh) | 定位裝置及定位方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070814 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071119 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |