JP2004125661A - 磁気テープの表面歪み検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】磁気テープの表面歪みの検査を、精度良く行うことができる磁気テープの表面歪み検査装置を提供する。
【解決手段】表面歪み検査装置１０は、投光装置１２によって磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ１を照射して磁気テープＭＴのテープ幅方向に対して所定の角度で傾斜した直線状の像を形成し、その像を撮像装置であるＣＣＤカメラ１４によって撮像する。そして、撮像された画像に写っている像の縁の直線性を像検査手段である計算機１５によって調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段である計算機１５によって歪みの有無及び歪みの大きさを判定することによって、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査することができる。
【選択図】 図１
【解決手段】表面歪み検査装置１０は、投光装置１２によって磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ１を照射して磁気テープＭＴのテープ幅方向に対して所定の角度で傾斜した直線状の像を形成し、その像を撮像装置であるＣＣＤカメラ１４によって撮像する。そして、撮像された画像に写っている像の縁の直線性を像検査手段である計算機１５によって調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段である計算機１５によって歪みの有無及び歪みの大きさを判定することによって、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査することができる。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気テープの表面歪み検査装置に関し、詳しくは、磁気テープの表面歪みを光学的に検査することができる磁気テープの表面歪み検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
磁気テープは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等のフィルムからなるベース層、ベース層の一方の面に形成される磁性層、ベース層の他方の面に形成されるバック層等から構成されている。このような磁気テープは、磁気テープにデータを記録する際又は磁気テープからデータを再生する際に、所定の安定した性能を発揮することが求められている。
【０００３】
例えば、磁気テープの製造中に、磁気テープに傷がついたり、磁気テープの表面に製造工場内に浮遊している異物が付着したりすると、記録時や再生時に、前記傷及び異物に起因して記録磁力や再生出力が低下し、データを正しく記録できない又はデータを正しく再生できないという、いわゆる「ドロップアウト」と呼ばれるエラーが発生する。
【０００４】
そのため、所定の安定した性能を発揮することができる高品質な磁気テープを製造するためには、磁気テープの表面（磁性層又はバック層の表面）の状態を正確に把握しておく必要がある。そこで、従来は、磁気テープの表面に形成された傷や溝等を光学的に検査していた。このような検査方法としては、例えば、特許文献１に記載された「磁気記録媒体の表面検査方法とその装置」がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−２３３５６０号公報（第１図）
【０００６】
特許文献１に記載された「磁気記録媒体の表面検査方法とその装置」は、投光装置及びカメラ等の機器配置を工夫して、検査精度の向上を図ったものであり、磁気テープの磁性層表面に線状の検知光を照射し、その反射光をＣＣＤカメラで受光して表面欠陥の有無を判別する際に、投受光角度を特定範囲とし、更に入射光の光軸位置を反射点から偏倚させることにより、検知光に含まれるシステムノイズの出力レベルを減少させることができると記載されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年の磁気記録の高密度化に伴い、磁気テープの表面歪みの検査精度の更なる向上が求められているが、特許文献１に記載の「磁気記録媒体の表面検査方法とその装置」では、磁気テープの表面歪みを精度良く検出することができないという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は、磁気テープの表面歪みの検査を、精度良く行うことができる磁気テープの表面歪み検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の磁気テープの表面歪み検査装置は、磁気テープの表面を光学的に検査し、前記磁気テープの表面歪みを検出するための磁気テープの表面歪み検査装置であって、前記磁気テープの表面に光線を照射して前記磁気テープのテープ幅方向に対して所定の角度で傾斜した直線状の像を形成する投光装置と、磁気テープの表面に形成された前記像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置で撮像された像の縁の直線性を調べる像検査手段と、前記像検査手段での検査結果に基づいて前記磁気テープの表面の歪みの大きさを判定する歪み判定手段とを備えて構成されることを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載された表面歪み検査装置によれば、投光装置によって磁気テープの表面に光線を照射して磁気テープのテープ幅方向に対して所定の角度で傾斜した直線状の像を形成し、その像を撮像装置によって撮像し、撮像された画像に写っている像の縁の直線性を像検査手段によって調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段によって歪みの大きさを判定することによって、磁気テープの表面の歪みを検査することができる。
【００１１】
また、請求項２に記載の磁気テープの表面歪み検査装置は、磁気テープの表面を光学的に検査し、前記磁気テープの表面歪みを検出するための磁気テープの表面歪み検査装置であって、前記磁気テープの表面に光線を照射して前記磁気テープのテープ幅方向に直線状の像を複数形成する投光装置と、磁気テープの表面に形成された前記像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置で撮像された画像に写っている各像の縁の直線性を調べる像検査手段と、前記像検査手段での検査結果に基づいて前記磁気テープの表面の歪みの大きさを判定する歪み判定手段とを備えて構成されることを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載された表面歪み検査装置によれば、投光装置によって磁気テープの表面に光線を照射して磁気テープのテープ幅方向に直線状の像を複数形成し、その像を撮像装置によって撮像し、撮像された画像に写っている各像の縁の直線性を調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段によって歪みの大きさを判定することによって、磁気テープの表面の歪みを検査することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、適宜図面を参照して詳細に説明する。ここでは、磁気テープカートリッジのカートリッジケースから引き出された状態の磁気テープの表面歪みを測定する場合（第１の実施の形態）と、磁気テープカートリッジ内に収納されているテープリールに巻回されている状態の磁気テープの表面歪みを測定する場合（第２の実施の形態）を説明する。
【００１４】
（第１の実施の形態）
まず、磁気テープカートリッジのカートリッジケースから引き出された状態の磁気テープの表面歪みを測定する場合について、図１〜図５を参照して説明する。図１は、第１の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置１０の構成を示す平面図である。また、図２は、磁気テープの表面歪み検査装置１０に含まれる投光装置１２と遮光板１３を示す斜視図である。また、図３は、像Ｆ１が形成された状態の磁気テープＭＴの表面を示す平面図であり、（ａ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合を示し、（ｂ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがある場合を示す。また、図４は、図３（ｂ）に示した磁気テープＭＴの表面を、磁気テープの表面歪み検査装置１０に含まれる撮像装置１４で撮像した画像Ｐ１を示す図である。また、図５は、図４に示した画像Ｐ１から磁気テープＭＴの歪みを調べる方法を説明するための説明図である。なお、図５は、図４の破線で囲った部分を拡大して示している。また、図３（ａ）、図３（ｂ）及び図４では、図中の左右方向が磁気テープＭＴの走行方向Ａとなるように表示している。
【００１５】
図１に示すように、第１の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置（以下、単に「表面歪み検査装置」という）１０は、磁気テープの引出機構（以下、単に「引出機構」という）１１、投光装置１２、遮光板１３、撮像装置１４及び計算機１５を備えて構成されている。なお、計算機１５は、特許請求の範囲における「像検査手段」と「歪み判定手段」に相当する。以下、表面歪み検査装置１０の各部について詳細に説明する。
【００１６】
引出機構１１は、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査するとき（以降、「検査時」という）に、磁気テープＭＴの端部に取り付けられているリーダピン３３と係合し、磁気テープＭＴを磁気テープカートリッジ３０のカートリッジケース３１の開口部３２から一定の長さだけ引き出すためのものである（図１参照）。
【００１７】
引出機構１１によって一定の長さの磁気テープＭＴをカートリッジケース３１から引き出した後は、磁気テープＭＴを巻回しているリール３４を摩擦力又は磁力等によって固定し、磁気テープＭＴの両端に一定のテンションＴをかけている（図３（ａ）参照）。本実施の形態では、磁気テープＭＴには、０．１ＮのテンションＴをかけている。このように、磁気テープＭＴの両端に一定のテンションＴをかけているのは、磁性層とバック層との応力の差によって生じる磁気テープＭＴのカールを抑えるためである。
【００１８】
投光装置１２は、光源から発せられた光をレンズ等によって集めて、一方の方向へ照射するように構成されており、投光装置１２の投光面１２ａ側には、遮光板１３が設置されている（図２参照）。遮光板１３には、図２に示すように、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂ（図３（ａ）参照）に対して角度θで傾斜したスリット１３ａが形成されており、このスリット１３ａは、投光装置１２から照射された光から光線Ｒ１だけを通過させている。本実施の形態では、スリット１３ａは、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して４５度の角度で傾斜して形成されている。なお、スリット１３ａのスリット幅及びスリット長さは、投光装置１２と磁気テープＭＴの距離や、磁気テープＭＴのテープ幅等に対応して適宜決定される。
【００１９】
このように、投光装置１２の投光面１２ａ側に遮光板１３を設置することによって、投光装置１２から磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ１を照射し（図１参照）、磁気テープＭＴの表面に、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して角度θ（４５度）で傾斜した直線状の像Ｆ１を形成することができる（図３（ａ）参照）。
【００２０】
このとき、磁気テープＭＴの厚みにムラがあったり、磁気テープＭＴの表面に凹凸や傷があったりすると、その厚みのムラ、凹凸、傷等がある場所に位置する像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が磁気テープＭＴの走行方向Ａにずれる（図３（ｂ）参照）。これは、投光装置１２から磁気テープＭＴの表面に照射された光線Ｒ１が、磁気テープＭＴの厚みにムラや、磁気テープＭＴの表面の凹凸、傷によって乱反射するためである。
【００２１】
図３（ｂ）に示す例では、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける中央付近で、図中の左側に大きくずれている。なお、本発明では、磁気テープＭＴの厚みのムラや、磁気テープＭＴの表面にある凹凸、傷のことを「歪み」又は「表面歪み」と呼んでいる。
【００２２】
ここで、磁気テープＭＴの表面に、テープ幅方向Ｂに対して所定の角度θで傾斜した直線状の像Ｆ１を形成するのは、そうした方が直線状の像を磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに形成する場合よりも、磁気テープＭＴの表面の歪みに由来する像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれを判別しやすいからである。なお、磁気テープＭＴの表面に歪みに由来する像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれを十分に判別できるのであれば、角度θは４５度に限らず適宜設定してもかまわない。
【００２３】
撮像装置１４は、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１を撮像するためのものである。本実施の形態では、撮像装置１４としてＣＣＤカメラが用いられている。このＣＣＤカメラ（撮像装置）１４で撮像された像Ｆ１を含む画像Ｐ１（図４参照）は、ＣＣＤカメラ１４に接続されている計算機１５（図１参照）に入力される。
【００２４】
なお、本実施の形態では、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１をＣＣＤカメラ１４で感度良く撮像し、かつＣＣＤカメラ１４で撮像された画像Ｐ１に像Ｆ１が大きく写るように、投光装置１２は光線Ｒ１を磁気テープＭＴの表面に対して約４５度の角度で照射するように配置されており、撮像装置１４は磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１を磁気テープＭＴの表面に対して約４５度の角度で撮像するように配置されている（図１参照）。
【００２５】
計算機１５は、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査するためのものであり、ＣＣＤカメラ１４から入力された画像Ｐ１（図４参照）に写っている像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれから、歪みの有無及び歪みの大きさを求める。具体的には、画像Ｐ１はドットから構成されているので、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が磁気テープＭＴの走行方向Ａに何ドットずれているかを調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを検査することができる。すなわち、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の傾斜が、光源の傾斜からずれた場合に、磁気テープＭＴの表面に歪みがあると判断することができる。
【００２６】
図４に示す画像Ｐ１を例に説明すると、例えば磁気テープＭＴの全幅が１００ドットで構成されているとすると、像Ｆ１は磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して４５度の角度で傾斜して形成されているので、磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合は、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２は、磁気テープＭＴの上端ＭＴａから下端ＭＴｂに向かうにつれて、１ドットづつ図中の左側にずれていくことになる（図５参照）。したがって、図５に示すように、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が、図中の左側に１ドット以上ずれている場合に、その位置に歪みが有ると判断することができる。また、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が、図中の右側にずれている場合や、ずれていない場合も、その位置に歪みが有ると判断することができる。そして、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が図中の左側に何ドットずれたかを調べることによって、歪みの大きさを求めることができる。
【００２７】
また、単に、歪みの有無のみを調べたい場合は、磁気テープの一端ＭＴａから他端ＭＴｂにかけて、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのドットのずれをカウントし、カウントした値が１００であるか、或いは１００以上であるかによって、歪みの有無を調べることができる。即ち、カウントした値が１００である場合は、歪みは無いと判断し、カウントした値が１００以上の場合は、歪みは有ると判断することができる。これは、前記したように、例えば磁気テープＭＴの全幅が１００ドットで構成されており、像Ｆ１が磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して４５度の角度で傾斜して形成されているとすると、磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合は、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２は、磁気テープＭＴの一端ＭＴａから他端ＭＴｂに向かうにつれて、１ドットづつ図中の左側にずれていくことに基づいている（図５参照）。
【００２８】
以上のように構成された表面歪み検査装置１０によって磁気テープＭＴの表面の歪みを検査する際は、まず、引出機構１１によって一定の長さの磁気テープＭＴを磁気テープカートリッジ３０のカートリッジケース３１の開口部３２から引き出す（図１参照）。磁気テープＭＴを引き出した後は、磁気テープＭＴを巻回しているリール３４を摩擦力又は磁力等によって固定し、磁気テープＭＴの両端に一定のテンションＴをかける（図３（ａ）参照）。
【００２９】
続いて、投光装置１２から磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ１を照射し（図１参照）、磁気テープＭＴの表面に、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して角度θ（４５度）で傾斜した線状の像Ｆ１を形成する（図３（ａ）参照）。このとき、磁気テープＭＴの厚みにムラがあったり、磁気テープＭＴの表面に凹凸や傷があったりすると、投光装置１２から磁気テープＭＴの表面に照射された光線Ｒ１が、磁気テープＭＴの厚みにムラや、磁気テープＭＴの表面の凹凸、傷によって乱反射されて、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が磁気テープＭＴの走行方向Ａにずれる（図３（ｂ）参照）。
【００３０】
次に、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１を、ＣＣＤカメラ（撮像装置）１４によって撮像する。ＣＣＤカメラ１４で撮像された像Ｆ１を含む画像Ｐ１（図４）は、ＣＣＤカメラ１４に接続されている計算機１５に入力される。
【００３１】
そして、計算機１５では、ＣＣＤカメラ１４から入力された画像Ｐ１（図４参照）に写っている像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれから、歪みの有無及び歪みの大きさを検査する。具体的には、画像Ｐ１はドットから構成されているので、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が磁気テープＭＴの走行方向Ａに何ドットずれているかを調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを求める。
【００３２】
以上のようにして、第１の実施の形態に係る表面歪み検査装置１０によれば、投光装置１２によって磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ１を照射して磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して所定の角度で傾斜した直線状の像Ｆ１を形成し、その像Ｆ１を撮像装置であるＣＣＤカメラ１４によって撮像する。そして、撮像された画像Ｐ１に写っている像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の直線性を像検査手段である計算機１５によって調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段である計算機１５によって歪みの有無及び歪みの大きさを判定することによって、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査することができる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
次に、磁気テープカートリッジ内に収納されているテープリールに巻回されている状態の磁気テープの表面歪みを測定する場合について、図６〜図１０を参照して説明する。図６は、第２の実施の形態に係る表面歪み検査装置２０の構成を示す平面図である。また、図７は、磁気テープの表面歪み検査装置２０に含まれる投光装置２１と遮光板２２を示す斜視図である。また、図８は、像Ｆ２が形成された状態の磁気テープＭＴの表面を示す平面図であり、（ａ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合を示し、（ｂ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがある場合を示す。また、図９は、図８（ｂ）に示した磁気テープＭＴの表面を、磁気テープの表面歪み検査装置２０に含まれる撮像装置２３によって撮像した画像Ｐ２を示す図である。また、図１０は、図９に示した画像Ｐ２から磁気テープＭＴの歪みを調べる方法を説明するための説明図であり、（ａ）は磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける各像Ｆ２のドットの累積を示すヒストグラムである。また、（ｂ）は磁気テープＭＴのテープ走行方向Ａにおける各像Ｆ２のドットの累積を示すヒストグラムである。なお、図８（ａ）、図８（ｂ）及び図９では、図中の左右方向が磁気テープＭＴの走行方向Ａとなるように表示している。
【００３４】
図６に示すように、第２の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置（以下、単に「表面歪み検査装置」という）２０は、投光装置２１、遮光板２２、撮像装置２３及び計算機２４を備えて構成されている。なお、計算機２４は、特許請求の範囲における「像検査手段」と「歪み判定手段」に相当する。以下、表面歪み検査装置２０の各部について詳細に説明する。
【００３５】
投光装置２１は、光源から発せられた光をレンズ等によって集めて、一方の方向へ照射するように構成されており、投光装置２１の投光面側２１ａには、遮光板２２が設置されている（図７参照）。遮光板２２には、図７に示すように、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂ（図８（ａ）参照）に伸びる平行な５本のスリット２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ及び２２ｅが形成されており、これらのスリット２２ａ〜２２ｅによって、投光装置２１から照射された光から光線Ｒ２だけを通過させている。なお、スリット２２ａ〜２２ｅのスリット幅及びスリット長さは、投光装置２１と磁気テープＭＴの距離や、磁気テープＭＴのテープ幅等に対応して適宜決される。
【００３６】
このように、投光装置２１の投光面２１ａ側に遮光板２２を設置することによって、投光装置２１から磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ２を照射し（図６参照）、磁気テープＭＴの表面に、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに直線状の像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成することができる（図８（ａ）参照）。図８（ａ）では、図中の左側から順に、像Ｆ２ａ、像Ｆ２ｂ、像Ｆ２ｃ、像Ｆ２ｄ、像Ｆ２ｅが磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに直線状に形成されている。
【００３７】
このとき、磁気テープＭＴの厚みにムラがあったり、磁気テープＭＴの表面に凹凸や傷があったりすると、その厚みのムラ、凹凸、傷等がある場所に位置する像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の一部が磁気テープＭＴの走行方向Ａにずれ、像Ｆ２の幅の一部又は全部が変化する（図８（ｂ）参照）。これは、投光装置２１から磁気テープＭＴの表面に照射された光線Ｒ２が、磁気テープＭＴの厚みにムラや、磁気テープＭＴの表面の凹凸、傷によって乱反射するためである。
【００３８】
なお、本実施の形態では、磁気テープＭＴの表面に５つの像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成するように構成しているが、磁気テープＭＴの表面に形成される像Ｆ２の数は特に限定されるものではない。
【００３９】
図８（ｂ）に示す例では、像Ｆ２ａの左側端縁Ｌ３の一部が、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける下端ＭＴｂ付近で図中の右側にずれている。また、像Ｆ２ｂの右側端縁Ｌ４の一部が磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける上端ＭＴａ付近で磁気テープＭＴの図中の右側にずれ、像Ｆ２ｃの左側端縁Ｌ３の一部が磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける上端ＭＴａ付近で図中の左側にずれており、像Ｆ２ｂの右側端縁Ｌ４の一部と像Ｆ２ｃの左側端縁Ｌ３の一部がつながった状態となっている。
【００４０】
撮像装置２３は、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２を撮像するためのものである。本実施の形態では、撮像装置２３としてＣＣＤカメラが用いられている。このＣＣＤカメラ（撮像装置）２３で撮像された像Ｆ２の画像Ｐ２（図９参照）は、ＣＣＤカメラ２３に接続されている計算機２４に入力される。
【００４１】
なお、本実施の形態では、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２をＣＣＤカメラ２３で感度良く撮像し、かつＣＣＤカメラ２３で撮像された画像Ｐ２に像Ｆ２が大きく写るように、投光装置２１は光線Ｒ２を磁気テープＭＴの表面に対して約４５度の角度で照射するように配置されており、撮像装置２３は磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２を磁気テープＭＴの表面に対して約４５度の角度で撮像するように配置されている（図６参照）。
【００４２】
計算機２４は、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査するためのものであり、ＣＣＤカメラ２３から入力された画像Ｐ２（図９参照）に写っている像Ｆ２像の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれや、像Ｆ２像の左右の対象性を調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを求める。具体的には、画像Ｐ２はドットから構成されているので、像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれを調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを検査することができる。また、画像Ｐ２を、像Ｆ２の左右方向（ここでは、磁気テープの走行方向Ａ）に２分割した後、像Ｆ２の左右の対象性を比較することによって、歪みの有無及び歪みの程度を調べることができる。すなわち、像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の傾斜が、光源の傾斜からずれた場合に、磁気テープＭＴの表面に歪みがあると判断することができる。
【００４３】
図９に示す画像Ｐ２を例に説明すると、まず、図１０（ａ）に示すように、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける各像Ｆ２のドットの累積を求めてヒストグラムを作成することによって、各像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４のずれの有無、及び各像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４のずれの大きさを調べることができる。具体的には、ヒストグラムにおける各像Ｆ２と対応する部分で、ドットの累積値が所定の値よりも減少した部分では、像Ｆ２の左側端縁Ｌ３又は右側端縁Ｌ４が磁気テープＭＴの走行方向Ａへずれていると判断することができる。また、ヒストグラムにおける各像Ｆ２と対応している部分同士の間にドットの累積値が存在している場合は、その部分において隣り合う像Ｆ２の一部がつながった状態になっていると判断することができる。
【００４４】
図１０（ａ）では、ヒストグラムにおける像Ｆ２ａと対応している部分Ｈ１の左側でドットの累積値が所定の値よりも減少しているので、像Ｆ２ａの左側端縁Ｌ３の一部が図中の右側にずれていると判断することができる。また、像Ｆ２ｂと対応している部分Ｈ２と像Ｆ２ｃと対応している部分Ｈ３との間の部分Ｈ４にドットの累積値が存在しているので、その部分において像Ｆ２ｂの右側端縁Ｌ４の一部と像Ｆ２ｃの左側端縁Ｌ３一部とがつながった状態になっていると判断することができる。
【００４５】
そして、図１０（ｂ）に示すように、画像Ｐ２を、各像Ｆ２の左右方向（ここでは、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂ）に２分割した後、磁気テープＭＴのテープ走行方向Ａにおける各像Ｆ２のドットの累積を求めてヒストグラムを作成し、作成されたヒストグラムの左右の対象性を比較することによって、歪みの有無及び歪みの程度を調べることができる。具体的には、ヒストグラムにおいて、ドットの累積値が所定の値減少した部分では、ある像Ｆ２の左側端縁Ｌ３又は右側端縁Ｌ４が図中の左側又は右側にずれていると判断することができる。また、ヒストグラムにおいて、ドットの累積値が所定の値よりも増加した部分では、隣り合う像Ｆ２の一部がつながった状態になっていると判断することができる。
【００４６】
図１０（ａ）では、ヒストグラムにおける磁気テープＭＴの上端ＭＴａ付近と対応している部分Ｈ５で累積値が増加しているので、その部分で隣り合う像Ｆ２の一部がつながった状態になっていると判断することができる。また、部分Ｈ６で累積値が減少しているので、その部分である像Ｆ２の左側端縁Ｌ３又は右側端縁Ｌ４が磁気テープＭＴの走行方向Ａへずれていると判断することができる。
【００４７】
そして、画像Ｐ２を、各像Ｆ２の左右方向に２分割した画像Ｐ２ａのヒストグラムＨ１と画像Ｐ２ｂのヒストグラムＨ２との対象性を比較することによって、歪みの有無及び歪みの程度を調べることができる。具体的には、画像Ｐ２ａにおけるヒストグラムの面積Ｓ１と、画像Ｐ２ｂにおけるヒストグラムの面積Ｓ２との差を求め、その差が予め定められた値を超えない場合は、画像Ｐ２ａにおけるヒストグラムと画像Ｐ２ａにおけるヒストグラムは対象であると判断し、その差が予め定められた値を超えた場合は、画像Ｐ２ａにおけるヒストグラムとヒストグラムＨ２は対象でないと判断する。
【００４８】
以上のように構成された表面歪み検査装置２０によって磁気テープＭＴの表面歪みを検査する際は、まず、投光装置２１から磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ２を照射し（図６参照）、磁気テープＭＴの表面に、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに直線状の像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成する（図８（ａ）参照）。このとき、磁気テープＭＴの厚みにムラがあったり、磁気テープＭＴの表面に凹凸や傷があったりすると、投光装置２１から磁気テープＭＴの表面に照射された光線Ｒ２が、磁気テープＭＴの厚みにムラや、磁気テープＭＴの表面の凹凸、傷によって乱反射されて、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の一部が磁気テープＭＴの走行方向Ａにずれ、像Ｆ２の幅の一部又は全部が変化する（図８（ｂ）参照）。
【００４９】
続いて、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２を、ＣＣＤカメラ（撮像装置）２３によって撮像する。ＣＣＤカメラ２３で撮像された画像Ｐ２（図８）は、ＣＣＤカメラ２３に接続されている計算機２４に入力される。
【００５０】
そして、計算機２４では、ＣＣＤカメラ２３から入力された画像Ｐ２（図９参照）に写っている像Ｆ２像の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれや、像Ｆ２像の左右の対象性から、歪みの有無及び歪みの大きさを求める。具体的には、画像Ｐ２はドットから構成されているので、像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれを調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを検査する。また、画像Ｐ２を、像Ｆ２の左右方向（ここでは、磁気テープの走行方向Ａ）に２分割した後、像Ｆ２の左右の対象性を比較することによって、歪みの有無及び歪みの程度を調べる。
【００５１】
以上のようにして、第２の実施の形態に係る表面歪み検査装置２０によれば、投光装置２１によって磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ２を照射して磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに直線状の像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成し、像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを撮像装置であるＣＣＤカメラ２３によって撮像する。そして、撮像された画像Ｐ２に写っている像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の直線性を像検査手段である計算機２４によって調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段である計算機２４によって歪みの有無及び歪みの大きさを判定することによって、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査することができる。
【００５２】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこのような実施例にのみ限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく限りにおいて、種々の変形が可能である。
【００５３】
また、第２の実施の形態では、図８（ａ）に示すように、磁気テープの幅方向に像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成したが、像Ｆ２は、磁気テープのテープ走行方向Ａに形成することもできる。
【００５４】
さらに、第１の実施の形態及び第２の実施の形態では、その検査対象を磁気テープＭＴとしているが、他のテープ状のものにも適用することができる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、磁気テープの表面歪みの検査を、精度良く行うことができる磁気テープの表面歪み検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置１０の構成を示す平面図である。
【図２】磁気テープの表面歪み検査装置１０に含まれる投光装置１２と遮光板１３を示す斜視図である。
【図３】像Ｆ１が形成された状態の磁気テープＭＴの表面を示す平面図であり、（ａ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合を示し、（ｂ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがある場合を示す。
【図４】図３（ｂ）に示した磁気テープＭＴの表面を、磁気テープの表面歪み検査装置１０に含まれる撮像装置１４で撮像した画像Ｐ１を示す図である。
【図５】図４に示した画像Ｐ１から磁気テープＭＴの歪みを調べる方法を説明するための説明図である。
【図６】第２の実施の形態に係る表面歪み検査装置２０の構成を示す平面図である。
【図７】磁気テープの表面歪み検査装置２０に含まれる投光装置２１と遮光板２２を示す斜視図である。
【図８】像Ｆ２が形成された状態の磁気テープＭＴの表面を示す平面図であり、（ａ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合を示し、（ｂ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがある場合を示す。
【図９】図８（ｂ）に示した磁気テープＭＴの表面を、磁気テープの表面歪み検査装置２０に含まれる撮像装置２３によって撮像した画像Ｐ２を示す図である。
【図１０】図９に示した画像Ｐ２から磁気テープＭＴの歪みを調べる方法を説明するための説明図であり、（ａ）は磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける各像Ｆ２のドットの累積を示すヒストグラムである。また、（ｂ）は磁気テープＭＴのテープ走行方向Ａにおける各像Ｆ２のドットの累積を示すヒストグラムである。
【符号の説明】
１０ 第１の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置
１１ 磁気テープの引出機構
１２ 投光装置
１３ 遮光板
１４ 撮像装置（ＣＣＤカメラ）
１５ 計算機
２０ 第２の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置
２１ 投光装置
２２ 遮光板
２３ 撮像装置（ＣＣＤカメラ）
２４ 計算機
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気テープの表面歪み検査装置に関し、詳しくは、磁気テープの表面歪みを光学的に検査することができる磁気テープの表面歪み検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
磁気テープは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等のフィルムからなるベース層、ベース層の一方の面に形成される磁性層、ベース層の他方の面に形成されるバック層等から構成されている。このような磁気テープは、磁気テープにデータを記録する際又は磁気テープからデータを再生する際に、所定の安定した性能を発揮することが求められている。
【０００３】
例えば、磁気テープの製造中に、磁気テープに傷がついたり、磁気テープの表面に製造工場内に浮遊している異物が付着したりすると、記録時や再生時に、前記傷及び異物に起因して記録磁力や再生出力が低下し、データを正しく記録できない又はデータを正しく再生できないという、いわゆる「ドロップアウト」と呼ばれるエラーが発生する。
【０００４】
そのため、所定の安定した性能を発揮することができる高品質な磁気テープを製造するためには、磁気テープの表面（磁性層又はバック層の表面）の状態を正確に把握しておく必要がある。そこで、従来は、磁気テープの表面に形成された傷や溝等を光学的に検査していた。このような検査方法としては、例えば、特許文献１に記載された「磁気記録媒体の表面検査方法とその装置」がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−２３３５６０号公報（第１図）
【０００６】
特許文献１に記載された「磁気記録媒体の表面検査方法とその装置」は、投光装置及びカメラ等の機器配置を工夫して、検査精度の向上を図ったものであり、磁気テープの磁性層表面に線状の検知光を照射し、その反射光をＣＣＤカメラで受光して表面欠陥の有無を判別する際に、投受光角度を特定範囲とし、更に入射光の光軸位置を反射点から偏倚させることにより、検知光に含まれるシステムノイズの出力レベルを減少させることができると記載されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年の磁気記録の高密度化に伴い、磁気テープの表面歪みの検査精度の更なる向上が求められているが、特許文献１に記載の「磁気記録媒体の表面検査方法とその装置」では、磁気テープの表面歪みを精度良く検出することができないという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は、磁気テープの表面歪みの検査を、精度良く行うことができる磁気テープの表面歪み検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の磁気テープの表面歪み検査装置は、磁気テープの表面を光学的に検査し、前記磁気テープの表面歪みを検出するための磁気テープの表面歪み検査装置であって、前記磁気テープの表面に光線を照射して前記磁気テープのテープ幅方向に対して所定の角度で傾斜した直線状の像を形成する投光装置と、磁気テープの表面に形成された前記像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置で撮像された像の縁の直線性を調べる像検査手段と、前記像検査手段での検査結果に基づいて前記磁気テープの表面の歪みの大きさを判定する歪み判定手段とを備えて構成されることを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載された表面歪み検査装置によれば、投光装置によって磁気テープの表面に光線を照射して磁気テープのテープ幅方向に対して所定の角度で傾斜した直線状の像を形成し、その像を撮像装置によって撮像し、撮像された画像に写っている像の縁の直線性を像検査手段によって調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段によって歪みの大きさを判定することによって、磁気テープの表面の歪みを検査することができる。
【００１１】
また、請求項２に記載の磁気テープの表面歪み検査装置は、磁気テープの表面を光学的に検査し、前記磁気テープの表面歪みを検出するための磁気テープの表面歪み検査装置であって、前記磁気テープの表面に光線を照射して前記磁気テープのテープ幅方向に直線状の像を複数形成する投光装置と、磁気テープの表面に形成された前記像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置で撮像された画像に写っている各像の縁の直線性を調べる像検査手段と、前記像検査手段での検査結果に基づいて前記磁気テープの表面の歪みの大きさを判定する歪み判定手段とを備えて構成されることを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載された表面歪み検査装置によれば、投光装置によって磁気テープの表面に光線を照射して磁気テープのテープ幅方向に直線状の像を複数形成し、その像を撮像装置によって撮像し、撮像された画像に写っている各像の縁の直線性を調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段によって歪みの大きさを判定することによって、磁気テープの表面の歪みを検査することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、適宜図面を参照して詳細に説明する。ここでは、磁気テープカートリッジのカートリッジケースから引き出された状態の磁気テープの表面歪みを測定する場合（第１の実施の形態）と、磁気テープカートリッジ内に収納されているテープリールに巻回されている状態の磁気テープの表面歪みを測定する場合（第２の実施の形態）を説明する。
【００１４】
（第１の実施の形態）
まず、磁気テープカートリッジのカートリッジケースから引き出された状態の磁気テープの表面歪みを測定する場合について、図１〜図５を参照して説明する。図１は、第１の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置１０の構成を示す平面図である。また、図２は、磁気テープの表面歪み検査装置１０に含まれる投光装置１２と遮光板１３を示す斜視図である。また、図３は、像Ｆ１が形成された状態の磁気テープＭＴの表面を示す平面図であり、（ａ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合を示し、（ｂ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがある場合を示す。また、図４は、図３（ｂ）に示した磁気テープＭＴの表面を、磁気テープの表面歪み検査装置１０に含まれる撮像装置１４で撮像した画像Ｐ１を示す図である。また、図５は、図４に示した画像Ｐ１から磁気テープＭＴの歪みを調べる方法を説明するための説明図である。なお、図５は、図４の破線で囲った部分を拡大して示している。また、図３（ａ）、図３（ｂ）及び図４では、図中の左右方向が磁気テープＭＴの走行方向Ａとなるように表示している。
【００１５】
図１に示すように、第１の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置（以下、単に「表面歪み検査装置」という）１０は、磁気テープの引出機構（以下、単に「引出機構」という）１１、投光装置１２、遮光板１３、撮像装置１４及び計算機１５を備えて構成されている。なお、計算機１５は、特許請求の範囲における「像検査手段」と「歪み判定手段」に相当する。以下、表面歪み検査装置１０の各部について詳細に説明する。
【００１６】
引出機構１１は、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査するとき（以降、「検査時」という）に、磁気テープＭＴの端部に取り付けられているリーダピン３３と係合し、磁気テープＭＴを磁気テープカートリッジ３０のカートリッジケース３１の開口部３２から一定の長さだけ引き出すためのものである（図１参照）。
【００１７】
引出機構１１によって一定の長さの磁気テープＭＴをカートリッジケース３１から引き出した後は、磁気テープＭＴを巻回しているリール３４を摩擦力又は磁力等によって固定し、磁気テープＭＴの両端に一定のテンションＴをかけている（図３（ａ）参照）。本実施の形態では、磁気テープＭＴには、０．１ＮのテンションＴをかけている。このように、磁気テープＭＴの両端に一定のテンションＴをかけているのは、磁性層とバック層との応力の差によって生じる磁気テープＭＴのカールを抑えるためである。
【００１８】
投光装置１２は、光源から発せられた光をレンズ等によって集めて、一方の方向へ照射するように構成されており、投光装置１２の投光面１２ａ側には、遮光板１３が設置されている（図２参照）。遮光板１３には、図２に示すように、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂ（図３（ａ）参照）に対して角度θで傾斜したスリット１３ａが形成されており、このスリット１３ａは、投光装置１２から照射された光から光線Ｒ１だけを通過させている。本実施の形態では、スリット１３ａは、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して４５度の角度で傾斜して形成されている。なお、スリット１３ａのスリット幅及びスリット長さは、投光装置１２と磁気テープＭＴの距離や、磁気テープＭＴのテープ幅等に対応して適宜決定される。
【００１９】
このように、投光装置１２の投光面１２ａ側に遮光板１３を設置することによって、投光装置１２から磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ１を照射し（図１参照）、磁気テープＭＴの表面に、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して角度θ（４５度）で傾斜した直線状の像Ｆ１を形成することができる（図３（ａ）参照）。
【００２０】
このとき、磁気テープＭＴの厚みにムラがあったり、磁気テープＭＴの表面に凹凸や傷があったりすると、その厚みのムラ、凹凸、傷等がある場所に位置する像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が磁気テープＭＴの走行方向Ａにずれる（図３（ｂ）参照）。これは、投光装置１２から磁気テープＭＴの表面に照射された光線Ｒ１が、磁気テープＭＴの厚みにムラや、磁気テープＭＴの表面の凹凸、傷によって乱反射するためである。
【００２１】
図３（ｂ）に示す例では、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける中央付近で、図中の左側に大きくずれている。なお、本発明では、磁気テープＭＴの厚みのムラや、磁気テープＭＴの表面にある凹凸、傷のことを「歪み」又は「表面歪み」と呼んでいる。
【００２２】
ここで、磁気テープＭＴの表面に、テープ幅方向Ｂに対して所定の角度θで傾斜した直線状の像Ｆ１を形成するのは、そうした方が直線状の像を磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに形成する場合よりも、磁気テープＭＴの表面の歪みに由来する像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれを判別しやすいからである。なお、磁気テープＭＴの表面に歪みに由来する像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれを十分に判別できるのであれば、角度θは４５度に限らず適宜設定してもかまわない。
【００２３】
撮像装置１４は、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１を撮像するためのものである。本実施の形態では、撮像装置１４としてＣＣＤカメラが用いられている。このＣＣＤカメラ（撮像装置）１４で撮像された像Ｆ１を含む画像Ｐ１（図４参照）は、ＣＣＤカメラ１４に接続されている計算機１５（図１参照）に入力される。
【００２４】
なお、本実施の形態では、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１をＣＣＤカメラ１４で感度良く撮像し、かつＣＣＤカメラ１４で撮像された画像Ｐ１に像Ｆ１が大きく写るように、投光装置１２は光線Ｒ１を磁気テープＭＴの表面に対して約４５度の角度で照射するように配置されており、撮像装置１４は磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１を磁気テープＭＴの表面に対して約４５度の角度で撮像するように配置されている（図１参照）。
【００２５】
計算機１５は、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査するためのものであり、ＣＣＤカメラ１４から入力された画像Ｐ１（図４参照）に写っている像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれから、歪みの有無及び歪みの大きさを求める。具体的には、画像Ｐ１はドットから構成されているので、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が磁気テープＭＴの走行方向Ａに何ドットずれているかを調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを検査することができる。すなわち、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の傾斜が、光源の傾斜からずれた場合に、磁気テープＭＴの表面に歪みがあると判断することができる。
【００２６】
図４に示す画像Ｐ１を例に説明すると、例えば磁気テープＭＴの全幅が１００ドットで構成されているとすると、像Ｆ１は磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して４５度の角度で傾斜して形成されているので、磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合は、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２は、磁気テープＭＴの上端ＭＴａから下端ＭＴｂに向かうにつれて、１ドットづつ図中の左側にずれていくことになる（図５参照）。したがって、図５に示すように、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が、図中の左側に１ドット以上ずれている場合に、その位置に歪みが有ると判断することができる。また、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が、図中の右側にずれている場合や、ずれていない場合も、その位置に歪みが有ると判断することができる。そして、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が図中の左側に何ドットずれたかを調べることによって、歪みの大きさを求めることができる。
【００２７】
また、単に、歪みの有無のみを調べたい場合は、磁気テープの一端ＭＴａから他端ＭＴｂにかけて、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのドットのずれをカウントし、カウントした値が１００であるか、或いは１００以上であるかによって、歪みの有無を調べることができる。即ち、カウントした値が１００である場合は、歪みは無いと判断し、カウントした値が１００以上の場合は、歪みは有ると判断することができる。これは、前記したように、例えば磁気テープＭＴの全幅が１００ドットで構成されており、像Ｆ１が磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して４５度の角度で傾斜して形成されているとすると、磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合は、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２は、磁気テープＭＴの一端ＭＴａから他端ＭＴｂに向かうにつれて、１ドットづつ図中の左側にずれていくことに基づいている（図５参照）。
【００２８】
以上のように構成された表面歪み検査装置１０によって磁気テープＭＴの表面の歪みを検査する際は、まず、引出機構１１によって一定の長さの磁気テープＭＴを磁気テープカートリッジ３０のカートリッジケース３１の開口部３２から引き出す（図１参照）。磁気テープＭＴを引き出した後は、磁気テープＭＴを巻回しているリール３４を摩擦力又は磁力等によって固定し、磁気テープＭＴの両端に一定のテンションＴをかける（図３（ａ）参照）。
【００２９】
続いて、投光装置１２から磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ１を照射し（図１参照）、磁気テープＭＴの表面に、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して角度θ（４５度）で傾斜した線状の像Ｆ１を形成する（図３（ａ）参照）。このとき、磁気テープＭＴの厚みにムラがあったり、磁気テープＭＴの表面に凹凸や傷があったりすると、投光装置１２から磁気テープＭＴの表面に照射された光線Ｒ１が、磁気テープＭＴの厚みにムラや、磁気テープＭＴの表面の凹凸、傷によって乱反射されて、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が磁気テープＭＴの走行方向Ａにずれる（図３（ｂ）参照）。
【００３０】
次に、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ１を、ＣＣＤカメラ（撮像装置）１４によって撮像する。ＣＣＤカメラ１４で撮像された像Ｆ１を含む画像Ｐ１（図４）は、ＣＣＤカメラ１４に接続されている計算機１５に入力される。
【００３１】
そして、計算機１５では、ＣＣＤカメラ１４から入力された画像Ｐ１（図４参照）に写っている像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれから、歪みの有無及び歪みの大きさを検査する。具体的には、画像Ｐ１はドットから構成されているので、像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２が磁気テープＭＴの走行方向Ａに何ドットずれているかを調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを求める。
【００３２】
以上のようにして、第１の実施の形態に係る表面歪み検査装置１０によれば、投光装置１２によって磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ１を照射して磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに対して所定の角度で傾斜した直線状の像Ｆ１を形成し、その像Ｆ１を撮像装置であるＣＣＤカメラ１４によって撮像する。そして、撮像された画像Ｐ１に写っている像Ｆ１の左側端縁Ｌ１，右側端縁Ｌ２の直線性を像検査手段である計算機１５によって調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段である計算機１５によって歪みの有無及び歪みの大きさを判定することによって、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査することができる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
次に、磁気テープカートリッジ内に収納されているテープリールに巻回されている状態の磁気テープの表面歪みを測定する場合について、図６〜図１０を参照して説明する。図６は、第２の実施の形態に係る表面歪み検査装置２０の構成を示す平面図である。また、図７は、磁気テープの表面歪み検査装置２０に含まれる投光装置２１と遮光板２２を示す斜視図である。また、図８は、像Ｆ２が形成された状態の磁気テープＭＴの表面を示す平面図であり、（ａ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合を示し、（ｂ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがある場合を示す。また、図９は、図８（ｂ）に示した磁気テープＭＴの表面を、磁気テープの表面歪み検査装置２０に含まれる撮像装置２３によって撮像した画像Ｐ２を示す図である。また、図１０は、図９に示した画像Ｐ２から磁気テープＭＴの歪みを調べる方法を説明するための説明図であり、（ａ）は磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける各像Ｆ２のドットの累積を示すヒストグラムである。また、（ｂ）は磁気テープＭＴのテープ走行方向Ａにおける各像Ｆ２のドットの累積を示すヒストグラムである。なお、図８（ａ）、図８（ｂ）及び図９では、図中の左右方向が磁気テープＭＴの走行方向Ａとなるように表示している。
【００３４】
図６に示すように、第２の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置（以下、単に「表面歪み検査装置」という）２０は、投光装置２１、遮光板２２、撮像装置２３及び計算機２４を備えて構成されている。なお、計算機２４は、特許請求の範囲における「像検査手段」と「歪み判定手段」に相当する。以下、表面歪み検査装置２０の各部について詳細に説明する。
【００３５】
投光装置２１は、光源から発せられた光をレンズ等によって集めて、一方の方向へ照射するように構成されており、投光装置２１の投光面側２１ａには、遮光板２２が設置されている（図７参照）。遮光板２２には、図７に示すように、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂ（図８（ａ）参照）に伸びる平行な５本のスリット２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ及び２２ｅが形成されており、これらのスリット２２ａ〜２２ｅによって、投光装置２１から照射された光から光線Ｒ２だけを通過させている。なお、スリット２２ａ〜２２ｅのスリット幅及びスリット長さは、投光装置２１と磁気テープＭＴの距離や、磁気テープＭＴのテープ幅等に対応して適宜決される。
【００３６】
このように、投光装置２１の投光面２１ａ側に遮光板２２を設置することによって、投光装置２１から磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ２を照射し（図６参照）、磁気テープＭＴの表面に、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに直線状の像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成することができる（図８（ａ）参照）。図８（ａ）では、図中の左側から順に、像Ｆ２ａ、像Ｆ２ｂ、像Ｆ２ｃ、像Ｆ２ｄ、像Ｆ２ｅが磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに直線状に形成されている。
【００３７】
このとき、磁気テープＭＴの厚みにムラがあったり、磁気テープＭＴの表面に凹凸や傷があったりすると、その厚みのムラ、凹凸、傷等がある場所に位置する像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の一部が磁気テープＭＴの走行方向Ａにずれ、像Ｆ２の幅の一部又は全部が変化する（図８（ｂ）参照）。これは、投光装置２１から磁気テープＭＴの表面に照射された光線Ｒ２が、磁気テープＭＴの厚みにムラや、磁気テープＭＴの表面の凹凸、傷によって乱反射するためである。
【００３８】
なお、本実施の形態では、磁気テープＭＴの表面に５つの像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成するように構成しているが、磁気テープＭＴの表面に形成される像Ｆ２の数は特に限定されるものではない。
【００３９】
図８（ｂ）に示す例では、像Ｆ２ａの左側端縁Ｌ３の一部が、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける下端ＭＴｂ付近で図中の右側にずれている。また、像Ｆ２ｂの右側端縁Ｌ４の一部が磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける上端ＭＴａ付近で磁気テープＭＴの図中の右側にずれ、像Ｆ２ｃの左側端縁Ｌ３の一部が磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける上端ＭＴａ付近で図中の左側にずれており、像Ｆ２ｂの右側端縁Ｌ４の一部と像Ｆ２ｃの左側端縁Ｌ３の一部がつながった状態となっている。
【００４０】
撮像装置２３は、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２を撮像するためのものである。本実施の形態では、撮像装置２３としてＣＣＤカメラが用いられている。このＣＣＤカメラ（撮像装置）２３で撮像された像Ｆ２の画像Ｐ２（図９参照）は、ＣＣＤカメラ２３に接続されている計算機２４に入力される。
【００４１】
なお、本実施の形態では、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２をＣＣＤカメラ２３で感度良く撮像し、かつＣＣＤカメラ２３で撮像された画像Ｐ２に像Ｆ２が大きく写るように、投光装置２１は光線Ｒ２を磁気テープＭＴの表面に対して約４５度の角度で照射するように配置されており、撮像装置２３は磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２を磁気テープＭＴの表面に対して約４５度の角度で撮像するように配置されている（図６参照）。
【００４２】
計算機２４は、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査するためのものであり、ＣＣＤカメラ２３から入力された画像Ｐ２（図９参照）に写っている像Ｆ２像の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれや、像Ｆ２像の左右の対象性を調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを求める。具体的には、画像Ｐ２はドットから構成されているので、像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれを調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを検査することができる。また、画像Ｐ２を、像Ｆ２の左右方向（ここでは、磁気テープの走行方向Ａ）に２分割した後、像Ｆ２の左右の対象性を比較することによって、歪みの有無及び歪みの程度を調べることができる。すなわち、像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の傾斜が、光源の傾斜からずれた場合に、磁気テープＭＴの表面に歪みがあると判断することができる。
【００４３】
図９に示す画像Ｐ２を例に説明すると、まず、図１０（ａ）に示すように、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける各像Ｆ２のドットの累積を求めてヒストグラムを作成することによって、各像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４のずれの有無、及び各像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４のずれの大きさを調べることができる。具体的には、ヒストグラムにおける各像Ｆ２と対応する部分で、ドットの累積値が所定の値よりも減少した部分では、像Ｆ２の左側端縁Ｌ３又は右側端縁Ｌ４が磁気テープＭＴの走行方向Ａへずれていると判断することができる。また、ヒストグラムにおける各像Ｆ２と対応している部分同士の間にドットの累積値が存在している場合は、その部分において隣り合う像Ｆ２の一部がつながった状態になっていると判断することができる。
【００４４】
図１０（ａ）では、ヒストグラムにおける像Ｆ２ａと対応している部分Ｈ１の左側でドットの累積値が所定の値よりも減少しているので、像Ｆ２ａの左側端縁Ｌ３の一部が図中の右側にずれていると判断することができる。また、像Ｆ２ｂと対応している部分Ｈ２と像Ｆ２ｃと対応している部分Ｈ３との間の部分Ｈ４にドットの累積値が存在しているので、その部分において像Ｆ２ｂの右側端縁Ｌ４の一部と像Ｆ２ｃの左側端縁Ｌ３一部とがつながった状態になっていると判断することができる。
【００４５】
そして、図１０（ｂ）に示すように、画像Ｐ２を、各像Ｆ２の左右方向（ここでは、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂ）に２分割した後、磁気テープＭＴのテープ走行方向Ａにおける各像Ｆ２のドットの累積を求めてヒストグラムを作成し、作成されたヒストグラムの左右の対象性を比較することによって、歪みの有無及び歪みの程度を調べることができる。具体的には、ヒストグラムにおいて、ドットの累積値が所定の値減少した部分では、ある像Ｆ２の左側端縁Ｌ３又は右側端縁Ｌ４が図中の左側又は右側にずれていると判断することができる。また、ヒストグラムにおいて、ドットの累積値が所定の値よりも増加した部分では、隣り合う像Ｆ２の一部がつながった状態になっていると判断することができる。
【００４６】
図１０（ａ）では、ヒストグラムにおける磁気テープＭＴの上端ＭＴａ付近と対応している部分Ｈ５で累積値が増加しているので、その部分で隣り合う像Ｆ２の一部がつながった状態になっていると判断することができる。また、部分Ｈ６で累積値が減少しているので、その部分である像Ｆ２の左側端縁Ｌ３又は右側端縁Ｌ４が磁気テープＭＴの走行方向Ａへずれていると判断することができる。
【００４７】
そして、画像Ｐ２を、各像Ｆ２の左右方向に２分割した画像Ｐ２ａのヒストグラムＨ１と画像Ｐ２ｂのヒストグラムＨ２との対象性を比較することによって、歪みの有無及び歪みの程度を調べることができる。具体的には、画像Ｐ２ａにおけるヒストグラムの面積Ｓ１と、画像Ｐ２ｂにおけるヒストグラムの面積Ｓ２との差を求め、その差が予め定められた値を超えない場合は、画像Ｐ２ａにおけるヒストグラムと画像Ｐ２ａにおけるヒストグラムは対象であると判断し、その差が予め定められた値を超えた場合は、画像Ｐ２ａにおけるヒストグラムとヒストグラムＨ２は対象でないと判断する。
【００４８】
以上のように構成された表面歪み検査装置２０によって磁気テープＭＴの表面歪みを検査する際は、まず、投光装置２１から磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ２を照射し（図６参照）、磁気テープＭＴの表面に、磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに直線状の像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成する（図８（ａ）参照）。このとき、磁気テープＭＴの厚みにムラがあったり、磁気テープＭＴの表面に凹凸や傷があったりすると、投光装置２１から磁気テープＭＴの表面に照射された光線Ｒ２が、磁気テープＭＴの厚みにムラや、磁気テープＭＴの表面の凹凸、傷によって乱反射されて、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の一部が磁気テープＭＴの走行方向Ａにずれ、像Ｆ２の幅の一部又は全部が変化する（図８（ｂ）参照）。
【００４９】
続いて、磁気テープＭＴの表面に形成された像Ｆ２を、ＣＣＤカメラ（撮像装置）２３によって撮像する。ＣＣＤカメラ２３で撮像された画像Ｐ２（図８）は、ＣＣＤカメラ２３に接続されている計算機２４に入力される。
【００５０】
そして、計算機２４では、ＣＣＤカメラ２３から入力された画像Ｐ２（図９参照）に写っている像Ｆ２像の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれや、像Ｆ２像の左右の対象性から、歪みの有無及び歪みの大きさを求める。具体的には、画像Ｐ２はドットから構成されているので、像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の磁気テープＭＴの走行方向Ａへのずれを調べることによって、歪みの有無及び歪みの大きさを検査する。また、画像Ｐ２を、像Ｆ２の左右方向（ここでは、磁気テープの走行方向Ａ）に２分割した後、像Ｆ２の左右の対象性を比較することによって、歪みの有無及び歪みの程度を調べる。
【００５１】
以上のようにして、第２の実施の形態に係る表面歪み検査装置２０によれば、投光装置２１によって磁気テープＭＴの表面に光線Ｒ２を照射して磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂに直線状の像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成し、像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを撮像装置であるＣＣＤカメラ２３によって撮像する。そして、撮像された画像Ｐ２に写っている像Ｆ２の左側端縁Ｌ３，右側端縁Ｌ４の直線性を像検査手段である計算機２４によって調べ、その検査結果に基づいて歪み判定手段である計算機２４によって歪みの有無及び歪みの大きさを判定することによって、磁気テープＭＴの表面の歪みを検査することができる。
【００５２】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこのような実施例にのみ限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく限りにおいて、種々の変形が可能である。
【００５３】
また、第２の実施の形態では、図８（ａ）に示すように、磁気テープの幅方向に像Ｆ２ａ〜Ｆ２ｅを形成したが、像Ｆ２は、磁気テープのテープ走行方向Ａに形成することもできる。
【００５４】
さらに、第１の実施の形態及び第２の実施の形態では、その検査対象を磁気テープＭＴとしているが、他のテープ状のものにも適用することができる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、磁気テープの表面歪みの検査を、精度良く行うことができる磁気テープの表面歪み検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置１０の構成を示す平面図である。
【図２】磁気テープの表面歪み検査装置１０に含まれる投光装置１２と遮光板１３を示す斜視図である。
【図３】像Ｆ１が形成された状態の磁気テープＭＴの表面を示す平面図であり、（ａ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合を示し、（ｂ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがある場合を示す。
【図４】図３（ｂ）に示した磁気テープＭＴの表面を、磁気テープの表面歪み検査装置１０に含まれる撮像装置１４で撮像した画像Ｐ１を示す図である。
【図５】図４に示した画像Ｐ１から磁気テープＭＴの歪みを調べる方法を説明するための説明図である。
【図６】第２の実施の形態に係る表面歪み検査装置２０の構成を示す平面図である。
【図７】磁気テープの表面歪み検査装置２０に含まれる投光装置２１と遮光板２２を示す斜視図である。
【図８】像Ｆ２が形成された状態の磁気テープＭＴの表面を示す平面図であり、（ａ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがない場合を示し、（ｂ）は磁気テープＭＴの表面に歪みがある場合を示す。
【図９】図８（ｂ）に示した磁気テープＭＴの表面を、磁気テープの表面歪み検査装置２０に含まれる撮像装置２３によって撮像した画像Ｐ２を示す図である。
【図１０】図９に示した画像Ｐ２から磁気テープＭＴの歪みを調べる方法を説明するための説明図であり、（ａ）は磁気テープＭＴのテープ幅方向Ｂにおける各像Ｆ２のドットの累積を示すヒストグラムである。また、（ｂ）は磁気テープＭＴのテープ走行方向Ａにおける各像Ｆ２のドットの累積を示すヒストグラムである。
【符号の説明】
１０ 第１の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置
１１ 磁気テープの引出機構
１２ 投光装置
１３ 遮光板
１４ 撮像装置（ＣＣＤカメラ）
１５ 計算機
２０ 第２の実施の形態に係る磁気テープの表面歪み検査装置
２１ 投光装置
２２ 遮光板
２３ 撮像装置（ＣＣＤカメラ）
２４ 計算機
Claims (2)
- 磁気テープの表面を光学的に検査し、前記磁気テープの表面歪みを検出するための磁気テープの表面歪み検査装置であって、
前記磁気テープの表面に光線を照射して前記磁気テープのテープ幅方向に対して所定の角度で傾斜した直線状の像を形成する投光装置と、
磁気テープの表面に形成された前記像を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置で撮像された像の縁の直線性を調べる像検査手段と、
前記像検査手段での検査結果に基づいて前記磁気テープの表面の歪みの大きさを判定する歪み判定手段と
を備えて構成されることを特徴とする磁気テープの表面歪み検査装置。 - 磁気テープの表面を光学的に検査し、前記磁気テープの表面歪みを検出するための磁気テープの表面歪み検査装置であって、
前記磁気テープの表面に光線を照射して前記磁気テープのテープ幅方向に直線状の像を複数形成する投光装置と、
磁気テープの表面に形成された前記像を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置で撮像された画像に写っている各像の縁の直線性を調べる像検査手段と、
前記像検査手段での検査結果に基づいて前記磁気テープの表面の歪みの大きさを判定する歪み判定手段と
を備えて構成されることを特徴とする磁気テープの表面歪み検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002291198A JP2004125661A (ja) | 2002-10-03 | 2002-10-03 | 磁気テープの表面歪み検査装置 |
| US10/673,457 US6847438B2 (en) | 2002-10-03 | 2003-09-30 | Apparatus for inspecting surface strain of magnetic tape |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002291198A JP2004125661A (ja) | 2002-10-03 | 2002-10-03 | 磁気テープの表面歪み検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004125661A true JP2004125661A (ja) | 2004-04-22 |
Family
ID=32040679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002291198A Pending JP2004125661A (ja) | 2002-10-03 | 2002-10-03 | 磁気テープの表面歪み検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6847438B2 (ja) |
| JP (1) | JP2004125661A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008140504A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Fujifilm Corp | 磁気テープの検査装置及び検査方法 |
| JP2011196730A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Fujikura Ltd | 線材表面探傷装置及び線材表面探傷方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1293381C (zh) * | 2001-07-05 | 2007-01-03 | 日本板硝子株式会社 | 片状透明体缺陷的检查方法与装置 |
| US20060285240A1 (en) * | 2005-06-16 | 2006-12-21 | Quantum Corporation | Environmental watch device for magnetic storage |
| US9310313B1 (en) * | 2014-12-29 | 2016-04-12 | Oracle International Corporation | Diffractive imaging of groove structures on optical tape |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5270781A (en) * | 1992-03-02 | 1993-12-14 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method of determining shear stress employing a monomer-polymer laminate structure |
| US5365333A (en) * | 1992-05-01 | 1994-11-15 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Apparatus for analyzing tracking error in magnetic tapes |
| JPH08233560A (ja) | 1995-02-23 | 1996-09-13 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体の表面検査方法とその装置 |
| US6118132A (en) * | 1998-09-17 | 2000-09-12 | Agilent Technologies | System for measuring the velocity, displacement and strain on a moving surface or web of material |
-
2002
- 2002-10-03 JP JP2002291198A patent/JP2004125661A/ja active Pending
-
2003
- 2003-09-30 US US10/673,457 patent/US6847438B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20040066502A1 (en) | 2004-04-08 |
| US6847438B2 (en) | 2005-01-25 |
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