JPH08233560A - 磁気記録媒体の表面検査方法とその装置 - Google Patents
磁気記録媒体の表面検査方法とその装置Info
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- JPH08233560A JPH08233560A JP6171495A JP6171495A JPH08233560A JP H08233560 A JPH08233560 A JP H08233560A JP 6171495 A JP6171495 A JP 6171495A JP 6171495 A JP6171495 A JP 6171495A JP H08233560 A JPH08233560 A JP H08233560A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁性層表面に検知光を照射し、その反射光を
ＣＣＤカメラで受光して、表面欠陥の有無を判別する表
面検査法において、投光器およびカメラなどの機器配置
を工夫して、微小欠陥でも検知できるよう検査精度の向
上を図る。 【構成】 検知光４とカメラ７への入射光５の光軸中心
面で挟む投受光角度θを４７〜６０°に設定し、欠陥部
信号の出力レベルを向上する。磁性層表面における検知
光４の反射点Ｐを基準にして、反射点Ｐから0.３〜0.６
mm偏倚した位置に、入射光５の光軸中心を位置させ、入
射光５に含まれるシステムノイズの出力レベルを減少す
る。
ＣＣＤカメラで受光して、表面欠陥の有無を判別する表
面検査法において、投光器およびカメラなどの機器配置
を工夫して、微小欠陥でも検知できるよう検査精度の向
上を図る。 【構成】 検知光４とカメラ７への入射光５の光軸中心
面で挟む投受光角度θを４７〜６０°に設定し、欠陥部
信号の出力レベルを向上する。磁性層表面における検知
光４の反射点Ｐを基準にして、反射点Ｐから0.３〜0.６
mm偏倚した位置に、入射光５の光軸中心を位置させ、入
射光５に含まれるシステムノイズの出力レベルを減少す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造過
程で用いられて、磁性層表面における欠陥を検出するた
めの表面検査装置、とくにＣＣＤラインセンサーカメラ
で表面欠陥の検出を行う表面検査装置とその方法に関す
る。
程で用いられて、磁性層表面における欠陥を検出するた
めの表面検査装置、とくにＣＣＤラインセンサーカメラ
で表面欠陥の検出を行う表面検査装置とその方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】この種の表面検査装置に特開平６−１２
９８４２号公報や特開平６−１２９８４１号公報があ
る。前者では、ライン状の検知光を所定の入射角で磁性
シートに照射し、その反射光をＣＣＤカメラで受光して
受光量の違いで表面欠陥の有無を判定する。後者では、
走行する磁気テープを周面が鏡面化してある固定円筒体
で案内支持し、この支持部外面における反射光をセンサ
ーで受光して表面欠陥の有無を判定している。
９８４２号公報や特開平６−１２９８４１号公報があ
る。前者では、ライン状の検知光を所定の入射角で磁性
シートに照射し、その反射光をＣＣＤカメラで受光して
受光量の違いで表面欠陥の有無を判定する。後者では、
走行する磁気テープを周面が鏡面化してある固定円筒体
で案内支持し、この支持部外面における反射光をセンサ
ーで受光して表面欠陥の有無を判定している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような表面欠陥を
非接触状態で光学的に検知する表面検査装置によれば、
検査対象を能率よく検査できる。問題は、検出可能な表
面欠陥の大きさに限界があり、一定限度以下の微小欠陥
を充分に検知できないことにある。そのため、従来の磁
気記録媒体の場合はともかく、例えばメタルテープのよ
うに、信号記録密度が高い磁気記録媒体においては、従
来は問題にならなかった微小欠陥が大きなドロップアウ
トを惹き起こすが、こうした高密度記録方式に適用され
る磁気記録媒体の表面検査に適合できない。
非接触状態で光学的に検知する表面検査装置によれば、
検査対象を能率よく検査できる。問題は、検出可能な表
面欠陥の大きさに限界があり、一定限度以下の微小欠陥
を充分に検知できないことにある。そのため、従来の磁
気記録媒体の場合はともかく、例えばメタルテープのよ
うに、信号記録密度が高い磁気記録媒体においては、従
来は問題にならなかった微小欠陥が大きなドロップアウ
トを惹き起こすが、こうした高密度記録方式に適用され
る磁気記録媒体の表面検査に適合できない。
【０００４】本発明者はＣＣＤカメラによる表面検査法
を再検討し、検出限界を左右している原因を追求した。
その結果、ＣＣＤカメラの分解能の向上もさることなが
ら、反射光に含まれるシステムノイズの存在が検出限界
を大きく左右していることに気付いた。この観点からシ
ステムノイズを最小にするための機器設置条件等を模索
し、磁気記録媒体の搬送形態、光源の種類および検知光
の照射形態、ＣＣＤカメラによる受光形態等を最適化す
ることにより、本発明を完成するに至った。
を再検討し、検出限界を左右している原因を追求した。
その結果、ＣＣＤカメラの分解能の向上もさることなが
ら、反射光に含まれるシステムノイズの存在が検出限界
を大きく左右していることに気付いた。この観点からシ
ステムノイズを最小にするための機器設置条件等を模索
し、磁気記録媒体の搬送形態、光源の種類および検知光
の照射形態、ＣＣＤカメラによる受光形態等を最適化す
ることにより、本発明を完成するに至った。
【０００５】本発明の目的は、磁性層表面における小さ
な欠陥を検出でき、信号記録密度が高度化された磁気記
録媒体の表面検査にも十分に対応できる高精度の表面検
査方法とその装置を提供するにある。本発明の目的は、
磁性層表面の欠陥をリアルタイムで検出でき、ウエブ状
の磁気記録媒体の製造ラインにおいて、表面検査を能率
よく行える表面検査方法とその装置を提供するにある。
本発明の目的は、より高い検査精度が得られながら検査
装置に要する費用を従来装置と同程度にまで抑止できる
表面検査方法とその装置を提供するにある。本発明の目
的は、ＣＣＤカメラの微妙な受光条件に対応して、その
支持姿勢を適正に微調整できる調整機構を備えた表面検
査装置を提供するにある。
な欠陥を検出でき、信号記録密度が高度化された磁気記
録媒体の表面検査にも十分に対応できる高精度の表面検
査方法とその装置を提供するにある。本発明の目的は、
磁性層表面の欠陥をリアルタイムで検出でき、ウエブ状
の磁気記録媒体の製造ラインにおいて、表面検査を能率
よく行える表面検査方法とその装置を提供するにある。
本発明の目的は、より高い検査精度が得られながら検査
装置に要する費用を従来装置と同程度にまで抑止できる
表面検査方法とその装置を提供するにある。本発明の目
的は、ＣＣＤカメラの微妙な受光条件に対応して、その
支持姿勢を適正に微調整できる調整機構を備えた表面検
査装置を提供するにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の表面検査方法
は、ウエブ状の磁気記録媒体１を一定速度で搬送し、そ
の搬送面に沿って配置した投光器１１から磁性層表面へ
向かって、線状の検知光４を斜めに照射し、磁性層表面
からの入射光５を投光器１１に対応して設けたＣＣＤラ
インセンサーカメラ７で受光して表面の欠陥を検出す
る。こうした検査状態において、検知光４と入射光５の
それぞれの光軸中心面で挟む投受光角度θを４７〜６０
°に設定し、磁性層表面における入射光５の光軸中心位
置が、検知光４の光軸中心の反射点Ｐから0.３〜0.６mm
偏倚する状態で表面検査する。
は、ウエブ状の磁気記録媒体１を一定速度で搬送し、そ
の搬送面に沿って配置した投光器１１から磁性層表面へ
向かって、線状の検知光４を斜めに照射し、磁性層表面
からの入射光５を投光器１１に対応して設けたＣＣＤラ
インセンサーカメラ７で受光して表面の欠陥を検出す
る。こうした検査状態において、検知光４と入射光５の
それぞれの光軸中心面で挟む投受光角度θを４７〜６０
°に設定し、磁性層表面における入射光５の光軸中心位
置が、検知光４の光軸中心の反射点Ｐから0.３〜0.６mm
偏倚する状態で表面検査する。
【０００７】具体的には、上記の検査形態において、回
転駆動されるガイドローラ２に磁気記録媒体１を巻き掛
けて搬送案内し、巻掛部の周方向ほぼ中央に検知光４を
ローラ中心軸と平行に照射して表面欠陥を検出する。光
源１０で発生した検知光４は光ファイバー１２を介して
投光器１１へ導入案内し、磁性層表面における照度を４
０万ルックス以上にして表面欠陥を検出する。ガイドロ
ーラ２の周面から圧縮空気を噴出し、磁気記録媒体１を
ローラ周面から浮上支持した状態で搬送案内する。
転駆動されるガイドローラ２に磁気記録媒体１を巻き掛
けて搬送案内し、巻掛部の周方向ほぼ中央に検知光４を
ローラ中心軸と平行に照射して表面欠陥を検出する。光
源１０で発生した検知光４は光ファイバー１２を介して
投光器１１へ導入案内し、磁性層表面における照度を４
０万ルックス以上にして表面欠陥を検出する。ガイドロ
ーラ２の周面から圧縮空気を噴出し、磁気記録媒体１を
ローラ周面から浮上支持した状態で搬送案内する。
【０００８】本発明の表面検査装置は、ウエブ状の磁気
記録媒体１を巻き掛けて搬送案内するガイドローラ２
と、巻掛部の周面のほぼ中央に向かって線状の検知光４
をローラ中心軸と平行に照射する投光器１１と、磁性層
表面からの入射光５を受光して表面の欠陥を検出するＣ
ＣＤラインセンサーカメラ７とを備えている。検知光４
と入射光５のそれぞれの光軸中心面で挟む投受光角度θ
が、４７〜６０°の範囲内に収まるよう投光器１１およ
びＣＣＤラインセンサーカメラ７を配置する。磁性層表
面における入射光５の光軸中心位置が、検知光４の光軸
中心の反射点Ｐから0.３〜0.６mm偏倚するよう、ＣＣＤ
ラインセンサーカメラ７を指向させる。
記録媒体１を巻き掛けて搬送案内するガイドローラ２
と、巻掛部の周面のほぼ中央に向かって線状の検知光４
をローラ中心軸と平行に照射する投光器１１と、磁性層
表面からの入射光５を受光して表面の欠陥を検出するＣ
ＣＤラインセンサーカメラ７とを備えている。検知光４
と入射光５のそれぞれの光軸中心面で挟む投受光角度θ
が、４７〜６０°の範囲内に収まるよう投光器１１およ
びＣＣＤラインセンサーカメラ７を配置する。磁性層表
面における入射光５の光軸中心位置が、検知光４の光軸
中心の反射点Ｐから0.３〜0.６mm偏倚するよう、ＣＣＤ
ラインセンサーカメラ７を指向させる。
【０００９】具体的にはガイドローラ２と、ガイドロー
ラ２を回転駆動する駆動機構とを備えている。ガイドロ
ーラ２は焼結された多孔円筒体からなり、その筒内空間
を圧縮空気の供給源に接続する。別のガイドローラ２の
場合には、ガイドローラ２の周面を非付着処理する。投
光器１１を含む光源部６を備えており、光源部６の光源
１０で発生した光を光ファイバー１２を介して投光器１
１に案内することによって、投光器１１を磁気記録媒体
１の搬送面の近傍に配置する。
ラ２を回転駆動する駆動機構とを備えている。ガイドロ
ーラ２は焼結された多孔円筒体からなり、その筒内空間
を圧縮空気の供給源に接続する。別のガイドローラ２の
場合には、ガイドローラ２の周面を非付着処理する。投
光器１１を含む光源部６を備えており、光源部６の光源
１０で発生した光を光ファイバー１２を介して投光器１
１に案内することによって、投光器１１を磁気記録媒体
１の搬送面の近傍に配置する。
【００１０】一群のＣＣＤラインセンサーカメラ７をガ
イドローラ２のローラ中心軸と平行に配置したブラケッ
ト１３上に調整ホルダー１５を介して支持する。調整ホ
ルダー１５は、ブラケット１３に固定した基枠１６と、
基枠１６に対して上下揺動自在に支持された主調整枠１
８とを含む。ＣＣＤラインセンサーカメラ７を主調整枠
１８で支持する。基枠１６と主調整枠１８との間に、主
調整枠１８を調整操作する調整具２４を設ける。調整具
２４は、主調整枠１８を間に挟んで対向状に配置され、
それぞれ基枠１６にねじ込みまれた一対の調整ボルト２
５・２５と、両調整ボルト２５にねじ込まれたロックナ
ット２６・２６と、基枠１６と主調整枠１８との間に配
置されて、主調整枠１８を揺動付勢するばね２７とで構
成する。ＣＣＤラインセンサーカメラ７のカメラボディ
１９に副調整枠２０を固定する。基枠１６と副調整枠２
０との間に、カメラボディ１９をレンズ中心軸の回りに
回動調整する調整ボルト２８・２８を設ける。
イドローラ２のローラ中心軸と平行に配置したブラケッ
ト１３上に調整ホルダー１５を介して支持する。調整ホ
ルダー１５は、ブラケット１３に固定した基枠１６と、
基枠１６に対して上下揺動自在に支持された主調整枠１
８とを含む。ＣＣＤラインセンサーカメラ７を主調整枠
１８で支持する。基枠１６と主調整枠１８との間に、主
調整枠１８を調整操作する調整具２４を設ける。調整具
２４は、主調整枠１８を間に挟んで対向状に配置され、
それぞれ基枠１６にねじ込みまれた一対の調整ボルト２
５・２５と、両調整ボルト２５にねじ込まれたロックナ
ット２６・２６と、基枠１６と主調整枠１８との間に配
置されて、主調整枠１８を揺動付勢するばね２７とで構
成する。ＣＣＤラインセンサーカメラ７のカメラボディ
１９に副調整枠２０を固定する。基枠１６と副調整枠２
０との間に、カメラボディ１９をレンズ中心軸の回りに
回動調整する調整ボルト２８・２８を設ける。
【００１１】
【作用】投受光角度θを４７〜６０°に設定し、入射光
５の光軸中心（ＣＣＤラインセンサーカメラ７のレンズ
中心軸）位置を、検知光４の反射点Ｐから0.３〜0.６mm
偏倚するのは、それぞれ実験によって、欠陥部信号の出
力レベルが最大となり、かつシステムノイズが最小とな
る投受光条件を探索した結果である。
５の光軸中心（ＣＣＤラインセンサーカメラ７のレンズ
中心軸）位置を、検知光４の反射点Ｐから0.３〜0.６mm
偏倚するのは、それぞれ実験によって、欠陥部信号の出
力レベルが最大となり、かつシステムノイズが最小とな
る投受光条件を探索した結果である。
【００１２】最適の投受光角度θを探査するについて
は、表面欠陥があるテストウエブを用意し、これを所定
速度で送りながらＣＣＤラインセンサーカメラ（以下、
単にカメラという）７が欠陥部を検知したときの信号出
力レベルを計測した。投受光角度θは４０°から７５°
の範囲で変化させた。その結果、図３に示すように５０
°〜５５°付近をピークとする特性曲線が得られた。こ
の実験結果から投受光角度θの実用値として４７〜６０
°を選定した。
は、表面欠陥があるテストウエブを用意し、これを所定
速度で送りながらＣＣＤラインセンサーカメラ（以下、
単にカメラという）７が欠陥部を検知したときの信号出
力レベルを計測した。投受光角度θは４０°から７５°
の範囲で変化させた。その結果、図３に示すように５０
°〜５５°付近をピークとする特性曲線が得られた。こ
の実験結果から投受光角度θの実用値として４７〜６０
°を選定した。
【００１３】入射光５の光軸中心の反射点Ｐからの偏倚
量Ｓについては、投受光角度θを５０°に固定し、入射
光５の光軸中心位置を検知光４の反射点Ｐから僅かずつ
遠ざけながら、上記と同様にしてカメラ７の出力信号に
含まれるノイズレベルを計測した。その結果、図４に示
すように反射点Ｐから離れるほどノイズレベルが低下す
ることを確認でき、入射光５の輝度が十分でしかもノイ
ズ低減効果が得られる0.３〜0.６mmを好適な偏倚量とし
て選定した。
量Ｓについては、投受光角度θを５０°に固定し、入射
光５の光軸中心位置を検知光４の反射点Ｐから僅かずつ
遠ざけながら、上記と同様にしてカメラ７の出力信号に
含まれるノイズレベルを計測した。その結果、図４に示
すように反射点Ｐから離れるほどノイズレベルが低下す
ることを確認でき、入射光５の輝度が十分でしかもノイ
ズ低減効果が得られる0.３〜0.６mmを好適な偏倚量とし
て選定した。
【００１４】表面検査は、磁気記録媒体（以下、単に磁
気シートという）１を搬送しながら行う。このとき、磁
気シート１が例えば厚み方向へ振動し、あるいはウエブ
面が部分的にたわみ変形すると、反射光に大量のノイズ
が含まれてしまう。これを避けるために磁気シート１を
ガイドローラ２で搬送案内し、検査対象表面を安定的に
支持する。ガイドローラ２の周面に圧縮空気を吹き出し
て、磁気シート１を非接触状に浮上支持すると、例え
ば、磁気シート１の裏面に付着していた浮遊塵を除去で
き、浮遊塵がガイドローラ２の周面に付着して誤検出状
態に陥ることを解消できる。
気シートという）１を搬送しながら行う。このとき、磁
気シート１が例えば厚み方向へ振動し、あるいはウエブ
面が部分的にたわみ変形すると、反射光に大量のノイズ
が含まれてしまう。これを避けるために磁気シート１を
ガイドローラ２で搬送案内し、検査対象表面を安定的に
支持する。ガイドローラ２の周面に圧縮空気を吹き出し
て、磁気シート１を非接触状に浮上支持すると、例え
ば、磁気シート１の裏面に付着していた浮遊塵を除去で
き、浮遊塵がガイドローラ２の周面に付着して誤検出状
態に陥ることを解消できる。
【００１５】光源１０で発生した検知光４を光ファイバ
ー１２を介して投光器１１へ導入案内するのは、熱影響
を避けながら投光器１１を磁気シート１の近傍に配置
し、検査対象表面における照度を十分に確保するためで
ある。
ー１２を介して投光器１１へ導入案内するのは、熱影響
を避けながら投光器１１を磁気シート１の近傍に配置
し、検査対象表面における照度を十分に確保するためで
ある。
【００１６】先に説明したように、カメラ７のレンズ中
心軸は検知光４の反射点Ｐを基準にして、ごく僅かに偏
倚させる必要がある。この偏倚調整を確実にしかも容易
に行うために、カメラ７を調整ホルダー１５で支持す
る。カメラ７は主調整枠１８に装着されており、主調整
枠１８を調整具２４で傾動調整することによって、レン
ズ中心軸の偏倚量を変更できる。調整具２４を対向する
一対の調整ボルト２５・２５と、ばね２７などで構成す
ると、調整ボルト２５・２５の調整量に応じて主調整枠
１８を少量ずつ追随傾動でき、傾動位置を維持したまま
で狂いなく主調整枠１８を固定できる。副調整枠２０
は、カメラ７をレンズ中心軸まわりに傾動させて、内蔵
するＣＣＤ受光素子の配列線を入射光５の光軸中心面と
一致させ、ＣＣＤ受光素子の出力のばらつきを補正す
る。
心軸は検知光４の反射点Ｐを基準にして、ごく僅かに偏
倚させる必要がある。この偏倚調整を確実にしかも容易
に行うために、カメラ７を調整ホルダー１５で支持す
る。カメラ７は主調整枠１８に装着されており、主調整
枠１８を調整具２４で傾動調整することによって、レン
ズ中心軸の偏倚量を変更できる。調整具２４を対向する
一対の調整ボルト２５・２５と、ばね２７などで構成す
ると、調整ボルト２５・２５の調整量に応じて主調整枠
１８を少量ずつ追随傾動でき、傾動位置を維持したまま
で狂いなく主調整枠１８を固定できる。副調整枠２０
は、カメラ７をレンズ中心軸まわりに傾動させて、内蔵
するＣＣＤ受光素子の配列線を入射光５の光軸中心面と
一致させ、ＣＣＤ受光素子の出力のばらつきを補正す
る。
【００１７】
【発明の効果】本発明では、検知光４と磁性層表面で反
射された入射光５とで挟む投受光角度θを４７〜６０°
に設定して、表面欠陥部が検知されたとき、より大きな
出力レベルの欠陥信号が得られるようにし、小さな欠陥
部の場合にも明確な欠陥信号が得られるようにした。さ
らに、入射光５の光軸中心位置を検知光４の反射点Ｐか
ら僅かにずらして、入射光５に含まれるシステムノイズ
量を減少し、カメラ７への入射光５のＳＮ比を向上し
た。これにより磁気シート１の表面検査において、微小
な表面欠陥を確実に検知でき、従来の検査装置に比べて
高精度の表面検査を行える。例えば、メタルテープのよ
うに高密度記録方式が適用される磁気シート１において
も、ドロップアウトの原因となる表面欠陥を確実に検知
して、磁気シート製品の信頼性を向上できる。
射された入射光５とで挟む投受光角度θを４７〜６０°
に設定して、表面欠陥部が検知されたとき、より大きな
出力レベルの欠陥信号が得られるようにし、小さな欠陥
部の場合にも明確な欠陥信号が得られるようにした。さ
らに、入射光５の光軸中心位置を検知光４の反射点Ｐか
ら僅かにずらして、入射光５に含まれるシステムノイズ
量を減少し、カメラ７への入射光５のＳＮ比を向上し
た。これにより磁気シート１の表面検査において、微小
な表面欠陥を確実に検知でき、従来の検査装置に比べて
高精度の表面検査を行える。例えば、メタルテープのよ
うに高密度記録方式が適用される磁気シート１において
も、ドロップアウトの原因となる表面欠陥を確実に検知
して、磁気シート製品の信頼性を向上できる。
【００１８】磁気シート１を一定速度で搬送しながら、
リアルタイムで表面欠陥を検知できるので、磁気シート
１の製造に並行して表面検査を能率よく行える。基本的
に従来装置と同様の機器類を用いて、検査時の機器配置
を工夫することにより検査精度が向上するので、高い検
査精度が得られるにもかかわらず、検査装置に要する費
用を従来装置と同程度にまで抑止できる。必要があれば
既存の検査装置を利用して、より高い精度の表面検査を
行える。
リアルタイムで表面欠陥を検知できるので、磁気シート
１の製造に並行して表面検査を能率よく行える。基本的
に従来装置と同様の機器類を用いて、検査時の機器配置
を工夫することにより検査精度が向上するので、高い検
査精度が得られるにもかかわらず、検査装置に要する費
用を従来装置と同程度にまで抑止できる。必要があれば
既存の検査装置を利用して、より高い精度の表面検査を
行える。
【００１９】
【実施例】図１ないし図６は本発明に係る表面検査装置
の実施例を示す。図２において表面検査装置は、ウエブ
状の磁気シート１を検査対象にして、その製造ラインの
後半過程に設置されて磁性層表面の検査を行う。検査時
の磁気シート１の搬送姿勢および状態を安定化して、磁
性層表面における反射光のノイズレベルを低下するため
に、磁気シート１を２個のガイドローラ２・３でＺ字に
搬送案内する。搬送方向上手側のガイドローラ２は、焼
結加工された多孔質状の円筒体からなり、図外の駆動機
構で磁気シート１の搬送速度（１３０ｍ／min)に同期し
て回動駆動する。さらに、図外の供給源から圧縮空気を
筒内へ連続供給し、ローラ周面から圧縮空気を噴出し、
図１の拡大図に示すように磁気シート１を浮上支持した
状態で搬送案内する。このときの浮上量は５〜１０μｍ
とする。
の実施例を示す。図２において表面検査装置は、ウエブ
状の磁気シート１を検査対象にして、その製造ラインの
後半過程に設置されて磁性層表面の検査を行う。検査時
の磁気シート１の搬送姿勢および状態を安定化して、磁
性層表面における反射光のノイズレベルを低下するため
に、磁気シート１を２個のガイドローラ２・３でＺ字に
搬送案内する。搬送方向上手側のガイドローラ２は、焼
結加工された多孔質状の円筒体からなり、図外の駆動機
構で磁気シート１の搬送速度（１３０ｍ／min)に同期し
て回動駆動する。さらに、図外の供給源から圧縮空気を
筒内へ連続供給し、ローラ周面から圧縮空気を噴出し、
図１の拡大図に示すように磁気シート１を浮上支持した
状態で搬送案内する。このときの浮上量は５〜１０μｍ
とする。
【００２０】上記のように磁気シート１をガイドローラ
２に巻き掛けてウエブ面に張力を作用させ、空気膜を介
して非接触状に支持することにより、空間走行部分で表
面検査を行う場合に比べて、搬送に伴うウエブ面の振動
や局部的な歪みを解消できる。しかも、磁気シート１の
裏面側に付着していた塵埃がガイドーラ２へ転移付着す
るのを防止して誤検出を防止できる。なお、ガイドロー
ラ２としてはローラ周面を非付着処理したローラ、例え
ば滑性に優れたフッ素樹脂を周面にコーティングしたロ
ーラであってもよく、この場合も多孔円筒体からなる上
記のローラと同様の安定した搬送状態と、ダスト誤認防
止効果とが得られる。搬送方向下手側のガイドローラ３
は遊転自在に支持されていて、磁気シート１を次工程へ
と変向案内する。
２に巻き掛けてウエブ面に張力を作用させ、空気膜を介
して非接触状に支持することにより、空間走行部分で表
面検査を行う場合に比べて、搬送に伴うウエブ面の振動
や局部的な歪みを解消できる。しかも、磁気シート１の
裏面側に付着していた塵埃がガイドーラ２へ転移付着す
るのを防止して誤検出を防止できる。なお、ガイドロー
ラ２としてはローラ周面を非付着処理したローラ、例え
ば滑性に優れたフッ素樹脂を周面にコーティングしたロ
ーラであってもよく、この場合も多孔円筒体からなる上
記のローラと同様の安定した搬送状態と、ダスト誤認防
止効果とが得られる。搬送方向下手側のガイドローラ３
は遊転自在に支持されていて、磁気シート１を次工程へ
と変向案内する。
【００２１】表面検査は、ガイドローラ２の周面のシー
ト巻掛部のほぼ中央へ向かって検知光４を照射し、その
磁性層表面で反射した入射光５を受光して、入射光５の
異常の有無を確認することによって行う。そのために検
知光４を照射する光源部６と、入射光５を受光するカメ
ラ７と、カメラ７から出力される信号の異常の有無を判
定するコンピュータシステム８などの機器を設置する。
ト巻掛部のほぼ中央へ向かって検知光４を照射し、その
磁性層表面で反射した入射光５を受光して、入射光５の
異常の有無を確認することによって行う。そのために検
知光４を照射する光源部６と、入射光５を受光するカメ
ラ７と、カメラ７から出力される信号の異常の有無を判
定するコンピュータシステム８などの機器を設置する。
【００２２】光源部６はハロゲンランプを光源１０とし
ており、この光源１０と、磁気シート１の巻掛部の外面
に対向配置した投光器１１と、光源１０で発生した検知
光４を投光器１１へと安定する光ファイバー１２とで構
成する。図２に示す実施例では、磁気シート１の幅寸法
が１０００mmなので光源部６のユニットを２セット用意
し、各ユニットごとに磁気シート１の幅方向の半分ずつ
を照射するようにした。各投光器１１の照射位置は巻掛
部の周方向へ僅かにずらしてある。
ており、この光源１０と、磁気シート１の巻掛部の外面
に対向配置した投光器１１と、光源１０で発生した検知
光４を投光器１１へと安定する光ファイバー１２とで構
成する。図２に示す実施例では、磁気シート１の幅寸法
が１０００mmなので光源部６のユニットを２セット用意
し、各ユニットごとに磁気シート１の幅方向の半分ずつ
を照射するようにした。各投光器１１の照射位置は巻掛
部の周方向へ僅かにずらしてある。
【００２３】メタルテープあるいはマグネタイトテープ
等の高密度記録に適用される磁気シート１は、磁性層の
程色状態が暗色系で検知光４を吸収しやすい。そのた
め、蛍光灯や自動車用の白熱電球などの散乱光を光源と
する場合は、微小欠陥からの反射信号光が微弱で、通常
のカメラ７の素子感度では識別可能な受光信号が得られ
にくい。そこで、この実施例では各光源部６の光源１０
として高輝度が得られる１５０Ｗのハロゲンランプ４個
を用い、そこで発生した光のみを光ファイバー１２で投
光器１１へ導入安定し、投光器１１を磁気シート１の搬
送面の近傍に設置して、磁性層表面における照度が４０
万ルックスと、従来の検知光の照度の１０〜３０倍にな
るように増強した。投光器１１は市販のファイバースリ
ット投光ヘッドであって、投光スリットから直線状の検
知光４を投射する。投光スリットのスリット寸法は0.４
mm、幅方向長さは５２０mmであって、１２５mmごとに１
個のハロゲンランプの投射光を照射する。
等の高密度記録に適用される磁気シート１は、磁性層の
程色状態が暗色系で検知光４を吸収しやすい。そのた
め、蛍光灯や自動車用の白熱電球などの散乱光を光源と
する場合は、微小欠陥からの反射信号光が微弱で、通常
のカメラ７の素子感度では識別可能な受光信号が得られ
にくい。そこで、この実施例では各光源部６の光源１０
として高輝度が得られる１５０Ｗのハロゲンランプ４個
を用い、そこで発生した光のみを光ファイバー１２で投
光器１１へ導入安定し、投光器１１を磁気シート１の搬
送面の近傍に設置して、磁性層表面における照度が４０
万ルックスと、従来の検知光の照度の１０〜３０倍にな
るように増強した。投光器１１は市販のファイバースリ
ット投光ヘッドであって、投光スリットから直線状の検
知光４を投射する。投光スリットのスリット寸法は0.４
mm、幅方向長さは５２０mmであって、１２５mmごとに１
個のハロゲンランプの投射光を照射する。
【００２４】受光用のカメラ７は市販のＣＣＤラインセ
ンサーカメラであって、カメラレンズのＦ値が1.２、画
素数が２０４８個（２０ＭＨZ スキャン）、幅方向分解
能0.０３７mm／bit 、流れ方向分解能0.２mm／scanなど
の仕様を備えている。カメラ７の１台当たりの視野は７
６mmであって、各投光器１１に対応して７台のカメラ７
を隣接配置する。具体的にはガイドローラ２のローラ中
心軸と平行にブラケット１３を配置し、このブラケット
１３上に７台のカメラ７を配置する。
ンサーカメラであって、カメラレンズのＦ値が1.２、画
素数が２０４８個（２０ＭＨZ スキャン）、幅方向分解
能0.０３７mm／bit 、流れ方向分解能0.２mm／scanなど
の仕様を備えている。カメラ７の１台当たりの視野は７
６mmであって、各投光器１１に対応して７台のカメラ７
を隣接配置する。具体的にはガイドローラ２のローラ中
心軸と平行にブラケット１３を配置し、このブラケット
１３上に７台のカメラ７を配置する。
【００２５】本発明は、上記の検査機器に関して、投光
器１１の配置、検知光４と入射光５の光軸中心面で挟む
投受光角度θ、および入射光５の位置等を以下のように
設定することにより、磁性層表面における微小欠陥を確
実に検知できるようにした。
器１１の配置、検知光４と入射光５の光軸中心面で挟む
投受光角度θ、および入射光５の位置等を以下のように
設定することにより、磁性層表面における微小欠陥を確
実に検知できるようにした。
【００２６】投光器１１は、磁気シート１の検査面の近
くに配置するほど反射光のエネルギーが増加する。その
一方で、投光スリットにおけるファイバースリットの照
射量のばらつきは、投光器１１が検査面に近付くほど顕
著化し、カメラ７のＣＣＤ受光素子の出力にばらつきを
生じる。こうした理由から、投光器１１の検査面からの
距離寸法Ａを２３mmに設定し、ＣＣＤ受光素子の出力の
ばらつきを防止した。
くに配置するほど反射光のエネルギーが増加する。その
一方で、投光スリットにおけるファイバースリットの照
射量のばらつきは、投光器１１が検査面に近付くほど顕
著化し、カメラ７のＣＣＤ受光素子の出力にばらつきを
生じる。こうした理由から、投光器１１の検査面からの
距離寸法Ａを２３mmに設定し、ＣＣＤ受光素子の出力の
ばらつきを防止した。
【００２７】投受光角度θの最適値、およびカメラ７の
最適受光位置を見出すために、表面欠陥が予め設けてあ
るテストウエブを用意し、これを所定の速度で搬送しな
がらカメラ７の信号出力レベルを計測した。投受光角度
θについては、θ値を４０〜７５°の間で変化させ、カ
メラ７が欠陥部を検知したときの欠陥部信号の出力レベ
ルを計測した。図３がその計測結果を示す。得られた特
性曲線から明らかな通り、投受光角度θが４７〜６０°
の範囲にあるとき、高い出力レベルの信号が得られ、よ
り好ましくは５０〜５５°の範囲にあるとき最大の信号
出力を得ることができる。なお、欠陥部がないシート表
面の信号出力レベルは、投受光角度θの変化とは無関係
にほぼ一定であった。また、光源１０の発生光量を４０
〜１００％に変化して、欠陥部信号の出力レベルの変化
を計測したが、発生光量が７０％以上であれば、前記出
力レベルに大差のないことを確認した。
最適受光位置を見出すために、表面欠陥が予め設けてあ
るテストウエブを用意し、これを所定の速度で搬送しな
がらカメラ７の信号出力レベルを計測した。投受光角度
θについては、θ値を４０〜７５°の間で変化させ、カ
メラ７が欠陥部を検知したときの欠陥部信号の出力レベ
ルを計測した。図３がその計測結果を示す。得られた特
性曲線から明らかな通り、投受光角度θが４７〜６０°
の範囲にあるとき、高い出力レベルの信号が得られ、よ
り好ましくは５０〜５５°の範囲にあるとき最大の信号
出力を得ることができる。なお、欠陥部がないシート表
面の信号出力レベルは、投受光角度θの変化とは無関係
にほぼ一定であった。また、光源１０の発生光量を４０
〜１００％に変化して、欠陥部信号の出力レベルの変化
を計測したが、発生光量が７０％以上であれば、前記出
力レベルに大差のないことを確認した。
【００２８】上記の投受光角度θを５０°に固定したう
えで、上記と同様にテストウエブを搬送しながら、カメ
ラ７の最適受光位置を探索した。通常、検査表面におけ
るカメラ７のレンズ中心軸の位置、つまり入射光５の光
軸中心位置は、検査表面における検知光４の光軸中心で
の反射点Ｐに一致させて、より高いエネルギー状態の反
射光を入射できるようにする。しかし、こうした受光状
態では、高輝度の入射光５が得られるものの、入射光５
に多くのシステムノイズが含まれるのを避けられない。
そこで入射光５の位置を前記反射点Ｐから僅かずつ遠ざ
け、カメラ７の出力信号に含まれるシステムノイズの出
力レベルを計測した。その計測結果を図４に示す。特性
曲線から明らかな通り、反射点Ｐからの偏倚距離Ｓが0.
３mmを越えると、ノイズレベルが急激に減少し、0.５mm
〜0.６mmの付近でノイズレベルはほぼ一定となる。この
計測データと、一定輝度以上の入射光５を確保する必要
上、偏倚距離Ｓを0.３〜0.６mmとした。より好ましく
は、0.４〜0.５mmとする。
えで、上記と同様にテストウエブを搬送しながら、カメ
ラ７の最適受光位置を探索した。通常、検査表面におけ
るカメラ７のレンズ中心軸の位置、つまり入射光５の光
軸中心位置は、検査表面における検知光４の光軸中心で
の反射点Ｐに一致させて、より高いエネルギー状態の反
射光を入射できるようにする。しかし、こうした受光状
態では、高輝度の入射光５が得られるものの、入射光５
に多くのシステムノイズが含まれるのを避けられない。
そこで入射光５の位置を前記反射点Ｐから僅かずつ遠ざ
け、カメラ７の出力信号に含まれるシステムノイズの出
力レベルを計測した。その計測結果を図４に示す。特性
曲線から明らかな通り、反射点Ｐからの偏倚距離Ｓが0.
３mmを越えると、ノイズレベルが急激に減少し、0.５mm
〜0.６mmの付近でノイズレベルはほぼ一定となる。この
計測データと、一定輝度以上の入射光５を確保する必要
上、偏倚距離Ｓを0.３〜0.６mmとした。より好ましく
は、0.４〜0.５mmとする。
【００２９】カメラ７の基準位置（後述する軸１７の中
心位置）と検査表面における入射光５の反射点との間の
距離は約２４０mm強離れており、偏倚距離Ｓを0.１mm変
化させるときのカメラ中心軸の揺動角度は１分２５秒と
ごく僅かでしかない。このような僅かな角度調整を正確
に行うために、ブラケット１３上に調整ホルダー１５を
固定し、この調整ホルダー１５で各カメラ７を支持す
る。
心位置）と検査表面における入射光５の反射点との間の
距離は約２４０mm強離れており、偏倚距離Ｓを0.１mm変
化させるときのカメラ中心軸の揺動角度は１分２５秒と
ごく僅かでしかない。このような僅かな角度調整を正確
に行うために、ブラケット１３上に調整ホルダー１５を
固定し、この調整ホルダー１５で各カメラ７を支持す
る。
【００３０】図５および図６において、調整ホルダー１
５は、ブラケット１３に固定した基枠１６と、基枠１６
に対して軸１７を中心にして上下揺動自在に支持された
主調整枠１８と、カメラボディ１９に固定した副調整枠
２０などで構成する。主調整枠１８は羽子板状に形成
し、その板面下部にカメラボディ１９を抱持固定する取
付穴２１を有する。取付穴２１の一部は枠周面に達する
溝によって切り離されており、溝を介して対向する面壁
をボルト２２で締緩操作することでカメラ７を取付穴２
１に着脱でき、カメラボディ１９をレンズ中心軸まわり
に回動調整できる。軸１７の軸中心はレンズ中心軸を通
る水平面上に位置している。
５は、ブラケット１３に固定した基枠１６と、基枠１６
に対して軸１７を中心にして上下揺動自在に支持された
主調整枠１８と、カメラボディ１９に固定した副調整枠
２０などで構成する。主調整枠１８は羽子板状に形成
し、その板面下部にカメラボディ１９を抱持固定する取
付穴２１を有する。取付穴２１の一部は枠周面に達する
溝によって切り離されており、溝を介して対向する面壁
をボルト２２で締緩操作することでカメラ７を取付穴２
１に着脱でき、カメラボディ１９をレンズ中心軸まわり
に回動調整できる。軸１７の軸中心はレンズ中心軸を通
る水平面上に位置している。
【００３１】主調整枠１８は、その上部と基枠１６との
間に設けた調整具２４で軸１７を中心にして上下揺動操
作する。調整具２４は、主調整枠１８を間に挟んで対向
配置され、それぞれ基枠１６にねじ込まれた前後一対の
調整ボルト２５・２５と、各ボルト２５にねじ込まれた
ロックナット２６・２６と、基枠１６と主調整枠１８の
前面との間に配置した圧縮コイル形のばね２７とからな
る。ばね２７は主調整枠１８を常に押圧付勢しており、
一方の調整ボルト２５を緩め、他方の調整ボルト２５を
締め込むことにより、各ボルト２５の調整量分だけ主調
整枠１８を同行揺動でき、調整結果を直ちに確認でき
る。
間に設けた調整具２４で軸１７を中心にして上下揺動操
作する。調整具２４は、主調整枠１８を間に挟んで対向
配置され、それぞれ基枠１６にねじ込まれた前後一対の
調整ボルト２５・２５と、各ボルト２５にねじ込まれた
ロックナット２６・２６と、基枠１６と主調整枠１８の
前面との間に配置した圧縮コイル形のばね２７とからな
る。ばね２７は主調整枠１８を常に押圧付勢しており、
一方の調整ボルト２５を緩め、他方の調整ボルト２５を
締め込むことにより、各ボルト２５の調整量分だけ主調
整枠１８を同行揺動でき、調整結果を直ちに確認でき
る。
【００３２】副調整枠２０は、カメラボディ１９をレン
ズ中心軸まわりに回動調整するために設けてあり、その
上端を間に挟む基枠１６の左右側面にねじ込んだ一対の
調整ボルト２８・２８で傾動操作される。この傾動調整
を行うことにより、ＣＣＤ受光素子の配列線を入射光５
の光軸中心面と正しく一致させることができる。副調整
枠２０を調整操作するときは、先に説明したボルト２２
を緩める。図５および図６において符号３０はＣＣＤ受
光素子である。
ズ中心軸まわりに回動調整するために設けてあり、その
上端を間に挟む基枠１６の左右側面にねじ込んだ一対の
調整ボルト２８・２８で傾動操作される。この傾動調整
を行うことにより、ＣＣＤ受光素子の配列線を入射光５
の光軸中心面と正しく一致させることができる。副調整
枠２０を調整操作するときは、先に説明したボルト２２
を緩める。図５および図６において符号３０はＣＣＤ受
光素子である。
【００３３】以上のように構成した表面検査装置の検査
能力を確認するために、各種の表面欠陥に対する検出能
力をテストし、従来の検査装置と比較した。その結果、
磁性層表面に表われる尖鋭突起、繊維プレス（凹み欠
陥）、ロール汚れ、Ｎぶち落下、皮ばり（凸欠陥）、異
物の塗込み（凸欠陥）、その他の塵埃および凝集物（凸
欠陥）の全ての表面欠陥に対して、本発明の検査装置を
用いた検査法が、従来の検査法に比べてより高精度に微
小欠陥を検知でき、高密度記録方式の磁気シート１の表
面検査を十分な精度の許に行えることを確認した。
能力を確認するために、各種の表面欠陥に対する検出能
力をテストし、従来の検査装置と比較した。その結果、
磁性層表面に表われる尖鋭突起、繊維プレス（凹み欠
陥）、ロール汚れ、Ｎぶち落下、皮ばり（凸欠陥）、異
物の塗込み（凸欠陥）、その他の塵埃および凝集物（凸
欠陥）の全ての表面欠陥に対して、本発明の検査装置を
用いた検査法が、従来の検査法に比べてより高精度に微
小欠陥を検知でき、高密度記録方式の磁気シート１の表
面検査を十分な精度の許に行えることを確認した。
【００３４】上記の実施例では、１個の光源部ユニット
に対して、複数個のカメラ７を配列する場合を示した
が、本発明はこれとは異なる機器配置を採ることができ
る。例えば投光器１１と１個のカメラ７を一対にして、
この対を階段状に配置して表面検査を行うことができ
る。テープ状に分断され、あるいはディスク状に打ち抜
いた磁気シート１を検査対象とする場合にも、本発明の
検査方を適用して同様に高精度の検査を行える。
に対して、複数個のカメラ７を配列する場合を示した
が、本発明はこれとは異なる機器配置を採ることができ
る。例えば投光器１１と１個のカメラ７を一対にして、
この対を階段状に配置して表面検査を行うことができ
る。テープ状に分断され、あるいはディスク状に打ち抜
いた磁気シート１を検査対象とする場合にも、本発明の
検査方を適用して同様に高精度の検査を行える。
【図１】表面検査装置の配置形態を示す概略側面図であ
る。
る。
【図２】全体装置の概略を示す斜視図である。
【図３】投受光角度θの最適値の探索データを示す図表
である。
である。
【図４】入射光の偏倚量に関する最適値の探索データを
示す図表である。
示す図表である。
【図５】調整ホルダーの縦断側面図である。
【図６】調整ホルダーの正面図である。
１ 磁気記録媒体 ２ ガイドローラ ４ 検知光 ５ 入射光 ６ 光源部 ７ ＣＣＤラインセンサーカメラ １１ 投光器 １２ 光ファイバー １５ 調整ホルダー Ｐ 反射点 θ 投受光角度
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１１Ｂ 20/18 ５７６ 9558−5Ｄ Ｇ１１Ｂ 20/18 ５７６Ｃ
Claims (11)
- 【請求項１】 ウエブ状の磁気記録媒体１を一定速度で
搬送し、その搬送面に沿って配置した投光器１１から磁
性層表面へ向かって、線状の検知光４を斜めに照射し、
磁性層表面からの入射光５を投光器１１に対応して設け
たＣＣＤラインセンサーカメラ７で受光して表面の欠陥
を検出する表面検査方法において、 検知光４と入射光５のそれぞれの光軸中心面で挟む投受
光角度θを、４７〜６０°に設定し、 磁性層表面における入射光５の光軸中心位置が、検知光
４の光軸中心の反射点Ｐから0.３〜0.６mm偏倚する状態
で表面検査することを特徴とする磁気記録媒体の表面検
査方法。 - 【請求項２】 回転駆動されるガイドローラ２に磁気記
録媒体１を巻き掛けて搬送案内し、巻掛部の周方向ほぼ
中央に検知光４をローラ中心軸と平行に照射して表面欠
陥を検出する請求項１記載の磁気記録媒体の表面検査方
法。 - 【請求項３】 光源１０で発生した検知光４を光ファイ
バー１２を介して投光器１１へ導入案内し、磁性層表面
における照度を４０万ルックス以上にして表面欠陥を検
出する請求項１又は２記載の磁気記録媒体の表面検査方
法。 - 【請求項４】 ガイドローラ２の周面から圧縮空気を噴
出し、磁気記録媒体１をローラ周面から浮上支持した状
態で搬送案内する請求項２又は３記載の磁気記録媒体の
表面検査方法。 - 【請求項５】 ウエブ状の磁気記録媒体１を巻き掛けて
搬送案内するガイドローラ２と、巻掛部の周面のほぼ中
央に向かって線状の検知光４をローラ中心軸と平行に照
射する投光器１１と、磁性層表面からの入射光５を受光
して表面の欠陥を検出するＣＣＤラインセンサーカメラ
７とを備えており、 検知光４と入射光５のそれぞれの光軸中心面で挟む投受
光角度θが、４７〜６０°の範囲内に収まるよう、投光
器１１およびＣＣＤラインセンサーカメラ７を配置して
あり、 磁性層表面における入射光５の光軸中心位置が、検知光
４の光軸中心の反射点Ｐから0.３〜0.６mm偏倚するよ
う、ＣＣＤラインセンサーカメラ７を指向させてなる磁
気記録媒体の表面検査装置。 - 【請求項６】 ガイドローラ２と、ガイドローラ２を回
転駆動する駆動機構を備えており、 ガイドローラ２が焼結された多孔円筒体からなり、その
筒内空間が圧縮空気の供給源に接続してある請求項５記
載の磁気記録媒体の表面検査装置。 - 【請求項７】 ガイドローラ２と、ガイドローラ２を回
転駆動する駆動機構を備えており、 ガイドローラ２の周面が非付着処理してある請求項５記
載の磁気記録媒体の表面検査装置。 - 【請求項８】 投光器１１を含む光源部６を備えてお
り、光源部６の光源１０で発生した光を光ファイバー１
２を介して投光器１１に案内し、投光器１１が磁気記録
媒体１の搬送面の近傍に配置してある請求項５又は６又
は７記載の磁気記録媒体の表面検査装置。 - 【請求項９】 一群のＣＣＤラインセンサーカメラ７が
ガイドローラ２のローラ中心軸と平行に配置したブラケ
ット１３上に調整ホルダー１５を介して支持されてお
り、 調整ホルダー１５は、ブラケット１３に固定した基枠１
６と、基枠１６に対して上下揺動自在に支持された主調
整枠１８とを含み、 ＣＣＤラインセンサーカメラ７が主調整枠１８で支持さ
れており、 基枠１６と主調整枠１８との間に、主調整枠１８を調整
操作する調整具２４が設けてある請求項５又は６又は７
又は８記載の磁気記録媒体の表面検査装置。 - 【請求項１０】 調整具２４が、主調整枠１８を間に挟
んで対向状に配置され、それぞれ基枠１６にねじ込みま
れた一対の調整ボルト２５・２５と、両調整ボルト２５
にねじ込まれたロックナット２６・２６と、基枠１６と
主調整枠１８との間に配置されて、主調整枠１８を揺動
付勢するばね２７とを備えている請求項９記載の磁気記
録媒体の表面検査装置。 - 【請求項１１】 ＣＣＤラインセンサーカメラ７のカメ
ラボディ１９に副調整枠２０が固定されており、 基枠１６と副調整枠２０との間に、カメラボディ１９を
レンズ中心軸の回りに回動調整する調整ボルト２８・２
８が設けてある請求項９又は１０記載の磁気記録媒体の
表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6171495A JPH08233560A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 磁気記録媒体の表面検査方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6171495A JPH08233560A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 磁気記録媒体の表面検査方法とその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233560A true JPH08233560A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=13179181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6171495A Withdrawn JPH08233560A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 磁気記録媒体の表面検査方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08233560A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG102678A1 (en) * | 2001-04-25 | 2004-03-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Master information carrier/magnetic recording medium defect inspection method |
| US6847438B2 (en) | 2002-10-03 | 2005-01-25 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Apparatus for inspecting surface strain of magnetic tape |
| JP2009535632A (ja) * | 2006-11-16 | 2009-10-01 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 基板の表面の検査用の測定装置および測定方法 |
| CN116908195A (zh) * | 2023-09-11 | 2023-10-20 | 宁德微图智能科技有限公司 | 一种自动破片检测设备 |
-
1995
- 1995-02-23 JP JP6171495A patent/JPH08233560A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG102678A1 (en) * | 2001-04-25 | 2004-03-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Master information carrier/magnetic recording medium defect inspection method |
| SG130019A1 (en) * | 2001-04-25 | 2007-03-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Master information carrier/ magnetic recording medium defect inspection method |
| US6847438B2 (en) | 2002-10-03 | 2005-01-25 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Apparatus for inspecting surface strain of magnetic tape |
| JP2009535632A (ja) * | 2006-11-16 | 2009-10-01 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 基板の表面の検査用の測定装置および測定方法 |
| JP4922396B2 (ja) * | 2006-11-16 | 2012-04-25 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 基板の表面の検査用の測定装置および測定方法 |
| CN116908195A (zh) * | 2023-09-11 | 2023-10-20 | 宁德微图智能科技有限公司 | 一种自动破片检测设备 |
| CN116908195B (zh) * | 2023-09-11 | 2023-12-19 | 宁德微图智能科技有限公司 | 一种自动破片检测设备 |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020507 |