JP2004104130A - 多重干渉ビームを使用するレチクル焦点測定システムおよびレチクル焦点測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レチクルのパターン面の位置データを干渉計測定ビームの第1のセットに基づいて測定するステップと、レチクルステージのスキャン中にレチクルステージのマップデータを干渉計測定ビームの第2のセットに基づいて測定するステップと、レチクルのパターン面上のパターンによってウェーハを露光する間にレチクルステージを前記位置データおよび前記マップデータに基づいて制御するステップとを有する方法。
【選択図】図2A
Description
Ry=(Z2−Z1)/L
別の実施形態では信号は、2つの関連するビーム(すなわちRSZ1およびRSZ2、またはRSZ3およびRSZ4)の強度、位相、距離等に基づいて干渉測定結果を表す。前記2つの関連するビームは比較され、比較から得られた信号は、レチクルステージ202またはレチクル204のパラメータ(たとえば位置、方向、傾斜等)に相応する。
Ry=(X2−X1)/L
図8には、ステージ202およびレチクル204の位置を測定するために使用される、本発明の実施形態によるリソグラフィツールの一部800が示されている。この実施形態でも、ここには示されていないが、ビームRSZ1〜RSZ5,RSY1〜RSY3およびRSX1が干渉計によって形成され、検出される。この干渉計もまた、上記の208または208' と同様であるか、または別の任意の干渉計である。この実施形態には、ステージ202および/またはレチクル204に対する6つのすべてのステージ202を検出するためのビームが示されている。ビームRSZ1およびRSZ2によって、レチクル204のZおよびRyが検出される。ビームRSZ1およびRSZ5によって、レチクルのRxが検出される。ビームRSZ3およびRSZ4によって、ステージ202のZおよびRyが検出される。ビームRSX1によってステージ202のXが検出される。ビームRSY1,RSY2および/またはRSY3によって、ステージ202のYが検出される。ビームRSY2およびRSY3によって、ステージ202のRzが検出される。ビームRSY1およびRSY3によって、ステージ202のRxが検出される。これらの検出は、上記の数式、上記の数式と同様の数式、または公知である別の任意の干渉計の数式に基づいて実行される。
本発明の種々の実施形態を上記で説明したが、これらの実施形態は例として挙げられたものであり、制限するものではないことを理解されたい。当業者であれば、本発明の精神および領域から逸脱することなく、構成および詳細を種々に変更できることを理解できるであろう。したがって、本発明の範囲は上記のどの実施例によっても制限されるべきではなく、請求項および同等のものにしたがってのみ定義されるべきである。
Claims (26)
- レチクルのパターン面の位置を、干渉計測定ビームの第1のセットに基づいて測定するステップと、
レチクルステージのマップデータを、該レチクルステージのスキャン中に干渉計測定ビームの第2のセットに基づいて測定するステップと、
レチクルのパターン面上のパターンによってウェーハを露光する間に、レチクルステージを前記位置データおよび前記マップデータに基づいて制御するステップとを有することを特徴とする方法。 - 前記位置データ測定ステップは、
ビームの第1のセットの第1のビームを、レチクル上のパターンの第1の側に隣接したポイントから反射させるステップと、
ビームの第1のセットの第2のビームを、レチクル上のパターンの第2の側に隣接したポイントから反射させるステップとを有する、請求項1記載の方法。 - 前記マップデータ測定ステップは、
ビームの第2のセットの第1のビームを、レチクルステージのX-Y面に対して平行な平面内のポイントから反射させるステップと、
ビームの第2のセットの第2のビームを、レチクルステージのX-Y面に対して平行な平面内のポイントから反射させるステップとを有する、請求項1記載の方法。 - マップデータ測定ステップは、
ビームの第2のセットの第1のビームを、レチクルステージのX-Y面に対して平行な平面内のポイントから反射させるステップと、
ビームの第2のセットの第2のビームを、レチクルステージのY-Z面に対して平行な平面内のポイントから反射させるステップとを有する、請求項1記載の方法。 - マップデータ測定ステップは、
ビームの第2のセットの第1のビームを、レチクルステージのX-Y面に対して平行な平面内のポイントから反射させるステップと、
ビームの第2のセットの第2のビームを、レチクルステージのX-Y面内に配向された平面内のポイントから反射させるステップとを有する、請求項1記載の方法。 - マップデータ測定ステップは、
ビームの第2のセットの第1のビームを、レチクルステージのX-Y面に対して平行な平面内のポイントから反射させるステップと、
ビームの第2のセットの第2のビームを、レチクルステージのY-Z面内に配向された平面内のポイントから反射させるステップとを有する、請求項1記載の方法。 - マップデータ測定ステップは、
ビームの第2のセットの第1のビームを、レチクルステージのX-Y面内に配向された平面内のポイントから反射させるステップと、
ビームの第2のセットの第2のビームを、レチクルステージのX-Y面に対して平行な平面内のポイントから反射させるステップとを有する、請求項1記載の方法。 - マップデータ測定ステップは、
ビームの第2のセットの第1のビームを、レチクルステージのX-Y面内に配向された平面内のポイントから反射させるステップと、
ビームの第2のセットの第2のビームを、レチクルステージのY-Z面に対して平行な平面内のポイントから反射させるステップとを有する、請求項1記載の方法。 - マップデータ測定ステップは、
ビームの第2のセットの第1のビームを、レチクルステージのX-Y面内に配向された平面内のポイントから反射させるステップと、
ビームの第2のセットの第2のビームを、レチクルステージのX-Y面内に配向された平面内のポイントから反射させるステップとを有する、請求項1記載の方法。 - マップデータ測定ステップは、
ビームの第2のセットの第1のビームを、レチクルステージのX-Y面内に配向された平面内のポイントから反射させるステップと、
ビームの第2のセットの第2のビームを、レチクルステージのY-Z面内に配向された平面内のポイントから反射させるステップとを有する、請求項1記載の方法。 - 位置データ測定ステップは、レチクルのパターン面のZ方向における自由度を検出するステップと、該レチクルのパターン面のRy回転に対する自由度を検出するステップとを有し、
Z方向はレチクルのパターン面に対して垂直であり、
Ry回転はレチクルステージのスキャン軸を中心としている、請求項1記載の方法。 - レチクル焦点面を位置データ測定ステップに基づいて検出するステップを有する、請求項1記載の方法。
- 前記レチクル焦点面を、測定されたレチクルステージの前記マップデータと相関付けるステップと、
レチクルのパターン面の位置を前記相関ステップに基づいて、ウェーハの露光中にトラッキングするステップとを有する、請求項12記載の方法。 - 所定のレチクル平面を位置データ測定ステップに基づいて検出するステップを有する、請求項1記載の方法。
- 前記所定のレチクル平面を、レチクルステージの前記測定されたマップデータと相関付けするステップと、
レチクルのパターン面の位置を前記相関ステップに基づいて、ウェーハの露光中にトラッキングするステップとを有する、請求項14記載の方法。 - 位置データ測定ステップは、較正の合間に1回実行される、請求項1記載の方法。
- 位置データ測定ステップは、周期的に較正の合間に実行される、請求項1記載の方法。
- 位置データ測定ステップは連続的に実行される、請求項1記載の方法。
- 第1の干渉計を使用して、レチクルステージ上に取り付けられたレチクルの平面を検出するステップと、
レチクルステージのスキャン中に、第2の干渉計を使用してレチクルステージの位置を検出するステップと、
前記平面をレチクルステージの位置と相関付けるステップと、
レチクルステージを露光プロセス中に前記相関ステップに基づいて制御するステップとを有することを特徴とする方法。 - レチクルを保持する可動のレチクルステージと、二重干渉計装置と、記憶装置とが設けられており、
前記レチクルはパターン面を有し、
前記二重干渉計装置は、干渉計ビームの第1のセットを投射して、前記レチクルのパターン面から前記第1のセットを検出し、干渉計ビームの第2のセットを投射して、前記レチクルステージから前記第2のセットを検出し、
前記記憶装置は、干渉計ビームの第1のセットによって測定されたレチクルの位置データと、干渉計ビームの第2のセットによって測定されたレチクルステージのマップデータとを記憶することを特徴とするシステム。 - コントローラが設けられており、
前記コントローラは、ウェーハ上にレチクルパターンが露光される間、記憶された前記マップデータおよび記憶された前記位置データに基づいてレチクルステージを制御する、請求項20記載のシステム。 - レチクルはレチクルステージに裏面取り付けされている、請求項20記載のシステム。
- レチクルはレチクルステージに片面取り付けされている、請求項20記載のシステム。
- レチクルはレチクルステージに前面取り付けされている、請求項20記載のシステム。
- 前記二重干渉計装置は、2つの干渉計部を備えた単一の構造を有する、請求項20記載のシステム。
- 二重干渉計装置は2つの干渉計を有する、請求項20記載のシステム。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2010521809A (ja) * | 2007-03-14 | 2010-06-24 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | デバイス製造方法、リソグラフィ装置およびコンピュータプログラム |
WO2011016254A1 (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-10 | 株式会社ニコン | 移動体装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
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AU2003252349A1 (en) * | 2002-07-31 | 2004-02-16 | Nikon Corporation | Position measuring method, position control method, exposure method and exposure apparatus, and device manufacturing method |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010521809A (ja) * | 2007-03-14 | 2010-06-24 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | デバイス製造方法、リソグラフィ装置およびコンピュータプログラム |
WO2011016254A1 (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-10 | 株式会社ニコン | 移動体装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
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