JP2004102291A - アクティブマトリクス回路及び電気光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 TFTのチャネル4をソース線12の下に設けることにより、光を遮る面積を低減する。また、このようにTFTのチャネル4上にソース線12が重ねられているために、TFTの上方から入射する光はソース線12で遮られて、TFTには達しないので、TFT特性が外光によって低下することが防止できる。
【選択図】 図5
Description
本発明によって、アクティブマトリクス回路の開口率を向上させることができ、よって、これを用いた電気光学装置の表示特性を向上させることができた。このように、本発明は工業上有益である。
本実施例では、図7に示すように、TFTのチャネルの方向(ソースからドレインへ向かう方向)はソース線と平行である。これは、図10に示される従来のTFTに比較して特徴的である。
2・・・・・島状シリコン領域
3、5・・・コンタクト形成用パッド
4・・・・・チャネル
6・・・・・ゲイト絶縁膜
7・・・・・ゲイト線
8・・・・・ソース
9・・・・・ドレイン
10・・・・・第1の層間絶縁物
11・・・・・コンタクトホール
12・・・・・ソース線
13・・・・・第2の層間絶縁物
14・・・・・画素電極
15・・・・・寄生容量
16、17・・チャネル
18・・・・・寄生容量
19・・・・・ゲイト線
20・・・・・ゲイト線の支線(ゲイト電極)
21・・・・・ソース線
22・・・・・画素電極
23・・・・・チャネル
24、25・・コンタクト
Claims (4)
- 薄膜トランジスタをスイッチング素子として有するアクティブマトリクス回路において、
各画素に設けられた1つのTFTのチャネル形成領域は、ソース線によって覆われていることを特徴とするアクティブマトリクス回路。 - 薄膜トランジスタをスイッチング素子として有するアクティブマトリクス回路において、
該薄膜トランジスタのチャネル形成領域は、ソース線によって覆われており、
該薄膜トランジスタのチャネル形成領域、ソース領域、ドレイン領域は、1か所が曲折した薄膜半導体膜に設けられ、
該薄膜半導体膜は、画素電極および該ソース線と接続され、
該薄膜半導体膜における該画素電極とのコンタクトと、該ソース線とのコンタクトとの間にゲート線が存在することを特徴とするアクティブマトリクス回路。 - 直列に接続された2つの薄膜トランジスタが各画素に設けられたアクティブマトリクス回路において、
該2つの薄膜トランジスタは、画素電極およびソース線とコンタクトを有する概略コの字もしくはU字型の薄膜半導体膜を有し、
該2つの薄膜トランジスタの一つは、ソース線に接続され、かつチャネル形成領域が該ソース線によって覆われており、
該薄膜半導体膜の2か所をゲート線が横断していることを特徴とするアクティブマトリクス回路。 - 薄膜トランジスタをスイッチング素子として有するアクティブマトリクス回路を用いた投影(プロジェクター)型電気光学装置において、
該アクティブマトリクス回路の各画素に設けられた1つの薄膜トランジスタのチャネル形成領域は、ソース線によって覆われていること、
及び該アクティブマトリクス回路を形成した基板の上方より投影用の光線が入射されることを特徴とする電気光学装置。
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