JP2004101404A - X線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】X線分析装置において、X線の焦点位置をX線の集光方向から目視観察すること。
【解決手段】X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成として、X線源1と、X線源1から発せられたX線を焦点に集光するX線集光光学手段2と、少なくとも光学観察時においてX線源1とX線集光光学手段2とを結ぶ光軸上に有する斜鏡手段3と、斜鏡手段3により形成される像点に接眼手段4cを配置した光学観察手段4を備える構成とし、X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成とすることによって、X線の焦点位置にある試料をX線の集光方向から目視観察する。
【選択図】 図1
【解決手段】X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成として、X線源1と、X線源1から発せられたX線を焦点に集光するX線集光光学手段2と、少なくとも光学観察時においてX線源1とX線集光光学手段2とを結ぶ光軸上に有する斜鏡手段3と、斜鏡手段3により形成される像点に接眼手段4cを配置した光学観察手段4を備える構成とし、X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成とすることによって、X線の焦点位置にある試料をX線の集光方向から目視観察する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面分析を行うX線分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
蛍光X線分析や光電子分光分析など、プローブとしてX線を試料に照射し、このX線照射により試料から得られ特性X線や二次電子、反射電子、光電子を検出することによって試料の表面分析を行うX線分析装置が知られている。
【0003】
このようなX線分析装置では、X線管球、放射光、レーザプラズマX線などのX線源から得られたX線を、単層膜や多層膜成膜を施した直入射鏡や斜入射鏡、あるいは湾曲分光結晶を用いて集光し、この集光点に試料を配置している。
【0004】
図4は、X線分析装置における従来のX線集光光学手段を説明するために概略図である。図4(a)は直入射鏡を用いたX線集光光学手段の一構成例である。
X線源1から発せられたX線は、シュワルツシルド直入射鏡等により構成されるX線集光光学手段102Aにより集光され、この集光点Pに分析試料Sを配置する(シュワルツシルド型ミラーを用いたX線集光装置としては、例えば、特許文献1参照)。
【0005】
また、図4(b)は斜入射鏡や湾曲分光結晶を用いたX線集光光学手段の一構成例である。X線源1から発せられたX線は、斜入射鏡や湾曲分光結晶等により構成されるX線集光光学手段102Bにより集光され、この集光点Pに分析試料Sを配置する。
【0006】
分析試料SはX線の集光により、例えば特性X線や二次電子、反射電子、光電子等を放出する。検出器105は、これら特性X線、二次電子、反射電子、光電子等を検出することにより試料の表面分析を行う。
【0007】
【特許文献1】
特開平11−211895号公報 (従来技術の項)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
X線集光光学手段において、高い分析精度を得るためには焦点位置に試料を配置されるように試料を位置決めする必要がある。この際、狭い焦点深度の範囲内に試料を位置決めしなければならない。特に、直入射鏡による集光光学手段では焦点深度が浅いため、焦点位置に試料を配置することが困難である。
【0009】
そのため、焦点位置に試料を位置決めするに、焦点位置付近の試料を観察する必要がある。また、上記の焦点位置に試料を位置決めする他に、試料上において分析点を設定するためにおいても、焦点位置付近の試料を目視で観察する必要がある。
【0010】
図4において、点Qに視野から焦点位置に配置された試料を目視で観察することが望まれる。このために、観察用の光学系を別途用意し視点Qの位置に配置する構成が考えられるが、この観察用光学系の視野とX線集光光学系視野とは別となるため、表面の凹凸が大きな試料などについては見る視野によって観察する角度が異なるため、X線の焦点位置を観察できないという問題が生じることになる。
【0011】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、X線の焦点位置をX線の集光方向から目視観察すること目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成とすることによって、X線の焦点位置にある試料をX線の集光方向から目視観察する。
【0013】
本発明のX線分析装置は、X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成として、X線源と、X線源から発せられたX線を焦点に集光するX線集光光学手段と、少なくとも光学観察時においてX線源とX線集光光学手段とを結ぶ光軸上に有する斜鏡手段と、斜鏡手段により形成される像点に接眼手段を配置した光学観察手段を備える構成とする。
【0014】
この構成によれば、X線はX線源とX線集光光学手段によるX線集光光学系によって焦点位置に集光する。一方、光学観察においては、X線の焦点位置に配置した試料の像を、X線源とX線集光光学手段とを結ぶ光軸上に配置した斜鏡手段によって像点に結び接眼手段で観察する。
【0015】
少なくとも光学観察時において、斜鏡手段をX線源とX線集光光学手段とを結ぶ光軸上に配置することで、X線集光光学系と光学観察系とは光学的に同軸上に配置され、X線の焦点位置にある試料をX線の集光方向から目視観察することができる。
【0016】
本発明のX線分析装置が備えるX線集光光学手段は、X線を集光する構成として、可視光を全反射するX線集光用成膜を施してなる直入射鏡又は斜入射鏡、あるいは可視光を表面で全反射する湾曲分光結晶の何れか一つとすることができる。
【0017】
また、本発明のX線分析装置が備える斜鏡手段の一態様は、可視光に対して反射性を有する斜鏡をX線集光光学系の光軸上に対して移動自在とする。この態様によれば、X線集光光学系の光軸上に斜鏡を配置することによって試料の像を光学観察系に方向付け、焦点位置の光学像を観察することができ、一方、X線集光光学系の光軸上から斜鏡を外すことによってX線源からのX線を焦点位置に集光することができる。
【0018】
本発明のX線分析装置が備える斜鏡手段の他の態様は、可視光を全反射しX線に対して透過性を有する薄膜をX線集光光学系の光軸上に固定配置する。この態様によれば、薄膜は焦点位置の光学像を全反射すると共に、X線を透過して焦点に集光させることができるため、X線を集光しながら同時に集光方向から目視観察が可能となる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。以下では、X線集光光学手段が直入射鏡又は斜入射鏡(あるいは湾曲分光結晶)の場合、及び、斜鏡手段が移動自在な鏡面体又は固定したX線透過薄膜の場合の各組み合わせによる実施の形態について説明する。
【0020】
図1はX線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が移動自在な斜鏡の場合の構成例を示し、図2はX線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が固定したX線透過薄膜の場合の構成例を示し、図3はX線集光光学手段が斜入射鏡(あるいは湾曲分光結晶)で斜鏡手段が移動自在な斜鏡と固定したX線透過薄膜の場合の各構成例を示している。
【0021】
はじめに、図1を用いて、X線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が移動自在な斜鏡の場合の構成例を説明する。
図1に示す構成例において、X線分析装置のX線集光光学系は、X線源1と直入射鏡よりなるX線集光光学手段2Aとを備える。X線集光光学手段2Aは、例えばシュワルツシルド直入射鏡により構成することができ、開口部を有する凹面鏡2aと凸面鏡2bとをX線源1と結ぶ光軸上に配置する。なお、直入射鏡には、X線集光用の成膜を施すことができる。
【0022】
一方、X線分析装置の光学観察系は、斜鏡3Aと光学観察手段4とを備える。斜鏡3Aは、可視光に対して反射性を有すると共に、X線集光光学系の光軸上に対して図示しない移動機構によって移動自在とする。また、光学観察手段4はX線の集光位置に配置された試料Sを照明する照明手段4aと、照明手段4aで照明された試料Sの像を接眼手段4cと、照明手段4aからの照明光と接眼手段4cが観察する像とを分離するハーフミラー4bを備える。照明手段4aと接眼手段4cの配置位置は、X線集光光学系の光軸上の斜鏡3Aを介した像点上とする。
【0023】
図1(a)は光学観察時を示している。X線の集光位置に配置された試料Sを光学的に観察する場合には、照明手段4aの照明光をハーフミラー4bにより斜鏡3A側に曲げた後、斜鏡3AによってX線集光光学系の光軸上を進ませ、X線集光光学手段2AによりX線の集光位置に集光させる。このとき、X線の集光位置に試料Sを配置することにより、試料Sの表面は照明される。
【0024】
照明された試料Sの光学像は、再びX線集光光学手段2Aを通ってX線集光光学系の光軸上を進み、斜鏡3Aによって光学観察手段4側に曲げられ、ハーフミラー4bを透過して接眼手段4cに結像する。この像を観察することで、試料Sの光学観察を行うことができる。
【0025】
試料Sの光学像を観察することにより、試料Sの分析位置の設定や、集光位置への位置合わせを、X線の集光方向からの視野で行うことができる。
一方、図1(b)はX線集光時を示している。集光位置にX線を集光する場合には、斜鏡3Aを移動させてX線集光光学系の光軸上から外す。これによって、X線源1から発したX線は斜鏡3Aに妨げられることなく、X線集光光学系の光軸上の凸面鏡2bと凹面鏡2aで反射した後、集光位置Pに集光する。
【0026】
この集光位置Pに試料Sが配置された場合には、X線集光光学手段2AによるX線集光によって試料Sから例えば特性X線、反射電子、二次電子、光電子等が放出される。これら放出されたX線や電子は、それぞれ対応する検出器5により検出することができる。
【0027】
次に、図2を用いて、X線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が固定したX線透過薄膜の場合の構成例を説明する。
【0028】
図2に示す構成例において、X線分析装置のX線集光光学系は、前記図1で示した構成と同様とすることができる。
【0029】
一方、X線分析装置の光学観察系は、X線透過薄膜製斜鏡3Bと光学観察手段4とを備える。X線透過薄膜製斜鏡3Bは、可視光を全反射しX線に対して透過性を有する薄膜とし、X線集光光学系の光軸上に固定配置する。この薄膜は波長3nmのX線に対するチタン薄膜とすることができ、可視光に対しては全反射し、X線に対しては、膜の通過によって試料Sに対する集光X線の強度減衰が十分に無視できる透過率とすることができる。X線透過薄膜製斜鏡3Bは、可視光に対しては全反射しX線に対しては透過性を有しているため、X線集光光学系の光軸上に固定配置した状態で、光学観察のための可視光の光路と、X線集光のためのX線の光路とを同一の光軸上に形成することができる。
【0030】
また、光学観察手段4は、図1で示した構成例と同様に、照明手段4aと接眼手段4cとハーフミラー4bとを備える。照明手段4aと接眼手段4cの配置位置は、X線集光光学系の光軸上のX線透過薄膜製斜鏡3Bを介した像点上とする。
【0031】
図2(a)は光学観察時を示している。X線の集光位置に配置された試料Sを光学的に観察する場合には、照明手段4aの照明光をハーフミラー4bによりX線透過薄膜製斜鏡3B側に曲げた後、X線透過薄膜製斜鏡3Bによって全反射させてX線集光光学系の光軸上を進ませ、X線集光光学手段2AによりX線の集光位置に集光させる。このとき、X線の集光位置に試料Sを配置することにより、試料Sの表面は照明される。
【0032】
照明された試料Sの光学像は、再びX線集光光学手段2Aを通ってX線集光光学系の光軸上を進み、X線透過薄膜製斜鏡3Bによって光学観察手段4側に曲げられ、ハーフミラー4bを透過して接眼手段4cに結像する。この像を観察することで試料Sの光学観察を行うことができ、試料Sの分析位置の設定や集光位置への位置合わせをX線の集光方向から行うことができる。
【0033】
一方、図2(b)はX線集光時を示している。集光位置にX線を集光する場合には、X線源1から発したX線はX線透過薄膜製斜鏡3Bを透過する。透過したX線は、X線集光光学系の光軸上の凸面鏡2bと凹面鏡2aで反射した後、集光位置Pに集光する。この集光位置Pに試料Sが配置された場合には、前記図1の構成例と同様に、検出器5によって検出することができる。
【0034】
次に、図3を用いて、X線集光光学手段が斜入射鏡あるいは湾曲分光結晶の場合の構成例を説明する。なお、図3(a)は斜鏡手段が移動自在な斜鏡の場合の構成例を示し、図3(b)は斜鏡手段が固定したX線透過薄膜の構成例を示している。
【0035】
図3(a),(b)に示す構成例において、X線分析装置のX線集光光学系は、X線源1と、X線集光光学手段2Bとを備える。X線集光光学手段2Bは、例えば斜入射鏡や湾曲分光結晶により構成することができ、X線源1からのX線を集光位置Pに集光する。なお、斜入射鏡にはX線集光用の成膜を施すことができ、また、湾曲分光結晶は目的とするX線を分光する分光結晶材を用いる。
【0036】
一方、X線分析装置の光学観察系は、前記図1,2で示した構成と同様とすることができ、斜鏡3Aと光学観察手段4とを備え、斜鏡3AをX線集光光学系の光軸上に対して移動自在とした構成(図3(a))、あるいはX線透過薄膜製斜鏡3Bと光学観察手段4とを備え、X線透過薄膜製斜鏡3Bを光軸上に対して固定した構成た(図3(b))とすることができる。
【0037】
図3(a)において、光学観察時には、斜鏡3AをX線集光光学系の光軸上に移動させた状態とし、照明手段4aの照明光をハーフミラー4bにより斜鏡3A側に曲げた後、斜鏡3Aによって全反射させてX線集光光学系の光軸上を進ませ、X線集光光学手段2BによりX線の集光位置に集光させる。このとき、X線の集光位置に試料Sを配置することにより、試料Sの表面は照明される。試料Sの光学像は、再びX線集光光学手段2Bを通ってX線集光光学系の光軸上を進み、斜鏡3Aによって光学観察手段4側に曲げられ、ハーフミラー4bを透過して接眼手段4cに結像する。この像を観察することで試料Sの光学観察を行うことができ、試料Sの分析位置の設定や集光位置への位置合わせをX線の集光方向から行うことができる。
【0038】
一方、X線集光時には、斜鏡3AをX線集光光学系の光軸上から外した状態とし、X線源1から発したX線をX線集光光学手段2Bにより集光位置Pに集光させる。この集光位置Pに試料Sが配置された場合には、前記各構成例と同様に、検出器5によって検出することができる。
【0039】
図3(b)において、光学観察時には、照明手段4aの照明光をハーフミラー4bによりX線透過薄膜製斜鏡3B側に曲げた後、X線透過薄膜製斜鏡3Bによって全反射させてX線集光光学系の光軸上を進ませ、X線集光光学手段2BによりX線の集光位置に集光させる。このとき、X線の集光位置に試料Sを配置することにより、試料Sの表面は照明される。試料Sの光学像は、再びX線集光光学手段2Bを通ってX線集光光学系の光軸上を進み、X線透過薄膜製斜鏡3Bによって光学観察手段4側に曲げられ、ハーフミラー4bを透過して接眼手段4cに結像する。この像を観察することで試料Sの光学観察を行うことができ、試料Sの分析位置の設定や集光位置への位置合わせをX線の集光方向から行うことができる。
【0040】
一方、X線集光時には、X線源1から発したX線をX線透過薄膜製斜鏡3Bと透過させた後、X線集光光学手段2Bにより集光位置Pに集光させる。この集光位置Pに試料Sが配置された場合には、前記各構成例と同様に、検出器5によって検出することができる。
【0041】
また、本発明の態様によれば、X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成とすることによって、X線の焦点位置をX線の集光方向から目視観察が可能となり、試料の焦点合わせや分析位置の設定が容易となる。
【0042】
また、本発明の態様によれば、X線を透過する薄膜製の斜鏡を光路上に固定することによって、X線を集光しながら、同時に集光方向からの目視観察が可能となす。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のX線分析装置によれば、X線の焦点位置をX線の集光方向から目視観察することができる。
【0044】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のX線分析装置において、X線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が移動自在な斜鏡の場合の構成例を示す図である。
【図2】本発明のX線分析装置において、X線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が固定したX線透過薄膜の場合の構成例を示す図である。
【図3】本発明のX線分析装置において、X線集光光学手段が斜入射鏡(あるいは湾曲分光結晶)で、斜鏡手段が移動自在な斜鏡と固定したX線透過薄膜の場合の構成例を示す図である。
【図4】X線分析装置における従来のX線集光光学手段を説明するために概略図である。
【符号の説明】
1…X線源、2A,2B…X線集光光学手段、2a…凹面鏡、2b…凸面鏡、3A…斜鏡、3B…X線透過薄膜製斜鏡、4…光学観察手段、4a…照明手段、4b…ハーフミラー、4c…接眼手段、5…検出器、P…集光位置、S…試料。
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面分析を行うX線分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
蛍光X線分析や光電子分光分析など、プローブとしてX線を試料に照射し、このX線照射により試料から得られ特性X線や二次電子、反射電子、光電子を検出することによって試料の表面分析を行うX線分析装置が知られている。
【0003】
このようなX線分析装置では、X線管球、放射光、レーザプラズマX線などのX線源から得られたX線を、単層膜や多層膜成膜を施した直入射鏡や斜入射鏡、あるいは湾曲分光結晶を用いて集光し、この集光点に試料を配置している。
【0004】
図4は、X線分析装置における従来のX線集光光学手段を説明するために概略図である。図4(a)は直入射鏡を用いたX線集光光学手段の一構成例である。
X線源1から発せられたX線は、シュワルツシルド直入射鏡等により構成されるX線集光光学手段102Aにより集光され、この集光点Pに分析試料Sを配置する(シュワルツシルド型ミラーを用いたX線集光装置としては、例えば、特許文献1参照)。
【0005】
また、図4(b)は斜入射鏡や湾曲分光結晶を用いたX線集光光学手段の一構成例である。X線源1から発せられたX線は、斜入射鏡や湾曲分光結晶等により構成されるX線集光光学手段102Bにより集光され、この集光点Pに分析試料Sを配置する。
【0006】
分析試料SはX線の集光により、例えば特性X線や二次電子、反射電子、光電子等を放出する。検出器105は、これら特性X線、二次電子、反射電子、光電子等を検出することにより試料の表面分析を行う。
【0007】
【特許文献1】
特開平11−211895号公報 (従来技術の項)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
X線集光光学手段において、高い分析精度を得るためには焦点位置に試料を配置されるように試料を位置決めする必要がある。この際、狭い焦点深度の範囲内に試料を位置決めしなければならない。特に、直入射鏡による集光光学手段では焦点深度が浅いため、焦点位置に試料を配置することが困難である。
【0009】
そのため、焦点位置に試料を位置決めするに、焦点位置付近の試料を観察する必要がある。また、上記の焦点位置に試料を位置決めする他に、試料上において分析点を設定するためにおいても、焦点位置付近の試料を目視で観察する必要がある。
【0010】
図4において、点Qに視野から焦点位置に配置された試料を目視で観察することが望まれる。このために、観察用の光学系を別途用意し視点Qの位置に配置する構成が考えられるが、この観察用光学系の視野とX線集光光学系視野とは別となるため、表面の凹凸が大きな試料などについては見る視野によって観察する角度が異なるため、X線の焦点位置を観察できないという問題が生じることになる。
【0011】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、X線の焦点位置をX線の集光方向から目視観察すること目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成とすることによって、X線の焦点位置にある試料をX線の集光方向から目視観察する。
【0013】
本発明のX線分析装置は、X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成として、X線源と、X線源から発せられたX線を焦点に集光するX線集光光学手段と、少なくとも光学観察時においてX線源とX線集光光学手段とを結ぶ光軸上に有する斜鏡手段と、斜鏡手段により形成される像点に接眼手段を配置した光学観察手段を備える構成とする。
【0014】
この構成によれば、X線はX線源とX線集光光学手段によるX線集光光学系によって焦点位置に集光する。一方、光学観察においては、X線の焦点位置に配置した試料の像を、X線源とX線集光光学手段とを結ぶ光軸上に配置した斜鏡手段によって像点に結び接眼手段で観察する。
【0015】
少なくとも光学観察時において、斜鏡手段をX線源とX線集光光学手段とを結ぶ光軸上に配置することで、X線集光光学系と光学観察系とは光学的に同軸上に配置され、X線の焦点位置にある試料をX線の集光方向から目視観察することができる。
【0016】
本発明のX線分析装置が備えるX線集光光学手段は、X線を集光する構成として、可視光を全反射するX線集光用成膜を施してなる直入射鏡又は斜入射鏡、あるいは可視光を表面で全反射する湾曲分光結晶の何れか一つとすることができる。
【0017】
また、本発明のX線分析装置が備える斜鏡手段の一態様は、可視光に対して反射性を有する斜鏡をX線集光光学系の光軸上に対して移動自在とする。この態様によれば、X線集光光学系の光軸上に斜鏡を配置することによって試料の像を光学観察系に方向付け、焦点位置の光学像を観察することができ、一方、X線集光光学系の光軸上から斜鏡を外すことによってX線源からのX線を焦点位置に集光することができる。
【0018】
本発明のX線分析装置が備える斜鏡手段の他の態様は、可視光を全反射しX線に対して透過性を有する薄膜をX線集光光学系の光軸上に固定配置する。この態様によれば、薄膜は焦点位置の光学像を全反射すると共に、X線を透過して焦点に集光させることができるため、X線を集光しながら同時に集光方向から目視観察が可能となる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。以下では、X線集光光学手段が直入射鏡又は斜入射鏡(あるいは湾曲分光結晶)の場合、及び、斜鏡手段が移動自在な鏡面体又は固定したX線透過薄膜の場合の各組み合わせによる実施の形態について説明する。
【0020】
図1はX線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が移動自在な斜鏡の場合の構成例を示し、図2はX線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が固定したX線透過薄膜の場合の構成例を示し、図3はX線集光光学手段が斜入射鏡(あるいは湾曲分光結晶)で斜鏡手段が移動自在な斜鏡と固定したX線透過薄膜の場合の各構成例を示している。
【0021】
はじめに、図1を用いて、X線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が移動自在な斜鏡の場合の構成例を説明する。
図1に示す構成例において、X線分析装置のX線集光光学系は、X線源1と直入射鏡よりなるX線集光光学手段2Aとを備える。X線集光光学手段2Aは、例えばシュワルツシルド直入射鏡により構成することができ、開口部を有する凹面鏡2aと凸面鏡2bとをX線源1と結ぶ光軸上に配置する。なお、直入射鏡には、X線集光用の成膜を施すことができる。
【0022】
一方、X線分析装置の光学観察系は、斜鏡3Aと光学観察手段4とを備える。斜鏡3Aは、可視光に対して反射性を有すると共に、X線集光光学系の光軸上に対して図示しない移動機構によって移動自在とする。また、光学観察手段4はX線の集光位置に配置された試料Sを照明する照明手段4aと、照明手段4aで照明された試料Sの像を接眼手段4cと、照明手段4aからの照明光と接眼手段4cが観察する像とを分離するハーフミラー4bを備える。照明手段4aと接眼手段4cの配置位置は、X線集光光学系の光軸上の斜鏡3Aを介した像点上とする。
【0023】
図1(a)は光学観察時を示している。X線の集光位置に配置された試料Sを光学的に観察する場合には、照明手段4aの照明光をハーフミラー4bにより斜鏡3A側に曲げた後、斜鏡3AによってX線集光光学系の光軸上を進ませ、X線集光光学手段2AによりX線の集光位置に集光させる。このとき、X線の集光位置に試料Sを配置することにより、試料Sの表面は照明される。
【0024】
照明された試料Sの光学像は、再びX線集光光学手段2Aを通ってX線集光光学系の光軸上を進み、斜鏡3Aによって光学観察手段4側に曲げられ、ハーフミラー4bを透過して接眼手段4cに結像する。この像を観察することで、試料Sの光学観察を行うことができる。
【0025】
試料Sの光学像を観察することにより、試料Sの分析位置の設定や、集光位置への位置合わせを、X線の集光方向からの視野で行うことができる。
一方、図1(b)はX線集光時を示している。集光位置にX線を集光する場合には、斜鏡3Aを移動させてX線集光光学系の光軸上から外す。これによって、X線源1から発したX線は斜鏡3Aに妨げられることなく、X線集光光学系の光軸上の凸面鏡2bと凹面鏡2aで反射した後、集光位置Pに集光する。
【0026】
この集光位置Pに試料Sが配置された場合には、X線集光光学手段2AによるX線集光によって試料Sから例えば特性X線、反射電子、二次電子、光電子等が放出される。これら放出されたX線や電子は、それぞれ対応する検出器5により検出することができる。
【0027】
次に、図2を用いて、X線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が固定したX線透過薄膜の場合の構成例を説明する。
【0028】
図2に示す構成例において、X線分析装置のX線集光光学系は、前記図1で示した構成と同様とすることができる。
【0029】
一方、X線分析装置の光学観察系は、X線透過薄膜製斜鏡3Bと光学観察手段4とを備える。X線透過薄膜製斜鏡3Bは、可視光を全反射しX線に対して透過性を有する薄膜とし、X線集光光学系の光軸上に固定配置する。この薄膜は波長3nmのX線に対するチタン薄膜とすることができ、可視光に対しては全反射し、X線に対しては、膜の通過によって試料Sに対する集光X線の強度減衰が十分に無視できる透過率とすることができる。X線透過薄膜製斜鏡3Bは、可視光に対しては全反射しX線に対しては透過性を有しているため、X線集光光学系の光軸上に固定配置した状態で、光学観察のための可視光の光路と、X線集光のためのX線の光路とを同一の光軸上に形成することができる。
【0030】
また、光学観察手段4は、図1で示した構成例と同様に、照明手段4aと接眼手段4cとハーフミラー4bとを備える。照明手段4aと接眼手段4cの配置位置は、X線集光光学系の光軸上のX線透過薄膜製斜鏡3Bを介した像点上とする。
【0031】
図2(a)は光学観察時を示している。X線の集光位置に配置された試料Sを光学的に観察する場合には、照明手段4aの照明光をハーフミラー4bによりX線透過薄膜製斜鏡3B側に曲げた後、X線透過薄膜製斜鏡3Bによって全反射させてX線集光光学系の光軸上を進ませ、X線集光光学手段2AによりX線の集光位置に集光させる。このとき、X線の集光位置に試料Sを配置することにより、試料Sの表面は照明される。
【0032】
照明された試料Sの光学像は、再びX線集光光学手段2Aを通ってX線集光光学系の光軸上を進み、X線透過薄膜製斜鏡3Bによって光学観察手段4側に曲げられ、ハーフミラー4bを透過して接眼手段4cに結像する。この像を観察することで試料Sの光学観察を行うことができ、試料Sの分析位置の設定や集光位置への位置合わせをX線の集光方向から行うことができる。
【0033】
一方、図2(b)はX線集光時を示している。集光位置にX線を集光する場合には、X線源1から発したX線はX線透過薄膜製斜鏡3Bを透過する。透過したX線は、X線集光光学系の光軸上の凸面鏡2bと凹面鏡2aで反射した後、集光位置Pに集光する。この集光位置Pに試料Sが配置された場合には、前記図1の構成例と同様に、検出器5によって検出することができる。
【0034】
次に、図3を用いて、X線集光光学手段が斜入射鏡あるいは湾曲分光結晶の場合の構成例を説明する。なお、図3(a)は斜鏡手段が移動自在な斜鏡の場合の構成例を示し、図3(b)は斜鏡手段が固定したX線透過薄膜の構成例を示している。
【0035】
図3(a),(b)に示す構成例において、X線分析装置のX線集光光学系は、X線源1と、X線集光光学手段2Bとを備える。X線集光光学手段2Bは、例えば斜入射鏡や湾曲分光結晶により構成することができ、X線源1からのX線を集光位置Pに集光する。なお、斜入射鏡にはX線集光用の成膜を施すことができ、また、湾曲分光結晶は目的とするX線を分光する分光結晶材を用いる。
【0036】
一方、X線分析装置の光学観察系は、前記図1,2で示した構成と同様とすることができ、斜鏡3Aと光学観察手段4とを備え、斜鏡3AをX線集光光学系の光軸上に対して移動自在とした構成(図3(a))、あるいはX線透過薄膜製斜鏡3Bと光学観察手段4とを備え、X線透過薄膜製斜鏡3Bを光軸上に対して固定した構成た(図3(b))とすることができる。
【0037】
図3(a)において、光学観察時には、斜鏡3AをX線集光光学系の光軸上に移動させた状態とし、照明手段4aの照明光をハーフミラー4bにより斜鏡3A側に曲げた後、斜鏡3Aによって全反射させてX線集光光学系の光軸上を進ませ、X線集光光学手段2BによりX線の集光位置に集光させる。このとき、X線の集光位置に試料Sを配置することにより、試料Sの表面は照明される。試料Sの光学像は、再びX線集光光学手段2Bを通ってX線集光光学系の光軸上を進み、斜鏡3Aによって光学観察手段4側に曲げられ、ハーフミラー4bを透過して接眼手段4cに結像する。この像を観察することで試料Sの光学観察を行うことができ、試料Sの分析位置の設定や集光位置への位置合わせをX線の集光方向から行うことができる。
【0038】
一方、X線集光時には、斜鏡3AをX線集光光学系の光軸上から外した状態とし、X線源1から発したX線をX線集光光学手段2Bにより集光位置Pに集光させる。この集光位置Pに試料Sが配置された場合には、前記各構成例と同様に、検出器5によって検出することができる。
【0039】
図3(b)において、光学観察時には、照明手段4aの照明光をハーフミラー4bによりX線透過薄膜製斜鏡3B側に曲げた後、X線透過薄膜製斜鏡3Bによって全反射させてX線集光光学系の光軸上を進ませ、X線集光光学手段2BによりX線の集光位置に集光させる。このとき、X線の集光位置に試料Sを配置することにより、試料Sの表面は照明される。試料Sの光学像は、再びX線集光光学手段2Bを通ってX線集光光学系の光軸上を進み、X線透過薄膜製斜鏡3Bによって光学観察手段4側に曲げられ、ハーフミラー4bを透過して接眼手段4cに結像する。この像を観察することで試料Sの光学観察を行うことができ、試料Sの分析位置の設定や集光位置への位置合わせをX線の集光方向から行うことができる。
【0040】
一方、X線集光時には、X線源1から発したX線をX線透過薄膜製斜鏡3Bと透過させた後、X線集光光学手段2Bにより集光位置Pに集光させる。この集光位置Pに試料Sが配置された場合には、前記各構成例と同様に、検出器5によって検出することができる。
【0041】
また、本発明の態様によれば、X線集光光学系と光学観察系とを光学的同軸上に配置する構成とすることによって、X線の焦点位置をX線の集光方向から目視観察が可能となり、試料の焦点合わせや分析位置の設定が容易となる。
【0042】
また、本発明の態様によれば、X線を透過する薄膜製の斜鏡を光路上に固定することによって、X線を集光しながら、同時に集光方向からの目視観察が可能となす。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のX線分析装置によれば、X線の焦点位置をX線の集光方向から目視観察することができる。
【0044】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のX線分析装置において、X線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が移動自在な斜鏡の場合の構成例を示す図である。
【図2】本発明のX線分析装置において、X線集光光学手段が直入射鏡で斜鏡手段が固定したX線透過薄膜の場合の構成例を示す図である。
【図3】本発明のX線分析装置において、X線集光光学手段が斜入射鏡(あるいは湾曲分光結晶)で、斜鏡手段が移動自在な斜鏡と固定したX線透過薄膜の場合の構成例を示す図である。
【図4】X線分析装置における従来のX線集光光学手段を説明するために概略図である。
【符号の説明】
1…X線源、2A,2B…X線集光光学手段、2a…凹面鏡、2b…凸面鏡、3A…斜鏡、3B…X線透過薄膜製斜鏡、4…光学観察手段、4a…照明手段、4b…ハーフミラー、4c…接眼手段、5…検出器、P…集光位置、S…試料。
Claims (4)
- X線源と、
前記X線源から発せられたX線を焦点に集光するX線集光光学手段と、
少なくとも光学観察時において前記X線源と前記X線集光光学手段とを結ぶ光軸上に有する斜鏡手段と、
前記斜鏡手段により形成される像点に接眼手段を配置した光学観察手段を備えることを特徴とするX線分析装置。 - 前記X線集光光学手段は、可視光を全反射するX線集光用成膜を施してなる直入射鏡又は斜入射鏡、あるいは可視光を表面で全反射する湾曲分光結晶の何れか一つを含むことを特徴とする、請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記斜鏡手段は、可視光に対して反射性を有する斜鏡を前記光軸上に対して移動自在に配置することを特徴とする、請求項1又は2に記載のX線分析装置。
- 前記斜鏡手段は、可視光を全反射しX線に対して透過性を有する薄膜を前記光軸上に固定配置することを特徴とする、請求項1又は2に記載のX線分析装置。
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JP2002265128A JP2004101404A (ja) | 2002-09-11 | 2002-09-11 | X線分析装置 |
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Cited By (2)
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JP2009541977A (ja) * | 2006-06-21 | 2009-11-26 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 光学装置 |
JP2011149893A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-04 | Rigaku Corp | 微小部x線計測装置 |
-
2002
- 2002-09-11 JP JP2002265128A patent/JP2004101404A/ja active Pending
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