JP2004098215A - ガラス板の研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水平回転する研磨盤を複数台並設し、その上方部で水平方向に延設する軌道支持体の両側面に搬送レールと走行レールとを添着し、該走行レールに沿って走行自在な複数台の台車の夫々にガラス板を係着し懸吊する上下動自在なプレッシャプレートを設けた上部定盤と、前記搬送レールに沿って往復動自在、かつ前記台車と連結着脱自在な連結手段を装着した搬送キャリヤとを複数台設け、前記上部定盤を研磨盤に押圧かつ前記走行レールに沿って往復動せしめる水平往復動手段を前記上部定盤の各々の上部に配設した。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板の表面を平坦化させる研磨装置に関し、詳細には連続的に搬入されるガラス板を順次研磨する連続研磨装置に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
ガラス板や基板の表面を研磨する場合には、直線的に往復動、および首振り自在な上部定盤の下面、あるいは回転運動する下部定盤の上面のいずれかの側の面にガラス板をセットし、上部定盤と下部定盤間で、ガラス板の片面、あるいは両面の研磨を行う技術が知られている。
【0003】
例えば、ガラス板の表面を連続的に研磨させる先行技術として、ガラス板を一方向に移送するための研磨テーブルと、該研磨テーブルの上方にガラス板の移送方向に沿って配置された複数個の研磨具とを有し、各研磨具は偏心軸によって前記ガラス板に対し偏心回転運動を行い、かつ隣り合う研磨具の回転位相が反転するように設置されたガラス板の連続研磨装置がある。(特許文献1)
さらに、ガラス板等の板状体の表面が同一平面内を移動するように、板状体を移動し、複数のロール状研磨パッドを、その軸線が板状体の表面に対して平行に、かつ、板状体の移動方向に対して略直交する方向に配設し、隣接するロール状研磨パッドを互いに逆方向に回転させると共に板状体に押し付けて板状体の表面を研磨することを特徴とする板状体の研磨方法、および、研磨具としてロール状研磨パッドを用いた板状体の研磨装置がある。(特許文献2)
【0004】
【特許文献1】特開平2−83150号公報
【特許文献2】特開平2−256454号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前記特開平2−83150号公報、および特開平2−256454号公報記載の発明は、いずれもガラス板を連続的に研磨するものであるが、前者においては、水を吸着させた研磨布によって研磨テーブル上に載置したガラス板を固定する方法であるため、研磨圧によりテーブル上で位置ずれを起こし、複数枚配列した他のガラス板に衝接することが懸念され、また隣接ガラス板との隙間によっては複数の研磨具が乗り継ぎ時に互いに衝接を起こし易く、ガラス板の端縁部に欠け、割れを生ずる恐れがあるという問題点を有していた。
【0006】
また、後者に記載のものは、ロール状研磨パッドを使用しているため、該パッドと板状体との接触面積が過少となり、研磨効率が低いという問題点を有していた。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、かかる問題点に鑑みて、シンプルな構成にして、連続的に搬入されるガラス板を効率良く研磨でき、また、安定した仕上がり品質も確保でき、ガラス板の着脱も安全確実に行え、ガラス板の搬送と共に連続研磨することを目的とするものである。
【0008】
すなわち、本発明は、水平回転する研磨盤を複数台並設し、その上方部で水平方向に延設する軌道支持体の両側面に搬送レールと走行レールとを添着し、該走行レールに沿って走行自在な複数台の台車の夫々にガラス板を係着し懸吊する上下動自在なプレッシャプレートを設けた上部定盤と、前記搬送レールに沿って往復動自在、かつ前記台車と連結着脱自在な連結手段を装着した搬送キャリヤとを複数台設け、前記上部定盤を研磨盤に押圧かつ前記走行レールに沿って往復動せしめる水平往復動手段を前記上部定盤の各々の上部に配設したことを特徴とするガラス板の研磨装置である。
【0009】
あるいはまた、本発明は、前記軌道支持体と前記走行レールおよび前記搬送レールの端部の延長線上の空間部分、または途中を切断した時の前記軌道支持体を延長した空間部分に、前記軌道支持体、前記走行レールおよび搬送レールの端部または切断部に当接する可動支持体および可動支持体に添着した走行レールを設け、該可動支持体に添着した走行レールの反対側より離れて立設する支柱上で前記可動支持体と直交するアームを軸支し、該アームの回動させて可動支持体に縣吊された上部定盤を回動せしめる傾動手段を設けたことを特徴とする上述のガラス板の研磨装置である。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明は、並設した複数台の研磨盤の上方部に、走行移動自在な複数台の上部定盤を設け、移動研磨を連続的に行うことにより研磨効率を高め、並設した複数台の研磨盤による同一条件の研磨により研磨された製品の研磨品質が一定となり、また、傾動手段により上部定盤に係着するガラス板の着脱作業を容易に、かつ安全に行うことができるものである。
【0011】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【0012】
図1は上部定盤の作動を説明する一部を切欠省略した斜視図を示し、図2は傾動する可動支持体の断面側から見た側面図を示し、図3は本装置の全体組立正面図を示す。
【0013】
図3に示したように、機台1の枠内に着座する回転駆動部2上に水平回転自在な研磨盤3を設けた研磨台4を直列に複数台配列し、該複数台の研磨台4、4、・・上に門形形状で立設する複数本のフレーム5、5、・・の夫々から張り出したブラケット6上に、断面四角形状の長尺の軌道支持体9を水平方向に固着支持し、該軌道支持体を前記フレーム5、5、・・間に延設した。
【0014】
また、図1に示すように、該軌道支持体9の片側の側面には、上下位置に2本の走行レール7、7を平行に設け、走行レールを設けた側面とは反対側の軌道支持体の側面に搬送レール8を固着した。
【0015】
上下位置に平行に設けた2本の前記走行レール7、7には、従来公知の台車10を走行レール7、7に沿って走行自在に装着させるが、該台車10は、前記走行レール7、7を複数の車輪で挟持し、軌道支持体9の側面と平行面となるように垂下させ装着させたものである。
【0016】
該台車10の上端には連結手段の連結受器11を固着し、垂下する台車10面の上下位置には突出する軸受部12、12’を固設し、該軸受部12、12’は貫通する軸部13を軸支するが、該軸部13に固定した固定板14を軸部13の両脇に設けた圧縮バネ15、15で支持されている。
【0017】
また、該軸部13の下方軸端に上部定盤18を固設し、該上部定盤18の下面には図示しないフエルト、または多孔質ウレタン樹脂等からなるシート状の発泡体(バックパッド)を両面粘着テープ等によって貼着し、該発泡体を濡らした水の表面張力等によって被研磨のガラス板16を吸着するプレッシャプレート17を設けた。
【0018】
前記上部定盤18は、前記軸部13を上部からの押圧力で圧縮バネを圧縮させて下降させるが、押圧力を解除した時には、圧縮バネ15、15の復元力により固定板14が上部側の軸受部12に押し付けられた状態で停止し、上下動自在に保持している。
【0019】
さらに、前記台車10に懸吊の上部定盤18は水平方向に延設する走行レール7、7に沿って微動の往復動、あるいは複数の研磨台4、4、・・上を走行レール7に沿って走行通過させることができる。
【0020】
一方、搬送レール8には正逆回転自在な搬送モーター19を着座し、上面に連結手段の連結シリンダー20を固着し複数の車輪で自走する搬送キャリヤ21を装着した。
【0021】
該連結シリンダー20は、そのロッドを台車10に設けた前記連結受器11に設けた孔に挿入し、該台車10と搬送キャリヤ21とを連結させると、該搬送キャリヤ21は台車10の駆動源となり、搬送モーター19によって駆動される搬送キャリャ21によって下方に配置した研磨盤3、3間のピッチに相当する長さだけ、台車10を前進させることができる。
【0022】
連結シリンダー20のロッドを後退させて連結受器11より連結シリンダー20を切離した後、搬送モーター19を逆転させると、搬送キャリヤ21のみが自走後退して元の位置、すなわち原点位置まで復動させることができる。
【0023】
上部定盤18の軸部13の上方位置には前記軌道支持体9と平行にかつ略同一長さにわたって断面口字状の鋼製のビーム22を水平方向に延設し、該ビーム22は下方に配列する複数の研磨台4のピッチに合わせて水平往復動手段23を配設している。
【0024】
該水平往復動手段23の構成は、ビーム22の側面にラック24を設け、さらにビーム23の底面に一対の直動レール25、25を互いに離間して平行状態に設け、該直動レール25、25に遊嵌入し、直動レール25、25に沿って移動自在なガイド27、27を固着した水平往復動プレート26の下面には前記上部定盤18の軸部13の頂部を押圧する押圧シリンダー28を懸吊状に設けている。
【0025】
通常、前記押圧シリンダー28のシリンダロッドと、前記軸部13とは、切り離された状態にあるが、押圧シリンダ28の作動によりシリンダロッドを突出させると、シリンダロッドの先端が軸部13の頂部を覆うように被せて下方に押圧し、上部定盤を押圧した状態となっている。
【0026】
水平往復動プレート26の側端側に取付座29を介して着座する正逆自在な水平往復動モーター30と、該水平往復動モーター30の軸端に軸着し前記ラック24と噛み合うように配設したピニオン31とを設けて、水平往復動モーター30を回転させれば水平往復動プレート26は直線運動となり、水平往復動手段23は、水平往復動モーター30を正逆回転させることにより、ビーム22の下面に設けた直動レール25、25に沿って押圧シリンダー28を往復動させることができる。
【0027】
前記軌道支持体9は搬送レール8と走行レール7、7と共に研磨台4、4・・・上を直列的に一列に延設されており、その両端、すなわち直列に並べた該研磨台4、4、・・の最両端側には台車10が通過可能な曲率で円弧状に無端ループ状の軌道支持体9および走行レール7、7を設けており、台車10を循環走行させることができる。
【0028】
無端ループ状の軌道支持体9および走行レール7、7の途中部分において、軌道支持体9と前記走行レール7、7および搬送レール8を2箇所切断し、切断除去した短い部分の空間部分には、上部定盤18を懸吊支持する台車10を搬送せしめる走行レール7’、7’を添着した前記軌道支持体9とは別に新たな可動支持体33を挿入した。
【0029】
該可動支持体33は、該走行レール7’、7’を設けた側面とは反対側方向に離れて立設する支柱34上で軸受を介して回動自在に設けられたシャフト軸35に、ブラケット36を介して可動支持体33の側面とを天秤状に固着し、バランサー40を設けたアーム37端と、傾動手段32、すなわち支柱34に隣接して設けた傾動シリンダー39とのロッド38を連結し上下動させれば、図2に示す矢印方向にアーム37は回動し、該アーム37と一体な可動支持体33の傾きにより走行レール7’、7’に台車10を介して懸吊装着中の上部定盤18は同時に斜め姿勢に傾き、プレッシャプレート17の下面に貼着中のガラス板16も斜め姿勢となり、側面より見て傾斜姿勢を表すものである。
【0030】
以下、本発明の作動を説明する。
【0031】
可動支持体33の位置でプレッシャプレート17にガラス板16を係着して停車中の台車10を、前もって搬送モーター19の逆回転により所定の位置まで後退させて停車中の搬送キャリヤ21の位置まで移動させておく。
【0032】
その直後、該搬送キャリヤ21上に設けた連結シリンダー20を作動させ、シリンダーロッドを突出させると、該シリンダーロッドは台車10に設けた連結受器11と嵌着して搬送キャリヤ21と連結さし、該搬送キャリヤ21は研磨台4で回転中の研磨盤3上の所定の位置まで搬送モーター19の正回転により台車10と共に前進し停車、該停車位置で連結シリンダー20を復動すると搬送キャリヤ21と台車10とは分離され、該搬送キャリヤ21は搬送モーター19の逆回転により搬送レール8に沿って再び後退移動して所定の場所に停車し、次の台車10を待機する。
【0033】
一方、研磨盤3上に停車した台車10に懸吊された上部定盤18は、上部のビーム22に装着した水平往復動手段23の作動に追動するが、まず水平往復動モーター30の正逆の回転作動により水平往復動プレート26が直動レール25に沿って往復動し、押圧シリンダー28の作動によってシリンダロッドを降下させると、シリンダロッドの先端部は、軸部13の上端頂部を覆うように当接し、押圧してバネ15、15で支持されている軸部13を降下させ、該軸部13と一体のガラス板16を支持するプレッシャプレート17を水平往復動させながら、プレッシャープレート17を下降させて回転中の研磨盤3に圧接すれば、該ガラス板16は研磨液の水膜を作る研磨盤3の回転と上部定盤18の往復動、加えて降下押圧とによりガラス板16の研磨盤3との当接面が研磨される。
【0034】
回転中の研磨盤3上に上部定盤18を押圧しつつ、かつ水平往復動モーター30の正逆回転に追動し走行レール7、7に沿って水平往復微動させてガラス板16を一定時間研磨すると、押圧シリンダー28の復動と水平往復動モーター30の停止により上部定盤18は上昇して研磨盤3より離脱する。
【0035】
次いで走行レール7、7に停車中の台車10は搬送レール8で次に待機していた次の搬送キャリヤ21と連結手段により連結し、搬送モーター19の回転により搬送キャリヤ21と共に再び走行レールに沿って前進する。
【0036】
台車10が次に停車する位置は、その上部に次の水平往復動手段23が待機し、その下部には次の研磨盤3が配置されており、連結シリンダー20の復動、押圧シリンダー28と水平往復動モーター30の作動により隣接した次の研磨盤3でガラス板16を再び研磨し、並設した研磨盤3、3・・・に移動させて次々とガラス板16を研磨していくが、その後方には次の台車10を介して懸吊する上部定盤18に係着するガラス板16が同時に研磨、搬送と繰り返して研磨を行い、複数台の上部定盤18も続いて研磨仕上げを行う。
【0037】
複数台の研磨盤3を通過し、研磨が終了して可動支持体33の手前で停車中の台車10を手動、または自動で可動支持体33の走行レール7’に前進移動させ、該可動支持体33で停車中に傾動手段32の傾動シリンダー39を作動せしめると、ロッド38の降下と共にシャフト軸35を軸としてアーム37を回動させるが、該アーム37の先端に固着する可動支持体33も追従して回動し、走行レール7’、7’に台車10を介して装着する上部定盤18も追動、該上部定盤18のプレッシャプレート17に貼着するガラス板16も斜め状態となり作業者の目視内に姿を表す。
【0038】
その状態を保持している間に研磨仕上げ終了のガラス板16を取り外し新たに研磨するガラス板を取り付け、次いで傾動シリンダー39の復動により可動支持体33の端部が軌道支持体9の端部に近接して直列一本化状態になり、台車10より垂下する上部定盤18を手動により走行レール7、7の所定の位置まで前進移動させ、所定の位置で搬送キャリヤ21との連結を待ち、連結後前記した作動を繰り返すものである。
【0039】
走行レール7、7に装着の複数の台車10には、数台毎に上部定盤18に代わり研磨盤3の目詰まり除去用の図示しないドレッシング用プレートを設ければ、上部定盤18と同様な作動から並べた複数の研磨盤3の研磨面の目詰まりを除去して研磨盤3を次々と再生し、良好な研磨仕上面を常に保持することが出来るものである。
【0040】
【発明の効果】
本発明は、ガラス板等の基板を複数台の研磨盤に搬送しつつ連続して研磨することにより効率よく、また研磨の仕上がり品質も常に一定となり、傾動手段を設けたことによりガラス板の着脱も安全に確実に行うことができ、極めて簡易な構成でその目的が達成できる等その効果は顕著である。
【図面の簡単な説明】
【図1】上部定盤の作動を説明する一部を切欠省略した斜視図。
【図2】傾動する可動支持体の側面図。
【図3】本装置の全体を示す組立正面図。
【符号の説明】
3 研磨盤
7、7’ 走行レール
8 搬送レール
9 軌道支持体
10 台車
11 連結受器
16 ガラス板
17 プレッシャプレート
18 上部定盤
20 連結シリンダー
21 搬送キャリヤ
23 水平往復動手段
32 傾動手段
33 可動支持体
34 支柱
37 アーム
Claims (2)
- 水平回転する研磨盤を複数台並設し、その上方部で水平方向に延設する軌道支持体の両側面に搬送レールと走行レールとを添着し、該走行レールに沿って走行自在な複数台の台車の夫々にガラス板を係着し懸吊する上下動自在なプレッシャプレートを設けた上部定盤と、前記搬送レールに沿って往復動自在、かつ前記台車と連結着脱自在な連結手段を装着した搬送キャリヤとを複数台設け、前記上部定盤を研磨盤に押圧かつ前記走行レールに沿って往復動せしめる水平往復動手段を前記上部定盤の各々の上部に配設したことを特徴とするガラス板の研磨装置。
- 前記軌道支持体と前記走行レールおよび前記搬送レールの端部の延長線上の空間部分、または途中を切断した時の前記軌道支持体を延長した空間部分に、前記軌道支持体、前記走行レールおよび搬送レールの端部または切断部に当接する可動支持体および可動支持体に添着した走行レールを設け、該可動支持体に添着した走行レールの反対側より離れて立設する支柱上で前記可動支持体と直交するアームを軸支し、該アームの回動させて可動支持体に縣吊された上部定盤を回動せしめる傾動手段を設けたことを特徴とする請求項1記載のガラス板の研磨装置。
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