JP2004090154A - ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法 - Google Patents
ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004090154A JP2004090154A JP2002254583A JP2002254583A JP2004090154A JP 2004090154 A JP2004090154 A JP 2004090154A JP 2002254583 A JP2002254583 A JP 2002254583A JP 2002254583 A JP2002254583 A JP 2002254583A JP 2004090154 A JP2004090154 A JP 2004090154A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- position detection
- work
- robot
- camera
- detection camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
【課題】高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図る。
【解決手段】ハンド部８に、該ハンド部の作業対象となるワーク１３の作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラ１１、１２を取り付け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにした。
【選択図】 図１
【解決手段】ハンド部８に、該ハンド部の作業対象となるワーク１３の作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラ１１、１２を取り付け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにした。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法についての技術分野に関する。詳しくは、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図る技術分野に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント基板等のワークに対して所定の作業、例えば、各種の電子部品の組付等を行うための作業装置がある。このような作業装置は、移動可能なアーム部とその先端部に支持されたハンド部とを有するロボットを備えており、例えば、ハンド部によって電子部品を把持しアーム部を移動させて作業台にセットされたワークの所定の位置（作業位置）に電子部品を実装したり、ハンド部によってワークを把持して移動させる等の作業を行う。
【０００３】
このような作業装置にあっては、予め設定されたプログラムに基づいて送出されるコントローラーからの指令信号によって、ロボットが作動されて所定の作業位置に対しての各種の作業が行われる。
【０００４】
しかしながら、ワークを作業台にセットした状態やワークがハンド部に把持された状態等においては、ワーク、作業台、ハンド部等の製造上の寸法誤差やハンド部の機構上のガタツキ等によって、予め定められた設定位置に対する位置のバラツキが生じていることがある。このバラツキが作業上の許容範囲を超える場合には、予め設定された所定の作業位置に対する正確な作業を行うことができなくなり、歩留まりの低下等の不具合を生じてしまう。
【０００５】
そこで、作業装置にあっては、上記したバラツキが作業上の許容範囲を超える場合には、予め設定された所定の作業位置に対する各種の作業に先立って、位置検出用カメラによるワークの作業位置の位置検出が行われる。
【０００６】
位置検出用カメラによる位置検出は、ワークが作業台にセットされている場合には、ロボットのハンド部に取り付けられた位置検出用カメラを検出対象（作業位置）の近傍に移動し、この検出対象を位置検出用カメラの視野に入れて行う。また、ワークがロボットのハンド部に把持されている場合には、アーム部を移動させて所定の位置に固定された位置検出用カメラの近傍に検出対象を移動し、この検出対象を位置検出用カメラの視野に入れて行うようにしている。このとき、位置検出用カメラの位置と作業エリアの座標とは、予めキャリブレーションによって算出された正確な位置関係がコントローラーに記憶されている。
【０００７】
位置検出用カメラによる検出結果は、位置情報としてコントローラーに入力され、この入力された位置情報に基づいて予めコントローラーに入力されていた作業位置における位置情報が補正されて実際の作業におけるデーターが算出され、この算出されたデーターに基づいて送出されるコントローラーからの指令信号によって各種の作業が行われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年の電子部品の小型化、電子回路の高集積化等に伴って、電子部品用の電気的接合ピッチの微細化が顕著になっており、また、ワークの外形に対する位置検出用カメラの検出対象の大きさも微少となっている。従って、このような微細化等に対応して位置検出用カメラによる位置検出精度の向上を図る必要があるが、従来と同様の検出分解能を有する位置検出用カメラによる位置検出では、微細化等に対応した位置検出精度の向上を図ることができない。
【０００９】
そこで、位置検出精度の向上を図るために、大きな画素数を有する位置検出用カメラを用いて検出分解能の高度化を図ることも考慮されるが、一般に、大きな画素数を有する位置検出用カメラは極めて高価であり、また、大きな画素数を有する位置検出用カメラを用いると演算処理に要する時間が長くなってしまい実用的でない。
【００１０】
また、位置検出用カメラの位置検出精度の向上を図るために、位置検出用カメラの視野をワーク等のバラツキ分が最低限含まれる範囲に設定していることが多いが、ワーク等のバラツキが予想を超えてしまった場合等には、位置検出工程においてコントローラーの指令に応じて位置検出用カメラが検出対象の近傍に移動されたにも拘わらず、位置検出用カメラの視野範囲から検出対象が外れてしまうという検出エラーが生じ、生産性の低下を来たすという問題がある。
【００１１】
そこで、本発明ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法は、上記した問題点を克服し、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明ロボットは、上記した課題を解決するために、ハンド部に、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを取り付け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしたものである。
【００１３】
本発明ロボットによる位置検出方法は、上記した課題を解決するために、ハンド部に、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが取り付けておき、位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにしたものである。
【００１４】
本発明ロボットを備えた作業装置は、上記した課題を解決するために、ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを設け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしたものである。
【００１５】
本発明ロボットを備えた作業装置による位置検出方法は、上記した課題を解決するために、ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが設けておき、位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにしたものである。
【００１６】
従って、本発明ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法にあっては、最終段階における位置検出用カメラによる位置検出において高い検出分解能が得られる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
【００１８】
先ず、第１の実施の形態について説明する（図１乃至図４参照）。
【００１９】
作業装置１は、ロボット２と作業台３とによって構成され、ロボット２と作業台３とがベース面４上に備えられている（図１参照）。
【００２０】
ロボット２は支持部５と第１のアーム部６と第２のアーム部７とハンド部８とを有している（図１参照）。
【００２１】
支持部５は、ベース面４上に固定された基台９と、該基台９から上方へ長く延びる支持柱１０とから成り、該支持柱１０の上面に支持軸部１０ａが設けられている。
【００２２】
第１のアーム部６は支持柱１０の上面に支持軸部１０ａを介して回動可能に支持され、本体部１０から側方へ突出されている。
【００２３】
第２のアーム部７は、その一端部に設けられた軸部７ａを介して第１のアーム部６の先端部に回動可能に支持されている。
【００２４】
ハンド部８は第２のアーム部７の他端部に回転可能かつ上下方向へ移動可能に支持されている。ハンド部８は本体部８ａと該本体部８ａの上面から上方へ突出された被支持軸８ｂと本体部８ａの下面から下方へ突出された保持突部８ｃ、８ｃとから成り、被支持軸８ｂを介して第２のアーム部７の他端部に回転可能かつ上下方向へ移動可能に支持されている。
【００２５】
ハンド部８の側面には、例えば、互いに１８０°反対側の位置に、第１の位置検出用カメラ１１と第２の位置検出用カメラ１２とがそれぞれ取り付けられている。ハンド部８と第１の位置検出用カメラ１１、第２の位置検出用カメラ１２とは、予めキャリブレーションによって算出された正確な位置関係が図示しないコントローラーに記憶されている。
【００２６】
上記のように、第１のアーム部６及び第２のアーム部７が回動可能とされることにより、ハンド部８がＸＹ平面（水平面）内における所望の位置に移動され、また、ハンド部８が上下方向へ移動可能とされることにより、ＸＹ平面に直交するＺ軸方向における所望の位置に移動される。
【００２７】
作業台３上には、例えば、プリント基板等のワーク１３が図示しない保持機構によって保持された状態でセットされる（図１参照）。
【００２８】
作業装置１においては各種の作業が行われ、例えば、ロボット２のハンド部８によって図示しない電子部品が把持され、第１のアーム部６及び第２のアーム部７の回動動作とハンド部８の回転動作及び移動動作によって、把持された電子部品がワーク１３の所定の位置に実装される。このような作業は、予め設定されたプログラムに基づいて送出されるコントローラーからの指令信号によって、ロボット２が作動されることにより行われる。
【００２９】
作業装置１にあっては、上記した各種の作業に先立って、第１の位置検出用カメラ１１、１２によるワーク１３の作業位置の位置検出が行われる。
【００３０】
以下に、作業装置１における位置検出の方法について説明する（図２乃至図４参照）。尚、以下において説明する位置検出の方法については、ワーク１３に形成された微少な孔にハンド部８に把持された物体を落とし込む作業に先立って行われる場合を例として説明する。
【００３１】
第１の位置検出用カメラ１１と第２の位置検出用カメラ１２がワーク１３の検出対象、即ち、孔１３ａを検出する位置及びハンド部８のワーク１３に対する作業位置は、予めコントローラーにプログラムされている。
【００３２】
ワーク１３は、例えば、縦横３０ｍｍの正方形状を為し、寸法誤差は１５ｍｍ±０．２ｍｍであるとし、ワーク１３の孔１３ａの径は１μｍであるとする（図２参照）。
【００３３】
第１の位置検出用カメラ１１と第２の位置検出用カメラ１２の画素数は、ともに５００ピクセル×５００ピクセルであるとする。尚、５００ピクセル×５００ピクセルの画素数は、作業装置に一般的に使用されている位置検出用カメラの画素数である。
【００３４】
先ず、コントローラーからの指令信号に基づいて、第１の位置検出用カメラ１１が検出対象である孔１３ａを視野に入れるようにロボット２が作動する。このとき、常に第１の位置検出用カメラ１１の視野内に孔１３ａを入れるためには、寸法誤差を考慮すると、寸法誤差０．２ｍｍ×２＋孔１３ａの径０．００１ｍｍ＝０．４０１ｍｍ角の視野が必要とされる。従って、第１の位置検出用カメラ１１の視野は０．４０１ｍｍ角に設定されている（図３参照）。
【００３５】
このときの第１の位置検出用カメラ１１の検出分解能は、０．４０１ｍｍ÷５００ピクセル＝０．８μｍ（±０．４μｍ）となる。但し、一般に、１μｍの作業対象に対して０．８μｍの検出分解能は十分ではない。
【００３６】
上記のように、第１の位置検出用カメラ１１によって検出対象である孔１３ａの検出が行われると、この検出結果が位置情報としてコントローラーに入力される。
【００３７】
次に、第１の位置検出用カメラ１１によって得られた位置情報に基づいてコントローラーから指令信号が送出され、この指令信号に基づいて第２の位置検出用カメラ１２が検出対象である孔１３ａを視野に入れるようにロボット２が作動する。このとき、常に第２の位置検出用カメラ１２の視野内に孔１３ａを入れるためには、第１の位置検出用カメラ１１の検出分解能０．８μｍ＋孔１３ａの径１μｍ＝１．８μｍ角の視野が必要とされる。従って、第２の位置検出用カメラ１２の視野は１．８μｍ角に設定されている（図４参照）。
【００３８】
このときの第２の位置検出用カメラ１２の検出分解能は、１．８μｍ÷５００ピクセル＝０．００３６μｍ（±０．００１８μｍ）となり、孔１３ａの径１μｍに対して十分な分解能が得られる。
【００３９】
上記のように、第２の位置検出用カメラ１２によって検出対象の検出が行われると、この検出結果が位置情報としてコントローラーに入力され、この入力された位置情報に基づいて予めコントローラーに入力されていた作業位置における位置情報が補正されて実際の作業におけるデーターが算出される。実際の作業におけるデーターが算出されると、この算出されたデーターに基づいてコントローラーから指令信号がロボット２に送出され、ハンド部８に把持された物体が孔１３ａに正確な精度を以て落とし込まれる。
【００４０】
尚、孔１３ａの径１μｍに対して上記と同様の０．００３６μｍの検出分解能を１つの位置検出用カメラで得ようとするには、１０万×１０万ピクセル以上の画素数を有する高価な超高精細ＣＣＤカメラを必要とする。
【００４１】
以上に記載した通り、作業装置１にあっては、第１の位置検出用カメラ１１と第２の位置検出用カメラ１２とによってそれぞれ検出対象の位置検出が行われ、順次行われる位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしている。
【００４２】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００４３】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００４４】
次に、第２の実施の形態について説明する（図５参照）。
【００４５】
尚、以下に示す第２の実施の形態に係る作業装置１Ａは、上記した作業装置１と比較して、ハンド部によってワークが把持されること及び２台の位置検出用カメラがベース面に固定されていることのみが相違するため、作業装置１と比較して異なる部分についてのみ詳細に説明をし、その他の部分については作業装置１における同様の部分に付した符号と同じ符号を付して説明は省略する。
【００４６】
作業装置１Ａは、ロボット２Ａと第１の位置検出用カメラ１４と第２の位置検出用カメラ１５とによって構成され、ロボット２Ａ、第１の位置検出用カメラ１４及び第２の位置検出用カメラ１５がベース面４上に備えられている。
【００４７】
ロボット２Ａは、上記ロボット２と同様に、支持部５と第１のアーム部６と第２のアーム部７とハンド部８とを有している。但し、ハンド部８に位置検出用カメラは取り付けられていない。
【００４８】
作業装置１Ａにあっては、ワーク１３がハンド部８に把持された状態で、各種の作業に先立って、第１の位置検出用カメラ１４及び第２の位置検出用カメラ１５によるワーク１３の作業位置の位置検出が行われる。
【００４９】
作業装置１Ａにおける位置検出は、ロボット２Ａが作動されてワーク１３が移動されることにより孔１３ａが第１の位置検出用カメラ１４及び第２の位置検出用カメラ１５の視野に入ることを除き、作業装置１における位置検出の動作と同様であるので、説明は省略する。
【００５０】
以上に記載した通り、作業装置１Ａにあっても、第１の位置検出用カメラ１４と第２の位置検出用カメラ１５とによってそれぞれ検出対象の位置検出が行われ、順次行われる位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしている。
【００５１】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００５２】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００５３】
尚、上記には、第１の位置検出用カメラ１１及び第２の位置検出用カメラ１２、又は、第１の位置検出用カメラ１４及び第２の位置検出用カメラ１５の２台の位置検出用カメラを用いて位置検出を行う例を示したが、位置検出用カメラの数は２台に限られることはなく、３台以上の位置検出用カメラを用いて順次視野範囲を狭めながら位置検出を行うようにしてもよい。
【００５４】
また、作業台３にセットされるワーク１３を検出対象とする複数の位置検出用カメラを設けると共にハンド部８に把持されるワーク１３を検出対象とする複数の位置検出用カメラを設け、それぞれのワーク１３、１３の位置検出を別々に行い、それぞれを組み合わせる際に位置情報を相対的に補正して位置データーを算出するようにしてもよい。
【００５５】
上記した各実施の形態において示した各部の具体的な形状及び構造は、何れも本発明を実施する際の具体化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならないものである。
【００５６】
【発明の効果】
以上に記載したところから明らかなように、本発明ロボットは、支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にワークに対して所定の作業を行うロボットであって、ハンド部に、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを取り付け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしたことを特徴とする。
【００５７】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００５８】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００５９】
本発明ロボットによる位置検出方法は、支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にワークに対して所定の作業を行うロボットによる位置検出方法であって、ハンド部には、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが取り付けられており、位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにしたことを特徴とする。
【００６０】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００６１】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００６２】
本発明ロボットを備えた作業装置は、支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にハンド部によってワークが保持されて所定の作業を行うロボットを備えた作業装置であって、ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを設け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしたことを特徴とする。
【００６３】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００６４】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００６５】
本発明ロボットを備えた作業装置による位置検出方法は、支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にハンド部によってワークが保持されて所定の作業を行うロボットを備えた作業装置による位置検出方法であって、ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが設けられており、位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにしたことを特徴とする。
【００６６】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００６７】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図２乃至図４と共に本発明の第１の実施の形態を示すものであり、本図は作業装置の概略側面図である。
【図２】ワークを示す平面図である。
【図３】第１の位置検出用カメラによって検出したときの視野範囲を示す概念図である。
【図４】第２の位置検出用カメラによって検出したときの視野範囲を示す概念図である。
【図５】第２の実施の形態に係る作業装置の概略側面図である。
【符号の説明】
１…作業装置、２…ロボット、５…支持部、６…第１のアーム部、７…第２のアーム部、８…ハンド部、１１…第１の位置検出用カメラ、１２…第２の位置検出用カメラ、１３…ワーク、１Ａ…作業装置、２Ａ…ロボット、１４…第１の位置検出用カメラ、１５…第２の位置検出用カメラ
【発明の属する技術分野】
本発明はロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法についての技術分野に関する。詳しくは、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図る技術分野に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント基板等のワークに対して所定の作業、例えば、各種の電子部品の組付等を行うための作業装置がある。このような作業装置は、移動可能なアーム部とその先端部に支持されたハンド部とを有するロボットを備えており、例えば、ハンド部によって電子部品を把持しアーム部を移動させて作業台にセットされたワークの所定の位置（作業位置）に電子部品を実装したり、ハンド部によってワークを把持して移動させる等の作業を行う。
【０００３】
このような作業装置にあっては、予め設定されたプログラムに基づいて送出されるコントローラーからの指令信号によって、ロボットが作動されて所定の作業位置に対しての各種の作業が行われる。
【０００４】
しかしながら、ワークを作業台にセットした状態やワークがハンド部に把持された状態等においては、ワーク、作業台、ハンド部等の製造上の寸法誤差やハンド部の機構上のガタツキ等によって、予め定められた設定位置に対する位置のバラツキが生じていることがある。このバラツキが作業上の許容範囲を超える場合には、予め設定された所定の作業位置に対する正確な作業を行うことができなくなり、歩留まりの低下等の不具合を生じてしまう。
【０００５】
そこで、作業装置にあっては、上記したバラツキが作業上の許容範囲を超える場合には、予め設定された所定の作業位置に対する各種の作業に先立って、位置検出用カメラによるワークの作業位置の位置検出が行われる。
【０００６】
位置検出用カメラによる位置検出は、ワークが作業台にセットされている場合には、ロボットのハンド部に取り付けられた位置検出用カメラを検出対象（作業位置）の近傍に移動し、この検出対象を位置検出用カメラの視野に入れて行う。また、ワークがロボットのハンド部に把持されている場合には、アーム部を移動させて所定の位置に固定された位置検出用カメラの近傍に検出対象を移動し、この検出対象を位置検出用カメラの視野に入れて行うようにしている。このとき、位置検出用カメラの位置と作業エリアの座標とは、予めキャリブレーションによって算出された正確な位置関係がコントローラーに記憶されている。
【０００７】
位置検出用カメラによる検出結果は、位置情報としてコントローラーに入力され、この入力された位置情報に基づいて予めコントローラーに入力されていた作業位置における位置情報が補正されて実際の作業におけるデーターが算出され、この算出されたデーターに基づいて送出されるコントローラーからの指令信号によって各種の作業が行われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年の電子部品の小型化、電子回路の高集積化等に伴って、電子部品用の電気的接合ピッチの微細化が顕著になっており、また、ワークの外形に対する位置検出用カメラの検出対象の大きさも微少となっている。従って、このような微細化等に対応して位置検出用カメラによる位置検出精度の向上を図る必要があるが、従来と同様の検出分解能を有する位置検出用カメラによる位置検出では、微細化等に対応した位置検出精度の向上を図ることができない。
【０００９】
そこで、位置検出精度の向上を図るために、大きな画素数を有する位置検出用カメラを用いて検出分解能の高度化を図ることも考慮されるが、一般に、大きな画素数を有する位置検出用カメラは極めて高価であり、また、大きな画素数を有する位置検出用カメラを用いると演算処理に要する時間が長くなってしまい実用的でない。
【００１０】
また、位置検出用カメラの位置検出精度の向上を図るために、位置検出用カメラの視野をワーク等のバラツキ分が最低限含まれる範囲に設定していることが多いが、ワーク等のバラツキが予想を超えてしまった場合等には、位置検出工程においてコントローラーの指令に応じて位置検出用カメラが検出対象の近傍に移動されたにも拘わらず、位置検出用カメラの視野範囲から検出対象が外れてしまうという検出エラーが生じ、生産性の低下を来たすという問題がある。
【００１１】
そこで、本発明ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法は、上記した問題点を克服し、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明ロボットは、上記した課題を解決するために、ハンド部に、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを取り付け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしたものである。
【００１３】
本発明ロボットによる位置検出方法は、上記した課題を解決するために、ハンド部に、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが取り付けておき、位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにしたものである。
【００１４】
本発明ロボットを備えた作業装置は、上記した課題を解決するために、ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを設け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしたものである。
【００１５】
本発明ロボットを備えた作業装置による位置検出方法は、上記した課題を解決するために、ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが設けておき、位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにしたものである。
【００１６】
従って、本発明ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法にあっては、最終段階における位置検出用カメラによる位置検出において高い検出分解能が得られる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
【００１８】
先ず、第１の実施の形態について説明する（図１乃至図４参照）。
【００１９】
作業装置１は、ロボット２と作業台３とによって構成され、ロボット２と作業台３とがベース面４上に備えられている（図１参照）。
【００２０】
ロボット２は支持部５と第１のアーム部６と第２のアーム部７とハンド部８とを有している（図１参照）。
【００２１】
支持部５は、ベース面４上に固定された基台９と、該基台９から上方へ長く延びる支持柱１０とから成り、該支持柱１０の上面に支持軸部１０ａが設けられている。
【００２２】
第１のアーム部６は支持柱１０の上面に支持軸部１０ａを介して回動可能に支持され、本体部１０から側方へ突出されている。
【００２３】
第２のアーム部７は、その一端部に設けられた軸部７ａを介して第１のアーム部６の先端部に回動可能に支持されている。
【００２４】
ハンド部８は第２のアーム部７の他端部に回転可能かつ上下方向へ移動可能に支持されている。ハンド部８は本体部８ａと該本体部８ａの上面から上方へ突出された被支持軸８ｂと本体部８ａの下面から下方へ突出された保持突部８ｃ、８ｃとから成り、被支持軸８ｂを介して第２のアーム部７の他端部に回転可能かつ上下方向へ移動可能に支持されている。
【００２５】
ハンド部８の側面には、例えば、互いに１８０°反対側の位置に、第１の位置検出用カメラ１１と第２の位置検出用カメラ１２とがそれぞれ取り付けられている。ハンド部８と第１の位置検出用カメラ１１、第２の位置検出用カメラ１２とは、予めキャリブレーションによって算出された正確な位置関係が図示しないコントローラーに記憶されている。
【００２６】
上記のように、第１のアーム部６及び第２のアーム部７が回動可能とされることにより、ハンド部８がＸＹ平面（水平面）内における所望の位置に移動され、また、ハンド部８が上下方向へ移動可能とされることにより、ＸＹ平面に直交するＺ軸方向における所望の位置に移動される。
【００２７】
作業台３上には、例えば、プリント基板等のワーク１３が図示しない保持機構によって保持された状態でセットされる（図１参照）。
【００２８】
作業装置１においては各種の作業が行われ、例えば、ロボット２のハンド部８によって図示しない電子部品が把持され、第１のアーム部６及び第２のアーム部７の回動動作とハンド部８の回転動作及び移動動作によって、把持された電子部品がワーク１３の所定の位置に実装される。このような作業は、予め設定されたプログラムに基づいて送出されるコントローラーからの指令信号によって、ロボット２が作動されることにより行われる。
【００２９】
作業装置１にあっては、上記した各種の作業に先立って、第１の位置検出用カメラ１１、１２によるワーク１３の作業位置の位置検出が行われる。
【００３０】
以下に、作業装置１における位置検出の方法について説明する（図２乃至図４参照）。尚、以下において説明する位置検出の方法については、ワーク１３に形成された微少な孔にハンド部８に把持された物体を落とし込む作業に先立って行われる場合を例として説明する。
【００３１】
第１の位置検出用カメラ１１と第２の位置検出用カメラ１２がワーク１３の検出対象、即ち、孔１３ａを検出する位置及びハンド部８のワーク１３に対する作業位置は、予めコントローラーにプログラムされている。
【００３２】
ワーク１３は、例えば、縦横３０ｍｍの正方形状を為し、寸法誤差は１５ｍｍ±０．２ｍｍであるとし、ワーク１３の孔１３ａの径は１μｍであるとする（図２参照）。
【００３３】
第１の位置検出用カメラ１１と第２の位置検出用カメラ１２の画素数は、ともに５００ピクセル×５００ピクセルであるとする。尚、５００ピクセル×５００ピクセルの画素数は、作業装置に一般的に使用されている位置検出用カメラの画素数である。
【００３４】
先ず、コントローラーからの指令信号に基づいて、第１の位置検出用カメラ１１が検出対象である孔１３ａを視野に入れるようにロボット２が作動する。このとき、常に第１の位置検出用カメラ１１の視野内に孔１３ａを入れるためには、寸法誤差を考慮すると、寸法誤差０．２ｍｍ×２＋孔１３ａの径０．００１ｍｍ＝０．４０１ｍｍ角の視野が必要とされる。従って、第１の位置検出用カメラ１１の視野は０．４０１ｍｍ角に設定されている（図３参照）。
【００３５】
このときの第１の位置検出用カメラ１１の検出分解能は、０．４０１ｍｍ÷５００ピクセル＝０．８μｍ（±０．４μｍ）となる。但し、一般に、１μｍの作業対象に対して０．８μｍの検出分解能は十分ではない。
【００３６】
上記のように、第１の位置検出用カメラ１１によって検出対象である孔１３ａの検出が行われると、この検出結果が位置情報としてコントローラーに入力される。
【００３７】
次に、第１の位置検出用カメラ１１によって得られた位置情報に基づいてコントローラーから指令信号が送出され、この指令信号に基づいて第２の位置検出用カメラ１２が検出対象である孔１３ａを視野に入れるようにロボット２が作動する。このとき、常に第２の位置検出用カメラ１２の視野内に孔１３ａを入れるためには、第１の位置検出用カメラ１１の検出分解能０．８μｍ＋孔１３ａの径１μｍ＝１．８μｍ角の視野が必要とされる。従って、第２の位置検出用カメラ１２の視野は１．８μｍ角に設定されている（図４参照）。
【００３８】
このときの第２の位置検出用カメラ１２の検出分解能は、１．８μｍ÷５００ピクセル＝０．００３６μｍ（±０．００１８μｍ）となり、孔１３ａの径１μｍに対して十分な分解能が得られる。
【００３９】
上記のように、第２の位置検出用カメラ１２によって検出対象の検出が行われると、この検出結果が位置情報としてコントローラーに入力され、この入力された位置情報に基づいて予めコントローラーに入力されていた作業位置における位置情報が補正されて実際の作業におけるデーターが算出される。実際の作業におけるデーターが算出されると、この算出されたデーターに基づいてコントローラーから指令信号がロボット２に送出され、ハンド部８に把持された物体が孔１３ａに正確な精度を以て落とし込まれる。
【００４０】
尚、孔１３ａの径１μｍに対して上記と同様の０．００３６μｍの検出分解能を１つの位置検出用カメラで得ようとするには、１０万×１０万ピクセル以上の画素数を有する高価な超高精細ＣＣＤカメラを必要とする。
【００４１】
以上に記載した通り、作業装置１にあっては、第１の位置検出用カメラ１１と第２の位置検出用カメラ１２とによってそれぞれ検出対象の位置検出が行われ、順次行われる位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしている。
【００４２】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００４３】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００４４】
次に、第２の実施の形態について説明する（図５参照）。
【００４５】
尚、以下に示す第２の実施の形態に係る作業装置１Ａは、上記した作業装置１と比較して、ハンド部によってワークが把持されること及び２台の位置検出用カメラがベース面に固定されていることのみが相違するため、作業装置１と比較して異なる部分についてのみ詳細に説明をし、その他の部分については作業装置１における同様の部分に付した符号と同じ符号を付して説明は省略する。
【００４６】
作業装置１Ａは、ロボット２Ａと第１の位置検出用カメラ１４と第２の位置検出用カメラ１５とによって構成され、ロボット２Ａ、第１の位置検出用カメラ１４及び第２の位置検出用カメラ１５がベース面４上に備えられている。
【００４７】
ロボット２Ａは、上記ロボット２と同様に、支持部５と第１のアーム部６と第２のアーム部７とハンド部８とを有している。但し、ハンド部８に位置検出用カメラは取り付けられていない。
【００４８】
作業装置１Ａにあっては、ワーク１３がハンド部８に把持された状態で、各種の作業に先立って、第１の位置検出用カメラ１４及び第２の位置検出用カメラ１５によるワーク１３の作業位置の位置検出が行われる。
【００４９】
作業装置１Ａにおける位置検出は、ロボット２Ａが作動されてワーク１３が移動されることにより孔１３ａが第１の位置検出用カメラ１４及び第２の位置検出用カメラ１５の視野に入ることを除き、作業装置１における位置検出の動作と同様であるので、説明は省略する。
【００５０】
以上に記載した通り、作業装置１Ａにあっても、第１の位置検出用カメラ１４と第２の位置検出用カメラ１５とによってそれぞれ検出対象の位置検出が行われ、順次行われる位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしている。
【００５１】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００５２】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００５３】
尚、上記には、第１の位置検出用カメラ１１及び第２の位置検出用カメラ１２、又は、第１の位置検出用カメラ１４及び第２の位置検出用カメラ１５の２台の位置検出用カメラを用いて位置検出を行う例を示したが、位置検出用カメラの数は２台に限られることはなく、３台以上の位置検出用カメラを用いて順次視野範囲を狭めながら位置検出を行うようにしてもよい。
【００５４】
また、作業台３にセットされるワーク１３を検出対象とする複数の位置検出用カメラを設けると共にハンド部８に把持されるワーク１３を検出対象とする複数の位置検出用カメラを設け、それぞれのワーク１３、１３の位置検出を別々に行い、それぞれを組み合わせる際に位置情報を相対的に補正して位置データーを算出するようにしてもよい。
【００５５】
上記した各実施の形態において示した各部の具体的な形状及び構造は、何れも本発明を実施する際の具体化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならないものである。
【００５６】
【発明の効果】
以上に記載したところから明らかなように、本発明ロボットは、支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にワークに対して所定の作業を行うロボットであって、ハンド部に、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを取り付け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしたことを特徴とする。
【００５７】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００５８】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００５９】
本発明ロボットによる位置検出方法は、支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にワークに対して所定の作業を行うロボットによる位置検出方法であって、ハンド部には、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが取り付けられており、位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにしたことを特徴とする。
【００６０】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００６１】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００６２】
本発明ロボットを備えた作業装置は、支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にハンド部によってワークが保持されて所定の作業を行うロボットを備えた作業装置であって、ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを設け、複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにしたことを特徴とする。
【００６３】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００６４】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【００６５】
本発明ロボットを備えた作業装置による位置検出方法は、支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にハンド部によってワークが保持されて所定の作業を行うロボットを備えた作業装置による位置検出方法であって、ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが設けられており、位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにしたことを特徴とする。
【００６６】
従って、高価な位置検出用カメラを用いることなく位置検出における精度の向上を図ることができる。
【００６７】
また、位置検出用カメラの分解能に余裕を持たせることが可能であり、予期せぬワークのバラツキによって発生する位置検出用カメラの検出エラーを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図２乃至図４と共に本発明の第１の実施の形態を示すものであり、本図は作業装置の概略側面図である。
【図２】ワークを示す平面図である。
【図３】第１の位置検出用カメラによって検出したときの視野範囲を示す概念図である。
【図４】第２の位置検出用カメラによって検出したときの視野範囲を示す概念図である。
【図５】第２の実施の形態に係る作業装置の概略側面図である。
【符号の説明】
１…作業装置、２…ロボット、５…支持部、６…第１のアーム部、７…第２のアーム部、８…ハンド部、１１…第１の位置検出用カメラ、１２…第２の位置検出用カメラ、１３…ワーク、１Ａ…作業装置、２Ａ…ロボット、１４…第１の位置検出用カメラ、１５…第２の位置検出用カメラ
Claims (4)
- 支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にワークに対して所定の作業を行うロボットであって、
ハンド部に、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを取り付け、
複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにした
ことを特徴とするロボット。 - 支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にワークに対して所定の作業を行うロボットによる位置検出方法であって、
ハンド部には、該ハンド部の作業対象となるワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが取り付けられており、
位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、
第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、
第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、
次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにした
ことを特徴とするロボットによる位置検出方法。 - 支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にハンド部によってワークが保持されて所定の作業を行うロボットを備えた作業装置であって、
ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラを設け、
複数の位置検出用カメラによって順次位置検出を行うと共に順次行う位置検出において視野範囲を段階的に狭めるようにした
ことを特徴とするロボットを備えた作業装置。 - 支持部と該支持部に移動可能に支持されたアーム部と該アーム部の先端部に支持されたハンド部とを有すると共にハンド部によってワークが保持されて所定の作業を行うロボットを備えた作業装置による位置検出方法であって、
ハンド部に保持されたワークの作業位置を含むそれぞれ固有の視野範囲で位置検出を行う複数の位置検出用カメラが設けられており、
位置検出用カメラの数をｎとし、ｎ個の位置検出用カメラのうち任意の位置検出用カメラを第ｍ番目の位置検出用カメラとしたときに、
第１番目の位置検出用カメラから第ｎ番目の位置検出用カメラによって順次位置検出が行われる位置検出工程において、
第ｍ番目の位置検出用カメラによって該第ｍ番目の位置検出用カメラが有する固有の視野範囲で位置検出を行い、
次に、第ｍ＋１番目の位置検出用カメラによって第ｍ番目の位置検出用カメラより狭い視野範囲で位置検出を行うようにした
ことを特徴とするロボットを備えた作業装置による位置検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002254583A JP3972773B2 (ja) | 2002-08-30 | 2002-08-30 | ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002254583A JP3972773B2 (ja) | 2002-08-30 | 2002-08-30 | ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004090154A true JP2004090154A (ja) | 2004-03-25 |
| JP3972773B2 JP3972773B2 (ja) | 2007-09-05 |
Family
ID=32060322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002254583A Expired - Fee Related JP3972773B2 (ja) | 2002-08-30 | 2002-08-30 | ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3972773B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009277340A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-26 | Seiko Epson Corp | ディスク処理装置のディスク搬送機構およびディスク処理装置 |
| JP2010501359A (ja) * | 2006-09-01 | 2010-01-21 | シュトピンク・アクティーエンゲゼルシャフト | 溶融金属用容器の注ぎ口用の摺動式閉鎖機構を保守する設備 |
| TWI476854B (zh) * | 2012-03-08 | 2015-03-11 | Lg Cns Co Ltd | Led晶圓的提供裝置及方法 |
| US9045827B2 (en) | 2012-03-09 | 2015-06-02 | Lg Cns Co., Ltd. | Apparatus and method for supplying light-emitting diode (LED) wafer |
-
2002
- 2002-08-30 JP JP2002254583A patent/JP3972773B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010501359A (ja) * | 2006-09-01 | 2010-01-21 | シュトピンク・アクティーエンゲゼルシャフト | 溶融金属用容器の注ぎ口用の摺動式閉鎖機構を保守する設備 |
| JP2009277340A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-26 | Seiko Epson Corp | ディスク処理装置のディスク搬送機構およびディスク処理装置 |
| TWI476854B (zh) * | 2012-03-08 | 2015-03-11 | Lg Cns Co Ltd | Led晶圓的提供裝置及方法 |
| US9045827B2 (en) | 2012-03-09 | 2015-06-02 | Lg Cns Co., Ltd. | Apparatus and method for supplying light-emitting diode (LED) wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3972773B2 (ja) | 2007-09-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100787704B1 (ko) | 반송용 로봇 티칭 장치 및 반송용 로봇의 티칭 방법 | |
| WO2014037993A1 (ja) | 作業装置 | |
| US6149047A (en) | Die-bonding machine | |
| US6955284B2 (en) | Device for positioning a tool in relation to a workpiece | |
| JP6498704B2 (ja) | 検査支援装置および検査支援方法 | |
| JP6571116B2 (ja) | 検査支援装置 | |
| JP2000033600A (ja) | プリント回路基板を機械加工するための少なくとも２つの機械加工ヘッドを備えたドリル装置 | |
| US6940537B2 (en) | Inspecting apparatus of printed state or the like in flexible printed circuit board | |
| JP2004090154A (ja) | ロボット、ロボットによる位置検出方法、ロボットを備えた作業装置及びロボットを備えた作業装置による位置検出方法 | |
| JP6928316B2 (ja) | 押さえ機能を備える部品実装機 | |
| JPH10217198A (ja) | 穿孔装置 | |
| JP2007095764A (ja) | 画像認識装置および画像認識方法 | |
| JP2003017545A5 (ja) | ||
| JP2008166410A (ja) | 位置決め較正方法及びそれを適用した実装装置 | |
| JP2000075912A (ja) | ロボットシステムおよび記録媒体 | |
| JP2011171388A (ja) | プリント基板用コネクタ圧入装置、及び電子部品の製造方法 | |
| JP2004261926A (ja) | 穴明け装置 | |
| JPS62113206A (ja) | 位置補正方法 | |
| JP4587861B2 (ja) | 部品搭載装置 | |
| KR970008478B1 (ko) | 프린트기판의 가공 방법 및 그 장치 | |
| JP2001009785A (ja) | 穿孔装置 | |
| JP2018001279A (ja) | ワーク保持機構 | |
| JP4978910B2 (ja) | 電子部品装着方法 | |
| JP2010085309A (ja) | 画像測定装置 | |
| JPS6288589A (ja) | ロボツト |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050512 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061218 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061226 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070226 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070522 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070604 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100622 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |