JP2004084875A - 鉛直免震装置および該装置を備えた三次元免震装置 - Google Patents

Abstract

【課題】鉛直方向の固有振動数を小さく設定可能な鉛直免震機構を提供する。
【解決手段】鉛直免震機構１４は、下プレート６と、下プレートの上方に配置される上プレート１２との間に配置される。上プレート１２の運動は、ラック１６／ピニオン２４を介して、連結軸２８および該軸に取り付けたウォームギア３４の回転運動に変換され、ウォームホイール３８に伝達する。ウォームホイールを固定するホイール軸４２の一端は下プレートに固定されており、ウォームホイールが回転する際に、ねじり力をウォームホイールに作用させる。上テーブルの上下運動は、減速比の大きなウォームギア・ホイールを介してホイール軸に伝達するため、上テーブルが大きく変位しても該軸のねじり角が非常に小さい。すなわち、上テーブルが大きく変位しても、上テーブルが受ける反力を小さくでき、鉛直免震機構の上下方向のばね定数を極めて小さくできる。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に構造物の鉛直方向の振動を絶縁するための鉛直免震装置に関する。本発明はまた、該鉛直免震装置を備えた三次元免震装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、建物やプラントなどの構造物の耐震性を向上させるために、水平方向のみならず鉛直方向（上下方向）の構造物の振動を絶縁するための三次元免震装置の実現が望まれている。
【０００３】
このような三次元免震装置として、水平方向に関する構造物の固有振動数を低減すると同時に、鉛直方向に関する構造物の固有振動数を低減することが要求される。また、鉛直方向の固有振動数を下げる目的で鉛直免震を行う鉛直免震手段のばね定数を小さくした場合、構造物に水平方向地震荷重が加わると、転倒モーメントの作用により構造物がロッキングすることがあるため、三次元免震装置は、構造物のロッキングを防止・抑制するロッキング機構を備えていることが要求される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
鉛直方向の免震を効果的に行うには、鉛直方向の固有振動数は１Ｈｚ程度まで低くするのが望ましい。これを実現するために鉛直免震手段としてコイルばねを用いる場合、コイルばねの剛性を非常に小さくする必要がある。しかしながら、他方、コイルばねは構造物の自重を支える必要があるため、寸法の大きなコイルばねを用いなければならない。また、鉛直免震手段として空気ばねを用いる場合、大型の空気タンク等を用意する必要があり、免震装置の規模が大きくなる問題がある。このような免震装置の大型化を避けるために、従来では、鉛直方向の固有振動数を例えば３Ｈｚ程度に高めに設定する必要があった。
【０００５】
さらに、鉛直免震手段のばね定数を小さくすると、地震荷重以外の比較的小さな鉛直荷重変動（例えば、構造物の自重のアンバランスや構造物内での荷重の移動））が生じた場合であっても、鉛直免震手段の作用により構造物が上下に揺れる可能性がある。
【０００６】
加えて、ロッキングを防止するための従来の機構は比較的複雑であり（例えば、特開１０−２１３１７７号公報、特開２００２−１０６６３２号公報参照）、その結果、免震装置が高コスト化する問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、鉛直方向の固有振動数を１Ｈｚ程度にまで低下させることができる比較的簡単な構成の鉛直免震装置、および該装置を備えた三次元免震装置を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明はまた、水平地震時のロッキング防止を行う機構を簡単化した鉛直免震装置（三次元免震装置）を提供することを目的とする。
【０００９】
本発明はさらに、比較的小さな鉛直荷重変動に対する構造体の揺れを防止する鉛直免震装置（三次元免震装置）を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１に係る鉛直免震装置は、
基台部と該基台部の上方に配置される被免震体との間に配置され、被免震体の鉛直方向の振動を絶縁するための鉛直免震装置において、
被免震体の鉛直方向の運動を減速する減速ギア機構を有することを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る鉛直免震装置は、請求項１の鉛直免震装置において、減速ギア機構がウォームギアと該ギアに係合するウォームホイールとを備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る鉛直免震装置は、請求項２の鉛直免震装置において、
被免震体とともに鉛直方向に運動する可動部と、該可動部の運動をウォームギアの回転運動に変換する変換部と、ウォームホイールの所定の軸周りの所定の方向に関する回転に対し逆方向の回転力をウォームホイールに作用する反力発生部とをさらに備えることを特徴とする。
【００１３】
請求項４に係る鉛直免震装置は、請求項３の鉛直免震装置において、
変換部は、可動部に固定されたラックと、該ラックに係合したピニオンと、ピニオンを固定する第１のシャフトとを備え、
第１のシャフトにウォームギアが取り付けてあることを特徴とする。
【００１４】
請求項５に係る鉛直免震装置は、請求項３の鉛直免震装置において、
反力発生部は、ウォームホイールを固定し一端が基台部に固定された第２のシャフトを有し、ウォームホイールが回転する際に、ねじり力をウォームホイールに作用させることを特徴とする。
【００１５】
請求項６に係る鉛直免震装置は、請求項３の鉛直免震装置において、
変換部は、可動部に固定された一対のラックと、これらラックにそれぞれ係合した一対のピニオンと、これらピニオンを固定する第１のシャフトとを備え、
第１のシャフトにウォームギアが取り付けてあることを特徴とする。
【００１６】
請求項７に係る鉛直免震装置は、請求項１の鉛直免震装置において、
被免震体とともに鉛直方向に運動する可動部と、該可動部の運動を減速ギア機構の入力側のギアの回転運動に変換する変換部と、減速ギア機構の出力側のギアの所定の軸周りの所定の方向に関する回転に対し逆方向の回転力を前記出力側のギアに作用する反力発生部とをさらに備え、
変換部は、可動部に固定された一対のラックと、これらラックにそれぞれ係合した一対のピニオンと、これらピニオンを駆動連結する連結機構とを備えることを特徴とする。
【００１７】
請求項８に係る鉛直免震装置は、請求項３〜７の鉛直免震装置において、
可動部が所定の値以下の鉛直方向の荷重変動を受けた場合に、免震装置が作動しないようにするための安全機構をさらに備えることを特徴とする。
【００１８】
請求項９に係る鉛直免震装置は、請求項８の鉛直免震装置において、
安全機構は、可動部から鉛直方向に延びた第１の摩擦板と、基台部から鉛直方向に延びた第２の摩擦板とを備え、
第１の摩擦板と第２の摩擦板は、水平方向に関して互いに押付けられた状態で重ねられていることを特徴とする。
【００１９】
請求項１０に係る三次元免震装置は、請求項１〜９のいずれかの鉛直免震装置を備え、被免震体の鉛直方向および水平方向の振動を絶縁することを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下の説明において、同一または類似の構成要素は、同一の符号または同一の符号に適当な添字を付して示す。
【００２１】
＜第１の実施形態＞
図１〜４を参照して本発明に係る三次元免震装置の第１の実施形態を説明する。全体を符号２で示す三次元免震装置は、基礎（地面）４の上側に配置され、下テーブル（基台部）６を支持する水平免震機構８と、下テーブル６の上側に配置され、建物などの被免震体１０の下面に固定された上テーブル（可動部）１２を支持する上下（鉛直）免震機構１４とを備える。水平免震機構８は、被免震体１０の重心を通る鉛直線の周りに複数配設されている。同様に、鉛直免震機構１４は、被免震体１０の重心を通る鉛直線の周りに複数配設されている（本実施形態では、図３に示すように、テーブルの４辺に一つずつ設けてある。）。
【００２２】
以下、鉛直免震機構１４を詳しく説明するが、説明の都合上、図１の左右方向をＸ方向、図１の紙面垂直方向をＹ方向、図１の上下方向をＺ方向とする。各鉛直免震機構１４は、Ｘ方向（またはＹ方向（図３参照））に関し所定の間隔をあけて、上テーブル１２の下面から鉛直下向きに伸びた２つの鉛直板１６Ｒ，１６Ｌを備えている。鉛直板１６Ｒの対向する側壁には一対のラック２０Ｒが付いている。同様に、鉛直板１６Ｌの対向する側壁には一対のラック２０Ｌが付いている。鉛直板１６Ｒの一対のラック２０Ｒには一対のピニオン２４Ｒが係合している。同様に、鉛直板１６Ｌの一対のラック２０Ｌには一対のピニオン２４Ｌが係合している。ピニオン２４Ｒとピニオン２４Ｌは、Ｘ方向（またはＹ方向（図３参照））に伸びた連結軸（第１のシャフト）２８を介して連結されている。各水平軸２８の両端は、下テーブル６の上面に設けられた軸受３０Ｒ，３０Ｌにより回転自在に支持されている。各水平軸２８の両端近傍にはウォームギア３４Ｒ，３４Ｌが取付けてある。ウォームギア３４Ｌ，３４Ｒにはそれぞれウォームホイール３８Ｒ，３８Ｌが係合している。ウォームホイール３８Ｒ，３８Ｌはそれぞれ、下テーブル６に下端が固定されＺ方向に伸びたホイール軸（第２のシャフト）４２Ｒ，４２Ｌの上端近傍に固定されている。
【００２３】
かかる鉛直免震機構１４を備えた三次元免震装置２において、被免震体１０に上下地震荷重が作用した場合、上テーブル１２は、下テーブル６に対し相対的に上下方向に振動する。この上下運動は、ラック２０Ｒ，２０Ｌに係合するピニオン２４Ｒ，２４Ｌにより回転運動に変換され、連結軸２８を介してウォームギア３４Ｒ，３４Ｌに伝達する。その結果ウォームホイール３８Ｒ，３８Ｌが回転し、この回転力は、ホイール軸４２Ｒ，４２Ｌのねじりモーメントに変換される。
【００２４】
本実施形態では、上テーブル１２の上下運動は、減速比の大きなウォームギア３４Ｒ，３４Ｌとウォームホイール３８Ｒ，３８Ｌを介してホイール軸４２Ｒ，４２Ｌに伝達するため、上テーブル１２が大きく変位してもホイール軸４２Ｒ，４２Ｌのねじり角（したがってねじりモーメント）が非常に小さい。言い換えれば、上テーブル１２が大きく変位しても、上テーブル１２が受ける反力を小さくでき、したがって鉛直免震機構１４の上下方向のばね定数を極めて小さくできる。上テーブル１２の上下運動を減速するために、ピニオン２４Ｒ，２４Ｌの直径を大きく設計することで連結軸２８の回転角を小さくすることもできる。
【００２５】
また、隣接するピニオン２４Ｒ，２４Ｌは連結軸２８を介して互いに連結されているので、一方のピニオン、例えばピニオン２４Ｒに係合するラック２０Ｒを備えた鉛直板１６Ｒが上下に移動する際に、ピニオン２４Ｒが回転すると同時に他方のピニオン２４Ｌが回転する。したがって、ピニオン２４Ｌに係合するラック２０Ｌを備えた鉛直板１６Ｌは、鉛直板１６Ｒと同期して上下移動するため、上テーブル１２のロッキングが防止される。なお、ピニオン２４Ｒとピニオン２４Ｌが逆方向に回転しないようにするために、連結軸２８のねじり剛性は高く設定されている。図３を参照して、本実施形態では、Ｘ軸周りのロッキングおよびＹ軸周りのロッキングが防止される。
【００２６】
次に、図１を参照して本実施形態に係る三次元免震装置２の水平免震機構８を詳しく説明する。各水平免震機構８は、下テーブル６の下面に一端が連結された高減衰積層ゴム５０を有する。高減衰積層ゴム５０の他端は、防塵カバー５２を介して、基礎４上に配置された滑りパッド５４に連結されている。滑りパッド５４の下面には黒鉛プラグ５６が埋め込まれており、これにより、滑りバッド５４が基礎４上を滑る際の動摩擦力を低減するとともに、滑りパッド５４が基礎４に固着するのを防止するようになっている。防塵カバー５２は、滑りパッド５４と基礎４との間に異物が入り込むのを抑制するためのものである。滑りパッド５４は、高粘性流体５８中に埋没しており、これにより、滑りパッド５４の水平方向の運動を減衰するようになっている。この減衰効果を高めるために、滑りパッド５４の周囲には複数の羽根６０が取付けてある。下テーブル６が過大に水平方向に変位したときのフェイルセーフ用に、下テーブル６の側面に対向してばね付きストッパ６２が基礎４に取付けてある。
【００２７】
かかる水平免震機構８を備えた三次元免震装置２において、被免震体１０に水平地震荷重が作用した場合、下テーブル６が水平方向に振動するが、該荷重が比較的小さければ滑りパッド６４は摩擦力により動かず、高減衰積層ゴム５０が被免震体１０の水平方向の固有振動数を低減するとともに、被免震体１０の水平方向の振動の減衰を行う。水平地震荷重が比較的大きければ、滑りパッド６４が摩擦力に抗して滑り、これにより被免震体１０の水平方向の固有振動数を低減する。また、滑りパッド６４が高粘性流体５８に没しているので、滑りパッド６４は、被免震体１０の水平方向の振動の減衰も行う。
【００２８】
三次元免震装置２は、上テーブル１２が上下方向に荷重変動を受けた場合に、その荷重が所定の値以下では鉛直免震機構１４が作動しないようにするための安全機構６４を備えている。安全機構６４は、被免震体１０の重心を通る鉛直線の周りに複数（図では４つ）配設されている。
【００２９】
具体的に、各安全機構６４は、上テーブル１２の下面から鉛直下向きに伸びた一枚の上側摩擦板６６と、該上側摩擦板６６の一部を挟むように下テーブル６の上面から鉛直上向きに伸びた一対の下側摩擦板６８とを有する。上下摩擦板６６、６８は例えばステンレスなどで構成されている。図４に示すように、上側摩擦板６６と下側摩擦板６８の対向する領域において、下側摩擦板６８には円孔７０が形成されるとともに、上側摩擦板６６には上下方向に延びた長孔７１が下側摩擦板６８の円孔７０に重なるように形成されている。上下摩擦板６６、６８には、円孔７０および長孔７１を介してボルト７４が貫通しており、ボルト７４のネジ部は、下側摩擦板６８の一方の側面に固定したナット７６のネジ孔に螺合している。上下摩擦板６６、６８を互いに押付けるために、ボルト７４の軸部には、一端がボルト頭部に他端が下側摩擦板６８の他方の側面に装着されたコイルばね７８が巻回されている。円孔７０は、ボルト７４が下側摩擦板６８に嵌合するよう、ボルト７４の軸部と略同一の直径を有する。上側摩擦板６６に形成する長孔７１の大きさは、長孔７１が円孔７０に嵌合したボルト７４に当接した状態で、上側摩擦板６６が下側摩擦板６８に対し相対的に上下方向に摺動可能に設定されている。
【００３０】
上テーブル１２に上下荷重変動が作用した場合、上下摩擦板６６、６８は、最大静止摩擦力（これは、荷重負荷ばね７８の種類などを調整することで自由に調整可能である。）以下の摩擦力を受けても互いに滑ることはない。被免震体１０が上下地震荷重を受けて、上下摩擦板６６、６８の受ける摩擦力が最大静止摩擦力を超えると、上側摩擦板６６は、下側摩擦板６８に対し上下方向に滑ることができ、その結果、鉛直免震機構１４が作動することができる。なお、上下摩擦板６６、６８が互いに上下方向に滑る際に両板には動摩擦力が発生しているため、安全機構６４は減衰機能を備えている。
【００３１】
このように、安全機構６４を設けることで、上テーブル１２（あるいは被免震体１０）に一定の値以下の上下荷重変動が加わっても鉛直免震機構１４が作動するのを防止できる。
【００３２】
＜第２の実施形態＞
図５は、本発明の第２の実施形態に係る三次元免震装置の鉛直免震機構のみを示す図である。本実施形態では、鉛直免震機構１４’の上テーブル１２の上下運動を減速するための機構として、ウォームギア／ウォームホイールの代わりにベベルギアを用いている。具体的に、ピニオン２４Ｒ，２４Ｌを連結する連結軸２８’には、ベベルギア８０Ｒ，８０Ｌが取付けてある。これらベベルギア８０Ｒ，８０Ｌはそれぞれ、鉛直方向に伸びた軸４２Ｒ’、４２Ｌ’の一端近傍にそれぞれ固定されたベベルギア８４Ｒ，８４Ｌに係合している。軸４２Ｒ’、４２Ｌ’の他端は下テーブル６に固定されている。
【００３３】
かかる構成を有する鉛直免震機構１４’において、被免震体に上下地震荷重が作用した場合、上テーブル１２は、下テーブル６に対し相対的に上下方向に振動する。この上下運動は、ラック２０Ｒ，２０Ｌに係合するピニオン２４Ｒ，２４Ｌにより回転運動に変換され、連結軸２８’を介してベベルギア８０Ｒ，８０Ｌに伝達する。その結果ベベルギア８４Ｒ，８４Ｌが回転し、この回転力は、軸４２Ｒ’、４２Ｌ’のねじりモーメントに変換される。
【００３４】
本実施形態では、上テーブル１２の上下運動は、ベベルギア８０Ｒ，８０Ｌ，８４Ｒ，８４Ｌで構成される減速ギア機構により減速されるため、上テーブル１２が大きく変位しても軸４２Ｒ’、４２Ｌ’のねじり角（したがってねじりモーメント）を比較的小さくできる。言い換えれば、上テーブル１２が大きく変位しても、上テーブル１２が受ける反力を小さくでき、したがって鉛直免震機構１４’の上下方向のばね定数を小さくできる。
【００３５】
＜第３の実施形態＞
図６は、別のロッキング防止機構を備えた鉛直免震機構を示す。具体的に、この鉛直免震機構１４”において、ピニオン２４Ｒ，２４Ｌは、回転軸を介して互いに連結されておらず、それぞれ水平軸２８Ｒ’，２８Ｌ’に固定されている。水平軸２８Ｒ’、２８Ｌ’にはそれぞれ、ベベルギア８０Ｒ’、８０Ｌ’が固定されている。ベベルギア８０Ｒ’、８０Ｌ’と係合するベベルギア８４Ｒ’，８４Ｌ’を支持する鉛直軸４２Ｒ”，４２Ｌ”にはそれぞれ、ギア８６Ｒ，８６Ｌが固定されている。これらギア８６Ｒ，８６Ｌは、一端が下テーブル６に設けた軸受（図示せず）に回転自在に支持された鉛直軸８８Ｒ，８８Ｌに固定されたギア９０Ｒ，９０Ｌを介して、互いに連結されている。
【００３６】
かかる構成を有する鉛直免震機構１４”において、例えば上テーブル１２が鉛直下向きに移動する場合を考える。図面左側の鉛直壁１６Ｌが下向きに変位すると、軸２８Ｌ’および軸２８Ｌ’に固定されたベベルギア８０Ｌ’は矢印９０Ｌ方向に回転する。その結果、ベベルギア８４Ｌ’およびギア８６Ｌが矢印９２Ｌ方向に回転し、ギア９０Ｌが矢印９４Ｌ方向に回転する。同様に、図面右側の鉛直壁１６Ｒが下向きに変位すると、軸２８Ｒ’および軸２８Ｒ’に固定されたベベルギア８０Ｒ’は、矢印９０Ｌと逆方向（矢印９０Ｒ方向）に回転する。その結果、ベベルギア８４Ｒ’およびギア８６Ｒが矢印９２Ｌと逆方向（矢印９２Ｒ方向）に回転し、ギア９０Ｒが矢印９４Ｌと逆方向（矢印９４Ｒ方向）に回転する。ギア９０Ｒと９０Ｌは係合しているので、これらの回転角に差が生じることはできない。したがって、鉛直壁１６Ｒと１６Ｌの下向きの変位は一致し、上テーブル１２のロッキングが防止される。
【００３７】
なお、図面左右に配置するユニット同士の距離が大きい場合は、ギア９０Ｒ，９０Ｌのようなギア対をさらに設けたり、あるいは、ギアとチェーンを併用すればよい。
【００３８】
以上、本発明の具体的な実施形態について説明したが、本発明はこれらに限らず種々改変可能である。例えば、第１の実施形態では、上テーブルが上下方向に荷重変動を受けた場合に、その大きさが所定の値以下では鉛直免震機構が作動しないようにするために、互いに押付けられた少なくとも一対の摩擦板を利用したが、例えば、柱の座屈の原理を利用して、荷重変動が所定の値以下では鉛直免震機構が作動せず、所定の値を超えると柱が座屈して鉛直免震機構が作動するようにしてもよい。
【００３９】
また、水平免震機構は、第１の実施形態で説明した例に限らず、各種の形態が可能である。例えば、高減衰積層ゴム５０の代わりに、鉛プラグ入り積層ゴムを用いてもよい。あるいは、滑りパッド５４や高粘性流体５８を省略することも可能である。但し、高減衰積層ゴム５０と滑りパッド６４を直列に設ける構成は、仮に滑りパッド６４が基礎４に固着して機能しなくなった場合であっても、高減衰積層ゴム５０により水平免震を行うというフェイルセーフ機能を水平免震機構８に持たせる点、および、高減衰積層ゴム単体の場合に比べて、滑りパッド６４を併用することで高減衰積層ゴム５０としてコストを低いものを使用できる点で有利である。
【００４０】
さらに、第１の実施形態では、鉛直壁１６の対向する側壁にラック２０を形成したが、ラックとピニオンが常に係合するようにすれば、鉛直壁１６の片側にのみラックを設けてもよい。なお、図３の鉛直免震機構１４および安全機構６４の数、配置位置などは、本発明を限定するものではない。
【００４１】
なお、本発明は、機械構造物、ビル、プラント、重要文化財などあらゆる構造物の免震に適用可能である。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、鉛直方向の固有振動数を小さく設定可能な鉛直免震装置および該装置を備えた三次元免震装置を提供できる。また、比較的簡単な構成でロッキングを抑制・防止できる。さらに、比較的小さな上下荷重変動に対して被免震体の縦揺れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る三次元免震装置を示す側面図であって、鉛直免震機構および安全機構を一組のみ示す。
【図２】図１の左側から見た鉛直免震機構の側面図。
【図３】図１の鉛直免震機構の上面図であって、上テーブルを省略した図。
【図４】図１の三次元免震装置に用いられる安全機構の部分側面図。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る三次元免震装置に用いられる鉛直免震機構を示す側面図。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る三次元免震装置に用いられる鉛直免震機構を示す側面図。
【符号の説明】
２：三次元免震装置
６：下テーブル（基台部）
８：水平免震機構
１０：被免震体
１２：上テーブル（可動部）
１４：鉛直免震機構
２０Ｒ，２０Ｌ：ラック
２４Ｒ，２４Ｌ：ピニオン
２８：連結軸（第１のシャフト）
３４Ｒ，３４Ｌ：ウォームギア
３８Ｒ，３８Ｌ：ウォームホイール
４２Ｒ，４２Ｌ：ウォーム軸
６６：上側摩擦板（第１の摩擦板）
６８：下側摩擦板（第２の摩擦板）
６４：安全機構

Claims (10)

1. 基台部と該基台部の上方に配置される被免震体との間に配置され、被免震体の鉛直方向の振動を絶縁するための鉛直免震装置において、
   被免震体の鉛直方向の運動を減速する減速ギア機構を有する鉛直免震装置。
2. 前記減速ギア機構は、ウォームギアと該ギアに係合するウォームホイールとを備えることを特徴とする請求項１の鉛直免震装置。
3. 被免震体とともに鉛直方向に運動する可動部と、該可動部の運動をウォームギアの回転運動に変換する変換部と、ウォームホイールの所定の軸周りの所定の方向に関する回転に対し逆方向の回転力をウォームホイールに作用する反力発生部とをさらに備えた請求項２の鉛直免震装置。
4. 前記変換部は、可動部に固定されたラックと、該ラックに係合したピニオンと、ピニオンを固定する第１のシャフトとを備え、
   前記第１のシャフトにウォームギアが取り付けてあることを特徴とする請求項３の鉛直免震装置。
5. 前記反力発生部は、ウォームホイールを固定し一端が基台部に固定された第２のシャフトを有し、ウォームホイールが回転する際に、ねじり力をウォームホイールに作用させることを特徴とする請求項３の鉛直免震装置。
6. 前記変換部は、可動部に固定された一対のラックと、これらラックにそれぞれ係合した一対のピニオンと、これらピニオンを固定する第１のシャフトとを備え、
   前記第１のシャフトにウォームギアが取り付けてあることを特徴とする請求項３の鉛直免震装置。
7. 被免震体とともに鉛直方向に運動する可動部と、該可動部の運動を減速ギア機構の入力側のギアの回転運動に変換する変換部と、減速ギア機構の出力側のギアの所定の軸周りの所定の方向に関する回転に対し逆方向の回転力を前記出力側のギアに作用する反力発生部とをさらに備え、
   前記変換部は、可動部に固定された一対のラックと、これらラックにそれぞれ係合した一対のピニオンと、これらピニオンを駆動連結する連結機構とを備えることを特徴とする請求項１の鉛直免震装置。
8. 前記可動部が所定の値以下の鉛直方向の荷重変動を受けた場合に、免震装置が作動しないようにするための安全機構をさらに備えた請求項３〜７のいずれかに記載の鉛直免震装置。
9. 前記安全機構は、可動部から鉛直方向に延びた第１の摩擦板と、基台部から鉛直方向に延びた第２の摩擦板とを備え、
   前記第１の摩擦板と第２の摩擦板は、水平方向に関して互いに押付けられた状態で重ねられていることを特徴とする請求項８の鉛直免震装置。
10. 請求項１〜９のいずれかの鉛直免震装置を備え、被免震体の鉛直方向および水平方向の振動を絶縁するための三次元免震装置。

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