JP2004078209A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004078209A5 JP2004078209A5 JP2003284530A JP2003284530A JP2004078209A5 JP 2004078209 A5 JP2004078209 A5 JP 2004078209A5 JP 2003284530 A JP2003284530 A JP 2003284530A JP 2003284530 A JP2003284530 A JP 2003284530A JP 2004078209 A5 JP2004078209 A5 JP 2004078209A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding device
- groove
- optical member
- grooves
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 25
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003284530A JP2004078209A (ja) | 2002-07-31 | 2003-07-31 | 保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002224082 | 2002-07-31 | ||
JP2003284530A JP2004078209A (ja) | 2002-07-31 | 2003-07-31 | 保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004078209A JP2004078209A (ja) | 2004-03-11 |
JP2004078209A5 true JP2004078209A5 (zh) | 2006-09-14 |
Family
ID=32032797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003284530A Withdrawn JP2004078209A (ja) | 2002-07-31 | 2003-07-31 | 保持装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004078209A (zh) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004343101A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-12-02 | Canon Inc | 駆動機構、それを有する露光装置、デバイスの製造方法 |
DE102004018656A1 (de) * | 2004-04-13 | 2005-11-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Optisches Element |
JP2007200958A (ja) | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Canon Inc | 保持装置およびそれを用いた露光装置 |
JP5043468B2 (ja) | 2007-02-23 | 2012-10-10 | キヤノン株式会社 | 保持装置 |
JP5264112B2 (ja) * | 2007-07-11 | 2013-08-14 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
JP5506473B2 (ja) * | 2010-03-12 | 2014-05-28 | キヤノン株式会社 | 保持装置、光学装置及び望遠鏡 |
DE102010028941B4 (de) | 2010-05-12 | 2012-03-22 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Vorrichtung für eine optische Anordnung und Verfahren zum Positionieren eines optischen Elements einer optischen Anordnung |
JP5535108B2 (ja) | 2011-02-18 | 2014-07-02 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
JP5888822B2 (ja) * | 2014-06-24 | 2016-03-22 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 | キネマティック支持機構 |
JP7090464B2 (ja) * | 2018-04-26 | 2022-06-24 | キヤノン株式会社 | 保持装置および光学装置 |
-
2003
- 2003-07-31 JP JP2003284530A patent/JP2004078209A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012168543A5 (ja) | 投影光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 | |
JP2004078209A5 (zh) | ||
KR102074476B1 (ko) | 결상 광학계, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 | |
JP2006270057A5 (zh) | ||
TW201530688A (zh) | 基板保持裝置、曝光裝置及元件製造方法 | |
JP2008021995A (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
JP2007329435A5 (zh) | ||
TW202041919A (zh) | 繞射光導板以及眼用佩戴品 | |
JP2007200958A (ja) | 保持装置およびそれを用いた露光装置 | |
JP2004258273A5 (zh) | ||
JP4368357B2 (ja) | 多照明源露光装置 | |
JP2007334350A (ja) | レーザ光線の均一な角度分布生成装置 | |
JP2003227986A5 (zh) | ||
JP2010020017A5 (zh) | ||
KR100807445B1 (ko) | 하나 이상의 시스템 다이아프램을 갖는, 특히렌즈시스템에서의 광학영상장치 | |
JP2008529290A5 (zh) | ||
JP4569492B2 (ja) | 平面板の保持体 | |
JP2013219089A5 (zh) | ||
KR20030047822A (ko) | 리소그래피장치 및 디바이스 제조방법 | |
JP2004158786A5 (zh) | ||
JP2008286888A5 (zh) | ||
JP2009038152A5 (zh) | ||
Takino et al. | 5-axis control ultra-precision machining of complex-shaped mirrors for extreme ultraviolet lithography system | |
JP2007287730A (ja) | インプリント装置 | |
JP2004363571A5 (zh) |