JP2004075491A - 耐フッ酸性ガラス - Google Patents
耐フッ酸性ガラス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004075491A JP2004075491A JP2002241266A JP2002241266A JP2004075491A JP 2004075491 A JP2004075491 A JP 2004075491A JP 2002241266 A JP2002241266 A JP 2002241266A JP 2002241266 A JP2002241266 A JP 2002241266A JP 2004075491 A JP2004075491 A JP 2004075491A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrofluoric acid
- mol
- glass
- zno
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/12—Silica-free oxide glass compositions
- C03C3/16—Silica-free oxide glass compositions containing phosphorus
- C03C3/17—Silica-free oxide glass compositions containing phosphorus containing aluminium or beryllium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/20—Compositions for glass with special properties for chemical resistant glass
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
【課題】従来の耐フッ酸性ガラスよりも耐フッ酸性を格段に向上させる。
【解決手段】Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを２０〜３５ｍｏｌ％含有するものとすることで、耐フッ酸性が格段に向上する。また、Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを１５〜２５ｍｏｌ％、ＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを０．５〜１２ｍｏｌ％含有するものとすることで、耐フッ酸性が格段に向上すると共に、熱膨張係数を大きくし、屈服点を低くすることができる。
【解決手段】Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを２０〜３５ｍｏｌ％含有するものとすることで、耐フッ酸性が格段に向上する。また、Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを１５〜２５ｍｏｌ％、ＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを０．５〜１２ｍｏｌ％含有するものとすることで、耐フッ酸性が格段に向上すると共に、熱膨張係数を大きくし、屈服点を低くすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フッ酸（フッ化水素酸）に侵されにくいガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年フッ素工業の進歩につれて耐フッ酸性のガラスが必要とされている。また、半導体やガラス基板の洗浄にはフッ酸が使用されるため、洗浄装置のフッ酸と接触する部材として耐フッ酸性のガラスの用途がある。また、実験用の容器、分光光度計のサファイアセルの接着剤としても、耐フッ酸性ガラスが必要とされる。
【０００３】
従来の耐フッ酸性のガラスとしては、Ｐ２Ｏ５が６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３が２１．８８ｍｏｌ％、ＺｎＯが１５．２３ｍｏｌ％の組成からなるものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の耐フッ酸性ガラスは、耐フッ酸性が不十分で、フッ酸と接触する部材として用いた場合、浸食されるのが早く、早期に交換しなければならなかった。本発明は、従来の耐フッ酸性ガラスよりも耐フッ酸性を格段に向上させることを課題としてなされたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを２０〜３５ｍｏｌ％含有することを特徴とする耐フッ酸性ガラスである。すなわち、従来知られている耐フッ酸性ガラスに対して、Ａｌ２Ｏ３の割合を減らしてＺｎＯの割合を増やすことで、耐フッ酸性が著しく向上することを発見したのである。Ｐ２Ｏ５は５５ｍｏｌ％よりも少ないと耐フッ酸性が悪くなり、７０ｍｏｌ％よりも多いと耐水性が悪くなる。Ａｌ２Ｏ３は５ｍｏｌ％よりも少ないと耐水性が悪くなり、１５ｍｏｌ％よりも多いと耐フッ酸性が悪くなる。ＺｎＯは２０ｍｏｌ％よりも少ないと耐フッ酸性が悪くなり、３５ｍｏｌ％よりも多いと耐水性が悪くなる。
【０００６】
また本発明は、Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを１５〜２５ｍｏｌ％、ＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを０．５〜１２ｍｏｌ％含有することを特徴とする耐フッ酸性ガラスである。これは、請求項１のガラス組成に対して、ＺｎＯをやや減らすかわりにＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを添加したものである。これによって、熱膨張係数を大きくし、屈服点を低くすることができる。ガラスを接着剤として用いる場合は被接着物の熱膨張率に近くするために熱膨張係数を調整する必要があり、また屈服点は６００℃以下とすることが望ましいが、ＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを適宜量添加することで、熱膨張係数を調整し、屈服点を低下することが可能となる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
ガラス原料として関東化学株式会社製のリン酸（特級）、リン酸アルミニウム（鹿１級）及びリン酸亜鉛四水和物（鹿１級）を使用し、ガラス原料調合後、１００℃で２時間以上乾燥させた後、電気炉で１３５０〜１４５０℃の温度で１時間溶融し、徐冷して次の実施例１〜４及び比較例のガラスを作成した。実施例１から実施例４にかけては次第にＡｌ２Ｏ３の割合を減少させてＺｎＯの割合を増加させている。比較例は従来知られている耐フッ酸性ガラスである。
実施例１： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１８．５０ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１８．６２ｍｏｌ％
実施例２： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１５．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝２２．１２ｍｏｌ％
実施例３： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝２７．１２ｍｏｌ％
実施例４： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝５．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝３２．１２ｍｏｌ％
比較例１： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝２１．８８ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１５．２３ｍｏｌ％
【０００８】
各実施例及び比較例について耐フッ酸性試験、実施例３、４及び比較例１について耐水性試験を行った。
耐フッ酸性試験は次のように行った。粉砕して３００〜５００μｍに粒度調整した試料のガラス１ｇに４６％フッ酸溶液２５ｍｌを加え、常温で１時間３６〜４０ｒｐｍの往復運動を与え、その後濾過、水洗、乾燥したガラスの重量を測定し、ガラス重量減少率を求めた。
耐水性試験は次のように行った。粉砕して３００〜５００μｍに粒度調整した試料のガラス１ｇに蒸留水５０ｍｌを加え、煮沸状態で１時間３６〜４０ｒｐｍの往復運動を与え、その後濾過、水洗、乾燥したガラスの重量を測定し、ガラス重量減少率を求めた。
耐フッ酸性試験及び耐水性試験の結果を表１に示す。
【表１】
【０００９】
表１から明らかなように、実施例はいずれも比較例に比べて格段に耐フッ酸性に優れたものとなっているが、実施例３が最もよい結果を示し、比較例１に比べて７倍以上の耐フッ酸性の向上が見られる。また、実施例３が耐水性が高いことから、実施例１、２もほぼ同じ耐水性を有するものと推定できる。実施例４はやや耐水性が悪くなっている。
【００１０】
次に、最も結果のよかった実施例３の組成で、Ａｌ２Ｏ３の割合を固定とし、Ｐ２Ｏ５の割合を減少させると共にＺｎＯの割合を増加させるような実施例５及び比較例２を作成し、耐フッ酸性の試験を行った。実施例５、比較例２の組成は次の通りとした。
実施例５： Ｐ２Ｏ５＝５５．００ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．０ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝３５．００ｍｏｌ％
比較例２： Ｐ２Ｏ５＝５０．００ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．０ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝４０．００ｍｏｌ％
【００１１】
ここでの耐フッ酸性試験は常温で３時間３６〜４０ｒｐｍの往復運動を与えた以外（前記の試験では１時間）は、前記の耐フッ酸性試験と同じである。結果は以下の通りである。
実施例５： ガラス重量減少率＝１８％
比較例２： ガラス重量減少率＝８７％
Ｐ２Ｏ５の割合が５５ｍｏｌ％よりも少なくなると、耐フッ酸性は急激に悪化することがわかる。
【００１２】
次に、最も結果のよかった実施例３の組成で、Ｐ２Ｏ５及びＡｌ２Ｏ３の割合を固定とし、ＺｎＯの割合を減少させると共にＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを添加した実施例６〜１０を作成した。その組成は次の通りである。
実施例６： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝２２．１２ｍｏｌ％、ＳｒＯ＝５％
実施例７： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１７．１２ｍｏｌ％、ＳｒＯ＝１０％
実施例８：Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１５．６２ｍｏｌ％、ＳｒＯ＝１１．５％
実施例９： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１７．１２ｍｏｌ％、Ｌｉ２Ｏ＝１０％
実施例１０： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１７．１２ｍｏｌ％、Ｎａ２Ｏ＝１０％
【００１３】
実施例３、６〜１０について耐フッ酸性試験（３時間）、熱膨張係数測定、屈服点測定を行った。その結果を表２に示す。
【表２】
【００１４】
表２に示されるように、ＳｒＯの添加量を増やしていくと、熱膨張係数は次第に大きくなり、屈服点は次第に低くなるが、耐フッ酸性は悪化する。また、添加量が０．５ｍｏｌ％未満では添加効果は小さい。したがって、添加量は０．５〜１２ｍｏｌ％程度が好ましい。Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏのようなアルカリ成分を添加したときも、熱膨張係数は大きくなり、屈服点は低くなる。このように、ＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを適宜量添加することで、熱膨張係数及び屈服点を調整することができる。サファイアの接着剤として用いる場合には、サファイアの熱膨張係数が８３．３であるので、これに近い実施例８が適当である。
【００１５】
【発明の効果】
本発明の耐フッ酸性ガラスは、従来の耐フッ酸性ガラスに比べて格段の耐フッ酸性能を有するので、フッ素工業界等においてフッ酸と接触する部材として用いた場合、浸食されにくく耐久性が格段に向上する。また、ＳｒＯやＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏのようなアルカリ成分を添加することで、熱膨張係数と屈服点を調整できるので、特に接着剤として用いる場合に所望の熱膨張係数や屈服点を有する耐フッ酸性ガラスを得ることができる。
【発明の属する技術分野】
本発明は、フッ酸（フッ化水素酸）に侵されにくいガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年フッ素工業の進歩につれて耐フッ酸性のガラスが必要とされている。また、半導体やガラス基板の洗浄にはフッ酸が使用されるため、洗浄装置のフッ酸と接触する部材として耐フッ酸性のガラスの用途がある。また、実験用の容器、分光光度計のサファイアセルの接着剤としても、耐フッ酸性ガラスが必要とされる。
【０００３】
従来の耐フッ酸性のガラスとしては、Ｐ２Ｏ５が６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３が２１．８８ｍｏｌ％、ＺｎＯが１５．２３ｍｏｌ％の組成からなるものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の耐フッ酸性ガラスは、耐フッ酸性が不十分で、フッ酸と接触する部材として用いた場合、浸食されるのが早く、早期に交換しなければならなかった。本発明は、従来の耐フッ酸性ガラスよりも耐フッ酸性を格段に向上させることを課題としてなされたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを２０〜３５ｍｏｌ％含有することを特徴とする耐フッ酸性ガラスである。すなわち、従来知られている耐フッ酸性ガラスに対して、Ａｌ２Ｏ３の割合を減らしてＺｎＯの割合を増やすことで、耐フッ酸性が著しく向上することを発見したのである。Ｐ２Ｏ５は５５ｍｏｌ％よりも少ないと耐フッ酸性が悪くなり、７０ｍｏｌ％よりも多いと耐水性が悪くなる。Ａｌ２Ｏ３は５ｍｏｌ％よりも少ないと耐水性が悪くなり、１５ｍｏｌ％よりも多いと耐フッ酸性が悪くなる。ＺｎＯは２０ｍｏｌ％よりも少ないと耐フッ酸性が悪くなり、３５ｍｏｌ％よりも多いと耐水性が悪くなる。
【０００６】
また本発明は、Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを１５〜２５ｍｏｌ％、ＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを０．５〜１２ｍｏｌ％含有することを特徴とする耐フッ酸性ガラスである。これは、請求項１のガラス組成に対して、ＺｎＯをやや減らすかわりにＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを添加したものである。これによって、熱膨張係数を大きくし、屈服点を低くすることができる。ガラスを接着剤として用いる場合は被接着物の熱膨張率に近くするために熱膨張係数を調整する必要があり、また屈服点は６００℃以下とすることが望ましいが、ＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを適宜量添加することで、熱膨張係数を調整し、屈服点を低下することが可能となる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
ガラス原料として関東化学株式会社製のリン酸（特級）、リン酸アルミニウム（鹿１級）及びリン酸亜鉛四水和物（鹿１級）を使用し、ガラス原料調合後、１００℃で２時間以上乾燥させた後、電気炉で１３５０〜１４５０℃の温度で１時間溶融し、徐冷して次の実施例１〜４及び比較例のガラスを作成した。実施例１から実施例４にかけては次第にＡｌ２Ｏ３の割合を減少させてＺｎＯの割合を増加させている。比較例は従来知られている耐フッ酸性ガラスである。
実施例１： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１８．５０ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１８．６２ｍｏｌ％
実施例２： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１５．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝２２．１２ｍｏｌ％
実施例３： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝２７．１２ｍｏｌ％
実施例４： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝５．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝３２．１２ｍｏｌ％
比較例１： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝２１．８８ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１５．２３ｍｏｌ％
【０００８】
各実施例及び比較例について耐フッ酸性試験、実施例３、４及び比較例１について耐水性試験を行った。
耐フッ酸性試験は次のように行った。粉砕して３００〜５００μｍに粒度調整した試料のガラス１ｇに４６％フッ酸溶液２５ｍｌを加え、常温で１時間３６〜４０ｒｐｍの往復運動を与え、その後濾過、水洗、乾燥したガラスの重量を測定し、ガラス重量減少率を求めた。
耐水性試験は次のように行った。粉砕して３００〜５００μｍに粒度調整した試料のガラス１ｇに蒸留水５０ｍｌを加え、煮沸状態で１時間３６〜４０ｒｐｍの往復運動を与え、その後濾過、水洗、乾燥したガラスの重量を測定し、ガラス重量減少率を求めた。
耐フッ酸性試験及び耐水性試験の結果を表１に示す。
【表１】
表１から明らかなように、実施例はいずれも比較例に比べて格段に耐フッ酸性に優れたものとなっているが、実施例３が最もよい結果を示し、比較例１に比べて７倍以上の耐フッ酸性の向上が見られる。また、実施例３が耐水性が高いことから、実施例１、２もほぼ同じ耐水性を有するものと推定できる。実施例４はやや耐水性が悪くなっている。
【００１０】
次に、最も結果のよかった実施例３の組成で、Ａｌ２Ｏ３の割合を固定とし、Ｐ２Ｏ５の割合を減少させると共にＺｎＯの割合を増加させるような実施例５及び比較例２を作成し、耐フッ酸性の試験を行った。実施例５、比較例２の組成は次の通りとした。
実施例５： Ｐ２Ｏ５＝５５．００ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．０ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝３５．００ｍｏｌ％
比較例２： Ｐ２Ｏ５＝５０．００ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．０ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝４０．００ｍｏｌ％
【００１１】
ここでの耐フッ酸性試験は常温で３時間３６〜４０ｒｐｍの往復運動を与えた以外（前記の試験では１時間）は、前記の耐フッ酸性試験と同じである。結果は以下の通りである。
実施例５： ガラス重量減少率＝１８％
比較例２： ガラス重量減少率＝８７％
Ｐ２Ｏ５の割合が５５ｍｏｌ％よりも少なくなると、耐フッ酸性は急激に悪化することがわかる。
【００１２】
次に、最も結果のよかった実施例３の組成で、Ｐ２Ｏ５及びＡｌ２Ｏ３の割合を固定とし、ＺｎＯの割合を減少させると共にＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを添加した実施例６〜１０を作成した。その組成は次の通りである。
実施例６： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝２２．１２ｍｏｌ％、ＳｒＯ＝５％
実施例７： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１７．１２ｍｏｌ％、ＳｒＯ＝１０％
実施例８：Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１５．６２ｍｏｌ％、ＳｒＯ＝１１．５％
実施例９： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１７．１２ｍｏｌ％、Ｌｉ２Ｏ＝１０％
実施例１０： Ｐ２Ｏ５＝６２．８８ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３＝１０．００ｍｏｌ％、ＺｎＯ＝１７．１２ｍｏｌ％、Ｎａ２Ｏ＝１０％
【００１３】
実施例３、６〜１０について耐フッ酸性試験（３時間）、熱膨張係数測定、屈服点測定を行った。その結果を表２に示す。
【表２】
表２に示されるように、ＳｒＯの添加量を増やしていくと、熱膨張係数は次第に大きくなり、屈服点は次第に低くなるが、耐フッ酸性は悪化する。また、添加量が０．５ｍｏｌ％未満では添加効果は小さい。したがって、添加量は０．５〜１２ｍｏｌ％程度が好ましい。Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏのようなアルカリ成分を添加したときも、熱膨張係数は大きくなり、屈服点は低くなる。このように、ＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを適宜量添加することで、熱膨張係数及び屈服点を調整することができる。サファイアの接着剤として用いる場合には、サファイアの熱膨張係数が８３．３であるので、これに近い実施例８が適当である。
【００１５】
【発明の効果】
本発明の耐フッ酸性ガラスは、従来の耐フッ酸性ガラスに比べて格段の耐フッ酸性能を有するので、フッ素工業界等においてフッ酸と接触する部材として用いた場合、浸食されにくく耐久性が格段に向上する。また、ＳｒＯやＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏのようなアルカリ成分を添加することで、熱膨張係数と屈服点を調整できるので、特に接着剤として用いる場合に所望の熱膨張係数や屈服点を有する耐フッ酸性ガラスを得ることができる。
Claims (2)
- Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを２０〜３５ｍｏｌ％含有することを特徴とする耐フッ酸性ガラス
- Ｐ２Ｏ５を５５〜７０ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を５〜１５ｍｏｌ％、ＺｎＯを１５〜２５ｍｏｌ％、ＳｒＯ、Ｌｉ２Ｏ又はＮａ２Ｏを０．５〜１２ｍｏｌ％含有することを特徴とする耐フッ酸性ガラス
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002241266A JP3996017B2 (ja) | 2002-08-22 | 2002-08-22 | フッ酸を用いる洗浄装置のフッ酸と接触するガラス部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002241266A JP3996017B2 (ja) | 2002-08-22 | 2002-08-22 | フッ酸を用いる洗浄装置のフッ酸と接触するガラス部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004075491A true JP2004075491A (ja) | 2004-03-11 |
| JP3996017B2 JP3996017B2 (ja) | 2007-10-24 |
Family
ID=32023796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002241266A Expired - Fee Related JP3996017B2 (ja) | 2002-08-22 | 2002-08-22 | フッ酸を用いる洗浄装置のフッ酸と接触するガラス部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3996017B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018150216A (ja) * | 2017-03-15 | 2018-09-27 | 石塚硝子株式会社 | 亜鉛含有酸化物ガラスの製造方法及び亜鉛含有酸化物ガラス部材 |
| CN114555864A (zh) * | 2019-12-26 | 2022-05-27 | 日立金属株式会社 | 金属叠层成型流路构件及其制造方法 |
| CN114634309A (zh) * | 2022-03-09 | 2022-06-17 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种耐氢氟酸侵蚀玻璃及其制备方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5438311A (en) * | 1977-08-31 | 1979-03-22 | Hoya Glass Works Ltd | Low temperature melting coating glass capable of highly absorbing laser |
| JPS62212244A (ja) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | Asahi Glass Co Ltd | 高耐水性を有するリン酸塩ガラス |
| JPH0834635A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-06 | Hoya Corp | マイクロチャンネルプレート用融着ガラス |
| JPH11199268A (ja) * | 1991-04-26 | 1999-07-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 無アルカリガラス |
| JP2001180972A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-03 | Asahi Glass Co Ltd | 無鉛低融点ガラス |
| JP2001340893A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-11 | Toyo Glass Co Ltd | 水中で緩効的にリン酸イオンを溶出するガラスから成る水処理剤 |
-
2002
- 2002-08-22 JP JP2002241266A patent/JP3996017B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5438311A (en) * | 1977-08-31 | 1979-03-22 | Hoya Glass Works Ltd | Low temperature melting coating glass capable of highly absorbing laser |
| JPS62212244A (ja) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | Asahi Glass Co Ltd | 高耐水性を有するリン酸塩ガラス |
| JPH11199268A (ja) * | 1991-04-26 | 1999-07-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 無アルカリガラス |
| JPH0834635A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-06 | Hoya Corp | マイクロチャンネルプレート用融着ガラス |
| JP2001180972A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-03 | Asahi Glass Co Ltd | 無鉛低融点ガラス |
| JP2001340893A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-11 | Toyo Glass Co Ltd | 水中で緩効的にリン酸イオンを溶出するガラスから成る水処理剤 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018150216A (ja) * | 2017-03-15 | 2018-09-27 | 石塚硝子株式会社 | 亜鉛含有酸化物ガラスの製造方法及び亜鉛含有酸化物ガラス部材 |
| CN114555864A (zh) * | 2019-12-26 | 2022-05-27 | 日立金属株式会社 | 金属叠层成型流路构件及其制造方法 |
| EP4082694A4 (en) * | 2019-12-26 | 2024-02-28 | Proterial, Ltd. | METAL LAMINATE FLOW PATH ELEMENT AND PRODUCTION METHOD THEREOF |
| CN114634309A (zh) * | 2022-03-09 | 2022-06-17 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种耐氢氟酸侵蚀玻璃及其制备方法 |
| CN114634309B (zh) * | 2022-03-09 | 2023-05-12 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种耐氢氟酸侵蚀玻璃及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3996017B2 (ja) | 2007-10-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW200839901A (en) | Method for producing an electronic component passivated by lead free glass | |
| JP5033339B2 (ja) | ガラス組成物 | |
| JPH02293344A (ja) | 電子的用途に使用するのに好適な低軟化点金属酸化物ガラス | |
| TW200837034A (en) | Low dielectric glass and fiber glass for electronic applications | |
| JP6425450B2 (ja) | ガラス電解質 | |
| JP2011527663A (ja) | 絶縁層およびその製造方法 | |
| WO2013034082A1 (zh) | 光学玻璃及光学元件 | |
| JP2007332018A (ja) | ビスマス系封着材料およびビスマス系ペースト材料 | |
| JP2009221047A (ja) | バナジウム系ガラス組成物およびバナジウム系材料 | |
| JP2017050325A (ja) | 熱電変換素子とその製造方法 | |
| JP6650885B2 (ja) | 低温封着材料 | |
| JP3996017B2 (ja) | フッ酸を用いる洗浄装置のフッ酸と接触するガラス部材 | |
| JP4862859B2 (ja) | ガラス基板 | |
| TW201141809A (en) | Low-melting-point glass composition, and electrically conductive paste material produced using same | |
| JP2008300536A (ja) | ガラス被覆発光素子及びガラス被覆発光装置 | |
| JPH0222023B2 (ja) | ||
| WO2012073662A1 (ja) | 無鉛低融点ガラス組成物 | |
| TWI693202B (zh) | 半導體元件被覆用玻璃 | |
| JP2005035840A (ja) | 封着材料 | |
| EP0708476B1 (en) | Glass composition for phosphor coating and fluorescent lamp | |
| JP5545589B2 (ja) | 封着材料の製造方法 | |
| CN1861738A (zh) | 一种碱土铝酸盐长余辉发光粉表面氧化铝致密膜层包覆方法 | |
| JP5773327B2 (ja) | 半導体被覆用ガラス | |
| JP2014185060A (ja) | ガラス・セラミック組成物 | |
| CN1210219C (zh) | 铅硼酸盐基质玻璃和含有该基质玻璃的封接玻璃粉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040413 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060913 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061121 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070112 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070731 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070801 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110810 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120810 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130810 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130810 Year of fee payment: 6 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130810 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |