JP2004053370A - 化学分析方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に流路、流体素子および検出素子を有し、前記基板上で複数の液体を用いて化学分析および化学合成を行う化学分析方法において、前記複数の液体を混合するための混合槽を有し、該混合槽に少なくとも1つの発熱体素子が設けられ、該発熱体素子により気泡を発生し、該気泡の膨張と収縮を用いて前記液体を攪拌して混合する化学分析方法。
【選択図】 なし
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学分析方法および装置に関し、特にチップ上で化学分析や化学合成を行う小型化分析システム(μTAS:Micro Total Analysis System)において、複数の液体を効率良く混合するための化学分析方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、立体微細加工技術の発展に伴い、ガラスやシリコン等の基板上に、微小な流路とポンプ、バルブ等の流体素子およびセンサを集積化し、その基板上で化学分析を行うシステムが注目されている。これらのシステムは、小型化分析システム、μ−TAS(Micro Total Analysis System)あるいはLab on a Chipと呼ばれている。化学分析システムを小型化することにより、無効体積の減少や試料の分量の大幅な低減が可能となる。また、分析時間の短縮やシステム全体の低消費電力化が可能となる。さらに、小型化によりシステムの低価格を期待することができる。μ−TASは、システムの小型化、低価格化および分析時間の大幅な短縮が可能なことから、在宅医療やベッドサイドモニタ等の医療分野、DNA解析やプロテオーム解析等のバイオ分野での応用が期待されている。
【0003】
特開平10−337173号公報においては、溶液を混合して反応を行った後、定量及び分析をしてから分離するという一連の生化学実験操作をいくつかのセルの組み合わせによって実現可能なマイクロリアクタが開示されている。図6にマイクロリアクタ501の概念を模式的に示す。マイクロリアクタ501は、シリコン基板上に平板で密閉された独立した反応チャンバを有している。このリアクタは、リザーバセル502、混合セル503、反応セル504、検出セル505、分離セル506が組み合わされている。このリアクタを基板上に多数個形成することにより、多数の生化学反応を同時に並列的に行うことができる。さらに、単なる分析だけでなく、タンパク質合成などの物質合成反応もセル上で行うことができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上で述べた特開平10−337173号公報では、以下に述べる問題点があった。
図6に示したマイクロリアクタ501においては、リザーバセル502から複数の液体を混合セル503に導入する。混合セル503において液体どうしを拡散により十分に混合した後、反応セル504に導入する。混合セル503における液体どうしの混合が不十分であると、反応セル504における反応が不安定となり、検出、分離に関して安定した結果を得ることができない場合がある。
【0005】
拡散により液体どうしを十分に混合するためには、混合セル503の流れと平行な方向の長さを長くする必要がある。これにより、マイクロリアクタ501を形成するのに必要な面積が大きくなってしまう場合があった。特に、基板上に多数個のマイクロリアクタを形成する場合、一枚の基板あたりに形成可能なマイクロリアクタの数が少なくなってしまう場合があった。これにより、一枚の基板において同時に並列的に実施可能な化学反応の数が少なくなってしまい、化学分析の効率が低下してしまう場合があった。また、液体の流速や粘度等の状況によっては、層流が発生してしまい液体の混合が困難な場合があった。
【0006】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、複数の液体を混合するために、気泡の膨張と収縮を利用して撹拌して混合することにより、複数の液体を効率良く一様に混合することができる化学分析方法および装置を提供するものである。
【0007】
また、本発明は、従来の混合セルで拡散のみによって液体を混合する場合と比較して、複数の液体を混合する混合槽の大きさを小さくすることが可能となり、デバイスを小型化することが可能な化学分析方法および装置を提供するものである。
さらに、本発明は、一枚の基板で同時に並列的に実施可能な化学反応の数を多くし、化学分析の効率を向上させることができる化学分析方法および装置を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明の第一の発明は、基板上に流路、流体素子および検出素子を有し、前記基板上で複数の液体を用いて化学分析および化学合成を行う化学分析方法において、前記複数の液体を気泡の膨張と収縮を利用して撹拌して混合することを特徴とする化学分析方法である。
【0009】
本発明の第二の発明は、基板上に流路、流体素子および検出素子を有し、前記基板上で複数の液体を用いて化学分析および化学合成を行う化学分析装置において、前記複数の液体を気泡の膨張と収縮を利用して撹拌して混合する混合手段を有することを特徴とする化学分析装置である。
【0010】
本発明の化学分析装置は、前記混合手段が複数の液体を混合するための混合槽と、該混合槽に設けられ少なくとも1つの発熱体素子を有し、該発熱体素子により気泡を発生し、該気泡の膨張と収縮を用いて前記液体を攪拌することを特徴とする。
【0011】
次に、本発明の化学分析方法および装置の好ましい実施態様を示す。
前記複数の液体を混合するための混合槽を有し、該混合槽に少なくとも1つの発熱体素子が設けられ、該発熱体素子により気泡を発生し、該気泡の膨張と収縮を用いて前記液体を攪拌することが好ましい。
【0012】
前記混合槽を構成する面のうち最も面積が広い面の全領域に発熱体素子が配置されていることが好ましい。
複数の発熱体素子を有し、該複数の発熱体素子を独立に駆動することが可能なことが好ましい。
【0013】
前記混合槽に複数の液体を導入するための流路、および前記混合槽で混合した液体を混合槽から他の槽に導入するための流路を有し、前記流路に液体の流れを制御するための弁を備えていることが好ましい。
前記流路に形成された全ての弁を閉状態にして、前記混合槽において液体を混合することが好ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
図1は本発明の化学分析装置の実施形態の一例を示す概念図である。図1に示す化学分析装置は、基板101上に設けられた試料注入槽102、混合槽103、試料注入槽102と混合槽103を接続する流路104および混合槽103で混合した液体を、反応・分析を行う槽に導入するための流路105を有する。各試料注入槽102から注入された複数の液体試料は、流路104を流れて混合槽103に導入される。複数の液体試料は混合槽103において混合され、流路105を介して反応、分析槽(不図示)へ送液される。各槽及び流路は、基板上に天板(不図示)を張り合わせることにより密閉されている。天板の試料注入槽上の部分には、試料を注入するための試料注入口(不図示)が形成されている。
【0015】
本発明の化学分析装置は、複数の液体を混合するための混合槽103と、該混合槽103に設けられ少なくとも1つの発熱体素子106を有する混合手段107が設けられている。混合槽103の底面には、一様な間隔で複数の発熱体素子106が設けられており、それぞれ独立に駆動できるようになっている。
【0016】
発熱体素子106は薄膜抵抗体と該薄膜抵抗体にパルス電圧を印加するための配線(不図示)よりなる。混合槽に液体が導入された状態で、薄膜抵抗体にパルス電圧を印加し、膜沸騰が生じる温度まで温度を急激に上昇させることにより気泡が発生する。発生した気泡は、急激に膨張する。膨張した気泡は、やがて収縮に転じ、さらに時間がたつと消滅する。気泡が発生してから消滅するまでに要する時間は数μsec〜20μsec程度であり、最大10数kHz程度の繰り返し周波数で、気泡の膨張と収縮を繰り返すことが可能である。本発明では、従来の液体の拡散に加えて、気泡の膨張と収縮を繰り返すことにより、混合槽内の液体を攪拌し、従来技術と比較して効率良く混合することが可能となる。
【0017】
また、パルス電圧の大きさまたはパルス幅を制御することによって気泡の大きさを変化させることができる。それによって、例えば液体の種類によって異なる、最適なパルス電圧の大きさまたはパルス幅に設定することが可能であり、また、混合しているときにパルス電圧の大きさまたはパルス幅を変化させることによって、効率よく混合することが可能となる。
【0018】
発熱体素子の構成の具体例を図7に示す。発熱体素子701は、基板705上に形成されており、薄膜抵抗体703の上下両面を絶縁体の保護層702で挟んだ構成となている。薄膜抵抗体703の材質としては、金属材料、導電性を持たせたシリコン等の半導体が挙げられる。保護層702により、薄膜抵抗体の表面を化学反応から保護することが可能である。保護層702の材質としては、薬品耐性が高いものが好ましい。例えば、SiO2やSi3N4等の絶縁材料、Ta等の金属材料が挙げられる。また、薄膜抵抗体の両端は、保護層702に形成したコンタクトホールを介して電極704に電気的に接続されている。電極704を介して薄膜抵抗体の両端にパルス電圧を印加することにより、気泡を発生させることができる。基板702と発熱体素子701の間には蓄熱層705が形成されており、発熱体素子で発生した熱が基板705に散逸するのを防ぐことができる。これにより効率良く気泡を発生させることが可能となる。
【0019】
発熱体素子は混合槽で液体に接触していればよく、その設置位置に特に制限はないが、例えば混合槽の底面および壁面に設置することが好ましい。攪拌、混合の効率を考慮すると、混合槽を構成する面の全領域にわたって一様に配置することが好ましい。混合槽を構成する面の全領域にわたって発熱体素子を形成することが困難な場合は、該面のうち最も面積の広い面、例えば底面の全領域にわたって配置することが好ましい。
【0020】
発熱体素子を複数配置する場合は、それぞれの発熱体素子を独立に駆動可能にすることが好ましい。それにより、例えば隣り合った発熱体素子を交互に駆動したり、また混合槽の中心部の発熱体素子と外周部の発熱体素子を交互に駆動する等、混合槽の形状や混合する液体の状況に応じた駆動形態が可能となる。これにより、さらに液体の攪拌、混合の効率を向上させることが可能となる。
【0021】
図2は本発明の化学分析装置の実施形態の他の例を示す概念図である。図2に示す本発明の別の実施形態においては、試料注入槽202と混合槽203を連結する流路204および混合槽203で混合した液体を反応、分析槽に送液する流路205中に弁207および弁208をそれぞれを設けてある。図2に示した化学分析システムにおいては、混合槽203の液体を混合する場合、弁207および弁208を閉状態にし混合槽203を完全に孤立させた状態で、気泡の膨張と収縮を繰り返す。これにより、気泡の膨張と収縮に伴う混合槽203中の液体の流路204および流路205への移動が無くなるので、流路に弁が無く開放されている場合と比較して効率良く液体を混合することが可能となる。液体の混合が十分になされた後、弁208を開放することにより、混合した液体を反応、分析槽に送液することができる。
【0022】
図5は、本発明の化学分析装置の一例を示す概略図である。図5は、基板501、試料注入槽502−504、流路505、混合槽506、分離部507、流体素子である弁508−510およびポンプ511、検出部512からなる。混合槽505の底面には、発熱体素子513が形成されている。図5の化学分析装置では、例えば試料注入槽502より分析したい試料を導入し、試料注入槽503より移動相(キャリア相)を導入する。移動相、キャリア層の流量は、弁508および弁509を開閉することにより調整しても良い。導入された移動相およびキャリア相は、混合槽505において混合する。このとき、発熱体素子513を駆動し気泡の膨張と収縮を繰り返すことにより混合する。混合した液体は、ポンプ511により分離部に送液され、ここで成分ごとに分離される。分離の方法としては、例えば液体クロマトグラフィ法、電気泳動法等が挙げられる。成分ごとに分離された試料は、検出部512において検出される。検出の方法としては、例えば電気化学的検出、蛍光を用いた検出が挙げられる。検出された試料は、廃液として基板外に排出される。なお、図5においてはシステムを外気から遮断するための遮断部は省略してある。
【0023】
【実施例】
以下、実施例を用いて本発明を、より詳細に説明する。なお実施例中における、寸法、形状、材質、作製プロセス条件は、一例であり、本発明の要件を満たす範囲内であれば、設計事項として任意に変更することができる。
【0024】
実施例1
本実施例では、化学分析装置を作製し、作製した化学分析装置を用いて液体の混合を行った。
図3に本実施例の化学分析装置を示す。図3(a)は化学分析装置の平面図であり、図3(b)は、図3(a)におけるA−A’線断面図である。本実施例の化学分析装置は、図3に示したように、表面にSiO2 膜309を形成したシリコン基板(たて25mm、よこ30mm)301上に、試料注入槽302および混合槽303および試料注入槽302と混合槽303を接続する流路304および混合槽で混合した液体を反応・分析槽に導入するための流路305より構成される。混合槽303の底面には、発熱体素子306が形成されている。各槽は、ガラス基板307により密閉されており、ガラス基板307には、試料注入槽302に試料を注入するための試料注入口308が設けられている。
【0025】
次に、本実施例の化学分析装置の作製方法を説明する。図4は本実施例の化学分析装置の作製工程を示す工程図である。
まず、シリコン基板401上に、熱酸化によりSiO2 膜402を1.0μmの厚さに形成した。SiO2 膜402は、発熱体素子403で発生した熱が基板401側に散逸するのを防ぎ、発熱体素子403で発生した熱を、気泡の形成に有効に活用する役割をする。SiO2 膜402の上に、薄膜抵抗体と保護層と該薄膜抵抗体にパルス電圧を印加するための電極よりなる発熱体素子403を形成した。薄膜抵抗体の材質には、P(リン)イオンをドープして導電性を持たせた多結晶シリコンを用いた。薄膜抵抗体の表面は保護層であるSiN膜(不図示)で覆われた構造となっている(図4(a))。
【0026】
次に、試料注入槽404および混合槽405となる貫通孔および流路406および流路407となる溝をドライエッチングによって形成したシリコン基板408と、発熱体素子403を形成したシリコン基板401とを、エポキシ系の接着剤を用いて貼りあわせた。このとき、発熱体素子403が混合槽405内に配置されるように位置合わせを行った(図4(b))。
【0027】
次に、試料注入口409をエッチングにより形成したガラス基板410を、陽極接合を用いてシリコン基板408に接合した。このとき、試料注入口409が試料注入槽404の上に配置されるように位置合わせを行った(図4(c))。
以上の作製工程により、本実施例の化学分析装置が完成した。
【0028】
図3の化学分析装置を用いて、液体A(濃度10%のアンモニア水溶液)と液体B(エタノールおよび水にフェノールフタレインを溶解した溶液(50mlのエタノールおよび50mlの水に0.5gのフェノールフタレインを溶解することにより調製。))の二液を混合する実験を実施した。上記溶液Aと溶液Bは、混合前は透明だが、混合することによりピンク色に変色する。試料注入口308にシリコンチューブを接続し、該シリコンチューブを介してポンプを用いて、各液体を試料注入槽302に注入した。各液体は、流路304を介して混合槽303に導入され、混合槽303において接触した。この状態で発熱体素子306を駆動し、混合槽303内で気泡の膨張と収縮を繰り返し行うことにより、液体を攪拌、混合した。これにより透明だった液体は、ピンク色に変色した。比較のため、同様の混合を発熱体素子306を駆動せずに実施したところ、発熱体素子を駆動した場合と比較して、混合溶液がピンク色に変色するまでに長い時間を要した。
【0029】
液体としては、上記の他にも水やアルコールを溶媒とした溶液を用いることができる。また、温度を急速に上昇させることにより、膜沸騰を生じさせることが可能な溶液であれば液体試料として用いることができる。本実施例の化学分析装置は、例えば酸化還元反応や付加反応のような化学反応のほか、DNAやタンパク質のような生体成分を用いた生化学反応にも用いることができる。
【0030】
本実施例では、混合槽内において気泡の膨張と収縮を利用して液体を混合した。これにより、気泡を利用しないで拡散のみで混合する場合と比較して、液体を効率よく一様に混合することができた。また、従来技術の化学分析システムと比較して、混合槽の大きさを小さくすることができた。
【0031】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明の化学分析方法および装置では、混合槽中に発熱体素子を配置し、該発熱体素子の膨張と収縮により液体を攪拌、混合することにより、複数の液体を効率良く一様に混合することが可能となった。また、拡散のみによって液体を混合する場合と比較して、混合槽の大きさを小さくすることが可能となり、デバイスを小型化することが可能となった。これにより、一枚の基板中に形成可能なデバイスの数が多くなり、一枚の基板で同時に並列して実施可能な化学反応の数が増え、分析、実験を効率良く実施することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の化学分析装置の実施形態の一例を示す概念図である。
【図2】本発明の化学分析装置の実施形態の他の例を示す概念図である。
【図3】本発明の実施例の化学分析装置を示す概念図である。
【図4】本実施例の化学分析装置の作製工程を示す工程図である。
【図5】本発明の化学分析装置の一例を示す概略図である。
【図6】従来技術の化学分析システム(マイクロリアクタ)を示す概略図である。
【図7】発熱体素子の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
101,501,705 基板
102,202,302,404,502,503,504 試料注入槽
103,203,303,405,506 混合槽
104,105,204,205,304,305,406,407,505流路
106,206,306,403,513,701 発熱体素子
107 混合手段
207,208,508,509,510 弁
301,401,408 シリコン基板
307,410 ガラス基板
308,409 試料注入口
309,402 SiO2 膜
507 分離部
511 ポンプ
512 検出部
702 保護層
703 薄膜抵抗体
704 電極
Claims (15)
- 基板上に流路、流体素子および検出素子を有し、前記基板上で複数の液体を用いて化学分析および化学合成を行う化学分析方法において、前記複数の液体を気泡の膨張と収縮を利用して撹拌して混合することを特徴とする化学分析方法。
- 前記複数の液体を混合するための混合槽を有し、該混合槽に少なくとも1つの発熱体素子が設けられ、該発熱体素子により気泡を発生し、該気泡の膨張と収縮を用いて前記液体を攪拌することを特徴とする請求項1に記載の化学分析方法。
- 前記混合槽を構成する面のうち最も面積が広い面の全領域に発熱体素子が配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の化学分析方法。
- 複数の発熱体素子を有し、該複数の発熱体素子を独立に駆動することが可能なことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかの項に記載の化学分析方法。
- 前記混合槽に複数の液体を導入するための流路、および前記混合槽で混合した液体を混合槽から他の槽に導入するための流路を有し、前記流路に液体の流れを制御するための弁を備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかの項に記載の化学分析方法。
- 前記流路に形成された全ての弁を閉状態にして、前記混合槽において液体を混合することを特徴とする請求項5に記載の化学分析方法。
- 前記発熱体素子にパルス電圧をかけることで前記気泡を発生させることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の化学分析方法。
- 前記パルス電圧の大きさを制御することにより、前記気泡の大きさを変化させることを特徴とする請求項7記載の化学分析方法。
- 前記パルス電圧のパルス幅を制御することにより前記気泡の大きさを変化させることを特徴とする請求項7記載の化学分析方法。
- 基板上に流路、流体素子および検出素子を有し、前記基板上で複数の液体を用いて化学分析および化学合成を行う化学分析装置において、前記複数の液体を気泡の膨張と収縮を利用して撹拌して混合する混合手段を有することを特徴とする化学分析装置。
- 前記混合手段が複数の液体を混合するための混合槽と、該混合槽に設けられ少なくとも1つの発熱体素子を有し、該発熱体素子により気泡を発生し、該気泡の膨張と収縮を用いて前記液体を攪拌することを特徴とする請求項10に記載の化学分析装置。
- 前記混合槽を構成する面のうち最も面積が広い面の全領域に発熱体素子が配置されていることを特徴とする請求項10または11に記載の化学分析装置。
- 複数の発熱体素子を有し、該複数の発熱体素子を独立に駆動することが可能なことを特徴とする請求項10乃至12のいずれかの項に記載の化学分析装置。
- 前記混合槽に複数の液体を導入するための流路、および前記混合槽で混合した液体を混合槽から他の槽に導入するための流路を有し、前記流路に液体の流れを制御するための弁を備えていることを特徴とする請求項10乃至13のいずれかの項に記載の化学分析装置。
- 前記流路に形成された全ての弁を閉状態にして、前記混合槽において液体を混合することを特徴とする請求項14に記載の化学分析装置。
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