JP2004048057A - 窒化インジウムガリウム半導体の成長方法 - Google Patents
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Abstract
【目的】 高品質で結晶性に優れたInGaNの成長方法を提供する。
【構成】 本発明は、基板に原料ガスを供給するキャリアガスと、前記原料ガスを基板面に押圧する不活性ガスを用いて、窒化インジウムガリウム半導体を成長させる方法に関する。特に、前記基板上に窒化ガリウム層を成長させた後、前記キャリアガスと前記不活性ガスを共に窒素として、前記窒化ガリウム層の上に、600℃より高い成長温度で、一般式InXGa1−XN(但し、Xは0<X<0.5)で表される窒化インジウムガリウム半導体を成長させることを特徴とする。
【選択図】 図2
【構成】 本発明は、基板に原料ガスを供給するキャリアガスと、前記原料ガスを基板面に押圧する不活性ガスを用いて、窒化インジウムガリウム半導体を成長させる方法に関する。特に、前記基板上に窒化ガリウム層を成長させた後、前記キャリアガスと前記不活性ガスを共に窒素として、前記窒化ガリウム層の上に、600℃より高い成長温度で、一般式InXGa1−XN(但し、Xは0<X<0.5)で表される窒化インジウムガリウム半導体を成長させることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
本発明は青色発光ダイオード、青色レーザーダイオード等に使用される窒化インジウムガリウム半導体の成長方法に関する。
青色ダイオード、青色レーザーダイオード等に使用される実用的な半導体材料として窒化ガリウム(GaN)、窒化インジウムガリウム(InGaN)、窒化ガリウムアルミニウム(GaAlN)等の窒化ガリウム系化合物半導体が注目されており、その中でもInGaNはバンドギャップが2eV〜3.4eVまであるため非常に有望視されている。
従来、有機金属気相成長法(以下MOCVD法という。)によりInGaNを成長させる場合、成長温度500℃〜600℃の低温で、サファイア基板上に成長されていた。なぜなら、InNの融点はおよそ500℃、GaNの融点はおよそ1000℃であるため、600℃以上の高温でInGaNを成長させると、InGaN中のInNの分解圧がおよそ10気圧以上となり、InGaNがほとんど分解してしまい、形成されるものはGaのメタルとInのメタルの堆積物のみとなってしまうからである。従って、InGaNを成長させようとする場合は成長温度を低温に保持しなければならなかった。
このような条件の下で成長されたInGaNの結晶性は非常に悪く、例えば室温でフォトルミネッセンス測定を行っても、バンド間発光はほとんど見られず、深い準位からの発光がわずかに観測されるのみであり、青色発光が観測されたことはなかった。しかも、X線回折でInGaNのピークを検出しようとしてもほとんどピークは検出されず、その結晶性は、単結晶というよりも、アモルファス状結晶に近いのが実状であった。つまり、発光デバイスとして使用できるようなInGaNの成長に成功したという報告は未だされておらず、また当然InGaNにn型あるいはp型不純物をドープしたという報告もされていない。
青色発光ダイオード、青色レーザーダイオード等の青色発光デバイスを実現するためには、高品質で優れた結晶性を有するInGaNの実現が強く望まれている。よって、本発明はこの問題を解決するべくなされたものであり、その目的とするところは、高品質で結晶性に優れたInGaNの成長方法を提供するものである。
我々はInGaNを成長するに当たり、600℃よりも高い温度で、GaNの上に、In混晶比が0より大きく、0.5より少ない範囲のInGaNを成長させることにより、結晶性よく成長させることに成功し、本発明をなすに至った。
即ち、本発明は、基板に原料ガスを供給するキャリアガスと、前記原料ガスを基板面に押圧する不活性ガスを用いて、窒化インジウムガリウム半導体を成長させる方法に関する。特に、前記基板上に窒化ガリウム層を成長させた後、前記キャリアガスと前記不活性ガスを共に窒素として、前記窒化ガリウム層の上に、600℃より高い成長温度で、一般式InXGa1−XN(但し、Xは0<X<0.5)で表される窒化インジウムガリウム半導体を成長させることを特徴とする。また、前記窒化ガリウム層が、キャリアガスとして水素を用いて成長されることを特徴とする。また、前記窒化ガリウム層が、不活性ガスとして水素と窒素を用いて成長されることを特徴とする。また、前記窒化ガリウム層に、n型不純物がドープされていることを特徴とする。また、前記窒化ガリウム層は、そのガリウムの一部をアルミニウムで置換した窒化ガリウムアルミニウム層であることを特徴とする。
MOCVD法による本発明の成長方法において、原料ガスには、例えばGa源としてトリメチルガリウム{Ga(CH3)3:TMG}、トリエチルガリウム{Ga(C2H5)3:TEG}、窒素源としてアンモニア(NH3)、ヒドラジン(N2H4)、インジウム源としてトリメチルインジウム{In(CH3)3:TMI}、トリエチルインジウム{In(C2H5)3:TEI}等を用いることができる。
p型不純物としては、例えばCd、Zn、Be、Mg、Ca、Sr、Baよりなる群のうちの少なくとも一種を挙げることができ、例えばジエチルカドミウム(C2H5)2Cd、ジメチルカドミウム(CH3)2Cd、シクロペンタジエニルマグネシウムCp2Mg、ジエチルジンク等のp型不純物を含む有機金属化合物ガスを使用することができる。その中でも特に原料の有機金属化合物ガスソースを入手しやすい関係から、好ましくCd、Zn、Mgが使用できる。
p型不純物濃度は1×1016/cm3以上、1×1022/cm3以下の範囲でドープすることが好ましい。1×1016/cm3より少ないと、あまり青色発光強度の増加が見られず、1×1022/cm3より多いとInGaNの結晶性が悪くなる傾向にある。
また、成長中に供給する原料ガス中のインジウム源のガスのインジウムのモル比は、ガリウム1に対し、好ましくは0.1以上、さらに好ましくは1.0以上に調整することが好ましい。インジウムのモル比が0.1より少ないと、InGaNの混晶が得にくく、結晶性が悪くなる傾向にある。本発明の成長方法は600℃より高い温度でInGaNを成長させるため、多少なりともInNの分解が発生する。従ってInNがGaN結晶中に入りにくくなるため、好ましくその分解分よりもインジウムを多く供給することによって、InNをGaNの結晶中に入れることができる。従って、インジウムのモル比は高温で成長するほど多くする方が好ましく、例えば、900℃前後の成長温度では、インジウムをガリウムの10〜50倍程度供給することにより、X値を0.5未満とするInXGa1-XNを得ることができる。
成長温度は600℃より高い温度であればよく、好ましくは700℃以上、900℃以下の範囲に調整する。600℃以下であると、GaNの結晶が成長しにくいため、InGaNの結晶ができにくく、できたとしても従来のように結晶性の悪いInGaNとなる。また、900℃より高い温度であるとInNが分解しやすくなるため、InGaNがGaNになりやすい傾向にある。
供給するインジウムガスのモル比、成長温度は目的とするInXGa1-XNのX値0<X<0.5の範囲において、適宜変更できる。例えばInを多くしようとすれば650℃前後の低温で成長させるか、または原料ガス中のInのモル比を多くすればよい。Gaを多くしようとするならば900℃前後の高温で成長させればよい。しかしながら、結晶性に優れたInXGa1-XNが得られるX値は0<X<0.5の範囲にあり、またX値を0.5以上とするInXGa1-XNを発光ダイオード等の発光デバイスの発光素子とした場合、その発光波長は黄色の領域にあり、青色として使用し得るものではないため、X値は0.5未満を限定理由とした。
図1および図2は、それぞれ基板上に形成されたGaN層の上にCdをドープしたIn0.14Ga0.86N層を形成したウエハー、同じくGaN層の上にノンドープのIn0.14Ga0.86N層を形成したウエハーに、10mWのHe−Cdレーザーを照射して、そのフォトルミネッセンスのスペクトルを測定した図である。
図1に示すように、p型不純物であるCdをドープすることにより、In0.14Ga0.86N層は480nm付近に強い青色発光を示している。これに対し図2のp型不純物をドープしないIn0.14Ga0.86N層は400nm付近の紫色発光を示す。またこれらの図はCdについて測定されたものであるが、同様に他のp型不純物例えばZn、Be、Mg、Ca、Sr、Ba等に金属についても同様の傾向があることを確認した。このようにInGaNにp型不純物をドープすることにより、その発光波長を長くして、視感度を向上させる作用がある。
さらに、p型不純物をドープすることにより、ドープしないものに比較して、フォトルミネッセンス強度を飛躍的に増大させることができる。これは、p型不純物によりInGaN中に青色発光中心ができ、青色発光強度が増加していることを顕著に示すものである。図1はそれを示す図であり、図1の400nm付近に現れている微弱なピークはノンドープのIn0.14Ga0.86Nのバンド間発光のピークであり、即ち図2のピークと同一である。これより、図1は図2と比較して50倍以上発光強度が増大していることがわかる。
また本発明の成長方法において、600℃より高い成長温度で、GaNの上にInGaNを成長させることにより高品質なInGaNを得ることができる。このGaNのGaの一部をAlで置換してもよく、さらにGaNにSi、Ge等のn型不純物をドープしてもよく、本発明の範囲内である。
以下、図面を元に本発明の成長方法を詳説する。
図3は本発明の成長方法に使用したMOCVD装置の主要部の構成を示す概略断面図であり、反応部の構造、およびその反応部と通じるガス系統図を示している。1は真空ポンプおよび排気装置と接続された反応容器、2は基板を載置するサセプター、3はサセプターを加熱するヒーター、4はサセプターを回転、上下移動させる制御軸、5は基板に向かって斜め、または水平に原料ガスを供給する石英ノズル、6は不活性ガスを基板に向かって垂直に供給することにより、原料ガスを基板面に押圧して、原料ガスを基板に接触させる作用のあるコニカル石英チューブ、7は基板である。TMG、TMI等の有機金属化合物ソース、およびジエチルカドミウム、ジメチルカドミウム、シクロペンタジエニルマグネシウム、ジエチルジンク等のp型不純物有機金属化合物ソースはTMG、TMIと同様に微量のバブリングガスによって気化され、メインガスであるキャリアガスによって反応容器内に供給される。
図3は本発明の成長方法に使用したMOCVD装置の主要部の構成を示す概略断面図であり、反応部の構造、およびその反応部と通じるガス系統図を示している。1は真空ポンプおよび排気装置と接続された反応容器、2は基板を載置するサセプター、3はサセプターを加熱するヒーター、4はサセプターを回転、上下移動させる制御軸、5は基板に向かって斜め、または水平に原料ガスを供給する石英ノズル、6は不活性ガスを基板に向かって垂直に供給することにより、原料ガスを基板面に押圧して、原料ガスを基板に接触させる作用のあるコニカル石英チューブ、7は基板である。TMG、TMI等の有機金属化合物ソース、およびジエチルカドミウム、ジメチルカドミウム、シクロペンタジエニルマグネシウム、ジエチルジンク等のp型不純物有機金属化合物ソースはTMG、TMIと同様に微量のバブリングガスによって気化され、メインガスであるキャリアガスによって反応容器内に供給される。
まず、よく洗浄したサファイア基板7をサセプター2にセットし、反応容器内を水素で十分置換する。
次に、石英ノズル5から水素を流しながらヒーター3で温度を1050℃まで上昇させ、20分間保持してサファイア基板7のクリーニングを行う。
続いて、温度を510℃まで下げ、石英ノズル5からアンモニア(NH3)4リットル/分と、キャリアガスとして水素を2リットル/分で流しながら、TMGを27×10−6モル/分流して1分間保持してGaNバッファー層を約200オングストローム成長する。この間、コニカル石英チューブ7からは水素を10リットル/分と、窒素を10リットル/分とで流し続け、サセプター2をゆっくりと回転させる。
バッファ層成長後、TMGのみ止めて、温度を1030℃まで上昇させる。温度が1030℃になったら、同じく水素をキャリアガスとしてTMGを54×10−6モル/分で流して30分間成長させ、GaN層を2μm成長させる。
GaN層成長後、温度を830℃にして、キャリアガスを窒素に切り替え、窒素を2リットル/分、TMGを2×10-6モル/分、TMIを24×10-6モル/分、アンモニアを4リットル/分、およびジエチルカドミウムを4×10-6モル/分で流しながら、CdドープInGaN層を60分間で約0.1μmの膜厚で成長させる。なお、この間、コニカル石英チューブ7から供給するガスも窒素のみとし、20リットル/分で流し続ける。
以上のようにして得られたInGaN層のX線ロッキングカーブを取ると、In0.14Ga0.86Nの組成を示すところにピークを有しており、その半値幅は約6分であった。またこのIn0.14Ga0.86N層にHe−Cdレーザーを照射して、フォトルミネッセンスのスペクトルを測定すると、図1に示すように、400nm付近に微弱なIn0.14Ga0.86Nのバンド間発光が見られ、480nm付近にCdによる強い発光が検出された。
GaN層成長後、成長温度を810℃にする他は実施例1と同様にしてCdドープInGaN層を成長させた。
得られたInGaN層にHe−Cdレーザーを照射してそのフォトルミネッセンスを測定すると、490nm付近に強い発光ピークを有しており、X線ロッキングカーブを測定すると、In0.16Ga0.84Nの組成を示すところにピークを有しており、その半値幅は同じく6分であった。
実施例1のバッファ層成長後、TMGのみ止めて、温度を1030℃まで上昇させる。温度が1030℃になったら、同じく水素をキャリアガスとしてTMGを54×10−6モル/分、TMAを6×10-6モル/分で流して30分間成長させ、Ga0.9Al0.1N層を2μm成長させる他は実施例1と同様にしてGa0.9Al0.1N層の上にCdドープInGaN層を成長させた。その結果、得られたInGaN層のX線ロッキングカーブを取ると、In0.14Ga0.86Nの組成を示すところにピークを有しており、その半値幅は同じく6分であった。またこのIn0.14Ga0.86N層のフォトルミネッセンスのスペクトルを測定すると、同じく400nm付近にIn0.14Ga0.86Nのバンド間発光が見られ、480nm付近にCdによる強い発光が検出された。
GaN層成長後、ジエチルカドミウムを流さない他は、実施例1と同様にしてノンドープIn0.14Ga0.86N層を約0.1μmの膜厚で成長させた。このInGaNのフォトルミネッセンスのスペクトルは図2に示すように400nm付近にのみ発光が見られ、480nm付近の青色発光は観測できなかった。なお、この400nmの紫色の発光強度は、実施例1の480nmの発光強度の1/50であった。
以上説明したように本発明の成長方法によると、従来では不可能であったInGaN層の単結晶を成長させることができ、さらにp型不純物をInGaNにドープして成長することにより、450nm〜490nm領域で発光させることが可能となり、視感度を良くすることができる。従って本発明のInGaNを青色レーザー、青色発光ダイオード等の発光デバイスの発光素子として利用した場合、樹脂モールドに蛍光染料、着色剤等を添加して波長を変換する必要がない。また、実施例2に示すようにInXGa1-XNのInのモル比Xを0<X<0.5の範囲で変えることにより430nm〜550nmの範囲でInGaNの発光波長を変えることもできる。
さらに、本発明により実用的なInGaNが得られるため、将来開発される青色発光デバイスに積層される半導体材料をダブルへテロ構造にでき、青色レーザーダイオードが実現可能となり、その産業上の利用価値は大きい。
1・・・反応容器
2・・・サセプター
3・・・ヒーター
4・・・制御軸
5・・・石英ノズル
6・・・コニカル石英チューブ
7・・・基板
2・・・サセプター
3・・・ヒーター
4・・・制御軸
5・・・石英ノズル
6・・・コニカル石英チューブ
7・・・基板
Claims (5)
- 基板に原料ガスを供給するキャリアガスと、前記原料ガスを基板面に押圧する不活性ガスを用いて、窒化インジウムガリウム半導体を成長させる方法であって、
前記基板上に窒化ガリウム層を成長させた後、前記キャリアガスと前記不活性ガスを共に窒素として、前記窒化ガリウム層の上に、600℃より高い成長温度で、一般式InXGa1−XN(但し、Xは0<X<0.5)で表される窒化インジウムガリウム半導体を成長させることを特徴とする窒化インジウムガリウム半導体の成長方法。 - 前記窒化ガリウム層が、キャリアガスとして水素を用いて成長されることを特徴とする請求項1に記載の窒化インジウムガリウム半導体の成長方法。
- 前記窒化ガリウム層が、不活性ガスとして水素と窒素を用いて成長されることを特徴とする請求項1又は2に記載の窒化インジウムガリウム半導体の成長方法。
- 前記窒化ガリウム層に、n型不純物がドープされていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の窒化インジウムガリウム半導体の成長方法。
- 前記窒化ガリウム層は、そのガリウムの一部をアルミニウムで置換した窒化ガリウムアルミニウム層であることを特徴とする請求項1乃至4に記載の窒化インジウムガリウム半導体の成長方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003331721A JP2004048057A (ja) | 1992-11-20 | 2003-09-24 | 窒化インジウムガリウム半導体の成長方法 |
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JP2006261409A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Samco Inc | 多層薄膜製造装置 |
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2003
- 2003-09-24 JP JP2003331721A patent/JP2004048057A/ja active Pending
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JP2006261409A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Samco Inc | 多層薄膜製造装置 |
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