JP2004045835A - 回転揺動溶接方法及びその装置 - Google Patents
回転揺動溶接方法及びその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004045835A JP2004045835A JP2002204114A JP2002204114A JP2004045835A JP 2004045835 A JP2004045835 A JP 2004045835A JP 2002204114 A JP2002204114 A JP 2002204114A JP 2002204114 A JP2002204114 A JP 2002204114A JP 2004045835 A JP2004045835 A JP 2004045835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- collar
- welding
- element module
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】発光素子や受光素子のような光能動素子と光ファイバを接続するために、光素子モジュールの溶接強度を増すと共に、調芯後の位置精度を保ちながら溶接することを目的とする。
【解決手段】本発明は、光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを突き合わせて光素子と光ファイバの光軸調整をしながら、前記容器と前記カラーとを溶接する光素子モジュールの製造方法において、軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記軸を中心とする回転揺動を発生させる回転揺動溶接方法を用いることによって解決する。
【選択図】 図7
【解決手段】本発明は、光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを突き合わせて光素子と光ファイバの光軸調整をしながら、前記容器と前記カラーとを溶接する光素子モジュールの製造方法において、軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記軸を中心とする回転揺動を発生させる回転揺動溶接方法を用いることによって解決する。
【選択図】 図7
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶接手段として超音波による回転揺動を用いる回転揺動溶接方法、回転揺動溶接装置、光素子モジュールの製造方法、光素子モジュールの製造装置、及び光素子モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】
発光素子や受光素子のような光能動素子と光ファイバを接続するために、光素子モジュールが利用される。発光素子を封止した光素子モジュールの構造例を図1に示す。図1において、81は光素子モジュールパッケージ、82は光ファイバの端部を固定する固定用カラー、83は光ファイバ、84は発光素子、85はレンズ、86は外部電極、87は光素子モジュールキャップである。光素子モジュールパッケージ81の内部に発光素子84、レンズ85が固定され、光素子モジュールキャップ87によって気密封止されている。図1では、光素子モジュールパッケージ81は下半分だけを表示しているが、実際は光素子モジュールパッケージ81の全体を覆っている。発光素子84との電気的接続は外部電極86を介して行われる。発光素子84からの出力光を外部に導出するために、光ファイバ83が光素子モジュールパッケージ81に導かれ、発光素子84の出力光が、レンズ85によって光ファイバ83に結合される。光ファイバ83は固定用カラー82によって光パッケージ側の端部を固定されている。当該光ファイバ83は、固定用カラー82で補強されている。固定用カラー82は固定用カラーのフランジを溶接して光素子モジュールパッケージ81に固定される。
【0003】
固定用カラーを光素子モジュールパッケージに溶接して固定する方法を図2に示す。図2(a)は固定用カラーを光素子モジュールパッケージに溶接して固定する様子を光素子モジュールキャップの上面方向から見た外観図、図2(b)は固定用カラーを光素子モジュールパッケージに溶接して固定する様子を光ファイバの側から見た外観図である。図2(a)、図2(b)において、81は光素子モジュールパッケージ、82は固定用カラー、83は光ファイバ、87は光素子モジュールキャップ、88a、88b、88cはそれぞれ溶接用レーザ、89はナゲットである。光素子モジュールパッケージ81に対して固定用カラー82を対向させ、光ファイバ83からの出力光をモニターしながら、出力光が最大になるように固定用カラー82を位置合わせ(調芯)する。次に、固定用カラー82のフランジ部分と光素子モジュールパッケージ81の接合面に向けて溶接用レーザ88a、88b、88cをそれぞれ3方向から照射し、溶接接合する。図2(b)に示すように、溶接用レーザ88a、88b、88cは、溶接周囲に対して120度間隔溶で、かつ接点までの距離も均等に配置されている。また、それぞれの出力も均等になるように調節されている。3方向からレーザ照射された光素子モジュールパッケージ81には、溶接によってそれぞれナゲット89が3箇所に形成される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
固定用カラーを光素子モジュールパッケージにレーザ溶接して固定する際に、部品の精度誤差、レーザ出力のアンバランス、部品の反射率ばらつきなどにより溶接が不均一に行われ、溶接部がズレを起こすことがある。溶接部がズレを起こした例を図3に示す。図3において、81は光素子モジュールパッケージ、82は固定用カラー、88a、88b、88cはそれぞれ溶接用レーザである。溶接用レーザ88cの出力レベルが他の溶接用レーザ88a、88bよりも弱い場合、レーザ照射時に出来たナゲットが冷えて固まるときに、固定用カラー82が溶接用レーザ88cと反対方向に引っ張られることがある。
【0005】
溶接様レーザ88cと反対方向に引っ張られると、発光素子から光ファイバへの結合効率が悪くなり、光ファイバからの出力光が減少してしまう。従来の技術ではこの溶接によるズレを完全になくすことができないため、溶接用レーザの照射方向を変えて、再度、レーザ照射を行う修正打ちを行ったり、機械的に固定用カラー82を変形させてズレを修正する処理をしていたりした。このため、作業工程数増大によるコストアップ、歩留まり低下によるコストアップ、修正打ちによるナゲット痕の増加など多くの問題を有している。
【0006】
本発明は、このような問題を解決するために、溶接強度を増すと共に、調芯後の位置精度を保ちながら溶接することを目的とする。また、ナゲット痕のない溶接を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本願発明は、軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記軸を中心とする回転揺動を発生させる回転揺動発生方法である。
【0008】
本願他の発明は、第一の部材の軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記第一の部材の軸を中心として前記第一の部材を回転揺動させ、前記第一の部材と第二の部材の接触面で発生する摩擦熱によって前記第一の部材と前期第二の部材を溶接する回転揺動溶接方法である。
【0009】
本願他の発明は、第一の部材の軸を中心とする円周の接線方向に、協同して振動する複数の超音波振動子と、該複数の超音波振動子の振動を変換して、前記第一の部材に、前記第一の部材の軸を中心とした回転揺動を与える回転揺動部と、第二の部材を保持して、回転揺動する前記第一の部材に接触させる保持部とを有する回転揺動溶接装置である。
【0010】
本願他の発明は、光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを突き合わせて光素子と光ファイバの光軸調整をしながら、前記容器と前記カラーとを溶接する光素子モジュールの製造方法において、溶接に回転揺動溶接方法を用いる光素子モジュールの製造方法である。
【0011】
本願他の発明は、光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを突き合わせて光素子と光ファイバの光軸調整をしながら、前記容器と前記カラーとを溶接する光素子モジュールの製造方法であって、前記カラーの軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記カラーの軸を中心として前記カラーを回転揺動させ、前記カラーと前記容器の接触面で発生する摩擦熱によって前記カラーと前記容器とを溶接する光素子モジュールの製造方法である。
【0012】
本願他の発明は、光ファイバの端部を固定するカラーと光素子を収容する容器とを突き合わせて光素子と光ファイバの光結合が最大になるように光素子と光ファイバの光軸調整をする調整部と、前記カラーの軸を中心とする円周の接線方向に協同して振動する複数の超音波振動子と、該複数の超音波振動子の振動を変換して、前記カラーに、前記カラーの軸を中心とした回転揺動を与える回転揺動部と、前記容器を保持して、回転揺動する前記カラーに接触させる保持部とを有する光素子モジュールの製造装置である。
【0013】
本願他の発明は、光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを接合した光素子モジュールであって、前記カラーの軸を中心として前記カラーを回転揺動させ、前記カラーと前記容器の接触面で発生する摩擦熱によって前記カラーと前記容器とを接合した光素子モジュールである。
【0014】
また、これらの発明において、2つの部材の間に押圧力を加えることによって、前記摩擦熱の発生を促すことも本願発明に含まれる。
【0015】
また、これらの発明において、前記超音波振動子の振動の波長及び位相のうちいずれか一方、又は双方を監視して、前記複数の超音波振動子の駆動信号を制御することも本願発明に含まれる。
【0016】
また、これらの発明において、前記第一の部材と前期第二の部材の接触面との間に、2つの部材のうちいずれか一方、又は双方よりも低い融点の溶接補助材を介在させることも本願発明に含まれる。
【0017】
ここで、回転揺動とは、軸を中心として時計回りと反時計回りの回転を交互に繰り返す往復運動をいう。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本願第1発明の実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
(実施の形態1)
本実施の形態は、超音波振動を利用した回転揺動方法とその装置である。回転揺動の発生方法を図4に示す。図4において、11a、11bは連結器、12a、12bはホーン、13a、13bは超音波振動子、14はチャック、15は溶接する部材である。超音波振動子13a、13bは駆動電源により、超音波振動を発生させる。ホーン12a、12bは超音波振動子13a、13bで発生した超音波振動を拡大する機能を持ち、例えば、チタンやステンレス等の金属、セラミックス等で構成される。図4(a)は超音波振動子を同一方向に、図4(b)は超音波振動子を反対方向にそれぞれ配設したものである。図4(a)、図4(b)において、溶接する部材15をチャック14で固定する。チャック14に取りつけた連結器11a、11bにそれぞれホーン12a、12bを連結する。溶接する部材15の軸の中心に対して部材15が回転揺動できるように、チャック14を配置し、また、チャック14が微小回転できるように、連結器11a、11bとホーン12a、12bをそれぞれ連結する。
【0019】
図4(a)に示す装置における回転揺動発生方法を図5(a)、図5(b)に、図4(b)に示す装置における回転揺動発生方法を図6(a)、図6(b)に示す。図5(a)はチャック14が把持した部材15を反時計回りに回転させる場合を示す。図5(a)において、超音波振動子13aに超音波振動子が伸びる方向に電圧をかける。この伸びの振幅をホーン12aが拡大して連結器11aに伝える。連結器11aはチャック14を部材15の軸の中心に対して反時計回りに押す方向に働く。一方、超音波振動子13bには超音波振動子が縮む方向に電圧をかける。この縮みの振幅をホーン12bが拡大して連結器11bに伝える。連結器11bはチャック14を部材15の中心に対して反時計回りに引く方向に働く。その結果、部材15はその軸の中心に対して反時計回りに回転することになる。
【0020】
チャック14が把持した部材15を時計回りに回転させる場合を図5(b)に示す。図5(b)において、超音波振動子13aに超音波振動子が縮む方向に電圧をかける。この縮みの振幅をホーン12aが拡大して連結器11aに伝える。連結器11aはチャック14を部材15の軸の中心に対して時計回りに引く方向に働く。一方、超音波振動子13bには超音波振動子が伸びる方向に電圧をかける。この伸びの振幅をホーン12bが拡大して連結器11bに伝える。連結器11bはチャック14を部材15の軸の中心に対して時計回りに押す方向に働く。その結果、部材15はその軸の中心に対して時計回りに回転することになる。
【0021】
超音波振動子が伸び縮みを繰り返すように、超音波振動子に高周波電圧を印加すると、図5(a)と図5(b)の動作を繰り返すことになる。即ち、部材15にその軸の中心に対して時計回りと反時計回りを交互に繰り返す回転揺動を与えることができる。
【0022】
図6(a)、図6(b)は図4(b)に示す装置における回転揺動発生方法である。図6(a)はチャック14が把持した部材15を反時計回りに回転させる場合を示す。図6(a)において、超音波振動子13aに超音波振動子が伸びる方向に電圧をかける。この伸びの振幅をホーン12aが拡大して連結器11aに伝える。連結器11aはチャック14を部材15の軸の中心に対して反時計回りに押す方向に働く。一方、超音波振動子13bにも超音波振動子が伸びる方向に電圧をかける。この伸びの振幅をホーン12bが拡大して連結器11bに伝える。連結器11bはチャック14を部材15の軸の中心に対して反時計回りに押す方向に働く。その結果、部材15はその軸の中心に対して反時計回りに回転することになる。
【0023】
チャック14が把持した部材15を時計回りに回転させる場合を図6(b)に示す。図6(b)において、超音波振動子13aに超音波振動子が縮む方向に電圧をかける。この縮みの振幅をホーン12aが拡大して連結器11aに伝える。連結器11aはチャック14を部材15の軸の中心に対して時計回りに引く方向に働く。一方、超音波振動子13bにも超音波振動子が縮む方向に電圧をかける。この縮みの振幅をホーン12bが拡大して連結器11bに伝える。連結器11bはチャック14を部材15の軸の中心に対して時計回りに引く方向に働く。その結果、部材15はその軸の中心に対して時計回りに回転することになる。
【0024】
超音波振動子が伸び縮みを繰り返すように、超音波振動子に高周波電圧を印加すると、図6(a)と図6(b)の動作を繰り返すことになる。即ち、部材15にその軸の中心に対して時計回りと反時計回りを交互に繰り返す回転揺動を与えることができる。
【0025】
従って、一対の超音波振動子を協同させて、部材を高速に回転揺動させることができた。ここでは、一対の超音波振動子を協同させて部材を回転揺動させたが、3以上の複数の超音波振動子を協同させて部材を回転揺動させることでもよい。また、部材は円柱や円筒などの断面が丸型でなくても、角型でもよいし、断面の形状を問わず回転揺動させることができる。
【0026】
(実施の形態2)
本実施の形態は、一対の超音波振動子を協同させて、部材を回転揺動させることによって部材同士を溶接するものである。即ち、実施の形態1で説明したように部材を高速で回転揺動させ、他の部材との接触面で発生する摩擦熱によって、2つの部材をその接触面で溶接するものである。
【0027】
本発明の回転揺動溶接方法とその装置を図7に示す。図7において、11は連結器、12はホーン、13は超音波振動子、14はチャック、15は溶接する部材、16は溶接部、17は被溶接部材、21はステージ、22は超音波駆動電源、23は発振器、24は位相制御回路である。部材15と被溶接部材17は、例えば、金属材料であり、図7では同じ直径の中空円筒形状の外周を揃えてその端面を突き合わせ、溶接する場合を示している。即ち、被溶接部材17をステージ21に固定し、部材15をチャック14で把持して被溶接部材17の端面上に位置させ、互いの外周が一致するように端面同士を突き合わせる。超音波駆動電源22は発振器23を駆動し、発振器23は超音波周波数で発振する。位相制御回路24は一対の超音波振動子13(図7では1つのみ図示)を所定の周波数で振動するように駆動する。図4(a)の回転揺動発生方法であれば、互いに逆位相の駆動信号で一対の超音波振動子を駆動し、図4(b)の回転揺動発生方法であれば、同位相の駆動信号で一対の超音波振動子を駆動する。図7は図4(a)の回転揺動発生方法の例である。
【0028】
この状態で、超音波駆動電源22を起動させて発振器23を超音波周波数で発振させると、その出力は位相制御回路24で互いに180度位相がずれた2つの超音波駆動信号となり、これらが一対の超音波振動子13に供給される。一対の超音波振動子13は逆位相で振動する超音波振動を発生させ、その超音波振動は一対の連結器11に伝搬し、チャック14で把持された部材15はその軸を中心として高速で回転揺動する。部材15と被溶接部材17との接触面で発生する摩擦熱によって、部材15と被溶接部材17とが溶接部16で溶接される。ここで、部材15に押圧力Pを加えて被溶接部材17に圧接すると、部材15と被溶接部材17との接触面で効率的に摩擦熱が発生し、部材15と被溶接部材17との溶接を容易にすることができる。
【0029】
従って、部材を高速で回転揺動させ、被溶接部材との接触面で発生する摩擦熱によって部材同士を簡易に溶接することができた。特に、中心の軸が一致する部材同士を、軸を一致させた状態で接触させ、回転揺動により軸精度を保ったままで、発生する摩擦熱で部材や溶接補助材を溶融して溶接することができた。本実施の形態では、部材15を回転揺動させて溶接したが、被溶接部材17を回転揺動させたり、両者を相対的に回転揺動させても、2つの部材の接触面で発生する摩擦熱によって部材同士を溶接することができる。2つの部材に押圧力を加えて圧接すると、2つの部材の接触面で効率的に摩擦熱が発生し、溶接を容易にすることができた。また、本実施の形態では、部材15に押圧力を印加したが、被溶接部材17に部材15の方向に押圧力を印加しても、互いに圧接するように両者に押圧力を印加しても、2つの部材の接触面で効率的に摩擦熱を発生させることができる。さらに、本実施の形態では、端面同士を突き合わせて溶接する例を示したが、中空円筒部材の中空部に別の円柱部材又は円筒部材を圧入し、互いに接する円周面を溶接する場合にも利用できる。
【0030】
(実施の形態3)
本実施の形態は、一対の超音波振動子が適正に協同して振動出来るよう、超音波振動を制御して部材同士を溶接するものである。即ち、超音波振動子の振動を監視し、超音波振動子の振動が適正になるように超音波振動子の駆動信号を制御する。
【0031】
本発明の回転揺動溶接方法とその装置を図8に示す。図8において、11a、11bは連結器、12a、12bはホーン、13a、13bは超音波振動子、14はチャック、15は溶接する部材、22は超音波駆動電源、23は発振器、24は位相制御回路である。位相制御回路24は超音波振動子13a、13bに駆動信号を供給すると同時に、超音波振動子13a、13bの振動を監視して、その振動が適正になるように駆動信号を制御する機能を持つ。即ち、帰還信号が超音波振動子13a、13bから位相制御回路24に帰還され、位相制御回路24はそれぞれ超音波振動子13a、13bからの2つの帰還信号の位相差を測定して、位相差が180度になるように駆動信号の位相を制御する。
【0032】
図8に示す装置における超音波振動子13a、13bの駆動信号と帰還信号を図9に示す。超音波振動子13a、13bに供給される駆動信号は図9に示すように、位相が180度ずれている。つまり、逆相になっている。図9に示すように、超音波振動子の駆動信号に対して、帰還信号との間に波長ずれが生じることがある。これは、超音波振動子により部材を回転揺動させる際の抵抗によって生じる。また、図9に示すように、一対の超音波振動子の振動で位相ずれが生じることがある。これは、2つの超音波振動子が均等に動作していない場合に生じる。
【0033】
図8の位相制御回路24では、超音波振動子が回転揺動させる波長ずれや位相ずれを監視して、超音波振動子の駆動信号を制御することによって、波長ずれや位相ずれを抑制にすることもできる。この場合に、波長ずれだけを抑制してもよいし、位相ずれだけを抑制してもよい。また、両方を抑制することによって、回転揺動による溶接を効率的にすることができる。波長ずれの制御方法は、駆動信号と帰還信号の波長が一致するように、駆動信号の振幅を調整する。位相ずれの制御方法は、2つの帰還信号の位相が一致するように、駆動信号の振幅及び位相のうちいずれか一方、又は双方を調整する。
【0034】
従って、超音波振動子の振動を監視し、超音波振動子の駆動信号を制御することによって、一対の超音波振動子が適正に協同出来るようになり、効率的に回転揺動溶接を行うことができた。本実施の形態では、一対の超音波振動子の振動を監視して超音波振動子の駆動信号を制御したが、3以上の超音波振動子であっても、それらの振動を監視して超音波振動子の駆動信号を制御することによって、複数の超音波振動子が適正に協同出来るようになり、効率的に回転揺動溶接を行うことができる。
【0035】
(実施の形態4)
本実施の形態は、溶接補助材を用いた回転揺動溶接方法である。即ち、溶接する2つの部材の接触面に2つの部材のうちいずれか一方、又は双方よりも低い融点の溶接補助材を介在させ、溶接を効率的に行うものである。
【0036】
溶接補助材を用いた回転揺動溶接方法を図10(a)、図10(b)、図10(c)に示す。図10(a)、図10(b)、図10(c)において、14はチャック、15は溶接する部材、17は被溶接部材、25は溶接補助材、26は部材15の接触面、27は被溶接部材17の接触面、28は溶接部である。溶接補助材25は溶接する部材15、又は被溶接部材17よりも低い融点の材料であって、銀ロウなどが適用できる。まず、溶接する部材15をチャック14で把持し、固定された被溶接部材17の接触面27に対して、溶接する部材15の接触面26を対峙させる。一方、接触面27には環状の溶接補助材25を配置する(図10(a))。部材15又は被溶接部材17を移動させて溶接補助材25を挟み込むように押圧する(図10(b))。さらに、溶接する部材15又は被溶接部材17に超音波による回転揺動を与えて、摩擦熱で溶接補助材25を溶融する。溶接補助材25は部材15又は被溶接部材17よりも融点が低いために、摩擦熱によって部材15又は被溶接部材17よりも容易に溶融する。溶融した溶接補助材が冷えて固まると、部材15と被溶接部材17は溶接部28で接合される(図10(c))。
【0037】
溶接を効率的にするために、部材15の接触面26及び被溶接部材17の接触面27のうちいずれか一方、又は双方の粗さを荒らすことによって、溶接補助材25の摩擦を増加させることができる。あるいは、溶接補助材25に対するアンカー効果を持たせるための微小な突起を持たせることも摩擦を増加させることに有効である。被溶接部材17の接触面27に溶接補助材25を収める溝を設けることによりアンカー効果を持たせた例を図11(a)、図11(b)、図11(c)に、被溶接部材17の接触面27と溶接する部材15の接触面26の両方に溶接補助材25を収める溝29、溝30を設けることによりアンカー効果を持たせた例を図12(a)、図12(b)、図12(c)に示す。図11(a)、図11(b)、図11(c)、図12(a)、図12(b)、図12(c)において、14はチャック、15は溶接する部材、17は被溶接部材、25は溶接補助材、26は部材15の接触面、27は被溶接部材17の接触面、28は溶接部、29は被溶接部材17の溝、30は部材15の溝である。
【0038】
被溶接部材17の接触面27に溶接補助材25を収める溝を設けた例を図11(a)、図11(b)、図11(c)で説明する。まず、溶接する部材15をチャック14で把持し、固定された被溶接部材17の接触面27に対して、溶接する部材15の接触面26を対峙させる。一方、接触面27の溝29には環状の溶接補助材25を配置する(図11(a))。部材15又は被溶接部材17を移動させて、溶接補助材25を挟み込むように押圧する(図11(b))。さらに、溶接する部材15又は被溶接部材17に超音波による回転揺動を与えて、摩擦熱で溶接補助材25を溶融する。溶融した溶接補助材が冷えて固まると、部材15と被溶接部材17は溶接部28で接合される(図11(c))。ここでは、被溶接部材17の接触面27に溝29を設けたが、溶接する部材15の接触面26に設けてもよい。
【0039】
溶接する部材15の接触面26と被溶接部材25の接触面27の双方に溶接補助材25を収める溝を設けた例を図12(a)、図12(b)、図12(c)で説明する。まず、溶接する部材15をチャック14で把持し、固定された被溶接部材17の接触面27に対して、溶接する部材15の接触面26を対峙させる。一方、接触面27の溝29には環状の溶接補助材25を配置する(図12(a))。部材15又は被溶接部材17を移動させて、溶接補助材25を挟み込むように押圧する(図12(b))。さらに、溶接する部材15又は被溶接部材17に超音波による回転揺動を与えて、摩擦熱で溶接補助材25を溶融する。溶融した溶接補助材が冷えて固まると、部材15と被溶接部材17は溶接部28で接合される(図12(c))。
【0040】
従って、溶接する2つの部材の接触面に2つの部材のいずれか一方、又は双方よりも低い融点の溶接補助材を介在させることによって、効率的に溶接を行うことができた。さらに、接触面に溝を設けてアンカー効果を持たせることにより、溶接補助材を介在させて効率的に溶接を行うことができた。前述した溶接補助材は銀ロウに限るものではなく、溶接する部材や被溶接部材より融点の低い材料であればよい。また、その形状も、環状に限る必要はなく、薄膜状や板状のものでもよい。その断面も円形である必要はなく、長方形やその他の形状であってもよい。また、溝は溶接補助材を位置決めするためのものであるため、溝でなくても、突起状のもの等のアンカー効果を持たせるものでよい。
【0041】
(実施の形態5)
本実施の形態は、光軸を有する光学部品同士の接合に超音波による回転揺動溶接を適用するものである。即ち、中心の軸が一致する部材同士を、軸を一致させた状態で接触させ、軸精度を保ったままで、超音波による回転揺動により発生する摩擦熱で部材や溶接補助材を溶融して溶接する。
【0042】
本発明の超音波溶接は、光入出力を有する光学部品同士の接合にも適用することができる。光素子モジュールの製造方法とその製造装置について図13で説明する。図13において、11は連結器、12はホーン、13は超音波振動子、14はチャック、16は溶接部、21はステージ、31は固定用カラー、32はパッケージ、33は外部電極、34はパワーメータ、35は超音波駆動系、36は半導体レーザ駆動電源、37はステージコントローラ、38は制御装置、39は光ファイバ、40は機械ベースである。パッケージ32の内部に半導体レーザ素子(図示せず)が固定されている。半導体レーザとの電気的接続は外部電極33を介して行われる。半導体レーザからの出力光を外部に導出するために、光ファイバ39がパッケージ32に導かれている。当該光ファイバ39は、固定用カラー31で補強されている。機械ベース40の上に配置されたステージ21はステージコントローラ37からの制御によってX、Y、Z軸方向に可動である。パワーメータ34は光ファイバ39からの出力光を検出する。超音波駆動系35は図8における超音波駆動電源22、発振器23、位相制御回路24を備える。半導体レーザ駆動電源36は外部電極33を介して、半導体レーザに電力を供給する。制御装置38はこれらの装置を制御する機能を有する。
【0043】
図13において、パッケージ32はステージ21に組付けられたパッケージ固定部によって保持され、ステージ21は機械ベース40上に配置されている。ステージ21の走査によりパッケージ32はX、Y、Z軸方向に移動可能であり、パッケージ32と固定用カラー31との相対位置の調整ができる。更に、このステージ21は、パワーメータ34によって読み込まれる半導体レーザ出力光のファイバ内人力に対してステージコントローラ37や制御装置38を介して連動して動作し、半導体レーザ出力光のファイバ内入力を最大とするよう、パッケージ32と固定用カラー31の位置合わせをするピークサーチ動作を可能としている。本発明の光素子モジュールの製造装置では、ピークサーチ完了後に施すパッケージ32と固定用カラー31の接合に超音波を利用した回転揺動により発生する摩擦熱で部材や溶接補助材を溶融して溶接する。この場合、光素子モジュールのパッケージ32と固定用カラー31の光軸を一致させつつ、両者を溶接するために、固定用カラー31に対してその軸を中心とした円周方向に微小範囲で往復運動する回転揺動を加える。この固定用カラー31への回転揺動の印加は、図5(a)、図5(b)、図6(a)、図6(b)で示した方法と同様な方法で実現可能であり、このため本装置の超音波溶接機構では固定用カラー31を把持するチャック14と、一対の連結器11と、更に一対の連結器11に逆位相の超音波振動を与える一対のホーン12と、一対の超音波振動子13と、超音波駆動系35を備えている。
【0044】
以下は本装置を用いた光素子モジュールの製造方法を示す製造工程である。まず、パッケージ32をステージ21の固定部に固定し、次に、固定用カラー31をチャック14で把持する。この時、パッケージ32の上端と固定用カラー31の下端を当接させる。パッケージ32には、半導体レーザ(図示せず)が所定の位置に予めダイボンディングされている。そこで、半導体レーザ駆動電源36を外部電極33に接続し、半導体レーザを発光させる。この状態で半導体レーザの出力光が光ファイバ39に最大に結合するように、ステージ21でパッケージ32の位置を調整する(ピークサーチ)。ピークサーチは、例えば、半導体レーザ出力光のファイバ内入力値を最大にするように先ずXY軸平面内での最大点を求め、次いでZ軸操作で半導体レーザ出力光のファイバ内入力値を最大にするようにパッケージ32と固定用カラー31の距離を調整する。XY軸平面内での最大点を求める制御とZ軸での最大点を求める制御を繰り返すことにより、パッケージ32と固定用カラー31が接触しない範囲で、出来るだけ近づいた状態で半導体レーザ出力光の光ファイバ39への入力を最大とする。以上の操作で半導体レーザの出力光の光ファイバ入力が最大となった状態で、パッケージ32と固定用カラー31を当接させ、押圧すると同時に制御装置38からの指示によって超音波振動子13で超音波振動を発生させ、チャック14に把持された固定用カラー31が光ファイバの光軸を中心に円周方向に回転揺動を発生させれば、パッケージ32と固定用カラー31の接触面で生じる摩擦熱により両者が溶接され、光素子モジュールが完成する。
【0045】
従って、本実施の形態では、超音波による回転揺動が固定用カラーの軸を中心としているため、既に調整された光軸に偏りを与えることなく高精度な溶接が実現できた。また、実施の形態3で説明した一対の超音波振動子が適正に協同出来るよう、超音波振動を制御して部材同士を溶接する方法や、実施の形態4で説明した溶接する2つの部材の接触面に溶接する部材よりも低い融点の溶接補助材を介在させれば、溶接中にもパッケージ32のXY移動が可能となるため、必要に応じて調芯動作を続行させて更に調芯精度を高めることができる。さらに、ここで、説明した光素子モジュールの製造装置と製造方法は半導体レーザを備える光素子モジュールのみならず、受光素子を備える光素子モジュールや、発光素子と受光素子を備える光素子モジュールの製造にも適用することができる。受光素子を備える光素子モジュールの場合は、パワーメータに替えて、光源を接続し、受光素子で受光レベルを測定して、その受光レベルが最大になるようにステージを制御することとなる。
【0046】
(実施の形態6)
本実施の形態は、回転揺動溶接を利用して、光軸を有する光学部品同士を接合させた光素子モジュールである。即ち、中心の軸が一致する部材同士を、軸を一致させた状態で接触させ、軸精度を保ったままで、回転揺動により発生する摩擦熱で部材や溶接補助材を溶融して溶接した光素子モジュールである。
【0047】
回転揺動の手段は、前述した超音波振動子を利用してもよいし、電磁力によって振動する電磁振動子を利用してもよい。光ファイバの端部を固定するカラーを、光素子を収容する容器に接触させ、カラーの軸を中心として当該カラーを回転揺動させ、カラーと容器の接触面で発生する摩擦熱によってカラーと容器とを接合すると光素子モジュールが完成する。なお、ここでは、容器を固定してカラーを回転揺動させたが、カラーを固定して容器を回転揺動させてもよい。
従って、本実施の形態では、超音波による回転揺動が固定用カラーの軸を中心としているため、既に調整された光軸に偏りを与えることなく高精度に溶接された光素子モジュールが実現できた。実施の形態4で説明した溶接する2つの部材の接触面に溶接する部材よりも低い融点の溶接補助材を介在させれば、溶接中にもパッケージ32のXY移動が可能となるため、必要に応じて調芯動作を続行させれば更に調芯精度の高い光素子モジュールが実現できる。
【0048】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、2つの部材を溶接する際に溶接ズレの発生を最小とすることができる。また、2つの部材の溶接部はリング状になるため、溶接強度が増大する。さらに、溶接ナゲットは2つの部材の接触面に形成され、外部からは見えなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】発光素子を封止した光素子モジュールの構造例を示す図である。
【図2】固定用カラーを光素子モジュールパッケージに溶接して固定する従来の方法を説明する図である。
【図3】従来の方法によって溶接部がズレを起こした例を説明する図である。
【図4】超音波振動を利用した回転揺動装置と回転揺動方法を説明する図である。
【図5】超音波振動を利用した回転揺動装置と回転揺動方法を説明する図である。
【図6】超音波振動を利用した回転揺動装置と回転揺動方法を説明する図である。
【図7】超音波を利用した回転揺動溶接方法とその装置を説明する図である。
【図8】一対の超音波振動子が適正に協同出来るよう、超音波振動を制御して部材同士を溶接する方法を説明する図である。
【図9】超音波振動子の駆動信号と帰還信号である。
【図10】溶接する2つの部材の接触面に2つの部材よりも低い融点の溶接補助材を介在させ、溶接を効率的に行う方法を説明する図である。
【図11】溶接補助材に対するアンカー効果を持たせるための溝について説明する図である。
【図12】溶接補助材に対するアンカー効果を持たせるための溝について説明する図である。
【図13】光素子モジュールの製造方法とその製造装置について説明する図である。
【符号の説明】
11、11a、11b:連結器
12、12a、12b:ホーン
13、13a、13b:超音波振動子
14:チャック
15:部材
16:溶接部
17:被溶接部材
21:ステージ
22:超音波駆動電源
23:発振器
24:位相制御回路
25:溶接補助材
26、27:接触面
28:溶接部
29、30:溝
31:固定用カラー
32:パッケージ
33:外部電極
34:パワーメータ
35:超音波駆動系
36:半導体レーザ駆動電源
37:ステージコントローラ
38:制御装置
39:光ファイバ
81:光素子モジュールパッケージ
82:固定用カラー
83:光ファイバ
84:発光素子
85:レンズ
86:外部電極
87:光素子モジュールキャップ
88a、88b、88c:溶接用レーザ
89:ナゲット
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶接手段として超音波による回転揺動を用いる回転揺動溶接方法、回転揺動溶接装置、光素子モジュールの製造方法、光素子モジュールの製造装置、及び光素子モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】
発光素子や受光素子のような光能動素子と光ファイバを接続するために、光素子モジュールが利用される。発光素子を封止した光素子モジュールの構造例を図1に示す。図1において、81は光素子モジュールパッケージ、82は光ファイバの端部を固定する固定用カラー、83は光ファイバ、84は発光素子、85はレンズ、86は外部電極、87は光素子モジュールキャップである。光素子モジュールパッケージ81の内部に発光素子84、レンズ85が固定され、光素子モジュールキャップ87によって気密封止されている。図1では、光素子モジュールパッケージ81は下半分だけを表示しているが、実際は光素子モジュールパッケージ81の全体を覆っている。発光素子84との電気的接続は外部電極86を介して行われる。発光素子84からの出力光を外部に導出するために、光ファイバ83が光素子モジュールパッケージ81に導かれ、発光素子84の出力光が、レンズ85によって光ファイバ83に結合される。光ファイバ83は固定用カラー82によって光パッケージ側の端部を固定されている。当該光ファイバ83は、固定用カラー82で補強されている。固定用カラー82は固定用カラーのフランジを溶接して光素子モジュールパッケージ81に固定される。
【0003】
固定用カラーを光素子モジュールパッケージに溶接して固定する方法を図2に示す。図2(a)は固定用カラーを光素子モジュールパッケージに溶接して固定する様子を光素子モジュールキャップの上面方向から見た外観図、図2(b)は固定用カラーを光素子モジュールパッケージに溶接して固定する様子を光ファイバの側から見た外観図である。図2(a)、図2(b)において、81は光素子モジュールパッケージ、82は固定用カラー、83は光ファイバ、87は光素子モジュールキャップ、88a、88b、88cはそれぞれ溶接用レーザ、89はナゲットである。光素子モジュールパッケージ81に対して固定用カラー82を対向させ、光ファイバ83からの出力光をモニターしながら、出力光が最大になるように固定用カラー82を位置合わせ(調芯)する。次に、固定用カラー82のフランジ部分と光素子モジュールパッケージ81の接合面に向けて溶接用レーザ88a、88b、88cをそれぞれ3方向から照射し、溶接接合する。図2(b)に示すように、溶接用レーザ88a、88b、88cは、溶接周囲に対して120度間隔溶で、かつ接点までの距離も均等に配置されている。また、それぞれの出力も均等になるように調節されている。3方向からレーザ照射された光素子モジュールパッケージ81には、溶接によってそれぞれナゲット89が3箇所に形成される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
固定用カラーを光素子モジュールパッケージにレーザ溶接して固定する際に、部品の精度誤差、レーザ出力のアンバランス、部品の反射率ばらつきなどにより溶接が不均一に行われ、溶接部がズレを起こすことがある。溶接部がズレを起こした例を図3に示す。図3において、81は光素子モジュールパッケージ、82は固定用カラー、88a、88b、88cはそれぞれ溶接用レーザである。溶接用レーザ88cの出力レベルが他の溶接用レーザ88a、88bよりも弱い場合、レーザ照射時に出来たナゲットが冷えて固まるときに、固定用カラー82が溶接用レーザ88cと反対方向に引っ張られることがある。
【0005】
溶接様レーザ88cと反対方向に引っ張られると、発光素子から光ファイバへの結合効率が悪くなり、光ファイバからの出力光が減少してしまう。従来の技術ではこの溶接によるズレを完全になくすことができないため、溶接用レーザの照射方向を変えて、再度、レーザ照射を行う修正打ちを行ったり、機械的に固定用カラー82を変形させてズレを修正する処理をしていたりした。このため、作業工程数増大によるコストアップ、歩留まり低下によるコストアップ、修正打ちによるナゲット痕の増加など多くの問題を有している。
【0006】
本発明は、このような問題を解決するために、溶接強度を増すと共に、調芯後の位置精度を保ちながら溶接することを目的とする。また、ナゲット痕のない溶接を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本願発明は、軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記軸を中心とする回転揺動を発生させる回転揺動発生方法である。
【0008】
本願他の発明は、第一の部材の軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記第一の部材の軸を中心として前記第一の部材を回転揺動させ、前記第一の部材と第二の部材の接触面で発生する摩擦熱によって前記第一の部材と前期第二の部材を溶接する回転揺動溶接方法である。
【0009】
本願他の発明は、第一の部材の軸を中心とする円周の接線方向に、協同して振動する複数の超音波振動子と、該複数の超音波振動子の振動を変換して、前記第一の部材に、前記第一の部材の軸を中心とした回転揺動を与える回転揺動部と、第二の部材を保持して、回転揺動する前記第一の部材に接触させる保持部とを有する回転揺動溶接装置である。
【0010】
本願他の発明は、光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを突き合わせて光素子と光ファイバの光軸調整をしながら、前記容器と前記カラーとを溶接する光素子モジュールの製造方法において、溶接に回転揺動溶接方法を用いる光素子モジュールの製造方法である。
【0011】
本願他の発明は、光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを突き合わせて光素子と光ファイバの光軸調整をしながら、前記容器と前記カラーとを溶接する光素子モジュールの製造方法であって、前記カラーの軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記カラーの軸を中心として前記カラーを回転揺動させ、前記カラーと前記容器の接触面で発生する摩擦熱によって前記カラーと前記容器とを溶接する光素子モジュールの製造方法である。
【0012】
本願他の発明は、光ファイバの端部を固定するカラーと光素子を収容する容器とを突き合わせて光素子と光ファイバの光結合が最大になるように光素子と光ファイバの光軸調整をする調整部と、前記カラーの軸を中心とする円周の接線方向に協同して振動する複数の超音波振動子と、該複数の超音波振動子の振動を変換して、前記カラーに、前記カラーの軸を中心とした回転揺動を与える回転揺動部と、前記容器を保持して、回転揺動する前記カラーに接触させる保持部とを有する光素子モジュールの製造装置である。
【0013】
本願他の発明は、光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを接合した光素子モジュールであって、前記カラーの軸を中心として前記カラーを回転揺動させ、前記カラーと前記容器の接触面で発生する摩擦熱によって前記カラーと前記容器とを接合した光素子モジュールである。
【0014】
また、これらの発明において、2つの部材の間に押圧力を加えることによって、前記摩擦熱の発生を促すことも本願発明に含まれる。
【0015】
また、これらの発明において、前記超音波振動子の振動の波長及び位相のうちいずれか一方、又は双方を監視して、前記複数の超音波振動子の駆動信号を制御することも本願発明に含まれる。
【0016】
また、これらの発明において、前記第一の部材と前期第二の部材の接触面との間に、2つの部材のうちいずれか一方、又は双方よりも低い融点の溶接補助材を介在させることも本願発明に含まれる。
【0017】
ここで、回転揺動とは、軸を中心として時計回りと反時計回りの回転を交互に繰り返す往復運動をいう。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本願第1発明の実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
(実施の形態1)
本実施の形態は、超音波振動を利用した回転揺動方法とその装置である。回転揺動の発生方法を図4に示す。図4において、11a、11bは連結器、12a、12bはホーン、13a、13bは超音波振動子、14はチャック、15は溶接する部材である。超音波振動子13a、13bは駆動電源により、超音波振動を発生させる。ホーン12a、12bは超音波振動子13a、13bで発生した超音波振動を拡大する機能を持ち、例えば、チタンやステンレス等の金属、セラミックス等で構成される。図4(a)は超音波振動子を同一方向に、図4(b)は超音波振動子を反対方向にそれぞれ配設したものである。図4(a)、図4(b)において、溶接する部材15をチャック14で固定する。チャック14に取りつけた連結器11a、11bにそれぞれホーン12a、12bを連結する。溶接する部材15の軸の中心に対して部材15が回転揺動できるように、チャック14を配置し、また、チャック14が微小回転できるように、連結器11a、11bとホーン12a、12bをそれぞれ連結する。
【0019】
図4(a)に示す装置における回転揺動発生方法を図5(a)、図5(b)に、図4(b)に示す装置における回転揺動発生方法を図6(a)、図6(b)に示す。図5(a)はチャック14が把持した部材15を反時計回りに回転させる場合を示す。図5(a)において、超音波振動子13aに超音波振動子が伸びる方向に電圧をかける。この伸びの振幅をホーン12aが拡大して連結器11aに伝える。連結器11aはチャック14を部材15の軸の中心に対して反時計回りに押す方向に働く。一方、超音波振動子13bには超音波振動子が縮む方向に電圧をかける。この縮みの振幅をホーン12bが拡大して連結器11bに伝える。連結器11bはチャック14を部材15の中心に対して反時計回りに引く方向に働く。その結果、部材15はその軸の中心に対して反時計回りに回転することになる。
【0020】
チャック14が把持した部材15を時計回りに回転させる場合を図5(b)に示す。図5(b)において、超音波振動子13aに超音波振動子が縮む方向に電圧をかける。この縮みの振幅をホーン12aが拡大して連結器11aに伝える。連結器11aはチャック14を部材15の軸の中心に対して時計回りに引く方向に働く。一方、超音波振動子13bには超音波振動子が伸びる方向に電圧をかける。この伸びの振幅をホーン12bが拡大して連結器11bに伝える。連結器11bはチャック14を部材15の軸の中心に対して時計回りに押す方向に働く。その結果、部材15はその軸の中心に対して時計回りに回転することになる。
【0021】
超音波振動子が伸び縮みを繰り返すように、超音波振動子に高周波電圧を印加すると、図5(a)と図5(b)の動作を繰り返すことになる。即ち、部材15にその軸の中心に対して時計回りと反時計回りを交互に繰り返す回転揺動を与えることができる。
【0022】
図6(a)、図6(b)は図4(b)に示す装置における回転揺動発生方法である。図6(a)はチャック14が把持した部材15を反時計回りに回転させる場合を示す。図6(a)において、超音波振動子13aに超音波振動子が伸びる方向に電圧をかける。この伸びの振幅をホーン12aが拡大して連結器11aに伝える。連結器11aはチャック14を部材15の軸の中心に対して反時計回りに押す方向に働く。一方、超音波振動子13bにも超音波振動子が伸びる方向に電圧をかける。この伸びの振幅をホーン12bが拡大して連結器11bに伝える。連結器11bはチャック14を部材15の軸の中心に対して反時計回りに押す方向に働く。その結果、部材15はその軸の中心に対して反時計回りに回転することになる。
【0023】
チャック14が把持した部材15を時計回りに回転させる場合を図6(b)に示す。図6(b)において、超音波振動子13aに超音波振動子が縮む方向に電圧をかける。この縮みの振幅をホーン12aが拡大して連結器11aに伝える。連結器11aはチャック14を部材15の軸の中心に対して時計回りに引く方向に働く。一方、超音波振動子13bにも超音波振動子が縮む方向に電圧をかける。この縮みの振幅をホーン12bが拡大して連結器11bに伝える。連結器11bはチャック14を部材15の軸の中心に対して時計回りに引く方向に働く。その結果、部材15はその軸の中心に対して時計回りに回転することになる。
【0024】
超音波振動子が伸び縮みを繰り返すように、超音波振動子に高周波電圧を印加すると、図6(a)と図6(b)の動作を繰り返すことになる。即ち、部材15にその軸の中心に対して時計回りと反時計回りを交互に繰り返す回転揺動を与えることができる。
【0025】
従って、一対の超音波振動子を協同させて、部材を高速に回転揺動させることができた。ここでは、一対の超音波振動子を協同させて部材を回転揺動させたが、3以上の複数の超音波振動子を協同させて部材を回転揺動させることでもよい。また、部材は円柱や円筒などの断面が丸型でなくても、角型でもよいし、断面の形状を問わず回転揺動させることができる。
【0026】
(実施の形態2)
本実施の形態は、一対の超音波振動子を協同させて、部材を回転揺動させることによって部材同士を溶接するものである。即ち、実施の形態1で説明したように部材を高速で回転揺動させ、他の部材との接触面で発生する摩擦熱によって、2つの部材をその接触面で溶接するものである。
【0027】
本発明の回転揺動溶接方法とその装置を図7に示す。図7において、11は連結器、12はホーン、13は超音波振動子、14はチャック、15は溶接する部材、16は溶接部、17は被溶接部材、21はステージ、22は超音波駆動電源、23は発振器、24は位相制御回路である。部材15と被溶接部材17は、例えば、金属材料であり、図7では同じ直径の中空円筒形状の外周を揃えてその端面を突き合わせ、溶接する場合を示している。即ち、被溶接部材17をステージ21に固定し、部材15をチャック14で把持して被溶接部材17の端面上に位置させ、互いの外周が一致するように端面同士を突き合わせる。超音波駆動電源22は発振器23を駆動し、発振器23は超音波周波数で発振する。位相制御回路24は一対の超音波振動子13(図7では1つのみ図示)を所定の周波数で振動するように駆動する。図4(a)の回転揺動発生方法であれば、互いに逆位相の駆動信号で一対の超音波振動子を駆動し、図4(b)の回転揺動発生方法であれば、同位相の駆動信号で一対の超音波振動子を駆動する。図7は図4(a)の回転揺動発生方法の例である。
【0028】
この状態で、超音波駆動電源22を起動させて発振器23を超音波周波数で発振させると、その出力は位相制御回路24で互いに180度位相がずれた2つの超音波駆動信号となり、これらが一対の超音波振動子13に供給される。一対の超音波振動子13は逆位相で振動する超音波振動を発生させ、その超音波振動は一対の連結器11に伝搬し、チャック14で把持された部材15はその軸を中心として高速で回転揺動する。部材15と被溶接部材17との接触面で発生する摩擦熱によって、部材15と被溶接部材17とが溶接部16で溶接される。ここで、部材15に押圧力Pを加えて被溶接部材17に圧接すると、部材15と被溶接部材17との接触面で効率的に摩擦熱が発生し、部材15と被溶接部材17との溶接を容易にすることができる。
【0029】
従って、部材を高速で回転揺動させ、被溶接部材との接触面で発生する摩擦熱によって部材同士を簡易に溶接することができた。特に、中心の軸が一致する部材同士を、軸を一致させた状態で接触させ、回転揺動により軸精度を保ったままで、発生する摩擦熱で部材や溶接補助材を溶融して溶接することができた。本実施の形態では、部材15を回転揺動させて溶接したが、被溶接部材17を回転揺動させたり、両者を相対的に回転揺動させても、2つの部材の接触面で発生する摩擦熱によって部材同士を溶接することができる。2つの部材に押圧力を加えて圧接すると、2つの部材の接触面で効率的に摩擦熱が発生し、溶接を容易にすることができた。また、本実施の形態では、部材15に押圧力を印加したが、被溶接部材17に部材15の方向に押圧力を印加しても、互いに圧接するように両者に押圧力を印加しても、2つの部材の接触面で効率的に摩擦熱を発生させることができる。さらに、本実施の形態では、端面同士を突き合わせて溶接する例を示したが、中空円筒部材の中空部に別の円柱部材又は円筒部材を圧入し、互いに接する円周面を溶接する場合にも利用できる。
【0030】
(実施の形態3)
本実施の形態は、一対の超音波振動子が適正に協同して振動出来るよう、超音波振動を制御して部材同士を溶接するものである。即ち、超音波振動子の振動を監視し、超音波振動子の振動が適正になるように超音波振動子の駆動信号を制御する。
【0031】
本発明の回転揺動溶接方法とその装置を図8に示す。図8において、11a、11bは連結器、12a、12bはホーン、13a、13bは超音波振動子、14はチャック、15は溶接する部材、22は超音波駆動電源、23は発振器、24は位相制御回路である。位相制御回路24は超音波振動子13a、13bに駆動信号を供給すると同時に、超音波振動子13a、13bの振動を監視して、その振動が適正になるように駆動信号を制御する機能を持つ。即ち、帰還信号が超音波振動子13a、13bから位相制御回路24に帰還され、位相制御回路24はそれぞれ超音波振動子13a、13bからの2つの帰還信号の位相差を測定して、位相差が180度になるように駆動信号の位相を制御する。
【0032】
図8に示す装置における超音波振動子13a、13bの駆動信号と帰還信号を図9に示す。超音波振動子13a、13bに供給される駆動信号は図9に示すように、位相が180度ずれている。つまり、逆相になっている。図9に示すように、超音波振動子の駆動信号に対して、帰還信号との間に波長ずれが生じることがある。これは、超音波振動子により部材を回転揺動させる際の抵抗によって生じる。また、図9に示すように、一対の超音波振動子の振動で位相ずれが生じることがある。これは、2つの超音波振動子が均等に動作していない場合に生じる。
【0033】
図8の位相制御回路24では、超音波振動子が回転揺動させる波長ずれや位相ずれを監視して、超音波振動子の駆動信号を制御することによって、波長ずれや位相ずれを抑制にすることもできる。この場合に、波長ずれだけを抑制してもよいし、位相ずれだけを抑制してもよい。また、両方を抑制することによって、回転揺動による溶接を効率的にすることができる。波長ずれの制御方法は、駆動信号と帰還信号の波長が一致するように、駆動信号の振幅を調整する。位相ずれの制御方法は、2つの帰還信号の位相が一致するように、駆動信号の振幅及び位相のうちいずれか一方、又は双方を調整する。
【0034】
従って、超音波振動子の振動を監視し、超音波振動子の駆動信号を制御することによって、一対の超音波振動子が適正に協同出来るようになり、効率的に回転揺動溶接を行うことができた。本実施の形態では、一対の超音波振動子の振動を監視して超音波振動子の駆動信号を制御したが、3以上の超音波振動子であっても、それらの振動を監視して超音波振動子の駆動信号を制御することによって、複数の超音波振動子が適正に協同出来るようになり、効率的に回転揺動溶接を行うことができる。
【0035】
(実施の形態4)
本実施の形態は、溶接補助材を用いた回転揺動溶接方法である。即ち、溶接する2つの部材の接触面に2つの部材のうちいずれか一方、又は双方よりも低い融点の溶接補助材を介在させ、溶接を効率的に行うものである。
【0036】
溶接補助材を用いた回転揺動溶接方法を図10(a)、図10(b)、図10(c)に示す。図10(a)、図10(b)、図10(c)において、14はチャック、15は溶接する部材、17は被溶接部材、25は溶接補助材、26は部材15の接触面、27は被溶接部材17の接触面、28は溶接部である。溶接補助材25は溶接する部材15、又は被溶接部材17よりも低い融点の材料であって、銀ロウなどが適用できる。まず、溶接する部材15をチャック14で把持し、固定された被溶接部材17の接触面27に対して、溶接する部材15の接触面26を対峙させる。一方、接触面27には環状の溶接補助材25を配置する(図10(a))。部材15又は被溶接部材17を移動させて溶接補助材25を挟み込むように押圧する(図10(b))。さらに、溶接する部材15又は被溶接部材17に超音波による回転揺動を与えて、摩擦熱で溶接補助材25を溶融する。溶接補助材25は部材15又は被溶接部材17よりも融点が低いために、摩擦熱によって部材15又は被溶接部材17よりも容易に溶融する。溶融した溶接補助材が冷えて固まると、部材15と被溶接部材17は溶接部28で接合される(図10(c))。
【0037】
溶接を効率的にするために、部材15の接触面26及び被溶接部材17の接触面27のうちいずれか一方、又は双方の粗さを荒らすことによって、溶接補助材25の摩擦を増加させることができる。あるいは、溶接補助材25に対するアンカー効果を持たせるための微小な突起を持たせることも摩擦を増加させることに有効である。被溶接部材17の接触面27に溶接補助材25を収める溝を設けることによりアンカー効果を持たせた例を図11(a)、図11(b)、図11(c)に、被溶接部材17の接触面27と溶接する部材15の接触面26の両方に溶接補助材25を収める溝29、溝30を設けることによりアンカー効果を持たせた例を図12(a)、図12(b)、図12(c)に示す。図11(a)、図11(b)、図11(c)、図12(a)、図12(b)、図12(c)において、14はチャック、15は溶接する部材、17は被溶接部材、25は溶接補助材、26は部材15の接触面、27は被溶接部材17の接触面、28は溶接部、29は被溶接部材17の溝、30は部材15の溝である。
【0038】
被溶接部材17の接触面27に溶接補助材25を収める溝を設けた例を図11(a)、図11(b)、図11(c)で説明する。まず、溶接する部材15をチャック14で把持し、固定された被溶接部材17の接触面27に対して、溶接する部材15の接触面26を対峙させる。一方、接触面27の溝29には環状の溶接補助材25を配置する(図11(a))。部材15又は被溶接部材17を移動させて、溶接補助材25を挟み込むように押圧する(図11(b))。さらに、溶接する部材15又は被溶接部材17に超音波による回転揺動を与えて、摩擦熱で溶接補助材25を溶融する。溶融した溶接補助材が冷えて固まると、部材15と被溶接部材17は溶接部28で接合される(図11(c))。ここでは、被溶接部材17の接触面27に溝29を設けたが、溶接する部材15の接触面26に設けてもよい。
【0039】
溶接する部材15の接触面26と被溶接部材25の接触面27の双方に溶接補助材25を収める溝を設けた例を図12(a)、図12(b)、図12(c)で説明する。まず、溶接する部材15をチャック14で把持し、固定された被溶接部材17の接触面27に対して、溶接する部材15の接触面26を対峙させる。一方、接触面27の溝29には環状の溶接補助材25を配置する(図12(a))。部材15又は被溶接部材17を移動させて、溶接補助材25を挟み込むように押圧する(図12(b))。さらに、溶接する部材15又は被溶接部材17に超音波による回転揺動を与えて、摩擦熱で溶接補助材25を溶融する。溶融した溶接補助材が冷えて固まると、部材15と被溶接部材17は溶接部28で接合される(図12(c))。
【0040】
従って、溶接する2つの部材の接触面に2つの部材のいずれか一方、又は双方よりも低い融点の溶接補助材を介在させることによって、効率的に溶接を行うことができた。さらに、接触面に溝を設けてアンカー効果を持たせることにより、溶接補助材を介在させて効率的に溶接を行うことができた。前述した溶接補助材は銀ロウに限るものではなく、溶接する部材や被溶接部材より融点の低い材料であればよい。また、その形状も、環状に限る必要はなく、薄膜状や板状のものでもよい。その断面も円形である必要はなく、長方形やその他の形状であってもよい。また、溝は溶接補助材を位置決めするためのものであるため、溝でなくても、突起状のもの等のアンカー効果を持たせるものでよい。
【0041】
(実施の形態5)
本実施の形態は、光軸を有する光学部品同士の接合に超音波による回転揺動溶接を適用するものである。即ち、中心の軸が一致する部材同士を、軸を一致させた状態で接触させ、軸精度を保ったままで、超音波による回転揺動により発生する摩擦熱で部材や溶接補助材を溶融して溶接する。
【0042】
本発明の超音波溶接は、光入出力を有する光学部品同士の接合にも適用することができる。光素子モジュールの製造方法とその製造装置について図13で説明する。図13において、11は連結器、12はホーン、13は超音波振動子、14はチャック、16は溶接部、21はステージ、31は固定用カラー、32はパッケージ、33は外部電極、34はパワーメータ、35は超音波駆動系、36は半導体レーザ駆動電源、37はステージコントローラ、38は制御装置、39は光ファイバ、40は機械ベースである。パッケージ32の内部に半導体レーザ素子(図示せず)が固定されている。半導体レーザとの電気的接続は外部電極33を介して行われる。半導体レーザからの出力光を外部に導出するために、光ファイバ39がパッケージ32に導かれている。当該光ファイバ39は、固定用カラー31で補強されている。機械ベース40の上に配置されたステージ21はステージコントローラ37からの制御によってX、Y、Z軸方向に可動である。パワーメータ34は光ファイバ39からの出力光を検出する。超音波駆動系35は図8における超音波駆動電源22、発振器23、位相制御回路24を備える。半導体レーザ駆動電源36は外部電極33を介して、半導体レーザに電力を供給する。制御装置38はこれらの装置を制御する機能を有する。
【0043】
図13において、パッケージ32はステージ21に組付けられたパッケージ固定部によって保持され、ステージ21は機械ベース40上に配置されている。ステージ21の走査によりパッケージ32はX、Y、Z軸方向に移動可能であり、パッケージ32と固定用カラー31との相対位置の調整ができる。更に、このステージ21は、パワーメータ34によって読み込まれる半導体レーザ出力光のファイバ内人力に対してステージコントローラ37や制御装置38を介して連動して動作し、半導体レーザ出力光のファイバ内入力を最大とするよう、パッケージ32と固定用カラー31の位置合わせをするピークサーチ動作を可能としている。本発明の光素子モジュールの製造装置では、ピークサーチ完了後に施すパッケージ32と固定用カラー31の接合に超音波を利用した回転揺動により発生する摩擦熱で部材や溶接補助材を溶融して溶接する。この場合、光素子モジュールのパッケージ32と固定用カラー31の光軸を一致させつつ、両者を溶接するために、固定用カラー31に対してその軸を中心とした円周方向に微小範囲で往復運動する回転揺動を加える。この固定用カラー31への回転揺動の印加は、図5(a)、図5(b)、図6(a)、図6(b)で示した方法と同様な方法で実現可能であり、このため本装置の超音波溶接機構では固定用カラー31を把持するチャック14と、一対の連結器11と、更に一対の連結器11に逆位相の超音波振動を与える一対のホーン12と、一対の超音波振動子13と、超音波駆動系35を備えている。
【0044】
以下は本装置を用いた光素子モジュールの製造方法を示す製造工程である。まず、パッケージ32をステージ21の固定部に固定し、次に、固定用カラー31をチャック14で把持する。この時、パッケージ32の上端と固定用カラー31の下端を当接させる。パッケージ32には、半導体レーザ(図示せず)が所定の位置に予めダイボンディングされている。そこで、半導体レーザ駆動電源36を外部電極33に接続し、半導体レーザを発光させる。この状態で半導体レーザの出力光が光ファイバ39に最大に結合するように、ステージ21でパッケージ32の位置を調整する(ピークサーチ)。ピークサーチは、例えば、半導体レーザ出力光のファイバ内入力値を最大にするように先ずXY軸平面内での最大点を求め、次いでZ軸操作で半導体レーザ出力光のファイバ内入力値を最大にするようにパッケージ32と固定用カラー31の距離を調整する。XY軸平面内での最大点を求める制御とZ軸での最大点を求める制御を繰り返すことにより、パッケージ32と固定用カラー31が接触しない範囲で、出来るだけ近づいた状態で半導体レーザ出力光の光ファイバ39への入力を最大とする。以上の操作で半導体レーザの出力光の光ファイバ入力が最大となった状態で、パッケージ32と固定用カラー31を当接させ、押圧すると同時に制御装置38からの指示によって超音波振動子13で超音波振動を発生させ、チャック14に把持された固定用カラー31が光ファイバの光軸を中心に円周方向に回転揺動を発生させれば、パッケージ32と固定用カラー31の接触面で生じる摩擦熱により両者が溶接され、光素子モジュールが完成する。
【0045】
従って、本実施の形態では、超音波による回転揺動が固定用カラーの軸を中心としているため、既に調整された光軸に偏りを与えることなく高精度な溶接が実現できた。また、実施の形態3で説明した一対の超音波振動子が適正に協同出来るよう、超音波振動を制御して部材同士を溶接する方法や、実施の形態4で説明した溶接する2つの部材の接触面に溶接する部材よりも低い融点の溶接補助材を介在させれば、溶接中にもパッケージ32のXY移動が可能となるため、必要に応じて調芯動作を続行させて更に調芯精度を高めることができる。さらに、ここで、説明した光素子モジュールの製造装置と製造方法は半導体レーザを備える光素子モジュールのみならず、受光素子を備える光素子モジュールや、発光素子と受光素子を備える光素子モジュールの製造にも適用することができる。受光素子を備える光素子モジュールの場合は、パワーメータに替えて、光源を接続し、受光素子で受光レベルを測定して、その受光レベルが最大になるようにステージを制御することとなる。
【0046】
(実施の形態6)
本実施の形態は、回転揺動溶接を利用して、光軸を有する光学部品同士を接合させた光素子モジュールである。即ち、中心の軸が一致する部材同士を、軸を一致させた状態で接触させ、軸精度を保ったままで、回転揺動により発生する摩擦熱で部材や溶接補助材を溶融して溶接した光素子モジュールである。
【0047】
回転揺動の手段は、前述した超音波振動子を利用してもよいし、電磁力によって振動する電磁振動子を利用してもよい。光ファイバの端部を固定するカラーを、光素子を収容する容器に接触させ、カラーの軸を中心として当該カラーを回転揺動させ、カラーと容器の接触面で発生する摩擦熱によってカラーと容器とを接合すると光素子モジュールが完成する。なお、ここでは、容器を固定してカラーを回転揺動させたが、カラーを固定して容器を回転揺動させてもよい。
従って、本実施の形態では、超音波による回転揺動が固定用カラーの軸を中心としているため、既に調整された光軸に偏りを与えることなく高精度に溶接された光素子モジュールが実現できた。実施の形態4で説明した溶接する2つの部材の接触面に溶接する部材よりも低い融点の溶接補助材を介在させれば、溶接中にもパッケージ32のXY移動が可能となるため、必要に応じて調芯動作を続行させれば更に調芯精度の高い光素子モジュールが実現できる。
【0048】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、2つの部材を溶接する際に溶接ズレの発生を最小とすることができる。また、2つの部材の溶接部はリング状になるため、溶接強度が増大する。さらに、溶接ナゲットは2つの部材の接触面に形成され、外部からは見えなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】発光素子を封止した光素子モジュールの構造例を示す図である。
【図2】固定用カラーを光素子モジュールパッケージに溶接して固定する従来の方法を説明する図である。
【図3】従来の方法によって溶接部がズレを起こした例を説明する図である。
【図4】超音波振動を利用した回転揺動装置と回転揺動方法を説明する図である。
【図5】超音波振動を利用した回転揺動装置と回転揺動方法を説明する図である。
【図6】超音波振動を利用した回転揺動装置と回転揺動方法を説明する図である。
【図7】超音波を利用した回転揺動溶接方法とその装置を説明する図である。
【図8】一対の超音波振動子が適正に協同出来るよう、超音波振動を制御して部材同士を溶接する方法を説明する図である。
【図9】超音波振動子の駆動信号と帰還信号である。
【図10】溶接する2つの部材の接触面に2つの部材よりも低い融点の溶接補助材を介在させ、溶接を効率的に行う方法を説明する図である。
【図11】溶接補助材に対するアンカー効果を持たせるための溝について説明する図である。
【図12】溶接補助材に対するアンカー効果を持たせるための溝について説明する図である。
【図13】光素子モジュールの製造方法とその製造装置について説明する図である。
【符号の説明】
11、11a、11b:連結器
12、12a、12b:ホーン
13、13a、13b:超音波振動子
14:チャック
15:部材
16:溶接部
17:被溶接部材
21:ステージ
22:超音波駆動電源
23:発振器
24:位相制御回路
25:溶接補助材
26、27:接触面
28:溶接部
29、30:溝
31:固定用カラー
32:パッケージ
33:外部電極
34:パワーメータ
35:超音波駆動系
36:半導体レーザ駆動電源
37:ステージコントローラ
38:制御装置
39:光ファイバ
81:光素子モジュールパッケージ
82:固定用カラー
83:光ファイバ
84:発光素子
85:レンズ
86:外部電極
87:光素子モジュールキャップ
88a、88b、88c:溶接用レーザ
89:ナゲット
Claims (17)
- 軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記軸を中心とする回転揺動を発生させる回転揺動発生方法。
- 第一の部材の軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記第一の部材の軸を中心として前記第一の部材を回転揺動させ、前記第一の部材と第二の部材の接触面で発生する摩擦熱によって前記第一の部材と前期第二の部材を溶接する回転揺動溶接方法。
- 請求項2に記載の回転揺動溶接方法において、前記第一の部材と前期第二の部材との間に押圧力を加えることによって、前記摩擦熱の発生を促すことを特徴とする回転揺動溶接方法。
- 請求項2又は3に記載の回転揺動溶接方法において、前記超音波振動子の振動の波長及び位相のうちいずれか一方、又は双方を監視して、前記複数の超音波振動子の駆動信号を制御することを特徴とする回転揺動溶接方法。
- 請求項2乃至4に記載のいずれかの回転揺動溶接方法において、前記第一の部材と前期第二の部材の接触面との間に、該第一の部材及び該第二の部材のうちいずれか一方、又は双方よりも低い融点の溶接補助材を介在させることを特徴とする回転揺動溶接方法。
- 第一の部材の軸を中心とする円周の接線方向に、協同して振動する複数の超音波振動子と、
該複数の超音波振動子の振動を変換して、前記第一の部材に、前記第一の部材の軸を中心とした回転揺動を与える回転揺動部と、
第二の部材を保持して、回転揺動する前記第一の部材に接触させる保持部とを有する回転揺動溶接装置。 - 請求項6に記載の回転揺動溶接装置において、さらに、前記第一の部材と前記第二の部材との間に押圧力を加える押圧部を有することを特徴とする回転揺動溶接装置。
- 請求項6又は7に記載の回転揺動溶接装置において、さらに、前記複数の超音波振動子の振動の波長及び位相のうちいずれか一方、又は双方を監視して、前記複数の超音波振動子の駆動信号を制御する制御回路を有することを特徴とする回転揺動溶接装置。
- 光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを突き合わせて光素子と光ファイバの光軸調整をしながら、前記容器と前記カラーとを溶接する光素子モジュールの製造方法において、溶接に回転揺動溶接方法を用いる光素子モジュールの製造方法。
- 光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを突き合わせて光素子と光ファイバの光軸調整をしながら、前記容器と前記カラーとを溶接する光素子モジュールの製造方法であって、前記カラーの軸を中心とする円周の接線方向に振動する複数の超音波振動子を協同させて、前記カラーの軸を中心として前記カラーを回転揺動させ、前記カラーと前記容器の接触面で発生する摩擦熱によって前記カラーと前記容器とを溶接する光素子モジュールの製造方法。
- 請求項9又は10に記載の光素子モジュールの製造方法において、前記カラーと前期容器との間に押圧力を加えることによって、前記摩擦熱の発生を促すことを特徴とする光素子モジュールの製造方法。
- 請求項9乃至11に記載のいずれかの光素子モジュールの製造方法において、前記複数の超音波振動子の振動の波長及び位相のうちいずれか一方、又は双方を監視して、前記複数の超音波振動子の駆動信号を制御することを特徴とする光素子モジュールの製造方法。
- 請求項9乃至12に記載のいずれかの光素子モジュールの製造方法において、前記カラーと前期容器の接触面との間に、該カラー及び該容器のうちいずれか一方、又は双方よりも低い融点の溶接補助材を介在させることを特徴とする光素子モジュールの製造方法。
- 光ファイバの端部を固定するカラーと光素子を収容する容器とを突き合わせて光素子と光ファイバの光結合が最大になるように光素子と光ファイバの光軸調整をする調整部と、
前記カラーの軸を中心とする円周の接線方向に協同して振動する複数の超音波振動子と、
該複数の超音波振動子の振動を変換して、前記カラーに、前記カラーの軸を中心とした回転揺動を与える回転揺動部と、
前記容器を保持して、回転揺動する前記カラーに接触させる保持部とを有する光素子モジュールの製造装置。 - 請求項14に記載の光素子モジュールの製造装置において、さらに、前記カラーと前期容器との間に押圧力を加える押圧部を有することを特徴とする光素子モジュールの製造装置。
- 請求項14又は15に記載の光素子モジュールの製造装置において、さらに、前記複数の超音波振動子の振動の波長及び位相のうちいずれか一方、又は双方を監視して前記複数の超音波振動子の駆動信号を制御する制御回路を有することを特徴とする光素子モジュールの製造装置。
- 光素子を収容する容器と光ファイバの端部を固定するカラーとを接合した光素子モジュールであって、前記カラーの軸を中心として前記カラーを回転揺動させ、前記カラーと前記容器の接触面で発生する摩擦熱によって前記カラーと前記容器とを接合した光素子モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002204114A JP2004045835A (ja) | 2002-07-12 | 2002-07-12 | 回転揺動溶接方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002204114A JP2004045835A (ja) | 2002-07-12 | 2002-07-12 | 回転揺動溶接方法及びその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004045835A true JP2004045835A (ja) | 2004-02-12 |
Family
ID=31709804
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002204114A Pending JP2004045835A (ja) | 2002-07-12 | 2002-07-12 | 回転揺動溶接方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004045835A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100613469B1 (ko) | 2004-09-14 | 2006-08-21 | 명화공업주식회사 | 차량용 워터펌프 임펠러 조립체의 제조방법 |
CN107662345A (zh) * | 2016-12-17 | 2018-02-06 | 黄山富田精工制造有限公司 | 片状物的熔接系统及其方法 |
-
2002
- 2002-07-12 JP JP2002204114A patent/JP2004045835A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100613469B1 (ko) | 2004-09-14 | 2006-08-21 | 명화공업주식회사 | 차량용 워터펌프 임펠러 조립체의 제조방법 |
CN107662345A (zh) * | 2016-12-17 | 2018-02-06 | 黄山富田精工制造有限公司 | 片状物的熔接系统及其方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100571306B1 (ko) | 초음파 트랜스듀서 조립체 | |
TWI549206B (zh) | Jointing device | |
JPH1190329A (ja) | 超音波装置 | |
US6707232B2 (en) | Piezoelectric driving body, ultrasonic motor and electronic apparatus having an ultrasonic motor | |
US6457626B1 (en) | Symmetric ultrasonic rotary horn | |
WO2015170498A1 (ja) | ボンディング装置 | |
WO2020105434A1 (ja) | 超音波接合装置 | |
US10052714B2 (en) | Ultrasonic welding device with dual converters | |
JP3434672B2 (ja) | 小型回転式アクチュエータ及び小型回転式アクチュエータの共振周波数補正方法 | |
JP2005506829A (ja) | 圧電駆動装置 | |
JP2004045835A (ja) | 回転揺動溶接方法及びその装置 | |
JPWO2017082350A1 (ja) | ランジュバン型超音波振動子の縦・ねじり振動の励起方法 | |
KR102376232B1 (ko) | 초음파 용접 방법 | |
KR102371107B1 (ko) | 초음파 용접 장치 | |
JP2006239749A (ja) | 超音波接合方法および超音波接合装置 | |
JP7333725B2 (ja) | 超音波接合装置 | |
JP2017195743A (ja) | 振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒及び撮像装置 | |
JP7285005B2 (ja) | 機械振動加工装置及び機械振動加工方法 | |
JP2971971B2 (ja) | 超音波アクチュエータ | |
JP2009090296A (ja) | 超音波振動接合装置 | |
JP2000218403A (ja) | ねじり振動子 | |
JP4350201B2 (ja) | 超音波モータおよび超音波モータ付電子機器 | |
JPS61262091A (ja) | 振動波モ−タ | |
JP2005153083A (ja) | 部品接合方法及びその装置 | |
JP2004274837A (ja) | 超音波モータの駆動方法および駆動装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070412 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070808 |