JP2004031401A - 蓋部材開閉装置及びそれを備えたステーション - Google Patents
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Abstract
【解決手段】天板52、底板51、及び側板53により箱状に形成され、該側板53の一部に開口部50aを設け、該開口部50aに開閉自在且つ開閉用取手55を有する蓋54を備えた密閉可能な搬送トレイ50における、該蓋54を開閉するオープナー80であって、開閉用取手55に係合して蓋54を開閉させる開閉アーム81を備え、前記搬送トレイ50に板状物5を収納する際又は板状物5を取り出す際に、開閉アーム81を作動させて蓋54を開閉させる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶用パネル、プラズマディスプレイパネル、或いは有機EL(エレクトロ・ルミネッセンス)ディスプレイパネルとして用いられるガラス板或いは樹脂板等の特に大型(850mm×950mm以上)の板状物を収納可能な板状物搬送容器に設けられる蓋部材を開閉するための蓋部材開閉装置、及びその蓋部材開閉装置を備えたステーションの構成に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、液晶パネル等の板状物の搬送に用いられる搬送容器として、天井部材と底部材と、天井部材と底部材とを連結するとともに高さ方向に多数の棚を有する支柱とを備えた搬送容器が知られている。板状物は、各棚に積層状態で収納される。
このような搬送容器は密閉されていないため、内部に塵埃が侵入して板状物に付着するのを防止するためには、搬送容器の搬送経路の全てをクリーンな状態に保つ必要があった。これにより、搬送経路の設備やその維持のためのコストがかかるという問題があった。
この問題を解決するために、開閉可能な蓋部材を備えた密閉可能な搬送容器に、板状部材を収納して搬送することが検討されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
前述の如く、開閉可能な蓋部材を備えた密閉可能な搬送容器により板状物を搬送する場合、搬送工程を自動化することで人員やコストを削減することができるが、搬送工程の自動化を図るに際して、蓋部材を開閉するための開閉装置が必要となる。
そこで、本発明では、蓋部材を備えた密閉可能な搬送容器の蓋部材を開閉するための蓋部材開閉装置、及びそれを備えたステーションを提供して、該搬送容器への板状物の収納及び取り出しを自動化することを課題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決すべく、以下のような手段を用いるものである。即ち、請求項1の発明においては、天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させる。
【0005】
また、請求項2の発明においては、前記開閉部材は上下方向に回動する腕材であり、前記板状物搬送容器は蓋部材が上下方向に回動し、且つ被係合部材が蓋部材の左右端の少なくとも一端から外方へ突設されており、開閉部材は、上下回動することにより被係合部材と係合して蓋部材を開閉させる。
【0006】
さらに、請求項3の発明においては、天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させる蓋部材開閉装置と、板状物搬送容器を積層して載置する載置部と、蓋部材開閉装置の開閉部材の高さ位置が、載置部に積層された板状物搬送容器の内、蓋部材を開閉する板状物搬送容器の高さ位置と合うように、該開閉部材又は積層された板状物搬送容器を上下移動させる移動手段とを備えるステーションを構成する。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、添付の図面より説明する。図1は本発明にかかる蓋部材開閉装置を備えたステーションを示す側面図、図2はステーションのベース台に積層載置される搬送トレイを示す平面図、図3は同じく搬送トレイを示す底面図、図4は同じく2段に積み重ねた搬送トレイを示す正面断面図、図5は同じく搬送トレイの蓋部近傍を示す側面断面図、図6は同じく搬送トレイの上部係合部及び下部係合部を示す斜視図、図7はステーションを示す側面図、図8は同じくステーションを示す正面図、図9は同じくステーションを示す平面図、図10は搬送トレイの蓋を開閉するオープナーを示す側面図、図11はオープナーと搬送トレイ及び出し入れされる板状物との位置関係を示す平面図である。
【0008】
まず、本発明の実施の一形態にかかる蓋部材開閉装置を備えたステーションの全体構成について説明する。
図1に示すように、ステーション70aは、露光装置や洗浄装置等の処理装置Mに隣接して配設されるローダー/アンローダー70の筐体78内に設けられており、開閉自在な蓋54を備えた密閉可能な板状物搬送容器50を積層載置するベース台71と、該板状物搬送容器50の蓋54を開閉するための蓋部材開閉装置であるオープナー80と、ベース台71を昇降させる昇降機構77とを備えている。
板状物搬送容器50内には、例えば、液晶用パネル、プラズマディスプレイパネル、又は有機EL(エレクトロ・ルミネッセンス)ディスプレイパネルとして用いられるガラス板或いは樹脂板等の板状物であって、特に大型(850mm×950mm以上)の板状物5が一枚収容されている。
【0009】
ローダー/アンローダー70の筐体78内における、ステーション70aよりも処理装置M側には、ベース台71上に積層載置した板状物搬送容器50内に収容される板状物5を、処理装置Mへ移載するための枚葉移載装置62が配設されている。
筐体78の上面にはフィルターファンユニット(FFU)79が設けられており、該FFU79を通じて清浄化されたエアを筐体78内部に送り込むようにしている。
【0010】
ローダー/アンローダー70の反処理装置M側には、枚葉移載装置等の移載装置を備えた無人搬送車Vが走行しており、該無人搬送車Vにより搬送されてきた板状物搬送容器50が、ステーション70aのベース台71上に積層載置される。
無人搬送車Vは、図1の紙面に対する垂直方向に走行して板状物搬送容器50を搬送しているが、板状物搬送容器50の搬送はローラコンベア等によっても行うことができる。
【0011】
次に、ベース台71上に載置される板状物搬送容器としての搬送トレイ50について説明する。
図2〜図5に示すように、搬送トレイ50は、板状物5が一枚収納可能な、厚みが薄い略直方体形状に形成されており、搬送トレイ50の底面部に配置される底板51と、天井面部に配置される天板52と、側面部に配置され底板51と天板52とをつなぐ複数の側板53・53と、同じく側面部に形成される開口部50a・50aと、該開口部50a・50aを開閉する蓋54・54とを備えている。複数の側板53・53は互いに対向する位置に配置され、開口部50a・50aは側板53・53に対する垂直位置に配置されている。
【0012】
図3、図4に示すように、底板51の下方には、井桁形状の枠フレーム61aに複数の補強フレーム61aを掛架して構成したベースフレーム61が配置されており、該ベースフレーム61に底板51を装着することで、搬送トレイ50を補強して変形や歪みが生じることを防止している。
ベースフレーム61の、側板53・53が配置される側(図2及び図3における左右)の面からは、運搬用取手66・66がそれぞれ外方へ突出しており、該運搬用取手66・66を把持して搬送トレイ50を運搬等することが可能となっている。
【0013】
図2、図5に示すように、前記蓋54は、例えば、複数のヒンジ58により天板52に対して回動自在に取り付けられており、前記開口部50aを開閉可能としている。即ち、蓋54は、その上端部を中心にして上下回動自在に構成されている。
そして、蓋54を開くと、開口部50aを通じて、搬送トレイ50内への板状物5の収納、及び搬送トレイ50からの板状物5の取り出しを行うことができ、蓋54を全て閉じると、搬送トレイ50内を密閉することができる。
図5に示すように、蓋54にはマグネット54aが付設されるとともに、搬送トレイ50の本体側には被吸着部材50cが固設されており、蓋54を閉じた場合には該マグネット54aと被吸着部材50cとが吸着して、ある程度の力がかからないと蓋54が開かないように構成している。これにより、蓋54が、搬送トレイ50の移動や振動などにより、意図に反して開くことを防止している。
【0014】
なお、蓋54の開閉機構は、蓋54が上下にスライドするものや、蓋54全体が前に外れるような機構等、他の機構でも良く、蓋54と搬送トレイ50本体との間には、Oリング等の公知のシール手段を配置して密閉性を高めることが好ましい。
また、開口部50aの形成面を搬送トレイ50の前後側面(図2における上下面)とすると、板状物5の移載は前後方向に行われることとなる。
【0015】
このように、搬送トレイ50を、底板51と、天板52と、側板53・53と、開口部50aを開閉する蓋54とで、密閉可能な容器に構成することで、搬送トレイ50内を清浄な状態に保持していれば、搬送経路等の外部の雰囲気をさほど清浄な状態に保つ必要がなく、クリーン度を低くして設備コストを低減することができる。
【0016】
また、蓋54の左右端面からは、それぞれ開閉用取手55が突出しており、前記オープナー80により蓋54を開閉する際には、該オープナー80の開閉アーム81を開閉用取手55に係合することで、開閉操作を行うことが可能となっている。
【0017】
さらに、図2、図4に示すように、板状物5が液晶用ガラスである場合には、本例のように開口部50a及び蓋54は、搬送トレイ50の前後両方の側面部分に設けることが好ましい。これは、例えば、搬送トレイ50に収納された板状物5を洗浄する場合、一方の開口部50aから洗浄液を浸入させて他方の開口部50aから排出するといったように、洗浄液の搬送トレイ50に対する注入及び排出を容易に行うことができ、搬送トレイ50から板状物5を抜き出すことなく洗浄することが可能となるからである。
また、搬送トレイ50の前後両側から板状物を移載することができる。
【0018】
また、搬送トレイ50内部においては、複数の支持ピン59・59・・・が底板51から上方へ突出している。
複数の支持ピン59・59・・・上は搬送トレイ50に収納される板状物5を支持するものであり、各支持ピン59・59・・・は、該支持ピン59・59・・・上に載置された板状物5が撓まないような位置に配置されている。
例えば、複数の支持ピン59・59・・・は板状物5の移載方向に所定の間隔Sdを設けて列状に並べて配置されており、本例では3列の支持ピン列59a・59a・・・が、所定の間隔Swを設けて左右に配置されている。そして、この前後方向の間隔Sd及び左右方向の間隔Swを、載置された板状物5が撓まないような寸法に設定している。
さらに、各支持ピン列59a・59a・・・の配置間隔Swは、前記ローダー/アンローダー70が備える、枚葉移載装置62の一対のフォーク62a・62aが、干渉しないだけの間隔とされている。
【0019】
板状物5の搬送トレイ50に対する移載は、板状物5の移載を行う前記枚葉移載装置62の一対のフォーク62a・62aにより板状物5の下面を支持しながら、該フォーク62a・62aを移動させることで行われる。
従って、支持ピン59・59・・・は、支持した板状物5と搬送トレイ50の底板51との間に、少なくとも、前記一対のフォーク62a・62aを挿入することができるだけの間隔を確保できるような高さに形成されている。
【0020】
また、例えば、板状物5を搬送トレイ50から取り出す場合には、支持ピン59・59・・・上に載置されている板状物5を、枚葉移載装置62により一旦上方へ持ち上げて取り出すため、該板状物5と搬送トレイ50の上面との間にも所定の空間が設けられている。
なお、支持ピン列59a・59a・・・は、各列の間隔Swが枚葉移載装置62のフォーク62aが挿入可能な間隔であり、且つ板状物5が撓まないような間隔であれば、4列以上設けることも可能である。
【0021】
このように支持ピン59・59・・・を配列することにより、通常一対のフォーク62a・62aを有するローダー/アンローダー70の枚葉移載装置62による板状物5の移載を、支障なくスムーズに行うことが可能となっている。
また、支持ピン59・59・・・の配置間隔Sd及び間隔Swを、板状物5が撓まないような寸法に設定しているので、液晶パネル等の板状物5が搬送トレイ50やフォーク62a・62aに不意に接触する等して破損することを防止することができるとともに、搬送トレイ50の高さ寸法を抑えて、該搬送トレイ50を積み重ねた場合における板状物5の収納ピッチを小さくすることができ、収納効率を向上することができる。
【0022】
図4、図6に示すように、搬送トレイ50は上下方向に複数段積み重ねることができ、該搬送トレイ50上面の4箇所の角部、及び下面の4箇所の角部には、それぞれ上部係合部56及び下部係合部57が形成されている。
上部係合部56は天板52の上面から上方に突出する突起部56aを有しており、下部係合部57は、その下端位置をベースフレーム61の下面に合わせるとともに、前記突起56aの形状に合わせた切り欠き部57aを有している。
【0023】
そして、搬送トレイ50を上下に積み重ねると、各角部において上部係合部56と下部係合部57とが係合し、上下に隣接する搬送トレイ50の前後方向及び左右方向の位置決めが行われて、両者の位置ずれを防止できるようにしている。これにより、搬送トレイ50を積み重ねた状態での搬送中に、振動等で上方の搬送トレイ50が位置ずれを起こし、さらには落下する等といったことを防止でき、搬送トレイ50の上下方向への積載を確実に行うことができる。
なお、図6に示すように、蓋54に設けられる前記開閉用取手55は、左右外方へ突出する軸55aによりローラ55bを回転自在に支持して構成されている。
【0024】
次に、ローダー/アンローダー70のステーション70a、及び該ステーション70aに設けられるオープナー80について説明する。
図7〜図9に示すように、ステーション70aのベース台71上には複数の弾性部材72・72・・・が配設されており、載置される搬送トレイ50・50・・・は、該弾性部材72・72・・・を介してベース台71に支持される。
搬送トレイ50・50・・・は、弾性部材72・72・・・を介して支持されているため、ベース台71に対して弾性部材72・72・・・が弾性変形する範囲内で水平方向に移動可能である。
【0025】
また、図7、図9に示すように、ベース台71の対角線上には、一対の位置決め部材73・73が配設されている。該位置決め部材73・73は、ベース台71の対角線方向に移動可能であり、中央側へ移動することで搬送トレイ50・50・・・を挟持し、該搬送トレイ50・50・・・の水平方向の位置決めをする。
この場合、搬送トレイ50・50・・・の当初の載置位置と位置決め後の位置とが異なった場合は、位置決めにより搬送トレイ50・50・・・が移動した寸法だけ、該搬送トレイ50・50・・・を支持する弾性部材72・72・・・が、弾性変形することとなる。
ベース台71上にはいくつかのトレイ検出センサ74・74が配設されており、該ベース台71上に搬送トレイ50が載置されているか否かの判別を行うようにしている。
【0026】
図8に示すように、前記昇降機構77は、ベース台71に固設されるスライド部77bと、該スライド部77bが上下摺動自在に取り付けられる支持柱77aと、スライド部77bを支持柱77aに対して上下摺動駆動する図示せぬ駆動部とを備えており、該駆動部の作動によりベース台71を任意の高さ位置に昇降することを可能としている。
【0027】
また、図1に示すように、ステーション70aにおけるベース台71の近傍には、搬送トレイ50の蓋54を開閉操作するオープナー80が配設されており、該オープナー80は、支持部材82によりローダー/アンローダー70の筐体78に取付固定されている。
オープナー80は、上下に揺動可能な開閉アーム81を具備しており、該開閉アーム81を下方から上方へ回動させると、該開閉アーム81が蓋54の開閉用取手55に係合して、該開閉用取手55を上方に持ち上げる。これにより、蓋54が開いて、搬送トレイ50へ板状物を移載する、又は搬送トレイ50から板状物を取り出すことが可能となる。
尚、図9においては、オープナー80は搬送トレイ50の左右一側にのみ配設されているが、該オープナー80を左右両側に配設して、搬送トレイ50の左右両側の開閉用取手55とオープナー80とを係合させて蓋54を開閉するように構成することもできる。
【0028】
図10に示すように、回動自在に支持されるオープナー80の腕部材である開閉アーム81は、通常時(蓋54を開けないとき)には下方回動した姿勢aにある。
蓋54を開けるときは、開閉アーム81がこの下方回動姿勢から上方回動して、水平位置Oよりも所定角度θだけ上方回動した姿勢bとなったときに、該開閉アーム81の先端部と蓋54の被係合部材である開閉用取手55とが係合する。
この姿勢bにある係合開始時点においては、開閉アーム81の先端は、開閉用取手55の中心に対して、寸法dだけ開閉アーム81の回動中心から遠い位置にある。
【0029】
このように、開閉アーム81が水平位置Oよりも所定角度θだけ上方回動した姿勢bにて開閉用取手55と係合し、係合したときには開閉アーム81の先端が寸法dだけ開閉アーム81の回動中心から半径方向外側へ突出しているので、開閉アーム81が姿勢bから上方回動すると、係合した開閉用取手55をオープナー80側へ引き付けつつすくい上げることとなり、これに伴って蓋54が上方回動して開く。開閉アーム81は、蓋54が完全に開く姿勢cとなるまで上方回動する。
開閉アーム81が係合する開閉用取手55には、前記ローラ55bが設けられており、ローラ55bが開閉アーム81に当接し、転動することで、蓋54の開閉が滑らかに行えるようになっている。
尚、前記開閉アーム81の形状は、本実施の一形態では、前記開閉用取手55が係合する部位に凹部を形成して、よりスムーズに開閉できるようにしているが、製造が容易なように、凹部が形成されない直線形状であっても良い。
【0030】
開閉アーム81が上方回動して姿勢cとなった状態にて、搬送トレイ50からの板状物5の取り出しや、搬送トレイ50内への板状物5の収納が行われる。
そして、蓋54を閉じるときには、開閉アーム81を姿勢cの位置から下方回動すると、蓋54を自重により下方回動して閉じる。
尚、開閉アーム81の先端は、姿勢bにて開閉用取手55の中心よりも寸法dだけ外側へ突出しているが、回動軌跡pで示すように、蓋54を開閉する搬送トレイ50よりも一段下方の搬送トレイ50の開閉用取手55には接触しないように構成されている。
このように、前記オープナー80は、その開閉アーム81が目的の前記搬送トレイ50の蓋54に形成されている開閉用取手55と接触するときには、開閉アーム81が水平よりも少し上方に回動した位置で接触するが、開閉アーム81の先端が目的の搬送トレイ50より一段下の搬送トレイ50の開閉用取手55には接触しないように、前記ステーション70aに配設されるようになっている。この結果、目的の搬送トレイ50の蓋54のみを開閉することができる。
【0031】
また、図11に示すように、前記開閉用取手55及び開閉アーム81は蓋54の左右端部よりも外方に位置しており、オープナー80は出し入れされる板状物5の端部よりも左右外方、且つ開いた状態の蓋54の端部よりも前後外方(図11における上方)に位置しているため、オープナー80及びその開閉アーム81が板状物5及び前記一対のフォーク62a・62aの移動経路から外れた位置に配置されることとなり、板状物5を搬送トレイ50に対して出し入れする際に、オープナー80及び該オープナー80の開閉アーム81が邪魔になることがない。
【0032】
このように配置されたオープナー80の開閉アーム81が、上下回動する蓋54の左右端から外方へ突設される開閉用取手55と係合して該蓋54を開閉させるように構成しているので、
板状物5の搬送トレイ50に対する収納及び取り出しを行う際に、開閉アーム81や開閉用取手55が板状物5と干渉することがなく、蓋54の開閉や、板状物5の搬送トレイ50に対する収納及び取り出しをスムーズ且つ確実に行うことができる。
【0033】
また、前記ベース台71は昇降機構77により昇降可能に構成されているので、該ベース台71を適宜昇降させることで、複数段に積層される搬送トレイ50の内、任意の段における搬送トレイ50の高さ位置をオープナー80の高さ位置とを合わせることができ、目的とする段の搬送トレイ50の蓋54を開閉して、その搬送トレイ50内に収容される板状物5の取り出し及び収納を行うことができる。
尚、ベース台71の高さを固定して、オープナー80を支持部材82に対して上下スライド可能に取り付け、昇降装置により上下移動させて、該オープナー80とベース台71との高さ位置を合わせるようにすることもできる。
【0034】
このように、オープナー80は、開閉用取手55に係合して蓋54を開閉させる開閉アーム81を備え、搬送トレイ50に板状物5を収納する際又は板状物5を取り出す際に、開閉アーム81を作動させて蓋54を開閉させるように構成されているので、該開閉アーム81の動作と枚葉移載装置62の動作とを連動させることで、板状物5の搬送トレイ50に対する収納及び取り出しの自動化を図ることが可能となる。
【0035】
【発明の効果】
本発明は以上の如く構成したので、次のような効果を奏するのである。即ち、請求項1記載の如く、天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させることにより、
該開閉部材による蓋部材の開閉と、板状物の収納及び取り出しとを連動させることで、板状物の板状物搬送容器に対する収納及び取り出しの自動化を図ることが可能となる。
【0036】
さらに、請求項2記載の如く、前記開閉部材は上下方向に回動する腕材であり、前記板状物搬送容器は蓋部材が上下方向に回動し、且つ被係合部材が蓋部材の左右端の少なくとも一端から外方へ突設されており、開閉部材は、上下回動することにより被係合部材と係合して蓋部材を開閉させるので、
板状物の板状物搬送容器に対する収納及び取り出しを行う際に、開閉部材や被係合部材が板状物と干渉することがなく、蓋の開閉や、板状物の板状物搬送容器に対する収納及び取り出しをスムーズ且つ確実に行うことができる。
【0037】
さらに、請求項3記載の如く、天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させる蓋部材開閉装置と、板状物搬送容器を積層して載置する載置部と、蓋部材開閉装置の開閉部材の高さ位置が、載置部に積層された板状物搬送容器の内、蓋部材を開閉する板状物搬送容器の高さ位置と合うように、該開閉部材又は積層された板状物搬送容器を上下移動させる移動手段とを備えるので、
板状物搬送容器が複数段に積層されていたとしても、移動手段により、目的の段の板状物搬送容器の蓋を開閉して、その板状物搬送容器に収納される板状物の取り出し及び収納を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる蓋部材開閉装置を備えたステーションを示す側面図である。
【図2】ステーションのベース台に積層載置される搬送トレイを示す平面図である。
【図3】同じく搬送トレイを示す底面図である。
【図4】同じく2段に積み重ねた搬送トレイを示す正面断面図である。
【図5】同じく搬送トレイの蓋部近傍を示す側面断面図である。
【図6】同じく搬送トレイの上部係合部及び下部係合部を示す斜視図である。
【図7】ステーションを示す側面図である。
【図8】同じくステーションを示す正面図である。
【図9】同じくステーションを示す平面図である。
【図10】搬送トレイの蓋を開閉するオープナーを示す側面図である。
【図11】オープナーと搬送トレイ及び出し入れされる板状物との位置関係を示す平面図である。
【符号の説明】
M 処理装置
V 無人搬送車
5 板状物
50 搬送トレイ
54 蓋
55 開閉用取手
70 板状物移載装置
70a ステーション
71 ベース台
77 昇降機構
80 オープナー
81 開閉アーム
Claims (3)
- 天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、
被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させることを特徴とする蓋部材開閉装置。 - 前記開閉部材は上下方向に回動する腕材であり、
前記板状物搬送容器は蓋部材が上下方向に回動し、且つ被係合部材が蓋部材の左右端の少なくとも一端から外方へ突設されており、
開閉部材は、上下回動することにより被係合部材と係合して蓋部材を開閉させることを特徴とする請求項1に記載の蓋部材開閉装置。 - 天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させる蓋部材開閉装置と、
板状物搬送容器を積層して載置する載置部と、
蓋部材開閉装置の開閉部材の高さ位置が、載置部に積層された板状物搬送容器の内、蓋部材を開閉する板状物搬送容器の高さ位置と合うように、該開閉部材又は積層された板状物搬送容器を上下移動させる移動手段と、
を備えることを特徴とする蓋部材開閉装置を備えたステーション。
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