JP2004014969A - 半導体表面処理方法 - Google Patents
半導体表面処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004014969A JP2004014969A JP2002169568A JP2002169568A JP2004014969A JP 2004014969 A JP2004014969 A JP 2004014969A JP 2002169568 A JP2002169568 A JP 2002169568A JP 2002169568 A JP2002169568 A JP 2002169568A JP 2004014969 A JP2004014969 A JP 2004014969A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface treatment
- vacuum vessel
- discharge
- temperature
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】半導体素子の配線やゲート電極のエッチングで問題となるエッチング装置を大気開放にて清掃してから製品を寸法変動無く加工できるまでの時間を短縮できる。
【解決手段】装置の大気開放清掃終了後の真空引きにて、真空容器壁温度を通常の製品エッチング時の温度より高く設定すると同時にSF6あるいはCF4を含むガスで放電を行う。
【選択図】 図1
【解決手段】装置の大気開放清掃終了後の真空引きにて、真空容器壁温度を通常の製品エッチング時の温度より高く設定すると同時にSF6あるいはCF4を含むガスで放電を行う。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は表面処理方法に係り、特にプラズマを用いて半導体ウエハ表面をエッチングして半導体素子を作製する半導体表面処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子のエッチングにはプラズマを利用した装置が広く用いられている。ここではそのうちの一つであるECR(電子サイクロトロン共鳴)方式と呼ばれる装置を例に説明する。この方式は、真空容器中にマイクロ波を導入しプラズマを発生する。コイルにより磁場を形成し、磁場によりプラズマ中の電子にローレンツ力が働き、電子は磁力線の回りを回転運動(サイクロトロン運動)する。この電子の回転の周期とマイクロ波の周波数を等しくすると共鳴し、効率良くプラズマを発生できる。また、試料に入射するイオンを加速するために、試料には高周波電圧が印加される。一般的にプラズマとなるガスには塩素やフッ素などのハロゲンガスが用いられる。
【0003】
このような装置のクリーニング方法に関連する技術としては、例えば特許公報第2797307号公報記載の技術が知られている。ここでは、ECR型エッチング装置の真空容器壁の電位をかえて、プラズマの発生場所を制御して、真空容器壁をクリーニングする技術が述べられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
半導体素子の高速化に伴い、LSI(Large Scale Integrated circuit)の加工寸法は現在0.1μmレベルになっている。素子の電極や配線部分の加工精度は±0.01μm以下が必要となっている。
一方、プラズマを用いたエッチング装置では加工寸法が時間とともに微少に変動する問題がある。たとえばエッチング装置では真空容器の内壁からのガスの放出状態などによってプラズマが影響を受け、寸法変動が生じる。一般にエッチング装置では内部にSi等の反応生成物が付着して異物が発生するので、定期的に真空容器内部を清掃する必要がある。この際に真空容器を大気開放して、内壁を水等で清掃する。清掃後再び容器内を真空引きするが、定常状態に落ち着くまでは表面処理を開始できない。通常、短時間で定常状態に戻すために、真空を引くと同時に慣らし放電を行ったりする。慣らし放電が十分でないと、清掃後のエッチング寸法と数百枚処理後のエッチング寸法には変動が生じてしまう。素子の微細化に伴い、この寸法変動のために要求加工精度を満たすことが困難になっている。一方、慣らし放電時間が長くなると装置の稼動率が落ちてしまう。前述の公知例などでクリーニング方法は知られているが、素子寸法の精度が厳しくなるに伴い、より短時間でエッチングの寸法変動を抑えるクリーニング方法が必要となっている。
【0005】
本発明の目的は、プラズマを用いた半導体表面処理方法で問題となる経時的な加工寸法の変動を抑えて、0.1μmレベルの半導体素子を再現性良く加工することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
真空容器にその温度を調整する機能をつけて、清掃などで真空容器を大気開放した後に、真空引き開始から表面処理を開始する間の真空容器壁の温度を表面処理時の温度より高く設定すると同時にこの間にSF6ガスの放電を発生させる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を図により説明する。
【0008】
〔実施例〕
図1は本発明を適用するECR方式のエッチング装置の全体構成図である。マイクロ波電源101から導波管102を介して真空容器104内にマイクロ波が導入される。容器の天板103はマイクロ波を透過するために石英でできている。真空容器104の回りには電磁石105が設置されており、磁場強度はマイクロ波の周波数と電子のサイクロトロン周波数が同じになるように設定される。例えば、マイクロ波の周波数が2.45GHzならば磁場強度は875Gaussである。試料106は試料台107の上に設置される。試料に入射するイオンを加速するために、高周波電源108が試料台107に接続されている。高周波電源の周波数に特に制限はないが、通常では200kHzから20MHzの範囲である。真空容器内面は石英内筒109で被われている。また、真空容器にはその温度を調整するためのヒータ110が設けられている。
【0009】
図2には、真空容器清掃後に慣らし放電と呼ぶSiダミーウエハを試料台に置き放電を発生させる処理をした後に、多結晶シリコンゲート試料のエッチングを行い、そのエッチング寸法と慣らし放電の回数(処理したSiダミーウエハの数)の関係を示す。多結晶シリコンゲート試料のおよその構造はSi基板上にゲート酸化膜3.5nm、多結晶シリコン250nm、ハードマスク(酸化膜)50nmである。この製品の規格寸法は130nmであるが、図2のように真空容器を大気開放して内部の水ぶきおよび石英部品(天板103と内筒109)のフッ酸エッチングを行った直後は、水分や真空容器壁が安定状態にない影響で、寸法は規格より大きくなってしまう。
【0010】
慣らし放電を繰り返すと、寸法は次第に細くなり規格に入る。慣らし放電の時間は短いほどよく、慣らし放電が多いことは装置の遊び時間が長い、すなわち製品のスループットが低くなり、また無駄なSiダミーウエハを多く必要とすることになる。製品のエッチングガスは塩素(18cc)+酸素(3cc)+HBr(82cc)、圧力0.4Paで真空容器壁温度を100℃に調節している。
【0011】
図2の曲線AはSiダミーウエハ1枚につき慣らし放電を塩素(18cc)+酸素(3cc)+HBr(82cc)、圧力0.4Paで120秒とSF6(150cc)圧力1Paで30秒行い、真空容器壁温度は製品エッチング時と同じ100℃に設定した場合である。曲線Bは本発明に従い、慣らし放電のガス組成と放電時間は曲線Aと同じであるが、真空容器温度を150℃とし、製品エッチング時には温度を100℃とした場合である。慣らし放電時の真空容器温度をエッチング時の温度より高くすることにより、寸法が規格に入るまでのSiダミーウエハ数が約100枚となり、曲線Aと比較して約50枚少なくなる。図2曲線Cは、温度を変えるのに加えて、慣らし放電条件を塩素(18cc)+酸素(3cc)+HBr(82cc)圧力0.4Paで30秒とSF6(150cc)圧力1Paで120秒にしたものである。
【0012】
すなわち、SF6放電時間をエッチングガス(塩素+酸素+HBr)放電時間より長く設定した。この条件では約50枚のSiダミーウエハで規格に入り、曲線Bよりさらに早く安定させることができる。この原因はおそらく、SF6放電のFに、石英と反応して水分を置換したり早く壁を安定状態にする効果があり、この時に真空容器壁温度が高いと反応が促進され安定までの時間が短縮されるためと思われる。さらにエッチング時に真空容器壁の温度を下げると容器からの脱ガス量が減り安定するためと考えられる。
【0013】
慣らし放電時に真空容器の温度を上げると、真空容器からの脱ガスが試料台の方に吸着する恐れがある。この場合は、慣らし放電時に試料台の温度も、エッチング時より高く設定すればよい。例えば先に述べた例では試料台温度を20℃に設定しており問題はないが、もし条件により試料台への堆積物が多くなった場合は、慣らし放電中の試料台の温度を50℃程度にすればよい。
【0014】
また、本実施例はECR型のエッチング装置での例を説明したが、エッチング装置はECRに限らず、容量結合型のプラズマ源装置あるいは誘導結合型のプラズマ源装置でも同様に効果がある。また慣らし放電に用いるガスはSF6と酸素や希ガスの混合ガス、あるいはCF4とその混合ガスでも効果は同じである。
【0015】
また、慣らし放電時に用いるウエハはSiウエハに酸化膜をつけたものにするとSi反応生成物の量が減少するために、異物などをより抑えることができる。
【0016】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体素子のエッチング装置にて問題となる、大気開放での内部清掃後から製品着工を開始するまでの安定化に要する時間を短くして、装置の稼動時間をあげることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用する表面処理装置の全体構成図。
【図2】慣らし放電回数とエッチング寸法の関係。
【符号の説明】
101…マイクロ波電源、102…導波管、103…天板、104…真空容器、105…電磁石、106…試料、107…試料台、108…高周波電源、109…内筒、110…ヒータ。
【発明の属する技術分野】
本発明は表面処理方法に係り、特にプラズマを用いて半導体ウエハ表面をエッチングして半導体素子を作製する半導体表面処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子のエッチングにはプラズマを利用した装置が広く用いられている。ここではそのうちの一つであるECR(電子サイクロトロン共鳴)方式と呼ばれる装置を例に説明する。この方式は、真空容器中にマイクロ波を導入しプラズマを発生する。コイルにより磁場を形成し、磁場によりプラズマ中の電子にローレンツ力が働き、電子は磁力線の回りを回転運動(サイクロトロン運動)する。この電子の回転の周期とマイクロ波の周波数を等しくすると共鳴し、効率良くプラズマを発生できる。また、試料に入射するイオンを加速するために、試料には高周波電圧が印加される。一般的にプラズマとなるガスには塩素やフッ素などのハロゲンガスが用いられる。
【0003】
このような装置のクリーニング方法に関連する技術としては、例えば特許公報第2797307号公報記載の技術が知られている。ここでは、ECR型エッチング装置の真空容器壁の電位をかえて、プラズマの発生場所を制御して、真空容器壁をクリーニングする技術が述べられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
半導体素子の高速化に伴い、LSI(Large Scale Integrated circuit)の加工寸法は現在0.1μmレベルになっている。素子の電極や配線部分の加工精度は±0.01μm以下が必要となっている。
一方、プラズマを用いたエッチング装置では加工寸法が時間とともに微少に変動する問題がある。たとえばエッチング装置では真空容器の内壁からのガスの放出状態などによってプラズマが影響を受け、寸法変動が生じる。一般にエッチング装置では内部にSi等の反応生成物が付着して異物が発生するので、定期的に真空容器内部を清掃する必要がある。この際に真空容器を大気開放して、内壁を水等で清掃する。清掃後再び容器内を真空引きするが、定常状態に落ち着くまでは表面処理を開始できない。通常、短時間で定常状態に戻すために、真空を引くと同時に慣らし放電を行ったりする。慣らし放電が十分でないと、清掃後のエッチング寸法と数百枚処理後のエッチング寸法には変動が生じてしまう。素子の微細化に伴い、この寸法変動のために要求加工精度を満たすことが困難になっている。一方、慣らし放電時間が長くなると装置の稼動率が落ちてしまう。前述の公知例などでクリーニング方法は知られているが、素子寸法の精度が厳しくなるに伴い、より短時間でエッチングの寸法変動を抑えるクリーニング方法が必要となっている。
【0005】
本発明の目的は、プラズマを用いた半導体表面処理方法で問題となる経時的な加工寸法の変動を抑えて、0.1μmレベルの半導体素子を再現性良く加工することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
真空容器にその温度を調整する機能をつけて、清掃などで真空容器を大気開放した後に、真空引き開始から表面処理を開始する間の真空容器壁の温度を表面処理時の温度より高く設定すると同時にこの間にSF6ガスの放電を発生させる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を図により説明する。
【0008】
〔実施例〕
図1は本発明を適用するECR方式のエッチング装置の全体構成図である。マイクロ波電源101から導波管102を介して真空容器104内にマイクロ波が導入される。容器の天板103はマイクロ波を透過するために石英でできている。真空容器104の回りには電磁石105が設置されており、磁場強度はマイクロ波の周波数と電子のサイクロトロン周波数が同じになるように設定される。例えば、マイクロ波の周波数が2.45GHzならば磁場強度は875Gaussである。試料106は試料台107の上に設置される。試料に入射するイオンを加速するために、高周波電源108が試料台107に接続されている。高周波電源の周波数に特に制限はないが、通常では200kHzから20MHzの範囲である。真空容器内面は石英内筒109で被われている。また、真空容器にはその温度を調整するためのヒータ110が設けられている。
【0009】
図2には、真空容器清掃後に慣らし放電と呼ぶSiダミーウエハを試料台に置き放電を発生させる処理をした後に、多結晶シリコンゲート試料のエッチングを行い、そのエッチング寸法と慣らし放電の回数(処理したSiダミーウエハの数)の関係を示す。多結晶シリコンゲート試料のおよその構造はSi基板上にゲート酸化膜3.5nm、多結晶シリコン250nm、ハードマスク(酸化膜)50nmである。この製品の規格寸法は130nmであるが、図2のように真空容器を大気開放して内部の水ぶきおよび石英部品(天板103と内筒109)のフッ酸エッチングを行った直後は、水分や真空容器壁が安定状態にない影響で、寸法は規格より大きくなってしまう。
【0010】
慣らし放電を繰り返すと、寸法は次第に細くなり規格に入る。慣らし放電の時間は短いほどよく、慣らし放電が多いことは装置の遊び時間が長い、すなわち製品のスループットが低くなり、また無駄なSiダミーウエハを多く必要とすることになる。製品のエッチングガスは塩素(18cc)+酸素(3cc)+HBr(82cc)、圧力0.4Paで真空容器壁温度を100℃に調節している。
【0011】
図2の曲線AはSiダミーウエハ1枚につき慣らし放電を塩素(18cc)+酸素(3cc)+HBr(82cc)、圧力0.4Paで120秒とSF6(150cc)圧力1Paで30秒行い、真空容器壁温度は製品エッチング時と同じ100℃に設定した場合である。曲線Bは本発明に従い、慣らし放電のガス組成と放電時間は曲線Aと同じであるが、真空容器温度を150℃とし、製品エッチング時には温度を100℃とした場合である。慣らし放電時の真空容器温度をエッチング時の温度より高くすることにより、寸法が規格に入るまでのSiダミーウエハ数が約100枚となり、曲線Aと比較して約50枚少なくなる。図2曲線Cは、温度を変えるのに加えて、慣らし放電条件を塩素(18cc)+酸素(3cc)+HBr(82cc)圧力0.4Paで30秒とSF6(150cc)圧力1Paで120秒にしたものである。
【0012】
すなわち、SF6放電時間をエッチングガス(塩素+酸素+HBr)放電時間より長く設定した。この条件では約50枚のSiダミーウエハで規格に入り、曲線Bよりさらに早く安定させることができる。この原因はおそらく、SF6放電のFに、石英と反応して水分を置換したり早く壁を安定状態にする効果があり、この時に真空容器壁温度が高いと反応が促進され安定までの時間が短縮されるためと思われる。さらにエッチング時に真空容器壁の温度を下げると容器からの脱ガス量が減り安定するためと考えられる。
【0013】
慣らし放電時に真空容器の温度を上げると、真空容器からの脱ガスが試料台の方に吸着する恐れがある。この場合は、慣らし放電時に試料台の温度も、エッチング時より高く設定すればよい。例えば先に述べた例では試料台温度を20℃に設定しており問題はないが、もし条件により試料台への堆積物が多くなった場合は、慣らし放電中の試料台の温度を50℃程度にすればよい。
【0014】
また、本実施例はECR型のエッチング装置での例を説明したが、エッチング装置はECRに限らず、容量結合型のプラズマ源装置あるいは誘導結合型のプラズマ源装置でも同様に効果がある。また慣らし放電に用いるガスはSF6と酸素や希ガスの混合ガス、あるいはCF4とその混合ガスでも効果は同じである。
【0015】
また、慣らし放電時に用いるウエハはSiウエハに酸化膜をつけたものにするとSi反応生成物の量が減少するために、異物などをより抑えることができる。
【0016】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体素子のエッチング装置にて問題となる、大気開放での内部清掃後から製品着工を開始するまでの安定化に要する時間を短くして、装置の稼動時間をあげることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用する表面処理装置の全体構成図。
【図2】慣らし放電回数とエッチング寸法の関係。
【符号の説明】
101…マイクロ波電源、102…導波管、103…天板、104…真空容器、105…電磁石、106…試料、107…試料台、108…高周波電源、109…内筒、110…ヒータ。
Claims (6)
- 真空容器とその中にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と真空容器内に設けられた試料台と試料に高周波電圧を印加する高周波電源と真空容器の温度を調整する手段からなる装置による半導体表面処理において、真空容器を大気開放した後の、真空引き開始から表面処理を開始する間の真空容器温度を表面処理時の真空容器温度より高く調節すると同時に表面処理開始前に少なくともSF6あるいはCF4を含むガスの放電を発生させる期間を設けることを特徴とする半導体表面処理方法。
- 請求項1記載の半導体表面処理方法において、真空引き開始から表面処理を開始する間の真空容器温度を150℃以上、表面処理時の真空容器温度を100℃以下に調節したことを特徴とする半導体表面処理方法。
- 請求項1又は2記載の半導体表面処理方法において、表面処理を開始する前にSF6を含む放電と表面処理時に用いるガスの放電を交互に繰り返すことを特徴とする半導体表面処理方法。
- 請求項3記載の半導体表面処理方法において、交互に繰り返す放電は、SF6を含むガスの放電時間が表面処理時に用いるガスの放電時間よりも長いことを特徴とする半導体表面処理方法。
- 請求項1から4のいずれかに記載の半導体表面処理方法において、真空引き開始から表面処理を開始する間の試料台の温度を、表面処理時の試料台温度より高く設定することを特徴とする半導体表面処理方法。
- 請求項1から5のいずれかに記載の半導体表面処理方法において、SF6あるいはCF4の放電時には試料台に酸化膜で被われたSiウエハを設置しておくことを特徴とする半導体表面処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002169568A JP2004014969A (ja) | 2002-06-11 | 2002-06-11 | 半導体表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002169568A JP2004014969A (ja) | 2002-06-11 | 2002-06-11 | 半導体表面処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004014969A true JP2004014969A (ja) | 2004-01-15 |
Family
ID=30436091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002169568A Pending JP2004014969A (ja) | 2002-06-11 | 2002-06-11 | 半導体表面処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004014969A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008227427A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
KR20240012446A (ko) | 2021-05-26 | 2024-01-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 시스템 및 메인터넌스 방법 |
-
2002
- 2002-06-11 JP JP2002169568A patent/JP2004014969A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008227427A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
KR20240012446A (ko) | 2021-05-26 | 2024-01-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 시스템 및 메인터넌스 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI559395B (zh) | Plasma processing device and plasma processing method | |
KR101164829B1 (ko) | 일 세트의 플라즈마 처리 단계를 튜닝하는 방법 및 장치 | |
JP2918892B2 (ja) | プラズマエッチング処理方法 | |
EP2911187A1 (en) | Etching method | |
EP0429809A2 (en) | Method and apparatus for etching semiconductor materials | |
US5968374A (en) | Methods and apparatus for controlled partial ashing in a variable-gap plasma processing chamber | |
JP2005039015A (ja) | プラズマ処理方法および装置 | |
JP2001110784A (ja) | プラズマ処理装置および処理方法 | |
JP2014053644A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
KR102538188B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치의 세정 방법 | |
TWI745590B (zh) | 蝕刻多孔質膜之方法 | |
KR20180032153A (ko) | 플라스마 처리 방법 | |
JP6763750B2 (ja) | 被処理体を処理する方法 | |
JP2001244245A (ja) | 試料の表面処理装置及び表面処理方法 | |
JP2004014969A (ja) | 半導体表面処理方法 | |
JP4381694B2 (ja) | 試料の表面処理方法 | |
JP2002359234A (ja) | プラズマ処理方法 | |
JP2004335789A (ja) | 基板処理装置のクリーニング方法 | |
KR20160070711A (ko) | 플라즈마 처리 방법 | |
JP4061691B2 (ja) | 表面加工方法 | |
JP2002176037A (ja) | プラズマプロセス用装置 | |
JPH10308352A (ja) | プラズマ処理方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP2001077085A (ja) | 試料の表面処理方法 | |
JP3263880B2 (ja) | 半導体基板の処理方法 | |
JP2000012521A (ja) | プラズマアッシング方法 |