JP2004004092A - X線検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1及び第2のコリメータは、X線ビームによって実際に照射されたターゲット(18)の部分が選定された検査区域の寸法に実質的に等しくなるように、線源(12)及びターゲット(18)に対して配置される。そして、ターゲット(18)に隣接し、第2のコリメータ(14)に対向してX線検出器を配置してもよく、ターゲット(18)と検出器との間に第3のコリメータを更に配置してもよい。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的にX線検査装置に関し、より具体的には、X線検査装置用のコリメータに関する。
【0002】
【従来技術】
工業用部品のX線検査システムにリニア検出器を使用することは公知である。リニア検出器は改良されたコントラスト解像度を提供でき、従ってデジタルX線撮影法(DR)及びコンピュータ断層撮影法(CT)に適している。改良されたコントラスト解像度は、得られる画像への散乱X線の分散を減少させるX線コリメーションの使用により得られる。理想的には、X線源は、検査される部品上の検査領域を定めるフラットなX線ビーム平面を形成するように垂直方向にコリメートされる。不都合なことに、X線の焦点からのX線ビームには垂直方向の開きが存在する。この開きは、部品を望ましい検査区域の外側のX線に曝し、そのことがX線散乱を生じさせる。開きを最小にするためには、線源コリメータのアパーチャの寸法を縮小させることができるが、このことはX線焦点の垂直方向の遮蔽を招き、X線源の有効出力を減少させ、そのため部品検査時間を増大させる。垂直方向のコリメーションはまた、ターゲットとX線検出器との間で行われることができるが、この手法は、部品と検出器との距離を増加させ、コリメーションの効果を低下させる。そのことはまた、検査の有効視野(及び、従って検査可能な部品寸法)を縮小させ、焦点ぶれの影響を増大させる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従って、X線源の出力を有効に利用しながら、有効なコリメーションを組み入れたX線検査システムへの要求がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上述の要求は、X線源と第1及び第2のコリメータとを有するX線検査システムを提供する本発明によって満たされる。第1及び第2のコリメータは、X線ビームによって実際に照射されたターゲットの部分が、選定された検査区域の寸法に実質的に等しくなるように、照射源及びターゲットに対して配置される。
【0005】
本発明及び従来技術に優るその利点は、付随する図面を参照して、以下の詳細な説明及び添付の特許請求の範囲を読むことによって明らかになるであろう。
【0006】
本発明とみなされる主題は、本明細書の冒頭において具体的に指摘され、明確に請求されている。しかしながら、本発明は、付随する図面の図に関連してなされる以下の説明を参照することによって最もよく理解することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
図面において種々の図を通して同じ参照数字は同一の要素を示しているが、その図面を参照すると、図1は、本発明により製作された例示的なX線検査装置10を示す。装置10は、Aで表されている中心ビーム軸線(これは装置全体のx軸に平行である)に沿って順次配置された幾つかの構成要素を備え、それらには高エネルギーX線源12、プレターゲットコリメータ14、ターゲット18を支持するターゲット支持構造体16、及び検出器組立体20が含まれる。
【0008】
線源12、プレターゲットコリメータ14、及び検出器組立体20は、図1に示すガントリー13のような支持構造体から吊り下げられており、該ガントリー13は公知の方法で上昇及び下降されてターゲット18に対してX線構成要素を垂直方向すなわちz方向に移動させることができる水平部材15を含む。これら3つの構成要素の全てはまた、図1の矢印で示されるように、公知の手段によって装置10のx軸に沿って個々に移動させることができる。
【0009】
X線源12は、特定の用途に必要なレベルのエネルギーを有するX線を発生できる、いずれの公知のX線源であってもよい。X線源12は、ビームの垂直方向の分散を制限する、例えばアパーチャ24を有する鉛製のスリット型コリメータ(図6を参照)である第1のコリメータ22を含む。図示した実施例において、アパーチャ24は、約3mm(0.12インチ)の垂直方向寸法(高さ)及び約100mm(3.9インチ)の水平方向寸法(幅)を有する。好適なX線源の1つは、米国84104 カリフォルニア州パロアルト,3100 Hansen WayのVarian Industrial Productsから入手できる6MeVの出力のLinatron M6リニア加速器である。例示的な実施形態においては、線源12の焦点は、検出器(後述する)から約2.4m(96インチ)離れて配置されている。
【0010】
図2、図3及び図4を参照すると、プレターゲットコリメータが詳細に示されている。プレターゲットコリメータ14は、それを貫通して形成された開口部30を有する平板状の本体28を含む。1対のエンドピース32(図3を参照)が、例えば締結具34を用いて本体28の各端部に取付けられる。エンドピースは、例えば植込みボルト38によるような、プレターゲットコリメータ14を支持構造体36に取付けるための手段を含む。一対のコリメータ・ジョー40が、本体28の前面42に取付けられる。コリメータ・ジョー40は、平行に間隔をおいて配置された1対の横棒44を含み、該横棒の各々はジョーピース46を支持する。各ジョーピース46の間のほぼ直方形の空間が、プレターゲットコリメータ14のアパーチャ48を形成する。ジョーピース46は、タングステンのような放射線不透過性材料で製作され、x方向のビームを阻止するのに十分な、例えば約7.62cm(3インチ)の長さを有する。各横棒44は、1対のピボットリンク50によって、互いに対して移動可能な関係で平行に保持され、該ピボットリンク50は、ピボットピン52によってコリメータ本体28と横棒44の端部とに取付けられる。リンク50のうちの1つは延長アーム54を有し、該延長アーム54は、ピボットピン52及びねじ付きロッド58によって可制御モータ56に接続される。この配置は、モータ56を作動させてリンク50をピボット動させ、それによってジョーピースを互いに向かって又は互いから離れるように移動させることにより、アパーチャ48の垂直方向の寸法(高さ)を特定の用途に適合するように調整することを可能にする。プレターゲットコリメータの作動機構は、モータ56の制御に使用される手段(図示せず)にフィードバックを与えるための適当な公知の手段を含む。例えば、LVDTのような位置センサ57を上側横棒44に取付けることができ、該位置センサの可動プローブ又はロッド59が上側ジョーピース46の孔を貫通して突出し下側ジョーピース46に接触している。位置センサの出力は、ジョーピース46間の隙間の直接的な測定値を提供し、モータ56とジョーピース46との間の可動部品のあらゆる過剰な動きと無関係にアパーチャ48を制御することを可能にする。
【0011】
図示した実施例においては、アパーチャ48は、ほぼ0mm(0インチ)すなわち完全な閉鎖からほぼ6mm(0.24インチ)まで調節されることができる。ジョー46は、プレターゲットコリメータ14の位置におけるビームの開きを包含するのに十分な距離だけy方向(x軸及びz軸の両方に垂直な)に延びる幅を有する。図示した実施例においては、ジョー36は、幅がほぼ66cm(26インチ)である。
【0012】
ターゲット支持構造体16は、ターゲット18を支持しかつ操作するための手段を形成する。図1に示した例示的な支持構造体16は、ターゲット18を回転させることができるように動力が与えられたターンテーブル60を備える。ターゲット18は、図示した実施例に示されるように、台座のような適当な治具64によりターンテーブルに取付けられる。治具64には、クランプ又は締結具(図示せず)のような、ターゲット18を固定するための公知の手段が組み込まれる。必要に応じて、支持構造体16は更に、他の方法、例えばターゲット18をターンテーブル60の軸とは異なる他の軸の周りに回転させること、又はx、yあるいはz軸内でターゲット18を移動させることなどによる方法で、ターゲット18を操作するための公知の手段を含むことができる。
【0013】
検出器組立体20は、例えばリニア配列検出器19のようなX線検出器19とポストターゲットコリメータ21とを含む。ポストターゲットコリメータは、公知の形式のものであり、一般的に、ビームを面内で(すなわち、第1のコリメータ22及びプレターゲットコリメータ14の方向に対して水平方向に又は垂直方向に)コリメートするように配置された放射線不透過性のプレートの配列を含む。
【0014】
図5及び図6は、従来技術のシステムの作動と比較して、X線検査装置10の作動を示す。図5を参照すると、従来技術のX線検査システム210は、垂直方向コリメータ214を有する線源212を含む。作動において、線源212は扇形のX線ビーム300を発生し、このビーム300は、図5にその中心線がBで表されているターゲット18に向かって進むにつれて発散する。この発散により、ターゲット18は、図5にH1で表されているz方向での寸法を有する区域にわたってX線によって照射されるようになる。不都合なことに、H2で表されている望ましい検査区域のz方向寸法(高さ)は、非常に小さく、例えば約0.5mm(0.02インチ)ほどに小さいものである。望ましい検査区域の外側の迷放射線は、X線の散乱を生じ、この散乱が、検査システムのコントラスト解像度及び測定精度の両方を低下させる。
【0015】
図6は、本発明のX線検査装置10の作動を示す。X線ビーム100は、X線源12内で発生される。X線ビーム100は、焦点110から伝播し、第1のコリメータ22の水平スリット状のアパーチャ24を通過する。次にビーム100は、中心ビーム軸線Aに沿ってターゲット18に向かって進むにつれて発散する。ビーム100は、続いて、ターゲット18に物理的に可能な限り近接して置かれたプレターゲットコリメータ14のアパーチャ48を通過する。プレターゲットコリメータ14からターゲット18までの距離が最小にされているので、z方向に測定された図6にH3で表されているX線ビームに曝されたターゲット18の部分は、望ましい検査区域の高さH2に実質的に等しくなり、従って迷放射線及び散乱が排除される。
【0016】
図示した実施例においては、プレターゲットコリメータ14は、ターゲット18から約2.5cm(1インチ)離れて配置されている。これに対し、プレターゲットコリメータ14を有していない類似の従来技術を使用する場合には、ターゲット18は、線源コリメータから約125cm(49インチ)離れて配置される。言うまでもなく、これらの寸法は単に代表的なものであり、特定の用途に適合するように変更することができる。考慮すべき重要な点は、ターゲット18の操作に物理的に干渉することなく、プレターゲットコリメータ14がターゲット18に可能な限り近接するように該コリメータ14を配置することである。
【0017】
本発明の構成要素の配置は、X線源12において必要とされるコリメーションを最小にし、ターゲット18と検出器組立体20との間の垂直方向のコリメーションに対する必要性を完全に排除する。加えて、本発明のX線検査装置10の改良された画像形成性能により、複合材料及び部品の検査、複雑な部品及び組立体のリバースエンジニアリング、高解像度X線測定技術、並びに先行品検査及び妥当性確認のような用途にこの検査装置10が有効に適用されることを可能にする。本発明により製作された装置は、検査速度の低下なしに、従来技術のシステムよりもコントラスト解像度において70%もの、また測定精度において40%もの改善を示した。
【0018】
上記に、X線ビームによって実際に照射されたターゲットの部分が選定された検査区域の寸法に実質的に等しくなるように、第1及び第2のコリメータが線源及びターゲットに対して配置された、X線源と第1及び第2のコリメータとを有するX線検査システムを説明した。本発明の特定の実施形態を説明してきたが、これらの実施形態に対する多くの変更を、本発明の技術思想及び技術的範囲から逸脱することなく行うことができることは、当業者には明らかであろう。なお、特許請求の範囲に記載された符号は、理解容易のためであってなんら発明の技術的範囲を実施例に限縮するものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明により製作されたX線検査システムの側面図。
【図2】本発明のX線検査システムに使用するのに好適なプレターゲットコリメータの正面図。
【図3】図2のプレターゲットコリメータの側面図。
【図4】図2のプレターゲットコリメータの背面図。
【図5】従来技術のX線検査システムの概略側面図。
【図6】本発明のX線検査システムの概略側面図。
【符号の説明】
10 X線検査装置
12 X線源
13 ガントリー
14 プレターゲットコリメータ
15 水平部材
16 ターゲット支持構造体
18 ターゲット
19 X線検出器
20 検出器組立体
21 ポストターゲットコリメータ
22 線源コリメータ
24 アパーチャ
60 ターンテーブル
64 治具
A 中心ビーム軸線
Claims (9)
- 中心軸線に沿って順次配置された以下の要素、すなわち、
前記中心軸線に沿って放射線のビームを投射できるX線源(12)と、
前記中心軸線に沿った第1の位置において該中心軸線と同軸に配置され、該中心軸線に垂直な第1の方向において第1の寸法を持つ第1のアパーチャを有する第1のコリメータ(22)と、
前記中心軸線に沿った第2の位置において該中心軸線と同軸に配置され、前記第1の方向において第2の寸法を持つ第2のアパーチャを有する第2のコリメータ(14)と、
前記中心軸線がターゲット(18)の選定された検査区域を通過するようにするための手段と、
を含み、
前記第2のコリメータ(14)の前記第2の位置及び前記第2のアパーチャの前記第2の寸法は、前記第1の方向で測定された前記ビームによって実際に照射された前記ターゲット(18)の部分が該第1の方向で測定された前記選定された検査区域の寸法に実質的に等しくなるように選定される、
ことを特徴とするX線検査システム(10)。 - 前記ターゲット(18)に隣接し、前記第2のコリメータ(14)に対向して配置されたX線検出器と、
前記ターゲット(18)と前記検出器との間に配置された第3のコリメータと、を更に含むことを特徴とする、請求項1に記載のX線検査システム(10)。 - 前記第3のコリメータが第3のアパーチャを有し、該第3のアパーチャが、前記中心軸線及び前記第1の方向に対して垂直方向に配向されていることを特徴とする、請求項2に記載のX線検査システム(10)。
- 中心軸線に沿って放射線のビームを投射できるX線源(12)を設ける段階と、
前記中心軸線に沿った第1の位置において該中心軸線と同軸に配置され、該中心軸線に垂直な第1の方向において第1の寸法を持つ第1のアパーチャを有する第1のコリメータ(22)を設ける段階と、
前記中心軸線に沿った第2の位置において該中心軸線と同軸に配置され、前記第1の方向において第2の寸法を持つ第2のアパーチャを有する第2のコリメータ(14)を設ける段階と、
前記中心軸線がターゲット(18)の選定された検査区域を通過するようにするための手段を設ける段階と、
を含み、
第2のコリメータ(14)を設ける前記段階が、前記第1の方向で測定された前記ビームによって実際に照射され前記ターゲット(18)の部分が該第1の方向で測定された前記選定された検査区域の寸法に実質的に等しくなるように、前記第2の位置及び前記第2のアパーチャの前記第2の寸法を選定する段階を含む、
ことを特徴とするX線検査法。 - 前記ターゲット(18)に隣接し、前記第2のコリメータ(14)に対向して配置されたX線検出器を設ける段階と、
前記ターゲット(18)と前記検出器との間に配置された第3のコリメータを儲かる段階と、
を更に含むことを特徴とする、請求項4に記載のX線検査法。 - 前記第3のコリメータが第3のアパーチャを有し、該第3のアパーチャが、前記中心軸線及び前記第1の方向に対して垂直方向に配向されていることを特徴とする、請求項5に記載のX線検査法。
- 中心軸線に沿って順次配置された以下の要素、
前記中心軸線に沿って放射線のビームを投射できるX線源(12)と、
前記中心軸線に沿った第1の位置において該中心軸線と同軸に配置され、第1の方向に配向された第1のアパーチャを有する第1のコリメータ(22)と、
前記中心軸線に沿った第2の位置において該中心軸線と同軸に配置され、前記第1の方向に配向された第2のアパーチャを有する第2のコリメータ(14)と、
ターゲット(18)を支持するための手段と、
を含み、
前記第2のコリメータ(14)が、前記ターゲット(18)に干渉することなく該ターゲット(18)を支持するための前記手段に可能な限り接近して配置されている、
ことを特徴とするX線検査システム(10)。 - 前記ターゲット(18)に隣接し、前記第2のコリメータ(14)に対向して配置されたX線検出器と、
前記ターゲット(18)と前記検出器との間に配置された第3のコリメータと、を更に含むことを特徴とする、請求項7に記載のX線検査システム(10)。 - 前記第3のコリメータが、前記第1の方向に対して垂直方向に配向されていることを特徴とする、請求項8に記載のX線検査システム(10)。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010156607A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Sony Corp | X線断層撮像装置およびx線断層撮像方法 |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7062011B1 (en) * | 2002-12-10 | 2006-06-13 | Analogic Corporation | Cargo container tomography scanning system |
US7140771B2 (en) * | 2003-09-22 | 2006-11-28 | Leek Paul H | X-ray producing device with reduced shielding |
US7133491B2 (en) * | 2004-01-15 | 2006-11-07 | Bio-Imaging Research, Inc. | Traveling X-ray inspection system with collimators |
US7224772B2 (en) * | 2004-07-20 | 2007-05-29 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Radiography by selective detection of scatter field velocity components |
US7315609B2 (en) * | 2004-09-16 | 2008-01-01 | The Boeing Company | Real-time X-ray scanner and remote crawler apparatus and method |
US7050535B2 (en) | 2004-09-16 | 2006-05-23 | The Boeing Company | X-ray laminography inspection system and method |
US7617732B2 (en) * | 2005-08-26 | 2009-11-17 | The Boeing Company | Integrated curved linear ultrasonic transducer inspection apparatus, systems, and methods |
US7464596B2 (en) * | 2004-09-24 | 2008-12-16 | The Boeing Company | Integrated ultrasonic inspection probes, systems, and methods for inspection of composite assemblies |
US7444876B2 (en) * | 2005-08-26 | 2008-11-04 | The Boeing Company | Rapid prototype integrated linear ultrasonic transducer inspection apparatus, systems, and methods |
US7640810B2 (en) * | 2005-07-11 | 2010-01-05 | The Boeing Company | Ultrasonic inspection apparatus, system, and method |
DE102004058007B4 (de) * | 2004-12-01 | 2009-02-12 | Siemens Ag | Röntgen-Computertomograf |
US7249512B2 (en) * | 2005-01-24 | 2007-07-31 | The Boeing Company | Non-destructive stringer inspection apparatus and method |
US7313959B2 (en) * | 2005-05-25 | 2008-01-01 | The Boeing Company | Magnetically attracted apparatus, system, and method for remote bondline thickness measurement |
CH698140B1 (de) * | 2006-01-20 | 2009-05-29 | Alstom Technology Ltd | Verfahren zur Digitalisierung dreidimensionaler Bauteile. |
US7497620B2 (en) * | 2006-03-28 | 2009-03-03 | General Electric Company | Method and system for a multiple focal spot x-ray system |
FR2960642B1 (fr) * | 2010-05-28 | 2012-07-13 | Snecma | Procede de controle non destructif et dispositif de mise en oeuvre du procede |
CN105452804B (zh) * | 2013-05-10 | 2019-01-15 | 株式会社尼康 | X线装置及构造物的制造方法 |
KR20150058672A (ko) * | 2013-11-19 | 2015-05-29 | 삼성전자주식회사 | 엑스선 영상 장치 및 그 제어 방법 |
DE102016103413B4 (de) * | 2016-02-26 | 2017-11-09 | Deutsches Elektronen-Synchrotron Desy | Spaltsystem |
DE102016219708A1 (de) * | 2016-10-11 | 2017-11-16 | Siemens Healthcare Gmbh | Variable Filtervorrichtung für ein Röntgengerät sowie Röntgengerät |
DE102016013315A1 (de) * | 2016-11-08 | 2018-05-09 | RayScan Technologies GmbH | Messsystem und Verfahren zum Betreiben eines Messsystems |
US10948428B2 (en) * | 2018-05-25 | 2021-03-16 | Delavan Inc. | Reducing scatter for computed tomography |
JP7143567B2 (ja) * | 2018-09-14 | 2022-09-29 | 株式会社島津テクノリサーチ | 材料試験機および放射線ct装置 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4096391A (en) * | 1976-10-15 | 1978-06-20 | The Board Of Trustees Of The University Of Alabama | Method and apparatus for reduction of scatter in diagnostic radiology |
US4203037A (en) | 1977-08-01 | 1980-05-13 | University Of Pittsburgh | Collimated radiation apparatus |
US4277684A (en) | 1977-08-18 | 1981-07-07 | U.S. Philips Corporation | X-Ray collimator, particularly for use in computerized axial tomography apparatus |
DE2756659A1 (de) * | 1977-12-19 | 1979-06-21 | Philips Patentverwaltung | Anordnung zur bestimmung der absorptionsverteilung |
US4489426A (en) | 1981-12-23 | 1984-12-18 | General Electric Company | Collimator with adjustable aperture |
US4404591A (en) * | 1982-01-04 | 1983-09-13 | North American Philips Corporation | Slit radiography |
DE3301899A1 (de) * | 1983-01-21 | 1984-07-26 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren und anordnung zur messung strahlungsabhaengiger eigenschaften eines koerpers |
US4691332A (en) | 1983-03-14 | 1987-09-01 | American Science And Engineering, Inc. | High energy computed tomography |
US4638499A (en) | 1984-08-06 | 1987-01-20 | General Electric Company | High resolution collimator system for X-ray detector |
JPS61249452A (ja) | 1985-04-30 | 1986-11-06 | 株式会社東芝 | X線診断装置 |
NL8800738A (nl) * | 1988-03-24 | 1989-10-16 | Philips Nv | Roentgenonderzoekapparaat met een instelbaar spleetvormig diafragma. |
US5119408A (en) | 1990-10-31 | 1992-06-02 | General Electric Company | Rotate/rotate method and apparatus for computed tomography x-ray inspection of large objects |
RU2098797C1 (ru) * | 1994-11-30 | 1997-12-10 | Алексей Владиславович Курбатов | Способ получения проекции объекта с помощью проникающего излучения и устройство для его осуществления |
GB2297835A (en) | 1995-02-08 | 1996-08-14 | Secr Defence | Three dimensional detection of contraband using x rays |
US5684855A (en) | 1995-02-16 | 1997-11-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray CT scanner |
US6005919A (en) * | 1996-10-25 | 1999-12-21 | Radionics, Inc. | Jaw and circular collimator |
JP2000504422A (ja) | 1996-11-05 | 2000-04-11 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 2つのコリメータマスクを有するx線分析装置 |
US6054712A (en) * | 1998-01-23 | 2000-04-25 | Quanta Vision, Inc. | Inspection equipment using small-angle topography in determining an object's internal structure and composition |
US6304628B1 (en) | 1999-02-17 | 2001-10-16 | Siemens Medical Systems, Inc. | Wedge angle optimization for a virtual wedge treatment |
US6175615B1 (en) | 1999-04-12 | 2001-01-16 | General Electric Company | Radiation imager collimator |
US6496557B2 (en) * | 2000-02-09 | 2002-12-17 | Hologic, Inc. | Two-dimensional slot x-ray bone densitometry, radiography and tomography |
US6330300B1 (en) * | 2000-08-23 | 2001-12-11 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | High definition intensity modulating radiation therapy system and method |
-
2002
- 2002-05-31 US US10/161,276 patent/US6711235B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2003
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010156607A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Sony Corp | X線断層撮像装置およびx線断層撮像方法 |
Also Published As
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