JP2003532249A - 磁気コイルを有した磁気ヘッド - Google Patents

磁気コイルを有した磁気ヘッド

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JP2003532249A JP2001579301A JP2001579301A JP2003532249A JP 2003532249 A JP2003532249 A JP 2003532249A JP 2001579301 A JP2001579301 A JP 2001579301A JP 2001579301 A JP2001579301 A JP 2001579301A JP 2003532249 A JP2003532249 A JP 2003532249A
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セー ペニング,フランク
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    • G11B2220/2525Magneto-optical [MO] discs

Abstract

(57)【要約】 磁気ヘッドは、光磁気装置での使用に適している。磁気ヘッドは、中央開口部(3)を備えた平らな光磁気コイル(1)を有する。コイルは、平行なコイル層(5a,5b)を有し、各コイル層は、中央開口部まわりに配列された回転体(5A,5B)を有する。少なくとも1のコイル層は、中央開口部により近い回転体は、中央開口部により遠い回転体よりも小さい幅(w)となる回転体を有する。少なくとも1のコイル層は、他のコイル層うちの1のコイル層の最外側の回転体(5A)よりも中央開口部に近くに位置する最外側の回転体(5B)を有する。定義されたコイル構造は、抑制されたキャパシタンスを有する一方で、電力損も抑制される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 本発明は、中央の開口部を有する少なくとも略平らな磁気コイルを含む、光磁
気デバイスで使用される磁気ヘッドであって、上記コイルは、中央の開口部のま
わりに延在する電導性のある少なくとも1の回転体をそれぞれ有した、相互に少
なくとも略平行に延在するコイル層を有する、磁気ヘッドに関する。
【0002】 かかる磁気ヘッドは、WO−A 98/48418より知られている。既知の磁気ヘッ
ドは、薄膜技術によって形成された複数の回転体をそれぞれ含む、2つの略等し
い形成のコイル部を有した平らな磁気コイルを含む。磁気コイルは、コイルと共
に光ビームに対する中央通路を画成する磁気ヨークに延在する。既知の磁気ヘッ
ドは、光磁気媒体へのデータの記録のため光磁気(MO)システムで使用される
ことを意図されている。データの記録若しくは読み出し中、磁気ヘッドは、光磁
気媒体から少し離れて位置する。光磁気システムは、磁気ヘッドと、レーザーソ
ースと、レーザービームを記録層に中央通路を経由して送ることを可能とする、
集束レンズを含む光素子とを含む。データの記憶中、レーザービームは、光磁気
媒体の記録層の保磁力を低減するために利用され、選択された点が記録層の略キ
ュリー温度まで熱される。一方、磁気コイルは、磁気ドメインのパターンを画成
すべく、記録層を横断する、時間と共に変化する磁場を、生成するように起動さ
れる。記憶された情報の読み出し中、MO媒体は、とりわけ知られている光磁気
のカー効果が利用され、レーザービームにより走査される。
【0003】 情報の磁気光学的な記憶の間、記憶されるデータビットの最小幅は、回折の制
限によって、即ち使用される集束レンズの開口数(NA)及びレーザービームの
波長によって、要求される。上記幅の低減は、より短い波長のレーザー及びより
高いNAの光学的な集束システムに一般的に基づく。光磁気記録中、最小ビット
長は、パルスレーザー磁場変調を使用することによって、光学的な回折の制限未
満まで低減できる。このプロセスでは、ビット遷移は、磁場の反転の速さとレー
ザーソースのスイッチングによって発生する温度勾配とによって、決定される。
小さなビット長且つ高いデータレートを得るため、低い自己インダクタンス、低
いキャパシタンス、及び低い抵抗のような、特別な要求を満足する磁気コイルが
、必要となる。これらの要求を、従来の巻き線型コイルによって満足することが
できない。それ故、今日では、特に薄膜技術であるマルチレイヤー技術によって
製造されるコイルが利用されている。
【0004】 高いデータレートの磁気光学的な記録に適した磁気コイルは、良好な高周波挙
動を有するべきである。このことは、かかるコイルが十分低い自己インダクタン
ス、低いキャパシタンス、及び低い抵抗を有すべきであると共に、電力損が許容
できるレベルであるべきことを意味する。従って、所与のコイル構成の回転数の
増加は、電力損が電流の二乗に比例し抵抗に比例するので、ある一定の磁場を発
生するのに要する電流の低減を招くが、自己インダクタンスの増加を招き、それ
故にデータレートが制限されてしまう。
【0005】 既知の磁気ヘッドに使用されるコイル構成は、上述した問題点の解決手段を提
供しない。
【0006】 本発明の目的は、例えば100Mbit/sのような高速で情報記憶するため
の磁気ヘッドであって、これゆえに、高いスイッチング周波数で使用されること
ができ想定される使用に対して許容できる低い電力損を有する磁気コイルを含む
、光磁気デバイスでの使用に好適な磁気ヘッドを、提供することにある。
【0007】 上記目的は、中央の開口部と、上記開口部まわりに延在する少なくとも1の電
導性のある回転体をそれぞれ有し互いに略平行に延在するコイル層とを有した少
なくとも略平らな磁気コイルを、含む光磁気デバイス用磁気ヘッドであって、少
なくとも1の上記コイル層は、回転体を有し、該回転体のうち上記中央開口部に
より近い位置にある回転体は、上記中央開口部からより遠い位置にある回転体よ
りも小さい幅を有し、少なくとも1の上記コイル層は、他の上記コイル層の一の
最も外側の回転体よりも、上記開口部に近くに位置する上記最も外側の回転体を
有する本発明による磁気ヘッドによって達成される。
【0008】 磁気コイルの中央開口部は、レーザービームのための通路として機能する。内
側の回転体によって画成される中央開口部は、実際の開口であってよく、或いは
、コイルの材料とは異なる、Al、SiO、Siのような特に透
過性のある材料によって形成された透過性中央領域であってよい。回転体は、C
u,Au,Alのような金属から形成されてよい。本発明による磁気ヘッドにお
いて、磁気コイルは、中央開口部から外側に向かって減少する回転体密度を有し
て、コイルの電力損に好ましい影響を与え、一方、コイル層は、相互に異なる寸
法を有して、キャパシタンスを範囲内に維持する。適切な光磁気記録のためには
、磁気コイルが中央開口部内及び中央開口部付近で200Oe(16kA/m)
のオーダーの磁場を生成することができることが重要である。中央開口部により
近い回転体は、磁場の生成に最も効果的であるので、中央開口部内及び中央開口
部付近での磁場の生成に著しい貢献をする。低い自己インダクタンス及び低いキ
ャパシタンスの結果、本発明による磁気ヘッドは、良好な高周波挙動を呈する。
これは、試験により確認されている。磁気ヘッドは、例えば100Gbit/i
のような非常に高い密度による情報記憶用のMOデバイスでの使用に適して
いる。本発明による手段のその他の重要な効果は、比較的大きな中央開口部を使
用できることである。光学系が設置されており、光学系の一部が機械的に剛でな
く結合されている、光磁気デバイスのスライダーの中で、磁気ヘッドが使用され
る場合、比較的大きな中央開口部は、望ましいだろう。更に、大きな中央開口部
は、レーザービームの位置が中央開口部に対して変化するトラッキングの目的に
対して望ましい。本発明による磁気ヘッドは、情報記録に対してだけでなく、情
報読み出しに対しても使用できる。
【0009】 請求項2は、本発明による磁気ヘッドの実際的な実施例を定義する。
【0010】 本発明による磁気ヘッドの実施例は、上記中央開口部に向かう上記回転体の上
記幅の減少は、一定に変化することを特徴とする。環状の磁気コイルの場合、コ
イル層の回転体の間の距離は、好ましくは、技術的な理由のため、一定に維持さ
れ、好ましくは、コイルの高い効率を保証すべく、最小化される。ここで、効率
とは、所与の電力で発生する磁場の強度を意味すると理解されるべきである。回
転体の幅は、好ましくは、磁気コイルから中央開口部を通る中心軸までの距離の
n乗に比例し、ここで、nは、以下の通りである。
【0011】
【数1】 本発明による磁気ヘッドの実施例は、1の最も外側の回転体は、他の最も外側
の回転体よりも上記中央開口部に対し実質的に近くに位置することを特徴とする
。1のコイル層の回転体の数は、他のコイル層の回転体の数より実質的に小さく
(例えば、半分)することができる。
【0012】 本発明による磁気ヘッドの実施例は、コイル層は、薄膜層であることを特徴と
する。磁気コイルは、結果的に薄膜技術によって製造されるコイルである。適用
される技術は、とりわけ知られている技術であってよい。少なくとも2のコイル
層、好ましくは全てのコイル層が、平らなベースに配列された場合、寄生キャパ
シタンス及びコンダクタンスの更なる低減を生むので、高周波挙動が更に改善さ
れることができる。請求項6は、この局面に関連した、本発明による磁気ヘッド
の実施例を定義する。本発明は、更に、本発明による磁気ヘッドを製造する方法
に関する。本発明による方法は、請求項7に定義される。請求項7に定義される
手段は、製造プロセスが一若しくはそれ以上の平坦化処理を含むことを意味する
。これは、例えば絶縁層の付着後にメカノケミカル研磨ステップが実行されるこ
とを意味する。或いは、スピン−オン−ガラス(SOG)平坦化が使用されてよ
い。述べられた方法は、共にとりわけ知られている。
【0013】 本発明は、更に、光磁気デバイスで使用されるスライダー、及び請求項1乃至
6記載のうちいずれか1項の本発明による磁気ヘッドが設置されたスライダーに
関する。
【0014】 光磁気媒体と連係するスライダーは、動作時に、磁気ヘッドと媒体との間に空
気の膜(エアーフィルム)が形成され、磁気ヘッドが、とりわけ知られた方法で
実現できるが、光磁気媒体から略一定距離を置いて浮動することを、保証する。
【0015】 本発明によるスライダーの実施例は、磁気コイルが組み込まれるスライダー本
体を有する。
【0016】 本発明は、特に請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載されたような、本発
明による磁気ヘッドを含む光磁気デバイス、若しくは、特に請求項7又は8に記
載されたような本発明によるスライダーを含む光磁気デバイスに関する。本発明
による光磁気デバイスは、情報を光磁気媒体にとりわけ知られている方法で磁気
光学的に記録するのに適している。本デバイスは、情報を読み出すのにも適して
いる。
【0017】 各請求項を参照するに、各請求項に定義した特徴的な特性及び手段の種々の組
み合わせが可能であることを注意されたい。
【0018】 本発明は、これより、図面を参照し例を用いつつ、より詳細に説明される。
【0019】 図1及び図2に示す本発明による磁気ヘッドの実施例は、光磁気デバイスでの
使用に適している。磁気ヘッドは、磁気コイル1と簡易に称される、中央のコイ
ル軸3aを有する中央開口部3を有した平らで輪形の光磁気コイル1を含む。本
例の磁気コイル1は、例えばSiOからなる絶縁層5cによって相互から分離
された、互いに平行に延在する2つのコイル層5a,5bを有する。本例のコイ
ル層5aは、最も外側の回転体5Aと中央開口部3付近の最も内側の回転体5
とを含むCuからなる7つの回転体5Aを有する。本例のコイル層5bは、
最も外側の回転体5Bと中央開口部3付近の最も内側の回転体5Bとを含む
同様にCuからなる4つの回転体5Bを有する。中央開口部3は、SiOのよ
うな透過性の材料により充填される。回転体5A,5Bの各セットは、接続面7
a,7bを各々有しており、この2つのセットは、相互接続部7Cによって電気
的に接続されている。
【0020】 本例では、コイル層5a,5bのそれぞれの回転体は、螺旋形状を有する。回
転体5A,5Bのセットのうち中央開口部3により近くに位置する回転体は、中
央開口部3からより離れて位置する回転体よりも小さい幅wを有する。回転体5
,5Bから視て、幅wは、回転体5A,5Bに向かうにつれて徐々に
増加していく。本例では、コイル層5a,5bのそれぞれの回転体の間の距離d
は、一定である。最も外側の回転体5Bは、最も外側の回転体5Aよりも実
質的に小さい径を有する。本磁気コイルは、とりわけ知られている薄膜技術によ
って製造でき、かかる場合、コイル層が作製される前に、該当するコイル層のた
めの平らなベースを得るため、例えばメカノケミカル研磨処理のような平坦化処
理を実行する。薄膜層は、基板に、例えばスライダーのスライダー本体によって
形成され、付着されてよい。
【0021】 図3のグラフ表現は、図1及び図2に示す実施例の測定されたインピーダンス
Zを周波数fの関数として示す。ここで、ReZは、インピーダンスの実数部、
ImZは、インピーダンスの虚数部であり、ω=2πfである。
【0022】 図4のグラフ表現では、図1及び図2に示す実施例に非常に類似するモデルの
計算された磁界強度Hzは、磁気コイルの半径rの関数として示しており、コイ
ル層5bから離れた側のコイル層5aの面から算出された、13μmの高さhで
決定されている(図1及び図2を参照)。中央開口部の半径は、90μm、磁気
コイルの半径は、306μm、磁気コイルの全体高さは、9μmである。
【0023】 図5及び図6に示す本発明によるスライダーは、光磁気デバイスでの使用に適
し、本例ではガラスにより作製された透明なスライダー本体11を有しており、
本発明による磁気ヘッドの実施例が組み込まれている。そこに設置される磁気コ
イルは参照符号13で参照される。スライダーは、特にMO媒体である情報媒体
との協働を意図して構造化された面11aを有する。集束レンズ15は、面11
aから離れた側の側面11bに、本例ではスライダー本体11の上に、搭載され
る。
【0024】 図7に示すアプリケーションは、図5及び図6に示すような種のスライダーを
含む。ここで符号21により参照されるスライダーは、対物レンズ25を集束レ
ンズ15に加えて含む光学系と協働する。走査中、記録層27aを有するMO媒
体27は、スライダー21に対して移動され、スライダー21は、MO媒体から
少し離れて浮動している。このとき、レーザービーム29は、記録層27aのス
ポット29aに合焦される。
【0025】 図8は、図5及び図6に示す種のスライダー31であるが集束レンズを有して
いないスライダーを使用する他のアプリケーションを示す。このアプリケーショ
ンでは、スライダー31は、同様にMO媒体37の上を浮動するが、走査に要す
るレーザービーム39は、MO層37aに到達する前に、媒体37の透過性のあ
る基板37bを横断する。これゆえに、媒体37は、スライダー31と光学系の
対物レンズ35との間に介在される。
【0026】 図9に示す本発明によるデバイスの実施例は、MOディスク55用のスピンド
ル53を回転可能に支持しスライドドライブの2つの磁気ヨークを有するフレー
ム51を、有する。スライドドライブは、ヨーク57と協働する2つのドライブ
コイル59aを更に有する。ドライブコイル59aは、スピンドル53に対し半
径方向の並進運動を実行できるスライド59の部分を形成する。スライド59は
、本発明によるスライダー63の実施例を保持するスプリングサスペンション6
1を有する。本例では、スライダー63は図5に示す種である。
【0027】 本発明は、ここで示す例に限定されるものではないことに注意されたい。従っ
て、磁気コイルは、2以上のコイル層を有してもよい。更に、コイル層の一は、
一の回転体のみしか含まなくてもよい。更に、スライダーに組み込まれた磁気ヘ
ッドの代わりに、スライダーに固定された若しくはスライダーの上に搭載された
本発明による磁気ヘッドを使用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による磁気ヘッドの一実施例を示す平面図である。
【図2】 実施例の磁気ヘッドの図1のラインII-IIでの断面図である。
【図3】 磁気ヘッドの実施例に対する、周波数の関数としてインピーダンスを示すグラ
フである。
【図4】 磁気ヘッドの実施例の中心軸からの距離の関数として磁界の場の強度を示すグ
ラフである。
【図5】 本発明によるスライダーの実施例を示す側面図である。
【図6】 本発明によるスライダーの実施例を示す底面図である。
【図7】 本発明によるスライダーの第1の適用例を示す図である。
【図8】 本発明によるスライダーの第2の適用例を示す図である。
【図9】 本発明による光磁気デバイスの実施例を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペニング,フランク セー オランダ国,5656 アーアー アインドー フェン,プロフ・ホルストラーン 6 Fターム(参考) 5D075 CF03 【要約の続き】

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 中央の開口部と、上記開口部まわりに延在する少なくとも1
    の電導性のある回転体をそれぞれ有し互いに略平行に延在するコイル層とを有し
    た少なくとも略平らな磁気コイルを、含む光磁気デバイス用磁気ヘッドであって
    、 少なくとも1の上記コイル層は、回転体を有し、該回転体のうち上記中央開口
    部により近い位置にある回転体は、上記中央開口部からより遠い位置にある回転
    体よりも小さい幅を有し、少なくとも1の上記コイル層は、他の上記コイル層の
    一の最も外側の回転体よりも、上記開口部に近くに位置する上記最も外側の回転
    体を有する、磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 少なくとも2のコイル層は、回転体を有し、該回転体のうち
    上記中央開口部により近い位置にある回転体は、上記中央開口部からより遠い位
    置にある回転体よりも小さい幅を有する、請求項1記載の磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 上記中央開口部に向かう上記回転体の上記幅の減少は、一定
    に変化する、請求項1又は2記載の磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】 上記1の最も外側の回転体は、他の最も外側の回転体よりも
    上記中央開口部に対し実質的に近くに位置する、請求項1記載の磁気ヘッド。
  5. 【請求項5】 上記コイル層は、薄膜層である、請求項1記載の磁気ヘッド
  6. 【請求項6】 少なくとも2の上記コイル層は、平らなベースに配列された
    、請求項5記載の磁気ヘッド。
  7. 【請求項7】 平坦化が、第1のコイル層の設置後、且つ、第2のコレクタ
    ー層の設置の前に、実行される、請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の磁
    気ヘッドを製造する方法。
  8. 【請求項8】 請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の磁気ヘッドを含
    む、光磁気デバイス用スライダー。
  9. 【請求項9】 上記磁気ヘッドが組み込まれるスライダー本体を有した、請
    求項8記載のスライダー。
  10. 【請求項10】 請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の磁気ヘッドを
    含む、光磁気デバイス。
  11. 【請求項11】 請求項8又は9記載のスライダーを含む、光磁気デバイス
JP2001579301A 2000-04-19 2001-04-06 磁気コイルを有した磁気ヘッド Withdrawn JP2003532249A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP00201412 2000-04-19
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