JP2000132803A - 光−光磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 励磁用薄膜コイルに流す電流を最小にして弱
い磁束密度であっても書込が可能なコイル構造にして、
小型で高記録密度が可能な光−光磁気ヘッドを提供す
る。 【解決手段】 浮上型スライダ１０の内部には固体イマ
ージョンレンズ１３が埋め込まれており、この固体イマ
ージョンレンズ１３の下表面に記録媒体に対向する面側
に突出する断面形状が略台形状のメサ部１３ａが同レン
ズと一体的に形成されている。メサ部１３ａの周囲には
励磁用薄膜コイル１４が形成されており、このコイル１
４のコイル幅は外周部に向かうにしたがって幅広になる
ように形成されている。即ち、第１層（下層）はＡ＜Ｂ
＜Ｃ＜Ｄ＜Ｅ＜Ｆ＜Ｇ＜Ｈ＜Ｉ＜Ｊ＜Ｋの関係となるよ
うに、第２層（上層）はａ＜ｂ＜ｃ＜ｄ＜ｅ＜ｆ＜ｇ＜
ｈ＜ｉ＜ｊ＜ｋの関係となるようにそれぞれ形成されて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ光発光器
から出射された光を記録媒体に照射して、その集束光の
部分発熱と磁束の方向によって同記録媒体の磁化を反転
させて記録するとともに、記録媒体で反射した反射光の
光学的性質の変化を検出して同記録媒体に記録された信
号を再生する記録再生装置に係わり、特に、このような
記録再生装置に用いられる高記録密度、高アクセスタイ
ムの光−光磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、マルチメディア化に対応して大量
のデータを、高密度で記録し、迅速に再生ができる記録
再生装置が注目されている。例えば、オーバーライト可
能な光磁気記録媒体（以下、単に記録媒体という）への
情報の記録は、記録媒体にレーザ光を照射し、レーザ光
の照射位置に対して入力情報に応じた磁界を印加するこ
とにより行われる。一方、記録媒体に記録された情報の
再生は、記録時よりも弱いレーザ光を記録媒体に照射
し、このレーザ光の反射光が有する記録磁化方向に依存
する偏光角（カー角）を検出することにより行われる。

【０００３】このような記録媒体に情報を記録したり、
あるいは記録媒体に記録された情報を再生する記録再生
装置は、通常、レンズ、発光素子、受光素子、コイルな
どを組み合わせて作られている。このため、このような
記録再生装置に用いられる光−光磁気ヘッドは、全体が
大型でかつ質量も大きくなり、場合によっては、発光
部、受光部、コイルなども一体化されているので、記録
媒体上をシークする時間がかかり、応答が遅いととも
に、レンズと記録媒体との間の距離が長くなって、光の
スポット径が大きくなり、高記録密度化に限界があっ
た。

【０００４】そのため、スイングアーム部材の扇状スイ
ング可能なアーム先端にスライダとヘッドとを配置固定
し、ヘッドにはレンズを備えて、スイングアーム部材の
回転軸支点からアームに沿って光ビームを流すようにし
た記録再生装置が特開平１０−１１２０３６号公報にお
いて提案されるようになった。この特開平１０−１１２
０３６号公報において提案された記録再生装置のスイン
グアームに取り付けられるヘッドは、記録媒体の回転に
伴って対流する大気の負圧及び正圧を発生させて、ヘッ
ドを浮上させる機能を有し、光ビームスポット光を透過
する部分を形成したスライダ、対物レンズ駆動装置、レ
ーザ光反射ミラーから構成される。

【０００５】スライダの光ビームスポット光を透過する
部分は、記録光を記録媒体上に集光するための光学素子
は屈折率が１よりも大きい材料で構成され、固体イマー
ジョンレンズを備えている。そして、このスライダを小
型化するためにスライダ内に磁気コイルを内蔵し、ま
た、磁気コイルを光学素子の外周に配することにより記
録媒体と磁気コイルとの間隔を狭め、磁界を印加する際
に磁気コイルに流す電流を小さくするようにし、照射さ
れるレーザ光の光路を遮らないようにして、効率よく記
録媒体上にレーザ光を照射するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た特開平１０−１１２０３６号公報において提案された
スライダにあっては、固体イマージョンレンズの出射光
面は平坦なため、この出射光面と記録媒体との間隔を所
定の間隔以上には狭くすることができない。このため、
記録媒体に短径の光ビームスポット光を照射することが
できなく、高記録密度を達成することが困難であるとい
う問題を生じた。

【０００７】また、磁気コイルを固体イマージョンレン
ズの外周に配置しているので、磁気コイルと記録媒体と
の間隔を固体イマージョンレンズと記録媒体との間隔以
上には狭くすることができない。このため、磁気コイル
に大電流を流して磁束密度を大きくする必要が生じて、
消費電力が大きくなるという問題も生じた。また、磁束
密度を大きくするためには磁芯（コア）を設ける必要が
あるが、磁芯（コア）を設けるようにすると構造が複雑
になって、この種の光磁気ヘッドを小型化できないとと
もに、簡単、容易に製造できないという問題も生じた。

【０００８】さらに、磁気コイルの発生磁界を大きくす
るために磁気コイルに大電流（通常は５０〜１００ｍ
Ａ）を流すようにすると、磁気コイルに発生する発熱が
大きくなるため、固体イマージョンレンズに変形が生じ
たり、あるいは記録媒体の表面に施されている潤滑層を
侵すという問題も生じた。

【課題を解決するための手段およびその作用・効果】本
発明は、上記課題を解決するためになされたものであっ
て、励磁用薄膜コイルに流す電流を最小にして弱い磁束
密度であっても書込が可能なコイル構造にして、小型で
高記録密度が可能な光−光磁気ヘッドを提供することを
目的とする。

【０００９】このため、本発明の光−光磁気ヘッドは、
記録媒体に対向する面が浮上する浮上型スライダ内に記
録媒体に対向する面側に突出してその中心軸が光軸と一
致する断面形状が略台形状のメサ部を有する光ヘッド部
および光磁気ヘッド部の一部を構成する固体イマージョ
ンレンズを備えるとともに、断面形状が略台形状のメサ
部の周囲に渦巻状に形成された光磁気ヘッド部の一部を
構成する励磁用薄膜コイルを備え、渦巻状に形成された
励磁用薄膜コイルは平面的に形成された平面コイルであ
って、この平面コイルのコイル幅を内周部から外周部に
向かうにしたがって幅広になるように形成されている。

【００１０】浮上型スライダに固体イマージョンレンズ
を埋め込み、この固体イマージョンレンズの記録媒体に
対向する面に突出して一体的に形成された断面形状が略
台形状のメサ部を備えるとともにこのメサ部の中心軸が
光軸と一致するように形成されていると、固体イマージ
ョンレンズのメサ部が記録媒体の方向に固体イマージョ
ンレンズより突出して対向するようになる。この結果、
固体イマージョンレンズと記録媒体との間隔を狭くする
ことが可能となるので、光ビームスポット径を狭くする
ことができるようになり、高記録密度が達成できるよう
になる。

【００１１】そして、固体イマージョンレンズのメサ部
の周囲に励磁用薄膜コイルを形成することにより、励磁
用薄膜コイルと記録媒体との間隔を狭くすることが可能
になるととともにスポット光の近辺に磁界を発生させる
ことができるようになるので、弱い磁束密度であっても
書込が可能となる。この結果、励磁用薄膜コイルに流す
電流を小電流にすることが可能となり、励磁用薄膜コイ
ルに発生する発熱を小さくすることが可能となって、固
体イマージョンレンズの変形や記録媒体の表面に施され
た潤滑層を侵すことが防止できるようになる。

【００１２】また、渦巻状に巻回された平面コイルの１
周当たりのコイル長は外周に向かうほど長くなってその
抵抗値も長さに比例して大きくなる。一方、コイル幅が
大きくなるほどその単位長さ当たりの抵抗値が低くな
る。このため、平面コイルのコイル幅を内周部から外周
部に向かうにしたがって幅広になるように形成すると、
外周部の抵抗値を小さくすることができるので、内周部
の抵抗値と外周部の抵抗値とがほぼ等しくすることがで
きる。この結果、平面コイル全体の抵抗値が減少し、イ
ンダクタンスも小さくなるため、高周波応答性が良くな
る。さらに、低抵抗の平面コイルに小電流を流すことが
できるようになるので、コイル長を短くできるととも
に、発熱損失も小さくできる。これにより、この種のス
ライダを更に小型化できるようになって、製造工程も簡
略化できるようになる。

【００１３】また、平面コイルのコイル幅を内周部から
外周部に向かうにしたがって幅広になるように形成して
１ターン当たりの抵抗値が一定になるようにすると、少
ないターン数でも記録媒体に記録するのに十分な磁界を
発生させることが可能となるので、コイル長を短くする
ことが可能となる。このため、全コイルの抵抗がさらに
低下して、抵抗に起因する発熱損失も減少する。

【００１４】さらに、平面コイルをメサ部の高さ方向に
層状に形成する場合、平面コイルの巻始め部を外周部に
すると、平面コイルの１層目の巻終わり部は内周部とな
る。このため、平面コイルを複数層備えるようにした場
合は、偶数層を備えるようにすれば最上段の巻終わり部
は常に外周部となり、電流取り出し部を交差させる必要
がないため、コイル部の高さを最低限の高さに維持でき
るようになる。また、平面コイルの端部は浮上型スライ
ダの内部に配設されたリードに接続され、このリードの
端部を浮上型スライダの浮上面の対向面上に形成された
リード端子に導電接続されるようにすると、平面コイル
とリードとの接続が簡単、容易になるので、この種の光
−光磁気ヘッドの製造が容易になる。

【００１５】そして、固体イマージョンレンズは光学的
に透明で、かつ屈折率が１以上の材料により形成するこ
とにより、近接場光（ニアフィールド光）を実現でき、
記録媒体に照射される光ビームのスポット径を大幅に絞
ることが可能となる。なお、光学的に透明で、かつ屈折
率が１以上の固体イマージョンレンズの材料はガラス、
酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ₂）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）から選択す
ることが好ましい。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、この発明の光−光磁気ヘッ
ドの好適な実施の形態を図１〜図１０に基づいて説明す
る。なお、図１は本発明の光−光磁気ヘッドをサスペン
ションに装着した状態での断面を示す図であり、図２は
図１の励磁用コイルを拡大して示す図であり、図２
（ｂ）は断面図であり、図２（ａ）はその上面図であ
る。また、図３は本発明の光−光磁気ヘッドの励磁用コ
イルのターン数と磁束密度、抵抗、インダクタンスの関
係を示す図である。さらに、図４〜図１０は図１の光−
光磁気ヘッドを製造するための一連の製造工程を模式的
に示す斜視図である。

【００１７】本発明の光−光磁気ヘッドは、浮上型スラ
イダ１０を備えており、光磁気記録媒体（以下、記録媒
体という）が回転することによりに、記録媒体に対して
浮上する浮上面（空気ベアリング面（ＡＢＳ（Air Bear
ing Surface））、以下、ＡＢＳという）となる正圧あ
るいは負圧レールパターン１１がその下面に設けられて
いる。そして、浮上型スライダ１０の内部には、浮上面
からその対向面に向けて貫通する第１の貫通孔１２が設
けられており、この貫通孔１２内に固体イマージョンレ
ンズ１３が埋め込まれている。

【００１８】ここで、固体イマージョンレンズ１３は屈
折率が１より大きな材料、例えば、ガラス、酸化ジルコ
ニウム（ＺｒＯ₂）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）、タンタル
酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）から選択され、球の一部を
切断して半球あるいは３／４球とし、切断面が記録媒体
と平行になるように、即ち、この固体イマージョンレン
ズ１３の出射面が光軸に対して垂直になるように配置し
たレンズであり、光学系のＮＡを大きくすることで回析
限界を小さくすることを可能にする。

【００１９】この固体イマージョンレンズ１３のＡＢＳ
側（記録媒体との対向面側）には、ＡＢＳ側に突出する
断面形状が略台形状のメサ部（平頂丘）１３ａが固体イ
マージョンレンズ１３と一体的に形成されており、メサ
部１３ａの中心軸が光軸と一致するように形成されてい
る。そして、このメサ部１３ａの周囲には、図３に示す
ような励磁用コイル１４が設けられている。この励磁用
コイル１４の端部は浮上型スライダ１０に設けられた第
２の貫通孔１５，１５内に充填された導電材よりなるリ
ード１６，１６に接続されて、このリード１６線はコイ
ル端子１７，１７（図１１参照）に接続されている。

【００２０】励磁用コイル１４はメサ部１３ａの最内周
を１巻するＡ部と、その外周を１巻するＢ部と、その外
周を１巻するＣ部と、その外周を１巻するＤ部と、その
外周を１巻するＥ部と、その外周を１巻するＦ部と、そ
の外周を１巻するＧ部と、その外周を１巻するＨ部と、
その外周を１巻するＩ部と、その外周を１巻するＪ部
と、その外周を１巻するＫ部からなる第１層と、この第
１層の上部に形成されてメサ部１３ａの最内周を１巻す
るａ部と、その外周を１巻するｂ部と、その外周を１巻
するｃ部と、その外周を１巻するｄ部と、その外周を１
巻するｅ部と、その外周を１巻するｆ部と、その外周を
１巻するｇ部と、その外周を１巻するｈ部と、その外周
を１巻するｉ部と、その外周を１巻するｊ部と、その外
周を１巻するｋ部からなる第２層から構成され、合計の
コイルターン数は２２ターンとなるように形成されてい
る。

【００２１】そして、励磁用コイル１４の厚み（ｔ）は
例えば３．５μｍであり、コイル間隔（ｘ）は例えば
１．２μｍであり、励磁用コイル１４の各部のコイル幅
は、第１層については、Ａ＜Ｂ＜Ｃ＜Ｄ＜Ｅ＜Ｆ＜Ｇ＜
Ｈ＜Ｉ＜Ｊ＜Ｋの関係となるように外周部に向かうにし
たがって大きくなるように形成されており、例えば、最
内周部のＡ部のコイル幅は３．０μｍであり、中間部の
Ｆ部のコイル幅は４．５μｍであり、最外周部のＫ部の
コイル幅は６．７μｍである。また、第２層について
は、ａ＜ｂ＜ｃ＜ｄ＜ｅ＜ｆ＜ｇ＜ｈ＜ｉ＜ｊ＜ｋの関
係となるように外周部に向かうにしたがって大きくなる
ように形成されており、例えば、最内周部のａ部のコイ
ル幅（ｗａ）は３．０μｍであり、中間部のｆ部のコイ
ル幅（ｗｆ）は４．５μｍであり、最外周部のｋ部のコ
イル幅（ｗｋ）は６．５μｍである。

【００２２】また、メサ部１３ａの頂上は略長方形状に
形成されており、例えば、その長辺は７０μｍであり、
その短辺は３８μｍであって、励磁用コイル１４の第１
層（下層）の最内周部のＡ部のコイル長は２９２μｍで
あり、中間部のＦ部のコイル長は４４７μｍであり、最
外周部のＫ部のコイル長は６５８μｍである。また、励
磁用コイル１４の第２層（上層）の最内周部のａ部のコ
イル長は３０２μｍであり、中間部のｆ部のコイル長は
４５５ｍであり、最外周部のｋ部のコイル長は６６４μ
ｍである。

【００２３】このように、励磁用コイル１４の第１層
（下層）の各部のコイル幅をＡ＜Ｂ＜Ｃ＜Ｄ＜Ｅ＜Ｆ＜
Ｇ＜Ｈ＜Ｉ＜Ｊ＜Ｋの関係となるように外周部に向かう
にしたがって大きくすると、各部の抵抗値は一定（例え
ば０．５５７Ω）となる。また、励磁用コイル１４の第
２層の各部のコイル幅をａ＜ｂ＜ｃ＜ｄ＜ｅ＜ｆ＜ｇ＜
ｈ＜ｉ＜ｊ＜ｋの関係となるように外周部に向かうにし
たがって大きくすると、各部の抵抗値は一定（例えば
０．５７５Ω）となる。

【００２４】ここで、励磁用コイル１４は以下のように
形成されている。即ち、第１層（下層）の最外周部のＫ
部を巻始部とし、このＫ部の一端部が一方のリード１６
に接続されている。Ｋ部の他端部より内側に順次Ｊ部、
Ｉ部、Ｈ部、Ｇ部、Ｆ部、Ｅ部、Ｄ部、Ｃ部、Ｂ部、Ａ
部となるように渦巻状に形成されており、最内周のＡ部
が巻終部となる。そして、このＡ部の端部を上方に延出
して第２層（上層）の最内周部のａ部の端部に接続され
ており、これより外側に順次ｂ部、ｃ部、ｄ部、ｅ部、
ｆ部、ｇ部、ｈ部、ｉ部、ｊ部、ｋ部となるように渦巻
状に形成されており、最外周部のｋ部が巻終部となっ
て、ｋ部の巻終部の端部が他方のリード１６に接続され
ている。なお、励磁用コイル１４の第１層（下層）と第
２層（上層）との間は絶縁材により絶縁されている。

【００２５】なお、上述した例においては、第１層（下
層）をＡ〜Ｋの１１ターンとし、第２層（上層）をａ〜
ｋの１１ターンとして、合計で２２ターンの励磁用コイ
ル１４の例について説明したが、励磁用コイル１４のタ
ーン数は適宜選択すればよい。そして、励磁用コイル１
４のターン数を変化させた場合の磁束密度（この場合は
メサ部１３ａの中心部での磁束密度を表す）Ｂ（Ｇａｕ
ｓｓ）、励磁用コイル１４の全抵抗Ｒ（Ω）およびイン
ダクタンスＬ（ｎＨ）をそれぞれ測定すると下記の表１
および図３（なお、図３は表１の結果をグラフで表した
図である）に示すような結果となった。

【００２６】

【表１】

【００２７】ついで、この種の光−磁気ヘッドを備えた
浮上型スライダ１０の製造方法を図４〜図１０の製造工
程を示す図に基づいて説明する。まず、図４（ａ）に示
すように、スライダとなる硬質のセラミックス基板（厚
み数１００μｍ程度）２０を用意し、この基板２０にレ
ーザ光を照射して、図４（ｂ）に示すように、基板２０
に第１の貫通孔２０ａおよび第２の貫通孔２０ｂを配設
する。ついで、図４（ｃ）に示すように、球状のレンズ
部材（後にその球の一部が切断されて固体イマージョン
レンズ（ＳＩＬ）となる）３０と導電材からなるリード
３１，３１を用意し、これらのレンズ部材３０およびリ
ード３１，３１を第１貫通孔２０ａおよび第２貫通孔２
０ｂ，２０ｂにそれぞれ挿入する。

【００２８】なお、レンズ部材３０は、屈折率が１より
大きな材料、例えば、ガラス、酸化ジルコニウム（Ｚｒ
Ｏ₂）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）、タンタル酸リチウム
（ＬｉＴａＯ₃）から選択して用いており、半球あるい
は３／４球だけ第１の貫通孔２０ａ内に埋設する。

【００２９】この後、図５（ｄ）に示すように、ガラス
封着剤によりレンズ部材３０を第１貫通孔２０ａに封着
するとともに、各リード３１，３１を第２貫通孔２０
ｂ，２０ｂにそれぞれ封着する。ついで、図５（ｅ）に
示すように、この表面を平滑に研磨した後、図５（ｆ）
に示すように、平滑に研磨された表面に感光性レジスト
を塗布あるいはドライフィルム２１をラミネートする。
なお、この研磨において、レンズ部材３０は半球あるい
は３／４球となる。

【００３０】ついで、図６（ｇ）に示すように、所定の
形状のレールパターン２１ａおよびレンズ面のメサパタ
ーン２１ｂに露光した後、現像して、図６（ｈ）に示す
ように、基板２０上にレールパターン２１ａおよびメサ
パターン２１ｂのミリング用マスク２２ａ，２２ｂを形
成する。ついで、この全面にアルゴンイオン（Ａｒ⁺）
を照射して、イオンエッチングを行い、図６（ｉ）に示
すように、レールの凸部２３ａおよびレンズのメサの凸
部２３ｂを形成する。

【００３１】ついで、図７（ｊ）に示すように、この全
面に第１のメッキ用下地膜（例えば、銅等の金属膜）２
４ａをスパッタ等により被着させた後、コイルパターン
形成用の感光性レジストあるいはドライフィルム２４を
塗布あるいはラミネートする。ついで、図２に示すよう
なコイルパターンに露光した後、現像して、図７（ｋ）
に示すように、第１のコイルパターンメッキ部２５を形
成する。

【００３２】ついで、図７（ｌ）に示すように、第１の
コイルパターンメッキ部２５に銅等の金属膜からなるメ
ッキを施し、第１のメッキ用下地膜２４ａの上に第１の
コイルメッキ膜２５ａを形成する。この後、残存するレ
ジストあるいはドライフィルム２４を除去することによ
り、図８（ｍ）に示すように、メッキ用下地膜２４ａの
上に形成された第１のコイルメッキ膜２５ａが出現す
る。ついで、この全面にアルゴンイオン（Ａｒ⁺）を照
射して、イオンエッチングを行い、図８（ｎ）に示すよ
うに、第１のコイルメッキ膜２５ａに覆われていない部
分のメッキ用下地膜２４ａを除去する。これにより、第
１のコイルメッキ膜２５ａは、図２に示すように、コイ
ル幅がＡ＜Ｂ＜Ｃ＜Ｄ＜Ｅ＜Ｆ＜Ｇ＜Ｈ＜Ｉ＜Ｊ＜Ｋの
関係となるように外周部に向かうにしたがって幅広にな
るように形成される。

【００３３】この後、図８（ｏ）に示すように、第１の
コイルメッキ膜２５ａの上に絶縁層２６を形成する。つ
いで、図９（ｐ）に示すように、この全面に第２のメッ
キ用下地膜（例えば、第１の下地膜と同様な銅等の金属
膜）２７ａをスパッタ等により被着させた後、コイルパ
ターン形成用の感光性レジストあるいはドライフィルム
２７を塗布あるいはラミネートする。ついで、図２に示
すようなコイルパターンに露光した後、現像して、図９
（ｑ）に示すように、銅等の金属膜からなる第２のコイ
ルパターンメッキ部２８を形成する。

【００３４】ついで、図９（ｒ）に示すように、第２の
コイルパターンメッキ部２８にメッキを施し、第２のメ
ッキ用下地膜２７ａの上に第２のコイルメッキ膜２８ａ
を形成する。この後、残存するレジストあるいはドライ
フィルムを除去することにより、図１０（ｓ）に示すよ
うに、第２のメッキ用下地膜２７ａの上に形成された第
２のコイルメッキ膜２８ａが出現する。これにより、第
２のコイルメッキ膜２８ａは、図２に示すように、コイ
ル幅がａ＜ｂ＜ｃ＜ｄ＜ｅ＜ｆ＜ｇ＜ｈ＜ｉ＜ｊ＜ｋの
関係となるように外周部に向かうにしたがって幅広にな
るように形成される。

【００３５】ついで、この全面にアルゴンイオン（Ａｒ
⁺）を照射して、イオンエッチングを行い、図１０
（ｔ）に示すように、コイルメッキ膜２８ａに覆われて
いない第２のメッキ用下地膜２７ａを除去する。この
後、図１０（ｕ）に示すように、第２のコイルメッキ膜
２８ａの上に第２の絶縁層２９を形成して、光−光磁気
ヘッドを備えた浮上型のスライダ１０が形成される。

【００３６】なお、上述のように形成された浮上型スラ
イダ１０は、図１に示すように、サスペンション４０の
先端部に接続されたジンバル４１の下面に取り付けら
れ、このサスペンション４０に沿って延出して配設され
た接続線４２をコイル端子１７に接続する。一方、スラ
イダ１０の固体イマージョンレンズ１３の上部に対物レ
ンズ４３が配設されるとともに、この対物レンズ４３の
上部に反射ミラー４４が配設されている。

【００３７】これにより、反射ミラー４４で反射された
レーザ光は対物レンズ４３により集光されて固体イマー
ジョンレンズ１３に入射し、その出射面より記録媒体上
にスポット光を照射する。そして、固体イマージョンレ
ンズ１３の下表面のメサ部１３ａの周囲に設けられた励
磁用コイル１４が通電されることにより、記録媒体のス
ポット光が照射された部分の発熱と磁束の方向によっ
て、記録媒体の磁化を反転させて記録されるようにな
る。

【００３８】図１１は、このような光−光磁気ヘッドを
用いて構成した記録再生装置の要部の概略構成を模式的
に示す図であり、図１１（ａ）は、その全体構成の一部
を示す斜視図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）の
要部を示す斜視図である。なお、図１は図１１（ｂ）の
Ａ−Ａ切断面を示す。この記録再生装置は、記録媒体Ｍ
を回転駆動する図示しない駆動装置と、レーザビームを
照射するレーザ発光器５０と、記録媒体Ｍで反射した反
射光のカー角を検出するカー角検出器５１と、レーザ発
光器５０より照射されたレーザ光を透過するとともに、
その一部を反射するハーフミラー５２と、図示しない駆
動装置により駆動されるサスペンション４０と、浮上型
スライダ１０を備えた光−光磁気ヘッドとから構成され
る。なお、レーザ発光器５０およびカー角検出器５１は
記録媒体（メディア）Ｍの外周近傍に設置され、ハーフ
ミラー５２はサスペンション４０の回転軸用孔４０ａ内
に挿入される図示しない回転軸付近に設置されている。
また、ハーフミラー５２および反射ミラー４４よりなる
光学系は記録再生装置の適宜箇所に固定されている。

【００３９】サスペンション４０は図示しない駆動装置
により駆動される回転軸が記録媒体（メディア）Ｍの外
周近傍に設置され、そこを中心に記録媒体Ｍの半径方向
の記録エリアを移動し、記録領域全体にアクセスできる
ようになされている。そして、サスペンション４０の先
端部にジンバル４１を固定し、このジンバル４１の下面
に浮上型スライダ１０が取り付けられている。また、ス
ライダ１０の固体イマージョンレンズ１３の上部に対物
レンズ４３が配設されるとともに、この対物レンズ４３
の上部に反射ミラー４４が配設されている。

【００４０】これにより、レーザ発光器５０より出射さ
れたレーザ光はハーフミラー５２を透過し、反射ミラー
４４で反射されたレーザ光は対物レンズ４３により集光
されて固体イマージョンレンズ１３に入射し、その出射
面より記録媒体Ｍ上にスポット光を照射する。そして、
固体イマージョンレンズ１３の下表面のメサ部１３ａの
周囲に設けられた励磁用コイル１４に入力情報に応じた
磁界を印加するために通電することにより、記録媒体Ｍ
のスポット光が照射された部分の発熱と磁束の方向によ
って、記録媒体Ｍの磁化を反転させて記録されるように
なる。

【００４１】一方、記録時よりも弱いレーザ光をレーザ
発光器５０より出射すると、このレーザ光はハーフミラ
ー５２を透過し、反射ミラー４４で反射されて対物レン
ズ４３により集光されて固体イマージョンレンズ１３に
入射し、その出射面より記録媒体Ｍ上にスポット光が照
射される。このスポット光は記録媒体Ｍ上で反射した
後、対物レンズ４３を通過し、反射ミラー４４およびハ
ーフミラー５２で反射されて、カー角検出器５１に入射
され、カー角検出器３７はこの反射光が有する記録磁化
方向に依存する反射光の偏光角（カー角）を検出して記
録媒体Ｍに記録された情報を再生する。

【００４２】上述したように、浮上型スライダ１０に固
体イマージョンレンズ１３を埋め込み、この固体イマー
ジョンレンズ１３の記録媒体に対向する面側に突出する
断面形状が略台形状のメサ部１３ａを一体的に形成され
るとともにこのメサ部１３ａの中心軸が光軸と一致する
ように形成されているので、このメサ部１３ａが記録媒
体の方向に突出して対向するようになる。この結果、固
体イマージョンレンズ１３と記録媒体との間隔を狭くす
ることが可能となるので、光ビームスポット径を狭くす
ることができるようになり、高記録密度が達成できるよ
うになる。

【００４３】また、メサ部１３ａの周囲に励磁用コイル
１４が形成されているので、励磁用コイル１４と記録媒
体との間隔を狭くすることが可能となり、弱い磁束密度
であっても書込が可能となる。この結果、磁芯（コア）
を設ける必要がなくなって、構造が簡単になるためこの
種の光−光磁気ヘッドを小型化できるようになるととも
に、その製造も簡単、容易になる。また、小電流であっ
ても容易に記録媒体を励磁できるようになるので、小電
力化を達成できるようになる。

【００４４】そして、平面コイル１４のコイル幅が、第
１層（下層）については、Ａ＜Ｂ＜Ｃ＜Ｄ＜Ｅ＜Ｆ＜Ｇ
＜Ｈ＜Ｉ＜Ｊ＜Ｋの関係となるように、第２層（上層）
ついては、ａ＜ｂ＜ｃ＜ｄ＜ｅ＜ｆ＜ｇ＜ｈ＜ｉ＜ｊ＜
ｋの関係となるように外周部に向かうにしたがって幅広
になるよう形成されているので、外周部の抵抗値を低く
して内周部の抵抗値とほぼ等しくすることができる。従
って、１ターン当たりの抵抗値が一定になるように形成
することができる。この結果、少ないターン数でも記録
媒体に記録するのに十分な磁界を発生させることが可能
となるので、コイル長を短くすることが可能となり、イ
ンダクタンスも小さくなるため、高周波応答性が良くな
る。さらに、発熱損失も小さくできるので、この種のス
ライダ１０を更に小型化できるようになって、製造工程
も簡略化できるようになる。

【００４５】また、励磁用コイル１４は第２の貫通孔１
５内に設けられたリード１６，１６に接続され、このリ
ード１６，１６の端部は浮上面の対向面上に形成された
リード端子１７，１７に導電接続されるので、励磁用コ
イル１４と接続用リードとの接続が簡単、容易になっ
て、この種の光−光磁気ヘッドの製造が容易になる。

【００４６】このように、本発明においては、浮上型ス
ライダ１０に固体イマージョンレンズ１３が埋め込ま
れ、この浮上型スライダ１０が記録媒体（メディア）上
を非常に狭い間隔で浮上することにより、記録媒体（メ
ディア）に近接場光（ニアフィールド光）を実現するこ
とが可能になる。また、浮上型スライダ１０と固体イマ
ージョンレンズ１３と励磁用コイル１４とが一体化され
ており、しかも励磁用コイル１４が浮上型スライダ１０
の中心近傍に薄膜で形成されているので、この種の浮上
型スライダ１０を小型化できるようになる。具体的に
は、例えば、１．２ｍｍ（幅）×２．５ｍｍ（長さ）×
０．３ｍｍ（高さ）〜２ｍｍ（幅）×４ｍｍ（長さ）×
０．５ｍｍ（高さ）のサイズを有する浮上型スライダ１
０が得られるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の光−光磁気ヘッドを備えた浮上型ス
ライダをサスペンションに装着した状態の断面を示す図
である。

【図２】 図１の励磁用コイルを拡大して示す図であ
り、図２（ｂ）は断面図であり、図２（ａ）はその上面
図である。

【図３】 本発明の光−光磁気ヘッドの励磁用コイルの
ターン数（Ｔ）と磁束密度（Ｂ）、抵抗（Ｒ）、インダ
クタンス（Ｌ）の関係を示す図である。

【図４】 本発明の光−光磁気ヘッドを備えた浮上型ス
ライダの製造工程の一部を示す斜視図である。

【図５】 本発明の光−光磁気ヘッドを備えた浮上型ス
ライダの製造工程の一部を示す斜視図である。

【図６】 本発明の光−光磁気ヘッドを備えた浮上型ス
ライダの製造工程の一部を示す斜視図である。

【図７】 本発明の光−光磁気ヘッドを備えた浮上型ス
ライダの製造工程の一部を示す斜視図である。

【図８】 本発明の光−光磁気ヘッドを備えた浮上型ス
ライダの製造工程の一部を示す斜視図である。

【図９】 本発明の光−光磁気ヘッドを備えた浮上型ス
ライダの製造工程の一部を示す斜視図である。

【図１０】 本発明の光−光磁気ヘッドを備えた浮上型
スライダの製造工程の一部を示す斜視図である。

【図１１】 本発明の光−光磁気ヘッドを備えた記録再
生装置の概略構成を模式的に示す図であり、図１１
（ａ）は、その全体構成の一部を示す斜視図であり、図
１１（ｂ）は、図１１（ａ）の要部を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１０…浮上型スライダ、１１…レールパターン、１２…
第１の貫通孔、１３…固体イマージョンレンズ、１３ａ
…メサ部、１４…励磁用コイル、１５…第２の貫通孔、
１６…リード（導電性物質）、１７…リード端子、２０
…セラミックス基板、２１…２０ａ…第１の貫通孔、２
０ｂ…第２の貫通孔、２１…感光性レジスト（ドライフ
ィルム）、２１ａ…レールパターン、２１ｂ…メサパタ
ーン、２２ａ，２２ｂ…ミリング用マスク、２３ａ…レ
ールの凸部、２３ｂ…メサの凸部、２４…感光性レジス
ト（ドライフィルム）、２５…第１のコイルパターンメ
ッキ部、２５ａ…第１のコイルメッキ膜、２６…絶縁
膜、２８…第２のコイルパターンメッキ部、２８ａ…第
２のコイルメッキ膜、３０…レンズ部材、３１…リード
（導電性物質）、４０…サスペンション、４１…ジンバ
ル、４２…接続線、４３…対物レンズ、４４…反射ミラ
ー、５０…レーザ発光器、５１…カー角検出器、５２…
ハーフミラー、Ｍ…記録媒体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 21/21 Ｇ１１Ｂ 21/21

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録媒体に照射された光の光学的性質の
   変化を検出して同記録媒体に記録された信号を再生する
   ための光ヘッド部と、同記録媒体に照射された光の集束
   光の部分発熱と磁束の方向によって同記録媒体の磁化を
   反転させて記録させるための光磁気ヘッド部とを備えた
   光−光磁気ヘッドであって、 前記記録媒体に対向する面が浮上する浮上型スライダ内
   に前記記録媒体に対向する面側に突出してその中心軸が
   光軸と一致する断面形状が略台形状のメサ部を有する前
   記光ヘッド部および前記光磁気ヘッド部の一部を構成す
   る固体イマージョンレンズを備えるとともに、 前記断面形状が略台形状のメサ部の周囲に渦巻状に形成
   された前記光磁気ヘッド部の一部を構成する励磁用薄膜
   コイルを備え、 前記渦巻状に形成された励磁用薄膜コイルは平面的に形
   成された平面コイルであって、この平面コイルのコイル
   幅を内周部から外周部に向かうにしたがって幅広になる
   ように形成されていることを特徴とする光−光磁気ヘッ
   ド。
2. 【請求項２】 前記平面コイルのコイル幅を内周部から
   外周部に向かうにしたがって幅広になるように形成して
   １ターン当たりの抵抗値が一定になるようにしたことを
   特徴とする請求項１に記載の光−光磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 前記平面コイルは前記メサ部の高さ方向
   に複数層が層状に形成されているとともにこの複数層は
   偶数層となるように形成されていることを特徴とする請
   求項１または請求項２に記載の光−光磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 前記平面コイルの端部は前記浮上型スラ
   イダの内部に配設されたリードに導電接続され、このリ
   ードの端部は同浮上型スライダの浮上面の対向面上に形
   成されたリード端子に導電接続されていることを特徴と
   する請求項１から請求項３のいずかに記載の光−光磁気
   ヘッド。
5. 【請求項５】 前記固体イマージョンレンズは光学的に
   透明で、かつ屈折率が１以上の材料により形成されてい
   ることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに
   記載の光−光磁気ヘッド。
6. 【請求項６】 前記光学的に透明で、かつ屈折率が１以
   上の材料はガラス、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）、酸
   化チタン（ＴｉＯ₂）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａ
   Ｏ₃）から選択されることを特徴とする請求項５に記載
   の光−光磁気ヘッド。